JP2002156307A - 差圧式微少リーク検出方法及び装置 - Google Patents
差圧式微少リーク検出方法及び装置Info
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- JP2002156307A JP2002156307A JP2000350487A JP2000350487A JP2002156307A JP 2002156307 A JP2002156307 A JP 2002156307A JP 2000350487 A JP2000350487 A JP 2000350487A JP 2000350487 A JP2000350487 A JP 2000350487A JP 2002156307 A JP2002156307 A JP 2002156307A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試験容器と基準容器の間に温度差を生じさせ
ることなく、短時間にガスを充填し、差圧によるリーク
検出を短時間で行うことができる差圧式微少リーク検出
方法及び装置を提供する。 【解決手段】 試験容器１内に気密に挿入可能な基準容
器１２と、試験容器と基準容器間を連通する連通管を開
閉可能な均圧弁３と、試験容器と基準容器間に発生する
差圧を検出する差圧計４とを備える。基準容器１２を最
大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導材で形成し、この基準
容器１２を試験容器１内に挿入する。
ることなく、短時間にガスを充填し、差圧によるリーク
検出を短時間で行うことができる差圧式微少リーク検出
方法及び装置を提供する。 【解決手段】 試験容器１内に気密に挿入可能な基準容
器１２と、試験容器と基準容器間を連通する連通管を開
閉可能な均圧弁３と、試験容器と基準容器間に発生する
差圧を検出する差圧計４とを備える。基準容器１２を最
大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導材で形成し、この基準
容器１２を試験容器１内に挿入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、差圧式微少リーク
検出方法及び装置に関する。
検出方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ドラム缶などの製造工程の最終段階にお
いて、カシメ部等からのリークの有無を検査するため
に、内部に加圧ガス（空気等）を密封し、その圧力低下
を圧力計で検出する検査法が採られることがある。この
場合、内部のガスは、式（１）で示す理想気体の状態式
にほぼ従うことが知られている。ここで、Ｐは圧力、Ｖ
は体積、Ｇは重量、Ｒはガス定数、Ｔは絶対温度であ
る。 ＰＶ＝ＧＲＴ．．．（１）
いて、カシメ部等からのリークの有無を検査するため
に、内部に加圧ガス（空気等）を密封し、その圧力低下
を圧力計で検出する検査法が採られることがある。この
場合、内部のガスは、式（１）で示す理想気体の状態式
にほぼ従うことが知られている。ここで、Ｐは圧力、Ｖ
は体積、Ｇは重量、Ｒはガス定数、Ｔは絶対温度であ
る。 ＰＶ＝ＧＲＴ．．．（１）
【０００３】式（１）からドラム缶からの漏れ量をΔＶ
とすると、温度一定の場合、圧力低下ΔＰは、式（２）
で表すことができる。 ΔＰ／Ｐ＝ΔＶ／Ｖ．．．（２）
とすると、温度一定の場合、圧力低下ΔＰは、式（２）
で表すことができる。 ΔＰ／Ｐ＝ΔＶ／Ｖ．．．（２）
【０００４】ドラム缶の場合、体積Ｖや約２００Ｌ（２
×１０5ｃｃ）であり、ΔＶ＝２０ｃｃ／ｓを検出する
とすると、ΔＰ／Ｐ＝１０-4／ｓとなる。従って、ゲー
ジ圧で０．３ａｔａの加圧ガスを用いる場合、絶対圧力
１．３ａｔａの圧力計で１．３×１０-4／ｓの圧力変化
を検出する必要が生じ、例えば１０００秒（約１７分）
程度の長い計測時間が必要となる。しかし、ドラム缶等
の製造工程では、５０００缶／日程度の検査が不可欠で
あり、２台並列で８時間操業をする場合でも、１缶当た
り１０秒前後でリーク検査を行う必要があった。
×１０5ｃｃ）であり、ΔＶ＝２０ｃｃ／ｓを検出する
とすると、ΔＰ／Ｐ＝１０-4／ｓとなる。従って、ゲー
ジ圧で０．３ａｔａの加圧ガスを用いる場合、絶対圧力
１．３ａｔａの圧力計で１．３×１０-4／ｓの圧力変化
