JP2002148199A - 磁気記録媒体の検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気テープ等の磁気記録媒体の表面の１μｍ
以下の筋状欠陥を光学的に検出する。 【解決手段】 磁気記録媒体検査装置１０は、磁気テー
プ１２の被検査部１２Ａに対して斜めに平行光ビーム１
８を帯状に照射して帯状光線照射領域１８Ａを形成し、
ここを通る磁気テープ１２上の筋状欠陥における平行光
ビームの散乱光をラインセンサ２２で捉え、その受光信
号の強度が一定以上のとき判定装置２４によって筋状欠
陥検出信号を出力する。平行光ビーム１８の照射光軸１
９とラインセンサ２２の受光軸２２Ａは、筋状欠陥内で
平行光ビームが反射したとき、その反射光がラインセン
サ２２に受光されるように設定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、磁気テープ等の
磁気記録媒体の表面の傷、特に非常に微細な傷を検出す
るための磁気記録媒体の検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の磁気記録媒体、例えば磁気テープ
の検査方法は、磁気ヘッドにより信号を磁気テープに記
録し且つ再生し、その再生レベルから磁気テープの欠陥
の有無を判定するものが一般的であった。

【０００３】このような検査方法は、磁気記録媒体の傷
と再生信号に表われる実害との相関が大きいので、最も
信頼性の高い検査方法とされていた。

【０００４】この従来の磁気記録媒体の検査方法は、具
体的には、磁気記録媒体を高速で走行させて多チャンネ
ル固定磁気ヘッドを信号再生ヘッドとして使用すること
により、高速、且つ、高能率に検査するようにしてい
た。

【０００５】このような磁気記録媒体の欠陥検査の分野
においては、近年の、磁気記録媒体における記録情報の
高密度化に対応するために、従来よりも微細・微小な欠
陥までも検出可能な高分解能が要求されている。

【０００６】特に、近年の高密度記録技術を駆使した磁
気記録媒体装置等では、磁気記録媒体長手方向に発生す
ることがある筋状欠陥の場合は、その幅が１μｍ程度以
下の場合でも再生信号にエラーレートの増加が認められ
る。このような幅が１μｍ程度以下の筋状欠陥を検出す
るためには、上記分解能は０．５μｍ以下まで高める必
要がある。

【０００７】ところが、上記のような多チャンネル固定
磁気ヘッドによる磁気記録媒体表面の欠陥検査方法で
は、その磁気ヘッドの制作技術上の限界から、検出の分
解能を高くすることが容易でなく、この分解能は、磁気
記録媒体幅方向で２０μｍ程度が実用上の限界であっ
た。

【０００８】又、上記のような多チャンネル固定磁気ヘ
ッドを利用した場合よりも高い検査分解能を得られる磁
気記録媒体検査方法としては、特開平８−２０１３０９
号公報あるいは特開平８−２３３５６０号公報等に開示
されるような、光学的に磁気記録媒体の表面欠陥を検査
する方法がある。

【０００９】前記特開平８−２０１３０９号公報の磁気
テープ検査方法は、赤色ＬＥＤ（発光ダイオード）光源
から照射した光を磁気テープ表面で反射させ、これをセ
ンサヘッドで受光・検出するに際して、センサヘッドの
受光軸方向を磁気テープの主面法線方向に対して一定角
度傾けることにより、欠陥部分の信号を高ＳＮで検出で
きるようにしたものである。

【００１０】又、特開平８−２３３５６０号公報の磁気
記録媒体の表面検査方法は、ハロゲン光を磁性層表面に
照射して、その反射光をＣＣＤカメラで受光・検出する
に際し、投受光角度を特定範囲とし、更に入射光の光軸
位置を反射点から偏倚させることにより、信号出力レベ
ルを最大、システムノイズを最小とするようにしたもの
である。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平８−２０１３０９号公報に開示される方法は、ＬＥ
Ｄ光源の光量が少なく、又全反射方式の検出であるため
大きな異物等の検出は可能であるものの、幅が１μｍ以
下の筋状欠陥を検出することは困難であった。

