JP2002184761A - プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の組付け解体方法及びその専用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のプラズマ処理装置のチャンバー１内を
メンテナンスする場合にはチャンバー１の上端を開放し
て開口した後チャンバー１内に頭を入れて点検部品等に
アクセスし、チャンバー１の下方をメンテナンスする場
合にはチャンバー１の下側に潜り込んでアクセスするた
め、作業姿勢が悪く、重量物の取扱いに危険を伴う虞が
ある。 【解決手段】 本発明のプラズマ処理装置の組付け解体
方法は、組付け解体専用治具３０の複数の昇降可能な支
柱３２でボトムプレート１１Ａを水平に支持する工程
と、上記各支柱３２で支持されたボトムプレート１１Ａ
に下部電極１２及びその関連部品を組付けあるいは解体
する工程と、専用治具３０をチャンバー１１の真下まで
あるいは真下から搬送する工程と、支柱３２を上昇させ
てボトムプレート１１Ａをチャンバー１１下端に接合し
て上記電極及びその関連部品を組付け、あるいは上記支
柱を下降させて上記ボトムプレートを下部電極１２及び
その関連部品と一緒にチャンバー１１から切り離す工程
とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ処理装置、プ
ラズマ処理装置用電極の組付け解体方法及びその専用治
具に関に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマ処理装置は、例えば図１４に示
すように、所定の真空度を保持できる気密構造の処理容
器（以下、「チャンバー」と称す。）１と、このチャン
バー１の底面１Ａに配置された載置台を兼ねる下部電極
２と、この下部電極２の上方に下部電極２と平行に配置
された上部電極３とを備え、上部電極３からチャンバー
１内へエッチング等のプラズマ処理用ガスを同図のＡで
示すように供給するようにしてある。下部電極２にはバ
イアス発生用の高周波電源４がマッチングボックス４Ａ
を介して接続され、上部電極３にはプラズマ発生用の高
周波電源５がマッチングボックス５Ａを介して接続され
ている。そして、上部電極３からプラズマ処理用ガスを
供給しながら上下両電極２、３にそれぞれの高周波電力
を印加して上下の電極２、３間で所定のプラズマを発生
させ、使用後のガスを矢印Ｂで示すように排気口１Ｂか
ら排気する。

【０００３】また、下部電極２にはチャンバー１のボト
ムプレート１Ａの中央孔を貫通する筒状の支持部材６Ａ
が接続され、ボトムプレート１Ａの下方でボールネジ等
を有する駆動機構６Ｂに連結されている。支持部材６Ａ
上端の外周とボトムプレート１Ａ間にはベローズ７が取
り付けられている。従って、下部電極２はチャンバー１
内で駆動機構６Ｂを介して昇降し、プラズマ処理を行う
時には下部電極２は上部電極３との間で所定の隙間を形
成するようにしてある。

【０００４】下部電極２の上端近傍にはリング状のバッ
フルプレート２Ａが取り付けられ、使用後のガスをバッ
フルプレート２Ａを介してチャンバー１内のプラズマ処
理部１Ｃから排気部１Ｂへ排出する。また、チャンバー
１の内周面には遮蔽部材１Ｄが着脱可能に取り付けら
れ、遮蔽部材１Ｄによってチャンバー１の内周面を保護
している。

【０００５】ところで、例えばプラズマ処理装置のメン
テナンスを行う場合には、チャンバー１から上部電極３
を取り外してチャンバー１の上端を開放した後、チャン
バー１内に頭を入れて下部電極２及びその関連部品を分
解してチャンバー１外へ取り出し、個々の部品について
点検を行う。また、チャンバー１の下方にある部品につ
いはチャンバー１を支持する支持体（図示せず）の下方
に潜り込み、チャンバー１の下方から部品を点検し、必
要に応じて部品を取り外して点検している。メンテナン
ス終了後、チャンバー１下方の部品は支持体の下方に潜
り込んで組付け、チャンバー１内の部品はチャンバー１
の上端開口から組み付けている。

【０００６】また、例えば図１４に示す下部電極２の高
周波給電ラインは図１５に示すように給電棒８によって
形成され、この給電棒８がマッチングボックス４Ａに対
して接続されている。即ち、給電棒８の給電端子部８Ａ
はマッチングボックス４Ａ側の給電端子部４Ｂに対して
接続板８Ｂを介してネジ止めされている。更に、接続さ
れた給電端子部４Ｂ、８Ａは一対のクランプ８Ｃ、８Ｃ
で挟まれている。尚、図１５において、８Ｄはマッチン
グボックス４Ａにおいて給電棒８の下端を支持する支持
部材である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プラズマ処理装置のチャンバー１内をメンテナンスする
場合にはチャンバー１の上端を開放して開口した後チャ
ンバー１内に頭を入れて点検部品等にアクセスし、チャ
ンバー１の下方をメンテナンスする場合にはチャンバー
１の下側に潜り込んでアクセスするため、作業姿勢が悪
く、重量物の取扱いに危険を伴う虞がある。また、マッ
チングボックス４Ａをメンテナンスする場合にはチャン
バー１下方の狭い空間で高周波給電棒８とマッチングボ
ックス４Ａの接続部を切り離すため、作業性が悪く、長
時間を要するという課題があった。

【０００８】また、従来のプラズマ処理装置は、下部電
極２が駆動機構６Ｂを介して昇降する構造であるため、
下部電極２に連結されたグランドパイプ（図示せず）の
みからグランド電位を取っているため、グランド電位を
十分に取ることが難しく、チャンバー１内で異常放電を
誘発する虞があった。更に、下部電極２の従来の昇降駆
動機構６Ｂは複数のボールネジをベルトを介して連動さ
せる構造になっているため、稼働中に昇降駆動機構６Ｂ
のベルトが破損したり、あるいは空転すると、チャンバ
ー１内の真空により下部電極２が上昇したり、場合によ
っては下部電極２が自重で支持できなくなる虞がある。

【０００９】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、チャンバー内での異常放電を確実に防止す
ることができるプラズマ処理装置及び稼働中の下部電極
の昇降駆動機構のベルト切れを自動的に検出して下部電
極の昇降を阻止してプラズマ処理を継続することができ
るプラズマ処理装置を提供することを目的としている。
また、チャンバー内のメンテナンスを行う際に下部電極
及びその関連部品の組付け解体の作業性を高めたプラズ
マ処理装置の組付け解体方法及びその専用治具を提供す
ることを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のプラズマ処理装置は、処理容器のボトムプレートと、
このボトムプレートに昇降可能に配設され且つ被処理体
を支持する電極と、この電極に高周波電力を印加する高
周波電源と、この高周波電源と上記電極間に介在するマ
ッチングボックスと、このマッチングボックスを支持す
るマッチングプレートとを備え、上記処理容器内でプラ
ズマを発生させ上記被処理体にプラズマ処理を施すプラ
ズマ処理装置において、上記ボトムプレートを貫通し且
つ上記電極と上記マッチングボックスを連結して上記電
極のグランド電位と取るグランドパイプと、このグラン
ドパイプに取り付けられ且つ上記電極の上昇に伴って上
記ボトムプレートと弾接して上記グランドパイプと上記
マッチングボックスを導通させる第１の導通手段とを有
することを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の請求項２に記載のプラズマ
処理装置は、請求項１に記載の発明において、第１の導
通手段は、上記グランドパイプが貫通するフランジ付き
の筒状部材と、この筒状部材のフランジと上記マッチン
グボックス間に介装されたスプリングとを有し、上記筒
状部材の内周面に上記グランドパイプと弾接して電気的
に導通させる第１の電気的接触部材を設けると共に上記
筒状部材の上端面に上記ボトムプレートと弾接して電気
的に導通させる第２の電気的接触部材を設けたことを特
徴とするものである。