を検出する必要が生じ、例えば１０００秒（約１７分）
程度の長い計測時間が必要となる。しかし、ドラム缶等
の製造工程では、５０００缶／日程度の検査が不可欠で
あり、２台並列で８時間操業をする場合でも、１缶当た
り１０秒前後でリーク検査を行う必要があった。
【０００５】この問題を解決するために、従来から図４
に例示するような差圧式微少リーク検出方法が用いられ
ている。この方法は、漏れ（リーク）を検出するドラム
缶などの試験容器１と基準容器２を均圧弁３で連通さ
せ、その間の差圧を差圧計４で検出するものである。こ
の場合、基準容器２は全く漏れがないとすると、式
（２）から式（３）が導かれる。 ΔＰ＝Ｐ・ΔＶ／Ｖ．．．（３） 式（３）は式（２）と実質的に同一であるが、差圧ΔＰ
を直接検出する点で相違する。上述の例で、ΔＶ＝２０
ｃｃ／ｓを検出する場合、ΔＰ＝１．３×１０４×１０
-4／ｓ＝１．３ｍｍＡｑ／ｓとなり、フルスケールが１
００ｍｍＡｑ前後の差圧計を用いれば１０秒程度で漏れ
を検出することができる。
に例示するような差圧式微少リーク検出方法が用いられ
ている。この方法は、漏れ（リーク）を検出するドラム
缶などの試験容器１と基準容器２を均圧弁３で連通さ
せ、その間の差圧を差圧計４で検出するものである。こ
の場合、基準容器２は全く漏れがないとすると、式
（２）から式（３）が導かれる。 ΔＰ＝Ｐ・ΔＶ／Ｖ．．．（３） 式（３）は式（２）と実質的に同一であるが、差圧ΔＰ
を直接検出する点で相違する。上述の例で、ΔＶ＝２０
ｃｃ／ｓを検出する場合、ΔＰ＝１．３×１０４×１０
-4／ｓ＝１．３ｍｍＡｑ／ｓとなり、フルスケールが１
００ｍｍＡｑ前後の差圧計を用いれば１０秒程度で漏れ
を検出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
もドラム缶などのリーク検出に図４に例示したような差
圧式の計測法が適用され、試験容器１（ドラム缶）と基
準容器２に空気圧を加え均圧弁３を閉じてリークがあれ
ば差圧を検出して漏れを検出していた。なお、この図に
おいて、４ａは差圧表示装置、５は試験容器１と基準容
器２を連通する連通管、６は試験容器と基準容器の圧力
を差圧計４の両端に連通する差圧検出ライン、７は空気
源から加圧空気を連通管５を通して試験容器１（ドラム
缶）と基準容器２に供給するためのガス供給弁である。
もドラム缶などのリーク検出に図４に例示したような差
圧式の計測法が適用され、試験容器１（ドラム缶）と基
準容器２に空気圧を加え均圧弁３を閉じてリークがあれ
ば差圧を検出して漏れを検出していた。なお、この図に
おいて、４ａは差圧表示装置、５は試験容器１と基準容
器２を連通する連通管、６は試験容器と基準容器の圧力
を差圧計４の両端に連通する差圧検出ライン、７は空気
源から加圧空気を連通管５を通して試験容器１（ドラム
缶）と基準容器２に供給するためのガス供給弁である。
【０００７】しかし、上述した従来の差圧式微少リーク
検出方法では、試験中の試験容器１と基準容器２の温度
が同一である必要があるため、以下の問題点があった。 （１）基準容器２には試験容器１と同一の容器（ドラム
缶等）を用い、同一の条件にして温度の均一化を図る必
要がある。そのため、試験場所が限定される。 （２）試験容器１と基準容器２にガスを急激に供給する
と断熱膨張で温度が降下し、或いは断熱圧縮で温度上昇
する。そのため、従来は、温度変化を抑えるために十分
に時間をかけてガスを供給し、その後、温度が安定する
まで放置する必要があった。その結果、ガスの供給・放
置に１〜２分程度を必要としていた。
検出方法では、試験中の試験容器１と基準容器２の温度
が同一である必要があるため、以下の問題点があった。 （１）基準容器２には試験容器１と同一の容器（ドラム
缶等）を用い、同一の条件にして温度の均一化を図る必
要がある。そのため、試験場所が限定される。 （２）試験容器１と基準容器２にガスを急激に供給する
と断熱膨張で温度が降下し、或いは断熱圧縮で温度上昇
する。そのため、従来は、温度変化を抑えるために十分
に時間をかけてガスを供給し、その後、温度が安定する
まで放置する必要があった。その結果、ガスの供給・放
置に１〜２分程度を必要としていた。
【０００８】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、試験
容器と基準容器の間に温度差を生じさせることなく、短
