JP2002205652A - マニュアルカセット搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大重量で高コストの電動式移載機構を搭載す
ることなく、マニュアル搬送で手軽に製品カセットの搬
送、移載を行なう。 【解決手段】 台車１０の上に昇降ガイド機構３０を介
して昇降部材２０を設け、昇降部材２０に左右移動リン
ク機構５０を介して左右移動部材４０を支持する。ま
た、左右移動部材４０に前後移動リンク機構７０を介し
て前後移動部材６０を配置し、この前後移動部材６０に
製品カセット１００を位置決め保持するカセット保持部
８０を設ける。このマニュアルカセット搬送車では、台
車１０に電動式の移載機構を搭載しないため、全体とし
て軽量に構成でき、台車１０の搬送を軽快に行なうこと
ができる。また、各リンク機構５０、７０や昇降機構３
０等によって自在に製品カセット１００の位置決め操作
を行なうことができ、様々なセット位置に容易に対応す
ることが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば各種の製造
工場等において、半導体部品等の部品（半製品）を搭載
した製品カセットを作業者のマニュアル操作によって搬
送し、設備装置等の所定位置に移載するためのマニュア
ルカセット搬送車に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体やＬＣＤ等の生産ライ
ンにおいては、各生産装置間の製品カセットの移動に
は、完全自動化されたＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｇ
ｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｉｅ）やＲＧＶ（Ｒａｉｌ Ｇ
ｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｉｅ）、あるいは天井搬送シス
テム等が用いられている。しかしながら、こうした搬送
システムは、その機構要素や制御システムを含めた設備
投資額が高額となるものである。例えば、全設備投資額
の３％に達する場合もある。また、いったん敷設した後
では、プロセスの変更による装置配置の変更や、歩留、
生産性の向上に伴う装置自体の入れ替えに対して、再
度、搬送システムを改造する必要が生じる。

【０００３】こうした背景の中、処理回数の多さより、
処理のリードタイムの速さが要求される開発ラインや人
件費の安い海外の生産ラインにおいては、人手による製
品カセットの移動が行なわれている。しかし、昨今のウ
ェーハの大口径化に伴う製品自体の重量の増加と、製品
カセットの大型化に伴う重量の増加により、人手のみに
よる搬送と移載では、作業者への肉体的な負担増となる
ため、台車に電動の移載機構を搭載し、これを人手で走
行操作し、レバー操作等によって移載を行なうＰＧＶ
（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｉｅ）
が用いられている。このＰＧＶでは、製品カセットと設
備装置側との確実な位置関係を確保するために、設備装
置の位置決め部へＰＧＶの位置決め部を挿入、または接
触させた状態で、製品カセットの移載作業を行なうよう
になっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＰＧＶでは、台車に電動機構を搭載しているため、その
重量が大きいものであった。このため、設備装置の位置
決め部へＰＧＶの位置決め部を合わせる際に台車の位置
を操作することが容易でなく、作業性が悪いという問題
がある。また、設備装置とＰＧＶとの位置決めができた
後も、ＰＧＶを設備装置側にセットさせたものの、カセ
ットや各ユニットの寸法、位置精度のばらつきから、移
載トラブルが発生し、設備装置の生産性低下の原因とな
る。なお、近年では自動化を前提とした生産システムの
構築が主流となっているため、マニュアル搬送を前提と
した作業性の高いＰＧＶを開発するという着想が持ちに
くいという実情があり、有効な開発が進まないというの
が現状である。

【０００５】そこで本発明の目的は、大重量で高コスト
の電動式移載機構を搭載することなく、マニュアル搬送
で手軽に製品カセットの搬送、移載を行なうことができ
る投資効率の高いマニュアルカセット搬送車を提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、手押し操作によって走行可能な台車と、前記
台車上に配置された昇降部材と、前記昇降部材を昇降方
向にガイドする昇降ガイド機構と、前記昇降部材上に第
１リンク機構を介して設けられ、前記第１リンク機構の
変位によって横方向に移動する第１移動部材と、前記第
１移動部材に第２リンク機構を介して設けられ、前記第
２リンク機構の変位によって前後方向に移動する第２移
動部材と、前記第２移動部材に設けられ、製品カセット
を位置決め保持するカセット保持部とを有することを特
徴とする。

