JP2002144565A

JP2002144565A - インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ

Info

Publication number: JP2002144565A
Application number: JP2000349541A
Authority: JP
Inventors: Yoshitaka Hayashi; 嘉隆林
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2000-11-16
Filing date: 2000-11-16
Publication date: 2002-05-21
Anticipated expiration: 2020-11-16
Also published as: JP4086461B2

Abstract

(57)【要約】【目的】インクジェットヘッドの駆動部に磁歪材料を
用い、振動板に生じる変形量、発生力を大きくし、制御
性，省消費電力性，生産性等を向上する。【構成】インクジェットヘッドは、基板１，振動板
２，ノズル３，磁歪素子４，磁界印加手段，加熱手段等
からなる。磁歪素子４には磁界が印加されており、磁歪
素子４は縮み、振動板２はインク室５の容積を小さくす
るように変形している。加熱手段によって磁歪素子４を
キュリー温度以上に加熱すると、磁歪素子４は変形がな
い元の状態に戻り、振動板２がインク室５の容積を大き
くするように変形し、インクをインク室５に吸引する。
ここで、磁歪素子４がキュリー温度以下に下がると、イ
ンク室５の容積が小さくなり、この時インク滴７を射出
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド及びインクジェットプリンタに関し、さらに詳しく
は、磁歪素子の変形を利用してインクをノズルから射出
させるインクジェットヘッド、及びそのインクジェット
ヘッドを用いることにより、制御性良くインクを射出す
るオンデマンド方式のインクジェットプリンタに関す
る。また、本発明はインクに限らずノズル穴から制御性
良く液体を噴射する素子、及びその素子を用いた装置に
応用可能である。

【０００２】

【従来の技術】従来、パソコン等の情報処理装置からの
出力用プリンタとしてインパクトドットプリンタ等が多
く使用されたが、その後レーザープリンタに変わり、最
近では、低価格，カラー化の要求のもとにオンデマンド
方式のインクジェットプリンタが多く使用されるように
なっている。オンデマンド方式のインクジェットプリン
タとして代表的なものは、インクを急激に加熱し、イン
クの体積変化の圧力によりインクを吐き出させる方式
（例えば、特公昭６１−５９９１１号公報等）と、また
電圧を印加することにより変形する性質を有する圧電体
を用いてインクを吐き出させる方式がある（例えば、特
公平２−５１７３４号公報等）。

【０００３】圧電方式はインクの噴出の制御性が良いこ
とが特徴としてあげられ、そのヘッドとしては圧電材料
が用いられており、その構成も種々のものが周知であ
る。例えば、振動子円筒缶のように円筒状の圧電素子を
取り付け、その圧電素子に電圧をかけたときの体積変化
によりインクを噴出させる方式や、平板振動子をインク
室の外側に配置し、電圧を印加した際のインク室の体積
変化によりインクを吐き出させる方式等がある。従来の
圧電素子を用いたインクジェットヘッドは、先端にノズ
ルを有するインク室があり、そのなかにインクが充填さ
れている。インク室の外側に振動板が設けられ、その上
部に圧電素子が設けられる構成となっている。圧電素子
の両面には電極が設けられ、その電極に印加した電圧を
入切することにより圧電素子が変形し、圧電素子と振動
板とのバイメタル効果によりたわみ変形が起き、その体
積変化でインクが吐き出される。

【０００４】圧電素子に代えて磁歪素子を用いた従来技
術もあるが、単に圧電素子を置き換えできるというもの
で、詳しい具体的な報告はない。また、静電気力を利用
したものも報告されている（例えば、特開平７−８１０
８８号公報等）。この原理は、２つの平板に電圧をかけ
たとき、平板間に静電気力が働き、引き合ったり、反発
したりする現象を利用したものである。静電気力を利用
したものは構造を簡単化しやすく、半導体などの微細加
工プロセスを利用して製造することができ、小型化に有
利という面があるが、２つの電極間にごみがつまる等で
短絡が起こり、素子が壊れてしまうという現象が起こり
やすいため、電極間隔を広げたり、精密な制御が必要と
なるといった欠点があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記のように、圧電素
子や静電気力を利用したインクジェットヘッドが報告さ
れているが、圧電素子においては一般に圧電素子の材質
がセラミックであるため、素子を作製する際に高温での
焼結が必要となり、振動子以外の材料に制約があるとい
う問題点があった。また、焼結体であるため、半導体加
工のような薄膜プロセスにはなじみにくく、作製が煩雑
になるという問題があった。また、静電気力を利用した
インクジェットヘッドの場合、静電気力は電極間隔が狭
くなるほど力が大きくなるため、電極間隔が狭いほうが
有利であるが、狭くすることによりほこり等に対して弱
くなり、精密な電極間隔の制御が必要となるといった問
題点があった。