【００１２】また、本発明の請求項３に記載のプラズマ
処理装置は、請求項１または請求項２に記載の発明にお
いて、上上記ボトムプレートと上記マッチングプレート
を介して上記グランドパイプとを電気的に導通させる第
２の導通手段を設けたことを特徴とするものである。

【００１３】また、本発明の請求項４に記載のプラズマ
処理装置は、請求項３に記載の発明において、第２の導
通手段は、上記ボトムプレートに連結された第１のプレ
ートと、第１のプレートに昇降自在に連結された第２の
プレートと、第１、第２のプレート間に介装され且つこ
れら両者を電気的に導通させる連結部材と、第１、第２
のプレート間に介装されたスプリングと、上記各プレー
トにそれぞれ取り付けられ且つ上記ボトムプレート及び
上記マッチングプレート側とそれぞれ弾接して電気的に
導通させる第３、第４の電気的接触部材を設けたことを
特徴とするものである。

【００１４】また、本発明の請求項５に記載のプラズマ
処理装置は、処理容器内に配設され且つ被処理体を支持
する電極と、この電極に給電棒及びマッチングボックス
を介して高周波電力を印加する高周波電源と、上記マッ
チングボックスを着脱可能に支持するマッチングプレー
トとを備え、上記処理容器内でプラズマを発生させ上記
被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置におい
て、上記マッチングボックスを昇降させる昇降駆動機構
を上記マッチングプレートに設けると共に上記給電棒と
上記マッチングボックスの接続部に嵌合部を設け、上記
昇降駆動機構を介して上昇するマッチングボックスと上
記給電棒を上記嵌合部を介して接合させることを特徴と
するものである。

【００１５】また、本発明の請求項６に記載のプラズマ
処理装置は、処理容器のボトムプレートと、このボトム
プレートに昇降可能に配設され且つ被処理体を支持する
電極と、この電極を昇降させる昇降駆動機構とを備え、
上記昇降駆動機構は、上記電極に上端が連結された複数
のボールネジと、これらのボールネジに掛け廻された第
１の無端状ベルトと、上記ボールネジの一つを正逆回転
させるモータとを備え、上記処理容器内でプラズマを発
生させ上記被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理
装置において、第１の無端状ベルトの切断を検出する異
常検出手段を設けると共に、上記異常検出手段の異常検
出に基づいて上記ボールネジを制動する制動手段を設け
たことを特徴とするものである。

【００１６】また、本発明の請求項７に記載のプラズマ
処理装置は、請求項６に記載の発明において、上記異常
検出手段は、第１の無端状ベルトと弾接するローラと、
このローラを支持する正逆回転自在なレバーと、このレ
バーを介して上記ローラを第１の無端状ベルトに弾接さ
せる付勢手段と、この付勢手段で付勢されたレバーの異
常を検出するセンサとを有することを特徴とするもので
ある。

【００１７】また、本発明の請求項８に記載のプラズマ
処理装置は、請求項６または請求項７に記載の発明にお
いて、上記昇降駆動機構は、上記ボールネジと上記モー
タ間に介在する減速機と、この減速機と上記モータ間及
び上記減速機と上記ボールネジ間にそれぞれ掛け廻され
た第２、第３の無端状ベルトを有し、且つ、第２、第３
の無端状ベルトの切断をそれぞれ検出する第２の異常検
出手段とを有し、上記制動手段は第２の異常検出手段に
基づいて作動することを特徴とするものである。

【００１８】また、本発明の請求項９に記載のプラズマ
処理装置は、請求項８に記載の発明において、第２の異
常検出手段は、第１、第２の無端状ベルトとそれぞれ弾
接する第２、第３のローラと、これらのローラを支持す
る正逆回転自在な第２、第３のレバーと、これらのレバ
ーを介して第２、第３のローラを第２、第３の無端状ベ
ルトに弾接させる第２、第３の付勢手段と、これらの付
勢手段で付勢された第２、第３のレバーの異常を検出す
る第２のセンサとを有することを特徴とするものであ
る。

【００１９】また、本発明の請求項１０に記載のプラズ
マ処理装置の組付け解体方法は、下端が開口したプラズ
マ処理用の処理容器と、この処理容器の下端開口に着脱
可能に取り付けられたボトムプレートと、このボトムプ
レート上に配設され且つ被処理体を支持する電極と、こ
の電極に関連する部品とを備えたプラズマ処理装置の組
立あるいはメンテナンスに際し上記処理容器に上記電極
及びその関連部品を組付け解体する方法において、組付
け解体専用治具の複数の昇降可能な支柱で上記ボトムプ
レートを水平に支持する工程と、上記各支柱で支持され
たボトムプレートに上記電極及びその関連部品を組付け
あるいは解体する工程と、上記専用治具を上記処理容器
の真下まであるいは真下から搬送する工程と、上記支柱
を上昇させて上記ボトムプレートを上記処理容器下端に
接合して上記電極及びその関連部品を組付け、あるいは
上記支柱を下降させて上記ボトムプレートを上記電極及
びその関連部品と一緒に上記処理容器から切り離す工程
とを備えたことを特徴とするものである。

【００２０】また、本発明の請求項１１に記載のプラズ
マ処理装置の組付け解体専用治具は、下端が開口したプ
ラズマ処理用の処理容器と、この処理容器の下端開口に
着脱可能に取り付けられたボトムプレートと、このボト
ムプレート上に配設され且つ被処理体を支持する電極
と、この電極に関連する部品とを備えたプラズマ処理装
置の組立あるいはメンテナンスに際し上記処理容器に上
記電極及びその関連部品を組付け解体する専用治具にお
いて、上記ボトムプレートを水平に支持する昇降可能な
複数の支柱と、これらの支柱を昇降させる昇降駆動機構
とを備え、上記昇降駆動機構は、上記各支柱にそれぞれ
連結されたリードネジと、これらのリードネジ間に掛け
廻された無端状ベルトと、この無端状ベルトを正逆回転
させる回転駆動機構と、この回転駆動機構を操作する操
作手段とを有することを特徴とするものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図１１に示す実施形
態に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプラズマ
処理装置１０は、例えば図１に示すように、アルミニウ
ム等の導電性材料からなる処理容器（チャンバー）１１
と、このチャンバー１１内の底面に配設され且つ被処理
体としてのウエハ（図示せず）を載置する下部電極１２
と、この下部電極１２と対向して平行に配設され且つ処
理用ガスの供給部を兼ねた上部電極１３とを備え、以下
で説明する部分以外は図１４に示すプラズマ処理装置に
準じて構成されている。そして、チャンバー１１の底面
はチャンバー１１に対して着脱可能なボトムプレート１
１Ａとして形成されている。下部電極１２には高周波電
源１４がマッチングボックス１５を介して接続され、上
部電極１３には高周波電源１４より周波数の高い第２の
高周波電源（図示せず）がマッチングボックス（図示せ
ず）を介して接続されている。図示してないが上部電極
１３にはガス供給源がバルブ、マスフローコントローラ
を介して接続され、ガス供給源から上部電極１３へフル
オロカーボンガス（ＣＦｘ）等の処理用ガスを供給す
る。また、チャンバー１１の底面には排気口（図示せ
ず）が形成され、排気口に接続された図示しない排気装
置を介してチャンバー１１内を排気して処理用ガスで所
定の真空度を維持する。

