JP2002162078A - クリーンルーム用気流方向制御装置 - Google Patents
クリーンルーム用気流方向制御装置Info
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- JP2002162078A JP2002162078A JP2000353033A JP2000353033A JP2002162078A JP 2002162078 A JP2002162078 A JP 2002162078A JP 2000353033 A JP2000353033 A JP 2000353033A JP 2000353033 A JP2000353033 A JP 2000353033A JP 2002162078 A JP2002162078 A JP 2002162078A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、クリーンルームの作業領域における
清浄度を省エネルギでかつ低コストで向上させることが
できるクリーンルーム用気流方向制御装置を提供する。 【解決手段】本発明は、気流方向制御装置１０として熱
処理の必要なアクリル板を使用せず、厚みの薄い可撓性
のある光透過性シート材４２、４４を適用したので、光
の透過性が向上し、照明を遮らない。また、気流方向制
御装置１０をフレーム材５８に接地したので、気流方向
制御装置１０の帯電を防止できる。これにより、気流方
向制御装置１０に気流が衝突することに起因する静電気
の発生を防止できるので、静電気に起因する気流方向制
御装置１０への塵埃の付着を防止できる。
清浄度を省エネルギでかつ低コストで向上させることが
できるクリーンルーム用気流方向制御装置を提供する。 【解決手段】本発明は、気流方向制御装置１０として熱
処理の必要なアクリル板を使用せず、厚みの薄い可撓性
のある光透過性シート材４２、４４を適用したので、光
の透過性が向上し、照明を遮らない。また、気流方向制
御装置１０をフレーム材５８に接地したので、気流方向
制御装置１０の帯電を防止できる。これにより、気流方
向制御装置１０に気流が衝突することに起因する静電気
の発生を防止できるので、静電気に起因する気流方向制
御装置１０への塵埃の付着を防止できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気調和機から吹
き出された清浄エアの気流方向を制御するクリーンルー
ム用気流方向制御装置に関する。
き出された清浄エアの気流方向を制御するクリーンルー
ム用気流方向制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子の高集積化、微細化に
伴い、クリーンルーム設備に要求される清浄度が厳しく
なるとともに、その一方で、省エネルギや低コスト化を
図ることができるクリーンルーム設備が要求されてい
る。
伴い、クリーンルーム設備に要求される清浄度が厳しく
なるとともに、その一方で、省エネルギや低コスト化を
図ることができるクリーンルーム設備が要求されてい
る。
【０００３】クリーンルーム設備は、要求される室内の
清浄度によって除塵システムが異なるが、基本的には、
清浄空気の吹き出し気流方向と循環風量とを変更するこ
とで対応している。例えば、液晶装置や精密機械工場及
び薬品や食品工場に適用されるクラス１００〜１０００
０程度の比較的低清浄度のクリーンルーム設備では、室
内に空気調和機が設置され、この空気調和機が天井面に
設置された除塵装置にダクトを介して接続されている。
そして、前記空気調和機によって調温調湿されたエアが
前記除塵装置に送気されると、除塵装置によってエアに
浮遊する微粒子が高効率で除去され、その清浄エアが室
内に吹き出される。
清浄度によって除塵システムが異なるが、基本的には、
清浄空気の吹き出し気流方向と循環風量とを変更するこ
とで対応している。例えば、液晶装置や精密機械工場及
び薬品や食品工場に適用されるクラス１００〜１０００
０程度の比較的低清浄度のクリーンルーム設備では、室
内に空気調和機が設置され、この空気調和機が天井面に
設置された除塵装置にダクトを介して接続されている。
そして、前記空気調和機によって調温調湿されたエアが
前記除塵装置に送気されると、除塵装置によってエアに
浮遊する微粒子が高効率で除去され、その清浄エアが室
内に吹き出される。
【０００４】ここで、除塵装置としては、HEPAフィルタ
( High Efficiency Particulate Air Filter) やULPAフ
ィルタ(Ultra Low Penetration Air Filter)などの高性
能エアフィルタが主に適用され、室内と空気調和機とを
循環するエアがこのフィルタを通過することによって、
室内の塵埃濃度が低下し、室内を所望の清浄度に保つこ
とができる。