【０００６】以上のような従来のインクジェットヘッド
が有する問題点は、駆動部に磁歪材料を用いることで解
決され、大きな変形量，発生力を有する駆動部を備えた
インクジェットヘッドを実現することができる。しか
し、磁歪材料は励磁する必要があるため、コイルなどの
励磁部が大きくなってしまうといった問題点があった。
したがって、本発明は、駆動部の変形量、発生力が大き
いとともに、従来例に比較し、制御性、省消費電力性、
生産性等に優れたインクジェットヘッド、及びインクジ
ェットプリンタを実現することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたものであって、その第１の技術手
段は、インクを射出する駆動部に磁歪素子を用い、該磁
歪素子に磁界を印加し該磁歪素子を変形しておき、前記
変形した磁歪素子に熱を加え前記変形を戻す変形を起こ
させることによりインクを射出するインクジェットヘッ
ドであることを特徴とする。

【０００８】第２の技術手段は、第１の技術手段のイン
クジェットヘッドにおいて、前記磁歪素子は、磁界を印
加することにより磁界と平行方向に伸びる性質を持つ材
料と磁界と平行方向に縮む性質を持つ材料の積層体であ
ることを特徴とする。

【０００９】本発明の第３の技術手段は、第１，第２の
技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素
子は、Ｔｂ及びＦｅを含む化合物及び／またはＳｍ及び
Ｆｅを含む化合物からなることを特徴とする。

【００１０】本発明の第４の技術手段は、第１〜第３の
技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素
子に磁界を印加する手段は、永久磁石であることを特徴
とする。

【００１１】本発明の第５の技術手段は、第４の技術手
段のインクジェットヘッドにおいて、前記永久磁石は、
ＳｍＣｏ系合金、またはＮｄＦｅＢ系合金からなること
を特徴とする。

【００１２】本発明の第６の技術手段は、第１〜第５の
技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素
子及び／または永久磁石は、薄膜で作製することを特徴
とする。

【００１３】本発明の第７の技術手段は、第１〜第６の
技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素
子に熱を加える手段は、発熱体であることを特徴とす
る。

【００１４】本発明の第８の技術手段は、第１〜第６の
技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素
子に熱を加える手段は、光または電磁波であることを特
徴とする。

【００１５】本発明の第９の技術手段は、インクを射出
するインクジェットヘッドに第１〜第８の技術手段のイ
ンクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタで
あることを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１〜図１３に示す実施例に基づいて説明する。な
お、本発明の技術的範囲は、実施例の記載によって何ら
限定されて解釈されるものではない。（第１実施例）第１実施例は請求項１の発明に対応し、
インクを射出させるための駆動部として磁歪素子を用
い、その磁歪素子を励磁するために磁歪素子に磁界を印
加し磁歪素子を変形させておき、磁歪素子に熱を加える
ことにより変形を戻す変化を起こさせることによりイン
クを射出するインクジェットヘッドに関する。

【００１７】ここで、磁歪とは磁性体が磁界印加される
ことにより伸びるまたは縮むといった変形を起こす性質
であり、磁性材料は程度の差はあるが、この性質を持っ
ている。特にその変形量が大きいものを磁歪材料と呼
び、古くから超音波発生用の振動子等に用いられてい
る。磁歪材料の例としては、Ｎｉ，ＦｅＡｌ，ＦｅＣ
ｏ，ＮｉＦｅ，ＮｉＣｏ，ＦｅＳｉ，ＦｅＢ，ＦｅＳｉ
Ｂ，ＦｅＣｏＳｉＢ，ＦｅＰｄ等の合金系のほか、Ｆ
ｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｃｕ等を１種類以上混合し焼結などで
作製するＮｉＣｏフェライト、ＮｉＣｕＣｏフェライト
等のフェライト材料もある。ＦｅＢ，ＦｅＳｉＢ，Ｆｅ
ＣｏＳｉＢ等の合金は、歪み量は比較的小さな値である
が、電気的エネルギーを機械的エネルギーに変えるため
の変換効率の良さを示す電気機械結合係数が圧電素子よ
りも高い値を示すものがあり、これらの材料を用いるこ
とは効果が大きい。フェライト材料の中でマグネタイト
系の材料は、材料に強い圧力がかかった状態でも良好な
動作をするという性質がある。また、磁歪材料には印加
磁界と平行な方向に伸びる性質を持つ材料と縮む性質を
持つ材料がある。

【００１８】図１は、本発明の第１実施例によるインク
ジェットヘッドの磁歪素子周辺の概略を示す断面図であ
り、磁界が印加することにより縮む性質を有する磁歪素
子を用いた例である。インクジェットヘッドは、基板
１，振動板２，ノズル３，磁歪素子４，磁界印加手段
（図示せず），加熱手段（図示せず）を主な構成要素と
し、磁歪素子４に磁界を印加することにより変形するこ
とと、その変形が加熱手段による加熱により元の状態に
戻る変化に基づいて、インク室５内のインクがノズル３
より押し出されて射出される。図１の状態では、磁歪素
子４に磁界が印加されておらず、磁歪素子４は変形して
いないので、インク室５は大きな容積を占めている。第
１実施例のインクジェットヘッドの使用時、磁歪素子４
には常時磁界Ｈが印加されているので、磁歪素子４は磁
界方向の長さが縮むように変形しており、それに伴い図
２に示すように振動板２もインク室５の容積が小さくな
るように変形している。この状態で、磁歪素子４を加熱
手段により加熱しキュリー点以上の温度に加熱すると、
変形がない図１の状態に戻る。なお、加熱手段の具体例
については後述する。

【００１９】次に、インクが射出される原理を説明す
る。図２は、図１に示すインクジェットヘッドの状態か
ら磁歪素子４に磁界Ｈを印加した状態を示す図で、磁界
Ｈの印加に伴う磁歪素子４の変形により振動板２が変形
し、インクが射出され、その直後の磁歪素子４は収縮し
た状態である。次に、その状態から磁歪素子４に熱を加
え、磁歪素子４をキュリー温度以上に加熱すると、磁歪
素子４は変形前の状態に戻り、磁歪素子４と振動板２は
図１のような変形前の平面の状態に戻る。この時インク
は供給口６よりインク室５内へ供給されてインク室５は
インクで満たされる。インク室５がインクで満たされた
時点で、磁歪素子４の温度が下がると磁歪素子４と振動
板２は、再び図２のように変形してインク室５のインク
を押し出しノズル３よりインク滴７となって射出され
る。磁界の印加方法は特に限定されるものではない。ま
た、振動板２の代わりに磁歪素子４を単体で用いること
も可能である。その場合は、変形をより大きくすること
ができ素子の小型化が可能となる。またその場合、磁歪
素子４とインクが接する面に薄い保護層等を構成すると
さらに好ましい。

【００２０】（第２実施例）第２実施例は請求項２の発
明に対応し、磁歪素子４として磁界Ｈを印加することに
より磁界と平行方向に伸びる性質を持つ材料と磁界と平
行方向に縮む性質を持つ材料とを積層して用いたインク
ジェットヘッドに関する。磁界Ｈと平行方向に伸びる性
質を持つ材料と磁界Ｈと平行方向に縮む性質を持つ材料
とを積層することにより磁歪素子の変形量を大きくする
ことが可能である。図５，図６は、第２実施例のインク
ジェットヘッドに用いる磁歪素子４の構成を示す図で、
例えばＴｂＦｅとＳｍＦｅを積層することにより、図５
のように磁界を印加しない状態では平行であるが、図６
のように磁界Ｈを印加することによりＴｂＦｅは伸び、
ＳｍＦｅは縮むため変形が生じる。それぞれの磁歪素子
を単独で用いた場合に比べ大きな変形が得られるためイ
ンクの射出を制御し易くなる。