【００２２】従って、例えばチャンバー１１内を処理用
ガスで所定の真空度を維持した状態で高周波電源１４か
らマッチングボックス１５を介して下部電極１２に２Ｍ
Ｈｚの第１の高周波電力を印加すると共に第２の高周波
電源から上部電極１３に６０ＭＨｚの第２の高周波電力
を印加すると、第２の高周波電力の働きで下部電極１２
と上部電極１３の間で処理用ガスのプラズマを発生する
と共に高周波電力の働きで下部電極１２にバイアス電位
が発生し、下部電極１２上のウエハＷに対して例えば反
応性イオンエッチング等のプラズマ処理を行うことがで
きる。

【００２３】また、下部電極１２は図１に示すように昇
降駆動機構１６を介して昇降可能に構成されている。こ
の昇降駆動機構１６は、例えば図１、図２に示すよう
に、下部電極１２に正逆回転自在に連結された３本のボ
ールネジ１６Ａと、これらのボールネジ１６Ａを回転さ
せる減速機１６Ｂ及びモータ１６Ｃとを備えている。３
本のボールネジ１６Ａには無端状の第１タイミングベル
ト１６Ｄが掛け廻され、これらのボールネジ１６Ａが第
１タイミングベルト１６Ｄを介して同期回転する。１本
のボールネジ１６Ａと減速機１６Ｂには無端状の第２タ
イミングベルト１６Ｅが掛け廻され、減速機１６Ｂとモ
ータ１６Ｃには無端状の第３タイミングベルトＦが掛け
廻され、第３タイミングベルト１６Ｆ、減速機１６Ｂ及
び第２タイミングベルト１６Ｅを介してモータ１６Ｃの
動力をボールネジ１６Ａに伝達する。３本のボールネジ
１６Ａの間にはガイドローラ１６Ｇ、１６Ｈが配設さ
れ、これらのガイドローラ１６Ｇ、１６Ｈで第１タイミ
ングベルト１６Ｄに張力を付与している。そして、モー
タ１６Ａ、減速機１６Ｂ及びガイドローラ１６Ｇ、１６
Ｈは図２に示すようにいずれもボトムプレート１１Ａの
裏面側に配設され、モータ１６Ｃの正逆回転により３本
のボールネジ１６Ａの上端に連結された下部電極１２が
昇降する。

【００２４】而して、図２、図３に示すようにボトムプ
レート１１Ａの裏面には第１、第２異常検出機構１７、
１８が配設され、第１、第２異常検出機構１７、１８を
介して第１、第２、第３タイミングベルト１６Ｄ、１６
Ｅ、１６Ｆの切断の有無を検出するようにしている。第
１の異常検出機構１７は、図３に示すように、ガイドロ
ーラ１６Ｇを支持する正逆回転自在なレバー１７１と、
このレバー１７１を介してガイドローラ１６Ｇを第１タ
イミングベルト１６Ｄに弾接させる付勢手段（コイルス
プリング）１７２と、このコイルスプリング１７２で付
勢されたレバー１７１の回転異常を検出する第１のセン
サ１７３とを備えている。レバー１７１は一端がボトム
プレート１１Ａに枢着されていると共に他端がコイルス
プリング１７２に連結され、その中間部にガイドローラ
１６Ｇが回転自在に取り付けられている。第１のセンサ
１７３は本体１７３Ａから側方に突出したスイッチ１７
３Ｂを有し、第１タイミングベルト１６Ｄが切断し、コ
イルスプリング１７２のバネ力でレバー１７１の中間に
連結されたセンシングバー１７４がガイドピン１７５に
従って右方に移動することによりスイッチ１７３Ｂを付
勢する。

【００２５】また、第２の異常検出機構１８は、図３に
示すように、第１、第２タイミングベルト１６Ｅ、１６
Ｆとそれぞれ弾接する第２、第３ローラ１８１、１８２
と、これらのローラ１８１、１８２を支持する正逆回転
自在な第２、第３のレバー１８３、１８４と、これらの
レバー１８３、１８４を介して第２、第３ローラ１８
１、１８２を第２、第３タイミングベルト１６Ｅ、１６
Ｆに弾接させる第２、第３のＶ字状のスプリング１８
５、１８６と、これらのＶ字状スプリング１８５、１８
６で付勢された第２、第３のレバー１８３、１８４の回
転異常を検出する、上記センサ１７３と同種の第２のセ
ンサ１８７とを有している。第２、第３のレバー１８
３、１８４はそれぞれ軸１８３Ａ、１８４Ａを介して枢
着され、これらの軸１８３Ａ、１８４Ａに第２、第３ス
プリング１８５、１８６が１それぞれ取り付けられてい
る。スプリング１８５、１８６の一端は係止部材１８５
Ａ、１８６Ａと係合し、それぞれの他端は第２、第３の
レバー１８３、１８４に形成された折曲部１８３Ｂ、１
８４Ｂとバネ力を持って係合している。従って、第２、
第３のレバー１８３、１８４は第２、第３スプリング１
８５、１８６を介して軸１８３Ａ、１８４Ａを中心に時
計方向へ回転するように付勢されている。更に、これら
のレバー１８３、１８４はいずれも第２センシングバー
１８８と係合している。従って、第２、第３タイミング
ベルト１６Ｅ、１６Ｆが切断すると、第２、第３のレバ
ー１８３、１８４が第２、第３スプリング１８５、１８
６を介して軸１８３Ａ、１８４Ａを中心に時計方向へ異
常に回転し、第２センシングバー１８８がガイドピン１
８９に従って右方へ移動することによりスイッチ１８７
Ｂを付勢する。

【００２６】更に、上記ボトムプレート１１Ａに裏面に
は第１、第２の異常検出機構１７、１８の異常検出に基
づいてボールネジ１６Ａを制動する制動機構１９が設け
られている。この制動機構１９は、図２、図３に示すよ
うに、制動ドラム１９Ａと、この制動ドラム１９Ａとボ
ールネジ１６Ａに掛け廻された第４タイミングベルト１
９Ｂとを備え、第１、第２、第３タイミングベルト１６
Ｄ、１６Ｅ、１６Ｆのいずれかが切断した時に第１、第
２のセンサ１７３、１８７のいずれかが付勢されて制動
ドラム１９Ａが作動して第４タイミングベルト１９Ｂを
介してボールネジ１６Ａの回転を停止させる。

【００２７】また、図４に示すように下部電極１２には
グランド電位を取るブランドパイプ２０の上端が連結さ
れ、このグランドパイプ２０は下部電極１２と一体的に
昇降する。このグランドパイプ２０はボトムプレート１
１Ａの中心孔１１Ｂを貫通し、その下端がマッチングボ
ックス１５に導通自在に接続できるようになっている。
マッチングボックス１５は後述のようにマッチングプレ
ート１５Ａに対して着脱可能に構成されている。グラン
ドパイプ２０のみではグランド電位を十分に取ることが
できないため、本実施形態ではボトムプレート１１Ａか
らも第１の導通手段２１を介してグランド電位を取り、
チャンバー１１内での静電気による異常放電を防止する
ようにしている。即ち、第１の導通手段２１はグランド
パイプ２０の下端部に取り付けられ、下部電極１２が上
昇した時にボトムプレート１１Ａと弾接し、下部電極１
２が下降した時にボトムプレート１１Ａから切り離され
るようになっている。

