JP2002166556A

JP2002166556A - インクジェットヘッド及びその製造方法

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Publication number: JP2002166556A
Application number: JP2000366695A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Ito; 健伊藤
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 2000-12-01
Filing date: 2000-12-01
Publication date: 2002-06-11
Anticipated expiration: 2020-12-01
Also published as: JP4670142B2

Abstract

(57)【要約】【課題】駆動電極に被覆形成した有機被膜の水系インク
に対する濡れ性を向上させ、インク射出性能に優れる高
品質のインクジェットヘッド及びその製造方法を提供す
る。【解決手段】圧電材料１からなる駆動壁１３とチャンネ
ル部１２とを交互に配列すると共に、該駆動壁１３に駆
動電極６を設け、該駆動電極６を介して上記駆動壁１３
に電界を印加することにより該駆動壁１３をせん断変形
させてチャンネル部１２内のインクを吐出させるように
したインクジェットヘッドにおいて、前記駆動電極６に
有機被膜７を被覆してなり、該有機被膜７は、それを構
成する成分の分子中にカルボキシル基又はアミノ基を有
すると共に、該カルボキシル基又はアミノ基の存在比率
が下記式１を満たすようにする。（式１） 200≦（有機被膜を構成する成分の分子量）／（分子中
に含まれるカルボキシル基又はアミノ基の総数）≦10,0
00

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド及びその製造方法に関し、詳しくは、インクの射出
性能に優れたインクジェットヘッド及びその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、圧電材料からなる駆動壁とチ
ャンネル部とを交互に配列すると共に、該駆動壁に駆動
電極を設け、該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印
加することにより該駆動壁をせん断変形させてチャンネ
ル部内のインクを吐出させるようにしたシェアモード型
のインクジェットヘッドが知られている。

【０００３】かかるシャアモード型のインクジェットヘ
ッドにおいては、駆動壁を駆動させるための駆動電極
は、駆動壁の側面に設けられるため、チャンネル部内に
貯留されるインクは、この駆動電極と常に接触する。こ
こで空気チャンネルを接地してインクチャンネルに臨む
駆動電極に電圧を印加させると、使用されるインクが水
系インクの場合、水の理論分解電圧は１．２３Ｖであ
り、駆動電極に印加される電圧は１０〜２０Ｖであるた
め、水系インク中の水が電気分解を起こして気泡を発生
させ、この気泡により駆動壁の変形による圧力が緩衝さ
れてしまい、チャンネル部内のインクを吐出できなくな
るばかりでなく、駆動電極の溶解をも惹き起こす。

【０００４】一方、溶剤を使用する溶剤系インクは電気
絶縁性であり、水系インクに見られるような上記問題は
ないものの、洗浄のために特定の有機溶剤が必要であ
り、水系インクに比べて取り扱いが格段に面倒であると
いう欠点がある。このため、インクチャンネル側の電極
を接地して空気チャンネル側の電極に電圧を印加させる
ようにして、水系インクの使用を可能とした技術も提案
されている（特開平７−１３２５８９号）が、インクチ
ャンネルと空気チャンネルとで電極の形状を変えなくて
はならず、チャンネル部の高密度化が困難である。

【０００５】このため、従来、駆動壁に形成した駆動電
極の表面に絶縁性を付与するための保護膜を被覆形成す
ることで、駆動電極に電圧を印加しても、水系インク、
溶剤系インクを問わずにインク吐出が行えるようにした
インクジェットヘッドが提案されている。かかる保護膜
としては無機被膜、有機被膜等いろいろ考えられるが、
駆動電極の表面にピンホールの発生がなく安定した保護
膜が被覆形成できる点で有機被膜が好ましく用いられて
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、駆動電
極の表面に保護膜として有機被膜を被覆形成したインク
ジェットヘッドにおいては、水系インクを使用した場
合、インク射出性能が必ずしも良好とはいえず、射出不
良を起こす場合があった。この点について本発明者が鋭
意検討したところによると、有機被膜は水系インクに対
して濡れ性が不足しており、その結果、チャンネル部内
に気泡を巻き込んでしまうことにより駆動壁のせん断変
形力を緩衝させてしまい、これが原因でインク射出が不
可能となってしまうことがわかった。

