JP2002198381A - ワーク移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ペレット等のワークをワークピックア
ップポジションからワークリリースポジションまで高速
で移載する。 【解決手段】 Ｘ−Ｙ駆動盤２にアーム回転軸3を回転
自在に取り付け、アーム回転軸３にアーム４を取り付
け、アーム４の両端部にアーム4の軸方向に移動自在で
かつ回転自在なヘッド５ａ，５ｂを取り付け、一方のヘ
ッド５ａ（または５ｂ）がワークピックアップポジショ
ンＰ１でワークＷを真空吸着するとともに、他方のヘッ
ド５ｂ（または５ａ）がワークリリースポジションＰ２
でワークＷをボンディングするようにし、かつアーム回
転軸３の回転中心が両ヘッド５ａ，５ｂの中心を結ぶ線
分Ｌの中間点（Ｌ１＝Ｌ２）になるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワーク移載装置に関
し、詳しくは半導体ペレット等のワークをワークピック
アップポジションでピックアップし、リリースポジショ
ンでリードフレーム等のランドにボンディングするダイ
ボンダに好適するワーク移載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置は、一般に、ウェーハに多数
の半導体素子を形成し、これら多数の素子を形成したウ
ェーハを粘着シートに貼り付けてダイシングにより個々
の素子（以下、ペレットという）に分割し、分割された
ペレットをリードフレームやBGA(Ball Grid Array)基
板等のランドにボンディングし、樹脂等で封止し、さら
にリードフレームやBGA基板等を切断して製造されてい
る。

【０００３】上記のボンディングにおいて、ウェーハか
らダイシングされたペレットは、粘着シートに貼り付け
られたまま、移載装置によりピックアップする場合と、
粘着シートから剥離したペレットを一旦整列冶具に整列
して、この整列冶具から移載装置によりピックアップす
る場合とがある。

【０００４】そして上記いずれの場合も、一般に、図６
に示すような移載装置を用いている。図６において、４
０はワーク移載装置で、固定板４１に移動体４２がＬＭ
（直進ガイド）またはボールネジ４３に沿って図示しな
いサーボモータ等によって水平方向に移動自在に取り付
けられている。この移動体４２には、第２の移動体４４
が同じくＬＭ（直進ガイド）またはボールネジに沿って
図示しないサーボモータ等によって垂直方向に移動自在
に取り付けられている。そして、この第２の移動体４４
には、真空系に接続されたワーク吸着ヘッド４５が取り
付けられている。

【０００５】４６は粘着シートに貼り付けられた状態や
整列冶具に整列された多数のワークＷを支持してX−Y
方向に移動自在なX−Yテーブルである。４７は樋状をし
たレールで、例えばランド４９を有するリードフレーム
４８を載置して、紙面に対して直行方向に間欠的にピッ
チ搬送するものである。

【０００６】次に、このワーク移載装置４０の動作につ
いて説明する。まず、図示しないサーボモータ等によっ
て第１の移動体４２が図示右方に駆動されて、ワーク吸
着ヘッド４５がX−Yテーブル４６上の最初にピックアッ
プすべきワークＷ１の上方に位置するように移動する。

【０００７】次に、第２の移動体４４が下降して、ワー
ク吸着ヘッド４５がワークＷ１を真空吸着する。ワーク
吸着ヘッド４５がワークＷ１を真空吸着すると、第２の
移動体４４が上昇して、第１の移動体４２がサーボモー
タ等によって図示左方に駆動される。図６は、この最初
のワークＷ１の移動途中における様子を示している。

【０００８】ワーク吸着ヘッド４５がリードフレーム４
８のランド４９上に達すると、第２の移動体４４が下降
して、ワークＷ１をランド４９にボンディングする。ワ
ークＷ１がランド４９にボンディングされると、第２の
移動体４４が上昇し、第１の移動体４２が図示右方に移
動を開始する。

【０００９】この第１の移動体４２が移動中に、Ｘ−Ｙ
テーブル４６が図示左方（−Ｘ方向）に１ピッチ分移動
して、第２番目のワークＷ２がワークピックアップポジ
ションＰ１に位置させられる。また、レール４７上のリ
ードフレーム４８が紙面の直角方向に１ピッチ分移動し
て、第２番目のランド４９がワークリリースポジショ
ン、即ちボンディングポジションＰ２に位置するように
なる。

