JP2002257393A - クリーンルーム用気流方向制御装置 - Google Patents
クリーンルーム用気流方向制御装置Info
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- JP2002257393A JP2002257393A JP2001058002A JP2001058002A JP2002257393A JP 2002257393 A JP2002257393 A JP 2002257393A JP 2001058002 A JP2001058002 A JP 2001058002A JP 2001058002 A JP2001058002 A JP 2001058002A JP 2002257393 A JP2002257393 A JP 2002257393A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、クリーンルームの作業領域における
清浄度を、省エネルギでかつ低コストで向上させること
ができるクリーンルーム用気流方向制御装置を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】本発明によれば、クリーンルーム１２の天
井面３６に設置される気流方向制御装置１０の設置位置
に関し、空気調和機２４から吹き出された気流の拡散上
下幅Ｈに対して、Ｈ／３以上でＨ／２以下の天井面３６
からの隙間Ｈ１をあけた位置と規定する。そして、気流
方向制御装置１０の高さＨ２を、拡散上下幅Ｈに対して
Ｈ／２以上の高さと規定する。
清浄度を、省エネルギでかつ低コストで向上させること
ができるクリーンルーム用気流方向制御装置を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】本発明によれば、クリーンルーム１２の天
井面３６に設置される気流方向制御装置１０の設置位置
に関し、空気調和機２４から吹き出された気流の拡散上
下幅Ｈに対して、Ｈ／３以上でＨ／２以下の天井面３６
からの隙間Ｈ１をあけた位置と規定する。そして、気流
方向制御装置１０の高さＨ２を、拡散上下幅Ｈに対して
Ｈ／２以上の高さと規定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造や食
品、薬品工場に適用されるクリーンルームにおいて、省
エネルギでかつ低コスト化が要求されるクリーンルーム
の気流方向制御装置に関する。
品、薬品工場に適用されるクリーンルームにおいて、省
エネルギでかつ低コスト化が要求されるクリーンルーム
の気流方向制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の高集積化、 微細化に伴い、
クリーンルームに要求される清浄度は厳しくなってきて
いるが、その一方で、 省エネルギや低コスト化を図った
クリーンルームの建設が望まれている。
クリーンルームに要求される清浄度は厳しくなってきて
いるが、その一方で、 省エネルギや低コスト化を図った
クリーンルームの建設が望まれている。
【０００３】クリーンルームでは、 要求される室内の清
浄度により、 除塵システムが異なるが、基本的には、清
浄空気の吹き出し気流方向と循環風量とを可変すること
で対応している。
浄度により、 除塵システムが異なるが、基本的には、清
浄空気の吹き出し気流方向と循環風量とを可変すること
で対応している。
【０００４】例えば、液晶装置や精密機械工業及び薬品
や食品工場に適用されるクラス１００〜１００００程度
の比較的低清浄度のクリーンルームにおいて、省エネル
ギや低コスト化を意識した場合、図７に示すような除塵
方式のクリーンルームが多用されている。
や食品工場に適用されるクラス１００〜１００００程度
の比較的低清浄度のクリーンルームにおいて、省エネル
ギや低コスト化を意識した場合、図７に示すような除塵
方式のクリーンルームが多用されている。
【０００５】この除塵方式のクリーンルームは、クリー
ンルーム内に空気調和機１を設置し、空気調和機１によ
る調温調湿空気を天井内に設置されたダクト２を介して
送風するとともに、天井面に形成された吹出口の上流部
に除塵装置３、３…を取り付け、これらの除塵装置３、
３…によって空気中に浮遊する微粒子を高効率で除去
し、その清浄空気をクリーンルーム内に供給する。
ンルーム内に空気調和機１を設置し、空気調和機１によ
る調温調湿空気を天井内に設置されたダクト２を介して
送風するとともに、天井面に形成された吹出口の上流部
に除塵装置３、３…を取り付け、これらの除塵装置３、
３…によって空気中に浮遊する微粒子を高効率で除去
し、その清浄空気をクリーンルーム内に供給する。
【０００６】ここで、 除塵装置３としては、HEPAフィル