【０００７】そこで、本発明は、駆動電極に被覆形成し
た有機被膜の水系インクに対する濡れ性を向上させ、イ
ンク射出性能に優れる高品質のインクジェットヘッド及
びその製造方法を提供することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者は、有機被膜の
水系インクに対する濡れ性について鋭意検討した結果、
有機被膜を構成する成分中には、カルボキシル基又はア
ミノ基を有していることに着目し、これらの官能基の密
度を所定の範囲に調整することにより、有機被膜を駆動
電極表面に被覆形成した際に、その被膜表面の表面エネ
ルギーを高くし、以って濡れ性を向上させることができ
ることを見出し、本発明に至った。

【０００９】即ち、請求項１記載の発明は、圧電材料か
らなる駆動壁とチャンネル部とを交互に配列すると共
に、該駆動壁に駆動電極を設け、該駆動電極を介して上
記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁をせん断
変形させてチャンネル部内のインクを吐出させるように
したインクジェットヘッドにおいて、前記駆動電極に有
機被膜を被覆してなり、該有機被膜は、それを構成する
成分の分子中にカルボキシル基又はアミノ基を有すると
共に、該カルボキシル基又はアミノ基の存在比率が下記
式１を満たすことを特徴とするインクジェットヘッドで
ある。

【００１０】（式１） 200≦（有機被膜を構成する成分の分子量）／（分子中
に含まれるカルボキシル基又はアミノ基の総数）≦10,0
00

【００１１】請求項２記載の発明は、前記有機被膜は電
着法により駆動電極に被覆されていることを特徴とする
請求項１記載のインクジェットヘッドである。

【００１２】また、請求項３記載の発明は、圧電材料か
らなる駆動壁とチャンネル部とを交互に配列すると共
に、該駆動壁に駆動電極を設け、該駆動電極を介して上
記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁をせん断
変形させてチャンネル部内のインクを吐出させるように
したインクジェットヘッドの製造方法において、カルボ
キシル基又はアミノ基を成分の分子中に有し且つ該カル
ボキシル基又はアミノ基の存在比率が下記式１を満たす
有機被膜を前記駆動電極に被覆することを特徴とするイ
ンクジェットヘッドの製造方法である。

【００１３】（式１） 200≦（有機被膜を構成する成分の分子量）／（分子中
に含まれるカルボキシル基又はアミノ基の総数）≦10,0
00

【００１４】請求項４記載の発明は、前記有機被膜を電
着法により駆動電極に被覆することを特徴とする請求項
３記載のインクジェットヘッドの製造方法である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて説明する。

【００１６】図１は、本発明に係るインクジェットヘッ
ドの概要を示す部分破断斜視図、図２は同ヘッドの縦断
面図である。図１において、１は圧電材料基板、２はカ
バー部材、３はノズルプレート、４はバックプレート、
５はインクマニホールドである。

【００１７】圧電材料基板１に用いられる圧電材料とし
ては、電界を加えることにより変形を生じる公知の圧電
材料を用いることができ、有機材料からなる基板、非金
属製の基板等がある。特に、非金属製の圧電材料基板が
好ましく、成形、焼成等の工程を経て形成される圧電セ
ラミックス基板、又は成形、焼成を必要としないで形成
される基板等がある。

【００１８】有機材料からなる基板に用いられる有機材
料としては、ポリフッ化ビニリデン等の有機ポリマー
や、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料等が挙
げられる。

【００１９】非金属製の圧電材料基板において、成形、
焼成等の工程を経て形成される圧電セラミックス基板と
しては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が好ましい。
さらにＢａＴｉＯ₃、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴａＯ
₃等を用いてもよい。

【００２０】ＰＺＴとしては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ₃−
ＰｂＴｉＯ₃）と、第三成分添加ＰＺＴがある。添加す
る第三成分としてはＰｂ（Ｍｇ_1/2Ｎｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ
（Ｍｎ₁ _/3Ｓｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｃｏ_1/3Ｎｂ_2/3）Ｏ₃等
がある。

【００２１】また、非金属製の圧電材料基板において、
成形、焼成を必要としないで形成される基板として、例
えば、ゾル−ゲル法、積層基板コーティング法等で形成
することができる。