【００１０】ワーク吸着ヘッド４５が第２番目のワーク
Ｗ２の上方に達すると、第１の移動体４２が停止し、第
２の移動体４４が下降して、ワーク吸着ヘッド４５が第
２番目のワークＷ２を真空吸着する。

【００１１】以下、このような動作を繰り返して、Ｘ−
Ｙテーブル４６上のワークＷが、順次リードフレーム４
８上のランド４９にボンディングされる。

【００１２】第１列目のワークＷのボンディングが全て
終了すると、Ｘ−Ｙテーブル４６がＹ方向に１ピッチ分
移動して、上記と同様に第２列目のボンディングを行
う。また、レール４７上のリードフレーム４８は連続搬
送されており、第１番目のリードフレーム４８における
最後のランド４９のボンディングが終了すると、次に第
２番目のリードフレーム４8における最初のランド４9に
ボンディングが行われる。

【００１３】このようにして、ワークヘッド４５が、X
−Yテーブル４６上のワークＷの真空吸着位置であるワ
ークピックアップポジションＰ１と、リードフレーム４
８のランド４９であるワークリリースポジションＰ２と
の間で往復運動を行って、ダイボンディングが行われる
のである。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ボンディング装置では、ワーク移載装置４０が単一のワ
ーク吸着ヘッド４５を有し、このワーク吸着ヘッド４５
がワークピックアップポジションＰ１と、ワークリリー
スポジション，即ちボンディングポジションＰ２間で往
復運動するので、ワーク吸着ヘッド４５のＸＹＺ軸に使
用されているサーボモータ+ボールネジやリニアモータ
等の速度が限界に近付いており、最近の高速化の要求に
対応が困難である。

【００１５】また、高速化によるワーク吸着ヘッド４５
の振動を小さくするためには、ヘッド支持体の高剛性
化，即ち大型化が必要となるが、ヘッド支持体のこれ以
上の高剛性化はダイボンダが大型化し許容サイズを逸脱
することになる。

【００１６】したがって、本発明の目的は、ペレット等
の個々のワークをピックアップポジションでピックアッ
プし、リリースポジションでリリースするワーク移載装
置において、より高速化に対応可能なワーク移載装置，
たとえばダイボンダを提供することである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
されたワーク移載装置は、上記課題を解決するために、
ワークピックアップポジションとワークリリースポジシ
ョンとの間でワークを移載する移載装置であって、前記
ワークピックアップポジションとワークリリースポジシ
ョン間に伸びるアームと、このアームの両端部に取り付
けられてアームの軸方向に移動可能なワークピックアッ
プ／リリース用のヘッドと、前記アームの中心部に取り
付けられてアームを回転させるアーム回転軸と、このア
ーム回転軸を水平面内で移動させるアーム移動手段とを
具備することを特徴とするものである。

【００１８】上記請求項１に記載のワーク移載装置によ
れば、ワークを一方のヘッドでピックアップすると同時
に、他方のヘッドでワークをリードフレーム等のランド
にリリースし、次にアーム回転軸を１８０度回転させ
て、今度は前記他方のヘッドでワークをピックアップ
し、一方のヘッドでワークをリリースするので、以下同
様にして２つのヘッドを交互にワークのピックアップと
リリースに用いるので、従来のように、単一のヘッドが
往復動するものに比べて、ワークの移送時間を半減する
ことができる。

【００１９】本発明の請求項２に記載されたワーク移載
装置は、前記アーム回転軸の中心が、前記両ヘッドの中
心間を結ぶ線分の中間部に位置するようにしたことを特
徴とするものである。

【００２０】上記請求項２に記載のワーク移載装置によ
れば、アーム回転軸の中心が、両ヘッドの中心間の中間
点になるので、アーム回転軸の回転動作によって、両ヘ
ッドの一方がワークピックアプウポジションに位置し、
他方のヘッドがワークリリースポジションに位置し、両
ヘッドを両ポジション間で交互にピックアップおよびリ
リース動作をさせることができる。