【００２８】第１の導通手段２１は、図４、図５の
（ａ）、（ｂ）に示すように、グランドパイプ２０が貫
通するフランジ付きの筒状部材２１１と、この筒状部材
２１１のフランジ２１１Ａとグランドパイプ２０に固定
されたリングプレート２１２間に介装されたコイルスプ
リング２１３とを有している。また、筒状部材２１１の
内周面の軸方向中程には表面に多数の波状突起２１４Ａ
が形成された第１バンド２１４が第１の電気的接触手段
として全周に渡って設けられ、第１バンド２１４を介し
て筒状部材２１１とグランドパイプ２０を電気的に導通
させている。また、筒状部材２１１の上端面には第１バ
ンド２１４と同種の第２バンド２１５が第２の電気的接
触手段として全周に渡って設けられ、下部電極１２が図
４に示すように上昇した時に第２バンド２１５を介して
筒状部材２１１とボトムプレート１１Ａが接触し両者間
を電気的に導通させる。筒状部材２１１とリングプレー
ト２１２は図５の（ｂ）に示すようにフランジ２１１Ａ
全周に渡って等間隔に配置された複数の連結棒２１６を
介して連結され、これらの連結棒２１６がコイルスプリ
ング２１３によって囲まれている。従って、図４に示す
ように下部電極１２が上昇すると、コイルスプリング２
１３が圧縮されると共に筒状部材２１１の上端がボトム
プレート１１Ａの中心に形成された中心孔１１Ｂに嵌入
して弾接し、第２バンド２１５を介して筒状部材２１１
とボトムプレート１１Ａが電気的に導通すると共に第１
バンド２１４を介して筒状部材２１１とグランドパイプ
２０が電気的に導通する。連結棒２１６は、図５の
（ｂ）に示すように、下端がリングプレート２１２にボ
ルト２１６Ａを介して固定され、上端が筒状部材２１１
のフランジ２１１Ａを貫通しフランジ２１６Ｂで吊持さ
れている。

【００２９】また、図６の（ａ）に示すように上記筒状
部材２１１の内周面の上下端部に全周に渡って形成され
た溝内に樹脂製のガイドリング２１７がそれぞれ装着さ
れ、これらのガイドリング２１７を介して筒状部材２１
１がグランドパイプ２０に沿って昇降できるようにして
ある。更に、上下のガイドリング２１７の軸方向やや内
側に全周に渡って形成された溝内にＯリング２１８がそ
れぞれ装着されている。そして、これらのＯリング２１
８間に導電性グリース２１９が封止され、導電性グリー
ス２１９を介して筒状部材２１１がグランドパイプ２０
に従って円滑に昇降すると共に両者間の電気的導通を図
っている。尚、図６の（ｂ）は第１バンド２１４を拡大
して示す断面図である。このバンド２１４は例えばアル
ミニウム製でその表面に銀メッキが施され、電気的導通
性が高められたものであり、以下のバンドも同様に形成
されている。

【００３０】また、グランドパイプ２０の外方には図７
の（ａ）〜（ｃ）に示す第２の導通手段２２が配設さ
れ、下部電極１２が上昇した時に、第２の導通手段２２
を介してボトムプレート１１Ａとマッチングプレート１
５Ａ間を電気的に導通し、ひいてはボトムプレート１１
Ａとグランドパイプ２０間を導通し、第１の導通手段２
１と同様にグランドパイプ２０を介してより十分なグラ
ンド電位を取るようにしている。

【００３１】第２の導通手段２２は、図７の（ａ）〜
（ｃ）に示すように、ボトムプレート１１Ａに連結され
た円弧状の第１のプレート２２１と、第１のプレート２
２１と両端で複数の連結棒２２２を介して昇降自在に連
結された第２のプレート２２３と、第１、第２のプレー
ト２２１、２２３間に介装された複数のコイルスプリン
グ２２４とを備えている。複数のコイルスプリング２２
４は両端の連結棒２２２間に互いに等間隔を隔てて配置
され、各コイルスプリング２２４は図７の（ｂ）に示す
ように内部に装着されたシリンダ機構２２５に従って伸
縮する。シリンダ機構２２５は、第１のプレート２２１
に上端が固定されたシリンダ２２５Ａと、このシリンダ
２２５Ａ内を摺動し且つ第２プレート２２３に下端が固
定されたピストン２２５Ｂとを有している。そして、コ
イルスプリング２２４はシリンダ２２５Ａ上部のフラン
ジとピストン２２５Ｂ下部のフランジ間に弾装されてい
る。連結棒２２２は図７の（ｂ）に示すように上端が第
１のプレート２２１にボルト２２２Ａによって固定さ
れ、下端が第２のプレート２２３の孔を貫通しフランジ
２２２Ｂを介して第２のプレート２２３を吊持してい
る。

【００３２】図７の（ａ）、（ｂ）に示すように第１の
プレート２２１上面にはボトムプレート１１Ａの下面に
形成された凹部（図示せず）と嵌合する第１、第２突起
２２１Ａ、２２１Ｂが形成されている。第１突起２２１
Ａは第１のプレート２２１の左右中央に配置され、第２
突起２２１Ｂは第１突起２２１Ａの左右に配置されてい
る。そして、第１突起２２１Ａの上端面には第３バンド
２２６が電気的接触部材として設けられている。第２の
プレート２２３の下面には左右のほぼ全長に渡って第４
バンド２２７が電気的接触部材として設けられている。

【００３３】また、上記グランドパイプ２０に対しては
マッチングボックス１５が着脱自在に接続され、マッチ
ングボックス１５を介してブランドパイプ２０のグラン
ド電位を取るようにしている。本実施形態のマッチング
プレート１５Ａは図８の（ａ）、（ｂ）に模式的に示す
ように中央孔１５Ｂを有する矩形状に形成され、四隅に
設けられたボールネジ１５Ｃによってガイドレール１５
Ｄを昇降可能に吊持している。また、マッチングボック
ス１５の両側面にはガイドレール１５Ｄと係合するレー
ル１５Ｅが取り付けられ、同図の（ａ）の矢印で示すよ
うにレール１５Ｅを介してマッチングボックス１５がガ
イドレール１５Ｄに従って下部電極１２の真下まで移動
する。そして、下部電極１２の真下に達したマッチング
ボックス１５は同図の（ｂ）の矢印で示すようにボール
ネジ１５Ｃを介して上昇しマッチングプレート１５Ａに
接触すると共にグランドパイプ２０に接続される。ボー
ルネジ１５Ｃは操作ハンドル１５Ｆ及び無端状ベルト
（図示せず）を介して同期回転し、マッチングボックス
１５を昇降させるようになっている。操作ハンドル１５
Ｆの動力伝達機構は従来周知の技術を利用することがで
きる。例えば、操作ハンドル１５Ｆの駆動力はベベルギ
ア（図示せず）を介して無端状ベルトに伝達するように
すれば良い。従って、ボールネジ１５Ｃ、ガイドレール
１５Ｄ、レール１５Ｅ、操作ハンドル１５Ｆ及び無端状
ベルトによって昇降駆動機構１５Ｇが構成され、この昇
降駆動機構１５Ｇを介してマッチングボックス１５とグ
ランドパイプ２０とを電気的に接続し、切り離すように
してある。