【００２２】圧電材料基板１は、２枚の圧電材料基板１
ａ、１ｂを分極方向を互いに反対に向けて上下に接合し
てなる。２枚の圧電材料基板１ａ、１ｂを接合する手段
としては、エポキシ系接着剤等の接着剤を用いた接合を
採用できるが、接合可能であれば特にこれに限定されな
い。接着剤を用いて接合する場合、その接着剤層の硬化
後の厚みは、１〜１０μｍの範囲が好ましい。

【００２３】この圧電材料基板１に、円盤状の砥石（ダ
イシングブレード）等の公知の研削機を用いて所定ピッ
チで互いに平行な複数列の溝を加工することにより、イ
ンクが貯留されるインクチャンネル１１と空気チャンネ
ル１２とからなるチャンネル部１０と、それら各チャン
ネル部１０間の駆動壁１３とを交互に形成する。

【００２４】この溝加工の後に、各駆動壁１３の壁面に
駆動電極６をめっきにより形成する。駆動壁１３は分極
方向の異なる２枚の圧電材料基板１ａ、１ｂからなるた
め、各駆動電極６は、それら両基板１ａ、１ｂを駆動さ
せるべく、少なくとも各駆動壁１３を構成している圧電
材料基板１ａ及び１ｂに亘る側面の全面に形成するが、
必ずしも底面には形成しなくてもよい。

【００２５】駆動電極６を形成し得る金属としては、Ｎ
ｉ（ニッケル）、Ｃｏ（コバルト）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ
（アルミニウム）等があるが、ＮｉやＣｕが好ましく、
特に好ましくはＮｉである。

【００２６】駆動電極６を形成するめっきは、特に、無
電解めっきであることが好ましい。無電解めっきによれ
ば、より均一且つピンホールフリーの金属皮膜を簡易に
形成することができる。

【００２７】無電解めっきによる電極形成においては、
Ｎｉ−Ｐめっき又はＮｉ−Ｂめっきを単独で使用しても
よいし、あるいはＮｉ−ＰとＮｉ−Ｂを重層してもよ
い。Ｎｉ−ＰめっきはＰ含量が高くなると電気抵抗が増
大するので、Ｐ含量は１〜数％程度がよい。Ｎｉ−Ｂめ
っきのＢ含量は普通１％以下なので、Ｎｉ−ＰよりＮｉ
含量が多く、電気抵抗が低く、且つ外部配線との接続性
が良いため、Ｎｉ−ＰよりＮｉ−Ｂの方が好ましいが、
Ｎｉ−Ｂは高価なのでＮｉ−ＰとＮｉ−Ｂを組み合わせ
ることも好ましい。

【００２８】Ｎｉ−Ｐ又はＮｉ−Ｂからなる無電解めっ
き法により形成された駆動電極６は、析出が均一に行わ
れ、その結果平滑な表面性を有している。

【００２９】また、めっき膜の厚みは０．５〜５μｍの
範囲が好ましい。

【００３０】なお、駆動電極６は、駆動壁１３に例えば
Ｎｉ−Ｂからなる無電解めっきによりめっき膜を形成し
た上に、更にＮｉ−Ｐからなる無電解めっき処理を施す
ようにして形成することもできる。この場合、更にそれ
ぞれのめっき金属を異ならせるようにすることもでき
る。また、駆動壁１３に無電解めっきによりめっき膜を
形成した後、そのめっき膜上に金めっき等の電解めっき
処理を行うようにしてもよい。更に、駆動壁１３に蒸着
法により金属皮膜を形成した後に、該金属皮膜上に電解
めっき処理を行ってめっき膜を形成することにより駆動
電極６を形成するようにしてもよい。

【００３１】このように各チャンネル部１０内に駆動電
極６を形成した後、各駆動電極６に有機被膜７を形成す
る。この有機被膜７を駆動電極６の表面に被覆形成する
方法としては、電着法や塗布法があるが、塗布法では塗
布液をスピンコートしたり、コンフォーマルコーティン
グすることによって被覆形成するため、駆動電極６以外
の部分もコーティングされるので、面倒なマスキングが
必要であり、また大掛かりな装置も必要となる。このた
め電着法により形成することが好ましい。特に電着法に
よれば、導電性のある電極部分にだけ被膜を形成するこ
とができ、また、一度薄い被膜が形成されるとその個所
が絶縁されるため、それ以上その個所には析出せず、別
の導電性のある個所を探して析出するので、複雑な形状
の表面でも均一な薄膜を被覆形成することができる。従
って、微細なチャンネル部１０内の駆動電極６の表面に
も均一な有機被膜７を簡単に被覆形成することができ
る。

