JP2002189000A - 半導体装置、半導体装置の評価解析方法及び半導体装置の加工装置 - Google Patents
半導体装置、半導体装置の評価解析方法及び半導体装置の加工装置Info
- Publication number
- JP2002189000A JP2002189000A JP2001116647A JP2001116647A JP2002189000A JP 2002189000 A JP2002189000 A JP 2002189000A JP 2001116647 A JP2001116647 A JP 2001116647A JP 2001116647 A JP2001116647 A JP 2001116647A JP 2002189000 A JP2002189000 A JP 2002189000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- semiconductor
- semiconductor device
- hemisphere
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 318
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 187
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 45
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 7
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 claims description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 19
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14649—Infrared imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14685—Process for coatings or optical elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
- H01L2924/1815—Shape
Landscapes
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
ると共に、微細化の進む半導体装置の解析及び評価を確
実かつ容易にする。 【解決手段】 半導体基板表面1aに集積回路が形成さ
れた半導体装置に対し、半導体基板裏面1bの所望箇所
を加工して半導体半球1cを形成する。この半導体半球
1cを固体浸レンズとして高分解能の裏面解析を行う。
Description
評価解析手法及び半導体装置の加工装置に関する。
裏面から、半導体基板表面に形成された半導体素子等を
評価解析するために適した構造を有する半導体装置とそ
の評価解析手法、及びその構造を実現する為の加工装置
に関する。
い、半導体装置の微細化及び多層配線化が進み、金属配
線に覆われたチップ表面から故障箇所を特定することが
困難になってきている。
て、半導体に対して透過率の高い赤外光を利用したEM
S(Emission Microscope)法、O
BIC(Optical Beam Induced
Current)法など、チップ裏面から不良個所を検
出する手法(裏面解析手法)が行われている。
長いため、紫外線等の短い波長の光を利用して形成され
た微細なパターンの解析に対しては、分解能の点で不利
と考えられる。
物質の屈折率に反比例して短くなることが知られてお
り、例えば、屈折率が3.5のシリコンを透過可能な、
波長1.1μmの赤外光の場合、シリコン中では波長が
0.3μmとなっているので、この波長を利用すれば、
紫外線顕微鏡並の高分解能が得られることになる。
面解析手法では、半導体基板裏面1bを平坦に鏡面研磨
して行っていたため、対物レンズ2を通して、半導体基
板表面1aを観察する際、半導体基板裏面1bでの屈折
により、大気中より深い位置に焦点が結ばれ、実効的な
開口数も屈折率に反比例して小さくなる。
て、大気中以上の分解能を得ることはできない。大気中
で1点に焦点を結ぶように、大気中での観察を前提とし
て設計された通常の対物レンズを用いた場合、光路に半
導体基板が挿入されることで収差が増大するため、分解
能は、大気中での観察に比べ、むしろ低下することにな
る。
法として、液浸レンズや固体浸レンズ(ソリッドイマー
ジョンレンズ、又はSILとも呼ばれる)を利用する手
法が知られている。
体に観察対象を接触させる必要があり、このままでは、
有限の厚さの半導体基板を介して基板表面を解析する裏
面解析には応用出来ない。
は、半導体基板と同じ材質で作製された平凸レンズを半
導体基板の裏面に密着させることにより、半導体基板自
身を固体浸レンズの一部として利用する手法が記載され
ている。
を半導体基板表面1aに合わせた際、平凸レンズ21の
効果により、焦点位置が大気中より深くならないように
することが出来るので、実効的な開口数の低下が抑えら
れ、短波長化による高分解能化が期待出来る。
と半導体基板裏面1bとの間に隙間が発生すると、臨界
角以上の入射光が全反射されて、臨界角以下の入射光し
か伝搬出来なくなり、実効的な開口数が臨界角で制限さ
れることになる。
間の隙間が、半導体中の光の波長と同程度になると、光
は近接場を介して伝搬することが可能になるが、高分解
能に寄与する高入射角の光ほど隙間を透過し難い傾向が
あるため、このような不連続な界面が存在しない場合に
比べて、分解能は低下することになる。
問題点は、裏面が平坦な半導体基板を介した通常の裏面
解析では、半導体基板中での光の短波長化による高分解
能効果が得られないことである。
り、大気中の焦点位置より深い位置に焦点が結ばれるた
め、実効的な開口数も屈折率に反比例して小さくなり、
光の短波長化効果が相殺されて、大気中以上の分解能を
得ることが出来ないためである。
を介した通常の裏面解析で、大気中と同等の分解能を得
ようとした場合、半導体基板の厚さに応じて収差を補正
する特殊なレンズが必要となるため、対物レンズを表面
解析と共用化することが困難になることである。
うに、大気中での観察を前提として設計された通常の対
物レンズを用いた場合、光路に半導体基板が挿入される
ことで収差が増大して、分解能が低下するためである。
平凸レンズを利用して、固体浸レンズを構成しても、固
体浸レンズ本来の分解能が得難いことである。
面に臨界角以上で入射する光は、半導体表面の近接場を
介して伝搬するため、隙間が大きくなると、透過光強度
が急激に低下して、臨界角以下の入射光しか伝搬できな
くなり、実効的な開口数が制限されるためである。
内部から界面に向かって、臨界角以上の入射角θで入射
した際に、半導体表面から距離zの大気中に形成される
近接場の電界振幅Eは、以下の数1式で表される。
激に減少し、例えば、n=3.5のシリコン中からθ=