【００１２】又、特開平８−２３３５６０号公報の磁気
記録媒体の表面検査方法も、全反射方式の検出であるた
めに、幅が１μｍ以下の筋状欠陥を検出することが困難
であったという問題点がある。

【００１３】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、幅が１μｍ以下の筋状欠陥でも確
実に検出することができるようにした光学的な、磁気記
録媒体の検査方法及び装置を提供することを目的とす
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、磁気テープ
等の磁気記録媒体の検査方法について鋭意研究を重ね、
磁気テープ表面に幅が１μｍ以下の筋状の欠陥を、平行
光ビームを用いて検出できることを確認した。具体的に
は、本発明者は各種実験を行い、前記のような細幅の筋
状欠陥はその断面がＶ字形状であり、ここに斜めに平行
光ビームを照射するとＶ字溝内で反射した光が特定の方
向に集中して出射し、これをセンサにより受光すること
によって、幅が１μｍ以下の筋状欠陥を検出できること
を見出し、本発明に到達した。特に、筋状欠陥以外の部
分での反射光がセンサに受光されないので、受光した反
射光（散乱光）のみにより、高ＳＮで筋状欠陥を検出で
きることが判った。

【００１５】即ち、以下の本発明により上記目的が達成
可能となる。

【００１６】（１）磁気記録媒体の被検査部の表面での
垂線に対して斜めの照射光軸に沿って平行光ビームを帯
状に照射して、被検査部の表面に、該表面の一方向の一
端から他端に至る帯状照射領域を形成し、この帯状照射
領域における前記平行光ビーム照射による散乱光を光セ
ンサにより受光して、受光信号の強度が所定値を超えた
とき被検査部表面の欠陥として検出することを特徴とす
る磁気記録媒体の検査方法。

【００１７】（２）前記被検査部表面での垂線に対する
前記平行光ビームの入射角を１５°〜４５°とし、前記
光センサの受光角を０〜１５°の範囲に設定したことを
特徴とする（１）の磁気記録媒体の検査方法。

【００１８】（３）前記被検査部表面での垂線に対する
前記平行光ビームの入射角を１５°〜４５°とし、前記
光センサの受光角を０〜１０°の範囲に設定したことを
特徴とする（１）の磁気記録媒体の検査方法。

【００１９】上記のように検査光である平行光ビームの
入射角及び光センサの受光軸を設定すると、細幅の筋状
欠陥内で平行光ビームを光センサの受光軸方向に強く反
射させ、且つ、筋状欠陥以外の部分の反射光が光センサ
で受光されないようにすることができる。

【００２０】更に、本発明は以下のように構成してもよ
い。

【００２１】（４）前記平行光ビームの照射光軸及び光
センサの受光軸を、前記垂線を含み、前記被検査部の表
面と垂直な平面の面内に設定したことを特徴とする
（１）、（２）又は（３）の磁気記録媒体の検査方法。

【００２２】（５）照射光軸の前記光センサの受光軸
を、前記垂線及び前記帯状照射領域の幅方向中心線を含
み、前記被検査部の表面と垂直な平面に対して前記平行
光ビームの照射光軸の反対側に同一角度傾けて設定した
ことを特徴とする（１）、（２）又は（３）の磁気記録
媒体の検査方法。

【００２３】更に又、磁気記録媒体の検査方法を次のよ
うに構成してもよい。

【００２４】（６）該被検査部に前記磁気記録媒体はテ
ープ状であり、このテープ状磁気記録媒体を長手方向に
送りつつ、被検査部を直平面状に維持した状態で、該被
検査部に、斜めに前記平行光ビームを照射し、前記帯状
照射領域が磁気記録媒体を幅方向に横断するようにした
ことを特徴とする（１）〜（５）のいずれかの磁気記録
媒体の検査方法。

