JP2002210654A - 多軸nc研磨加工機 - Google Patents

多軸nc研磨加工機

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JP2002210654A JP2001008952A JP2001008952A JP2002210654A JP 2002210654 A JP2002210654 A JP 2002210654A JP 2001008952 A JP2001008952 A JP 2001008952A JP 2001008952 A JP2001008952 A JP 2001008952A JP 2002210654 A JP2002210654 A JP 2002210654A
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Numerical Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】NCプログラムの作成と実作業において、性能
を保ったままデータ点数を減らして作業者の負担を軽減
するとともに、プログラム内容の把握を容易にした多軸
NC研磨加工機を提供する。 【解決手段】加工するワークの姿勢を制御して加工点の
法線方向を制御する研磨加工機1において、研磨する面
の形状を計算する面形状計算部5と、駆動軸の制御情報
を計算する駆動計算部3を同一の計算機上に備えてお
り、加工パス上に配した加工点の座標値のみを、研磨加
工順に入力し、各駆動軸の制御目標値を計算するために
必要な面形状情報を面形状計算部5により自動的に計算
し、加工パス上の加工点座標を加工パスに沿って順に入
力することにより、加工点における法線ベクトルの算出
ができ、加工点間を補間して駆動軸制御部により各駆動
軸を制御してワークの姿勢制御を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、自由曲面を有する光
学素子などのプラスチック成形金型の研磨加工装置に関
するもので、三次元的な曲面形状を持つ被加工物の高精
度な研磨・研削加工に応用可能なものである。
【0002】
【従来の技術】一般的に用いられている切削・研磨加工
機について図12及び図13を用いて説明する。図12
において、1は研磨加工機、2は研磨工具、3は駆動計
算部、4は駆動制御部、8はX方向直動軸、9はY方向
直動軸、11はワーク、20はCAD/CAM、21は
CLデータである。
【0003】まず設計者はCAD/CAM20を用い
て、ワーク11の加工面17上における加工パス12を
デザインし、しかるのち研磨工具オフセット19を加味
したカットアロケーションパス18を図13に示す如く
作成する。加工機にカットアロケーションパスを表現し
たCLデータ21を入力することにより、駆動計算部3
において加工機各軸の駆動制御値を計算する。この駆動
制御値を駆動制御部4に指示することによって、目的と
するカットアロケーションパス上を研磨工具2が移動す
る。従来の手法では、駆動計算部3はワークに関する情
報を必要としない。
【0004】切削加工機の場合は、理想面を削り出すた
めに正確な位置制御を要求される。一方、研磨加工機の
場合は、一般的に加工点に一定の圧力を加えるためにZ
軸方向を加工面に倣わせる倣い加工が主であり、Z軸方
向の位置決めは必要としない場合が多い。このような場
合は、駆動計算部により生成された駆動制御値のうち、
Z軸方向に関する値を修正することで容易に対応でき
る。
【0005】研磨加工において、より高精度の加工を実
現するために、ワークの位置姿勢を制御して加工点にお
ける法線ベクトルを制御し、加工条件の変動を少なくし
て高精度研摩加工を実現する手法が提案されている(特
開平10−230448号公報、特開平8−19740
4号公報)。
【0006】一方、5軸以上の加工機を制御するため
に、姿勢情報を含むカットアロケーションパスおよびC
LデータをCAD/CAMによって生成し、CLデータ
に含まれた姿勢情報に基づいて研磨工具の姿勢制御を行
う駆動計算部が実用化されている。しかし、従来のCA
D/CAMによるCLデータの入力による駆動方法で
は、以下のような問題がある。 1)5軸以上の姿勢制御を含む加工では、CLデータ量
が増加し、作業者が直感的に内容を把握することが困難
であり、修正や加工条件の付加が困難である。 2)一般的に使用されている多軸NC加工機は研磨工具
