JP2002153868A - 超純水製造装置及び超純水製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで保守管理も容易な電気脱イオン型
超純水製造装置及び電気脱イオン型超純水製造方法を提
供する。 【解決手段】 イオン交換樹脂１０４，１０５を陽イオ
ン交換膜１０２と陰イオン交換膜１０３との間に挟持さ
せたイオン交換セグメント１１０と、前記イオン交換セ
グメント１１０の外側にブライン２を流すブライン流路
１０２とを有する電気脱イオンユニット１０１と、前記
電気脱イオンユニット１０１のイオン交換樹脂１０４，
１０５に処理水を通してイオン除去された超純水を形成
する処理水系と、前記電気脱イオンユニット１０１のブ
ライン流路１０６にブライン２を循環させるブライン配
管１５からなる超純水製造装置において、前記ブライン
配管１５内に配設されたストレーナー１５３内に、銅−
銀合金からなる殺菌材で形成された殺菌部材１５４を充
填した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は超純水製造装置に係
り、更に詳細には、電界下に被処理水をイオン交換樹脂
に接触させてイオンを除去する電気脱イオン型の超純水
製造装置及び超純水製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、超純水製造装置のひとつとし
て電気脱イオン型超純水製造装置が知られている。図３
は代表的な電気脱イオン型超純水製造装置１００の構造
を模式的に示した図である。

【０００３】図３に示したように、電気脱イオン型超純
水製造装置１００では、電気脱イオンユニット１０１に
処理水を供給する処理水系と濃縮水を循環させる濃縮水
系とが配設されている。電気脱イオンユニット１０１内
には陽イオン交換膜１０２と陰イオン交換膜１０３との
間に陽イオン交換樹脂１０４と陰イオン交換樹脂１０５
とが挟持されたイオン交換セグメント１１０が複数段配
設されている。そして各イオン交換セグメント１１０の
両側にはブラインと呼ばれる濃縮水を流すためのブライ
ン流路１０６が形成されており、このブライン流路１０
６には濃縮水系、即ちブライン配管１５とブライン循環
ポンプ１６が配設されている。

【０００４】一方、各イオン交換セグメント１１０には
処理水を流すための処理水系、即ち処理水配管が配設さ
れており、被処理水を各イオン交換セグメント１１０内
のイオン交換樹脂１０４，１０５に向けて供給し、イオ
ン交換樹脂１０４，１０５に接触してイオン除去された
処理水は超純水としてイオン交換セグメント１１０外に
流去するようになっている。

【０００５】処理水は図示しない逆浸透膜を通過して各
イオン交換セグメント１１０内に導かれる。各イオン交
換セグメント１１０内でイオン交換樹脂１０４，１０５
に接触した処理水はイオン除去され処理水配管を通って
イオン交換セグメント１１０外に流去する。

【０００６】イオン交換セグメント１１０内のイオン交
換樹脂１０４，１０５には処理水からの陽イオンや陰イ
オンが付着している。図３に示したように電気脱イオン
ユニット１０１内のイオン交換セグメント１１０を積層
したイオン交換スタック１１１の外側には正電極１３０
と負電極１３１により電界が形成されており、更にイオ
ン交換セグメント１１０の外側にはブラインと呼ばれる
濃縮水を流すためのブライン流路１０６が形成されてい
る。

【０００７】従って、イオン交換樹脂に吸着されたカチ
オンはイオン交換膜を通過して負電極側に移動し、同様
にアニオンはイオン交換膜を通過して正電極側に移動す
る。

【０００８】イオン交換膜を通過してイオン交換セグメ
ント１１０の外側に出てきたイオンはブライン流路を流
れるブラインに乗って電気脱イオンユニット１０１の外
へと運ばれる。

【０００９】ところで上記のような電気脱イオン型超純
水製造装置では、ブラインを循環させて繰り返し使用す
るため、一定期間を経過するとブライン内に微生物が繁
殖する。即ち、ブライン内には初めから所定量の電解質
が含まれており、またイオン交換セグメント１１０から
しみでて来たイオンも入り込むため、イオンリッチ、即
ち栄養価が高く微生物が繁殖しやすい環境になってい
る。

【００１０】このブライン内に微生物が繁殖するとスラ
イムと呼ばれる高粘度の物質が生成し、これがイオン交
換膜１０２，１０３の表面に付着するとイオン交換膜の
透過性が低下してブライン流量が減少し純水製造装置１
００の処理能力が低下する。

