JP2002174745A - 光集積回路およびその作製方法 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高機能光集積回路およびその作製方法を提供
する。 【解決手段】 網目状光導波路群（１）における光導波
路（１１）の任意の交叉部分に光デバイス（２）が配設
されており、光デバイス（２）の配設位置に従った回路
機能を有している。
する。 【解決手段】 網目状光導波路群（１）における光導波
路（１１）の任意の交叉部分に光デバイス（２）が配設
されており、光デバイス（２）の配設位置に従った回路
機能を有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この出願の発明は、光集積回
路およびその作製方法に関するものである。
路およびその作製方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】従来より、超高速、大容量、
高機能の情報処理装置を実現する回路としては、光スイ
ッチや光合分岐などの光デバイスおよび光導波路を集積
して種々の機能を実現する光集積回路が知られている。
高機能の情報処理装置を実現する回路としては、光スイ
ッチや光合分岐などの光デバイスおよび光導波路を集積
して種々の機能を実現する光集積回路が知られている。
【０００３】この光集積回路のさらなる高機能化への要
求は、近年の高度情報化の著しい進展にに伴い、益々高
まってきている。
求は、近年の高度情報化の著しい進展にに伴い、益々高
まってきている。
【０００４】この出願の発明は、従来よりもさらに高機
能な、全く新しい光集積回路、およびその作製方法を提
供することを課題としている。
能な、全く新しい光集積回路、およびその作製方法を提
供することを課題としている。
【０００５】
【課題を解決する手段】この出願の発明は、上記の課題
を解決するものとして、網目状光導波路群における光導
波路の任意の交叉部分に光デバイスが配設されており、
光デバイスの配設位置に従った回路機能を有しているこ
とを特徴とする光集積回路（請求項１）、および、アレ
イ状光導波路群における任意の光導波路間に光デバイス
が配設されており、光デバイスの配設位置に従った回路
機能を有していることを特徴とする光集積回路（請求項
２）を提供する。
を解決するものとして、網目状光導波路群における光導
波路の任意の交叉部分に光デバイスが配設されており、
光デバイスの配設位置に従った回路機能を有しているこ
とを特徴とする光集積回路（請求項１）、および、アレ
イ状光導波路群における任意の光導波路間に光デバイス
が配設されており、光デバイスの配設位置に従った回路
機能を有していることを特徴とする光集積回路（請求項
２）を提供する。
【０００６】また、この出願の発明は、上記の光集積回
路において、光デバイスとして、リング共振器、ミラー
素子、ハーフミラー素子、分岐合流素子、光スイッチの
いずれかが用いられている光集積回路（請求項３）や、
光デバイスとしてのリング共振器が、光導波路と同一平
面内に配設されている、あるいは光導波路と重なるよう
に積層して配設されている光集積回路（請求項４）をも
提供する。
路において、光デバイスとして、リング共振器、ミラー
素子、ハーフミラー素子、分岐合流素子、光スイッチの
いずれかが用いられている光集積回路（請求項３）や、
光デバイスとしてのリング共振器が、光導波路と同一平
面内に配設されている、あるいは光導波路と重なるよう
に積層して配設されている光集積回路（請求項４）をも
提供する。
【０００７】さらにまた、この出願の発明は、複数の光
導波路を網目状に配設し、光導波路の任意の交叉部分に
光デバイスを配設し、その配設位置によって回路機能を
設定することを特徴とする光集積回路の作製方法（請求
項５）、および、複数の光導波路をアレイ状に配設し、
任意の光導波路間に光デバイスを配設し、その配設位置
によって回路機能を設定することを特徴とする光集積回
路の作製方法（請求項６）をも提供する。
導波路を網目状に配設し、光導波路の任意の交叉部分に
