JP2002202270A - プリント基板検査装置 - Google Patents

プリント基板検査装置

Info

Publication number
JP2002202270A
JP2002202270A JP2000399194A JP2000399194A JP2002202270A JP 2002202270 A JP2002202270 A JP 2002202270A JP 2000399194 A JP2000399194 A JP 2000399194A JP 2000399194 A JP2000399194 A JP 2000399194A JP 2002202270 A JP2002202270 A JP 2002202270A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed circuit
circuit board
transparent member
plate
board inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000399194A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4360584B2 (ja
Inventor
Tsutomu Iwata
力 岩田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Via Mechanics Ltd filed Critical Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority to JP2000399194A priority Critical patent/JP4360584B2/ja
Publication of JP2002202270A publication Critical patent/JP2002202270A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4360584B2 publication Critical patent/JP4360584B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プリント基板の板厚に拘わらず、撮像装置の
焦点の位置を適切に設定すること。 【解決手段】 下側プレート60を支持装置20により
上方に付勢するようにして支持する。また、上側プレー
ト70を回転自在に支持する。上側プレート70を水平
にしたときの位置を基準面31aにより位置決めした状
態で、ローラ38により上側プレート70を下方に付勢
して固定する。この状態で下側プレート60を上昇さ
せ、プリント基板1を上側プレート70に対して付勢す
る。上側プレート70の位置は常に一定であるから、プ
リント基板1の板厚が変わっても、撮像装置8の位置を
同じにすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板に加
工された穴の位置や形状等を検査するためのプリント基
板検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】携帯電話の急速な普及や、ビルドアップ
基板の実用化等に伴い、プリント基板に加工する穴の小
径化(φ0.05〜φ0.1)と狭ピッチ化が進み、一
枚の基板に加工する穴の数が数万個程度になっている。
このため、作業者が目視により、プリント基板に加工さ
れた穴の位置や穴の形状等の検査(以下、単に「穴の検
査」という。)をして品質を維持することは困難であ
り、プリント基板検査装置を用いて検査するようになっ
てきている。
【0003】プリント基板検査装置には、接触式のもの
と非接触式のものとがあるが、一般に、非接触式のもの
の方が検査時間の短縮や検査精度の安定化を図ることが
できる。撮像装置によりプリント基板を撮像し、撮像デ
ータを画像処理して穴を検査する非接触式のプリント基
板検査装置には、プリント基板の表側又は裏側の一方か
ら光を照射し、ハーフミラーを使用することにより、光
の照射側で反射光を受光する反射タイプと、他方(裏又
は表)の側で加工された穴から漏れ出る光を受光する透
過タイプとがある。
【0004】透過タイプのプリント基板検査装置の場
合、プリント基板を載置するテーブルを透光性のあるも
ので形成し、光源をテーブルの下側に配置し、テーブル
の上側に撮像装置を配置する。板厚の異なるプリント基
板を検査することができるように、撮像装置は、上下方
向に位置決め自在に支持される。
【0005】プリント基板の反りやゆがみにより、焦点
の位置がずれると、測定結果の信頼性が低下する。そこ
で、プリント基板を透光性のあるプレートにより上部か
ら押え、プリント基板をテーブルとプレートの間に挟み
込む。そして、この状態、すなわちプリント基板の反り
やゆがみを矯正した状態で、撮像装置を上下に調節して
焦点の位置を調節し撮像する。テーブルやプレートの材
質としては、光の透過率に優れるガラスが採用される。
【0006】ところで、プリント基板の厚さは製品毎に
異なる。このため、測定精度を向上させるためには、板
厚が変わる毎に焦点の位置を調節する必要がある。しか
し、この作業は時間を要する作業である。そこで、特開
平08−155894号公報では、プリント基板の厚さ
を記憶する記憶装置を設け、予め入力されたプリント基
板の板厚データに基づいて焦点の位置を調節するように
している。この技術によれば、プリント基板の板厚が変
わっても、作業者が手動で焦点の位置を調節する必要が
なく、作業能率を向上させることができた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、同一の板厚と
して設定されるプリント基板であっても、その板厚には
誤差によるばらつきがある。従って、焦点の位置を公称
板厚に基づいて設定しても、実際に焦点の位置が適切に
設定されるとは限らない。このため、測定データの信頼
性が低下し、検査精度を向上させることができなかっ
た。
【0008】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、プリント基板の板厚が変わっても、焦点の
位置(即ち撮像装置とプリント基板表面との距離)を適
切に設定することができるプリント基板検査装置を提供
することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、図4に示すように、検査すべきプリント基
板(1)を載置する載置部材(61)と、該載置部材
(61)に載置されたプリント基板(1)を撮像する撮
像手段(8)とを備え、該撮像手段(8)による撮像結
果に基づいて前記プリント基板(1)に形成された穴を
検査するプリント基板検査装置において、前記載置部材
(61)に載置されたプリント基板(1)の表面を覆う
透明部材(71)と、前記透明部材(71)を固定する
固定機構(31,38,74)と、前記載置部材(6
1)を前記透明部材(71)に対して接近・離反させる
接近・離反機構(20,35,55,63,64)と、
を備え、前記撮像手段(8)は、前記固定機構(31,
38,74)を介して固定された透明部材(71)に対
する一定位置で、該透明部材(71)を透過して撮像を
行うことを特徴とするプリント基板検査装置にある。
【0010】また、前記載置部材(61)は透明な部材
で形成し、前記載置部材(61)を透過して前記プリン
ト基板(1)を照射する光源(10)を設けたことを特
徴とする。
【0011】また、前記接近・離反機構は、前記載置部
材(61)を前記透明部材(71)に向けて付勢する付
勢手段(20)を有することを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の形態に係
るプリント基板検査装置の斜視図である。プリント基板
1を載置するテーブル2は、1対の直線案内装置3に支
持され、ベッド4上をX軸(前後)方向に位置決め自在
である。クロスレール5は、ベッド4に固定され、ベッ
ド4と一体である。Y軸テーブル6は、クロスレール5
上をX軸と直角のY軸(左右)方向に移動自在である。
Z軸テーブル7は、Y軸テーブル6上をZ軸(上下)方
向に移動自在である。撮像装置8(撮像手段)はZ軸テ
ーブル7に固定されている。制御装置9は、各部の動作
を制御する。
【0013】図2は、プリント基板検査装置の一部側面
断面図、図3は要部平面図である。バックライト10
(光源)は、ベッド4に固定されている。テーブル2上
