JPS61254809A - 形状不良検出装置 - Google Patents
形状不良検出装置Info
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- JPS61254809A JPS61254809A JP60097602A JP9760285A JPS61254809A JP S61254809 A JPS61254809 A JP S61254809A JP 60097602 A JP60097602 A JP 60097602A JP 9760285 A JP9760285 A JP 9760285A JP S61254809 A JPS61254809 A JP S61254809A
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- Japan
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、鋼板等の帯状体に発生する形状不良部を、
帯状体の走行中に高精度に検出する装置に関するもので
ある。
帯状体の走行中に高精度に検出する装置に関するもので
ある。
鋼板等の帯状体に発生する形状不良には中のび、側のび
、波のようにある程度の範囲にまたがっているものもあ
るが、くぼみ、ふくらみ、折れ等のように局部的なもの
もなる。これらの帯状体の形状不良を走行中に検出する
場合、従来ある程度の範囲にまたがる形状不良について
は形状検出器として各種の方式が提案され、一部は実用
化されている０例えば特開昭５７−１２４２４３のよう
に帯状体に映った棒状光源の虚像をテレビカメラで撮影
し、形状不良により発生する像のゆがみをビデオ信号か
ら自動検出する方法や、変位針により帯状体の高さ変化
を検出する方法などは良く知られている。しかしながら
これらの方法はそれなりの作用効果があるものの、帯状
体表面を２次元的にくまなく検査することは極めて困難
であり、また微少な形状不良に対する感度も低いことか
ら局部的に発生する形状不良に対しては全くといって良
いほど無力である０局部的な形状不良の検出は、従来い
わゆる光学的紙検出器の役割であった。しかしながら該
光学的疵検出器は色、反射率、粗度等表面性状の変化を
伴なう疵に比して、これらの変化を伴なわない形状不良
の検出率は極めて低いのが実態であって、反射光が大き
く乱れるか、反射光の向きが大きく変化するような急峻
な形状不良のみが検出可能である。また、これらの光学
的疵検出器は、のび、波のようにゆるやかに広範囲に広
がるような形状不良の検出に関しては無力である。
、波のようにある程度の範囲にまたがっているものもあ
るが、くぼみ、ふくらみ、折れ等のように局部的なもの
もなる。これらの帯状体の形状不良を走行中に検出する
場合、従来ある程度の範囲にまたがる形状不良について
は形状検出器として各種の方式が提案され、一部は実用
化されている０例えば特開昭５７−１２４２４３のよう
に帯状体に映った棒状光源の虚像をテレビカメラで撮影
し、形状不良により発生する像のゆがみをビデオ信号か
ら自動検出する方法や、変位針により帯状体の高さ変化
を検出する方法などは良く知られている。しかしながら
これらの方法はそれなりの作用効果があるものの、帯状
体表面を２次元的にくまなく検査することは極めて困難
であり、また微少な形状不良に対する感度も低いことか
ら局部的に発生する形状不良に対しては全くといって良
いほど無力である０局部的な形状不良の検出は、従来い
わゆる光学的紙検出器の役割であった。しかしながら該
光学的疵検出器は色、反射率、粗度等表面性状の変化を
伴なう疵に比して、これらの変化を伴なわない形状不良
の検出率は極めて低いのが実態であって、反射光が大き
く乱れるか、反射光の向きが大きく変化するような急峻
な形状不良のみが検出可能である。また、これらの光学
的疵検出器は、のび、波のようにゆるやかに広範囲に広
がるような形状不良の検出に関しては無力である。
帯状体例えば表面処理用鋼板、電磁鋼板等の製造におい
て、十分に管理しているとはいえども、発生する形状不
良の種類や形態は前述のように種々あるが、従来装置で
はこれらの形状不良を現場製造ライン内で十分に満足し
得る精度で検出することは困難であった。
て、十分に管理しているとはいえども、発生する形状不
良の種類や形態は前述のように種々あるが、従来装置で
はこれらの形状不良を現場製造ライン内で十分に満足し
得る精度で検出することは困難であった。
ところで、電磁鋼板は多層に積み重ねて使用されるが、
磁気特性の損失を極力少なくするためには層の密着性が
重要であり、鋼板の形状不良部は確実に取り除く必要が
ある。また表面処理用鋼板においても例えば缶用等に供