タ(High Efficiency Particulate Air Filter)やULPAフ
ィルタ(Ultra Low Penetration Air Filter)などの高性
能エアフィルタが主に適用されている。 クリーンルーム
内の空気は、空気調和機１の吸込口４に吸引され、前述
した経路を経てクリンールームに供給される。これによ
り、クリーンルーム内の空気は循環使用されている。
タ(High Efficiency Particulate Air Filter)やULPAフ
ィルタ(Ultra Low Penetration Air Filter)などの高性
能エアフィルタが主に適用されている。 クリーンルーム
内の空気は、空気調和機１の吸込口４に吸引され、前述
した経路を経てクリンールームに供給される。これによ
り、クリーンルーム内の空気は循環使用されている。
【０００７】なお、図７では、空気調和機１の吸込口４
でクリーンルーム内の空気を直接吸い込んだ例を示して
いるが、壁面に設置された巾木吸込口を介して空気調和
機１に吸い込む方法や、さらに、床を通気性のあるグレ
ーチング板によって構成し、このグレーチング板から床
下チャンバ内を介して空気調和機１に戻す方式のものも
ある。
でクリーンルーム内の空気を直接吸い込んだ例を示して
いるが、壁面に設置された巾木吸込口を介して空気調和
機１に吸い込む方法や、さらに、床を通気性のあるグレ
ーチング板によって構成し、このグレーチング板から床
下チャンバ内を介して空気調和機１に戻す方式のものも
ある。
【０００８】以上のような除塵方式により、室内で発生
した塵挨の濃度が清浄空気により徐々に希釈されてい
き、クリーンルーム内の清浄度が保持される。
した塵挨の濃度が清浄空気により徐々に希釈されてい
き、クリーンルーム内の清浄度が保持される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ここで、 図７に示した
従来のクリーンルームによる除塵方式では、室内全体の
清浄度が良好な結果を得ていることは各種竣工データか
ら明らかである。
従来のクリーンルームによる除塵方式では、室内全体の
清浄度が良好な結果を得ていることは各種竣工データか
ら明らかである。
【００１０】しかしながら、本方式では、清浄空気を送
風するためのダクトや各吹出口に高価な除塵装置３、３
…が大量に必要となるので、 除塵システムに関するイニ
シャルコストが高くなるという欠点があった。 また、吹
出口や除塵装置３の設置のため、 天井パネルが必要にな
るので、その工事費用も発生していた。
風するためのダクトや各吹出口に高価な除塵装置３、３
…が大量に必要となるので、 除塵システムに関するイニ
シャルコストが高くなるという欠点があった。 また、吹
出口や除塵装置３の設置のため、 天井パネルが必要にな
るので、その工事費用も発生していた。
【００１１】そこで、本発明の目的は、前記従来技術の
欠点を解消し、作業領域における清浄度を省エネルギで
かつ低コストで実現することができるクリーンルーム用
気流方向制御装置を提供することにある。
欠点を解消し、作業領域における清浄度を省エネルギで
かつ低コストで実現することができるクリーンルーム用
気流方向制御装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、除塵手段を有するとともに、該除塵手段
によって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室
内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機か
ら吹き出された清浄エアの気流方向を制御する湾曲型の
気流方向制御装置とを備えたクリーンルーム設備におい
て、前記気流方向制御装置は、前記空気調和機から吹き
出された気流の拡散上下幅Ｈに対して、Ｈ／３以上でＨ
／２以下の天井面からの隙間Ｈ１をあけた位置に設置さ
れ、前記気流方向制御装置の高さＨ２は、前記拡散上下
幅Ｈに対してＨ／２以上の高さを有することを特徴とし
ている。
成するために、除塵手段を有するとともに、該除塵手段
によって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室
内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機か
ら吹き出された清浄エアの気流方向を制御する湾曲型の
気流方向制御装置とを備えたクリーンルーム設備におい
て、前記気流方向制御装置は、前記空気調和機から吹き
出された気流の拡散上下幅Ｈに対して、Ｈ／３以上でＨ
／２以下の天井面からの隙間Ｈ１をあけた位置に設置さ
れ、前記気流方向制御装置の高さＨ２は、前記拡散上下
幅Ｈに対してＨ／２以上の高さを有することを特徴とし