【００３２】本発明において用いられる有機被膜は、そ
れを構成する成分中にカルボキシル基又はアミノ基を有
する。かかる有機被膜は、その成分中に含まれる上記カ
ルボキシル基又はアミノ基の電気泳動性を利用して駆動
電極６の表面に被膜を形成する。本発明においては、こ
の有機被膜７を構成する成分の分子中のカルボキシル基
又はアミノ基の存在比率が下記式１を満たすように規定
する。

【００３３】（式１） 200≦（有機被膜を構成する成分の分子量）／（分子中
に含まれるカルボキシル基又はアミノ基の総数）≦10,0
00

【００３４】カルボキシル基又はアミノ基の存在比率が
上記範囲を満足することによって、駆動電極６表面に被
覆形成した有機被膜７の表面エネルギーが向上し、その
結果、有機被膜７表面の濡れ性及び気泡排出性が向上す
るものとなる。従って、特に水系インクを使用した際
に、インクチャンネル１１内へのインク流入時の気泡の
混入を防止し、円滑にインクを流入させることができ、
各ノズル孔３１から確実にインク射出を行うことができ
るようになる。

【００３５】カルボキシル基又はアミノ基の存在比率が
200を下回ると、有機被膜が弱く、ピンホールが発生し
易くなり、保護膜としての機能を果たさない。また、1
0,000を上回ると、有機被膜の親水性が十分ではなく、
特に水系インクを用いる時には気泡の排除が非常に困難
になり、いずれも水系インクを使用した場合にインクを
射出しないノズルが発生し、実用上好ましくない。

【００３６】かかる有機被膜の膜厚は、０．１〜２０μ
ｍが好ましい。

【００３７】以上のようにして各チャンネル部１０の駆
動電極６表面に有機被膜７を形成した後、図１に示すよ
うに、圧電性材料基板１の上面にエポキシ系接着剤等の
接着剤を用いてカバー部材２を接合する。このカバー部
材２としては、圧電材料基板１と同じものを使用する
と、貼り合せた時にソリ、変形、熱膨張係数の差による
剥離等が起こらないために好ましい。また、圧電材料基
板１と同じ程度の熱膨張係数を持つ非圧電性基板であっ
てもよい。非圧電性基板としては、例えば成形、焼成等
の工程を経て形成されるセラミックス基板、または成
形、焼成を必要としないで形成される基板等があり、焼
成等の工程を経て形成されるセラミックス基板として、
例えばＡｌ₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂、それらの混合、混融体、さ
らにＺｒＯ₂、ＢｅＯ、ＡｅＮ、ＳｉＣ等を用いること
ができる。その他、有機材料からなる基板であってもよ
く、有機ポリマーや有機ポリマーと無機物のハイブリッ
ド材料等を用いてもよい。

【００３８】次いで、圧電材料基板１の前端面に、イン
クを吐出するためのノズル孔３１を有するノズルプレー
ト３をエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて接合する。
また、圧電材料基板１の後端面には、インク導入孔４１
を有するバックプレート４を介して、インクチャンネル
１１内にインクを供給するインクマニホールド５を、同
様にエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて接合し、イン
クジェットヘッドを構成する。

【００３９】

【実施例】次に、本発明の効果を実施例に基づいて例証
する。

【００４０】実施例１〜３撹拌機、冷却管、滴下ロート及び温度計を備えた反応器
に、イソプロピルアルコール４５部、ブチルセロソルブ
２５部を加え、撹拌しながら約７０℃の還流温度にて表
１に示す配合の混合物を滴下ロートで２時間かけて滴下
せしめた。滴下し終わった後、そのまま還流温度で３時
間反応を続け、目的とするビニル重合体溶液を得た。

【００４１】得られたビニル系重合体溶液１００部にト
リエチレンアミン３部を加え、約１０分間撹拌せしめて
中和した後、ポリアミド樹脂６０部を加え、約２０分間
撹拌した後、イオン交換水４００部を撹拌しながら加え
て電着液を製造した。

【００４２】圧電性材料基板（ＰＺＴ）に複数列の溝を
平行に加工形成し、その側壁面にＮｉからなる駆動電極
及び各駆動電極と接続する配線パターンを無電解めっき
により形成したものに、上記電着液を用いて、電着装置
によって、加電圧３０Ｖ、浴温２５℃で２μｍ厚の有機
被膜を電着形成した。

【００４３】その後、カバー部材、ノズルプレート、バ
ックプレート、インクマニホールドをそれぞれ接合する
と共に、配線パターンと駆動ＩＣとをフレキシブルプリ
ント回路（ＦＰＣ）を異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を
用いて接合してインクジェットヘッドを製造した。

【００４４】

【表１】

【００４５】実施例４〜６撹拌機、冷却管、滴下ロート及び温度計を備えた反応器
に、イソプロピルアルコール４５部、ブチルセロソルブ
２５部を加え、撹拌しながら約７０℃の還流温度にて表
１に示す配合の混合物を滴下ロートで２時間かけて滴下
せしめた。滴下し終わった後、そのまま還流温度で３時
間反応を続け、目的とするビニル重合体溶液を得た。

【００４６】得られたビニル系重合体溶液１００部に酢
酸１部を加え、約１０分間撹拌せしめて中和した後、多
官能ブロックイソシアネート６０部を加え、約２０分間
撹拌した後、イオン交換水４００部を撹拌しながら加え
て電着液を製造した。

【００４７】圧電性材料基板（ＰＺＴ）に複数列の溝を
平行に加工形成し、その側壁面にＮｉからなる駆動電極
及び各駆動電極と接続する配線パターンを無電解めっき
により形成したものに、上記電着液を用いて、電着装置
によって、加電圧３０Ｖ、浴温２５℃で２μｍ厚の有機
被膜を電着形成した。

【００４８】その後、カバー部材、ノズルプレート、バ
ックプレート、インクマニホールドをそれぞれ接合する
と共に、配線パターンと駆動ＩＣとをフレキシブルプリ
ント回路（ＦＰＣ）を異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を
用いて接合してインクジェットヘッドを製造した。

【００４９】

【表２】

【００５０】実施例７窒素導入管及び冷却管の下部にストッブコックのついた
水分受容器を取り付ける。窒素を通しながら、更に撹拌
しながら反応器をシリコン油中につけて加熱して反応さ
せる。反応温度はシリコン油で示す。３，４，３’，
４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物６４．
４４ｇ（０．２ｍｏｌ）、ビス−［４−（３−アミノフ
ェノキシ）フェニル］スルホン４２．７２ｇ（０．１ｍ
ｏｌ）、バレロラクトン３ｇ（０．０３ｍｏｌ）、ピリ
ジン４．８ｇ（０．００６ｍｏｌ）、ＮＭＰ（Ｎ−メチ
ルピロリドンの略）４００ｇ、トルエン９０ｇを加えて
室温で３０分間撹拌、次いで昇温して１８０℃、１時
間、２００ｒｐｍで撹拌しながら反応させる。反応後、
トルエン−水留出分３０ｍｌを除く。空冷して、３，
４，３’，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物３２．２２ｇ（０．１ｍｏｌ）、３，５−ジアミノ
安息香酸１５．２２ｇ（０．１ｍｏｌ）、２，６−ジア
ミノピリジン１１．０１ｇ（０．１ｍｏｌ）、ＮＭＰ２
２．２ｇ、トルエン４５ｇを添加し、室温で１時間撹拌
（２００ｒｐｍ）、次いで昇温して１８０℃に１時間加
熱撹拌する。トルエン−水留出分１５ｍｌを除き、以後
は留出分を系外に除きながら１８０℃、３時間、加熱撹
拌して反応を終了した。これにより２０％ポリイミドワ
ニスを得た。

【００５１】ポリイミドワニス１００ｇ、ＮＭＰ：テト
ラヒドロチオフェン−１−ジオキシド＝１：１（重量）
の混合物１００ｇ、ペンジルアルコール５０ｇ、メチル
モルホリン２．６０ｇ（中和率２００ｍｏｌ％）、水１
ｇを撹拌して水性電着液を調製する。

【００５２】圧電性材料基板（ＰＺＴ）に複数列の溝を
平行に加工形成し、その側壁面にＮｉからなる駆動電極
及び各駆動電極と接続する配線パターンを無電解めっき
により形成したものに、上記電着液を用いて、電着装置
によって、加電圧３０Ｖ、浴温２５℃で２μｍ厚の有機
被膜を電着形成した。