60度で大気側へ透過する、λ=1.1μmの赤外光の
場合、z=140nmで電界振幅は約1/10になる。
が、140nm以上離れている場合、入射角60度で隙
間を伝搬する光の電界振幅は1/10以下に減衰する。
この減衰の割合は、高分解能に寄与する高入射角の光、
即ちθの大きい光になるほど、大きくなるので、ある程
度の透過光強度が確保できるように密着できたとして
も、固体浸レンズ本来の性能を得ることは困難である。
7,2615(1990)には、図13のような、観察
試料23に密着させる面の周辺を円錐状にカットした固
体浸レンズ22が記載されている。このような構造の固
体浸レンズ22によれば、観察試料23に密着させる面
積を小さくすることができるので、密着性の確保に有利
と考えられる。
場合、このような形状を採用しても、半導体基板1との
接触面積を十分小さくすることはできない。半導体装置
の裏面解析においては、半導体基板表面に形成された集
積回路を損なわないように、取り扱い時の強度も考慮し
て、半導体基板の厚さを十分確保する必要がある。
合、球面半径Rを半導体基板1の厚さに対して十分大き
くしない限り、図13のような形状にすることは不可能
である。
板表面を解析する裏面解析においては、平凸レンズ21
と半導体基板1との接触面積を小さくすることが困難な
ため、密着性を確保する上で不利と云える。
に鑑みて成されたものであり、その目的とするところ
は、裏面解析における分解能を安定的に向上させ、微細
化の進む半導体装置の解析評価を確実かつ容易にするこ
とにある。
に、本発明では、半導体基板表面に集積回路が形成され
た半導体装置において、前記半導体基板の裏面の一部
に、半導体基板と一体的に半球状の凸部を形成した。
の一部を構成しても良い。
路の裏面解析を行うための半導体固体浸レンズとして作
用する。前記半導体基板と前記半導体固体浸レンズとは
一体化されている。
は前記半導体基板表面にほぼ一致している。
し、かつ前記半球の半径をRとしたとき、半球の中心位
置が半導体基板表面から、R/nの深さにほぼ一致する
ようにしても良い。
の固体浸レンズとして作用する。
された集積回路を半導体基板の裏面から解析する半導体
装置の評価解析方法において、半導体基板裏面の所定個
所を凸状の半球面又は凸状の半球面の一部を成すように
加工し、この半球面を固体浸レンズとして利用すること
により、半導体基板裏面から光学的手法により、上記集
積回路の評価解析を行うようにした。
集積回路内の座標データに基づいて指定される。あるい
は、前記半導体基板の表面又は裏面へのレーザーマーキ
ングで指定するようにしても良い。
の所定個所の加工後、半導体基板を透過可能な光を利用
した顕微鏡により、半導体基板を通して前記半球の中心
近傍の半導体基板表面を観察する。
工後に、前記集積回路に対して電気的入力を印加し、前
記半球の中心近傍の半導体基板表面で発生する発光を半
導体基板を通して検出する。
工後に、前記集積回路に対して電気的入力を印加し、前
記半導体基板を通して前記半球の中心近傍の半導体基板
表面に対し、半導体基板を透過可能なレーザー光を照射
して電気的特性の変化を検出する。
ことにより半導体装置を加工する半導体装置の加工装置
において、断面が半円又は半円の一部の形状を成す溝が
形成された研削ツールと、その研削ツールを回転させる
ことにより上記半導体基板を研削して半導体基板裏面の
所定個所に凸状の半球又は凸状半球の一部を形成する研
削装置と、半導体基板裏面の所定個所を上記研削装置の
回転軸上にアライメントするアライメント機構とを有す
る。
でアライメントする前記アライメント機構においては、
半導体基板表面に予め形成されているパターンを基準と
して、所定個所を前記顕微鏡の視野中心に移動させる。
導体基板に対して、前記研削ツールと反対側に前記顕微
鏡を配置し、その視野中心を予め研削装置の回転軸に合
わせておくことが好ましい。
赤外光を利用した赤外線顕微鏡の場合、半導体基板裏面
から、前記半導体基板表面に形成されているパターンを
観察して、所定個所を顕微鏡の視野中心に移動させるよ
うにする。
とする円形の溝を形成し、この溝段差を前記研削ツール
のガイドとして利用することにより、アライメントして
もよい。
回転によって形成される円形溝とほぼ同じになるように
形成しておく。
は、半導体基板表面に予め形成されているパターンを基
準として、両面目合せ露光機を用いたフォトリソグラフ
ィに依るか、或いは、円形溝が形成された透明の板を、
上記顕微鏡によるアライメント機構を用いて貼り合わせ
てもよい。
の所望個所を、凸状半球面に加工し、これを固体浸レン
ズとして利用することにより、半導体基板裏面から光学
的手法により、半導体基板表面に形成された集積回路や
半導体素子の評価解析を行う。
予め、従来の解析手法で特定の領域の絞り込んでおく。
溝が形成された研磨ツールにより、半導体基板裏面の所
望の領域を凸状の半球面に加工する。
面の所望の領域に押し当て、溝の中心を通る、半導体研
磨面に垂直な法線を軸に研磨ツールを回転させること
で、凸状半球面の加工ができる。
領域が、研磨ツールの回転軸上に来るように、半導体装
置をアライメントしておく。アライメントは、半導体基
板表面に形成されているパターンを基準として、所望の
箇所を顕微鏡の視野中心に移動させることにより行う
が、半導体基板裏面に、所望位置を中心とする円形溝を
形成して、この溝段差を前記研削ツールのガイドとして
利用することにより、アライメントしてもよい。
て、顕微鏡が通常の可視光顕微鏡の場合、半導体基板に
対し、研磨ツールと反対側に顕微鏡を配置し、その視野
中心を、予め研磨ツールの回転軸に合わせておく。顕微
鏡が半導体を透過する赤外光を利用した赤外線顕微鏡の
場合、半導体基板裏面から、半導体基板表面に形成され
ているパターンを観察して、所望の箇所を顕微鏡の視野
中心に移動させる。
ツールと同じ側に顕微鏡が配置されるため、所望の箇所
を顕微鏡の視野中心に合わせた後、半導体装置を相対的
に、一定の方向に、一定の距離だけ移動させて、所望の
箇所が、研磨ツールの回転軸上に来るようにする。
法においては、円形溝の半径を、研削ツールの回転によ
って形成される円形溝とほぼ同じになるように形成する
ので、この円形溝内に研削ツールを落とし込むことで、
半導体基板位置が自動的にアライメントされる。
は、機械的振動を伴わない高精度な手法で行うことも可
能であるため、凸状半球加工の初期段階で、研削ツール
の回転に伴う振動により、凸状半球形成位置がずれるの
を抑えることができる。
を固体浸レンズとして利用することで、高屈折率の半導
体中で短波長化した光を利用した高分解能解析が可能に
なる。
化しているため、隙間に起因した分解能低下が発生しな
い。
て図面を参照して詳細に説明する。
本発明の第1の実施の形態は、半導体基板1の表面1a
に集積回路(図示せず)が形成された半導体装置であっ
て、その半導体基板裏面1bの一部が、凸状の半球面又
は凸状半球面の一部を成すように半導体半球1cが形成
されていることを特徴としている。
半導体基板表面1aにほぼ一致している。
説明する。
光を利用して、対物レンズ2により、半導体半球1cを