光デバイスを配設し、その配設位置によって回路機能を
設定することを特徴とする光集積回路の作製方法（請求
項５）、および、複数の光導波路をアレイ状に配設し、
任意の光導波路間に光デバイスを配設し、その配設位置
によって回路機能を設定することを特徴とする光集積回
路の作製方法（請求項６）をも提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】この出願の発明は以上の通りの特
徴を有するものであるが、以下に、添付した図面に沿っ
て実施例を示し、さらに詳しくこの出願の発明の実施の
形態について説明する。
徴を有するものであるが、以下に、添付した図面に沿っ
て実施例を示し、さらに詳しくこの出願の発明の実施の
形態について説明する。
【０００９】
【実施例】［実施例１］図１は、この出願の発明の一実
施例を示した要部概略図である。
施例を示した要部概略図である。
【００１０】たとえばこの図１に例示したように、この
出願の発明では、縦方向および横方向に複数の光導波路
（１１）が互いに交叉するように配置されてなる網目状
光導波路群（１）において、各光導波路（１１）の任意
の交叉部分に光デバイス（２）が配設されて、その配設
位置に従った様々な回路機能を有する光集積回路が実現
される。
出願の発明では、縦方向および横方向に複数の光導波路
（１１）が互いに交叉するように配置されてなる網目状
光導波路群（１）において、各光導波路（１１）の任意
の交叉部分に光デバイス（２）が配設されて、その配設
位置に従った様々な回路機能を有する光集積回路が実現
される。
【００１１】この場合さらに説明すると、光デバイス
（２）としては、たとえば、図２〜図５に例示したよう
なリング共振器（２１）や、図６に例示したようなミラ
ー素子（２２）や、図７に例示したようなハーフミラー
素子（２３）や、図８（ａ）（ｂ）に例示したような光
分岐素子（２４）や、図９に例示したような光スイッチ
（２５）などを用いることができる。これら各種の光デ
バイス（２）を網目状光導波路群（１）における光導波
路（１１）の任意の交叉部分に配設することで、様々な
機能を有する光ゲートアレイとも言うべき光集積回路が
実現されるのである。
（２）としては、たとえば、図２〜図５に例示したよう
なリング共振器（２１）や、図６に例示したようなミラ
ー素子（２２）や、図７に例示したようなハーフミラー
素子（２３）や、図８（ａ）（ｂ）に例示したような光
分岐素子（２４）や、図９に例示したような光スイッチ
（２５）などを用いることができる。これら各種の光デ
バイス（２）を網目状光導波路群（１）における光導波
路（１１）の任意の交叉部分に配設することで、様々な
機能を有する光ゲートアレイとも言うべき光集積回路が
実現されるのである。
【００１２】図２の例では、網目状光導波路群（１）を
構成する光導波路（１１）の任意の交叉部分にて、光導
波路（１１）と同一平面内になるように、リング共振器
（２１）が設けられている。
構成する光導波路（１１）の任意の交叉部分にて、光導
波路（１１）と同一平面内になるように、リング共振器
（２１）が設けられている。
【００１３】図３の例では、リング共振器（２１）は、
交叉する両方の光導波路（１１）の上方にて、その一部
分とある程度の間隔を持って重なるように、積層されて
いる。
交叉する両方の光導波路（１１）の上方にて、その一部
分とある程度の間隔を持って重なるように、積層されて
いる。
【００１４】図４の例では、複数のリング共振器（２
１）が互いに連なって交叉部分にて光導波路（１）の上
方に積層配設されており、一方のリング共振器（２１）
の一部が一方の光導波路（１１）と重なり、他方のリン
グ共振器（２１）の一部が他方の光導波路（１１）と重
なっている。もちろん、連接するリング共振器（２１）
の個数は二つでも三つでもそれ以上でもよい。
１）が互いに連なって交叉部分にて光導波路（１）の上
方に積層配設されており、一方のリング共振器（２１）
の一部が一方の光導波路（１１）と重なり、他方のリン
グ共振器（２１）の一部が他方の光導波路（１１）と重
なっている。もちろん、連接するリング共振器（２１）
の個数は二つでも三つでもそれ以上でもよい。
【００１５】図５の例では、リング共振器（２１）は、
交叉部分において、一方の光導波路（１１）と他方の光
導波路（１２）との間に、両光導波路（１１）からある
程度の間隔を持って、挟まれるように積層されている。
交叉部分において、一方の光導波路（１１）と他方の光
導波路（１２）との間に、両光導波路（１１）からある
程度の間隔を持って、挟まれるように積層されている。
【００１６】図６の例では、光導波路（１１ａ）（１１
ｂ）の交叉部分に、エッチングにより溝が形成されてお
り、溝部分の低い屈折率によって生じる全反射を利用し
たミラー素子（２２）が設けられている。光導波路（１
１ａ）からの光は交叉点にてミラー素子（２２）により
光導波路（１１ｂ）方向へ反射されるようになってい
る。
ｂ）の交叉部分に、エッチングにより溝が形成されてお
り、溝部分の低い屈折率によって生じる全反射を利用し
たミラー素子（２２）が設けられている。光導波路（１
１ａ）からの光は交叉点にてミラー素子（２２）により
光導波路（１１ｂ）方向へ反射されるようになってい
る。
【００１７】図７の例では、厚さの薄い溝によって、光
導波路（１１ａ）からの光を光導波路（１１ｂ）方向へ
反射させるととももにそのまま後側へ透過させるハーフ
ミラー素子（２３）が形成されている。
導波路（１１ａ）からの光を光導波路（１１ｂ）方向へ
反射させるととももにそのまま後側へ透過させるハーフ
ミラー素子（２３）が形成されている。
【００１８】図８（ａ）（ｂ）の例では、溝形状が図６
のものとは異なり、光導波路（１１ａ）からの光を交叉
点において光導波路（１１ｂ）の２方向へ分岐する光分
岐素子（２４）となっている。なお、図８（ｂ）のもの
は、光導波路（１１ａ）と光導波路（１１ｂ）とがなす
角部がある程度膨らんだ形状となっており、光の分岐が
より低損失に行なわれるようになっている。
のものとは異なり、光導波路（１１ａ）からの光を交叉
点において光導波路（１１ｂ）の２方向へ分岐する光分
岐素子（２４）となっている。なお、図８（ｂ）のもの
は、光導波路（１１ａ）と光導波路（１１ｂ）とがなす
角部がある程度膨らんだ形状となっており、光の分岐が
より低損失に行なわれるようになっている。
【００１９】図９の例では、図６の溝よりもある程度長
い溝が交叉部分に形成されており、この溝内において屈
折率整合油などの液体（２５１）を流し、その液体（２
５１）を移動させて光スイッチ機能を実現した光スイッ
チ（２５）が設けられている。この光スイッチ（２５）
では、たとえば、光導波路（１１ａ）からの光を交叉点
にて反射させる場合には、液体（２５１）を溝内におい
て交叉点から離れた位置へ移動させておき、溝部分にお
ける低い屈折率による全反射に従った光導波路（１１
ｂ）への反射を行い、その逆に光導波路（１１ａ）から
の光を交叉点をそのまま通過させる場合には、液体（２
５１）を溝内において交叉点まで移動させて、屈折率を
光導波路（１１ａ）とほぼ同じ値に戻す。これによって
光スイッチ機能が実現されるのである。なお、液体の移
動は、たとえば加熱や静電力などによって行うことがで
きる。
い溝が交叉部分に形成されており、この溝内において屈
折率整合油などの液体（２５１）を流し、その液体（２
５１）を移動させて光スイッチ機能を実現した光スイッ
チ（２５）が設けられている。この光スイッチ（２５）
では、たとえば、光導波路（１１ａ）からの光を交叉点
にて反射させる場合には、液体（２５１）を溝内におい
て交叉点から離れた位置へ移動させておき、溝部分にお
ける低い屈折率による全反射に従った光導波路（１１
ｂ）への反射を行い、その逆に光導波路（１１ａ）から
の光を交叉点をそのまま通過させる場合には、液体（２
５１）を溝内において交叉点まで移動させて、屈折率を
光導波路（１１ａ）とほぼ同じ値に戻す。これによって
光スイッチ機能が実現されるのである。なお、液体の移
動は、たとえば加熱や静電力などによって行うことがで
きる。
【００２０】以上のようなリング共振器（２１）、ミラ
ー素子（２２）、ハーフミラー素子（２３）、分岐素子
（２４）、光スイッチ（２５）を様々に交叉部分に配設
することで、交叉部分ごとに機能が異なる光集積回路を
実現することができる。すなわち、各種光デバイス
（２）の組合せおよび配設位置を変更することで、様々
な回路機能を有する光集積回路を実現できるのである。
ー素子（２２）、ハーフミラー素子（２３）、分岐素子
（２４）、光スイッチ（２５）を様々に交叉部分に配設
することで、交叉部分ごとに機能が異なる光集積回路を
実現することができる。すなわち、各種光デバイス
（２）の組合せおよび配設位置を変更することで、様々
な回路機能を有する光集積回路を実現できるのである。
【００２１】たとえば、図１０に例示した光集積回路
は、所定の交叉部分に上述のミラー素子（２２）および
ハーフミラー素子（２３）が配設されてなる２段直列マ
ッハチェンダー干渉計となっている。
は、所定の交叉部分に上述のミラー素子（２２）および
ハーフミラー素子（２３）が配設されてなる２段直列マ
ッハチェンダー干渉計となっている。
【００２２】また、図１１に例示した光集積回路は、所
定の交叉部分に上述のミラー素子（２２）およびハーフ
ミラー素子（２３）が配設されてなる２段直列リング共
振器となっている。前段の４つのミラー素子（２２Ａ）
およびハーフミラー素子（２３Ａ）ならびに後段の４つ
のミラー素子（２２Ｂ）およびハーフミラー素子（２３
Ｂ）によってリング共振器が２段構成され、後段のリン
グ共振器は前段に比べて光路長が４倍のリング共振器と
なっている。
定の交叉部分に上述のミラー素子（２２）およびハーフ
ミラー素子（２３）が配設されてなる２段直列リング共
振器となっている。前段の４つのミラー素子（２２Ａ）
およびハーフミラー素子（２３Ａ）ならびに後段の４つ
のミラー素子（２２Ｂ）およびハーフミラー素子（２３
Ｂ）によってリング共振器が２段構成され、後段のリン
グ共振器は前段に比べて光路長が４倍のリング共振器と
なっている。
【００２３】また、図１２に例示した光集積回路は、所
定の交叉部分に上述の各種構成のリング共振器（２１）
が配設されてなる３次元波長合分波回路となっている。
縦方向導波路群の一つの光導波路（１１ａ）の入力ポー
トから入射された波長の異なる光信号λ０，λ１，λ
２，λ３・・・λｎは、縦方向導波路群の他の三つの光
導波路（１１ａ）のドロップポートから光信号λ０，λ
１，λ２が分波されるとともに、他の入力光信号λ３・
・・λｎが横方向光導波路群の各光導波路（１１ｂ）の
合波ポートから入射された光信号λ０，λ１，λ２と合
波されて、入射光導波路（１１ａ）の出力ポートから出
射される。この場合、光導波路（１１ａ）同士および光
導波路（１１ｂ）同士の間隔は波長の数十倍以上に設定
する。
定の交叉部分に上述の各種構成のリング共振器（２１）
が配設されてなる３次元波長合分波回路となっている。
縦方向導波路群の一つの光導波路（１１ａ）の入力ポー
トから入射された波長の異なる光信号λ０，λ１，λ
２，λ３・・・λｎは、縦方向導波路群の他の三つの光
導波路（１１ａ）のドロップポートから光信号λ０，λ
１，λ２が分波されるとともに、他の入力光信号λ３・
・・λｎが横方向光導波路群の各光導波路（１１ｂ）の
合波ポートから入射された光信号λ０，λ１，λ２と合
波されて、入射光導波路（１１ａ）の出力ポートから出
射される。この場合、光導波路（１１ａ）同士および光
導波路（１１ｂ）同士の間隔は波長の数十倍以上に設定
する。
【００２４】［実施例２］図１３および図１４は、この
出願の発明の別の一実施例を示した要部概略図である。
出願の発明の別の一実施例を示した要部概略図である。
【００２５】たとえばこれら図１３および図１４に例示
したように、この出願の発明では、アレイ状光導波路群
（３）に対して各種光デバイス（２）が任意の位置に配
設されることによっても、高機能光集積回路を実現する
ことができる。
したように、この出願の発明では、アレイ状光導波路群
（３）に対して各種光デバイス（２）が任意の位置に配
設されることによっても、高機能光集積回路を実現する
ことができる。
【００２６】この場合さらに説明すると、光デバイス
（２）としては、前述した図２〜図９の各種デバイスを
用いることができ、それらを任意に組み合わせて、アレ
イ状光導波路群（３）を構成する互いに並列配設された
各光導波路間に配設する。
（２）としては、前述した図２〜図９の各種デバイスを
用いることができ、それらを任意に組み合わせて、アレ
イ状光導波路群（３）を構成する互いに並列配設された
各光導波路間に配設する。
【００２７】まず図１３の例では、たとえば、リング共
振器（２１ａ）は、光導波路（３１ａ）（３１ｂ）間に
おいてそれらと同一平面内に設けられている。リング共
振器（２１ｂ）は、光導波路（３１ａ）（３１ｂ）間に
おいて互いに一部重なるように積層配設されている。リ
ング共振器（２１ｃ）は、レーストラック型となってお
り、次の段の光導波路（３１ｂ）（３１ｃ）間において
それらと同一平面内に設けられている。また、リング共
振器（２１ｄ）は、光導波路（３１ｄ）を飛ばして光導
波路（３１ｃ）（３１ｅ）との間において互いに一部重
なるように積層されている。光導波路（３１ｅ）にはさ
らに、ハーフミラー素子（２３ａ）およびミラー素子
（２２ａ）が配設されており、また、その次の段の光導
波路（３１ｆ）および光導波路（３１ｇ）にはミラー素
子（２２ｂ）およびミラー素子（２２ｃ）が配設されて
いる。光導波路（３１ｅ）へ入射された光はハーフミラ
ー素子（２３ａ）によって分光されて、一方はそのまま
ミラー素子（２２ａ）へ導かれて光導波路（３１ｆ）に
設けられた別のミラー素子（２２ｂ）方向へ反射され、
他方は光導波路（３１ｆ）を飛ばして光導波路（３１
ｇ）に設けられたミラー素子（２２ｃ）方向へ反射され
る。
振器（２１ａ）は、光導波路（３１ａ）（３１ｂ）間に
おいてそれらと同一平面内に設けられている。リング共
振器（２１ｂ）は、光導波路（３１ａ）（３１ｂ）間に
おいて互いに一部重なるように積層配設されている。リ
ング共振器（２１ｃ）は、レーストラック型となってお
り、次の段の光導波路（３１ｂ）（３１ｃ）間において
それらと同一平面内に設けられている。また、リング共
振器（２１ｄ）は、光導波路（３１ｄ）を飛ばして光導
波路（３１ｃ）（３１ｅ）との間において互いに一部重
なるように積層されている。光導波路（３１ｅ）にはさ
らに、ハーフミラー素子（２３ａ）およびミラー素子
（２２ａ）が配設されており、また、その次の段の光導
波路（３１ｆ）および光導波路（３１ｇ）にはミラー素
子（２２ｂ）およびミラー素子（２２ｃ）が配設されて
いる。光導波路（３１ｅ）へ入射された光はハーフミラ
ー素子（２３ａ）によって分光されて、一方はそのまま
ミラー素子（２２ａ）へ導かれて光導波路（３１ｆ）に
設けられた別のミラー素子（２２ｂ）方向へ反射され、
他方は光導波路（３１ｆ）を飛ばして光導波路（３１
ｇ）に設けられたミラー素子（２２ｃ）方向へ反射され
る。
【００２８】図１４に例示した光集積回路は、アレイ状
光導波路群（３）における所定の光導波路（３１）間に
リング共振器（２１）が配設されてなる、群フィルタに
より波長を切り分ける分波器となっている。
光導波路群（３）における所定の光導波路（３１）間に
リング共振器（２１）が配設されてなる、群フィルタに
より波長を切り分ける分波器となっている。
【００２９】以上のように、各種光デバイス（２）の組
合せおよび配設位置を任意に設定することによって、様
々な回路機能を有する光集積回路を自在に、且つ容易に
実現できるのである。
合せおよび配設位置を任意に設定することによって、様
々な回路機能を有する光集積回路を自在に、且つ容易に
実現できるのである。
【００３０】なお、図１３における光導波路（３１ｅ）
〜（３１ｇ）においては、ハーフミラー素子（２３ａ）
からミラー素子（２２ｃ）まで、ミラー素子（２２ａ）
からミラー素子（２２ｂ）まで、反射光路となる光導波
路（３２ａ）（３２ｂ）が設けられており、この部分で
は網目状光導波路群が構成されているとも言える。すな
わち、アレイ状光導波路群および網目状光導波路群を互
いに組み合わせることもでき、これによって、さらに高
機能な光集積回路を実現できるのである。
〜（３１ｇ）においては、ハーフミラー素子（２３ａ）
からミラー素子（２２ｃ）まで、ミラー素子（２２ａ）
からミラー素子（２２ｂ）まで、反射光路となる光導波
路（３２ａ）（３２ｂ）が設けられており、この部分で
は網目状光導波路群が構成されているとも言える。すな
わち、アレイ状光導波路群および網目状光導波路群を互
いに組み合わせることもでき、これによって、さらに高
機能な光集積回路を実現できるのである。
【００３１】もちろん、この発明は以上の例に限定され
るものではなく、細部については様々な態様が可能であ
る。光デバイスとしては、前述したもの以外にも、たと
えば共振器構造のものなど、光結合・光分波機能を有す
る様々な光デバイスを用いることができることは言うま
でもない。
るものではなく、細部については様々な態様が可能であ
る。光デバイスとしては、前述したもの以外にも、たと
えば共振器構造のものなど、光結合・光分波機能を有す
る様々な光デバイスを用いることができることは言うま
でもない。
【００３２】
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この出願の発
明によって、極めて高機能である光集積回路、およびそ
の作製方法が提供される。
明によって、極めて高機能である光集積回路、およびそ
の作製方法が提供される。
【図１】この出願の発明の一実施例である要部概略図で
ある。
ある。
【図２】光デバイスとしてのリング共振器の一例を示し
た要部概略図である。
た要部概略図である。
【図３】光デバイスとしてのリング共振器の別の一例を
示した要部概略図である。
示した要部概略図である。
【図４】光デバイスとしてのリング共振器の別の一例を
示した要部概略図である。
示した要部概略図である。
【図５】光デバイスとしてのリング共振器の別の一例を
示した要部概略図である。
示した要部概略図である。
【図６】光デバイスとしてのミラー素子の一例を示した
要部概略図である。
要部概略図である。
【図７】光デバイスとしてのハーフミラー素子の一例を
示した要部概略図である。
示した要部概略図である。
【図８】（ａ）（ｂ）は、各々、光デバイスとしての光
分岐素子の一例を示した要部概略図である。
分岐素子の一例を示した要部概略図である。
【図９】光デバイスとしての光スイッチの一例を示した
要部概略図である。
要部概略図である。
【図１０】この出願の発明による光集積回路としてのマ
ッハチェンダー干渉計の一例を示した要部概略図であ
る。
ッハチェンダー干渉計の一例を示した要部概略図であ
る。
【図１１】この出願の発明による光集積回路としてのリ
ング共振器の一例を示した要部概略図である。
ング共振器の一例を示した要部概略図である。
【図１２】この出願の発明による光集積回路としての３
次元波長合分波回路の一例を示した要部概略図である。
次元波長合分波回路の一例を示した要部概略図である。
【図１３】この出願の発明の別の一実施例を示した要部
概略図である。
概略図である。
【図１４】この出願の発明による光集積回路としての分
波器の一例を示した要部概略図である。
波器の一例を示した要部概略図である。
１ 網目状光導波路群 １１，１１ａ，１１ｂ 光導波路 ２ 光デバイス ２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ リング共振器 ２２，２２Ａ，２２Ｂ，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ ミラ
ー素子 ２３，２３Ａ，２３Ｂ，２３ａ ハーフミラー素子 ２４ 光分岐素子 ２５ 光スイッチ ３ アレイ状光導波路群 ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆ，３
１ｇ 光導波路 ３２ａ，３２ｂ 光導波路
ー素子 ２３，２３Ａ，２３Ｂ，２３ａ ハーフミラー素子 ２４ 光分岐素子 ２５ 光スイッチ ３ アレイ状光導波路群 ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆ，３
１ｇ 光導波路 ３２ａ，３２ｂ 光導波路
Claims (6)
- 【請求項１】 網目状光導波路群における光導波路の任
意の交叉部分に光デバイスが配設されており、光デバイ
スの配設位置に従った回路機能を有していることを特徴
とする光集積回路。 - 【請求項２】 アレイ状光導波路群における任意の光導
波路間に光デバイスが配設されており、光デバイスの配
設位置に従った回路機能を有していることを特徴とする
光集積回路。 - 【請求項３】 光デバイスとして、リング共振器、ミラ
ー素子、ハーフミラー素子、分岐合流素子、光スイッチ
のいずれかが用いられている請求項１または２の光集積
回路。 - 【請求項４】 光デバイスとしてのリング共振器が、光
導波路と同一平面内に配設されている、あるいは光導波
路と重なるように積層して配設されている請求項３の光
集積回路。 - 【請求項５】 複数の光導波路を網目状に配設し、光導
波路の任意の交叉部分に光デバイスを配設し、その配設
位置によって回路機能を設定することを特徴とする光集
積回路の作製方法。 - 【請求項６】 複数の光導波路をアレイ状に配設し、任
意の光導波路間に光デバイスを配設し、その配設位置に
よって回路機能を設定することを特徴とする光集積回路
の作製方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000373365A JP2002174745A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 光集積回路およびその作製方法 |
| PCT/JP2001/010696 WO2002046813A1 (en) | 2000-12-07 | 2001-12-06 | Optical integrated circuit and method of manufacturing the integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000373365A JP2002174745A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 光集積回路およびその作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002174745A true JP2002174745A (ja) | 2002-06-21 |
Family
ID=18842769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000373365A Pending JP2002174745A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 光集積回路およびその作製方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002174745A (ja) |
| WO (1) | WO2002046813A1 (ja) |
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-
2000
- 2000-12-07 JP JP2000373365A patent/JP2002174745A/ja active Pending
-
2001
- 2001-12-06 WO PCT/JP2001/010696 patent/WO2002046813A1/ja active Search and Examination
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Also Published As
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|---|---|
| WO2002046813A1 (en) | 2002-06-13 |
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