面の中央部には、前後方向に2対の軸受装置20が配置
されている。また、テーブル2上面の前側には、駆動ユ
ニット30を構成するガイドブロック31とスタンド4
5が配置されている。ガイドブロック31には、基準面
31aが形成されている。テーブル2上面の後側には、
駆動ユニット50を構成するガイドブロック51と支持
台58が配置されている。
【0014】軸受装置20は、下側プレート60を支持
している。下側プレート60は、透明な下側ガラス板6
1(載置部材)と、下側ガラス板61を保持する支持枠
62とから構成されている。支持枠62の下側表面の前
後には位置決めブロック63と、位置決めブロック64
が固定されている。下側ガラス板61の上側表面には3
本の位置決めピン65a〜65cが固定されている。支
持台58は、回転軸受け59により上側プレート70を
回転自在に支持している。
【0015】クロスレール5の背面には、支持台90
と、支持台91が固定されている。支持台90には、回
転軸受け92を介してシリンダ93が、支持台91には
回転軸受け94を介してアーム95が、それぞれ回転自
在に支持されている。アーム95の一端にはカムフォロ
ア96が、他端には軸受け97が配置されている。シリ
ンダ93のロッドの端部は、軸受け97を介してアーム
95の一端に回転自在に支持されている。そして、図示
のようにシリンダ93のロッドが最も突出していると
き、アーム95は軸受け97を下側にして僅かに左上が
りに位置決めされている。
【0016】図4により、さらに詳細に説明する。図4
は、要部を断面した側面図である。軸受装置20(付勢
手段)は、ガイドホルダ21と、ピン22と、ばね23
と、盲栓24および軸受25とから構成されている。ガ
イドホルダ21はテーブル2に固定されている。ピン2
2は軸受25により上下方向移動自在に支持され、ばね
23により上方に付勢されている。
【0017】位置決めブロック63、64には、傾斜面
63a、64aと平面63b、64bを備える穴63
c、64cがそれぞれ形成されている。傾斜面63aと
傾斜面64aはそれぞれ外側に拡大するように形成され
ている。また、平面63bと平面64bは同一平面にな
るように位置決めされている。
【0018】上側プレート70は、上側ガラス板71
(透明部材)と、上側ガラス板71を保持する支持枠7
2とから構成されている。支持枠72の端部には、ロッ
ド73が固定されている。支持枠72の前端側には、ク
ランプ用ブロック74が固定されている。クランプ用ブ
ロック74には、傾斜面75aを備える穴75cが形成
されている。
【0019】スタンド45に固定されたシャフト46に
はばね47が配置されている。ガイドブロック31には
2個のステー32を介してシリンダ33が支持されてい
る。シリンダ33のシリンダロッド34は段付きに形成
され、先端にローラ35を回転自在に支持している。ロ
ーラ35は、平面63bに当接している。
【0020】シリンダロッド34の小径部には、ガイド
ピース36が係合している。ガイドピース36は、ばね
47により図の左方に付勢されている。ガイドピース3
6に固定されたシャフト37は、先端にローラ38を回
転自在に支持している。ローラ38は穴75cに対向す
るように位置決めされ、ローラ35が平坦部63bに当
接している時には、ローラ38は穴75cから離れてい
る。
【0021】ガイドブロック51には、2個のステー5
2を介してシリンダ53が支持されている。シリンダロ
ッド54は、先端にローラ55を回転自在に支持してい
る。ローラ55は、平坦部64bに当接している。
【0022】次に、この実施の形態の動作を説明する。
予め、撮像装置8を上方に退避させておき、シリンダ9
3を動作させてロッドを縮める。すると、図2において
矢印で示すように、アーム95が反時計回りに回転する
ことにより、カムフォロア96がロッド73を付勢する
結果、上側プレート70は回転軸受け59を中心として
回転し、図2、4に2点鎖線で示すように前側が開く。
この際、上側プレート70が水平位置から開口位置まで
移動する速度は、アーム95の円運動により決まり、速
度0から徐々に上昇して最高速度に達した後、徐々に減
速し、速度0に近くなって停止する。
【0023】この状態で、プリント基板1を下側ガラス
板61上に載置する。このとき、プリント基板1を基準
ピン65a〜65cの3点あるいは基準ピン65a、6
5bの2点に押し当て位置決めする。
【0024】プリント基板1のセットが終了したら、シ
リンダ93を動作させ、上側プレート70を水平状態に
戻す。すると、上側プレート70は、クランプ用ブロッ
ク74が基準面31aに当接して停止する。なお、この
状態では、上側ガラス板71の下面とプリント基板1の
表面との間に隙間が形成されている。
【0025】次にシリンダ33、53を動作させ、シリ
ンダロッド34、54すなわちローラ35とガイドピー
ス36を図の左方向に、またローラ55を図の右方向
に、それぞれ移動させる。ローラ35とローラ55がそ
れぞれ平面63b、64bから傾斜面63a、64aに
移動すると、ばね23により下側プレート60は上昇を
開始し、プリント基板1が上側板ガラス71の下面に密
着するまで上昇する。こうして上記下側ガラス板61に
載置されたプリント基板1の表面は上側ガラス板71で
覆われた。なお、上述した位置決めブロック63,64
及びローラ35,55及び軸受装置20により、下側ガ
ラス板61を上側板ガラス71に対して接近・離反させ
る接近・離反機構が構成されている。
【0026】一方、ガイドピース36が図の左方向に移
動することにより、ローラ38が傾斜面75aに当接
し、図5に示すように、ばね47が付勢する力の分力に
より上側プレート70を下方に付勢して、上側プレート
70をガイドブロック31に固定する。これにより上側
ガラス板71が固定される。この結果、プリント基板1
は上側プレート70と下側プレート60により確実に挟
持される。なお、上述したクランプ用ブロック74及び
ローラ38及びガイドブロック31により、上側ガラス
板71を固定する固定機構が構成されている。
【0027】そこで、撮像装置8を撮像位置まで下降さ
せ、テーブル2を移動させてプリント基板1を撮像す
る。撮像装置8の撮像位置はプリント基板1の板厚に拘
わらず常に一定としている。撮像装置8による撮像結果
に基づいて公知の方法によりプリント基板1の穴の状態
を判定する。その後、上記と逆の動作をさせ、プリント
基板1を取り出して穴の検査を完了する。
【0028】上記構成により、プリント基板1の上面が
常に一定高さ位置に保たれるので、プリント基板1の板
厚に拘わらず、撮像装置8とプリント基板1の表面との
距離は一定であるから、撮像装置8の焦点位置は常に最
適の位置に決定され、信頼性に優れる測定結果を得るこ
とができる。また、プリント基板1の板厚を測定する必
要が無いので作業能率を向上させることもできる。
【0029】なお上述した実施形態では透過タイプのプ
リント基板検査装置を例に挙げて説明したが、本発明は
透過タイプのみに限定されない。例えば、プリント基板
の表側又は裏側の一方から光を照射し、ハーフミラーを
使用することにより、光の照射側で反射光を受光する反
射タイプのプリント基板検査装置にも採用することがで
きる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように本発明のうち請求項
1によれば、プリント基板の上面の位置を常に一定高さ
位置に保つから、プリント基板の板厚に関わらず、撮像
手段とプリント基板の表面との距離は同じである。従っ
て、撮像手段の焦点位置は常に最適の位置に決定され、
信頼性に優れる測定結果を得ることができる。また、プ
リント基板の板厚を測定する必要がないから、作業能率
を向上させることができる。
【0031】また本発明のうち請求項2によれば、透過
タイプの好適なプリント基板検査装置が提供される。
【0032】また本発明のうち請求項3によれば、検査
すべきプリント基板の変形や反り等を効果的に矯正して
検査を行うことができるので検査精度が高い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るプリント基板検査装置の斜視図で
ある。
【図2】本発明に係るプリント基板検査装置の一部側面
断面図である。
【図3】本発明に係るプリント基板検査装置の要部平面
図である。
【図4】本発明に係るプリント基板検査装置の要部を断
面した側面図である。
【図5】本発明の動作を説明する図である。
【符号の説明】
1 プリント基板 20 支持装置 31a 基準面 38 ローラ 60 下側プレート 70 上側プレート