時間にガスを充填し、差圧によるリーク検出を短時間で
行うことができる差圧式微少リーク検出方法及び装置を
提供することにある。
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、試験
容器と基準容器の間に温度差を生じさせることなく、短
時間にガスを充填し、差圧によるリーク検出を短時間で
行うことができる差圧式微少リーク検出方法及び装置を
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、試験容
器（１）と基準容器（１２）の内部に同一のガス圧を加
えた後、両者間を連通する均圧弁（３）を閉じ、その間
の差圧を検出する差圧式微少リーク検出方法であって、
前記基準容器を最大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導材で
形成し、該基準容器を試験容器内に挿入する、ことを特
徴とする差圧式微少リーク検出方法が提供される。
器（１）と基準容器（１２）の内部に同一のガス圧を加
えた後、両者間を連通する均圧弁（３）を閉じ、その間
の差圧を検出する差圧式微少リーク検出方法であって、
前記基準容器を最大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導材で
形成し、該基準容器を試験容器内に挿入する、ことを特
徴とする差圧式微少リーク検出方法が提供される。
【００１０】また、本発明によれば、試験容器（１）内
に気密に挿入可能な基準容器（１２）と、試験容器と基
準容器間を連通する連通管を開閉可能な均圧弁（３）
と、試験容器と基準容器間に発生する差圧を検出する差
圧計（４）とを備えた、ことを特徴とする差圧式微少リ
ーク検出装置が提供される。本発明の好ましい実施形態
によれば、前記基準容器（１２）は、試験容器と基準容
器間に発生する最大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導材か
らなり、かつ試験容器内に挿入できる細径に形成された
中空容器である。
に気密に挿入可能な基準容器（１２）と、試験容器と基
準容器間を連通する連通管を開閉可能な均圧弁（３）
と、試験容器と基準容器間に発生する差圧を検出する差
圧計（４）とを備えた、ことを特徴とする差圧式微少リ
ーク検出装置が提供される。本発明の好ましい実施形態
によれば、前記基準容器（１２）は、試験容器と基準容
器間に発生する最大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導材か
らなり、かつ試験容器内に挿入できる細径に形成された
中空容器である。
【００１１】上記本発明の方法及び装置によれば、基準
容器（１２）を試験容器（１）内に気密に挿入し、試験
容器（１）と基準容器（１２）の内部に同一のガス圧を
加えた後、両者間を連通する均圧弁（３）を閉じ、その
間の差圧を検出することにより、差圧の上昇から基準容
器（１２）のリークを検出することができる。
容器（１２）を試験容器（１）内に気密に挿入し、試験
容器（１）と基準容器（１２）の内部に同一のガス圧を
加えた後、両者間を連通する均圧弁（３）を閉じ、その
間の差圧を検出することにより、差圧の上昇から基準容
器（１２）のリークを検出することができる。
【００１２】また、基準容器（１２）は、試験容器
（１）内に挿入してその間の差圧のみを受けるので、試
験容器と基準容器間に発生する最大差圧に耐える薄肉に
することができる。さらにこの基準容器（１２）は、良
熱伝導材（例えば銅または銅合金）からなるので、基準
容器（１２）を試験容器（１）内に挿入した状態で、試
験容器（１）と基準容器（１２）の内部に同一のガス圧
を急激に供給して断熱膨張又は断熱圧縮で温度差が生じ
ても、薄肉の良熱伝導材を通して短時間に温度差が無く
なる。従って、試験容器と基準容器の間に温度差を生じ
させることなく、短時間にガスを充填し、差圧によるリ
ーク検出を短時間で行うことができる。
（１）内に挿入してその間の差圧のみを受けるので、試
験容器と基準容器間に発生する最大差圧に耐える薄肉に
することができる。さらにこの基準容器（１２）は、良
熱伝導材（例えば銅または銅合金）からなるので、基準
容器（１２）を試験容器（１）内に挿入した状態で、試
験容器（１）と基準容器（１２）の内部に同一のガス圧