の姿勢制御を行ない、従来の3軸位置決めに工具姿勢に
よるオフセットを加えることにより、制御値を求めるも
のが主であり、ワークの姿勢を制御する加工には対応し
ていない。 3)加工パスのデザインと、駆動軸の計算が分離して行
われるため、加工機の構成や特性を考慮した加工パスの
生成を行うことは難しい。
【0007】
【解決しようとする課題】そこでこの発明は、ワークの
姿勢制御を行う多軸加工機のNCプログラムの作成と実
作業において、性能を落とすことなくデータ点数を減ら
して作業者の負担を軽減するとともに、直感的にプログ
ラム内容を把握し易くすることをその課題とする。
【0008】
【課題を解決するために講じた手段】
【解決手段1】(請求項1に対応)上記課題を解決する
ために講じた手段は、加工するワークの姿勢を制御して
加工点の法線方向を制御する研磨加工機において、研磨
する面の形状を計算する面形状計算部と、駆動軸の制御
情報を計算する駆動計算部を同一の計算機上に備えてお
り、加工パス上に配した加工点の座標値のみを、研磨加
工順に入力し、各駆動軸の制御目標値を計算するために
必要な面形状情報を面形状計算部により自動的に計算
し、加工点間を補間して駆動軸制御部により各駆動軸を
制御するようにしたことである。
【0009】
【作用】解決手段1の構成によれば、加工する面の形状
情報を算出する面形状計算手段を設け、加工パス上の加
工点座標を加工パスに沿って順に入力することにより、
加工点における法線ベクトルの算出ができ、ワークの姿
勢制御に必要な情報を得ることができる。これにより、
入力する情報量を減らし、かつ加工機の構成に適した加
工パスを自動的に計算し、精密な加工を実現できる。ま
た、単純な形式なので、直感的な理解や修正が容易であ
る。さらに、従来の手法では表現や作成が困難であった
渦状などの複雑な曲面軌道も容易に実現可能であるとい
う柔軟性がある。
【0010】
【実施態様1】(請求項2に対応)実施態様1は、解決
手段1の研磨加工機において、曲面形状を多項式形式で
記憶し、外部入力として多項式係数を加工点の座標値と
共に入力することによって加工点における面形状を算出
し、各駆動軸の制御目標値を計算して駆動軸を制御する
ようにしたことである。
【0011】
【実施態様2】(請求項3に対応)実施態様2は、解決
手段1の研磨加工機において、加工点間の軌道を面形状
に沿って補間することである。
【0012】
【実施態様3】(請求項4に対応)実施態様3は、解決
手段1の研磨加工機において、制御対象である回転軸の
うち1つの軸の回転動作を最小にする制約条件を課して
加工点の補間を行うことである。
【0013】
【実施態様4】(請求項5に対応)実施態様4は、解決
手段1の研磨加工機において、入力としてワーク原点に
対する加工点のXY座標値のみを、加工する順序で入力
することにより加工パスを自動的に生成することであ
る。
【0014】
【実施態様5】(請求項6に対応)実施態様5は、解決
手段1の研磨加工機において、加工点における座標値と
研磨加工条件が加工順に列挙された加工プログラムを入
力することにより、加工条件を加工パスに沿って制御す
るようにしたことである。
【0015】
【実施態様6】(請求項7に対応)実施態様6は、解決
手段1の研磨加工機において、加工点における座標値と
理想面からの誤差量を研磨加工条件として加工順に列挙
された加工プログラムを入力することにより、誤差を補
正する加工パスおよび加工条件を自動的に算出すること
である。
【0016】
【実施態様7】(請求項8に対応)実施態様7は、解決
手段1の研磨加工機において、加工点における座標値と
研磨工具の移動速度を研磨加工条件として加工順に列挙
された加工プログラムを入力することにより、加工パス
上で研磨工具の移動速度を制御するようにしたことであ
る。
【0017】
【実施態様8】(請求項9に対応)実施態様8は、解決
手段1の研磨加工機において、加工点における座標値と
加工点間を移動する時間を研磨加工条件として加工順に
列挙された加工プログラムを入力することにより、加工
パス上で移動時間を制御するようにしたことである。
【0018】
【実施態様9】(請求項10に対応)実施態様9は、実
施態様5乃至実施態様8の研磨加工機に入力され、かつ
機能させるための、加工点における座標値と研磨加工条
件が加工順に列挙された加工プログラムである。
【0019】
【実施態様10】(請求項11に対応)実施態様10
は、解決手段1の研磨加工機において、面形状計算部に