【００２１】本発明の請求項３に記載されたワーク移載
装置は、前記ヘッドが回転自在に構成されていることを
特徴とするものである。

【００２２】上記請求項３に記載のワーク移載装置によ
れば、ワークのピックアップポジションでの姿勢が、リ
リ−スポジションで要求される姿勢と異なっている場合
に、その姿勢のずれに応じてヘッドを回転させることに
よって、ワークをランド等のリリースポジションに要求
される姿勢で移載することができる。

【００２３】本発明の請求項４に記載されたワーク移載
装置は、前記ワークが半導体ペレットであり、前記ワー
ク移載装置がワークリリースポジションで半導体ペレッ
トをランド部にボンディングするダイボンダであること
を特徴とするものである。

【００２４】上記請求項４に記載のワーク移載装置によ
れば、アーム回転軸の回転動作に伴って、両ヘッドでワ
ークのピックアップとボンディングとを交互に行えるの
で、ワークの移送時間を短縮したスループットの大きな
ダイボンダが提供できる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。

【００２６】図1は、本発明を実施したワーク移載装置
の概略斜視図を示す。図１において、1はワーク移載装
置で、複数のヘッドを装備したロータリーヘッドを持
ち、かつリードフレームやBGA基板等の連続搬送に対応
できる構成となっている。このワーク移載装置1は、X−
Y方向に移動自在なＸ−Ｙ駆動盤２と、このＸ−Ｙ駆動
盤２に回転自在に取り付けられたアーム回転軸３と、こ
のアーム回転軸３に取り付けられているアーム４と、こ
のアーム４の両端部にアーム４の軸方向に移動自在でか
つ回転自在に取り付けられたヘッド５ａ、５ｂを具備し
ている。

【００２７】ヘッド５ａ、５ｂは、開閉弁を介して真空
系と接続されており、Ｘ−Ｙ駆動盤２によってＸ−Ｙ方
向に移動自在であるとともに、アーム回転軸３によって
回転自在になっており、さらにサーボモータ等によって
アーム４の軸方向に移動自在かつ水平面内で加点自在に
構成されている。そして、開閉弁の開閉制御によって、
一方のヘッド５ａ（または５ｂ）がワークピックアップ
ポジションＰ１でワークを真空吸着するとともに、他方
のヘッド５ｂ（または５ａ）がワークリリースポジショ
ンＰ２でワークをリードフレーム等のランドにリリース
およびボンディングできるようになっている。

【００２８】ここで、Ｘ−Ｙ駆動盤１、アーム回転軸３
およびヘッド５ａ、５ｂは、常にアーム回転軸３の中心
がワークピックアップポジションＰ１（またはワークリ
リースポジションＰ２）に位置する一方のヘッド５ａの
中心と、ワークリリースポジションＰ２（またはワーク
ピックアップポジションＰ１）に位置する他方のヘッド
５ｂの中心とを結ぶ間隔寸法Ｌの中間点、即ち、一方の
ヘッド５ａの中心とアーム回転軸３の中心との間隔寸法
Ｌ１と、他方のヘッド５ｂの中心とアーム回転軸３の中
心との間隔寸法Ｌ２とが等しくなる（Ｌ１＝Ｌ２）よう
に動作する。

【００２９】なお、図示は省略しているが、ワークピッ
クアップポジションＰ１の上方には、ワークＷの位置お
よび姿勢を撮像するカメラが配置されており、ワークリ
リースポジションＰ２の上方には、ランド２２を撮像す
るカメラが配置されている。そして、両カメラで撮像し
た画像位置および姿勢に基づく信号処理を行って、第１
の移動体４２およびヘッド５ａ、５ｂを駆動するサーボ
モータ等の回転数等を制御して、それらの移動方向，移
動距離，回転角度等を決定したり、アーム回転軸３の回
転角度を制御したりする。