【００１１】そのため、定期的にブライン内に塩素など
の殺菌剤を添加して微生物を死滅させ、イオン交換膜の
透水性を確保して超純水製造装置１００の処理能力が低
下するのを防止している。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかし、塩素などの殺
菌剤の使用は殺菌剤自体の費用や添加作業等による装置
のランニングコストや、管理工数を増加させるという問
題がある。

【００１３】更に塩素などの殺菌剤は多量に使用すると
イオン交換膜１０２，１０３自体を劣化させ、イオン交
換膜の寿命を短くするという問題がある。

【００１４】またイオン交換膜１０２，１０３を劣化さ
せない程度の微量の殺菌剤の使用では微生物の増殖抑制
効果が十分期待できないという問題がある。

【００１５】本発明は上記従来の問題を解決するために
なされたものである。即ち、本発明は低コストで保守管
理も容易な電気脱イオン型の超純水製造装置及び超純水
製造方法を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の超純水製造装置
は、イオン交換樹脂を少なくともイオン交換膜を含む隔
壁で保持したイオン交換セグメントと、前記イオン交換
セグメントの前記イオン交換膜と接して配置されたブラ
イン流路と、前記イオン交換セグメント及び前記ブライ
ン流路を挟んで配置された電界形成手段とを有する電気
脱イオンユニットと、前記電気脱イオンユニットのイオ
ン交換樹脂に被処理水を通してイオン除去された超純水
を形成する処理水系と、前記電気脱イオンユニットのブ
ライン流路にブラインを循環させるポンプを含むブライ
ン配管系と、前記ブライン配管系内に配設された、銅−
銀合金からなる殺菌材で形成された殺菌部材とを具備す
る。

【００１７】上記超純水製造装置において、前記殺菌部
材の例として、ストレーナー内に保持された銅−銀合金
からなる繊維塊、銅−銀合金からなる粒状体、少なくと
も表面が銅−銀合金でメッキされた粒状体などが挙げら
れる。

【００１８】また、前記ブライン配管内面上に形成され
た銅−銀合金ライニング層として形成しても良い。

【００１９】更に、前記殺菌部材は、銅−銀合金で形成
されたラシーリングであってもよく、前記ブライン配管
に配設され、銅−銀合金繊維塊を含むプレフィルタであ
ってもよい。

【００２０】また本発明の超純水製造方法は、電気脱イ
オンユニットのブライン循環系の任意箇所に銅−銀合金
からなる殺菌部材を配設し、前記ブラインと前記殺菌部
材を接触させることを特徴とする。

【００２１】本発明によれば、配管の途中に銅−銀合金
からなる殺菌材で形成された殺菌部材を配設したので、
ブライン中で微生物が増殖するのが防止され、それによ
り塩素などの殺菌剤の使用が不要になる。そのため殺菌
剤の使用によるランニングコストの増大や保守管理の手
間が増えることがない。また、殺菌剤の使用によるイオ
ン交換膜が劣化する心配もないので、長期間安定した運
転が可能となる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００２３】図１は本実施形態に係る電気脱イオン型超
純水装置（ＥＤＩ）１の概略構成図である。

【００２４】この電気脱イオン型超純水製造装置（以
下、「超純水製造装置」という。）１では、電気脱イオ
ンユニット１０１と、この電気脱イオンユニット１０１
に処理水を供給する処理水系としての処理水配管１２
と、この電気脱イオンユニット１０１にブラインと呼ば
れる濃縮水を循環させる濃縮水系としてのブライン配管
１５が配設されている。

【００２５】電気脱イオンユニット１０１内には複数個
のイオン交換セグメント１１０，１１０，…が多段に、
例えば１００〜２００段にわたって重ねられている。各
イオン交換セグメント１１０，１１０，…は隣り合うイ
オン交換セグメント１１０との間に所定厚さの隙間が設
けられており、ブラインを流すためのブライン流路１０
６を形成している。このブライン流路１０６の幅は例え
ば２〜５０ｍｍの範囲である。

【００２６】各イオン交換セグメント１１０は陽イオン
交換膜１０２と陰イオン交換膜１０３の間に陽イオン交
換樹脂１０４と陰イオン交換樹脂１０５とが充填された
構造となっている。但し、各イオン交換セグメント１１
０は片側だけにイオン交換膜を備えていてもよく、各セ
グメント１１０内に充填されるイオン交換樹脂は陽イオ
ン交換樹脂１０４、陰イオン交換樹脂１０５の一方のみ
でもよい。