( High Efficiency Particulate Air Filter) やULPAフ
ィルタ(Ultra Low Penetration Air Filter)などの高性
能エアフィルタが主に適用され、室内と空気調和機とを
循環するエアがこのフィルタを通過することによって、
室内の塵埃濃度が低下し、室内を所望の清浄度に保つこ
とができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のクリーンルーム設備は、空気調和機と除塵装置を接
続するためのダクトや、天井面に設置する除塵装置の数
が大量に必要になるので、クリーンルーム設備のイニシ
ャルコストが高くなるという欠点がある。また、除塵装
置を天井面に設置するための天井パネルも必要となるた
め、その工事費用も発生し、コストパフォーマンスが良
いとは言えない。
来のクリーンルーム設備は、空気調和機と除塵装置を接
続するためのダクトや、天井面に設置する除塵装置の数
が大量に必要になるので、クリーンルーム設備のイニシ
ャルコストが高くなるという欠点がある。また、除塵装
置を天井面に設置するための天井パネルも必要となるた
め、その工事費用も発生し、コストパフォーマンスが良
いとは言えない。
【０００６】一方、これらの欠点を解消するクリーンル
ーム設備として、特願平11-267461号明細書では、室内
に設置した空気調和機から清浄エアを天井面に沿って直
接吹き出し、天井面近傍に設置した気流方向制御装置に
よって、清浄エアの下降流を発生させ、清浄度の必要と
なる作業領域に限定して清浄エアを効率よく循環させる
方式が提案されている。
ーム設備として、特願平11-267461号明細書では、室内
に設置した空気調和機から清浄エアを天井面に沿って直
接吹き出し、天井面近傍に設置した気流方向制御装置に
よって、清浄エアの下降流を発生させ、清浄度の必要と
なる作業領域に限定して清浄エアを効率よく循環させる
方式が提案されている。
【０００７】かかる循環方式では、空気調和機と除塵装
置とをダクトを介して接続する必要が無く、さらに、除
塵装置を設置する天井パネルも不要となるので、クリー
ンルーム設備のイニシャルコストを大幅に低減できる効
果がある。
置とをダクトを介して接続する必要が無く、さらに、除
塵装置を設置する天井パネルも不要となるので、クリー
ンルーム設備のイニシャルコストを大幅に低減できる効
果がある。
【０００８】この循環方式における気流方向制御装置に
は、図５に示す透明のアクリル板１を熱処理して湾曲形
状に成形した構造のものが用いられていた。しかし、こ
の気流方向制御装置では、アクリル板１自体のコストが
高いという問題があった。また、アクリル板１は、熱処
理前では透明であるが、熱処理することでやや半透明と
なり、それに伴い、光の透過性が悪化するため、照明を
遮るという問題もあった。さらに、アクリル板１には常
時、気流が衝突するため、気流方向制御装置自体が帯電
し、室内の塵埃が徐々に気流方向制御装置に付着して大
きな塵埃の塊となり、落下することも懸念されている。
は、図５に示す透明のアクリル板１を熱処理して湾曲形
状に成形した構造のものが用いられていた。しかし、こ
の気流方向制御装置では、アクリル板１自体のコストが
高いという問題があった。また、アクリル板１は、熱処
理前では透明であるが、熱処理することでやや半透明と
なり、それに伴い、光の透過性が悪化するため、照明を
遮るという問題もあった。さらに、アクリル板１には常
時、気流が衝突するため、気流方向制御装置自体が帯電
し、室内の塵埃が徐々に気流方向制御装置に付着して大
きな塵埃の塊となり、落下することも懸念されている。
【０００９】また、前記気流方向制御装置では、高い清
浄度の必要な空間が広くなった場合、同一仕様の気流方
向制御装置を横方向に複数個並設する必要があった。
浄度の必要な空間が広くなった場合、同一仕様の気流方
向制御装置を横方向に複数個並設する必要があった。
【００１０】そこで、本発明の目的は、前記従来技術の
欠点を解消できる新たな気流方向制御装置を考案し、作
業領域における清浄度を省エネルギでかつ低コストで向
上させることができるクリーンルーム用気流方向制御装
置を提供することにある。
欠点を解消できる新たな気流方向制御装置を考案し、作
業領域における清浄度を省エネルギでかつ低コストで向
上させることができるクリーンルーム用気流方向制御装
置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、除塵手段を有するとともに、該除塵手段
によって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室
内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機か