【００３０】次に、上記のワーク移載装置1の動作につ
いて、図２〜図４を参照して説明する。図２〜図４の図
示例は、粘着テープ１０に貼り付けたウェーハをダイシ
ングしたワークＷ１を、ワークピックアップポジション
Ｐ１からピックアップし、レール２０に載置されてピッ
チ送りされるリードフレーム２１のランド２２からなる
ワークリリースポジションＰ２でリリ−スおよびボンデ
ィングするダイボンダを示している。

【００３１】まず、図２に示すように、ワークＷ１の中
心点をａ１とし、ランド２２₁の中心点をｂ１とする
と、移載装置１のＸ−Ｙ駆動盤１とアーム回転軸3と両
ヘッド５ａ、５ｂは協働して、アーム回転軸3の中心
は、前記一方のヘッド５ａの中心点（ワークＷ１の中心
点）ａ１と他方のヘッド５ｂの中心点（ランド２２₁の
中心点）ｂ１の中間点ｃ１になるように、即ち、ａ１−
ｃ１間の寸法Ｌ11がｂ１−ｃ１間の寸法Ｌ22と等しくな
るように、Ｘ−Ｙ駆動盤２をＸ―Ｙ方向に移動させると
ともに、アーム回転軸３を回転させ、かつ両ヘッド５
ａ，５ｂをアーム４の軸方向に沿って移動させる。即
ち，アーム回転軸３は、上記寸法Ｌ11（＝Ｌ21）を回転
半径として、回転動作を行う。

【００３２】このとき、各ヘッド５ａ，５ｂはワークＷ
１をワークピックアップポジションＰ１でピックアップ
し、リリースポジションでリリースおよびボンディング
するときに、ワークＷ１の姿勢が所望の状態になるよう
に、図示しないカメラ等の撮像画像を参照して、所定角
度だけ回転して姿勢制御される。

【００３３】次に、各ヘッド５ａ，５ｂが下降して、一
方のヘッド５ａでワークＷ１を真空吸着する。このと
き、最初の状態では、他方のヘッド５ｂはワークを吸着
していないので、単にランド２２₁の僅かに上方に位置
するだけである。

【００３４】次に、両ヘッド５ａ，５ｂが上昇し、図３
に示すように、アーム回転軸3が１８０度+αだけ回転し
て、ワークＷ１を真空吸着したヘッド５ａがランド２２
₁上に、他方のヘッド５ｂが先にピックアップしたワー
クＷ１の隣のワークＷ２の上方位置になるように移動す
る。ここで、ワークＷ２の中心点をａ2とし、ランド２
２₁の中心点をｂ２とすると、移載装置１のアーム回転
軸3の中心は、前記ワークＷ２の中心点ａ2とランド２２
₁の中心点ｂ2の中間点ｃ2となるように、即ち，ａ２−
ｃ２間の寸法Ｌ12がｂ2−ｃ２間の寸法Ｌ22と等しくな
るように、Ｘ−Ｙ駆動盤２をＸ―Ｙ方向に移動させると
ともに、アーム回転軸3が回転し、ヘッド５ａ，５ｂを
アーム４の軸方向に沿って移動させる。

【００３５】次に、各ヘッド５ａ，５ｂが下降して、一
方のヘッド５ａに吸着されたワークＷ１が、リードフレ
ーム２１のランド２２₁にボンディングされ、他方のヘ
ッド５ｂが先にピックアップしたワークＷ１の隣のワー
クＷ２を真空吸着する。

【００３６】次に、両ヘッド５ａ，５ｂが上昇し、図４
に示すように、リードフレーム２１が１ピッチ分ｐだけ
進行方向（図示右方向）に搬送されて、ワークリリース
ポジションＰ２位置に、次のランド２２₂が位置する。
同時にアーム回転軸３が１８０度+βだけ回転して、他
方のワークＷ2を真空吸着したヘッド５ｂがランド２２ ₂
上に、一方のヘッド５ａが先にピックアップしたワーク
Ｗ2の隣位置のワークＷ3の上方位置になるように移動す
る。このとき、ワークＷ３の中心点をａ３とし、ランド
２２₂の中心点をｂ3とすると、移載装置１のアーム回転
軸3の中心は、前記ワークＷ3の中心点ａ3とランド２２₂
の中心点ｂ3の中間点ｃ3となるように、即ち，ａ3−ｃ3
間の寸法Ｌ13がｂ3−ｃ3間の寸法Ｌ23と等しくなるよう
に、Ｘ−Ｙ駆動盤２をＸ―Ｙ方向に移動させるととも
に、アーム回転軸3を回転させ、ヘッド５ａ，５ｂをア
ーム４の軸方向に沿って移動させる。