されるものは、欠陥部の検出を厳しく行ないそれを除去
する必要がある。これらに対処するため現状では目視監
察が行われているのが実情である。
磁気特性の損失を極力少なくするためには層の密着性が
重要であり、鋼板の形状不良部は確実に取り除く必要が
ある。また表面処理用鋼板においても例えば缶用等に供
されるものは、欠陥部の検出を厳しく行ないそれを除去
する必要がある。これらに対処するため現状では目視監
察が行われているのが実情である。
本発明は、帯状体に発生する種々の形状不良を走行中に
高精度に検出可能な装置を提供するものである。他の目
的として、単に帯状体の長さ方向に関する形状不良の有
無信号だけでなく、形状不良が幅方向のどの位置にどの
幅にわたって存在しているかを知ることも可能にしよう
とするものである。
高精度に検出可能な装置を提供するものである。他の目
的として、単に帯状体の長さ方向に関する形状不良の有
無信号だけでなく、形状不良が幅方向のどの位置にどの
幅にわたって存在しているかを知ることも可能にしよう
とするものである。
本発明は、レーザービームを被検材に照射して形状不良
を検出する装置において、レーザービームを被検材の幅
方向へ走査ビームとして照射する平行走査機構と、被検
材から反射された走査反射ビームを入射し幅方向のみ集
光する走査方向集光装置と、走査方向集光装置からの走
査反射ビームを受光する受光素子列と、受光素子列で受
光している受光素子を判定する受光判定回路と、受光し
ている受光素子の位置を検出する回路と、受光している
受光素子の個数を計数する回路とを設けたことを特徴と
するものである。
を検出する装置において、レーザービームを被検材の幅
方向へ走査ビームとして照射する平行走査機構と、被検
材から反射された走査反射ビームを入射し幅方向のみ集
光する走査方向集光装置と、走査方向集光装置からの走
査反射ビームを受光する受光素子列と、受光素子列で受
光している受光素子を判定する受光判定回路と、受光し
ている受光素子の位置を検出する回路と、受光している
受光素子の個数を計数する回路とを設けたことを特徴と
するものである。
第１図により本発明の詳細な説明する。第１図に於て１
はＸ方向に走行する被検材たる帯状体である。２はレー
ザー装置であり、レーザービーム３を凸レンズ４を通し
て回転ミラー５に照射する。
はＸ方向に走行する被検材たる帯状体である。２はレー
ザー装置であり、レーザービーム３を凸レンズ４を通し
て回転ミラー５に照射する。
回転ミラー５で反射されたレーザービーム３は放物面鏡
６で反射され、板幅方向に平行移動する走査ビーム７と
なって被検材１に対する角度θで被検材表面に照射する
。被検材１の反射点８で反射された走査ビーム７は受光
装置内に入り、シリンドリカルレンズ９によって幅方向
に集光され、上下方向に密に多数個配置された受光素子
列１０に入射する。ここで、受光素子列１０上での反射
スポットは、帯状体１の反射点８の傾きにより次のよう
に変化する。即ち第２図（ａ）に示すように正常部１−
１により走査ビーム７が反射される場合は、走査反射ビ
ーム７−１は受光素子列１０上のＡ点に入射する。形状
不良部１−２で走査ビーム７が反射される場合は走査反
射ビーム７−１が受光素子列ｌＯ上に入射する位置は形
状不良部１−２の傾きの向きにより第２図中）に示すよ
うにＡ点より高い位置のＢ点になったり、第２図（Ｃ）
のようにＡ点より低い位置の０点になったりする。レー
ザービームは有限の太さをもっており、被検材１の走査
箇所で形状不良部１−２の傾きが一定でない場合は第２
図（ｄ）のように走査反射ビーム７−１は受光素子列１
０上の１点に当らず、Ｂ点から０点までの広範囲に当る
こともある。
６で反射され、板幅方向に平行移動する走査ビーム７と
なって被検材１に対する角度θで被検材表面に照射する
。被検材１の反射点８で反射された走査ビーム７は受光
装置内に入り、シリンドリカルレンズ９によって幅方向
に集光され、上下方向に密に多数個配置された受光素子
列１０に入射する。ここで、受光素子列１０上での反射
スポットは、帯状体１の反射点８の傾きにより次のよう
に変化する。即ち第２図（ａ）に示すように正常部１−
１により走査ビーム７が反射される場合は、走査反射ビ
ーム７−１は受光素子列１０上のＡ点に入射する。形状
不良部１−２で走査ビーム７が反射される場合は走査反
射ビーム７−１が受光素子列ｌＯ上に入射する位置は形
状不良部１−２の傾きの向きにより第２図中）に示すよ
うにＡ点より高い位置のＢ点になったり、第２図（Ｃ）
のようにＡ点より低い位置の０点になったりする。レー
ザービームは有限の太さをもっており、被検材１の走査
箇所で形状不良部１−２の傾きが一定でない場合は第２
図（ｄ）のように走査反射ビーム７−１は受光素子列１