【０００７】本発明のマニュアルカセット搬送車では、
製品カセットを位置決め保持したカセット保持部は、昇
降ガイド機構を介して昇降部材が昇降することによって
高さ方向に移動し、また、第１、第２リンク機構を介し
て第１、第２移動部材が横方向及び前後方向に移動する
ことにより、ほぼ水平面方向に移動する。そこで、昇降
部材、第１、第２移動部材をマニュアル操作によって適
宜に変位させ、カセット保持部を任意の位置に操作する
ことができ、製品カセットを例えば設備装置等の所定位
置に設けられた位置決め部に自在にセットすることがで
きる。以上のように、本発明のマニュアルカセット搬送
車は、電動式による移載機構を用いることなく、簡易で
軽量なリンク機構等によって製品カセットを任意の位置
に移動し、位置決め部にセットできるので、台車の搬送
を軽快に行なうことができ、かつ、自在に製品カセット
の位置決め操作を行なうことができ、投資効率の高いマ
ニュアルカセット搬送車を提供できる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明におけるマニュアル
カセット搬送車の実施の形態について説明する。図１
は、本発明の第１の実施の形態によるマニュアルカセッ
ト搬送車の具体例を示す側面図である。また、図２は、
図１に示すマニュアルカセット搬送車の上面図であり、
図２（Ａ）は製品カセットを例えば搬送する時の状態を
示し、図２（Ｂ）は製品カセットを移載する時の状態を
示している。図１に示すように、本例のマニュアルカセ
ット搬送車は、台車１０と、昇降部材２０と、昇降ガイ
ド機構３０と、左右移動部材（第１移動部材）４０と、
左右移動リンク機構（第１リンク機構）５０と、前後移
動部材（第２移動部材）６０と、前後移動リンク機構
（第２リンク機構）７０と、カセット保持部８０とを有
している。

【０００９】台車１０は、例えば１人の作業者による手
押し操作によって走行可能なものである。なお、台車１
０の下面に設けられた４つのキャスタ１２は、水平方向
に回転自在に設けられており、台車１０の走行方向を適
宜に変更できるものとなっている。昇降部材２０は、台
車１０上に水平に配置される板状のものであり、昇降ガ
イド機構３０によって台車１０上に昇降自在に支持され
ている。昇降ガイド機構３０は、台車１０に立設された
４つのガイド部材３２に、昇降部材２０に設けた複数の
シャフト部材３４を昇降方向（図中矢印Ａ方向）にスラ
イド自在に嵌合させたものである。なお、本例において
は、ガイド部材３２とシャフト部材３４との間には、昇
降方向に摩擦力を付与する摩擦部材（図示せず）が配置
されており、昇降部材２０等の部材を一定の摩擦力によ
って支持するようになっている。したがって、昇降部材
２０等の昇降位置は、作業者の操作によって調整された
状態で、摩擦部材の摩擦力により保持される。

【００１０】また、左右移動部材４０は、左右移動リン
ク機構５０を介して昇降部材２０の上に左右方向（図中
矢印Ｂ方向）に移動可能に支持されたものである。ま
た、左右移動リンク機構５０は、水平方向に互いに平行
な一対のリンク５２Ａ、５２Ｂを昇降部材２０の支持部
２２と左右移動部材４０との間に設けたものである。す
なわち、各リンク５２Ａ、５２Ｂは、それぞれ両端部が
昇降部材２０の支持部２２と左右移動部材４０に水平方
向に回動自在に軸着されており、各リンク５２Ａ、５２
Ｂが平行な状態で水平方向に揺動することにより、台車
１０の左右方向に左右移動部材４０を移動するようにな
っている。なお、各リンク５２Ａ、５２Ｂの軸着部は、
その回動方向に摩擦力を有する軸受け構造となってお
り、各リンク５２Ａ、５２Ｂの揺動位置は、一定の摩擦
力によって保持されるようになっている。

【００１１】また、前後移動部材６０は、前後移動リン
ク機構７０を介して左右移動部材４０に前後方向（図中
矢印Ｃ方向）に移動可能に支持されたものである。前後
移動リンク機構７０は、水平方向に互いに交差した一対
のリンク７２Ａ、７２Ｂを左右移動部材４０と前後移動
部材６０との間に設けたものである。すなわち、各リン
ク７２Ａ、７２Ｂは、中途部で水平方向に回動自在に結
合されるとともに、各リンク７２Ａ、７２Ｂのうち一方
のリンク７２Ａは、左右移動部材４０側の端部が左右移
動部材４０に水平方向に回動自在に軸着され、前後移動
部材６０側の端部が前後移動部材６０に水平方向に回動
自在で、かつ、左右方向にスライド自在に結合されてい
る。