通して、半導体基板表面1aに焦点を合わせる。
いる集積回路パターンの観察(赤外線顕微鏡観察)、集
積回路への電気的入力に伴う半導体基板表面1aで発生
する発光現象の検出(EMS法)、集積回路へのレーザ
ー照射に伴う電気的変化の検出(OBIC法)等を行っ
て、集積回路の評価、解析を行う。
1aにほぼ一致しているので、赤外光は半導体半球1c
の表面で屈折することなく、対物レンズ2の大気中での
焦点位置と同じ位置で、半導体半球1cの中心付近に焦
点を合わせることが出来る。
体による半球型の固体浸レンズを構成することになるの
で、開口数が大気中と同等のまま、半導体中での短波長
化効果を利用出来るようになり、高分解能が得られる。
例えば、半導体が屈折率3.5のシリコンの場合、波長
が1/3.5倍になるので、3.5倍の高分解能化が図
られる。
ことから、大気中で1点に焦点を結ぶように設計された
通常の対物レンズを用いても、収差が増加しないので、
焦点ボケによる分解能低下はない。
半導体基板が一体化していることで、界面に隙間が発生
することもないので、固体浸レンズ(半導体半球1c)
と半導体基板の隙間に起因する分解能低下も発生しな
い。従って、固体浸レンズ(半導体半球1c)による高
分解能が確実に得られるという利点が得られる。
て、本発明の第2の実施の形態について説明する。
様、半導体基板1の表面1aに集積回路(図示せず)が
形成された半導体装置において、その半導体基板裏面1
bの一部が、凸状の半球面、又は凸状半球面の一部を成
すように、半導体半球1cが形成されていることを特徴
としている。
径をR、半導体基板1の屈折率をnとしたとき、半導体
半球1cの中心は、半導体基板表面1aに対しR/nだ
け深い位置に一致するようにしている。
半球1cの表面で屈折することになるが、その焦点位置
は、大気中の焦点位置よりも浅くなり、図1の構造より
も大きい開口数で半導体基板表面1aに焦点を結ぶこと
になる。
ワイエルストラス球型)と呼ばれる固体浸レンズを構成
することになるので、半導体中での短波長化効果に加
え、開口数が増加することにより、更に高分解能が得ら
れることになる。
の場合、波長が1/3.5倍になるのに加え、開口数が
最大で3.5倍になるので、最大約12.3倍の高分解
能化が図られる。
ことから、大気中で1点に焦点を結ぶように設計された
通常の対物レンズを用いた場合、収差が増加する可能性
があるが、この収差に起因する分解能低下よりも、開口
数の増加による分解能向上が大きい為、高分解能化は可
能である。
て、半導体基板裏面に半導体半球を形成する方法を説明
する。
いる研削ツール3を、半導体基板裏面1bに押し当て、
溝3aの中心を通る法線を軸として回転させながら、ダ
イヤモンドスラリーやダイヤモンドペースト等の研磨剤
(図示せず)により半導体基板を研削する(図3
(a))。
溝3aに沿った凸状の半導体半球1cが形成される(図
3(b))。
型固体浸レンズとするか、図2に示すような超半球型固
体浸レンズとするかに応じて、研磨ツール3の溝3aの
寸法形状を選定し、削り込む深さを調整する。
て利用する場合、解析装置の対物レンズ2の開口数に応
じて、半球の頂点から必要な深さまでが球面になってい
れば十分である。即ち、対物レンズの開口数に相当する
立体角の外側は、結像に寄与しない為、必ずしも球面に
する必要はない。
円よりも浅く形成しておくことで、半球の上部のみを形
成すればよいので、半導体半球1cの周辺の基板厚を、
半導体基板表面に形成されている集積回路を損なわない
程度に十分厚く残すことが出来る。
の厚さより大きくすることは出来ない。
して利用する場合は、完全な半球であることが好まし
い。解析装置の対物レンズの開口数が、sin{tan
−1(1/n)}以下の場合は、半球全体が結像に寄与
することはないが、多くの場合、この条件には該当しな
い。
合、sin{tan−1(1/n)}≒0.275とな
るが、高分解能を必要とする高倍率で、このように小さ
い開口数の対物レンズは使用されない。
1cの中心が観察対象となる半導体基板表面よりR/n
(Rは半球の半径)だけ深い位置に来る為、完全な半球
を形成しても、半導体半球1cの周辺に、R/nの基板
厚を残すことが出来る。
(1+1/n)倍(シリコンの場合、約0.78倍)よ
り大きくすることが出来ないので、例えば、シリコン基
板の場合で、R/nは基板厚の0.22倍以下になる。
削によるダメージで、半導体基板表面に形成されている
集積回路を損なう危険性がある場合には、多少分解能を
犠牲にしても、完全な半球よりも浅くして、半導体半球
1cの周辺の基板厚を十分厚く残すようにした方が良
い。
の研磨剤を用いて鏡面に仕上げ、必要に応じて、反射防
止膜(図示せず)をコーティングする。
は、半導体基板1内に作り込まれているので、通常の固
体浸レンズのように、視野を移動することが出来ない。
しかしながら、高分解能が必要な高倍率の解析の場合、
低倍率から順次絞り込んでいくことで、予め解析が必要
な位置が特定されている。
等で絞り込まれた、所望の位置に対して、形成すること
になる。半導体半球1cを作成すべき位置は、チップ内
の座標データ、或いは、半導体チップ表面、又は裏面へ
のレーザーマーキングで指定することが出来る。
面内位置の半導体基板裏面側に、半導体半球を作成する
ための加工装置と加工手法について説明する。
に向けて、ガラス等の可視光が透過可能な透明プレート
上に、同じく透明なワックス等で固定されている。透明
プレート4は、ステージ5の開口部を覆う形でステージ
5の上に固定されており、倒立顕微鏡6は、ステージ5
の開口部下方から透明プレートを通して、半導体基板1
の表面を観察できるように設置されている。
削ツール3の回転軸は、倒立顕微鏡の視野中心の光軸と
一致するように調整されている。高分解能の裏面解析が
必要な位置を半導体基板1の表面に形成された集積回路
のレイアウトパターンで確認し、ステージ5を操作し
て、その位置を顕微鏡視野の中心に移動させる。
面に下ろして、研削することにより、所望位置に半導体
半球を作成することができる。高分解能の裏面解析が必
要な位置情報が、チップ内の座標データで指定された場
合、集積回路のレイアウトデータを基に、表面から見え
るレイアウトパターンを確認する。
的特性を損なうことなく、レーザー等でマーキングする
ことが可能なスペースがある場合は、マーキング箇所を
基に所望位置を視野中心に移動させることも出来る。
に向けて、ステージ5の上にワックス等で固定されてい
る。ステージ5を搭載したベースステージ5aは、左右
に一定の距離でスライドさせることが可能になってい
る。
裏面側上方に設置された研削ツール3の回転軸と、顕微
鏡7の視野中心の光軸が、ステージ5上の同じ位置に来
るように調整されている。
可視光観察と赤外光観察が可能になっており、赤外光観
察の場合、直接肉眼で観察出来ない為、赤外線カメラ8
を介してディスプレイ(図示せず)上で観察する。
要な位置を半導体基板1の裏面から赤外光観察により確
認し、ステージ5を操作して、その位置を顕微鏡視野の
中心に移動させる。その後、ベースステージ5aをスラ