ら吹き出された清浄エアの気流方向を制御する湾曲型の
気流方向制御装置とを備えたクリーンルーム設備に用い
られる気流方向制御装置において、前記気流方向制御装
置は、湾曲型に形成された光透過性シート状部材を有
し、該光透過性シート状部材は、天井ボード用フレーム
材またはダクトなどの構造物に電気的に接地されている
ことを特徴とする。
成するために、除塵手段を有するとともに、該除塵手段
によって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室
内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機か
ら吹き出された清浄エアの気流方向を制御する湾曲型の
気流方向制御装置とを備えたクリーンルーム設備に用い
られる気流方向制御装置において、前記気流方向制御装
置は、湾曲型に形成された光透過性シート状部材を有
し、該光透過性シート状部材は、天井ボード用フレーム
材またはダクトなどの構造物に電気的に接地されている
ことを特徴とする。
【００１２】請求項１に記載の発明は、気流方向制御装
置として熱処理の必要なアクリル板を使用せず、厚みの
薄い可撓性のある光透過性シート状部材を適用したの
で、光の透過性が向上し、照明を遮らない。また、気流
方向制御装置をクリーンルームの構造物に接地したの
で、気流方向制御装置の帯電が防止され、これにより、
気流方向制御装置に気流が衝突することに起因する静電
気の発生を防止でき、よって、静電気に起因する気流方
向制御装置への塵埃の付着を防止できる。
置として熱処理の必要なアクリル板を使用せず、厚みの
薄い可撓性のある光透過性シート状部材を適用したの
で、光の透過性が向上し、照明を遮らない。また、気流
方向制御装置をクリーンルームの構造物に接地したの
で、気流方向制御装置の帯電が防止され、これにより、
気流方向制御装置に気流が衝突することに起因する静電
気の発生を防止でき、よって、静電気に起因する気流方
向制御装置への塵埃の付着を防止できる。
【００１３】請求項２に記載の発明は、前記光透過性シ
ート状部材を成形用枠によって、湾曲型に成形したの
で、湾曲形状を維持することができるとともに、気流方
向制御装置の剛性が高まり使用寿命が延びる。
ート状部材を成形用枠によって、湾曲型に成形したの
で、湾曲形状を維持することができるとともに、気流方
向制御装置の剛性が高まり使用寿命が延びる。
【００１４】以上の如く本発明は、室内照度の低下や気
流方向制御装置自体に塵埃が付着することもなく、ま
た、コストの安い光透過性シート状部材を適用し、その
使用寿命を延ばすべく、光透過性シート状部材を成形用
枠で補強したので、低コストで省エネルギ化を図ったク
リーンルーム設備を提供できる。
流方向制御装置自体に塵埃が付着することもなく、ま
た、コストの安い光透過性シート状部材を適用し、その
使用寿命を延ばすべく、光透過性シート状部材を成形用
枠で補強したので、低コストで省エネルギ化を図ったク
リーンルーム設備を提供できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るクリーンルーム用気流方向制御装置の好ましい実施の
形態について詳説する。
るクリーンルーム用気流方向制御装置の好ましい実施の
形態について詳説する。
【００１６】図１は、実施の形態の気流方向制御装置１
０が設置されたクリーンルーム１２を模式的に示した図
である。同図に示すクリーンルーム１２の床１４には、
液晶装置製造用の装置１６が設置され、この装置１６を
取り扱うオペレータ１８の作業エリアが、高い清浄度を
必要な高清浄空間２０として設定されている。
０が設置されたクリーンルーム１２を模式的に示した図
である。同図に示すクリーンルーム１２の床１４には、
液晶装置製造用の装置１６が設置され、この装置１６を
取り扱うオペレータ１８の作業エリアが、高い清浄度を
必要な高清浄空間２０として設定されている。
【００１７】クリーンルーム１２の壁２２側には、空気
調和機２４が設置される。空気調和機２４の下部側面に
は吸込口２６が形成され、この吸込口２６から吸い込ん
だクリーンルーム１２内の室内エアが、空気調和機２４
に内蔵された乾燥器、加湿器、及びヒータ等により所望
の温湿度に調節される。このように空調されたエアは、
空気調和機２４の上部に設置された可撓性ダクト２８を
介して除塵装置３０に導かれ、ここで除塵フィルタ（HE
PAフィルタまたはULPAフィルタ）３２に通されることに
より、エアに浮遊する微粒子が除去される。除塵フィル
タ３２で清浄化された清浄エアは、除塵装置３０の図１
の右側部に開口された吹出口３４から天井面３６に沿う
ように吹き出され、高清浄空間２０の上方に設置された
気流方向制御装置１０に導かれる。そして、清浄エア
は、気流方向制御装置１０によって気流方向が下方に変
更されて高清浄空間２０に供給される。これにより、高
清浄空間２０に清浄エアが集中的に供給されるので、高
清浄空間２０が、その周りの空間よりも高い清浄度に維
持される。
調和機２４が設置される。空気調和機２４の下部側面に
は吸込口２６が形成され、この吸込口２６から吸い込ん
だクリーンルーム１２内の室内エアが、空気調和機２４
に内蔵された乾燥器、加湿器、及びヒータ等により所望
の温湿度に調節される。このように空調されたエアは、
空気調和機２４の上部に設置された可撓性ダクト２８を
介して除塵装置３０に導かれ、ここで除塵フィルタ（HE
PAフィルタまたはULPAフィルタ）３２に通されることに
より、エアに浮遊する微粒子が除去される。除塵フィル
タ３２で清浄化された清浄エアは、除塵装置３０の図１
の右側部に開口された吹出口３４から天井面３６に沿う
ように吹き出され、高清浄空間２０の上方に設置された
気流方向制御装置１０に導かれる。そして、清浄エア
は、気流方向制御装置１０によって気流方向が下方に変
更されて高清浄空間２０に供給される。これにより、高
清浄空間２０に清浄エアが集中的に供給されるので、高
清浄空間２０が、その周りの空間よりも高い清浄度に維
持される。
【００１８】気流方向制御装置１０は、図２の如く湾曲
型であり、図１の除塵装置３０の吹出口３４に図２の凹
状部４０が対向するように配置される。
型であり、図１の除塵装置３０の吹出口３４に図２の凹
状部４０が対向するように配置される。
【００１９】気流方向制御装置１０は、矩形状に形成さ
れた２枚の帯電防止型光透過性シート材４２、４２、扇
形状に形成された２枚の帯電防止型光透過性シート材４
４、４４、円弧状に形成された３本の成形枠４６、４
６、４６、Ｌ字状に形成された２本の成形枠４８、４
８、及び直棒状に形成された２本の成形枠５０、５０か
ら構成される。シート材４２、４４は、同一の材質であ
り、透明で厚みが薄く可撓性のあるものが適用されてい
る。
れた２枚の帯電防止型光透過性シート材４２、４２、扇
形状に形成された２枚の帯電防止型光透過性シート材４
４、４４、円弧状に形成された３本の成形枠４６、４
６、４６、Ｌ字状に形成された２本の成形枠４８、４
８、及び直棒状に形成された２本の成形枠５０、５０か
ら構成される。シート材４２、４４は、同一の材質であ
り、透明で厚みが薄く可撓性のあるものが適用されてい
る。
【００２０】気流方向制御装置１０は、図２の如く円弧
状の３本の成形枠４６、４６、４６で２枚のシート材４
４、４４を挟み込むように、シート材４４の縁部を成形
枠４６に取り付ける。これによって、気流方向制御装置
１０の、風向きを変更する風受面が湾曲型に構成され
る。３本の成形枠４６は、直棒状の２本の成形枠５０、
５０に取り付けられて間隔が保持されている。これらの
成形枠５０の両端部に、Ｌ字状の成形枠４８が固定さ
れ、この成形枠４８と外側の成形枠４６とに扇形状のシ
ート材４４の縁部が取り付けられる。これによって、気
流方向制御装置１０のフラットな両側部が形成される。
前記成形枠４６、４８、５０は、気流方向制御装置１０
の軽量化を図るために、ステンレスまたはアルミニウム
等の軽い金属で作られている。
状の３本の成形枠４６、４６、４６で２枚のシート材４
４、４４を挟み込むように、シート材４４の縁部を成形
枠４６に取り付ける。これによって、気流方向制御装置
１０の、風向きを変更する風受面が湾曲型に構成され
る。３本の成形枠４６は、直棒状の２本の成形枠５０、
５０に取り付けられて間隔が保持されている。これらの
成形枠５０の両端部に、Ｌ字状の成形枠４８が固定さ
れ、この成形枠４８と外側の成形枠４６とに扇形状のシ
ート材４４の縁部が取り付けられる。これによって、気
流方向制御装置１０のフラットな両側部が形成される。
前記成形枠４６、４８、５０は、気流方向制御装置１０
の軽量化を図るために、ステンレスまたはアルミニウム
等の軽い金属で作られている。
【００２１】このような、透明で厚みが薄く可撓性のあ
るシート材４２、４４を用いることにより、従来のよう
に光透過性が悪化することはなく、また、室内から天井
面３６（図１参照）も見えるため、気流方向制御装置１
０の設置による圧迫感も解消される。
るシート材４２、４４を用いることにより、従来のよう
に光透過性が悪化することはなく、また、室内から天井
面３６（図１参照）も見えるため、気流方向制御装置１
０の設置による圧迫感も解消される。
【００２２】気流方向制御装置１０は、図３の如く天井
固定用金具５２によって、天井３６を構成する天井ボー
ド５４に固定される。また、気流方向制御装置１０は、
接地線５６を有し、接地線５６の基端部５６Ａは、成形
枠の例えば直棒状成形枠５０に接続され、他端部５６Ｂ
は、天井ボード５４のフレーム材５８に接続され、帯電
防止効果を高めるような機能が付加されている。接地線
５６は、万一、気流方向制御装置１０が天井ボード５４