【００１２】また、他方のリンク７２Ｂは、左右移動部
材４０側の端部が左右移動部材４０に水平方向に回動自
在で、かつ、左右方向にスライド自在に結合され、前後
移動部材６０の端部が前後移動部材６０に水平方向に回
動自在に軸着されている。したがって、このような前後
移動リンク機構７０では、各リンク７２Ａ、７２Ｂを水
平方向に揺動させて、各リンク７２Ａ、７２Ｂの交差角
度を拡縮方向に操作することで、左右移動部材４０に対
し、前後移動部材６０を前後方向に移動するようになっ
ている。なお、各リンク７２Ａ、７２Ｂの軸着部は、そ
の回動方向に摩擦力を有する軸受け構造となっており、
各リンク７２Ａ、７２Ｂの揺動位置は、一定の摩擦力に
よって保持されるようになっている。また、前後移動部
材６０の端部には、操作部材９０が設けられており、各
リンク機構５０、７０の状態を一括して操作できるよう
になっている。

【００１３】また、カセット保持部８０は、製品カセッ
ト１００の下面の両側コーナ部を受け止める一対の受け
部８２Ａ、８２Ｂを有し、これら受け部８２Ａ、８２Ｂ
によって製品カセット１００を位置決め保持するもので
あり、図示しない設備装置等の位置決め部に製品カセッ
ト１００をセットできる構造となっている。なお、この
ようなカセット保持部８０は、移載する製品カセット１
００の形状や使用する設備装置等の位置決め部の構造に
対応して適宜に交換できるものである。また、製品カセ
ット１００には、両側に取っ手１０２が設けられてお
り、この取っ手１０２によって製品カセット１００の着
脱を行なうようになっている。

【００１４】以上のような構成のマニュアルカセット搬
送車では、電動式による移載機構を用いることなく、簡
易で軽量なリンク機構等によって製品カセットを任意の
位置に移動できる。したがって、台車１０に電動式の移
載機構を搭載しないため、全体として軽量に構成でき、
台車１０の搬送を軽快に行なうことができる。また、各
リンク機構５０、７０や昇降機構３０等によって自在に
製品カセット１００の位置決め操作を行なうことがで
き、様々なセット位置に容易に対応することが可能であ
る。したがって、投資効率の高いマニュアルカセット搬
送車を提供できる。

【００１５】図３は、本発明の第２の実施の形態による
マニュアルカセット搬送車の具体例を示す側面図であ
る。このマニュアルカセット搬送車は、図１及び図２に
示す構成に加えて、昇降部材２０を昇降操作する際の重
量を相殺するカウンタウエイト機構１１０を設けたもの
である。すなわち、このカウンタウエイト機構１１０
は、昇降部材２０の昇降動作に対応して滑車１１２を介
してウエイト１１４が昇降動作することにより、昇降部
材２０等の重量を相殺するものである。このようなカウ
ンタウエイト機構１１０を設けることにより、上述した
昇降ガイド機構３０において、シャフト部材３４の昇降
位置を保持するための摩擦部材の摩擦力を小さくして
も、シャフト部材３４の昇降位置を保持することが可能
となり、その分、昇降部材２０を昇降する際に必要とな
る操作力を小さくすることが可能となる。したがって、
図１及び図２に示す第１の実施の形態によるマニュアル
カセット搬送車に比べて軽快な昇降操作を行なうことが
可能となる。なお、搬送する製品カセットの重量や作業
性に合わせて、ウエイト１１４の重量を適宜にコントロ
ールするようにすれば、作業者への負担を最小限にでき
るばかりか、生産リードタイムの短縮のための製品カセ
ット内の数量変更による重量の変更や材料の変更等によ
る全体重量の変更等にも柔軟に対応することが可能であ
る。