イドさせて、ステージ5を研削ツール3の下に移動さ
せ、研削ツール3を半導体基板1の裏面に下ろして、研
削することにより、所望位置に半導体半球を作成するこ
とができる。
チップ内の座標データで指定された場合、集積回路のレ
イアウトデータを基に、裏面から見えるレイアウトパタ
ーンを確認する。
マーキング等で指定されている場合には、可視光観察で
マーキング箇所を確認して、所望位置を視野中心に移動
させることができる。
赤外光観察も可能になる為、研削ツール3により削り込
む深さを調整する段階で、半球の状態を実際のレイアウ
トパターンの光学像で確認しながら研磨を進めることが
容易になる。
イメント機構と顕微鏡が一体となって具備されていた
が、図6〜図8の手法によれば、必ずしも、加工装置に
顕微鏡を一体化させる必要はない。
の所望位置には、円形溝を形成する為のレジストマスク
24が形成されている。レジストマスク24の円形パタ
ーンの中心は、凸状半導体半球1cを形成したい中心位
置、即ち、高分解能の解析を必要とする位置に一致させ
て形成する。
ば、半導体基板表面に形成されているパターンを基準と
して、高精度にアライメントすることができる。このレ
ジストマスク24を利用し、半導体基板裏面をエッチン
グすることにより、円形溝1dを形成することができる
(図6(b))。
再現性を考慮して、形成される円形溝1dの半径が、研
削ツール3の回転により形成される円形溝の半径とほぼ
一致して、少なくとも小さくならず、やや大きめになる
よう、予め、レジストマスク24の円形パターン寸法を
設計しておく。
この溝内に研削ツール3を落とし込むことで、研削ツー
ル3の回転軸に対し、半導体基板1の所望位置を自動的
にアライメントすることができる(図6(c))。
ール3のガイドとして機能するので、研削ツール3の回
転に伴う振動に起因した位置ズレが抑えられ、高精度に
アライメントされたレジストマスク24に対し、正確に
凸状半導体半球1cを形成することができる(図6
(d))。
(a)のような方形よりも、図6(c)のような円形の
方が、ガイドとの接触面積が広くなるので、研削ツール
3のブレを抑える効果が高くなる。また、円形溝1dを
等方性エッチングにより形成すれば、溝の段差部に傾斜
が付くので、円形溝半径の設計によっては、研削ツール
3の中心を中央に誘導するように機能させることもでき
る。
ガイドを、可視光に対して透明なガラス板に形成し、半
導体基板裏面にガイドをアライメントした上で、貼り合
わせて固定する手法を示している。
いて、ガラス板25を研削することにより、ガラス板2
5に円形溝25aを形成する(図7(a))。
裏面の凸状半導体半球1cを形成したい中心位置に一致
させて、ガラス板25と半導体基板1を貼り合わせる
(図7(b))。
の加工装置と同様な顕微鏡によっても可能である。但
し、予め、半導体基板1裏面の所望位置にレーザー等で
マーキングしておけば、可視光顕微鏡下で、ガラス板2
5を通して、マーキング位置が確認できるので、容易に
アライメントすることができる。
化性接着剤を用い、アライメント後、そのまま加熱して
固定すれば、機械的振動による位置ズレを抑えられる。
に打ち抜いて形成してもよいが、途中で止めることで、
図7(b)のように、円形溝25aの中心に溝半径より
小さい径の円形凸部を残すことができ、顕微鏡視野内で
の円形溝25aの中心位置確認が容易になる。貼合せ
後、この円形溝25a内に研削ツール3を落とし込むこ
とで、半導体基板1をアライメントすることができる
(図7c)。
を研削することで、所望位置に凸状半導体半球1cを形
成することができる(図7d)。この手法では、ガイド
(円形溝25a)の形成と凸状半導体半球1cの形成
に、同じ研削ツールが使用できるので、改めてガイドの
寸法を設計しなくても、常に適当な寸法でガイドを形成
することができる。
ドに対し、半導体基板をアライメントする手法を示して
いる。
ロック29と固定ネジ26aで固定されており、サブス
テージ28は、ステージ27上に固定ネジ26bで固定
されている。
定されており、固定ネジ26aと固定ネジ26bを操作
することにより、ガイド30に対する半導体基板1の水
平位置を調整することができる。
の加工装置と同様な顕微鏡によっても可能であるが、予
め、半導体基板1裏面の所望位置にレーザー等でマーキ
ングしておけば、可視光顕微鏡下で、マーキング位置を
確認しながら、ガイド30の中心へアライメントするこ
とができる。
ほぼ一致して、少なくとも小さくならず、やや大きめに
なるよう設計しておく。このような構成の下、加工装置
上において、研削ツールをガイド30内に落とし込める
位置に、ステージ27を固定することで、研削ツールの
回転軸に、半導体チップ1の所望位置をアライメントす
ることができる。
と同様に、研削ツールをガイドによって半導体基板上の
所望位置に誘導しているので、ガイドを利用しない図3
の加工手法に比べ、研削ツールの回転に伴う初期の振動
に起因した位置ズレが抑えられ、高精度にアライメント
された凸状半導体半球を形成することができる。
解析を行う場合、半導体基板表面に形成された集積回路
に対し、電気的入力を行う必要がある。
チップ9をアイランド11にマウントした上で、ボンデ
ィングを行って、集積回路の入出力端子とリード端子1
4を接続し、更にモールド樹脂10で半導体チップ9と
ボンディングワイヤ13を固定する。
ジ周辺のリード端子14に引き出すことで、リード端子
14を介して電気的入力が可能になる。その後、チップ
裏面のモールド樹脂10とアイランド11を除去して、
チップ裏面を露出させることにより、半導体チップ9の
裏面からの解析が可能になる。
る通常の裏面解析を行って、異常箇所を絞り込んだ後、
所望の箇所に半導体半球9aを形成する。この例の場
合、半導体チップ9の表面はモールド樹脂で覆われ、表
面から所望の位置を確認することが出来ない為、図4の
加工装置は使えないが、図5の加工装置により、所望の
位置に半導体半球9aを形成することが可能となる。
をプロービングで行うチップ又はウェハ状態での裏面解
析手法の例を示す。
析装置において、ウェハステージ16に設けられた裏面
解析用の開口部に、被解析チップの裏面が来るように半
導体ウェハ15を下方から真空吸着で固定させる。
ズ20を介してCCDカメラ等でウェハ表面を確認しな
がら、プラテン17の裏側に固定されたマニピュレータ
18を操作して、プロービングを行う。
半導体チップ内の集積回路に電気的入力を行った上で、
ウェハステージ16の開口部から裏面解析を行う。
て、異常箇所を絞り込んだ後、所望の箇所に半導体半球
15aを形成することになる。
からレイアウトパターンを確認することが出来るので、
図4、図5の何れの加工装置を用いても、所望の位置に
半導体半球15aを形成することが可能となる。
果を達成できる。
長化効果を利用した、高分解能な裏面解析が可能になる
ことである。
を凸状半球に加工して、固体浸レンズを構成するように
したことにより、大気中の焦点位置より深い位置に焦点
が結ばれることがないようにした為、実効的な開口数の
低下による分解能低下が発生しなくなったためである。
ように設計された通常の対物レンズでも、高分解能な裏