を急激に供給して断熱膨張又は断熱圧縮で温度差が生じ
ても、薄肉の良熱伝導材を通して短時間に温度差が無く
なる。従って、試験容器と基準容器の間に温度差を生じ
させることなく、短時間にガスを充填し、差圧によるリ
ーク検出を短時間で行うことができる。
【００１３】本発明の好ましい実施形態によれば、前記
基準容器（１２）は、試験容器内のガスとの対流伝熱を
促進するための複数の伝熱フィン（１３）を外面に有す
る。かかる伝熱フィン（１３）を備えることにより、試
験容器内のガスと基準容器（１２）の外面との熱伝達率
を高め、試験容器と基準容器の温度差を更に短時間で低
減することができる。
基準容器（１２）は、試験容器内のガスとの対流伝熱を
促進するための複数の伝熱フィン（１３）を外面に有す
る。かかる伝熱フィン（１３）を備えることにより、試
験容器内のガスと基準容器（１２）の外面との熱伝達率
を高め、試験容器と基準容器の温度差を更に短時間で低
減することができる。
【００１４】また、前記基準容器（１２）は、試験容器
内のガスとの輻射伝熱を促進するように外面が黒色に着
色されている、ことが好ましい。この構成により、基準
容器（１２）の外面の輻射による伝熱を促進し、試験容
器と基準容器の温度差を一層短時間で低減することがで
きる。
内のガスとの輻射伝熱を促進するように外面が黒色に着
色されている、ことが好ましい。この構成により、基準
容器（１２）の外面の輻射による伝熱を促進し、試験容
器と基準容器の温度差を一層短時間で低減することがで
きる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略す
る。
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略す
る。
【００１６】図１は、本発明の差圧式微少リーク検出装
置の全体構成図である。この図に示すように、本発明の
差圧式微少リーク検出装置１０は、基準容器１２、均圧
弁３及び差圧計４を備える。
置の全体構成図である。この図に示すように、本発明の
差圧式微少リーク検出装置１０は、基準容器１２、均圧
弁３及び差圧計４を備える。
【００１７】基準容器１２は、試験容器１と基準容器１
２の間に発生する最大差圧に耐えるように構成されてい
る。試験容器１と基準容器１２の間に発生する最大差圧
は、例えば絶対圧で１．３ａｔａの加圧ガスを用いる場
合でも約０．１ａｔａ（約１０００ｍｍＡｑ）程度であ
る。そのため、基準容器１２は、非常に薄肉の金属（例
えば１ｍｍ以下）で構成される。更に、この基準容器１
２は、熱伝導率の高い材料（例えば、銅、銅合金）から
なる。また図１に示すように、基準容器１２は、試験容
器１内に挿入できる細径に形成され、試験容器１内に気
密に挿入できるようになっている。
２の間に発生する最大差圧に耐えるように構成されてい
る。試験容器１と基準容器１２の間に発生する最大差圧
は、例えば絶対圧で１．３ａｔａの加圧ガスを用いる場
合でも約０．１ａｔａ（約１０００ｍｍＡｑ）程度であ
る。そのため、基準容器１２は、非常に薄肉の金属（例
えば１ｍｍ以下）で構成される。更に、この基準容器１
２は、熱伝導率の高い材料（例えば、銅、銅合金）から
なる。また図１に示すように、基準容器１２は、試験容
器１内に挿入できる細径に形成され、試験容器１内に気
密に挿入できるようになっている。
【００１８】更に、図１において、連通管５により試験
容器１と基準容器１２とが連通される。すなわち、連通
管５の一端５ａは試験容器１に他端５ｂは基準容器１２
にそれぞれ気密に連結され、均圧弁３により連通管５を
開閉可能に構成されている。また、この連通管５は、ガ
ス供給弁７を介して加圧ガス源（例えば空気源）に連通
しており、ガス供給弁７を開くことにより加圧ガス（加
圧空気）を連通管５を通して試験容器１と基準容器２に
供給するようになっている。
容器１と基準容器１２とが連通される。すなわち、連通
管５の一端５ａは試験容器１に他端５ｂは基準容器１２
にそれぞれ気密に連結され、均圧弁３により連通管５を
開閉可能に構成されている。また、この連通管５は、ガ
ス供給弁７を介して加圧ガス源（例えば空気源）に連通
しており、ガス供給弁７を開くことにより加圧ガス（加
圧空気）を連通管５を通して試験容器１と基準容器２に
供給するようになっている。
【００１９】差圧計４は、試験容器１と基準容器１２の
圧力を差圧計４の両端に連通する差圧検出ライン６に取