【００３４】上記グランドパイプ２０内には図９の
（ａ）に示すように筒状の高周波給電棒２３が絶縁部材
２０Ａを介して同軸に支持され、この筒状の高周波給電
棒２３内には静電チャック（図示せず）の高圧電源ライ
ン端子２４が絶縁部材２０Ｂを介して同軸に支持されて
いる。グランドパイプ２０と高周波給電棒２３の下端は
揃っており、高圧電源ライン端子２４はグランドパイプ
２０の軸方向内方で絶縁部材２０Ｂの下面から突出して
いる。一方、マッチングボックス１５の上面中央には高
周波電源ライン端子１４Ａが突出していると共に高圧電
源ライン端子２４Ａが高周波電源ライン端子１４Ａと同
軸に突出している。更に、パイプ状のグランド電位用端
子２０Ｃがマッチングボックス１５上面中央に取り付け
られ、上記各端子１４Ａ、２４Ａを取り囲んでいる。

【００３５】従って、図８の（ａ）に示すようにマッチ
ングボックス１５をマッチングプレート１５Ａに装着し
た後、昇降駆動機構１５Ｇの操作ハンドル１５Ｆを操作
してマッチングボックス１５を上昇させると、マッチン
グボックス１５は図９の（ａ）に示す状態から同図の
（ｂ）に示すようにマッチングプレート１５Ａと接触
し、マッチングボックス１５と下部電極１２を電気的に
接続することができる。即ち、高周波電源ライン端子１
４Ａは高周波給電棒２３と嵌合すると共に高圧電源ライ
ン端子２４Ａは高圧電源ライン端子２４と電気的に接合
し、高周波電源１４を下部電極１２の高周波給電棒２３
に接続すると共に高圧電源を静電チャックに接続するこ
とができる。また、グランド電位用端子２０Ｃはグラン
ドパイプ２０と嵌合し、グランドパイプ２０とグランド
電位用端子２０Ｃを電気的に接続しグランド電位を同時
に取ることができる。

【００３６】次に、プラズマ処理装置の組付け解体方法
について説明する。本実施形態の組付け解体方法には専
用治具が用いられる。この専用治具３０は、例えば図１
０に示すように、基台３１と、この基台３１の外周縁部
上に配設された３本の支柱３２と、これらの支柱３２を
それぞれ昇降させる昇降駆動機構３３とを備えている。
昇降駆動機構３３は、基台３１上に配設された操作ハン
ドル３３Ａと、この操作ハンドル３３Ａの回転駆動力を
伝達するベベルギア等から構成され且つハウジング３３
Ｂ内に収納された歯車機構（図示せず）と、この歯車機
構の回転駆動力を３本のリードネジ３３Ｃに伝達する無
端状ベルト（図示せず）とを備えている。リードネジ３
３Ｃは基台３１を貫通し、その下端に無端状ベルト３３
Ｄが掛け廻されたプーリ（図示せず）が固定されてい
る。リードネジ３３Ｃは基台３１の外周縁部に沿って配
設されたハウジング３３Ｅ内に収納されている。リード
ネジ３３Ｃはハウジング３３Ｅ内の上下端に設けられた
支持体３３Ｆ、３３Ｆで垂直に正逆回転自在に支持され
ている。リードネジ３３Ｃにはナット部材３３Ｇが螺合
し、このナット部材３３Ｇに支柱３２の下端が垂直を保
持して固定されている。また、ボトムプレート１１Ａの
裏面には図１１に示すように３本の支柱３２に対応する
３個の凹部１１Ｃが形成され、３本の支柱３２の先端が
ボトムプレート１１Ａの凹部１１Ｃに嵌入し、ボトムプ
レート１１Ａを水平に支持するようになっている。ま
た、基台３１の裏面にキャスター３４が取り付けられ、
専用治具３０を任意の場所へ移動させることができるよ
うになっている。尚、本実施形態では操作ハンドル３３
Ａを用いて手動で昇降駆動機構３３を操作しているが、
操作手段としては操作ハンドル３３Ａに代えて電動式に
することもできる。

【００３７】従って、昇降駆動機構３３の操作ハンドル
３３Ａを正逆回転すると、ハウジング３３Ｂ内の歯車機
構、無端状ベルト３３Ｄ、プーリを介して３本のリード
ネジ３３Ｃが同期して正逆回転する。リードネジ３３Ｃ
が正逆回転するとナット部材３３Ｇを介して３本の支柱
３２が同図に矢印で示すように昇降する。尚、図１０に
おいて、１１Ｄはボールネジ１６Ａ用の孔である。

【００３８】而して、本実施形態ではチャンバー１１内
の下部電極１２及びその関連部品は専用治具３０を用い
てチャンバー１１の外側で組み立てるようにしてある。
即ち、図１０に示すように３本の支柱３２をボトムプレ
ート１１Ａの凹部１１Ｃ内に差し込み、ボトムプレート
１１Ａを専用治具３０で水平に支持する。次いで、操作
ハンドル３３Ａを操作して各支柱３２を最も高い位置ま
で持ち上げる。この状態で下部電極１２に昇降駆動機構
１６のボールネジ１６Ａを装着すると共にその構成部品
をボトムプレート１１Ａの裏面側に装着してボトムプレ
ート１１Ａに昇降駆動機構１６を組付ける。次いで、下
部電極１２や高周波給電棒２３、マッチングプレート１
５Ａ等の給電部品等をボトムプレート１１Ａの上下に組
付け、ボトムプレート１１Ａへの下部電極１２及びその
関連部品の組付けを終了する。しかる後、操作ハンドル
３３Ａを操作してチャンバー１１へ下部電極１２を取り
付けられる位置までボトムプレート１１Ａを下降させた
上で専用治具３０をチャンバー１１の真下まで移動さ
せ、ボトムプレート１１Ａ及び下部電極１２等を搬送す
る。この位置で操作ハンドルを操作し、下部電極１２を
上昇させると下部電極１２がチャンバー１１内に進入
し、ボトムプレート１１Ａがチャンバー１１の下端に当
接する。後はボトムプレート１１Ａをチャンバー１１の
下端へネジ等で固定すれば、下部電極１２及びその関連
部品のチャンバー１１内への組付けが終了する。

【００３９】また、プラズマ処理装置のメンテナンスや
クリーニングを行う場合には例えば上部電極１３をチャ
ンバー１１から取り外す。上部電極１３は重量物である
ため、本実施形態では図１２（ａ）、（ｂ）に示すホイ
スト機構４０が用いられる。このホイスト機構４０は、
同図の（ａ）に示すよう、旋回可能なＬ字状のアーム４
１と、このアーム４１の先端に取り付けられ且つ上部電
極１３等の重量のあるパーツＰを吊持する吊持機構４２
と、この吊持機構４２のワイヤ４３を卷き取るドラム
（図示せず）に連結され且つボックス４４内に収納され
たウォームギア（図示せず）と、このウォームギアに連
結された操作ハンドル４５とを備え、操作ハンドル４５
を正逆回転させることにより吊持機構４２で吊持された
パーツＰを昇降することができる。吊持機構４２は、同
図に（ｂ）に示すように、カップ４２Ａと、このカップ
４２Ａと係合するコーン４２Ｂと、このコーン４２Ｂを
中心に有する円盤４２Ｃとを備えている。カップ４２Ａ
の内周面はテーパ面が係合面として形成され、コーン４
２Ｂの外周面はカップ４２Ａの内周面（係合面）に係合
するテーパ面が係合面として形成されている。これらの
係合面はテーパ面に限られるものではなく、必要に応じ
て適宜の形状の係合面を形成することができる。また、
コーン４２Ｂには貫通孔が形成され、この貫通孔にワイ
ヤ４３に接続された連結具４２Ｄが固定されている。ま
た、円盤４２Ｃの外周縁部には周方向等間隔を空けた孔
（図示せず）が形成され、これらの孔に重量物Ｍに取り
付けられたロープＲを連結する。尚、本実施形態では操
作ハンドル４５を用いて手動でホイスト機構４０を操作
しているが、操作手段としては操作ハンドル４５に代え
て電動式にすることもできる。