【００２５】（７）前記被検査部の表面における前記平
行光ビームによる帯状照射領域の長手方向が、前記テー
プ状磁気記録媒体の長手方向に対して７０°〜１１０°
となるように設定したことを特徴とする（６）の磁気記
録媒体の検査方法。

【００２６】（８）前記平行光ビームをレーザー光線と
したことを特徴とする（１）〜（７）のいずれかの磁気
記録媒体の検査方法。

【００２７】（９）前記平行光ビームを直線状に走査し
て前記帯状照射領域を形成することを特徴とする（１）
〜（７）のいずれかの磁気記録媒体の検査方法。

【００２８】（１０）前記光センサの出力信号を微分
し、その結果の微分データと予め設定した閾値とを比較
し、微分データが閾値を超えたとき欠陥として判定する
ことを特徴とする（１）〜（８）のいずれかの磁気記録
媒体の検査方法。

【００２９】又、磁気記録媒体の検査装置は、以下の本
発明により上記目的が達成可能となる。

【００３０】（１１）磁気記録媒体の被検査部を直平面
状に支持するガイド装置と、このガイド装置の、前記直
平面状に支持された磁気記録媒体の被検査部に相当する
仮想平面に、この仮想平面での垂線に対して、斜め側方
から平行光ビームを帯状に照射して、前記仮想平面を横
断する帯状照射領域を形成する検査光照射装置と、前記
仮想平面の略上方に配置され、前記平行光ビーム照射に
よる被検査部表面での散乱光を受光し、受光強度に対応
した受光信号を出力する光センサと、この光センサの出
力する受光信号を微分し、その微分データと設定値とを
比較し、微分データが設定値を超えたとき傷検出信号を
出力する判定装置と、を有してなる磁気記録媒体の検査
装置。

【００３１】（１２）前記検査光照射装置は、前記平行
光ビームの、前記仮想平面での垂線に対する入射角が１
５°〜４５°となるようにされ、前記光センサは、前記
仮想平面での垂線に対する受光角が０〜１５°の範囲と
なるように設定されたことを特徴とする（１１）の磁気
記録媒体の検査装置。

【００３２】（１３）前記検査光照射装置は、前記平行
光ビームの、前記仮想平面での垂線に対する入射角が１
５°〜４５°となるようにされ、前記光センサは、前記
仮想平面での垂線に対する受光角が０〜１０°の範囲と
なるように設定されたことを特徴とする（１１）の磁気
記録媒体の検査装置。

【００３３】更に又、上記磁気記録媒体の検査方法又は
装置において、次のように構成してもよい。

【００３４】（１４）前記光センサは前記平行光ビーム
の帯状の長手方向に配列されたラインセンサであること
を特徴とする磁気記録媒体の検査方法又は装置。

【００３５】（１５）前記光センサはＣＣＤカメラであ
ることを特徴とする磁気記録媒体の検査方法又は装置。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００３７】本発明の実施の形態の例に係る磁気記録媒
体の検査方法を実施するための装置である磁気記録媒体
の検査装置１０は、図１に示されるように、磁気記録媒
体である磁気テープ１２の被検査部１２Ａを直平面状に
支持するガイド装置１４と、このガイド装置１４の、前
記直平面状に支持される磁気テープ１２の被検査部１２
Ａに相当する仮想平面１６に、この仮想平面１６での垂
線１６Ａに対して、斜め側方から平行光ビーム１８を帯
状に照射して、磁気テープ１２を幅方向に横断する帯状
照射領域１８Ａを形成する検査光照射装置２０と、前記
仮想平面１６の略上方に配置され、前記平行光ビーム１
８の照射による前記被検査部１２Ａ表面の帯状照射領域
１８Ａ内での散乱光を受光し、受光強度に対応した受光
信号を出力するラインセンサ２２と、このラインセンサ
２２の出力する受光信号を微分する微分器２４Ａ、及
び、その微分データと設定値を比較する比較器２４Ｂを
有し、微分データが設定値を超えたとき傷検出信号を出
力する判定装置２４と、を備えて構成されている。