０上の１点に当らず、Ｂ点から０点までの広範囲に当る
こともある。
帯状体１の形状が平坦な場合は受光素子列１０から受信
される受光信号はＡ点の近傍にある受光素子だけから発
生される。言いかえれば形状不良部による走査反射ビー
ム７−１は、それを受ける受光素子の数が多くなるか、
ある上限位置より上の受光素子又はある下限位置より下
の受光素子にまで当るか、あるいは極端な場合はどの受
光素子にも当らないかのいずれかの現象を引きおこすの
で、受光信号を用いてこれらの現象の単独あるいは複数
の現象が有効照射時間内に発生したことを検知すれば形
状不良を検出することができる。このようにして形状不
良を検出するので、本発明では中のび、側のびのように
比較的長い範囲にわたって形状不良を呈するものであっ
ても、あるいはスポット的に発生する凹み、飛び込み欠
陥等の局部的な形状不良であっても、精度よく検出でき
る。
される受光信号はＡ点の近傍にある受光素子だけから発
生される。言いかえれば形状不良部による走査反射ビー
ム７−１は、それを受ける受光素子の数が多くなるか、
ある上限位置より上の受光素子又はある下限位置より下
の受光素子にまで当るか、あるいは極端な場合はどの受
光素子にも当らないかのいずれかの現象を引きおこすの
で、受光信号を用いてこれらの現象の単独あるいは複数
の現象が有効照射時間内に発生したことを検知すれば形
状不良を検出することができる。このようにして形状不
良を検出するので、本発明では中のび、側のびのように
比較的長い範囲にわたって形状不良を呈するものであっ
ても、あるいはスポット的に発生する凹み、飛び込み欠
陥等の局部的な形状不良であっても、精度よく検出でき
る。
この原理は前に述べた説明の如く、反射点８の表面の傾
きを検出するものであるが、反射された走査ビーム７の
向きは反射点８の傾きの２倍変化し、さらに、受光素子
列１０上での上下移動距離は反射点８と受光素子列１０
の距離りに比例するため、該距離りを十分離せば極めて
敏感に傾き変化を捉えうるという特徴を有している。
きを検出するものであるが、反射された走査ビーム７の
向きは反射点８の傾きの２倍変化し、さらに、受光素子
列１０上での上下移動距離は反射点８と受光素子列１０
の距離りに比例するため、該距離りを十分離せば極めて
敏感に傾き変化を捉えうるという特徴を有している。
従来の光学的疵検重器は反射光の強度変化を検出する方
式であり、本発明のように走査反射ビーム７−１が受光
素子列１０に入射する時の上下位置を検出するというも
のではない、そのため、極端な形状不良部以外は検出で
きなかったことは既に述べた通りである。なお被検材１
により反射された反射光の上下動を検出して物体の表面
の傾きを求めるという考え方を特に新規なわけではない
。
式であり、本発明のように走査反射ビーム７−１が受光
素子列１０に入射する時の上下位置を検出するというも
のではない、そのため、極端な形状不良部以外は検出で
きなかったことは既に述べた通りである。なお被検材１
により反射された反射光の上下動を検出して物体の表面
の傾きを求めるという考え方を特に新規なわけではない
。
例えば特開昭５２−６９８５３に示されているように、
走行する帯状体の１点に平行光線を照射し、その反射平
行光線の上下位置を検出することにより帯状体の反りを
検出する方法が既にある。しかし、この方法は帯状体の
幅方向に関して１点しか検査できないので、反りのよう
に部分から全体形状を推定できる場合には有効であるが
、局部的に発生する形状不良を検出することはできない
。
走行する帯状体の１点に平行光線を照射し、その反射平
行光線の上下位置を検出することにより帯状体の反りを
検出する方法が既にある。しかし、この方法は帯状体の
幅方向に関して１点しか検査できないので、反りのよう
に部分から全体形状を推定できる場合には有効であるが
、局部的に発生する形状不良を検出することはできない
。
要するに本発明の最大の特徴は走査反射ビームの上下変
動を監視することにより被検材表面の傾き変化を求める
という優れた検出原理を、走行する帯状体に対し２次元
的に（まなく通用し、広範囲に広がる形状不良だけでな
く局部的に発生する形状不良も確実に検出できるように
したところにある。
動を監視することにより被検材表面の傾き変化を求める
という優れた検出原理を、走行する帯状体に対し２次元
的に（まなく通用し、広範囲に広がる形状不良だけでな
く局部的に発生する形状不良も確実に検出できるように
したところにある。
次に本発明を一実施例に基づき図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図に示したように、そして一部は既に説明したよう
に、１は被検材で例えばストリップである。２はレーザ