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査すべきプリント基板を載置する載置
    部材と、該載置部材に載置されたプリント基板を撮像す
    る撮像手段とを備え、該撮像手段による撮像結果に基づ
    いて前記プリント基板に形成された穴を検査するプリン
    ト基板検査装置において、 前記載置部材に載置されたプリント基板の表面を覆う透
    明部材と、 前記透明部材を固定する固定機構と、 前記載置部材を前記透明部材に対して接近・離反させる
    接近・離反機構と、を備え、 前記撮像手段は、前記固定機構を介して固定された透明
    部材に対する一定位置で、該透明部材を透過して撮像を
    行う、 ことを特徴とするプリント基板検査装置。
  2. 【請求項2】 前記載置部材は透明な部材で形成し、 前記載置部材を透過して前記プリント基板を照射する光
    源を設けた、 ことを特徴とする請求項1記載のプリント基板検査装
    置。
  3. 【請求項3】 前記接近・離反機構は、前記載置部材を
    前記透明部材に向けて付勢する付勢手段を有する、 ことを特徴とする請求項1又は2記載のプリント基板検
    査装置。
JP2000399194A 2000-12-27 2000-12-27 プリント基板検査装置 Expired - Fee Related JP4360584B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000399194A JP4360584B2 (ja) 2000-12-27 2000-12-27 プリント基板検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000399194A JP4360584B2 (ja) 2000-12-27 2000-12-27 プリント基板検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002202270A true JP2002202270A (ja) 2002-07-19
JP4360584B2 JP4360584B2 (ja) 2009-11-11