【００３８】前記ガイド装置１４は、図２に示されるよ
うに、長円形状のガイド面２６を備えて構成され、この
ガイド面２６には多数のエア吹出細孔２７が形成され、
ここから圧縮空気を吹き出すことによってガイド面２６
に巻き掛けられる磁気テープ１２をガイド面２６と非接
触の状態で、且つ、仮想平面１６位置では磁気テープ１
２を直平面状に維持しつつ走行させるようにしている。

【００３９】なお、ガイド装置１４は磁気テープ１２を
直平面状に維持しつつ走行させることができるものであ
ればよく、磁気テープに対して非接触なものに限定され
ない。

【００４０】前記検査光照射装置２０は、出射光を平行
光とするためのコリメートレンズ２８Ａを有するレーザ
ーダイオード２８と、この平行光を帯状の平行光ビーム
とするための凸、凹のシリンドリカルレンズ３０Ａ、３
０Ｂとを備えて構成され、前記ガイド装置１４により直
平面状に支持された磁気テープ１２の被検査部１２Ａを
照射して、その幅方向にこれを横断する前記帯状照射領
域１８Ａを形成するようにされている。

【００４１】ここで、前記検査光照射装置２０は、図
３、図４に示されるように、前記シリンドリカルレンズ
３０Ａ、３０Ｂによって形成された帯状の平行光ビーム
１８における照射光軸１９が、垂直面１７内にあるよう
に配置されている。この垂直面１７は仮想平面１６及び
磁気テープ１２の長手方向と直交し、且つ、前記垂線１
６Ａを含んでいる。前記ラインセンサ２２も、前記垂直
面１７内にその受光軸２２Ａがあるように配置される。

【００４２】なお、図４において二点鎖線で示されるよ
うに、外乱光の入射、散乱を防止するために、前記検査
光照射装置２０とラインセンサ２２とはいわゆる暗箱３
２中に収納され、その窓３２Ａを介して、平行光ビーム
１８及びラインセンサ２２への入射光が通るようにされ
ている。

【００４３】前記レーザーダイオード２８からの平行光
ビーム１８の照射光軸１９は、被検査部１２Ａの表面
（仮想平面１６）への入射角θ、即ち前記仮想平面１６
の垂線１６Ａに対する角度θが１５°〜４５°となるよ
うに設定されている。

【００４４】又、前記ラインセンサ２２の受光軸２２Ａ
は、前記垂線１６Ａと平行になるように、即ち仮想平面
１６あるいは被検査部１２Ａの表面と直交するように設
定されている。

【００４５】次に、上記実施の形態の例に係る磁気記録
媒体検査装置１０によって、磁気テープ１２を、その長
手方向に、ガイド装置１４に沿って走行させつつ該磁気
テープ１２表面の幅の狭い筋状欠陥を検出する過程につ
いて説明する。

【００４６】まず、検査すべき磁気テープ１２をガイド
装置１４に巻き掛け、ガイド面２６のエア吹出細孔２７
から圧縮空気を吹き出して磁気テープ１２をガイド面２
６に非接触の状態で走行させる。

【００４７】磁気テープ１２はガイド装置１４における
仮想平面１６部分で直平面となり、ここに、前記検査光
照射装置２０のレーザーダイオード２８からレーザー光
を照射する。

【００４８】レーザーダイオード２８から出射したレー
ザー光はコリメートレンズ２８Ａで平行光とされ、更に
シリンドリカルレンズ３０Ａ、３０Ｂによって帯状の平
行光ビーム１８とされて、被検査部１２Ａを照射して磁
気テープ１２を幅方向に横断する帯状照射領域１８Ａを
形成する。

【００４９】磁気テープ１２が帯状照射領域１８Ａを通
過する際に、その表面に細い傷、例えば図５に拡大して
示されるように、幅が１μｍ以下のＶ字形状の筋状欠陥
１３があると、前記平行光ビーム１８はこのＶ字形状の
筋状欠陥１３内に入り、Ｖ字状の内側面で複数回反射さ
れて散乱光となってＶ字の開き角度内で上方に出射す
る。

【００５０】このときの筋状欠陥１３のＶ字の角度にも
よるが、ほとんどの場合、散乱光はＶ字溝中心を通る垂
線に対して±１０°、わずかに拡がった場合で±１５°
の角度範囲内に出射する。

【００５１】従って、磁気テープ１２の被検査部１２Ａ
の真上に、受光軸２２Ａが、垂線１６Ａに対して±１５
°好ましくは±１０°の範囲となるようにラインセンサ
２２を設定しておけば、筋状欠陥１３で形成された散乱
光が確実にラインセンサ２２に受光される。

【００５２】又、被検査部１２Ａの筋状欠陥以外の部分
に照射された平行光ビーム１８は磁気テープ１２の傷の
ない表面で正反射される。この平行光ビーム１８の照射
光軸１９が前述のように１５°〜４５°の入射角を持っ
ているので、正反射光は反射角が１５°〜４５°とな
り、ラインセンサ２２に受光されることがない。

【００５３】従って、ラインセンサ２２が受光した光に
よる検出信号は、図６に示されるように、筋状欠陥部分
で急峻に立上り、立下る波形となる。なお、筋状欠陥が
ない場合の検出信号は図７に示されるようになる。図
６、図７において、磁気テープ１２の幅方向両端位置で
の検出信号強度の立上りは、磁気テープ１２の幅方向両
端位置を検出したものである。

【００５４】前記検出信号は、微分器２４Ａを通ること
によって図６で破線で示されるようになる。このように
微分処理するのは、筋のような形状変化を、より選択的
に検出するためであり、又、被検査部１２Ａ表面での明
るさのムラがあり、それによるバックグラウンドノイズ
をキャンセルするためである。

【００５５】前記のように、検出信号を微分器２４Ａを
通すことにより形成された微分データは、比較器２４Ｂ
に入力され、ここで予め設定されている閾値（図６の一
点鎖線）と比較され、この閾値を超えたときに傷検出信
号が出力される。

【００５６】なお上記実施の形態の例において、前記平
行光ビーム１８を帯状光線とするためにシリンドリカル
レンズ３０Ａ、３０Ｂを用いているが、本発明はこれに
限定されるものでなく、例えばガルバノメータスキャ
ナ、ポリゴンミラースキャナ、あるいは超音波偏向器等
を用いて平行光ビームを掃引させることによって被検査
部１２Ａを帯状に照射するようにしてもよい。

【００５７】但し、この場合、上記のような掃引手段３
５を経た平行光ビームはその出射角度が拡がるため前記
１５°〜４５°の入射角からはみ出すことがある。この
場合は、例えば図８に示されるようなｆθレンズ３６を
用いて入射角が変化しないようにしたり、掃引手段の出
射角が小さくなるように調整する。

【００５８】更に、上記実施の形態の例において、検査
光照射装置２０の光源はレーザーダイオード２８である
が、本発明はこれに限定されるものでなく、被検査部１
２Ａに対する入射角が一定な平行光ビーム１８を形成で
きるものであればよく、従って、光源はＬＥＤ、ハロゲ
ンランプ等であってもよい。但し、レーザーダイオード
２８を用いた場合の方が、筋状欠陥における散乱光の強
度がより高くなり、検出が容易である。

【００５９】又、前記ラインセンサ２２は、帯状照射領
域１８内における磁気テープ１２上の筋状欠陥での散乱
光を受光できるものであればよく、ＣＣＤカメラとして
もよい。

【００６０】更に、上記実施の形態の例において、前記
帯状照射領域１８Ａは、磁気テープ１２の被検査部１２
Ａを幅方向に直角に横断するようにされているが、本発
明はこれに限定されるものでなく、図１に示されるよう
に、帯状照射領域１８Ａと磁気テープ１２の長手方向と
の角度αが７０°〜１１０°の範囲となるように設定す
ればよい。

【００６１】更に又、前記平行光ビーム１８の照射光軸
１９及びラインセンサ２２の受光軸２２Ａは、共に、前
記垂線１６Ａを含む仮想平面１６上の垂直面１７内に配
置されているが、これは、筋状欠陥を照射した平行光ビ
ーム１８が散乱したとき、その散乱光がラインセンサ２
２に効率良く入射するものであればよい。従って、例え
ば、図９に示されるように、前記垂線１６Ａ及び帯状照
射領域１８Ａの幅方向中心線１８Ｂを含む前記垂直面１
７に対して平行光ビーム１８を磁気テープ１２の長手方
向に傾けたとき、ラインセンサ２２の受光軸２２Ａは、
前記垂直面１７に対して平行光ビーム１８の照射光軸１
９と反対側に同一角度傾ければ、散乱光は効率良くライ
ンセンサ２２に入射することになる。

【００６２】更に又、上記実施の形態の例の磁気記録媒
体検査装置１０は、その検査対象を磁気テープ１２とし
ているが、これは、テープに限定されるものでなく、磁
気シートを含む他の磁気記録媒体に一般的に適用される
ものである。

【００６３】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、磁
気テープ等の磁気記録媒体表面における１μｍ以下の筋
状欠陥を確実に検出することができるという優れた効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係る磁気記録媒体検
査装置を示す一部ブロック図を含む斜視図

【図２】同磁気記録媒体検査装置において磁気テープを
案内するためのガイド装置を示す斜視図

【図３】同磁気記録媒体検査装置における平行光ビーム
の照射光軸とラインセンサの受光軸との関係を示す模式
図

【図４】同照射光軸と受光軸との関係を側方から見た模
式図

【図５】平行光ビームが磁気テープ表面の筋状欠陥で反
射される状態を拡大して示す模式図

【図６】同磁気記録媒体検査装置によって磁気テープ表
面の筋状欠陥を検出した場合の検出信号の波形を示す線
図

【図７】同筋状欠陥が検出されない場合の検出信号の波
形を示す線図

【図８】本発明の磁気記録媒体検査装置の実施の形態の
第２例の要部を示すブロック図

【図９】前記照射光軸と受光軸の配置の他の実施形態を
示す模式図

【符号の説明】

１０…磁気記録媒体検査装置 １２…磁気テープ １３…筋状欠陥 １２Ａ…被検査部 １４…ガイド装置 １６…仮想平面 １６Ａ…垂線 １７…垂直面 １８…平行光ビーム １８Ａ…帯状照射領域 １８Ｂ…幅方向中心線 １９…照射光軸 ２０…検査光照射装置 ２２…ラインセンサ ２２Ａ…受光軸 ２４…判定装置 ２４Ａ…微分器 ２４Ｂ…比較器 ２６…ガイド面 ２８…レーザーダイオード ３０Ａ、３０Ｂ…シリンドリカルレンズ ３５…掃引手段 ３６…ｆθレンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA32 AB07 AC21 BA10 BB01 BB09 BB11 BC06 CA03 CA04 CB05 CC20 DA06 EA08 EB01 EB02 5D112 AA22 JJ05