ている。
【００１３】このような位置に気流方向制御装置を設置
するとともに、上記高さの気流方向制御装置を適用する
ことによって、作業領域の清浄度を省エネルギでかつ低
コストで実現することができる。
するとともに、上記高さの気流方向制御装置を適用する
ことによって、作業領域の清浄度を省エネルギでかつ低
コストで実現することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るクリーンルーム用気流方向制御装置の好ましい実施の
形態について詳説する。
るクリーンルーム用気流方向制御装置の好ましい実施の
形態について詳説する。
【００１５】図１は、実施の形態の気流方向制御装置１
０が設置されたクリーンルーム１２を模式的に示した図
である。同図に示すクリーンルーム１２の床１４には、
液晶装置製造用の装置１６が設置され、この装置１６を
取り扱うオペレータ１８の作業エリアが、高い清浄度を
必要な作業領域２０として設定されている。
０が設置されたクリーンルーム１２を模式的に示した図
である。同図に示すクリーンルーム１２の床１４には、
液晶装置製造用の装置１６が設置され、この装置１６を
取り扱うオペレータ１８の作業エリアが、高い清浄度を
必要な作業領域２０として設定されている。
【００１６】クリーンルーム１２の壁２２側には、空気
調和機２４が設置される。空気調和機２４の下部側面に
は吸込口２６が形成され、この吸込口２６から吸い込ん
だクリーンルーム１２内の室内エアが、空気調和機２４
に内蔵された乾燥器、加湿器、及びヒータ等により所望
の温湿度に調節される。このように空調されたエアは、
空気調和機２４の上部に設置された可撓性ダクト２８を
介して除塵装置３０に導かれ、ここで除塵フイルタ（HE
PAフィルタまたはULPAフィルタ）３２に通されることに
より、エアに浮遊する微粒子が除去される。
調和機２４が設置される。空気調和機２４の下部側面に
は吸込口２６が形成され、この吸込口２６から吸い込ん
だクリーンルーム１２内の室内エアが、空気調和機２４
に内蔵された乾燥器、加湿器、及びヒータ等により所望
の温湿度に調節される。このように空調されたエアは、
空気調和機２４の上部に設置された可撓性ダクト２８を
介して除塵装置３０に導かれ、ここで除塵フイルタ（HE
PAフィルタまたはULPAフィルタ）３２に通されることに
より、エアに浮遊する微粒子が除去される。
【００１７】除塵フイルタ３２で清浄化された清浄エア
は、除塵装置３０の図１の右側部に開口された吹出口３
４から天井面３６に沿うように吹き出され、作業領域２
０の上方に設置された気流方向制御装置１０に導かれ
る。除塵装置３０の吹出口３４は、天井面３６近傍に設
置される。 これは、気流が壁面に沿いやすいというコア
ンダ効果を利用するもので、このように設置すること
で、より遠くまで清浄空気を到達させることができる。
この清浄空気の気流が気流方向制御装置１０に衝突する
と、吹き出し気流の一部分の気流成分方向が若干下向き
となり、作業領域２０に供給される。これにより、作業
領域２０に清浄エアが集中的に供給されるので、作業領
域２０が、その周りの空間よりも高い清浄度に維持され
る。なお、残りの清浄空気は、天井面３６に沿ってさら
に後方に流れていく。
は、除塵装置３０の図１の右側部に開口された吹出口３
４から天井面３６に沿うように吹き出され、作業領域２
０の上方に設置された気流方向制御装置１０に導かれ
る。除塵装置３０の吹出口３４は、天井面３６近傍に設
置される。 これは、気流が壁面に沿いやすいというコア
ンダ効果を利用するもので、このように設置すること
で、より遠くまで清浄空気を到達させることができる。
この清浄空気の気流が気流方向制御装置１０に衝突する
と、吹き出し気流の一部分の気流成分方向が若干下向き
となり、作業領域２０に供給される。これにより、作業
領域２０に清浄エアが集中的に供給されるので、作業領
域２０が、その周りの空間よりも高い清浄度に維持され
る。なお、残りの清浄空気は、天井面３６に沿ってさら
に後方に流れていく。
【００１８】気流方向制御装置１０は、図２の如く湾曲
型であり、図１の除塵装置３０の吹出口３４に図２の凹
状部４０が対向するように配置される。
型であり、図１の除塵装置３０の吹出口３４に図２の凹
状部４０が対向するように配置される。
【００１９】気流方向制御装置１０は、矩形状に形成さ
れた２枚の帯電防止型光透過性シート材４２、４２、扇
形状に形成された２枚の帯電防止型光透過性シート材４
４、４４、円弧状に形成された３本の成形枠４６、４
６、４６、Ｌ字状に形成された２本の成形枠４８、４
８、及び直棒状に形成された２本の成形枠５０、５０か
ら構成される。シート材４２、４４は、同一の材質であ
り、透明で厚みが薄く可撓性のあるものが適用されてい