Family

ID=18864015

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000399194A Expired - Fee Related JP4360584B2 (ja) 2000-12-27 2000-12-27 プリント基板検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4360584B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114641140A (zh) * 2022-04-13 2022-06-17 吉安裕泓科技有限公司 一种印制电路板凹槽的自动化加工装置及加工工艺

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114641140A (zh) * 2022-04-13 2022-06-17 吉安裕泓科技有限公司 一种印制电路板凹槽的自动化加工装置及加工工艺
CN114641140B (zh) * 2022-04-13 2023-03-10 吉安裕泓科技有限公司 一种印制电路板凹槽的自动化加工装置及加工工艺

Also Published As

Publication number Publication date
JP4360584B2 (ja) 2009-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI333544B (en) Substrate inspection apparatus
JP4866782B2 (ja) 基板クランプ機構及び描画システム
JP4842422B2 (ja) シート材料の検査方法
KR20150005522A (ko) 노광 묘화 장치 및 노광 묘화 방법
JP3504623B2 (ja) スクリーン印刷装置及びスクリーン製版セット方法
JP4224268B2 (ja) 電子回路部品装着機、ならびにそれの装着位置精度検査方法および装置
JP2003098122A (ja) ガラス基板の外観検査装置
JP5906398B2 (ja) スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置におけるマスク位置決め方法
TW442356B (en) Plate shaped workpiece conveying device
JP4942188B2 (ja) 基板クランプ機構及び描画システム
JP4360584B2 (ja) プリント基板検査装置
JP2846176B2 (ja) プリント基板検査方法および検査装置
CN109065469B (zh) 一种带激光切割功能的ic芯片光学抽检机
JP2009251529A (ja) 点灯検査装置
TWI233150B (en) Correction method of curved mask and exposure device having correction mechanism of the same
KR20130022126A (ko) 프로브 유닛 및 이를 포함하는 검사 장치
KR102242093B1 (ko) 메탈 마스크 검사 장치
WO2017221825A1 (ja) ガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置
CN111220623B (zh) 基板检测装置及基板检测方法
JP3481144B2 (ja) 面取り幅測定装置
JP3651718B2 (ja) スクリーン印刷装置及び印刷方法
KR102649699B1 (ko) 메탈 마스크 검사기
TW201106441A (en) Working table with penetrating lighting
JP2013164444A (ja) 表示用パネル基板のプロキシミティ露光装置とその方法
JP2000046747A (ja) 液晶基板の外観検査方法および装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060307

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081030

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081111

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090804

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090807

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4360584

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120821

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130821

Year of fee payment: 4

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees