JP2002166302A - 回転多面鏡の加工方法 - Google Patents
回転多面鏡の加工方法Info
- Publication number
- JP2002166302A JP2002166302A JP2000367672A JP2000367672A JP2002166302A JP 2002166302 A JP2002166302 A JP 2002166302A JP 2000367672 A JP2000367672 A JP 2000367672A JP 2000367672 A JP2000367672 A JP 2000367672A JP 2002166302 A JP2002166302 A JP 2002166302A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- work
- processing
- mirror
- inner diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Turning (AREA)
Abstract
向上させる。 【解決手段】回転多面鏡の加工方法において、回転多面
鏡のブランク1を一つの加工治具2に取り付けたまま、
回転多面鏡を回転させるためのモータへの取り付け基準
面1aと、モータに取り付けるための内径穴と、反射面
1bとを、一つの切削加工機で加工する。
Description
ームプリンタなど電子写真機の画像読み取り装置に用い
られる回転多面鏡を製造する技術に関するものである。
とり用回転多面鏡(以下ポリゴンミラーと呼ぶ)の加工
法を例に従来技術について説明する。
精細化に伴い、各面の平面度、面倒れ、平面度の相対差
などに極めて高い精度が求められてきている。
法について説明する。
抜き棒材を切断し、完成形状に近い形状に切削加工、塑
性加工などにより加工する。ついでスキャナーモータ取
り付け用の内径穴を打ち抜き成型、ドリル加工などによ
り形成する。これらの加工をブランク加工と呼ぶが、ブ
ランク加工によりブランクには残留ひずみが生じている
ため、熱的なアニール処理を行う。標準的なアニール条
件としては、電気炉にて180℃で4時間保持し、その
後、徐冷して室温に戻している。
キャナーモータ取り付け面となる基準面と呼ばれる端面
部をダイヤモンドバイトにより鏡面切削加工する。この
工程を基準面加工と呼ぶ。基準面加工工程では、ブラン
ク加工済みのワークを上記の内径穴を基準に保持して回
転させて旋削加工する方法、前記基準面の反対側の面
(以下反対面とよぶ)を真空チャックなどで保持し、回
転工具によりフライカット切削する方法の2方式が現在
一般的に行われている。こうして得られた基準面は、の
ちのミラー面加工においてワークを保持する面となる。
ト方式について挙げる。
製、ノーズ半径5mm バイトホルダー回転数:2400rpm 加工送り速度:0.8mm/s (=0.02mm/r
ev)
加工精度はミラー面加工における保持変形が精度を支配
する最大の要因であることが知られている。基準面の平
面度あるいは基準面を保持するミラー面加工時の保持具
の平面度が低いと、ワーク自体がミラー面加工時に保持
変形を受け、加工後に解放されるため、ミラー面の平面
度、面倒れ精度などが著しく劣化する。従って基準面の
平面度をじゅうぶん高精度に仕上げておく必要がある。
基準面の平面度は前記した基準面加工において保持され
る部分の精度、保持具の保持面の精度に大きく依存す
る。
静圧軸受に取り付けられたダイヤモンドバイトによるフ
ライカットにより鏡面切削される。この工程をミラー加
工工程と呼ぶ。
工時に付着した切り屑、切削油剤を除去するために洗浄
された後、モーター取り付け用の内径穴がミラー加工機
上の保持具に設けられたセンターガイドピンに嵌合挿入
され、ワークの基準面が保持具の取り付け面に密着され
た状態で保持される。保持具のセンターガイドピンにワ
ークを嵌合挿入する際、ワークの内径穴内壁にセンター
ガイドピンとの接触によりキズ、打痕を生じる場合があ
り、のちにスキャナーモーターへポリゴンミラーを取り
付ける場合に芯ずれ、面倒れ等の不良となる。
面加工した後に割り出しを行い次の面を加工する。
で平面度λ/5(λ=632.8nm)、表面粗さRm
ax0.02μm程度、面倒れ30”以下、の鏡面精度
が必要である。
である。
製、ノーズ半径10mm バイトホルダー回転数:2400rpm 加工送り速度:0.8mm/s (=0.02mm/r
ev) 標準的なワークの寸法、材質は以下の通りである。
ンミラー部品としては完成となり、スキャナーモーター
に組み付けられる。
ターに組み付ける際、モーター回転軸にポリゴンミラー
の内径穴を嵌合挿入し、回転軸方向はモーター回転軸上
に設けられた突き当て部材にポリゴンミラーの基準面を
密着させた状態で固定部材により固定される。モータへ
の取り付け精度としては、一例として以下の精度が要求
されている。
0μm 回転軸に対する各面の倒れ精度:30”以下 このときポリゴンミラー加工工程で生じたキズ、打痕な
どが内径穴、基準面にあるとスキャナーモーターへの取
り付け精度が劣化する恐れがある。
されたものであり、その目的は、ワークの基準面、内径
穴にキズをつけることなく、スキャナーモーターにポリ
ゴンミラーを高精度に取り付けられるようにすることで
ある。
面度、面倒れ精度を向上させることである。
面と内径穴の振り分け精度を向上させることである。
加工工程後の洗浄工程を廃止し、工程短縮による加工コ
ストの低減を図ることである。
目的を達成するために、本発明に係わる回転多面鏡の加
工方法は、回転多面鏡の加工方法において、前記回転多
面鏡のブランクを一つの加工治具に取り付けたまま、前
記回転多面鏡を回転させるためのモータへの取り付け基
準面と、前記モータに取り付けるための内径穴と、反射
面とを、一つの切削加工機で加工することを特徴として
いる。
方法において、前記ブランクには予め前記内径穴に近い
直径の穴が形成されており、該穴の内径を基準として前
記ブランクを前記切削加工機の回転軸に取り付けること
を特徴としている。
方法において、前記ブランクを前記切削加工機の回転軸
に取り付け、前記取り付け基準面と前記内径穴の加工時
には、前記回転軸が連続回転し、前記反射面の加工時に
は、前記回転軸が前記反射面の面数に応じた回転角度だ
け割り出し回転することを特徴としている。
ゴンミラー)の加工方法の好適な実施形態について詳細
に説明する。
である。
リゴンミラー加工装置を上方から見た全体図である。ワ
ークブランク1は、ポリゴンミラーの完成形状に近い形
状で、ワークスライド12上の割り出し軸9に取り付け
られたワーク保持具2に取り付けられている。ワークス
ライドの移動方向と直交して配置されたカッタースライ
ド11上には工具回転軸8、内径加工バイト4、基準面
加工バイト5が取り付けられている。
示した図である。
されており、仕上げ寸法より直径で50μm小さい内径
穴が穿孔されている。また、ワークブランク1の、後述
する保持具2の輪帯面2’に吸着保持される面は、予め
1μm以下の平面度に加工されている。
ており、ワーク1のセンタリング用のテーパー部材21
が直動ガイド22に支持されて内蔵されている。テーパ
部材21の先端テーパ部は割り出し回転軸9との同軸度
を1μm以下に調整されている。
ネ50を介し、前後動用の直動駆動機構3に接続されて
いる。直動機構にはエアシリンダーなどを用いる。ワー
ク取り付け時には直動機構3が図中A方向に前進し、テ
ーパー部材21がワーク保持具2の前端面に突出する。
テーパー部材21前端のテーパー部にワーク1の内径穴
1cが案内されて保持具2のワーク取り付け輪帯面2’
にワークの端面が図中B方向に押し付けられる。このと
きテーパー部材21は押し付け力により圧縮バネ23を
圧縮しつつ後退する。輪帯面2’にはワーク吸着用の輪
帯状の溝2”が形成されており、溝には真空ポンプに接
続された配管24が接続されている。ワーク1の端面が
保持具2のワーク取り付け輪帯面2’に密着した時点で
真空ポンプが作動し、ワーク吸着用の輪帯状の溝2”内
の圧力が減圧されてワーク1を吸着する。同時に直動駆
動機構3を後退させることによりテーパー部材21はワ
ークから離れる。これでワーク保持は完了する。
12、カッタースライド11がそれぞれ図中C,D方向
に前進する。さらに割り出し軸9が高速で回転を開始す
る。ワーク内径穴1cの内壁を内径加工バイト4が切削
加工できる位置へ位置決めされた時点でカッタースライ
ド11は停止する。
ま、ワークスライド12が前進し、ワーク内径穴の仕上
げ加工が開始される。
通りである。
μm、真円度0.1μm程度に仕上げられる。
2は図4に矢印C’で示す方向に後退する。
11が図中矢印D’で示す方向に移動し、基準面加工バ
イト5がワーク基準面1aを加工できる直前の位置に位
置決めされる。さらに図6に示すようにワークスライド
12が前進し、基準面1aに対し所定の切り込み量にな
る位置に位置決めされる。
送り速度で基準面切削加工を開始する。
りである。
x0.1μmの鏡面に加工される。
12が後退しつつ割り出し軸9の高速回転を停止する。
その後ミラー面切削工具回転軸8に直角な面にワークミ
ラー面1bの内の一面が平行になるよう割り出し軸を低
速で回転させる。一面の割り出し終了後、図7に示すよ
うにミラー面1bの鏡面切削加工を行う。
ズ半径2mm 仕上げ加工バイト:単結晶ダイヤモンド製、ノーズ半径
10mm バイトホルダー回転数:6000rpm 加工送り速度:2mm/s (=0.02mm/re
v) 一面のミラー面の鏡面切削加工が終わると割り出し軸が
所定角度(ミラー面の面数に対応した角度)回転して第
2面の加工を行う。順次繰り返しミラー面加工を行い、
すべての面の加工が終了した後、ワークを取り外す。こ
の後、洗浄、成膜工程を経てポリゴンミラーは完成す
る。
て終わるまで一度の洗浄も行わない。すなわち、ポリゴ
ンミラーの基準面、内径穴は仕上げ加工された後にミラ
ー面加工を行う際に保持具等にいっさい接触することが
ないため、接触によるキズ、打コンの発生を防止でき
る。
らにミラー面の加工精度を向上するものである。ワーク
ブランクの端面を切削装置に保持する際、第1の実施形
態では輪帯状の保持具において真空チャックを用いてい
るが、吸引力が大きすぎるとワークが保持変形され、加
工終了後、各加工面の平面度等が劣化する恐れがある。
そのため、小さい保持力で加工が行えるように切削切り
込み量を小さく設定するなどの配慮が必要である。本実
施形態では強固な保持力を保持変形を最小にして得るこ
とが出来る。
ーク保持具のワーク取り付け面を輪帯を3分割した面と
した。ワーク吸着用の真空チャック用の穴は3分割され
たワーク取り付け面にそれぞれ独立に設ける。
8に示す。図中2’がワーク取り付け面であり、2”は
ワーク吸着用の真空チャック穴である。また、図2に示
した第1の実施形態と同一部分には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