る。
れた２枚の帯電防止型光透過性シート材４２、４２、扇
形状に形成された２枚の帯電防止型光透過性シート材４
４、４４、円弧状に形成された３本の成形枠４６、４
６、４６、Ｌ字状に形成された２本の成形枠４８、４
８、及び直棒状に形成された２本の成形枠５０、５０か
ら構成される。シート材４２、４４は、同一の材質であ
り、透明で厚みが薄く可撓性のあるものが適用されてい
る。
【００２０】気流方向制御装置１０は、図２の如く円弧
状の３本の成形枠４６、４６、４６で２枚のシート材４
４、４４を挟み込むように、シート材４４の縁部を成形
枠４６に取り付ける。これによって、気流方向制御装置
１０の、風向きを変更する風受面が湾曲型に構成され
る。３本の成形枠４６は、直棒状の２本の成形枠５０、
５０に取り付けられて間隔が保持されている。これらの
成形枠５０の両端部に、Ｌ字状の成形枠４８が固定さ
れ、この成形枠４８と外側の成形枠４６とに扇形状のシ
ート材４４の縁部が取り付けられる。これによって、気
流方向制御装置１０のフラットな両側部が形成される。
成形枠４６、４８、５０は、気流方向制御装置１０の軽
量化を図るために、ステンレスまたはアルミニウム等の
軽い金属で作られている。
状の３本の成形枠４６、４６、４６で２枚のシート材４
４、４４を挟み込むように、シート材４４の縁部を成形
枠４６に取り付ける。これによって、気流方向制御装置
１０の、風向きを変更する風受面が湾曲型に構成され
る。３本の成形枠４６は、直棒状の２本の成形枠５０、
５０に取り付けられて間隔が保持されている。これらの
成形枠５０の両端部に、Ｌ字状の成形枠４８が固定さ
れ、この成形枠４８と外側の成形枠４６とに扇形状のシ
ート材４４の縁部が取り付けられる。これによって、気
流方向制御装置１０のフラットな両側部が形成される。
成形枠４６、４８、５０は、気流方向制御装置１０の軽
量化を図るために、ステンレスまたはアルミニウム等の
軽い金属で作られている。
【００２１】このような、透明で厚みが薄く可撓性のあ
るシート材４２、４４を用いることにより、光透過性が
悪化することはなく、また、室内から天井面３６（図１
参照）も見えるため、気流方向制御装置１０の設置によ
る圧迫感も解消される。
るシート材４２、４４を用いることにより、光透過性が
悪化することはなく、また、室内から天井面３６（図１
参照）も見えるため、気流方向制御装置１０の設置によ
る圧迫感も解消される。
【００２２】気流方向制御装置１０は、図３の如く天井
固定用金具５２によって、天井３６を構成する天井ボー
ド５４に固定される。また、気流方向制御装置１０は、
接地線５６を有し、接地線５６の基端部５６Ａは、成形
枠の例えば直棒状成形枠５０に接続され、他端部５６Ｂ
は、天井ボード５４のフレーム材５８に接続され、帯電
防止効果を高めるような機能が付加されている。接地線
５６は、万一、気流方向制御装置１０が天井ボード５４
から外れた時に、天井ボード５４からの落下も防止す
る。なお、本実施の形態では、接地線５６の他端部５６
Ｂをフレーム材５８に接続したが、これに限定されるも
のではなく、クリーンルーム１２の天井チャンバに配設
されているダクトなどの構造物に接続してもよい。
固定用金具５２によって、天井３６を構成する天井ボー
ド５４に固定される。また、気流方向制御装置１０は、
接地線５６を有し、接地線５６の基端部５６Ａは、成形
枠の例えば直棒状成形枠５０に接続され、他端部５６Ｂ
は、天井ボード５４のフレーム材５８に接続され、帯電
防止効果を高めるような機能が付加されている。接地線
５６は、万一、気流方向制御装置１０が天井ボード５４
から外れた時に、天井ボード５４からの落下も防止す
る。なお、本実施の形態では、接地線５６の他端部５６
Ｂをフレーム材５８に接続したが、これに限定されるも
のではなく、クリーンルーム１２の天井チャンバに配設
されているダクトなどの構造物に接続してもよい。
【００２３】このように、気流方向制御装置１０を接地
すれば、気流方向制御装置１０の帯電が防止される。こ
れにより、気流方向制御装置１０に気流が衝突すること
に起因する静電気の発生を防止できるので、静電気に起
因する気流方向制御装置１０への塵埃の付着を防止でき
る。
すれば、気流方向制御装置１０の帯電が防止される。こ
れにより、気流方向制御装置１０に気流が衝突すること
に起因する静電気の発生を防止できるので、静電気に起
因する気流方向制御装置１０への塵埃の付着を防止でき
る。
【００２４】また、気流方向制御装置１０は、コストの
安い光透過性シート材４２、４４を成形枠４６、４８、
５０によって湾曲型に成形したので、熱処理することな
く湾曲形状を維持することができるとともに、気流方向
制御装置１０の剛性が高まり、使用寿命が延びる。
安い光透過性シート材４２、４４を成形枠４６、４８、
５０によって湾曲型に成形したので、熱処理することな
く湾曲形状を維持することができるとともに、気流方向
制御装置１０の剛性が高まり、使用寿命が延びる。
【００２５】なお、図４はクリーンルーム１２の平面図
であり、気流方向制御装置１０は装置１６の真上ではな
く、吹出口３４側に所定量ずれた位置に設置されてい
る。
であり、気流方向制御装置１０は装置１６の真上ではな
く、吹出口３４側に所定量ずれた位置に設置されてい
る。
【００２６】
【実施例】これまでの各種実験結果から、気流方向制御
装置１０の設置位置や高さと清浄度性能は、吹き出し気
流の上下拡散幅と密接な関係があることを発見した。例
えば、気流方向制御装置１０の設置位置を天井に隙間な
く設置した場合、清浄空気の下降流が十分に得られず、
その時に、図３の気流方向制御装置１０の高さＨ２を高
くしても顕著に改善されないことも判明した。また、気
流方向制御位置１０を天井面３６から離しすぎると、清
浄空気の下降流が起きにくく、ほとんどの清浄空気が天
井面３６に沿って後方に流れてしまうため、作業領域２
０の清浄度が満足に得られないことも判明した。
装置１０の設置位置や高さと清浄度性能は、吹き出し気
流の上下拡散幅と密接な関係があることを発見した。例
えば、気流方向制御装置１０の設置位置を天井に隙間な
く設置した場合、清浄空気の下降流が十分に得られず、
その時に、図３の気流方向制御装置１０の高さＨ２を高
くしても顕著に改善されないことも判明した。また、気
流方向制御位置１０を天井面３６から離しすぎると、清
浄空気の下降流が起きにくく、ほとんどの清浄空気が天
井面３６に沿って後方に流れてしまうため、作業領域２
０の清浄度が満足に得られないことも判明した。
【００２７】そこで、吹き出し気流の上下拡散幅Ｈに対
して、気流方向制御装置１０と天井面３６との隙間Ｈ１
や気流方向制御装置１０の高さＨ２などをパラメータと
して、 塵挨濃度を測定した。
して、気流方向制御装置１０と天井面３６との隙間Ｈ１
や気流方向制御装置１０の高さＨ２などをパラメータと
して、 塵挨濃度を測定した。
【００２８】図５は、気流方向制御装置の天井面３６か
らの隙間Ｈ１と塵埃濃度との関係をグラフで示した図で
あり、図６は、気流方向制御装置の高さ寸法Ｈ２と塵埃
濃度との関係をグラフで示した図である。これらの図に
示す測定値は、作業領域２０における床上８００〜１５
００ｍｍの高さ位置での測定平均値である。
らの隙間Ｈ１と塵埃濃度との関係をグラフで示した図で
あり、図６は、気流方向制御装置の高さ寸法Ｈ２と塵埃
濃度との関係をグラフで示した図である。これらの図に
示す測定値は、作業領域２０における床上８００〜１５
００ｍｍの高さ位置での測定平均値である。
【００２９】その結果、 気流方向制御装置１０と天井面
３６との隙間Ｈ１は、 図５の如く空気調和機２４から吹
き出された気流の拡散幅Ｈに対してＨ／３以上でＨ／２
以下が好ましいことが判明した。
３６との隙間Ｈ１は、 図５の如く空気調和機２４から吹
き出された気流の拡散幅Ｈに対してＨ／３以上でＨ／２
以下が好ましいことが判明した。
【００３０】また、その際の気流方向制御装置１０の高
さ寸法Ｈ２は、 図６の如く空気調和機２４から吹き出さ
れた気流の上下拡散幅Ｈに対して、Ｈ／２以上が良好な
清浄領域が得られることが判明した。
さ寸法Ｈ２は、 図６の如く空気調和機２４から吹き出さ
れた気流の上下拡散幅Ｈに対して、Ｈ／２以上が良好な
清浄領域が得られることが判明した。
【００３１】なお、吹き出し風速によって気流の上下拡
散幅Ｈは異なるが、吹き出し風速が４〜８ｍ／ｓの範囲
では、上記の関係が成立することを実験により確認し
た。これらの一連の実験結果から、作業領域２０におい
て良好な清浄性能を得るためには、適切な気流方向制御
装置１０の設置位置や高さが存在し、その条件を見極め
ることができた。
散幅Ｈは異なるが、吹き出し風速が４〜８ｍ／ｓの範囲
では、上記の関係が成立することを実験により確認し
た。これらの一連の実験結果から、作業領域２０におい
て良好な清浄性能を得るためには、適切な気流方向制御
装置１０の設置位置や高さが存在し、その条件を見極め
ることができた。
【００３２】
【発明の効果】本発明に係るクリーンルーム用気流方向
制御装置によれば、 空気調和機から吹き出された気流の
拡散上下幅Ｈに対して、Ｈ／３以上でＨ／２以下の天井
面からの隙間Ｈ１をあけた位置に設置し、かつ拡散上下
幅Ｈに対してＨ／２以上の高さを有するので、作業領域
の清浄度を省エネルギでかつ低コストで実現することが
できる。
制御装置によれば、 空気調和機から吹き出された気流の
拡散上下幅Ｈに対して、Ｈ／３以上でＨ／２以下の天井
面からの隙間Ｈ１をあけた位置に設置し、かつ拡散上下
幅Ｈに対してＨ／２以上の高さを有するので、作業領域
の清浄度を省エネルギでかつ低コストで実現することが