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気記録媒体の被検査部の表面での垂線に
   対して斜めの照射光軸に沿って平行光ビームを帯状に照
   射して、被検査部の表面に、該表面の一方向の一端から
   他端に至る帯状照射領域を形成し、この帯状照射領域に
   おける前記平行光ビーム照射による散乱光を光センサに
   より受光して、受光信号の強度が所定値を超えたとき被
   検査部表面の欠陥として検出することを特徴とする磁気
   記録媒体の検査方法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記被検査部表面での
   垂線に対する前記平行光ビームの入射角を１５°〜４５
   °とし、前記光センサの受光角を０〜１５°の範囲に設
   定したことを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
3. 【請求項３】請求項１において、前記被検査部表面での
   垂線に対する前記平行光ビームの入射角を１５°〜４５
   °とし、前記光センサの受光角を０〜１０°の範囲に設
   定したことを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
4. 【請求項４】請求項１、２又は３において、前記平行光
   ビームの照射光軸及び光センサの受光軸を、前記垂線を
   含み、前記被検査部の表面と垂直な平面の面内に設定し
   たことを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
5. 【請求項５】請求項１、２又は３において、前記光セン
   サの受光軸を、前記垂線及び前記帯状照射領域の幅方向
   中心線を含み、前記被検査部の表面と垂直な平面に対し
   て前記平行光ビームの照射光軸の反対側に同一角度傾け
   て設定したことを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記
   磁気記録媒体はテープ状であり、このテープ状磁気記録
   媒体を長手方向に送りつつ、被検査部を直平面状に維持
   した状態で、該被検査部に、斜めに前記平行光ビームを
   照射し、前記帯状照射領域が磁気記録媒体を幅方向に横
   断するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体の検査
   方法。
7. 【請求項７】請求項６において、前記被検査部の表面に
   おける前記平行光ビームによる帯状照射領域の長手方向
   が、前記テープ状磁気記録媒体の長手方向に対して７０
   °〜１１０°となるように設定したことを特徴とする磁
   気記録媒体の検査方法。
8. 【請求項８】請求項１乃至７のいずれかにおいて、前記
   平行光ビームをレーザー光線としたことを特徴とする磁
   気記録媒体の検査方法。
9. 【請求項９】請求項１乃至７のいずれかにおいて、前記
   平行光ビームを直線状に走査して前記帯状照射領域を形
   成することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
10. 【請求項１０】請求項１乃至９のいずれかにおいて、前
    記光センサの出力信号を微分し、その結果の微分データ
    と予め設定した閾値とを比較し、微分データが閾値を超
    えたとき欠陥として判定することを特徴とする磁気記録
    媒体の検査方法。
11. 【請求項１１】磁気記録媒体の被検査部を直平面状に支
    持するガイド装置と、このガイド装置の、前記直平面状
    に支持される磁気記録媒体の被検査部に相当する仮想平
    面に、この仮想平面での垂線に対して、斜め側方から平
    行光ビームを帯状に照射して、前記仮想平面を横断する
    帯状照射領域を形成する検査光照射装置と、前記仮想平
    面の略上方に配置され、前記平行光ビーム照射による被
    検査部表面での散乱光を受光し、受光強度に対応した受
    光信号を出力する光センサと、この光センサの出力する
    受光信号を微分し、その微分データと設定値とを比較
    し、微分データが設定値を超えたとき傷検出信号を出力
    する判定装置と、を有してなる磁気記録媒体の検査装
    置。
12. 【請求項１２】請求項１１において、前記検査光照射装
    置は、前記平行光ビームの、前記仮想平面での垂線に対
    する入射角が１５°〜４５°となるようにされ、前記光
    センサは、前記仮想平面での垂線に対する受光角が０〜
    １５°の範囲となるように設定されたことを特徴とする
    磁気記録媒体の検査装置。
13. 【請求項１３】請求項１１において、前記検査光照射装
    置は、前記平行光ビームの、前記仮想平面での垂線に対
    する入射角が１５°〜４５°となるようにされ、前記光
    センサは、前記仮想平面での垂線に対する受光角が０〜
    １０°の範囲となるように設定されたことを特徴とする
    磁気記録媒体の検査装置。