付けられた差圧検出装置（例えば、半導体式差圧変換
器）であり、試験容器１と基準容器２の間に発生する差
圧を差圧表示装置４ａにより表示するようになってい
る。
圧力を差圧計４の両端に連通する差圧検出ライン６に取
付けられた差圧検出装置（例えば、半導体式差圧変換
器）であり、試験容器１と基準容器２の間に発生する差
圧を差圧表示装置４ａにより表示するようになってい
る。
【００２０】図２は、図１のＡ部の拡大図である。この
図において、試験容器１（この例ではドラム缶）の開口
部１ａには雌ねじが設けられており、本発明の装置１０
は、この雌ねじと螺合しシール部材１５（例えばパッキ
ン）で気密に開口部１ａに着脱可能な蓋部材１４を備え
る。この蓋部材１４には、連通管５の一端５ａが気密に
取付けられた基準容器１２と連通管５の他端５ｂが溶接
等で気密に取付けられている。
図において、試験容器１（この例ではドラム缶）の開口
部１ａには雌ねじが設けられており、本発明の装置１０
は、この雌ねじと螺合しシール部材１５（例えばパッキ
ン）で気密に開口部１ａに着脱可能な蓋部材１４を備え
る。この蓋部材１４には、連通管５の一端５ａが気密に
取付けられた基準容器１２と連通管５の他端５ｂが溶接
等で気密に取付けられている。
【００２１】図３は、図２に相当する別の実施形態を示
す図である。この例では、基準容器１２の外面に複数の
伝熱フィン１３が一体又は密着して取付けられ、試験容
器１内のガスとの対流伝熱を促進するようになってい
る。更に、基準容器１２の外面は、試験容器１内のガス
との輻射伝熱を促進するように塗装又は化学処理により
黒色に着色されている。
す図である。この例では、基準容器１２の外面に複数の
伝熱フィン１３が一体又は密着して取付けられ、試験容
器１内のガスとの対流伝熱を促進するようになってい
る。更に、基準容器１２の外面は、試験容器１内のガス
との輻射伝熱を促進するように塗装又は化学処理により
黒色に着色されている。
【００２２】図１〜図３に示した装置を用い、本発明の
方法によれば、均圧弁３を開いた状態で、試験容器１と
基準容器１２の内部にガス供給弁７を介して加圧ガスを
供給し、同一のガス圧（例えば絶対圧で１．３ａｔａ）
を加える。その後、ガス供給弁７を閉じ、かつ両者間を
連通する均圧弁３も閉じて、差圧計４と差圧表示装置４
ａにより試験容器１と基準容器１２の間の差圧の上昇を
検出する。
方法によれば、均圧弁３を開いた状態で、試験容器１と
基準容器１２の内部にガス供給弁７を介して加圧ガスを
供給し、同一のガス圧（例えば絶対圧で１．３ａｔａ）
を加える。その後、ガス供給弁７を閉じ、かつ両者間を
連通する均圧弁３も閉じて、差圧計４と差圧表示装置４
ａにより試験容器１と基準容器１２の間の差圧の上昇を
検出する。
【００２３】上述した本発明の方法及び装置によれば、
基準容器１２を試験容器１内に気密に挿入し、試験容器
１と基準容器１２の内部に同一のガス圧を加えた後、両
者間を連通する均圧弁３を閉じ、その間の差圧を検出す
ることにより、差圧の上昇から基準容器１２のリークを
検出することができる。
基準容器１２を試験容器１内に気密に挿入し、試験容器
１と基準容器１２の内部に同一のガス圧を加えた後、両
者間を連通する均圧弁３を閉じ、その間の差圧を検出す
ることにより、差圧の上昇から基準容器１２のリークを
検出することができる。
【００２４】また、基準容器１２は、試験容器１内に挿
入してその間の差圧のみを受けるので、試験容器と基準
容器間に発生する最大差圧に耐える薄肉にすることがで
きる。さらにこの基準容器１２は、良熱伝導材（例えば
銅または銅合金）からなるので、基準容器１２を試験容
器１内に挿入した状態で、試験容器１と基準容器１２の
内部に同一のガス圧を急激に供給して断熱膨張又は断熱
圧縮で温度差が生じても、薄肉の良熱伝導材を通して短
時間に温度差が無くなる。従って、試験容器と基準容器
の間に温度差を生じさせることなく、短時間にガスを充
填し、差圧によるリーク検出を短時間で行うことができ
る。
入してその間の差圧のみを受けるので、試験容器と基準
容器間に発生する最大差圧に耐える薄肉にすることがで
きる。さらにこの基準容器１２は、良熱伝導材（例えば
銅または銅合金）からなるので、基準容器１２を試験容
器１内に挿入した状態で、試験容器１と基準容器１２の
内部に同一のガス圧を急激に供給して断熱膨張又は断熱