【００２１】（第３実施例）第３実施例は請求項３の発
明に対応し、磁歪素子４としてＴｂ及びＦｅを含む化合
物、またはＳｍ及びＦｅを含む化合物を用いるインクジ
ェットヘッドに関する。ＴｂＦｅ，ＳｍＦｅ合金等のい
わゆるレーベス相を有するＴｂＦｅ₂合金等では、長さ
Ｌの磁性体の長さ方向に磁界を印加した場合の磁性体の
伸び、または縮み量をΔＬとすると、ΔＬ／Ｌ＝２００
０×１０^-6程度とかなり大きな変位量を示すことが知ら
れている。ＴｂＦｅは磁界印加により伸びる性質を持
ち、ＳｍＦｅは縮む性質を持つ。本発明の磁歪素子に用
いられる化合物としてＴｂＤｙＦｅ，ＴｂＤｙＨｏＦ
ｅ，ＴｂＦｅＢ，ＳｍＦｅＢ等の合金系が例示できる。
大きな磁歪を保ったまま結晶磁気異方性を小さくしたよ
うな材料が好ましい。

【００２２】図１，図２のインクジェットヘッドは、磁
歪素子４が磁界Ｈの印加により磁界Ｈと平行方向に縮む
性質の材料からなるものであったが、図３，図４の例
は、磁歪素子４が磁界Ｈの印加により磁界Ｈと平行方向
に伸びる性質の材料からなるものを用いたインクジェッ
トヘッドの例を示すものである。磁歪素子４に磁界Ｈを
印加した図３の状態では、磁歪素子４は伸び変形してお
り、それに伴い振動板２も変形し、容積が大きくなった
インク室５にはインクが満たされている。インクが射出
される原理は、図１，図２の第１実施例で示したものと
ほぼ同じであり、磁歪素子４が変形することにより振動
板２が変形し、図示しない加熱手段により変形した磁歪
素子４がキュリー温度以上に加熱されることにより、イ
ンク室５内のインクがノズル３より押し出されて射出さ
れる。

【００２３】Ｔｂ及びＦｅを含む化合物としてＴｂＦｅ
₂合金を用いた場合、インクが射出される原理を説明す
る。図３に示すようにインクを射出した直後の状態で
は、磁歪素子４は磁界Ｈを印加され伸びて変形してい
る。この状態ではインクは供給口６より供給されてイン
ク室５はインクで満たされている。次に、その状態から
磁歪素子４に熱を加えキュリー温度以上にすると、図４
のように磁歪素子２と振動板４は変形前の平面の状態に
戻る。この時インク室７のインクを押し出しノズル３よ
りインク滴７となって射出される。磁界の印加方法は特
に限定されるものではない。また、振動板４を無くし磁
歪素子２を単体で振動板と兼用として用いることも可能
である。その場合はより変形を大きくすることができ素
子の小型化が可能となる。またその場合，磁歪素子２と
インクが接する面に薄い保護層などを構成するとさらに
好ましい。Ｓｍ及びＦｅを含む化合物としてＳｍＦｅＢ
を用いた場合は実施例１で説明したように図１と図２の
変形を繰り返すことによりインクが射出される。

【００２４】（第４実施例）第４実施例は請求項４の発
明に対応し、磁歪素子に磁界を印加する手段として永久
磁石を用いるインクジェットヘッドに関する。磁歪素子
４に印加する磁界Ｈを発生する手段としてコイルを用い
磁界を発生させることができるが、より省消費電力化を
するために永久磁石を用い、そこから発生する磁界を磁
歪素子の駆動に利用する。図７は磁歪素子４を上から見
た平面図であるが、磁歪素子４をはさむようにその両側
に永久磁石８，８を配置し磁界Ｈを印加する。また、図
８に示すように磁歪素子４の上面または横面等に軟磁性
材料９を配置することにより磁気回路が閉じるように構
成でき、効率良く磁歪素子４に磁界Ｈを印加することが
できるようになり好ましい。