【００５３】その後、カバー部材、ノズルプレート、バ
ックプレート、インクマニホールドをそれぞれ接合する
と共に、配線パターンと駆動ＩＣとをフレキシブルプリ
ント回路（ＦＰＣ）を異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を
用いて接合してインクジェットヘッドを製造した。

【００５４】比較例１〜３混合物の配合を表３に示す通りにした以外は、比較例１
及び２は実施例１〜３と同様にして、また比較例３は実
施例４〜６と同様にしてビニル系重合体溶液を作製し、
電着液を調製した。

【００５５】圧電性材料基板（ＰＺＴ）に複数列の溝を
平行に加工形成し、その側壁面にＮｉからなる駆動電極
及び各駆動電極と接続する配線パターンを無電解めっき
により形成したものに、上記電着液を用いて、電着装置
によって、加電圧３０Ｖ、浴温２５℃で２μｍ厚の有機
被膜を電着形成した。

【００５６】その後、カバー部材、ノズルプレート、バ
ックプレート、インクマニホールドをそれぞれ接合する
と共に、配線パターンと駆動ＩＣとをフレキシブルプリ
ント回路（ＦＰＣ）を異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を
用いて接合してインクジェットヘッドを製造した。

【００５７】

【表３】

【００５８】評価実施例１〜６、比較例１〜３によりそれぞれ製造したイ
ンクジェットヘッドに水系インクを充填して射出試験を
１０¹⁰ショットまで行い、インク射出に問題がないかど
うかを以下の基準により観察し評価した。その結果を表
４に示す。

【００５９】問題なし：○ インク射出不良あり：×

【００６０】

【表４】

【００６１】この結果、本発明によれば、いずれもイン
ク射出性能に問題は見られなかったのに対し、比較例１
〜３では、いずれもインク射出性能に問題が見られた。
具体的には、比較例１では１０²ショットでインクを射
出しないノズルが多数発生し、比較例２及び３では、初
期よりインクを射出しないノズルが多数発生した。

【００６２】

【発明の効果】本発明によれば、駆動電極に被覆形成し
た有機被膜の水系インクに対する濡れ性を向上させ、イ
ンク射出性能に優れる高品質のインクジェットヘッド及
びその製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの部分破断
斜視図

【図２】本発明に係るインクジェットヘッドの部分断面
図

【符号の説明】

１：圧電材料基板２：カバー部材３：ノズルプレート４：バックプレート５：インクマニホールド６：駆動電極７：有機被膜１０：チャンネル部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電材料からなる駆動壁とチャンネル部と
を交互に配列すると共に、該駆動壁に駆動電極を設け、
該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することに
より該駆動壁をせん断変形させてチャンネル部内のイン
クを吐出させるようにしたインクジェットヘッドにおい
て、前記駆動電極に有機被膜を被覆してなり、該有機被
膜は、それを構成する成分の分子中にカルボキシル基又
はアミノ基を有すると共に、該カルボキシル基又はアミ
ノ基の存在比率が下記式１を満たすことを特徴とするイ
ンクジェットヘッド。（式１） 200≦（有機被膜を構成する成分の分子量）／（分子中
に含まれるカルボキシル基又はアミノ基の総数）≦10,0
00
【請求項２】前記有機被膜は電着法により駆動電極に被
覆されていることを特徴とする請求項１記載のインクジ
ェットヘッド。
【請求項３】圧電材料からなる駆動壁とチャンネル部と
を交互に配列すると共に、該駆動壁に駆動電極を設け、
該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することに
より該駆動壁をせん断変形させてチャンネル部内のイン
クを吐出させるようにしたインクジェットヘッドの製造
方法において、カルボキシル基又はアミノ基を成分の分
子中に有し且つ該カルボキシル基又はアミノ基の存在比
率が下記式１を満たす有機被膜を前記駆動電極に被覆す
ることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。（式１） 200≦（有機被膜を構成する成分の分子量）／（分子中
に含まれるカルボキシル基又はアミノ基の総数）≦10,0
00
【請求項４】前記有機被膜を電着法により駆動電極に被
覆することを特徴とする請求項３記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。