おいて基準点座標を定義し、研磨工具を該基準点に一致
させることによりワークの位置情報をパラメータとして
取り込む機能を有するようにしたことである。
【0020】
【実施例】本発明の実施例を図1乃至図3に基づき説明
する。図1は本実施例における研磨加工機で、外部から
の入力情報は、図2の加工点13の座標値を加工パス1
2において加工順に記述したテーブル形式のプログラム
ファイル(図3)を用いることによって簡略化してい
る。これによれば、姿勢制御において精度よい加工パス
を生成するために必要なワークの位置決めを、研磨工具
とワーク基準面を用いて対話的に、もしくは自動的に計
算機内にとりこみ、駆動制御値計算に使用することがで
きる。
【0021】図1において、1は研磨加工機、2は研磨
工具、3は駆動計算部、4は駆動制御部、5は面形状計
算部である。研摩加工機1は、X軸、Y軸回りに回転軸
6,7を持ち、ワーク11を姿勢制御できる機構を持
つ。これらXY2軸の回転軸と、XY2軸の直動軸8,
9を持つことにより、任意の加工点における法線ベクト
ルを、鉛直方向に一致させるよう姿勢制御し、かつ研磨
工具2の鉛直下に加工点を位置させることができる。
【0022】図2に基づき研磨工具によるワークの位置
出しを説明する。加工に先立ちワーク11をワーク突当
て治具29に当接させた状態でスイベルステージ10に
固定する。そして、研磨工具2が研磨工具中心28の位
置に来るように押し当て動作を手動操作で行い、この状
態における研磨工具2(研磨機)XY軸の値を読取る。
これに、既知の値である研磨工具2の研磨加工機1に対
する位置と、同じく既知の値であるワーク中心へのオフ
セット30,31(それぞれ研磨工具基準位置Y方向オ
フセット、研磨工具基準位置X方向オフセットと呼ぶ)
を加えることにより、研磨加工機の回転中心座標系に対
するワーク原点座標系の三次元位置ベクトルTMTが計
算される。以上の計算は、研磨工具位置決め終了時点に
おいて面形状計算部5により計算され、結果は駆動計算
部3に自動的に記憶される。
【0023】一般的にワークを姿勢制御する研磨加工機
においては、図11に示す如く回転軸に対するワークの
位置により、制御量が変化してしまうが、本実施例のよ
うに研磨工具をワークに対して押し当てや頂点出しを行
なって位置決めをすることにより、研磨工具とワークの
相対位置情報を得ることができ、研磨工具と回転軸の相
対位置関係を既知とすることで、ワークの回転軸に対す
る相対位置情報を自動的に計算することができ、作業者
による測定や測定値入力の手間を軽減することができ
る。
【0024】次に、面形状計算部5は曲面形状を示す多
項式係数を外部より読込み記憶する。そして、作業者は
加工点13のワーク座標系におけるXY座標値のテーブ
ル形式加工プログラムファイル22(図3)を入力す
る。図3におけるX0,Y0が図2における加工開始点
14に相当する。面形状計算部5は入力されたXY座標
値と記憶した多項式係数より、入力されたXY座標値に
おける加工点のZ座標と法線ベクトルnを計算する。駆
動計算部3はこれらXYZ座標および法線ベクトルnよ
り、加工点の法線を任意の方向に制御するために必要な
駆動軸の制御値を計算する。本実施例における装置構成
は5自由度であるため、任意の加工点を工具加工点の鉛
直下に位置させ、かつ加工点の法線を鉛直方向に一致さ
せる駆動制御値の解がただ一つ存在する。以下に各駆動
軸の制御値の計算方法を説明する。
【0025】図4に、本実施例における各点の座標系を
示す。ここで、回転中心座標系33は、各駆動軸の制御
値が原点のとき、原点座標32に等しいものとする。ワ
ーク原点座標系34は回転中心座標系33に固定されて
おり、駆動制御値によらず一定である。同様に、加工点
座標系35はワーク原点座標系34に固定されており、
駆動制御値によらず一定である。各座標系の相対位置姿
勢は4×4の同次行列表現を用いて以下の様に記述でき
る。 :原点座標系に対する回転軸中心座標系の姿勢を表
す3×3回転行列 T:原点座標系に対する回転軸中心座標系の平行移動
ベクトル RMT:回転軸中心座標系に対するワーク原点座標系の
姿勢を表す3×3回転行列 TMT:回転軸中心座標系に対するワーク原点座標系の
平行移動ベクトル RTP:ワーク原点座標系に対する加工点座標系の姿勢
を表す3×3回転行列 TTP:ワーク原点座標系に対する加工点座標系の平行
移動ベクトル R:原点座標系に対する工具加工点の姿勢を表す3×