ー装置であり、そのレーザービーム３は偏向装置例えば
回転ミラー５に入射する。
に、１は被検材で例えばストリップである。２はレーザ
ー装置であり、そのレーザービーム３は偏向装置例えば
回転ミラー５に入射する。
偏向装置は回転ミラー５に限ることなく周期的な振動ミ
ラー等、投射されたレーザービーム３を振り分ける機能
をもつものであればいずれでも用いられる。６は平行走
査器で例えば放物面鏡であり、前記回転ミラー５から入
射されたレーザービーム３を反射して被検材１の幅方向
に平行移動する走査ビーム７として被検材１を走査する
。４はレーザー装置２と回転ミラー５との間に設けられ
た集光器で例えば凸レンズであり、前記放物面鏡６で反
射された走査ビーム７のビーム径、拡がり角を適当に設
定する役割をもっている。走査ビーム７は被検材１に照
射されるが、その照射される箇所を反射点８と称する。
ラー等、投射されたレーザービーム３を振り分ける機能
をもつものであればいずれでも用いられる。６は平行走
査器で例えば放物面鏡であり、前記回転ミラー５から入
射されたレーザービーム３を反射して被検材１の幅方向
に平行移動する走査ビーム７として被検材１を走査する
。４はレーザー装置２と回転ミラー５との間に設けられ
た集光器で例えば凸レンズであり、前記放物面鏡６で反
射された走査ビーム７のビーム径、拡がり角を適当に設
定する役割をもっている。走査ビーム７は被検材１に照
射されるが、その照射される箇所を反射点８と称する。
９は走査反射ビーム７−１の走査方向集光装置で例えば
シリンドリカルレンズであり、被検材１の幅方向に設け
られる。
シリンドリカルレンズであり、被検材１の幅方向に設け
られる。
前述の如く回転ミラー５．放物面鏡６による平行走査機
構と、シリンドリカルレンズ９による幅方向のみの集光
機構が取り入れられているので、走査反射ビーム７−１
の上下方向の情報は何ら影響をうけることがなく、形状
不良の情報が失なわれることはない、また、走査周期を
十分短くして、走査ピッチを十分細か（すれば被検材１
の走行に伴なって被検材表面をくまなく検査することが
可能であり、微少な形状不良も確実に検出可能である。
構と、シリンドリカルレンズ９による幅方向のみの集光
機構が取り入れられているので、走査反射ビーム７−１
の上下方向の情報は何ら影響をうけることがなく、形状
不良の情報が失なわれることはない、また、走査周期を
十分短くして、走査ピッチを十分細か（すれば被検材１
の走行に伴なって被検材表面をくまなく検査することが
可能であり、微少な形状不良も確実に検出可能である。
またｌＯは受光素子列で、受光素子１１が複数（固設け
られたものであり、シリンドリカルレンズ９からの走査
反射ビーム７−１が入射される。受光素子１１の個数は
任意に設定されるが、シリンドリカルレンズ９は幅方向
あらゆる点での走査反射ビーム７−１を受光素子列１０
に集めるので、受光素子列１０は１列設けるだけでよく
、また信号の処理も容易になる。被検材１の全幅検査に
は放物面鏡６及びシリンドリカルレンズ９を該被検材の
幅相当の大きさのものにする必要があるが、被検材の幅
が大である場合は第１図の装置をｎ組設けて各々が咳幅
の１／ｎを検査するようにしてもよい。受光素子列１０
上に入射する走査反射ビーム７−１のビームスポットを
極力明瞭なものにするためには走査ビーム７と被検材１
とのなす角θを小さく、例えば１５°以下にすることが
好ましい。
られたものであり、シリンドリカルレンズ９からの走査
反射ビーム７−１が入射される。受光素子１１の個数は
任意に設定されるが、シリンドリカルレンズ９は幅方向
あらゆる点での走査反射ビーム７−１を受光素子列１０
に集めるので、受光素子列１０は１列設けるだけでよく
、また信号の処理も容易になる。被検材１の全幅検査に
は放物面鏡６及びシリンドリカルレンズ９を該被検材の
幅相当の大きさのものにする必要があるが、被検材の幅
が大である場合は第１図の装置をｎ組設けて各々が咳幅
の１／ｎを検査するようにしてもよい。受光素子列１０
上に入射する走査反射ビーム７−１のビームスポットを
極力明瞭なものにするためには走査ビーム７と被検材１
とのなす角θを小さく、例えば１５°以下にすることが
好ましい。
次に信号処理について第３図を用いて説明する。
１０はＮ個の受光素子を配した前述の受光素子列である
。１２は受光素子毎に計Ｎ個設けられた受光判定回路で
あり、走査反射ビーム７−１が入射している受光素子に
対応したものだけが出力を出す。１３は走査反射ビーム
７−１が入射している受光素子のうち最大の番号りと最
小の番号２を求める受光位置検出回路であり、これによ
り走査反射ビーム７−１の上端位置及び下端位置が求め
られる。１４．１５は判定回路で、それぞれ上端位置り