【００３７】次に、各ヘッド５ａ，５ｂが下降して、他
方のヘッド５ｂに吸着されたワークＷ２が、リードフレ
ーム２１のランド２２₂にボンディングされ、一方のヘ
ッド５ａが先にピックアップしたワークＷ２の隣のワー
クＷ3を真空吸着する。

【００３８】以下、上記と同様の動作を繰り返して、ア
ーム回転軸3の回転動作によって、ワークピックアップ
ポジションＰ１で一方のヘッド５ａ（またはヘッド５
ｂ）がワークＷをピックアップし、ワークリリースポジ
ションＰ２で他方のヘッド５ｂがワークＷをボンディン
グしていく。

【００３９】このようにして、先頭のリードフレーム２
１₁の全ランド２２にワークＷをボンディングし終わる
と、２番目のリードフレーム２１₂の先頭のランド２２₁
がワークリリースポジションＰ２に来て、前記と同様に
ワークＷのピックアップおよびボンディングが行われ
る。このとき、１番目のリードフレーム２１₁の最後の
ランド２２_nと２番目のリードフレーム２１₂の最初のラ
ンド２２₁との間隔寸法がランド２２相互間の１ピッチ
分ｐに等しくなるように設定しておけば、１番目のリー
ドフレーム２１₁から２番目のリードフレーム２１₂に切
り替わる際に、同一リードフレーム２１上のランド２２
₁から２２₂に切り替わる場合と同様に何ら問題なく切り
替えることができる。

【００４０】以上のように、本発明のワーク移載装置1
によれば、アーム回転軸3の回転動作に伴って、一方の
ヘッド５ａ（または５ｂ）でワークＷをピックアップ
し、他方のヘッド５ｂ（または５ａ）でワークＷをボン
ディングするので、従来の単一のヘッドを具備しその往
復移動によってワークのピックアップとボンディングと
をシリーズで行うダイボンダに比較して、ワークＷの移
送時間を半減できるため、従来の高速化の限界を打破し
て最近の厳しい高速化の要求に対応できるようになる。

【００４１】また、ワークピックアップポジションＰ１
におけるＸ−Ｙテーブルが不要になり、構成が簡易化さ
れるとともに、連続搬送が可能になりスループット向上
が可能となる。

【００４２】なお、上記実施形態では、ワークリリース
ポジションＰ２をリードフレーム２１のランド２２とし
て説明したが、BGA基板におけるランドであってもよい
ことはいうまでもない。

【００４３】また、上記実施形態では、ヘッド５ａ，５
ｂが上下動する場合について説明したが、このようにす
ると軽量のヘッド５ａ，５ｂを上下動させればよいの
で、上下動のための駆動力を小さくすることができる利
点がある。しかしながら、もし必要であれば、アーム回
転軸3が上下動するようにしてもよい。

【００４４】さらに、上記実施形態は、リードフレーム
２１が１列の場合について説明したが、２列以上であっ
てもよい。このような場合でも、ヘッド５ａ，５ｂがア
ーム4の軸方向に移動することによって、両ヘッド５
ａ，５ｂ間の間隔寸法を変化させるとともに、アーム回
転軸3の回転半径を変化させて、対応することができ
る。

【００４５】さらに、上記実施形態では、半導体ペレッ
トをボンディングするダイボンダについて説明したが、
本発明はそれ以外に例えば電子部品のはんだ付け等の任
意のワークにおける２点間のピックアップおよびリリー
スを伴う移載装置として適用できるものである。

【００４６】また、図２，図３，図４に示すように、ウ
ェーハからダイシングされたワークＷがＸ−Ｙ方向に移
動しない場合のみならず、従来と同様にワークがＸ−Ｙ
方向に移動する場合でも、品種によってボンディング位
置が変わる場合や、リードフレームが２列以上の場合等
に、本発明のワーク移載装置が有効になる。