3回転行列 T:原点座標系に対する工具加工点の平行移動ベクト
【0026】本実施例では、原点座標系32に対する工
具加工点座標系36、および回転中心座標系33に対す
るワーク原点座標系34は平行であるため、R=R
MT=Iとする。ここでIは3×3の単位行列を意味す
る。また、本実施例では工具加工点の三次元位置を表す
は固定である。
【0027】式(1)をR,Tについて展開するこ
とにより以下の式が得られる。 X,Y軸の駆動制御値をそれぞれX,Yとすると、T
(X,Y,O)と表せる。本実施例では倣い研磨加工を
行うため、Z軸方向への駆動は必要ないからここでは0
としている。したがって(4)式によりX軸およびY軸
の駆動制御値を計算することができる。
【0028】また、X軸を回転軸とする駆動軸の制御値
をA,Y軸を回転軸とする駆動軸の制御値をBとする。
本実施例における加工機構成では、回転駆動軸が直行し
ているので、Rは式(5)のように表せる。 ここでa,bは加工点における法線ベクトルnに直行す
る任意の単位ベクトルである。(7)式より、回転駆動
制御値A,Bが求められる。
【0029】続いて、補間パスを計算する。本設備にお
ける構成では、Y軸回りの回転方向の駆動は、スイング
が重力の影響を受ける為、オーバーシュートが出やす
く、他の回転軸に比較して移動中の追従遅れが大きく発
生する。このため、面形状に沿い、かつY軸回りの回転
動作を最少にするように補間パスを計算する制約条件を
課することにより、発生する誤差の影響を最少にする。
従来の手法では、加工機構成と加工パスの生成が分離さ
れているため、このような加工パスを設計するのは非常
に煩雑であったが、本手法のように加工機の計算部にお
いて曲面形状を同時に計算することにより、容易に実現
ができる。
【0030】上記の手順により、経由する加工点と、加
工点の補間パスを作成し、駆動制御部に指令して加工機
の各駆動軸を制御することにより、加工を実現する。以
上の手順を図5にフローチャートで示す。
【0031】図6、図7に基づいて他の実施例を説明す
る。図6に示すように、研磨加工においてはプレストン
の法則により、滞留時間と研磨除去量に比例関係がある
ことを実験によって確認している。滞留時間は研磨工具
の移動速度に反比例するため、各加工点において研磨工
具の移動速度を制御することにより、各加工点における
研磨除去量を制御することができる。研磨加工機に入力
される加工プログラムファイル22に、図7のごとく移
動速度Fnを付け加え、まず加工点に研磨工具を接触さ
せるための駆動制御値を駆動計算部により計算し、その
後、該加工点における研磨工具の移動速度を、加工プロ
グラムのデータFnに基づき、ベクトル演算によって求
め、駆動制御部に指令を出して制御する。
【0032】図8、図9に基づき別の実施例を説明す
る。図8に示す23は計測器によって鉛直方向から計測
されたワークの加工面の高さ方向誤差情報である。軸に
X座標、Y座標を持つ誤差テーブルが作成される。この
誤差テーブルをメッシュデータとして、平面近似するこ
とにより、任意のXY座標での鉛直方向ワーク誤差量2
4を計算することが出来る。本実施例では加工プログラ
ムファイル22に、各位置での誤差Enを付け加え、図
9に示すテーブル形式ファイルを作成する変換アプリケ
ーションを開発した。これにより、研磨加工機は入力さ
れたXY座標の加工点において、同じく入力された誤差
量を打ち消すように研磨条件である研磨工具の滞留時間
を係数倍し、逐次速度を制御して駆動することにより、
より能動的に誤差を減ずる加工を実行する。
【0033】図10に別の実施例を示す。図10は、加
工点の座標と、次の加工点に移動するまでに要する時間
Tnを加工順に記述した加工プログラムである。研磨加
工機は、加工点情報を先読みし、面形状計算部により加
工点間の補間パスを計算し、面に沿った距離を計算す
る。面上の加工点間の距離を、入力された時間Tnで除
算することにより、加工点間における研磨工具の移動速
度制御値を自動的に計算することができる。このように
して計算した加工パスと研磨工具の移動速度を駆動制御
部に出力し、研磨加工機を制御する。
【0034】
【発明の効果】請求項1の構成によれば、加工する面の
形状情報を算出する面形状計算手段を設け、加工パス上
の加工点座標を加工パスに沿って順に入力することによ
り、加工点における法線ベクトルの算出ができ、ワーク
の姿勢制御に必要な情報を得ることができる。これによ
り、入力する情報量を減らし、かつ加工機の構成に適し