があらかじめ設定された位置ｈＯ以上の時、下端位置ｌ
があらかじめ設定された位置１ｏ以下の時に出力し、形
状不良が検出される。１６は計数回路で、受光判定回路
１２の出力個数に対応した出力ｎを出す。１７．１８は
判定回路でそれぞれｎｍＱ、ｎ≧ｋ （ｋはあらかじめ
設定された値）の時に出力を出す。これによっても形状
不良が検出される。１９はゲート信号発生回路で、投光
ヘッド（図示しない）から別途送られてくる走査同期パ
ルスと、走査ビーム７が帯状体１のエツジからはみ出す
場合は別途設けられたエツジ検出器（図示しない）から
出力されるエツジ信号をもとにして走査ビーム７が帯状
体１を有効に照射している有効時間に対応するゲート信
号を発生する。
。１２は受光素子毎に計Ｎ個設けられた受光判定回路で
あり、走査反射ビーム７−１が入射している受光素子に
対応したものだけが出力を出す。１３は走査反射ビーム
７−１が入射している受光素子のうち最大の番号りと最
小の番号２を求める受光位置検出回路であり、これによ
り走査反射ビーム７−１の上端位置及び下端位置が求め
られる。１４．１５は判定回路で、それぞれ上端位置り
があらかじめ設定された位置ｈＯ以上の時、下端位置ｌ
があらかじめ設定された位置１ｏ以下の時に出力し、形
状不良が検出される。１６は計数回路で、受光判定回路
１２の出力個数に対応した出力ｎを出す。１７．１８は
判定回路でそれぞれｎｍＱ、ｎ≧ｋ （ｋはあらかじめ
設定された値）の時に出力を出す。これによっても形状
不良が検出される。１９はゲート信号発生回路で、投光
ヘッド（図示しない）から別途送られてくる走査同期パ
ルスと、走査ビーム７が帯状体１のエツジからはみ出す
場合は別途設けられたエツジ検出器（図示しない）から
出力されるエツジ信号をもとにして走査ビーム７が帯状
体１を有効に照射している有効時間に対応するゲート信
号を発生する。
また２０．２１．２２．２３は、前記判定回路１４．１
５．１７．１８の出力のうち有効時間内に発生したもの
だけを通すためのＡＮＤ回路、２４は前記ＡＮＤ回路２
０．２１，２２．２３の出力力（ら単独あるいは複数の
ものを必要に応じてえらび出すための選択回路である。
５．１７．１８の出力のうち有効時間内に発生したもの
だけを通すためのＡＮＤ回路、２４は前記ＡＮＤ回路２
０．２１，２２．２３の出力力（ら単独あるいは複数の
ものを必要に応じてえらび出すための選択回路である。
選択回路２４からの出力は、１回のレーザ走査の中で、
前に述べたような走査反射ビーム７−１の異常が発生し
ている間だけ出されている。したがって、この信号が走
査の中でどのタイミングで発生開始し、どのタイミング
で発生終了したかを捉えれば、形状不良の幅方向の位置
、幅を知ることができる。
前に述べたような走査反射ビーム７−１の異常が発生し
ている間だけ出されている。したがって、この信号が走
査の中でどのタイミングで発生開始し、どのタイミング
で発生終了したかを捉えれば、形状不良の幅方向の位置
、幅を知ることができる。
本発明は以上のようであるから、帯状体例えば電磁鋼板
や表面処理用鋼板などの鋼板に生じてる比較的広い範囲
にわたる形状不良、あるいは局部的な微細な形状不良と
も精度よく、走行中に検出できる。
や表面処理用鋼板などの鋼板に生じてる比較的広い範囲
にわたる形状不良、あるいは局部的な微細な形状不良と
も精度よく、走行中に検出できる。
第１図、第２図は本発明の一実施例と原理を説明する図
、第３図は本発明の一実施例においての信号処理ブロッ
クを示す図である。 図面で、３はレーザービーム、１は被検材、５゜６は平
行走査機構、７−１は反射ビーム、９は幅方向集光装置
、１０は受光素子列、１２は受光判定回路、１３は受光
位置検出回路、１６は計数回路である。 出 願 人 新日本製鐵株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔 １３図 第： ！図
、第３図は本発明の一実施例においての信号処理ブロッ
クを示す図である。 図面で、３はレーザービーム、１は被検材、５゜６は平
行走査機構、７−１は反射ビーム、９は幅方向集光装置
、１０は受光素子列、１２は受光判定回路、１３は受光
位置検出回路、１６は計数回路である。 出 願 人 新日本製鐵株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔 １３図 第： ！図
Claims (1)
- レーザービームを被検材に照射して形状不良を検出する
装置において、レーザービームを被検材の幅方向へ走査
ビームとして照射する平行走査機構と、被検材から反射
された走査反射ビームを入射し幅方向のみ集光する走査
方向集光装置と、走査方向集光装置からの走査反射ビー