面解析が可能になり、対物レンズを表面解析と共用化す
ることが可能なることである。
を凸状半球に加工して、半球型の固体浸レンズを構成す
ることにより、大気中と同じ焦点位置に焦点を結ぶこと
が可能になり、半導体基板に起因する収差を補正するこ
となく、通常の対物レンズで、半導体中の短波長化を利
用した高分解能化が可能になったためである。
構成した場合でも、半球表面での屈折に伴う収差に起因
した分解能低下よりも、開口数の増加による分解能向上
が大きい為、高分解能化の効果は得られる。
凸レンズを利用して、固体浸レンズを構成する場合に比
べて、固体浸レンズ本来の分解能が容易、且つ安定して
得られることである。
に作り込むことで、固体浸レンズと半導体基板が一体化
し、両者の隙間に起因する分解能の低下が発生しないた
めである。
体浸レンズを構成した場合の結像光学系を示す縦断面図
である。
の固体浸レンズを構成した場合の結像光学系を示す縦断
面図である。
視図である。
す側面図である。
す正面図である。
視図である。
視図である。
視図である。
す縦断面図である。
示す縦断面図である。
した場合の結像光学系を示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
Claims (22)
- 【請求項1】 半導体基板の表面に集積回路が形成され
た半導体装置において、 前記半導体基板の裏面の一部に、半球状の凸部を半導体
基板と一体的に形成したことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 前記半球状の凸部は、前記半球の一部分
を構成していることを特徴とする請求項1に記載の半導
体装置。 - 【請求項3】 前記半球状の凸部は、前記集積回路の裏
面解析を行うための半導体固体浸レンズとして作用する
ことを特徴とする請求項1又は2のいずれか一つに記載
の半導体装置。 - 【請求項4】 前記半導体基板と前記半導体固体浸レン
ズとは一体化されていることを特徴とする請求項3に記
載の半導体装置。 - 【請求項5】 前記半球の中心位置が前記半導体基板表
面にほぼ一致していることを特徴とする請求項1又は2
のいずれか一つに記載の半導体装置。 - 【請求項6】 前記半導体基板の屈折率をnとし、かつ
前記半球の半径をRとしたとき、半球の中心位置が半導
体基板表面から、R/nの深さにほぼ一致していること
を特徴とする請求項1又は2のいずれか一つに記載の半
導体装置。 - 【請求項7】 前記半球状の凸部は、超半球型の固体浸
レンズとして作用することを特徴とする請求項6に記載
の半導体装置。 - 【請求項8】 半導体基板の表面に形成された集積回路
を半導体基板の裏面から解析する半導体装置の評価解析
方法において、 半導体基板裏面の所定個所を凸状の半球面又は凸状半球
面の一部を成すように加工し、 この半球面を固体浸レンズとして利用することにより、
半導体裏面から光学的手法により、上記集積回路の評価
解析を行うようにしたことを特徴とする半導体装置の評
価解析方法。 - 【請求項9】 前記所定個所は、前記集積回路内の座標
データに基づいて指定されることを特徴とする請求項8
に記載の半導体装置の評価解析方法。 - 【請求項10】 前記所定個所は、前記半導体基板の表
面又は裏面へのレーザーマーキングで指定されることを
特徴とする請求項8に記載の半導体装置の評価解析方
法。 - 【請求項11】 前記半導体基板裏面の所定個所の加工
後、半導体基板を透過可能な光を利用した顕微鏡によ
り、半導体基板を通して前記半球の中心近傍の半導体基
板表面を観察することを特徴とする請求項8に記載の半
導体装置の評価解析方法。 - 【請求項12】 前記半導体基板裏面の所定個所の加工
後に、前記集積回路に対して電気的入力を印加し、前記
半球の中心近傍の半導体基板表面で発生する発光を半導
体基板を通して検出することを特徴とする請求項8に記
載の半導体装置の評価解析方法。 - 【請求項13】 前記半導体基板裏面の所定個所の加工
後に、前記集積回路に対して電気的入力を印加し、前記
半導体基板を通して前記半球の中心近傍の半導体基板表
面に対し、半導体基板を透過可能なレーザー光を照射し
て電気的特性の変化を検出することを特徴とする請求項
8に記載の半導体装置の評価解析方法。 - 【請求項14】 半導体基板を研削することにより半導
体装置を加工する半導体装置の加工装置において、 断面が半円又は半円の一部の形状を成す溝が形成された
研削ツールを回転させることにより上記半導体基板を研
削して半導体基板裏面の所定個所に凸状の半球又は凸状
半球の一部を形成する研削装置と、 顕微鏡により半導体基板表面を観察した上で、半導体基
板裏面の所定個所を上記研削ツールの回転軸上にアライ
メントするアライメント機構とを有することを特徴とす
る半導体装置の加工装置。 - 【請求項15】 前記顕微鏡が赤外線顕微鏡で、半導体
基板裏面から半導体基板を通して半導体基板表面を観察
することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の
加工装置。 - 【請求項16】 前記アライメント機構は、半導体基板
表面に予め形成されているパターンを基準として、所定
個所を前記顕微鏡の視野中心に移動させることを特徴と
する請求項14に記載の半導体装置の加工装置。 - 【請求項17】 前記顕微鏡が可視光顕微鏡の場合、半
導体基板に対して、前記研削装置と反対側に前記顕微鏡
を配置し、その視野中心を予め研削装置の回転軸に合わ
せておくことを特徴とする請求項14に記載の半導体装
置の加工装置。 - 【請求項18】 前記顕微鏡が半導体基板を透過する赤
外光を利用した赤外線顕微鏡の場合、半導体基板裏面か
ら、前記半導体基板表面に形成されているパターンを観
察して、所定個所を顕微鏡の視野中心に移動させること
を特徴とする請求項14に記載の半導体装置の加工装
置。 - 【請求項19】 断面が半円又は半円の一部の形状を成
す溝が形成された研削ツールを回転させることにより、
半導体装置を構成する半導体基板を研削して半導体基板
裏面の所定個所に凸状の半球又は凸状半球の一部を形成
する半導体装置の加工方法において、 前記半導体基板の裏面に、前記研削ツールを前記所定個
所に誘導するためのガイドを形成しておくことを特徴と
する半導体装置の加工方法。 - 【請求項20】 前記ガイドが、フォトリソグラフィに
より、前記半導体基板裏面を加工して形成した前記研削
ツールの回転半径とほぼ同じ半径を有する円形の窪みで
あることを特徴とする請求項19に記載の半導体装置の
加工方法。 - 【請求項21】 前記ガイドは、半導体基板裏面の上
方、或いは半導体基板裏面に接触して固定された板に形
成された前記研削ツールの回転半径とほぼ同じ半径を有
する円形の窪み又は開口穴であることを特徴とする請求
項19に記載の半導体装置の加工方法。 - 【請求項22】 半導体基板を研削することにより半導
体装置を加工する半導体装置の加工装置において、 断面が半円又は半円の一部の形状を成す溝が形成された
研削ツールを回転させることにより上記半導体基板を研