必要なワーク端面の平面度は輪帯状の保持具で1μm以
下を要していたが、三分割したワーク取り付け面とした
ことによってワークを3点で支持するため保持変形によ
る平面度劣化を小さく抑えることができ、2μm程度の
平面度の低いブランクでも良好な加工精度が得られた。
は、さらに強固な保持力を得るのに、ワーク保持方法と
して、冷凍保持方式を用いる。
介在させ、保持具に設けた冷凍機構を作動させ、ワーク
を保持具に対し凍結固着させる方法である。
冷凍機構としてペルチェ素子25を用いた。ペルチェ素
子25は素子に電圧をかけると一方が低温、他方が高温
となる性質を持っており、本実施形態ではワーク取り付
け面が低温になるように素子を設置し、ワーク取り付け
面温度を−5℃にすることで、温度変化による熱収縮の
影響も小さく、かつ強固な保持が実現できた。
に、保持するときと逆の極性の電圧を印可する。
れば、電子写真機用回転多面鏡などの精密鏡面切削にお
いて、一台の切削加工機にブランクを取り付けるだけで
内径穴、基準面、ミラー面を加工することが可能となっ
た。
りでなく、各加工面へのキズ、打痕の発生も大幅に抑制
され、加工品質が向上した。
による生産性大幅アップ、加工品質の大幅アップを実現
することが可能となった。また各切削工程を一台の切削
加工機で行えることにより従来工程間で行っていた洗浄
を省略することができ、工程を短縮することが出来た。
ークの基準面、内径穴にキズをつけることなく、スキャ
ナーモーターにポリゴンミラーを高精度に取り付けられ
るようにすることが可能となる。
上させることが可能となる。
向上させることが可能となる。
止し、工程短縮による加工コストの低減を図ることが可
能となる。
工装置全体(待機状態)を示す図である。
構を示す図である。
加工状態を示す図である。
加工が終了し、ワークが一旦後退した状態を示す図であ
る。
待機状態を示す図である。
態を示す図である。
状態を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 回転多面鏡の加工方法において、 前記回転多面鏡のブランクを一つの加工治具に取り付け
たまま、前記回転多面鏡を回転させるためのモータへの
取り付け基準面と、前記モータに取り付けるための内径
穴と、反射面とを、一つの切削加工機で加工することを
特徴とする回転多面鏡の加工方法。 - 【請求項2】 前記ブランクには予め前記内径穴に近い
直径の穴が形成されており、該穴の内径を基準として前
記ブランクを前記切削加工機の回転軸に取り付けること
を特徴とする請求項1に記載の回転多面鏡の加工方法。 - 【請求項3】 前記ブランクを前記切削加工機の回転軸
に取り付け、前記取り付け基準面と前記内径穴の加工時
には、前記回転軸が連続回転し、前記反射面の加工時に
は、前記回転軸が前記反射面の面数に応じた回転角度だ
け割り出し回転することを特徴とする請求項1に記載の
回転多面鏡の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000367672A JP2002166302A (ja) | 2000-12-01 | 2000-12-01 | 回転多面鏡の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000367672A JP2002166302A (ja) | 2000-12-01 | 2000-12-01 | 回転多面鏡の加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002166302A true JP2002166302A (ja) | 2002-06-11 |
Family
ID=18838058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000367672A Pending JP2002166302A (ja) | 2000-12-01 | 2000-12-01 | 回転多面鏡の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002166302A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008170791A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Ricoh Co Ltd | 回転多面鏡の加工方法・回転多面鏡加工装置・光偏向器・光走査装置・画像形成装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60123820A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-02 | Copal Denshi Kk | 回転ミラとその加工装置 |
| JPS61169541U (ja) * | 1985-04-09 | 1986-10-21 | ||
| JPH04134414A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Copal Electron Co Ltd | ポリゴンミラ並びにその加工方法 |
| JPH0768406A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-14 | Toyoda Mach Works Ltd | 面駆動装置 |