【００２７】各イオン交換セグメント１１０の両端には
処理水を流すための二本の処理水配管１２がそれぞれ配
設されており、上流側配管１２０は図示しない逆浸透膜
濾過装置に接続されており、下流側配管１２１は処理後
得られる超純水の出口側に接続されている。

【００２８】複数のイオン交換セグメント１１０，１１
０，…を多段に積層したイオン交換スタック１１１の両
側には電界形成手段としての正電極１３０と負電極１３
１とが配設されており、イオン交換スタック１１１に対
して電界を形成するようになっている。

【００２９】イオン交換スタック１１１を構成する各イ
オン交換セグメント１１０，１１０，…は、陽イオン交
換膜１０２を負電極１３１側（図中上側）に向け、陰イ
オン交換膜１０３を正電極１３０側（図中下側）に向け
て配設されている。このように配置することにより各イ
オン交換セグメント１１０，１１０，…の陽イオン交換
膜１０２からブライン流路１０６内のブライン２側にカ
チオンが移動し、陰イオン交換膜１０３からブライン流
路１０６内のブライン２側にアニオンが移動し、ブライ
ン２を濃縮するようになっている。

【００３０】また各イオン交換セグメント１１０，１１
０，…の内側に作用する処理水圧は１．４〜３．５ｋｇ
／ｃｍ^２でブライン流路１０６内のブラインの圧力１．
３〜３．４ｋｇ／ｃｍ^２よりも高くなっており、各イオ
ン交換セグメント１１０，１１０，…側からブライン流
路１０６側にカチオンやアニオンが移動しやすくなって
いる。

【００３１】イオン交換スタック１１１を収容する容器
の両端にはブライン配管１５が接続されている。これら
はブライン移動方向上流側に配設された上流側ブライン
配管１５０と下流側ブライン配管１５１であり、各ブラ
イン配管１５０，１５１は各イオン交換セグメント１１
０，１１０，…の間の隙間に形成されたブライン流路１
０６と連通している。

【００３２】ブライン配管１５の途中にはポンプ１６が
配設されており、このポンプ１６を作動させることによ
りブライン配管１５と電気脱イオンユニット１０１との
間にブライン２を循環させる。

【００３３】図１の小円中に示すように、ブライン配管
１５の途中にはストレーナー１５３が配設されている。
このストレーナー１５３は金属の網で形成されており、
このストレーナー１５３の中には殺菌部材として銅−銀
合金製の繊維塊１５４、即ち銅−銀合金製の金属線、例
えば直径０．４〜０．６ｍｍの合金線を丸めて塊状にし
たものが配設されている。

【００３４】このストレーナー１５３内に充填する銅−
銀合金繊維塊の量は１０〜３００ｇが好ましい。

【００３５】更に詳細にはブライン配管内のブライン流
量が１０ｍ^３／ｈのとき、ストレーナー１５３内に充填
する銅−銀合金繊維塊の量は５０〜１００ｇとするのが
好ましい。

【００３６】ここで銅−銀合金繊維塊の好ましい量を上
記範囲としたのは、上記範囲を下回ると、十分な殺菌効
果が得られないからであり、上記範囲を上回ると、殺菌
力が飽和する一方で繊維塊にかかる費用が増大するから
である。

【００３７】この繊維塊１５４をブライン配管１５内に
配設したことによりブライン配管１５内を循環するブラ
イン２はこの銅−銀合金製の繊維塊１５４に接触する。
この接触により繊維塊１５４の金属線から銀イオンや銅
イオンの供給を受け、その結果としてブライン２中の微
生物の増殖が抑えられる。

【００３８】微生物の増殖が抑制される理由は明確には
把握されていないが、銀イオンや銅イオンの作用により
微生物の増殖が阻害されるものと考えられる。

【００３９】本実施形態で用いた繊維塊１５４を構成す
る銅−銀合金の銀含有量は１０重量％のものを用いた
が、本発明の殺菌部材として用いる銅−銀合金としては
銀含有量が３〜２０重量％の合金が好ましく、更に銀含
有量が５〜１５重量％の合金が更に好ましい。

【００４０】ここで銅−銀合金の銀含有量の好ましい範
囲を上記範囲としたのは、銀含有量が上記範囲を下回る
と、ブラインを殺菌する能力が十分得られないからであ
り、銀含有量が上記範囲を上回ると、ブライン殺菌力は
飽和する一方で合金の費用が増大するからである。

【００４１】次にこの超純水製造装置１の運転時の水や
ブライン、及び各イオンの流れについて説明する。

【００４２】超純水製造装置１を起動すると、図示しな
い逆浸透膜濾過装置（ＲＯ）を通過してきた処理水は処
理水配管１２０を通って電気脱イオンユニット１０１内
のイオン交換セグメント１１０，１１０，…内に送られ
る。各イオン交換セグメント１１０，１１０，…の内部
では処理水は中に充填された陽イオン交換樹脂１０４や
陰イオン交換樹脂１０５と接触し、処理水中に含まれる
カチオンやアニオンはイオン交換樹脂上に吸着される。
そのため処理水中のイオンは殆ど吸着され、実質的にイ
オンを含まない超純水となって出口側の処理水配管１２
１に流れ込み、超純水製造装置１から超純水として送り
出される。

【００４３】一方、イオン交換セグメント１１０内では
処理水の圧力はイオン交換セグメント１１０の外側のブ
ライン２の圧力より高くなっているため、水、ひいては
カチオンやアニオンはイオン交換セグメント１１０内か
らブライン流路１０６内のブライン２側に移動し易い状
態となっている。このとき各イオン交換セグメント１１
０では負電極１３１側に陽イオン交換膜１０２を向け、
正電極１３０側に陰イオン交換膜１０３を向けて配置さ
れている。そのためイオン交換セグメント１１０内のカ
チオンは負電極１３１側に移動しようとし、陽イオン交
換膜１０２を通過してその外側のブライン２内に移動す
る。更にこのカチオンが負電極１３１側に移動しようと
しても反対方側には隣接するイオン交換セグメント１１
０の陰イオン交換膜１０３があるため、それ以上移動で
きず、ブライン２内に留まる。

【００４４】同様にイオン交換セグメント１１０内のア
ニオンは正電極１３０側に移動しようとするため、陰イ
オン交換膜１０３を通過してその外側のブライン２内に
移動する。更にこのアニオンが正電極１３０側に移動し
ようとしても反対方側には隣接するイオン交換セグメン
ト１１０の陽イオン交換膜１０２があるため、それ以上
移動できず、ブライン２内に留まる。

【００４５】このようにイオン交換セグメント１１０か
ら隣接するブライン２内にイオンが移動し易い状態が形
成されているため、一旦イオン交換樹脂１０４，１０５
に吸着されたイオンはこの流れに従ってイオン交換交換
樹脂１０４，１０５表面から離脱してブライン２内に移
動する。そのため、イオン交換樹脂のイオン交換能は一
定以上に維持され、処理水内に含まれるイオンはイオン
交換セグメント１１０，１１０…からブライン２内に移
動してブライン２は濃縮される。即ち、ブラインのイオ
ン濃度が上昇する。

【００４６】ブライン流路１０６内のブライン２内に移
動したイオンは循環するブライン２の流れに乗ってブラ
イン配管１５内を移動する。

【００４７】なお、図１に示したようにこのブライン配
管１５には被処理水をブライン補給水として補充すると
ともに一部をブライン排水として排出している。そのた
め、定常的にブライン配管１５内を循環するのは全体の
９０〜９５％程度のブラインである。

【００４８】このブライン配管１５の途中には 図１の
小円中に示すように、ブライン配管１５の途中にはスト
レーナー１５３が配設されている。そのため、ブライン
配管１５内を循環するブライン２はこの銅−銀合金製の
繊維塊１５４に接触する。この接触により繊維塊１５４
の金属線から銀イオンや銅イオンの供給を受け、その結
果としてブライン中の微生物の増殖が抑えられる。

【００４９】なお、本発明は上記実施形態に記載された
範囲に限定されない。例えば上記実施形態では、銅−銀
合金でできた金属線を丸めたものをストレーナー内に収
容してブラインと接触する構成としたが、殺菌性金属部
材はストレーナー内に保持された銅−銀合金からなる粒
状体であってもよく、ブライン配管内面上に形成された
銅−銀合金ライニング層であっても良い。更に銅−銀合
金で形成されたラシーリングであってもよく、銅−銀合
金繊維塊を含むプレフィルタであっても良い。

【００５０】（実施例）以下に本発明の実施例について
説明する。上記実施形態で説明した構造の超純水製造装
置１を用いて超純水を製造し、その処理能力の時系列的
な変化を観察した。使用した超純水製造装置の仕様は下
記の通りであった。