削して半導体基板裏面の所定個所に凸状の半球又は凸状
半球の一部を形成する研削装置と、 前記研削ツールを前記所定個所に誘導するガイドと、 前記所定個所を前記ガイドの中央にアライメントするた
めのアライメント機構とを有することを特徴とする半導
体装置の加工装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001116647A JP3602465B2 (ja) | 2000-10-10 | 2001-04-16 | 半導体装置、半導体装置の評価解析方法及び半導体装置の加工装置 |
US09/962,430 US6475398B2 (en) | 2000-10-10 | 2001-09-25 | Semiconductor device incorporating hemispherical solid immersion lens, apparatus and method for manufacturing same |
US10/230,491 US6608359B2 (en) | 2000-10-10 | 2002-08-29 | Semiconductor device incorporating hemispherical solid immersion lens, apparatus and method for manufacturing the same |
US10/230,490 US6656029B2 (en) | 2000-10-10 | 2002-08-29 | Semiconductor device incorporating hemispherical solid immersion lens, apparatus and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-308890 | 2000-10-10 | ||
JP2000308890 | 2000-10-10 | ||
JP2001116647A JP3602465B2 (ja) | 2000-10-10 | 2001-04-16 | 半導体装置、半導体装置の評価解析方法及び半導体装置の加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002189000A true JP2002189000A (ja) | 2002-07-05 |
JP3602465B2 JP3602465B2 (ja) | 2004-12-15 |
Family
ID=26601761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001116647A Expired - Fee Related JP3602465B2 (ja) | 2000-10-10 | 2001-04-16 | 半導体装置、半導体装置の評価解析方法及び半導体装置の加工装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6475398B2 (ja) |
JP (1) | JP3602465B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005083490A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | 顕微鏡及び試料観察方法 |
US7046449B2 (en) | 2003-03-20 | 2006-05-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens and sample observation method using it |
US7221502B2 (en) | 2003-03-20 | 2007-05-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope and sample observation method |
US7312921B2 (en) | 2004-02-27 | 2007-12-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope and sample observation method |
JP2008091626A (ja) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Hamamatsu Photonics Kk | ウェハ支持装置及びウェハ観察装置 |
US7423816B2 (en) | 2003-03-20 | 2008-09-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens and microscope |
US7576928B2 (en) | 2003-10-31 | 2009-08-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens holder |
JP2013144421A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料基板のブレイク方法 |
JP2015166190A (ja) * | 2015-06-16 | 2015-09-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板のブレイク装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7426171B2 (en) * | 2002-11-18 | 2008-09-16 | Sony Corporation | Optical lens, condenser lens, optical pickup, and optical recording/reproducing apparatus |
US7023023B2 (en) * | 2003-04-30 | 2006-04-04 | Intel Corporation | Optical interconnects in integrated circuits |
US20050094258A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens moving device and microscope using the same |
US20060000814A1 (en) * | 2004-06-30 | 2006-01-05 | Bo Gu | Laser-based method and system for processing targeted surface material and article produced thereby |
US20060094322A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Ouderkirk Andrew J | Process for manufacturing a light emitting array |