た加工パスを自動的に計算し、精密な加工を実現でき
る。
【0035】請求項2の構成によれば、多項式と加工パ
ラメータを用いる事により、任意の加工点における法線
ベクトルの算出が容易にできる。また、面形状を入力す
る際に必要な情報が低減される。
【0036】請求項3の構成によれば、曲形状計算部を
持っているために、指示された加工点の間の軌道を面の
形状に合わせて最適になるように自動的に計算すること
ができる。また、加工点間のピッチを大きくとり入力点
数を減らしても、加工パスの精度を補償できる。
【0037】請求項4の構成によれば、加工機の駆動軸
制御値の計算と面形状の計算を同一の計算機で行ってい
る為に、加工機の駆動軸の構成および制約に対応した制
御値を、自動的に生成することが容易である。
【0038】請求項5の構成によれば、曲面形状計算部
により、与えられたXY座標からZ座標と加工点におけ
る法線ベクトルを求めることができる。加工点の空間座
標と法線方向が求められることにより、ワークの位置情
報を用いて、加工機の制御情報が求められる。また、曲
面形状を計算することにより正確に補間をすることが可
能であるため、入力する情報が最小ですむ。また、最小
限度の情報量かつ簡易な形式で加工パスを記述できるた
め、直感的に理解が容易であり、さらに本形式を応用す
るアプリケーションを開発することが容易である。
【0039】請求項6、請求項10の構成によれば、各
加工パス上の加工点において加工条件を指示することに
よって、加工パス上で能動的に研磨加工条件を制御する
ことができ、より柔軟な研磨加工が容易に実行できる。
また単純な形式であるので、作業者が直感的に理解しや
すく修正が容易に行える。
【0040】請求項7の構成によれば、与えられた各加
工点における誤差に対して、誤差を除去する研磨条件を
加えることにより、より精密な研磨加工結果を得ること
ができる。また、面のXY平面において計測した面情報
計測したデータを直接使用することができるため、作業
者の手間が減り効率的にNCプログラムを作成すること
ができる。
【0041】請求項8の構成によれば、各加工点におけ
る研磨工具の移動速度を指示し、加工パス上で同期させ
て移動速度を変化させることにより、能動的に面を補正
する研磨加工手法が容易に実現できる。
【0042】請求項9の構成によれば、各加工点間の移
動に要する時間を指定することにより、研磨工具の移動
時間を任意の位置で制御するNCプログラムを容易に作
成することができる。また、研磨工具の移動速度を指定
する手法よりも直感的に時間量を理解しやすく、作成や
変更が容易である。
【0043】請求項11の構成によれば、研磨工具をワ
ークに対して押し当てや頂点出しを行なって位置決めを
することにより、研磨工具とワークの相対位置情報を得
ることができ、研磨工具と回転軸の相対位置関係を既知
とすることで、ワークの回転軸に対する相対位置情報を
自動的に計算することができ、作業者による測定や測定
値入力の手間を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は研磨加工機の概略構成図である。
【図2】は研磨工具によるワークの位置出しを表す図で
ある。
【図3】はXY座標テーブル形式プログラムファイルで
ある。
【図4】は各座標系の位置関係相関図である。
【図5】は加工制御の処理フローチャートである。
【図6】は研磨における研磨工具の移動速度と研磨除去
量の関係図である。
【図7】は加工点のXY座標と速度条件を記述した入力
プログラムファイルである。
【図8】は研磨工具の移動速度制御とワークの高さ方向
誤差との関係を模式的に示す図である。
【図9】は加工点のXY座標と誤差量を記述した入力プ
ログラムファイルである。
【図10】は加工点のXY座標と移動時間を記述した入
力プログラムファイルである。
【図11】はワークの駆動軸に対する相対位置による移
動量の変動を表す図である。
【図12】は従来の研磨加工機の概略構成図である。
【図13】はカットアロケーションパスの生成図であ