【００４０】従って、上部電極１３等の重量のあるパー
ツＰを装置本体から取り外す時には、例えばパーツＰの
４箇所にロープＲを取り付ける一方、パーツＰを取り付
け易い位置まで円盤４２Ｃをカップ４２Ａから引き出し
ておく。そして、これらのロープＲを円盤４２Ｃの孔に
接続する。次いで、操作ハンドル４５を回転させてワイ
ヤ４３を卷き取ると、コーン４２Ｂがカップ４２Ａと係
合して円盤４２Ｃをアーム４１に対してしっかりと固定
する。引き続きアーム４１を旋回させてパーツＰを装置
本体から退避させる。パーツＰを持ち上げる際にカップ
４２Ａとコーン４２Ｂが係合して円盤４２Ｃを固定し、
しかも、パーツＰを４点で吊持しているため、吊持機構
４２でパーツＰを持ち上げ、旋回させる時にパーツＰの
揺れを最小限に抑制することができ、パーツＰの揺れに
よる装置本体は勿論のこと他設備との接触を防止するこ
とができる。尚、パーツＰを持ち上げる際に、万一操作
ハンドル４５から手を離すことがあっても、ウォームギ
アに常に一定の負荷が掛かっているため、パーツＰが自
重で落下することはない。

【００４１】ところが、従来のホイスト機構は図１３に
示すようにシャックル５１でパーツＰを吊持するように
している。従って、ロープＲをシャックル５１に接続す
ると、同図に示すようにロープＲがシャックル５１の一
点に集中し、パーツＰをシャックル５１の一点で吊持す
ることになるため、パーツＰを持ち上げ、装置本体から
移動させる際に同図の矢印で示すように前後左右に大き
く揺れ、装置本体や他設備と接触し、損傷させる虞があ
る。

【００４２】上述のようにしてホイスト機構４０を用い
て上部電極１２を装置本体から取り外した後、専用治具
３０をチャンバー１１の下方へ搬送し操作ハンドル３３
Ａを操作して支柱３２を上昇させてボトムプレート１１
Ａの凹部１１Ｃへ差し込んでボトムプレート１１Ａを専
用治具３０で支持する。次いで、ボトムプレート１１Ａ
とチャンバー１１のネジを取り外した後、操作ハンドル
３３Ａを操作して支柱３２を下降させるとボトムプレー
ト１１Ａ及び下部電極１２及びその関連部品をチャンバ
ー１１から切り離すことができる。引き続き、専用治具
３０をチャンバー１１の真下から移動させて別の場所へ
下部電極１２等を搬送する。そして、必要に応じて下部
電極１２等の分解点検を行って各部品のメンテナンスを
行う。

【００４３】以上説明したように本実施形態によれば、
ボトムプレート１１Ａを貫通し且つ下部電極１２とマッ
チングボックス１５を連結して下部電極１２のグランド
電位を取るグランドパイプ２０と、このグランドパイプ
２０に取り付けられ且つ下部電極１２の上昇に伴ってボ
トムプレート１１Ａと弾接してグランドパイプ２０とマ
ッチングボックス１５を導通させる第１の導通手段２１
とを設けたため、下部電極１２及びボトムプレート１１
Ａから十分にグランド電位を取ることができ、下部電極
１２やボトムプレート１１Ａでの異常放電を確実に防止
することができる。

【００４４】また、第１の導通手段２１は、グランドパ
イプ２０が貫通するフランジ２１１Ａ付きの筒状部材２
１１と、この筒状部材２１１のフランジ２１１Ａとリン
グプレート２１２間に介装されたコイルスプリング２１
３とを有し、筒状部材２１１の内周面にグランドパイプ
２０と弾接して電気的に導通させる第１バンド２１４を
設けると共に筒状部材２１１の上端面にボトムプレート
１１Ａと弾接して電気的に導通させる第２バンド２１５
を設けたため、第１の導通手段２１によってボトムプレ
ート１１Ａとグランドパイプ２０とを確実に導通させて
ボトムプレート１１Ａのグランド電位を確実に取ること
ができる。

【００４５】更に、ボトムプレート１１Ａとマッチング
プレート１５Ａを電気的に導通可能な第２の導通手段２
２を設け、第２の導通手段２２は、ボトムプレート１１
Ａに連結された第１のプレート２２１と、第１のプレー
ト２２１と連結棒２２２を介して昇降自在に連結された
第２のプレート２２３と、これら両プレート２２１、２
２３間に介装され且つこれら両者２２１、２２３を電気
的に導通させるシリンダ機構２２５と、各プレート２２
１、２２３にそれぞれ取り付けられ且つボトムプレート
１１Ａ及びマッチングプレート１５Ａ側とそれぞれ弾接
して電気的に導通させる第３、第４バンド２２６、２２
７を設けたため、第１の導通手段２１と相俟って第２の
導通手段２２によってボトムプレート１１Ａとグランド
パイプ２０とをより確実に導通させてボトムプレート１
１Ａのグランド電位をより確実に取ることができる。

【００４６】また、本実施形態によれば、マッチングプ
レート１５Ａにマッチングボックス１５を昇降させる昇
降駆動機構１５Ｇを設けると共に高周波給電棒２３とマ
ッチングボックス１５の接続部に嵌合部を設け、昇降駆
動機構１５Ｇを介して上昇するマッチングボックス１５
と高周波給電棒２３をワンタッチ接合させるようにした
ため、従来のように高周波電源棒２３とマッチングボッ
クス１５とをネジ止めのような面倒な作業をしなくて
も、昇降駆動機構１５Ｇを操作するだけでマッチングボ
ックス１５を高周波給電棒２３に簡単に接続することが
でき、組立、メンテナンス時における接続作業が簡単に
なり、作業時間を格段に短縮することができる。

【００４７】また、本実施形態によれば、下部電極１２
の昇降駆動機構１６のボールネジ１６Ａを同期回転させ
るタイミングベルト１６Ｄの切断を検出する第１の異常
検出手段１７を設け、第１の異常検出手段１７は、第１
のタイミングベルト１６Ｄと弾接するガイドローラ１６
Ｇと、このガイドローラ１６Ｇを支持する正逆回転自在
なレバー１７１と、このレバー１７１を介してガイドロ
ーラ１６Ｇを第１タイミングベルト１６Ｄに弾接させる
コイルスプリング１７２と、このコイルスプリング１７
２で付勢されたレバー１７１の異常を検出する第１のセ
ンサ１７３とを備えているため、第１タイミングベルト
１６Ｄが切断すれば、コイルスプリング１７２を介して
レバー１７１が回転して第１のセンサ１７３のスイッチ
１７３Ａが入ってベルト切れを自動的に検出することで
きると共に、第１のセンサ１７３のスイッチ１７３Ａの
投入により制動機構１９が作動してボールネジ１６Ａの
正逆回転を制動し、下部電極１２の現在位置を保持する
ことができる。従って、装置の稼働中にベルト切れがあ
っても、下部電極１２はチャンバー１１内で上昇したり
下降したりすることがなく、チャンバー１１内の真空を
そのまま維持することができ、プラズマ処理を継続する
ことができる。