US7404756B2 (en) * | 2004-10-29 | 2008-07-29 | 3M Innovative Properties Company | Process for manufacturing optical and semiconductor elements |
KR101748900B1 (ko) * | 2010-06-23 | 2017-06-19 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 흡착기, 반도체 디바이스 관찰 장치, 및 반도체 디바이스 관찰 방법 |
CN106770357A (zh) * | 2016-11-22 | 2017-05-31 | 上海华力微电子有限公司 | 提高光发射显微镜背面定位效果的方法、样品及制作方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4279690A (en) * | 1975-10-28 | 1981-07-21 | Texas Instruments Incorporated | High-radiance emitters with integral microlens |
JPH05157701A (ja) * | 1991-03-11 | 1993-06-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光学的内部検査援助装置及びその方法 |
JPH11163261A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3290192A (en) * | 1965-07-09 | 1966-12-06 | Motorola Inc | Method of etching semiconductors |
US5128281A (en) * | 1991-06-05 | 1992-07-07 | Texas Instruments Incorporated | Method for polishing semiconductor wafer edges |
JP2000012190A (ja) | 1998-06-29 | 2000-01-14 | Three S Techno Kk | 金属系の給電線を持たない面状発熱体 |
JP2000121930A (ja) | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Nikon Corp | 固体浸レンズを用いた結像光学系並びにこの結像光学系を用いた光ディスク記録再生装置および顕微鏡 |
-
2001
- 2001-04-16 JP JP2001116647A patent/JP3602465B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-25 US US09/962,430 patent/US6475398B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-08-29 US US10/230,491 patent/US6608359B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-08-29 US US10/230,490 patent/US6656029B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4279690A (en) * | 1975-10-28 | 1981-07-21 | Texas Instruments Incorporated | High-radiance emitters with integral microlens |
JPH05157701A (ja) * | 1991-03-11 | 1993-06-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光学的内部検査援助装置及びその方法 |
JPH11163261A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7423816B2 (en) | 2003-03-20 | 2008-09-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens and microscope |
US7046449B2 (en) | 2003-03-20 | 2006-05-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens and sample observation method using it |
US7149036B2 (en) | 2003-03-20 | 2006-12-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens and sample observation method using it |
US7221502B2 (en) | 2003-03-20 | 2007-05-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope and sample observation method |
US7576928B2 (en) | 2003-10-31 | 2009-08-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid immersion lens holder |
CN100388043C (zh) * | 2004-02-27 | 2008-05-14 | 浜松光子学株式会社 | 显微镜和试料观察方法 |
US7312921B2 (en) | 2004-02-27 | 2007-12-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope and sample observation method |
WO2005083490A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | 顕微鏡及び試料観察方法 |
JPWO2005083490A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2007-11-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 顕微鏡及び試料観察方法 |
US7576910B2 (en) | 2004-02-27 | 2009-08-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope and sample observation method |