【００４７】図５は本発明のワーク移載装置１を、ウェ
ーハからダイシングされたワークＷがＸ−Ｙ方向に移動
し、かつ、リードフレーム移送装置のレール２０が２列
の場合における使用形態の概略構成図を示す。図５にお
いて、２０Ａはリードフレーム２１Ａ1，２１Ａ2，…を
移送する第１のレールで、２０Ｂはリードフレーム２１
Ｂ1，２１Ｂ2，…を移送する第２のレールである。粘着
テープ１０に貼り付けられたウェーハをダイシングした
ワークＷは、粘着テープ１０に貼り付けられたままＸ−
Ｙテーブル上に載置されて、Ｘ−Ｙ方向に移動自在に構
成されている。そして、一方のヘッド５ａの中心ａ４を
粘着テープ１０上のワークＷ４に位置させるとともに、
他方のヘッド５ｂの中心ｂ４を第１のレール２０Ａ側に
おけるリードフレーム２１Ａ1のボンディングポジショ
ンＰ２であるランド２２Ａ1上に位置させ、ヘッド５ａ
でワークＷ４を吸着した後、アーム回転軸３を回転中心
ｃ４（Ｌ14＝Ｌ24）を中心にして約１８０°回転させ
て、ワークＷ４を前記ランド２２Ａ1にボンディングす
る。

【００４８】次に、図６に示すように、一方のヘッド５
ａの中心ａ５を第２のレール２０Ｂにおけるリードフレ
ーム２１Ｂ1のランド２２Ｂ1の上方に位置させ、他方の
ヘッド５ｂの中心ｂ５をワークＷ５の上方に位置させ
て、他方のヘッド５ｂでワークＷ５を吸着した後、アー
ム回転軸３を回転中心ｃ５（Ｌ15＝Ｌ25）を中心にして
約１８０°回転させて、ワークＷ５を前記ランド２２Ｂ
1にボンディングする。

【００４９】このようにして、第１，第２のレール２０
Ａ，２０Ｂにおけるリードフレーム２１Ａ1，２１Ｂ1の
ランド２２Ａ1，２２Ｂ1へのワークＷ４，Ｗ５のボンデ
ィングが終了すると、リードフレーム２１Ａ1，２１Ｂ1
を１ピッチ分だけ図示右方向に移送し、あるいは、ワー
クＷのボンディングが終了したリードフレーム２１Ａ1
または２１Ｂ1を、その都度１ピッチ分移動させる。同
時に粘着テープ１０に貼り付けられたワークＷもＸ−Ｙ
テーブルによって、１ピッチ分移動させる。

【００５０】このようなボンディング方法を採用する
と、ヘッド５ａ，５ｂの移動寸法を小さくできて、より
高速ボンディングが可能になる。

【００５１】図７はワーク移載装置１を、ロータリー式
の装置に適用した場合を示す。図７において、３０はタ
ーンテーブルで、複数のヘッド、図示例では８個のヘッ
ド３１〜３８を有する。そして、ワークピックアップポ
ジションＰ１に、例えば粘着テープ１０に貼り付けられ
てダイシングされたワークＷを位置させておき、ワーク
をピックアップおよびリリース用のヘッド５ａ，５ｂ
（図１参照）で順次ワークＷをピックアップし、ワーク
リリースポジションＰ２で、ワークＷをターンテーブル
３０のヘッド３１に移載するようになっている。ターン
テーブル３０は、例えばヘッド３１が次のＢ位置に移動
すると、ワークＷに接続細線を接続する等の工程を行
い、次のＣ位置に送り出す。以下、ヘッド３１がＤ〜Ｇ
位置に来るごとにそれぞれ所定の工程を実施して、最後
にＨ位置から取り出す。ヘッド３２以下についても、上
記と同様に順次所定の工程が実施される。