圧縮で温度差が生じても、薄肉の良熱伝導材を通して短
時間に温度差が無くなる。従って、試験容器と基準容器
の間に温度差を生じさせることなく、短時間にガスを充
填し、差圧によるリーク検出を短時間で行うことができ
る。
【００２５】なお、本発明は、上述した実施形態に限定
されず、本発明の要旨を逸脱しない限りで自由に変更が
できる。例えば、上述の説明では、試験容器がドラム缶
である場合について詳述したが、本発明はこれに限定さ
れず、ドラム缶以外の缶、自動車、オートバイ等の燃料
タンク、一般の圧力容器等にも同様に適用することがで
きる。
されず、本発明の要旨を逸脱しない限りで自由に変更が
できる。例えば、上述の説明では、試験容器がドラム缶
である場合について詳述したが、本発明はこれに限定さ
れず、ドラム缶以外の缶、自動車、オートバイ等の燃料
タンク、一般の圧力容器等にも同様に適用することがで
きる。
【００２６】
【発明の効果】上述したように本発明では、基準容器を
薄肉の熱伝導性の良い材料で作り、ドラム缶内に挿入す
ることで空気温度の変化はドラム缶と同一になり、リー
クによる差圧検出が可能になる。また、リーク検出時間
及び加圧時間を大幅に短縮することができる。従って、
本発明の差圧式微少リーク検出方法及び装置は、試験容
器と基準容器の間に温度差を生じさせることなく、短時
間にガスを充填し、差圧によるリーク検出を短時間で行
うことができる等の優れた効果を有する。
薄肉の熱伝導性の良い材料で作り、ドラム缶内に挿入す
ることで空気温度の変化はドラム缶と同一になり、リー
クによる差圧検出が可能になる。また、リーク検出時間
及び加圧時間を大幅に短縮することができる。従って、
本発明の差圧式微少リーク検出方法及び装置は、試験容
器と基準容器の間に温度差を生じさせることなく、短時
間にガスを充填し、差圧によるリーク検出を短時間で行
うことができる等の優れた効果を有する。
【図１】本発明の差圧式微少リーク検出装置の全体構成
図である。
図である。
【図２】図１のＡ部の拡大図である。
【図３】図２に相当する別の実施形態を示す図である。
【図４】従来の差圧式微少リーク検出方法の模式図であ
る。
る。
１ 試験容器、１ａ 開口部、２ 基準容器、３ 均圧
弁、４ 差圧計、４ａ 差圧表示装置、５ 連通管、５
ａ 一端、５ｂ 他端、６ 差圧検出ライン、７ ガス
供給弁、１０ リーク検出装置、１２ 基準容器、１３
伝熱フィン、１４ 蓋部材、１５ シール部材（パッ
キン）
弁、４ 差圧計、４ａ 差圧表示装置、５ 連通管、５
ａ 一端、５ｂ 他端、６ 差圧検出ライン、７ ガス
供給弁、１０ リーク検出装置、１２ 基準容器、１３
伝熱フィン、１４ 蓋部材、１５ シール部材（パッ
キン）
Claims (5)
- 【請求項１】 試験容器（１）と基準容器（１２）の内
部に同一のガス圧を加えた後、両者間を連通する均圧弁
（３）を閉じ、その間の差圧を検出する差圧式微少リー
ク検出方法であって、 前記基準容器を最大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導材で
形成し、該基準容器を試験容器内に挿入する、ことを特
徴とする差圧式微少リーク検出方法。 - 【請求項２】 試験容器（１）内に気密に挿入可能な基
準容器（１２）と、試験容器と基準容器間を連通する連
通管を開閉可能な均圧弁（３）と、試験容器と基準容器
間に発生する差圧を検出する差圧計（４）とを備えた、
ことを特徴とする差圧式微少リーク検出装置。 - 【請求項３】 前記基準容器（１２）は、試験容器と基
準容器間に発生する最大差圧に耐えかつ薄肉の良熱伝導
材からなり、かつ試験容器内に挿入できる細径に形成さ
れた中空容器である、ことを特徴とする請求項２に記載
の差圧式微少リーク検出装置。 - 【請求項４】 前記基準容器（１２）は、試験容器内の
ガスとの対流伝熱を促進するための複数の伝熱フィン
（１３）を外面に有する、ことを特徴とする請求項３に
記載の差圧式微少リーク検出装置。 - 【請求項５】 前記基準容器（１２）は、試験容器内の
ガスとの輻射伝熱を促進するように外面が黒色に着色さ
れている、ことを特徴とする請求項３に記載の差圧式微
少リーク検出装置。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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