【００４８】また、下部電極１２の昇降駆動機構１６
は、ボールネジ１６Ａとモータ１６Ｃ間に介在する減速
機１６Ｂと、この減速機１６Ｂとモータ１６Ｃ間及び減
速機１６Ｂとボールネジ１６Ａ間にそれぞれ掛け廻され
た第２、第３タイミングベルト１６Ｅ、１６Ｆを有して
いても、第２、第３タイミングベルト１６Ｅ、１６Ｆの
切断をそれぞれ検出する第２の異常検出機構１８を有
し、しかも、第２の異常検出機構１８は、第１、第２タ
イミングベルト１６Ｅ、１６Ｆとそれぞれ弾接する第
２、第３ローラ１８１、１８２と、これらのローラ１８
１、１８２を支持する正逆回転自在な第２、第３レバー
１８３、１８４と、これらのレバー１８３、１８４を介
して第２、第３ローラ１８１、１８２を第２、第３タイ
ミングベルト１６Ｅ、１６Ｆに弾接させる第２、第３の
Ｖ状スプリング１８５、１８６と、これらのＶ状スプリ
ング１８５、１８６で付勢された第２、第３レバー１８
３、１８４の異常回転を検出する第２のセンサ１８７と
を有するため、第２、第３タイミングベルト１６Ｅ、１
６Ｆが切断しても第２の異常検出機構１８で確実に切断
異常を検出することができ、この切断異常は第２のセン
サ１８７のスイッチ１８７Ａの投入を介して制動機構１
９が作動し、異常検出機構１７と同様に下部電極１２の
現在位置を保持することができる。

【００４９】また、本実施形態によれば、プラズマ処理
装置１０の組立あるいはメンテナンスに際し、チャンバ
ー１１に下部電極１２及びその関連部品を組付ける場合
には、チャンバー１１から離れた場所で専用治具３０を
用いて下部電極１２及びその関連部品を組み立てること
ができるため、従来のようにチャンバー１１内やチャン
バー１１の下部に潜っての窮屈な組付け作業が無いた
め、これらの部品の組付け作業を極めて円滑に行うこと
ができ、その作業効率を格段に高めることができ、ひい
ては組立、メンテナンス作業時間を格段に短縮すること
ができる。チャンバー１１からの下部電極１２及びその
関連部品の解体も同様に極めて短時間で行うことができ
る。

【００５０】尚、上記実施形態に何等制限されるもので
はない。必要に応じて各構成要素をい適宜変更すること
ができる。

【００５１】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項４に記載の発
明によれば、チャンバー内での異常放電を確実に防止す
ることができるプラズマ処理装置を提供することができ
る。

【００５２】また、本発明の請求項５に記載の発明によ
れば、マッチングボックスをワンタッチで下部電極に接
続することができるプラズマ処理装置を提供することが
できる。

【００５３】また、本発明の請求項６〜請求項８に記載
の発明によれば、稼働中の下部電極の昇降駆動機構のベ
ルト切れを自動的に検出して下部電極の昇降を阻止して
プラズマ処理を継続することができるプラズマ処理装置
を提供することを目的としている。

【００５４】また、本発明の請求項９及び請求項１０に
記載の発明によれば、チャンバー内のメンテナンスを行
う際に下部電極及びその関連部品の組付け解体の作業性
を高めたプラズマ処理装置の組付け解体方法及びその専
用治具を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマ処理装置の一実施形態を示す
構成図である。

【図２】図１に示す下部電極の昇降駆動機構及びその異
常検出機構を示す平面図である。

【図３】図２の異常検出機構を拡大して示す平面図であ
る。

【図４】図１に示す下部電極に接続されたグランドパイ
プ及び第１、第２の導通手段を示す模式図である。

【図５】図４に示す第１の導通手段を示す図で、（ａ）
はその上方からの平面図、（ｂ）は一部を破断して示す
側面図である。

【図６】図５に示す第１の導通手段を拡大して示す図
で、（ａ）は第１の導通手段とグランドパイプの関係を
示す断面図、（ｂ）は第１の導通手段に用いられたバン
ドを拡大して示す長手方向の断面図である。

【図７】図４に示す第２の導通手段を示す図で、（ａ）
は上方からの平面図、（ｂ）は一部を破断して示す側面
図、（ｃ）は下方からの平面図である。

【図８】マッチングボックスを下部電極に接続するため
の昇降駆動機構を模式的に示す斜視図で、（ａ）はマッ
チングボックスを昇降駆動機構へ装着する状態を示す
図、（ｂ）は昇降駆動機構を介してマッチングボックス
を持ち上げる状態を示す図である。

【図９】マッチングボックスを下部電極側に接続する状
態を説明するための断面図で、（ａ）は接続直前の状態
を示す図、（ｂ）は接続状態を示す図である。

【図１０】下部電極及びその関連部品を組付け解体する
ための専用治具とボトムプレートを示す斜視図である。

【図１１】図１０に示す専用治具を用いて下部電極及び
その関連部品をボトムプレートへ組付ける状態を示す側
面図である。

【図１２】本実施形態に用いられる巻き上げ機を示す斜
視図で、（ａ）はプラズマ処理装置の重量パーツを持ち
上げる状態を模式的に示す図、（ｂ）は巻き上げ機の要
部を破断して示す図である。

【図１３】従来の巻き上げ機を用いて重量パーツを持ち
上げる状態を模式的に示す斜視図である。

【図１４】従来のプラズマ処理装置を模式的に示す断面
図である。

【図１５】図１４のプラズマ処理装置に用いられた高周
波給電棒とマッチングボックスを接続する状態を示す説
明図である。

【符号の説明】

１０ プラズマ処理装置 １１ チャンバー １２ 下部電極（電極） １４ 第１の高周波電源 １５ マッチングボックス １５Ａ マッチングプレート １５Ｇ 昇降駆動機構 １６ 昇降駆動機構 １６Ａ ボールネジ １６Ｂ 減速機 １６Ｃ モータ １６Ｄ 第１タイミングベルト（第１の無端状ベルト） １６Ｅ 第２タイミングベルト（第２の無端状ベルト） １６Ｆ 第３タイミングベルト（第３の無端状ベルト） １６Ｇ ガイドローラ １７ 第１の異常検出機構 １８ 第２の異常検出機構 １９ 制動機構（制動手段） ２０ グランドパイプ ２１ 第１の導通手段 ２２ 第２の導通手段 ２３ 高周波給電棒 ３０ 専用治具 ３２ 支柱 ３３ 昇降駆動機構 １７１ レバー １７２ コイルスプリング（付勢手段） １７３ 第１のセンサ １８１ 第２ローラ １８２ 第３ローラ １８３、１８４ レバー １８５ 第２スプリング（第２の付勢手段） １８６ 第３スプリング（第３の付勢手段） １８７ 第２のセンサ ２１１ 筒状部材 ２１３ コイルスプリング ２１４ 第１バンド（第１の電気的接触部材） ２１５ 第２バンド（第２の電気的接触部材） ２２１ 第１のプレート ２２２ 第２のプレート ２２３ コイルスプリング ２２６ 第３バンド（第３の電気的接触部材） ２２７ 第４バンド（第４の電気的接触部材）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徐 憲軍 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 Ｆターム(参考） 4K030 FA01 KA30 KA43 LA15 5F004 AA15 BA07 BA09 BB18 BB22 CA09 5F045 AA08 BB14 DP03 DQ10 EB06 EF05 EH05 EH13 EM05