【００５２】なお、上記実施形態は、いずれもアーム４
が１個で、ヘッド５ａ，５ｂが２個の場合について説明
したが、もし必要なら、アーム4を２個またはそれ以上
として、ヘッド５の個数もそれに応じて増やしてもよ
い。このようにすれば、複数のワークＷを同時にピック
アップおよびリリースすることができる。その場合、も
し必要なら、アーム回転軸3も複数同軸に配置して、個
別に回転角度を制御するようにしてもよい。

【００５３】

【発明の効果】本発明は、以上のように、ワークピック
アップポジションとワークリリースポジションとの間で
ワークを移載する移載装置であって、前記ワークピック
アップポジションとワークリリースポジション間に伸び
るアームと、このアームの両端部に取り付けられてアー
ムの軸方向に移動可能でかつワークのピックアップおよ
びリリース用のヘッドと、前記アームの中心部に取り付
けられてアームを回転させるアーム回転軸と、このアー
ム回転軸を水平面内で移動させるアーム移動手段とを具
備することを特徴とするワーク移載装置であるから、ア
ーム回転軸の回転動作によって一方のヘッドと他方のヘ
ッドとが交互にワークのピックアップおよびリリースを
行うことができるので、従来の単一ヘッドの往復動によ
ってワークをピックアップおよびリリースするワーク移
載装置に比較して、ワークの移送時間を半減し高速化を
図ることができ、例えばダイボンダにおいては、高スル
ープットを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態のワーク移載装置におけ
る斜視図

【図２】 本発明のワーク移載装置おける第１工程につ
いて説明する平面図

【図３】 本発明のワーク移載装置おける第２工程につ
いて説明する平面図

【図４】 本発明のワーク移載装置おける第3工程につ
いて説明する平面図

【図５】 本発明の他の使用形態のワーク移載装置にお
ける第１工程について説明する平面図

【図６】 図５のワーク移載装置における第２工程につ
いて説明する平面図

【図７】 本発明のさらに他の使用形態のワーク移載装
置における平面図

【図８】 従来のワーク移載装置の概略正面図

【符号の説明】

１ ワーク移載装置 ２ Ｘ−Ｙ駆動盤 ３ アーム回転軸 ４ アーム ５ａ，５ｂ ヘッド １０ ワークを貼り付けた粘着テープ ２０，２０Ａ，２０Ｂ レール ２１，２１Ａ，２１Ｂ リードフレーム ２２，２２Ａ1，２２Ｂ1 ランド ３０ ターンテーブル ３１〜３８ ヘッド Ｐ１ ワークピックアップポジション Ｐ２ ワークリリースポジション Ｗ，Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５ ワーク（半導体ペ
レット） ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，ａ５ ワークの中心点 ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４，ｂ５ ランドの中心点 ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４，ｃ５ ワークの中心点とラン
ドの中心点との中間点（アーム回転軸の回転中心） Ｌ11，Ｌ12，Ｌ13，Ｌ14，Ｌ15 ワークの中心点と中間
点との間隔寸法 Ｌ21，Ｌ22，Ｌ23，Ｌ24，Ｌ25 ランドの中心点と中間
点との間隔寸法

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークピックアップポジションとワーク
   リリースポジションとの間でワークを移載する移載装置
   であって、前記ワークピックアップポジションとワーク
   リリースポジション間に伸びるアームと、このアームの
   両端部に取り付けられてアームの軸方向に移動可能でか
   つワークのピックアップおよびリリースが可能なヘッド
   と、前記アームの中心部に取り付けられてアームを回転
   させるアーム回転軸と、このアーム回転軸を水平面内で
   移動させるアーム移動手段とを具備することを特徴とす
   るワーク移載装置。
2. 【請求項２】 前記アーム回転軸の中心が、前記両ヘッ
   ドの中心間を結ぶ線分の中間部に位置するようにしたこ
   とを特徴とする請求項１に記載のワーク移載装置。
3. 【請求項３】 前記ヘッドが回転自在に構成されている
   ことを特徴とする請求項1に記載のワーク移載装置。
4. 【請求項４】 前記ワークが半導体ペレットであり、前
   記ワーク移載装置がワークリリースポジションで半導体
   ペレットをリードフレーム等のランド部にボンディング
   するダイボンダであることを特徴とする請求項1に記載
   のワーク移載装置。