できる。
【図１】本発明に係る気流方向制御装置の設置例を示す
クリーンルームの側面図
クリーンルームの側面図
【図２】本発明に係る気流方向制御装置の斜視図
【図３】本発明に係る気流方向制御装置の側面図
【図４】図１に示したクリーンルームの平面図
【図５】気流方向制御装置の天井面からの隙間と塵埃濃
度との関係をグラフで示した図
度との関係をグラフで示した図
【図６】気流方向制御装置の高さ寸法と塵埃濃度との関
係をグラフで示した図
係をグラフで示した図
【図７】従来のクリーンルームにおける断面図
１０…気流方向制御装置、１２…クリーンルーム、２０
…作業領域、２４…空気調和機、３０…除塵装置、３２
…除塵フイルタ
…作業領域、２４…空気調和機、３０…除塵装置、３２
…除塵フイルタ
Claims (1)
- 【請求項１】 除塵手段を有するとともに、該除塵手段
によって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室
内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機か
ら吹き出された清浄エアの気流方向を制御する湾曲型の
気流方向制御装置とを備えたクリーンルーム設備におい
て、 前記気流方向制御装置は、前記空気調和機から吹き出さ
れた気流の拡散上下幅Ｈに対して、Ｈ／３以上でＨ／２
以下の天井面からの隙間Ｈ１をあけた位置に設置され、
前記気流方向制御装置の高さＨ２は、前記拡散上下幅Ｈ
に対してＨ／２以上の高さを有することを特徴とするク
リーンルーム用気流方向制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| JP2001058002A JP2002257393A (ja) | 2001-03-02 | 2001-03-02 | クリーンルーム用気流方向制御装置 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2019219131A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 大和ハウス工業株式会社 | 送風装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4858642A (ja) * | 1971-11-19 | 1973-08-17 | ||
| JPS5017775B1 (ja) * | 1969-09-10 | 1975-06-24 | ||
| JPH05187704A (ja) * | 1991-04-23 | 1993-07-27 | Kawasaki Steel Corp | 空気吹出用ダクト |
| JPH10214762A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置 |
| JPH11245651A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-14 | Mitsubishi Motors Corp | 車両用空調装置 |
-
2001
- 2001-03-02 JP JP2001058002A patent/JP2002257393A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5017775B1 (ja) * | 1969-09-10 | 1975-06-24 | ||
| JPS4858642A (ja) * | 1971-11-19 | 1973-08-17 | ||
| JPH05187704A (ja) * | 1991-04-23 | 1993-07-27 | Kawasaki Steel Corp | 空気吹出用ダクト |
| JPH10214762A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置 |
| JPH11245651A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-14 | Mitsubishi Motors Corp | 車両用空調装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019219131A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 大和ハウス工業株式会社 | 送風装置 |
| JP7094795B2 (ja) | 2018-06-22 | 2022-07-04 | 大和ハウス工業株式会社 | 送風装置 |
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