ムを受光する受光素子列と、受光素子列で受光している
受光素子を判定する受光判定回路と、受光している受光
素子の位置を検出する回路と、受光している受光素子の
個数を計数する回路とを設けたことを特徴とする形状不
良検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60097602A JPH061168B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 形状不良検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60097602A JPH061168B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 形状不良検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61254809A true JPS61254809A (ja) | 1986-11-12 |
| JPH061168B2 JPH061168B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=14196780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60097602A Expired - Lifetime JPH061168B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 形状不良検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061168B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63254649A (ja) * | 1987-04-11 | 1988-10-21 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡による観察装置 |
| JPH03109105U (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-08 | ||
| JPH05157536A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-22 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 板形状計測装置 |
| JPH05157537A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-22 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 板形状計測装置 |
| FR2772122A1 (fr) * | 1997-12-05 | 1999-06-04 | Premium Instr Sa | Procede et dispositif de mesure de la forme et/ou de la position d'un profil d'une surface laterale d'un produit allonge |
| JP2010243263A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Nippon Steel Corp | 帯状体の表面検査装置、表面検査方法及びプログラム |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS59148806A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 膜厚分布検査装置 |
-
1985
- 1985-05-08 JP JP60097602A patent/JPH061168B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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| JPS59148806A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 膜厚分布検査装置 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH061168B2 (ja) | 1994-01-05 |
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