-
2000
- 2000-12-01 JP JP2000367672A patent/JP2002166302A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60123820A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-02 | Copal Denshi Kk | 回転ミラとその加工装置 |
| JPS61169541U (ja) * | 1985-04-09 | 1986-10-21 | ||
| JPH04134414A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Copal Electron Co Ltd | ポリゴンミラ並びにその加工方法 |
| JPH0768406A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-14 | Toyoda Mach Works Ltd | 面駆動装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008170791A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Ricoh Co Ltd | 回転多面鏡の加工方法・回転多面鏡加工装置・光偏向器・光走査装置・画像形成装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101218376B1 (ko) | 회전 부품의 기계 가공 방법 | |
| EP0706066B1 (en) | Method of manufacturing a metal polygon mirror | |
| CN110842476A (zh) | 一种应用于高速扫描系统的五面体反射镜的制作方法 | |
| CN117066904A (zh) | 一种脆性材料的多能场复合加工系统及方法 | |
| JP2001129750A (ja) | ワークエッジの研磨方法および研磨装置 | |
| JP2002166302A (ja) | 回転多面鏡の加工方法 | |
| JPH01153259A (ja) | 少なくとも1つの平らな表面を備えた円形物の製造方法及びその装置 | |
| US5112170A (en) | Casting fin removing apparatus for aluminum wheel | |
| JP2008034776A (ja) | ワークのエッジの加工方法及び装置 | |
| US4712535A (en) | Method and apparatus for severing wafers | |
| JPH09309051A (ja) | レンズ加工装置およびレンズ加工方法 | |
| JPH0752007A (ja) | ロータリ研削盤及び研削方法 | |
| JP4401701B2 (ja) | 円筒部材の加工方法及び円筒部材の加工装置及び円筒部材 | |
| JP2002052447A (ja) | 半導体ウェーハのノッチ研削装置及びノッチ溝の面取り方法 | |
| KR102099956B1 (ko) | 전기 자동차 파킹 샤프트의 스플라인 압입 시스템 | |
| JPH06208042A (ja) | セラミックスフェルールの製造方法 | |
| JP2001205546A (ja) | 超音波加工用工具製造方法および超音波加工装置 | |
| CN117086705A (zh) | 一种对激光陀螺的腔平移镜片的双面环槽的加工方法 | |
| JPH091414A (ja) | 面削用フライス装置 | |
| US5752874A (en) | Means and method for fabrication of grazing incidence optics | |
| JPH07136804A (ja) | ポリゴンミラーの製造方法及び装置 | |
| JPH07332261A (ja) | 固定スクロールおよびその加工方法 | |
| JPH05154755A (ja) | キー溝加工装置 | |
| JPH10175134A (ja) | 回転多面鏡の加工装置 | |
| JPH0339705A (ja) | 光ファイバ端面部の加工方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071128 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20071128 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080828 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100215 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100218 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100415 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100618 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101015 |