から外れた時に、天井ボード５４からの落下も防止す
る。なお、本実施の形態では、接地線５６の他端部５６
Ｂをフレーム材５８に接続したが、これに限定されるも
のではなく、クリーンルーム１２の天井チャンバに配設
されているダクトなどの構造物に接続してもよい。
固定用金具５２によって、天井３６を構成する天井ボー
ド５４に固定される。また、気流方向制御装置１０は、
接地線５６を有し、接地線５６の基端部５６Ａは、成形
枠の例えば直棒状成形枠５０に接続され、他端部５６Ｂ
は、天井ボード５４のフレーム材５８に接続され、帯電
防止効果を高めるような機能が付加されている。接地線
５６は、万一、気流方向制御装置１０が天井ボード５４
から外れた時に、天井ボード５４からの落下も防止す
る。なお、本実施の形態では、接地線５６の他端部５６
Ｂをフレーム材５８に接続したが、これに限定されるも
のではなく、クリーンルーム１２の天井チャンバに配設
されているダクトなどの構造物に接続してもよい。
【００２３】このように、気流方向制御装置１０を接地
すれば、気流方向制御装置１０の帯電が防止される。こ
れにより、気流方向制御装置１０に気流が衝突すること
に起因する静電気の発生を防止できるので、静電気に起
因する気流方向制御装置１０への塵埃の付着を防止でき
る。
すれば、気流方向制御装置１０の帯電が防止される。こ
れにより、気流方向制御装置１０に気流が衝突すること
に起因する静電気の発生を防止できるので、静電気に起
因する気流方向制御装置１０への塵埃の付着を防止でき
る。
【００２４】また、気流方向制御装置１０は、コストの
安い光透過性シート材４２、４４を成形枠４６、４８、
５０によって湾曲型に成形したので、熱処理することな
く湾曲形状を維持することができるとともに、気流方向
制御装置１０の剛性が高まり、使用寿命が延びる。
安い光透過性シート材４２、４４を成形枠４６、４８、
５０によって湾曲型に成形したので、熱処理することな
く湾曲形状を維持することができるとともに、気流方向
制御装置１０の剛性が高まり、使用寿命が延びる。
【００２５】図４は、二重構造に構成した気流方向制御
装置６０を示している。この気流方向制御装置６０は、
図２に示した気流方向制御装置１０の風受面の外側に、
気流方向制御装置１０よりも幅方向において短い小型の
気流方向制御装置６２を図４上矢印方向（幅方向）にス
ライド自在に設けたものである。このように構成された
気流方向制御装置６０は、高い清浄度を要求される空間
が広くなった場合、気流方向制御装置６２を気流方向制
御装置１０の幅方向にスライドさせて対応する。この構
造に改良することで、天井固定用金具５２（図３参照）
の個数を従来の装置に対して低減することが可能とな
り、気流方向制御装置全体のコストアップを抑えること
ができる。また、気流方向制御装置６０の幅はＴ１〜Ｔ
２の範囲で任意に調整可能なので、不必要な長さになら
ないように必要な長さに設定すればよい。
装置６０を示している。この気流方向制御装置６０は、
図２に示した気流方向制御装置１０の風受面の外側に、
気流方向制御装置１０よりも幅方向において短い小型の
気流方向制御装置６２を図４上矢印方向（幅方向）にス
ライド自在に設けたものである。このように構成された
気流方向制御装置６０は、高い清浄度を要求される空間
が広くなった場合、気流方向制御装置６２を気流方向制
御装置１０の幅方向にスライドさせて対応する。この構
造に改良することで、天井固定用金具５２（図３参照）
の個数を従来の装置に対して低減することが可能とな
り、気流方向制御装置全体のコストアップを抑えること
ができる。また、気流方向制御装置６０の幅はＴ１〜Ｔ
２の範囲で任意に調整可能なので、不必要な長さになら
ないように必要な長さに設定すればよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、クリーンルーム天井面
に設置した気流方向制御装置により清浄空気の下降流を
発生させて効率良く清浄空気をクリーンルーム内に循環
させることが可能となり、さらに、室内照度の低下や気
流方向制御装置自体に塵埃が付着することもなく、ま
た、適切な気流方向制御装置の長さを低コストで容易に
調節可能であり、低コストで省エネルギ化を図ったクリ
ーンルームを迅速に提供することができる。
に設置した気流方向制御装置により清浄空気の下降流を
発生させて効率良く清浄空気をクリーンルーム内に循環
させることが可能となり、さらに、室内照度の低下や気
流方向制御装置自体に塵埃が付着することもなく、ま
た、適切な気流方向制御装置の長さを低コストで容易に
調節可能であり、低コストで省エネルギ化を図ったクリ
ーンルームを迅速に提供することができる。
【図１】実施の形態に係る気流方向制御装置が適用され
たクリーンルーム設備の模式図
たクリーンルーム設備の模式図
【図２】実施の形態に係る気流方向制御装置の斜視図