る。 図1〜図13における符号の説明 1・・・・・・・・研磨加工機 2・・・・・・・・研磨工具 3・・・・・・・・駆動計算部 4・・・・・・・・駆動制御部 5・・・・・・・・面形状計算部 6・・・・・・・・X方向回転軸 7・・・・・・・・Y方向回転軸 8・・・・・・・・X方向直動軸 9・・・・・・・・Y方向直動軸 10・・・・・・・スイベルステージ 11・・・・・・・ワーク 12・・・・・・・加工パス 13・・・・・・・加工点 14・・・・・・・加工開始点 15・・・・・・・ワーク原点 16・・・・・・・ワーク座標系 17・・・・・・・加工面 18・・・・・・・カットアロケーションパス 19・・・・・・・研磨工具オフセット 20・・・・・・・CAD/CAM 21・・・・・・・CLデータ 22・・・・・・・XY座標テーブル形式ファイル 23・・・・・・・XY平面におけるワークの誤差等高
図 24・・・・・・・ワーク誤差量 25・・・・・・・研磨工具の移動速度 26・・・・・・・加工点間の移動時間 27・・・・・・・回転軸中心 28・・・・・・・研磨工具中心座標 29・・・・・・・ワーク突当て治具 30・・・・・・・研磨工具基準位置Y方向オフセット 31・・・・・・・研磨工具基準位置X方向オフセット 32・・・・・・・原点座標系 33・・・・・・・回転軸中心座標系 34・・・・・・・ワーク原点座標系 35・・・・・・・加工点座標系 36・・・・・・・工具加工点座標系

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】加工するワークの姿勢を制御して加工点の
    法線方向を制御する研磨加工機において、研磨する面の
    形状を計算する面形状計算部と、駆動軸の制御情報を計
    算する駆動計算部を同一の計算機上に備えており、加工
    パス上に配した加工点の座標値のみを、研磨加工順に入
    力し、各駆動軸の制御目標値を計算するために必要な面
    形状情報を面形状計算部により自動的に計算し、加工点
    間を補間して駆動軸制御部により各駆動軸を制御するこ
    とを特徴とする研磨加工機。
  2. 【請求項2】請求項1の研磨加工機において、曲面形状
    を多項式形式で記憶し、外部入力として多項式係数を加
    工点の座標値と共に入力することによって加工点におけ
    る面形状を算出し、各駆動軸の制御目標値を計算して駆
    動軸を制御することを特徴とする研磨加工機。
  3. 【請求項3】請求項1の研磨加工機において、加工点間
    の軌道を面形状に沿って補間することを特徴とする研磨
    加工機。
  4. 【請求項4】請求項1の研磨加工機において、制御対象
    である回転軸のうち1つの軸の回転動作を最小にする制
    約条件を課して加工点の補間を行うことを特徴とする研
    磨加工機。
  5. 【請求項5】請求項1の研磨加工機において、入力とし
    てワーク原点に対する加工点のXY座標値のみを、加工
    する順序で入力することにより加工パスを自動的に生成
    することを特徴とする研磨加工機。
  6. 【請求項6】請求項1の研磨加工機において、加工点に
    おける座標値と研磨加工条件が加工順に列挙された加工
    プログラムを入力することにより、加工条件を加工パス
    に沿って制御することを特徴とする研磨加工機。
  7. 【請求項7】請求項6の研磨加工機において、加工点に
    おける座標値と理想面からの誤差量を研磨加工条件とし
    て加工順に列挙された加工プログラムを入力することに
    より、誤差を補正する加工パスおよび加工条件を自動的
    に算出することを特徴とする研磨加工機。
  8. 【請求項8】請求項6の研磨加工機において、加工点に
    おける座標値と研磨工具の移動速度を研磨加工条件とし
    て加工順に列挙された加工プログラムを入力することに
    より、加工パス上で研磨工具の移動速度を制御すること
    を特徴とする研磨加工機。
  9. 【請求項9】請求項6の研磨加工機において、加工点に
    おける座標値と加工点間を移動する時間を研磨加工条件
    として加工順に列挙された加工プログラムを入力するこ
    とにより、加工パス上で移動時間を制御することを特徴
    とする研磨加工機。
  10. 【請求項10】請求項6乃至請求項9の研磨加工機に入
    力され、かつ機能させるための、加工点における座標値
    と研磨加工条件を加工順に列挙した加工プログラム。
  11. 【請求項11】請求項1の研磨加工機において、面形状
    計算部において基準点座標を定義し、研磨工具を該基準
    点に一致させることによりワークの位置情報をパラメー
    タとして取り込む機能を有する研磨加工機。
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