【００５１】 ポンプ圧 ： １．６ｋｇ／ｃｍ^２ ブライン流量 ： １４ｍ^３／ｈ 前半で使用した殺菌剤：ＮａＯＣｌ（ブライン中の濃度
０．２ｐｐｍ以下） 後半で使用した殺菌部材の銅−銀合金： Ｃｕ−１０ｗ
ｔ％Ａｇ（直径０．４ｍｍ／１０２．５２２ｇ） イオン交換セグメント段数： １５０段 循環ブライン率： ９５％ ブライン流路幅： ２〜５０ｍｍ 結果を図２に示した。この図２は横軸に超純水製造装置
の稼働時間（hour）をとり、縦軸にブライン流量（ｍ^３
／ｈ）をとり、稼働時間に対するブラインの流量変化を
示したグラフである。ブライン流量は図１中で示した
位置のブライン配管１５内で測定した。

【００５２】この実施例では、超純水製造装置の運転開
始から１８００時間経過（図中点線で示した時点）まで
は従来通りの状態、即ち、ブライン配管１５途中に配設
したストレーナー１５３内には殺菌部材としての銅−銀
合金繊維塊１５４を充填しない状態で運転した。その後
１８００時間経過した時点でストレーナー１５３内に殺
菌部材としての銅−銀合金繊維塊１５４を充填し、その
後のブライン流量の変化を観察した。

【００５３】このグラフから明らかなように、超純水製
造装置の運転開始時にはブライン流量が１２ｍ^３／ｈ以
上あったのが、運転開始直後から徐々にブライン流量が
低下しはじめ、運転開始後２５０時間辺りから急激に低
下し、運転開始４００時間で７ｍ^３／ｈと運転開始直後
の約半分程度にまで低下した。そこで、ブライン配管１
５内のブライン中に殺菌剤としての塩素系殺菌剤を添加
した。このとき添加した塩素系殺菌剤の添加量はブライ
ン内のＮａＯＣｌ濃度が０．２ｐｐｍ以下となる量とし
た。これは塩素系殺菌剤によりイオン交換膜が劣化する
のを防止するためである。この塩素系殺菌剤の添加によ
りブライン流量は１０ｍ^３／ｈ以上にまで回復した（開
始４００時間）。

【００５４】更にそのまま運転を継続すると、再びブラ
イン流量は徐々に低下し始め運転開始５００時間経過時
点辺りから急激にブライン流量が低下し、運転開始６０
０時間経過後辺りで再び運転開始直後の半分の６ｍ^３／
ｈ程度にまでブライン流量が低下した。

【００５５】そこで前記と同様にこの運転開始６００時
間経過時点でブライン内に塩素系殺菌剤を添加すると再
び１２ｍ^３／ｈ近くまでブライン流量が回復した。

【００５６】その後も前記と同様のサイクルを繰り返し
た。即ち、運転開始経過後約１０００時間経過後、約１
３００時間経過後、約１８００時間経過後にそれぞれブ
ライン流量は６〜７ｍ^３／ｈ程度まで落ち込んだ。その
度に塩素系殺菌剤を添加してブライン内の微生物を除去
すると一時的にブライン流量は回復するものの、その上
限は塩素系殺菌剤添加直後をピークに下がり始めた。か
くしてブライン流量の経時変化は図２のグラフが示すよ
うに、塩素系殺菌剤添加直後の約１０ｍ^３／ｈの点を頂
点とする略放物線状の曲線を描いた。このように運転開
始から約１８００時間経過後までの、従来型の純水製造
装置として運転した場合のブライン流量は約６ｍ^３／ｈ
と約１０ｍ^３／ｈとの間を振動する曲線状に変化したた
め、この間のブライン流量の平均値は９〜９．５ｍ^３／
ｈであった。

【００５７】一方、運転開始から約１８００時間経過時
にブライン配管の途中に設けたストレーナー１５３内に
殺菌部材としての銅−銀合金繊維塊１５４を充填してブ
ライン流量を観察したところ、ブライン流量は劇的に上
昇し、運転開始約２０００時間経過後には運転開始直後
と同等の約１２ｍ^３／ｈ以上の値にまで回復した。その
後もブライン流量は殆ど低下せず、約１２ｍ^３／ｈ付近
の値を維持した。このブライン流量の値はその後も維持
され、運転開始３５００時間を経過しても約１２ｍ^３／
ｈ付近の値を維持した。

【００５８】図２のグラフから明らかなように、運転開
始２０００時間経過後以降のブライン流量はほぼ直線を
描いて安定していたため、この間のブライン流量の平均
値は約１２ｍ^３／ｈであった。