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理容器のボトムプレートと、このボト
   ムプレートに昇降可能に配設され且つ被処理体を支持す
   る電極と、この電極に高周波電力を印加する高周波電源
   と、この高周波電源と上記電極間に介在するマッチング
   ボックスと、このマッチングボックスを支持するマッチ
   ングプレートとを備え、上記処理容器内でプラズマを発
   生させ上記被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理
   装置において、上記ボトムプレートを貫通し且つ上記電
   極と上記マッチングボックスを連結して上記電極のグラ
   ンド電位と取るグランドパイプと、このグランドパイプ
   に取り付けられ且つ上記電極の上昇に伴って上記ボトム
   プレートと弾接して上記グランドパイプと上記マッチン
   グボックスを導通させる第１の導通手段とを有すること
   を特徴とするプラズマ処理装置。
2. 【請求項２】 第１の導通手段は、上記グランドパイプ
   が貫通するフランジ付きの筒状部材と、この筒状部材の
   フランジと上記マッチングボックス間に介装されたスプ
   リングとを有し、上記筒状部材の内周面に上記グランド
   パイプと弾接して電気的に導通させる第１の電気的接触
   部材を設けると共に上記筒状部材の上端面に上記ボトム
   プレートと弾接して電気的に導通させる第２の電気的接
   触部材を設けたことを特徴とする請求項１に記載のプラ
   ズマ処理装置。
3. 【請求項３】 上記ボトムプレートと上記マッチングプ
   レートを介して上記グランドパイプとを電気的に導通さ
   せる第２の導通手段を設けたことを特徴とする請求項１
   または請求項２に記載のプラズマ処理装置。
4. 【請求項４】 第２の導通手段は、上記ボトムプレート
   に連結された第１のプレートと、第１のプレートに昇降
   自在に連結された第２のプレートと、第１、第２のプレ
   ート間に介装され且つこれら両者を電気的に導通させる
   連結部材と、第１、第２のプレート間に介装されたスプ
   リングと、上記各プレートにそれぞれ取り付けられ且つ
   上記ボトムプレート及び上記マッチングプレート側とそ
   れぞれ弾接して電気的に導通させる第３、第４の電気的
   接触部材を設けたことを特徴とする請求項３に記載のプ
   ラズマ処理装置。
5. 【請求項５】 処理容器内に配設され且つ被処理体を支
   持する電極と、この電極に給電棒及びマッチングボック
   スを介して高周波電力を印加する高周波電源と、上記マ
   ッチングボックスを着脱可能に支持するマッチングプレ
   ートとを備え、上記処理容器内でプラズマを発生させ上
   記被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置にお
   いて、上記マッチングボックスを昇降させる昇降駆動機
   構を上記マッチングプレートに設けると共に上記給電棒
   と上記マッチングボックスの接続部に嵌合部を設け、上
   記昇降駆動機構を介して上昇するマッチングボックスと
   上記給電棒を上記嵌合部を介して接合させることを特徴
   とするプラズマ処理装置。
6. 【請求項６】 処理容器のボトムプレートと、このボト
   ムプレートに昇降可能に配設され且つ被処理体を支持す
   る電極と、この電極を昇降させる昇降駆動機構とを備
   え、上記昇降駆動機構は、上記電極に上端が連結された
   複数のボールネジと、これらのボールネジに掛け廻され
   た第１の無端状ベルトと、上記ボールネジの一つを正逆
   回転させるモータとを備え、上記処理容器内でプラズマ
   を発生させ上記被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ
   処理装置において、第１の無端状ベルトの切断を検出す
   る異常検出手段を設けると共に、上記異常検出手段の異
   常検出に基づいて上記ボールネジを制動する制動手段を
   設けたことを特徴とするプラズマ処理装置。
7. 【請求項７】 上記異常検出手段は、第１の無端状ベル
   トと弾接するローラと、このローラを支持する正逆回転
   自在なレバーと、このレバーを介して上記ローラを第１
   の無端状ベルトに弾接させる付勢手段と、この付勢手段
   で付勢されたレバーの異常を検出するセンサとを有する
   ことを特徴とする請求項６に記載のプラズマ処理装置。
8. 【請求項８】 上記昇降駆動機構は、上記ボールネジと
   上記モータ間に介在する減速機と、この減速機と上記モ
   ータ間及び上記減速機と上記ボールネジ間にそれぞれ掛
   け廻された第２、第３の無端状ベルトを有し、且つ、第
   ２、第３の無端状ベルトの切断をそれぞれ検出する第２
   の異常検出手段とを有し、上記制動手段は第２の異常検
   出手段に基づいて作動することを特徴とする請求項６ま
   たは請求項７に記載のプラズマ処理装置。
9. 【請求項９】 第２の異常検出手段は、第１、第２の無
   端状ベルトとそれぞれ弾接する第２、第３のローラと、
   これらのローラを支持する正逆回転自在な第２、第３の
   レバーと、これらのレバーを介して第２、第３のローラ
   を第２、第３の無端状ベルトに弾接させる第２、第３の
   付勢手段と、これらの付勢手段で付勢された第２、第３
   のレバーの異常を検出する第２のセンサとを有すること
   を特徴とする請求項８に記載のプラズマ処理装置。
10. 【請求項１０】 下端が開口したプラズマ処理用の処理
    容器と、この処理容器の下端開口に着脱可能に取り付け
    られたボトムプレートと、このボトムプレート上に配設
    され且つ被処理体を支持する電極と、この電極に関連す
    る部品とを備えたプラズマ処理装置の組立あるいはメン
    テナンスに際し上記処理容器に上記電極及びその関連部
    品を組付け解体する方法において、組付け解体専用治具
    の複数の昇降可能な支柱で上記ボトムプレートを水平に
    支持する工程と、上記各支柱で支持されたボトムプレー
    トに上記電極及びその関連部品を組付けあるいは解体す
    る工程と、上記専用治具を上記処理容器の真下まである
    いは真下から搬送する工程と、上記支柱を上昇させて上
    記ボトムプレートを上記処理容器下端に接合して上記電
    極及びその関連部品を組付け、あるいは上記支柱を下降
    させて上記ボトムプレートを上記電極及びその関連部品
    と一緒に上記処理容器から切り離す工程とを備えたこと
    を特徴とするプラズマ処理装置の組付け解体方法。
11. 【請求項１１】 下端が開口したプラズマ処理用の処理
    容器と、この処理容器の下端開口に着脱可能に取り付け
    られたボトムプレートと、このボトムプレート上に配設
    され且つ被処理体を支持する電極と、この電極に関連す
    る部品とを備えたプラズマ処理装置の組立あるいはメン
    テナンスに際し上記処理容器に上記電極及びその関連部
    品を組付け解体する専用治具において、上記ボトムプレ
    ートを水平に支持する昇降可能な複数の支柱と、これら
    の支柱を昇降させる昇降駆動機構とを備え、上記昇降駆
    動機構は、上記各支柱にそれぞれ連結されたリードネジ
    と、これらのリードネジ間に掛け廻された無端状ベルト
    と、この無端状ベルトを正逆回転させる回転駆動機構
    と、この回転駆動機構を操作する操作手段とを有するこ
    とを特徴とするプラズマ処理装置の組付け解体専用治
    具。