【図３】図１に示した気流方向制御装置の取付構造を示
す斜視図
す斜視図
【図４】気流方向制御装置の幅を可変する際の摸式図
【図５】従来の気流方向制御装置の構造を示す斜視図
１０、６０、６２…気流方向制御装置、１２…クリーン
ルーム、２０…高清浄空間、２４…空気調和機、３０…
除塵装置、３２…除塵フィルタ、４２、４４…帯電防止
型光透過性シート材、４６、４８、５０…成形枠、５４
…天井ボード、５８…フレーム材
ルーム、２０…高清浄空間、２４…空気調和機、３０…
除塵装置、３２…除塵フィルタ、４２、４４…帯電防止
型光透過性シート材、４６、４８、５０…成形枠、５４
…天井ボード、５８…フレーム材
Claims (2)
- 【請求項１】 除塵手段を有するとともに、該除塵手段
によって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室
内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機か
ら吹き出された清浄エアの気流方向を制御する湾曲型の
気流方向制御装置とを備えたクリーンルーム設備に用い
られる気流方向制御装置において、 前記気流方向制御装置は、湾曲型に形成された光透過性
シート状部材を有し、該光透過性シート状部材は、天井
ボード用フレーム材またはダクトなどの構造物に電気的
に接地されていることを特徴とするクリーンルーム用気
流方向制御装置。 - 【請求項２】 前記気流方向制御装置の前記光透過性シ
ート状部材は、該光透過性シート状部材の縁部に取り付
けられた成形用枠によって、湾曲型に成形されているこ
とを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム用気流
方向制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000353033A JP2002162078A (ja) | 2000-11-20 | 2000-11-20 | クリーンルーム用気流方向制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000353033A JP2002162078A (ja) | 2000-11-20 | 2000-11-20 | クリーンルーム用気流方向制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002162078A true JP2002162078A (ja) | 2002-06-07 |
Family
ID=18825854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000353033A Pending JP2002162078A (ja) | 2000-11-20 | 2000-11-20 | クリーンルーム用気流方向制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002162078A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012011547A1 (ja) * | 2010-07-22 | 2012-01-26 | シーズテック株式会社 | 高清浄環境システム |
| JP2019219131A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 大和ハウス工業株式会社 | 送風装置 |
-
2000
- 2000-11-20 JP JP2000353033A patent/JP2002162078A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012011547A1 (ja) * | 2010-07-22 | 2012-01-26 | シーズテック株式会社 | 高清浄環境システム |
| JPWO2012011547A1 (ja) * | 2010-07-22 | 2013-09-09 | シーズテック株式会社 | 高清浄環境システム |
| JP5943284B2 (ja) * | 2010-07-22 | 2016-07-05 | シーズテック株式会社 | 高清浄環境システムおよび睡眠状態とダスト微粒子数の時間変化との相関性の測定方法 |
| JP2019219131A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 大和ハウス工業株式会社 | 送風装置 |
| JP7094795B2 (ja) | 2018-06-22 | 2022-07-04 | 大和ハウス工業株式会社 | 送風装置 |
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