【００５９】以上の結果から明らかなように、従来型の
塩素系殺菌剤を使用する超純水製造装置に対して、銅−
銀合金繊維塊からなる殺菌部材を使用する本発明の超純
水製造装置では、ブライン流量が平均で９〜９．５ｍ^３
／ｈから約１２ｍ^３／ｈへと約３０％向上した。

【００６０】更に本発明では、塩素系殺菌剤の費用やこ
の塩素系殺菌剤を定期的に添加する工数、配管内に付着
する塩素系殺菌剤の除去の工数などが不用になるという
効果が得られる。

【００６１】また、本発明では塩素系殺菌剤を使用しな
いので、塩素によるイオン交換膜の劣化の虞れがなく、
長期間にわたって安定した能力を維持できるという効果
が得られる。

【００６２】

【発明の効果】本発明によれば、配管の途中に銅−銀合
金からなる殺菌材で形成された殺菌部材を配設したの
で、ブライン中で微生物が増殖するのが防止され、それ
により塩素などの殺菌剤の使用が不用になる。そのため
殺菌剤の使用によるランニングコストの増大や保守管理
の手間が増えることがない。また、殺菌剤の使用による
イオン交換膜が劣化する心配もないので、長期間安定し
た運転が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超純水製造装置の概略構成図である。

【図２】本発明の超純水製造装置の稼働時間とブライン
流量との関係を示したグラフである。

【図３】従来の超純水製造装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１０４…陽イオン交換樹脂、１０５…陰イオン交換樹
脂、１０２…陽イオン交換膜、１０３…陰イオン交換
膜、１１０…イオン交換セグメント、２…ブライン、１
０６…ブライン流路、１０１…電気脱イオンユニット、
１２…処理水配管、１５…ブライン配管、１５４…殺菌
部材。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０２Ｆ 1/50 ５３１ Ｃ０２Ｆ 1/50 ５３１Ｕ ５４０Ｃ ５４０ ５４０Ｄ ５５０Ｈ ５５０ ５６０Ｄ ５６０ ５６０Ｆ 1/46 １０３ Ｆターム(参考） 4D025 AA04 AB05 BA07 BA22 DA06 DA08 DA10 4D061 DA01 DB13 EA02 EB01 EB13 EB17 EB19 FA08 FA09 FA10 FA13

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 イオン交換樹脂を少なくともイオン交換
   膜を含む隔壁で保持したイオン交換セグメントと、前記
   イオン交換セグメントの前記イオン交換膜と接して配置
   されたブライン流路と、前記イオン交換セグメント及び
   前記ブライン流路を挟んで配置された電界形成手段とを
   有する電気脱イオンユニットと、 前記電気脱イオンユニットのイオン交換樹脂に被処理水
   を通してイオン除去された超純水を形成する処理水系
   と、 前記電気脱イオンユニットのブライン流路にブラインを
   循環させるポンプを含むブライン配管系と、 前記ブライン配管系内に配設された、銅−銀合金からな
   る殺菌材で形成された殺菌部材とを具備する超純水製造
   装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の超純水製造装置であっ
   て、前記殺菌部材が、ストレーナー内に保持された銅−
   銀合金からなる繊維塊であることを特徴とする超純水製
   造装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の超純水製造装置であっ
   て、前記殺菌部材が、ストレーナー内に保持された銅−
   銀合金からなる粒状体であることを特徴とする超純水製
   造装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の超純水製造装置であっ
   て、前記粒状体が、少なくとも表面に銅−銀合金層を有
   することを特徴とする超純水製造装置。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の超純水製造装置であっ
   て、前記殺菌部材が、前記ブライン配管内面上に形成さ
   れた銅−銀合金ライニング層であることを特徴とする超
   純水製造装置。
6. 【請求項６】 請求項１に記載の超純水製造装置であっ
   て、前記殺菌部材が、銅−銀合金で形成されたラシーリ
   ングであることを特徴とする超純水製造装置。
7. 【請求項７】 請求項１に記載の超純水製造装置であっ
   て、前記殺菌部材が、前記ブライン配管に配設され、銅
   −銀合金繊維塊を含むプレフィルタであることを特徴と
   する超純水製造装置。
8. 【請求項８】 電気脱イオンユニットのブライン循環系
   の任意箇所に銅−銀合金からなる殺菌部材を配設し、前
   記ブラインと前記殺菌部材を接触させることを特徴とす
   る超純水製造方法。