US7110172B2 (en) | 2004-02-27 | 2006-09-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscope and sample observation method |
JP4584917B2 (ja) * | 2004-02-27 | 2010-11-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 顕微鏡及び試料観察方法 |
JP2008091626A (ja) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Hamamatsu Photonics Kk | ウェハ支持装置及びウェハ観察装置 |
JP2013144421A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 脆性材料基板のブレイク方法 |
TWI499492B (zh) * | 2012-01-16 | 2015-09-11 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | Cracking method of brittle material substrate |
JP2015166190A (ja) * | 2015-06-16 | 2015-09-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板のブレイク装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6608359B2 (en) | 2003-08-19 |
US20020043707A1 (en) | 2002-04-18 |
US6475398B2 (en) | 2002-11-05 |
US20030000917A1 (en) | 2003-01-02 |
JP3602465B2 (ja) | 2004-12-15 |
US6656029B2 (en) | 2003-12-02 |
US20030000915A1 (en) | 2003-01-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3602465B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の評価解析方法及び半導体装置の加工装置 | |
US10267745B2 (en) | Defect detection method and defect detection device and defect observation device provided with same | |
JP4195921B2 (ja) | 検査装置 | |
KR0179327B1 (ko) | 불규칙한 표면 상태 검출방법 및 이를 사용하여 반도체 디바이스 또는 액정표시 디바이스를 제조하는방법 | |
JP2000298142A (ja) | 印刷回路基板プローブカード上のプローブチップの相対位置を求める方法と装置 | |
US7697146B2 (en) | Apparatus and method for optical interference fringe based integrated circuit processing | |
JP2006250739A (ja) | 異物欠陥検査方法及びその装置 | |
CN106772923B (zh) | 基于倾斜狭缝的自动对焦方法和系统 | |
KR100547542B1 (ko) | 고장 해석 장치 | |
EP2378548A1 (en) | Methods of processing and inspecting semiconductor substrates | |
US20140226894A1 (en) | Measuring form changes of a substrate | |
US20180144997A1 (en) | Sample with improved effect of backside positioning, fabrication method and analysis method thereof | |
JP3768212B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
US6864972B1 (en) | IC die analysis via back side lens | |
JPH1163944A (ja) | 表面パターンの検査方法及び検査装置 | |
JP2004020404A (ja) | 半導体デバイスの計測または観察方法およびその装置 | |
JP6469926B1 (ja) | チップ裏面撮像装置及びボンディング装置 | |
JP2019066691A (ja) | 検査装置 | |
JP2005003545A (ja) | 高さ測定方法及びその装置 | |
US10473579B2 (en) | Apparatus for inspecting material property of plurality of measurement objects | |
JP2009272541A (ja) | 検査用基板及び半導体装置の製造方法 | |
TW202117380A (zh) | 固態浸沒式透鏡單元及半導體檢查裝置 | |
JP2006332239A (ja) | 半導体装置、及び液浸型半導体露光装置 | |
JP2007324457A (ja) | 半導体装置の故障解析に用いる支持治具、およびその支持治具を利用した故障解析方法 | |
JP2005005402A (ja) | 位置合わせ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040519 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040714 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040825 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040922 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081001 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091001 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 6 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111001 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121001 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 9 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |