JP2018520512A - 基板表面に構造を作製する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a)基板表面の上方への型の配置、
b)基板表面に対して相対的な型の位置合わせ、
c)型の構造表面と基板表面との接触、
d)型の構造表面にわたって注入材料を分配するための、型の少なくとも1つの網状部内への注入材料の導入、
e)注入材料の硬化、
f)注入材料からの型の離型、
を有する、方法が提案される。
・特にコンポーネントを封止するためのパッキングプロセス、
・リソグラフィプロセス、特にマイクロリソグラフィプロセスおよび/またはナノリソグラフィプロセス、
を実行するのに適している。
・マイクロ流体デバイス(英語:microfluidic devices)
・光学系
・回折光学系、特に
回折格子
回折レンズ
・レンズ、特に
フレネルレンズ
・微少電子機械システム(MEMs)。
・金属、特に
・Cu、Ag、Au、Al、Fe、Ni、Co、Pt、W、Cr、Pb、Ti、Ta、Zn、Sn
・半導体、特に
・Ge、Si、αSn、フラーレン、B、Se、Te
・化合物半導体、特に
・GaAs、GaN、InP、InxGal−xN、InSb、InAs、GaSb、AlN、InN、GaP、BeTe、ZnO、CuInGaSe2、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、Hg(l−x)Cd(x)Te、BeSe、HgS、AlxGal−xAs、GaS、GaSe、GaTe、InS、InSe、InTe、CuInSe2、CuInS2、CuInGaS2、SiC、SiGe、Si
・合金、特に
・金属合金
・セラミックス、特に
・粘土セラミックス
・機能性セラミックス
・非金属ガラス、特に
・有機非金属ガラス
・無機非金属ガラス、特に
・非酸化物ガラス、特に
・ハロゲン化物ガラス
・カルコゲナイドガラス
・酸化物ガラス、特に
・リン酸塩ガラス
・ケイ酸塩ガラス、特に
・アルミノケイ酸塩ガラス
・ケイ酸鉛ガラス
・アルカリケイ酸塩ガラス、特に
・アルカリ土類ケイ酸塩ガラス
・ホウケイ酸塩ガラス
・ホウ酸塩ガラス、特に
・アルカリホウ酸塩ガラス。
・ポリマー、特に
・熱可塑性樹脂
・熱硬化性樹脂
・ケイ酸塩、特に
・オルトケイ酸テトラエチル(TEOS)
・シロキサン、特に
・シルセスキオキサン、特に
・多面体オリゴマーシルセスキオサン(POSS)
・PDMS(ポリジメチルシロキサン)
・フルオロポリマー、特に
・パーフルオロポリエーテル(PFPE)。
1o,1o’,1o’’,1o’’’,1oIV 型表面
1s,1s’,1s’’,1s’’’,1sIV 型側面
2,2’,2’’,2’’’,2IV 導入部
3,3’,3’’,3’’’,3IV 導出部
4,4’ 溝
5 構造
5o 構造表面
6 基板
6o 基板表面
7,7’,7’’,7’’’ スタック
8,8’,8’’ 縁
9 ロボット
10 サンプルホルダ
11 定着部
12,12’,12’’ 管路
13,13’ シール
14 注入材料
15,15’ 供給部
16 吸出し装置
17 プロセスチャンバ
18 マスク
19 被覆
20 孔
21 アパーチャ
22 網状部
p1,p2,p3 圧力
F1 力
F2 表面力
Claims (15)
- ミリサイズのかつ/またはマイクロサイズのかつ/またはナノサイズの構造を基板(6)の基板表面(6o)に作製する方法であって、以下の順序:
a)前記基板表面(6o)の上方への型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の配置、
b)前記基板表面(6o)に対して相対的な前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の位置合わせ、
c)前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の構造表面(5o)と前記基板表面(6o)との接触、
d)前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の前記構造表面(5o)にわたって注入材料(14)を分配するための、前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の少なくとも1つの網状部(22)内への注入材料(14)の導入、
e)前記注入材料(14)の硬化、
f)前記注入材料(14)からの前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の離型、
を有する、ミリサイズのかつ/またはマイクロサイズのかつ/またはナノサイズの構造を基板(6)の基板表面(6o)に作製する方法。 - 前記構造を残存層なく作製する、請求項1記載の方法。
- 前記注入材料(14)を、毛管現象を用いて前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の前記網状部(22)内へ導入する、請求項1記載の方法。
- 前記注入材料(14)を、前記網状部(22)に負圧を形成することにより該網状部(22)内へ導入し、前記網状部(22)における圧力は、1barより低い、好適には、10-1barより低い、さらに好適には5*10-2barより低い、最も好適には10-2barより低い、さらに最も好適には10-3barより低い、請求項1記載の方法。
- 前記注入材料(14)を、10bar〜10-6mbar、好適には、8bar〜10-4mbar、さらに好適には6bar〜10-2mbar、最も好適には4bar〜10-1mbar、さらに最も好適には2bar〜1barの圧力(p1)により前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の前記網状部(22)内へ導入する、請求項1記載の方法。
- 前記注入材料(14)は、低粘度であり、室温での粘度は、10E6mPa*s〜1mPa*s、好適には10E5mPa*s〜1mPa*s、さらに好適には10E4mPa*s〜1mPa*s、最も好適には10E3mPa*s〜1mPa*sである、請求項1記載の方法。
- 前記型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)は、排気可能なプロセスチャンバ内に位置し、当該方法を、0.1barより低い圧力を有する真空雰囲気内で行う、請求項1記載の方法。
- 型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)であって、
注入材料(14)のための少なくとも1つの導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)と、当該型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の構造表面(5o)にわたって前記注入材料(14)を分配するための、少なくとも1つの前記導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)と接続された少なくとも1つの網状部(22)とを備える、型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)。 - 前記網状部(22)ごとに複数の導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)、好適には2より大きな数の導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)、さらに好適には5より大きな数の導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)、その上さらに好適には10より大きな数の導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)、最も好適には20より大きな数の導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)を有する、請求項8記載の型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)。
- 複数の導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)を有し、該導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)は、非対称に、特に当該型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の片側だけに配置されている、請求項8記載の型(1,1’,1’’,1’’’,11IV)。
- 複数の導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)を有し、該導入部(2,2’,2’’,2’’’,2IV)は、対称に、特に当該型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)の中心へ向けて対称に配置されている、請求項8記載の型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)。
- 1μmより小さい、好適には、100nmより小さい、さらに好適には10nmより小さい、最も好適には1nmより小さい平均孔径を有する開放多孔性を有する、請求項8記載の型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)。
- 特に1mmより小さい、好適には100μmより小さい、さらに好適には10μmより小さい、最も好適には100nmより小さい、さらに最も好適には10nmより小さい構造(5)をその構造表面(5o)に有する、請求項8記載の型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)。
- 前記構造表面(5o)は、付着防止層により被覆されている、請求項8記載の型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)。
- アパーチャ(21)を有するマスク(18)が、前記構造表面(5o)とは反対の側の型表面(1o,1o’,1o’’,1o’’’,1oIV)に配置されている、請求項8記載の型(1,1’,1’’,1’’’,1IV)。
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