【００１６】以上のような本発明の各実施の形態による
マニュアルカセット搬送車によれば、さらに以下のよう
な効果を得ることが可能である。 （１）従来は、搬送車を設備装置側の位置決め機構部に
接触させるため、搬送車を左右、前後に動かす必要があ
ったが、上述した本実施の形態によるマニュアルカセッ
ト搬送車では、搬送車自体は設備装置の前にラフに位置
付けし、上述した各移動機構を操作して製品カセットと
設備装置との位置決めを行なえばよく、搬送車自体を位
置決めするのに必要な労力を軽減することが可能とな
る。 （２）最終的な製品カセットの設備装置側へのセット
は、作業者がマニュアル操作で行なえ、柔軟に位置決め
することが可能であるので、機械精度のばらつきを気に
することなく、信頼性の高い作業が可能となる。 （３）製品カセットを直接作業者が運搬する場合に比べ
て、製品カセットの重量による作業者の負担を軽減で
き、生産性が向上する。 （４）自動搬送による投資効果の期待できない生産ライ
ンにおいて、マニュアル搬送を採用し、生産性が向上で
きる。 なお、以上の例において、リンク機構等の具体的構成に
ついては、本発明の趣旨に沿って、適宜変形が可能なも
のである。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように本発明のマニュアル
カセット搬送車では、手押し操作によって走行可能な台
車と、前記台車上に配置された昇降部材と、前記昇降部
材を昇降方向にガイドする昇降ガイド機構と、前記昇降
部材上に第１リンク機構を介して設けられ、前記第１リ
ンク機構の変位によって横方向に移動する第１移動部材
と、前記第１移動部材に第２リンク機構を介して設けら
れ、前記第２リンク機構の変位によって前後方向に移動
する第２移動部材と、前記第２移動部材に設けられ、製
品カセットを位置決め保持するカセット保持部とを有す
ることを特徴とする。このため、本発明のマニュアルカ
セット搬送車では、電動式による移載機構を用いること
なく、簡易で軽量なリンク機構等によって製品カセット
を任意の位置に移動し、位置決め部にセットできるの
で、台車の搬送を軽快に行なうことができ、かつ、自在
に製品カセットの位置決め操作を行なうことができ、投
資効率の高いマニュアルカセット搬送車を提供できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態によるマニュアルカ
セット搬送車の具体例を示す側面図である。

【図２】図１に示すマニュアルカセット搬送車の上面図
であり、図２（Ａ）は製品カセットを例えば搬送する時
の状態を示し、図２（Ｂ）は製品カセットを移載する時
の状態を示している。

【図３】本発明の第２の実施の形態によるマニュアルカ
セット搬送車の具体例を示す側面図である。

【符号の説明】

１０……台車、２０……昇降部材、３０……昇降ガイド
機構、４０……左右移動部材（第１移動部材）、５０…
…左右移動リンク機構（第１リンク機構）、６０……前
後移動部材（第２移動部材）、７０……前後移動リンク
機構（第２リンク機構）、８０……カセット保持部、９
０……操作部材、１００……製品カセット、１１０……
カウンタウエイト機構 １１２……滑車、１１４……ウ
エイト。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 手押し操作によって走行可能な台車と、 前記台車上に配置された昇降部材と、 前記昇降部材を昇降方向にガイドする昇降ガイド機構
   と、 前記昇降部材上に第１リンク機構を介して設けられ、前
   記第１リンク機構の変位によって横方向に移動する第１
   移動部材と、 前記第１移動部材に第２リンク機構を介して設けられ、
   前記第２リンク機構の変位によって前後方向に移動する
   第２移動部材と、 前記第２移動部材に設けられ、製品カセットを位置決め
   保持するカセット保持部と、 を有することを特徴とするマニュアルカセット搬送車。
2. 【請求項２】 前記昇降部材を昇降操作する際の重量を
   相殺するカウンタウエイト機構を有することを特徴とす
   る請求項１記載のマニュアルカセット搬送車。
3. 【請求項３】 前記昇降部材、第１リンク機構、第１移
   動部材、第１リンク機構、及び第２移動部材を一括して
   手動操作する操作部材を有することを特徴とする請求項
   ２記載のマニュアルカセット搬送車。
4. 【請求項４】 前記昇降ガイド機構は、前記台車上に立
   設した複数のガイド部材に、前記昇降部材に設けた複数
   のシャフト部材を昇降方向にスライド自在に嵌合させた
   ものであることを特徴とする請求項１記載のマニュアル
   カセット搬送車。
5. 【請求項５】 前記第１リンク機構は、水平方向に互い
   に平行な一対のリンクを前記昇降部材と第１移動部材と
   の間に設けたものであることを特徴とする請求項１記載
   のマニュアルカセット搬送車。
6. 【請求項６】 前記第２リンク機構は、水平方向に互い
   に交差した一対のリンクを前記第１移動部材と第２移動
   部材との間に設けたものであることを特徴とする請求項
   １記載のマニュアルカセット搬送車。