【００２５】（第５実施例）第５実施例は請求項５の発
明に対応し、磁歪素子の励磁用の永久磁石８，８として
ＳｍＣｏ系合金、またはＮｄＦｅＢ系合金を用いるイン
クジェットヘッドに関する。ＳｍＣｏ系合金は、磁石の
強度が強く、キュリー温度が高いため、温度にも強いと
いう利点がある。また、ＮｄＦｅＢ系合金は、磁石とし
て磁力の強度が最強であるため、強い磁界を印加でき
る。また、これらの合金に元素を添加したものも開発さ
れている。最近ではＳｍＦｅＮなどの窒化物、炭化物な
ども強力な磁力を有することが明らかとなり、それらの
合金系も適用可能である。また、磁石の腐食等による性
能劣化を防ぐため、保護膜等で覆う等しても良い。

【００２６】ここでは、ＳｍＣｏ₅合金を用いた例を示
す。図９は、第５実施例のインクジェットヘッドに用い
る磁歪素子４の概略の平面図であるが、ＳｍＦｅ₂から
なる磁歪素子４ａの両側に永久磁石８ａ，８ａとしてＳ
ｍＣｏ₅合金を配置し、永久磁石８ａ，８ａと磁歪素子
４ａに効率良く磁界が印加されるように軟磁性材料９ａ
としてＮｉＦｅ合金等を用いて閉磁路が形成されるよう
に各素子を構成した。

【００２７】（第６実施例）第６実施例は請求項６の発
明に対応し、磁歪素子及び／または永久磁石を薄膜で作
製するインクジェットヘッドに関する。図１０は、第６
実施例のインクジェットヘッドの概略の断面を示す図で
あるが、磁歪素子４または永久磁石８ｂ，８ｂを、また
は磁歪素子４ｂ，永久磁石８ｂ，８ｂの両方を薄膜で作
製する。磁歪素子、永久磁石を薄膜で作製することによ
りフォトリソグラフィ等のプロセス技術を応用すること
ができ、作成法が容易になる。

【００２８】（第７実施例）第７実施例は請求項７の発
明に対応し、磁歪素子に熱を加える加熱手段として発熱
体を用いたインクジェットヘッドに関する。図１１は、
第７実施例のインクジェットヘッドに用いる磁歪素子４
の概略の平面図であるが、磁歪素子４の近傍に発熱体１
０を設け、発熱体１０に電流を流すことにより温度を上
昇させ、磁歪素子４の温度をキュリー温度以上にするこ
とにより駆動する。磁歪素子４としてＴｂＤｙＦｅＢア
モルファス合金を用いる。発熱体１０はヒータ線だけで
構成できるため、簡単な構成のインクジェットヘッドを
形成することができる。

【００２９】（第８実施例）第８実施例は請求項８の発
明に対応し、磁歪素子に熱を加える手段として光または
電磁波を用いたインクジェットヘッドに関する。磁歪素
子４にレーザ等の光を照射することにより光のエネルギ
ーを熱に変換させ磁歪素子をキュリー温度以上にする。
光により磁歪素子４の温度を制御し駆動を行う。図１２
は、第８実施例のインクジェットヘッドの概略の断面を
示す図であるが、磁歪素子４にレーザーダイオード１１
が発光したレーザ光を照射し、そのエネルギを熱に変え
ることにより磁歪素子４を駆動する。レーザ等の光を用
いることにより、磁歪素子４から離れて駆動手段を構成
することができ、また光は応答が速く、高速駆動に適す
る。

【００３０】（第９実施例）第９実施例は請求項９の発
明に対応し、インクを射出するインクジェットヘッドと
して第１〜第９実施例のインクジェットヘッドを用いた
インクジェットプリンタに関する。図１３は、インクジ
ェットプリンタの概略の構成を示す側断面図である。こ
のインクジェットプリンタは、給紙カセット２１から送
り出した用紙２２を給紙ローラ２３で搬送し、更に搬送
部２４で用紙２２を搬送しながらインクジェットヘッド
からなる記録ヘッド２５によって用紙２２上に画像を記
録して排紙トレイ２６に排紙する構成である。そして、
給紙ローラ２３の下流側に用紙２２の有無を検知したり
用紙２２の種別を検出するセンサ２７，センサ２８を配
置している。ここで、センサ２７，センサ２８は透過型
フォトセンサを用いることができるが、これに限るもの
ではなく、その他の光学式，メカ式等種々の検知手段を
用いることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば次のような効果を奏する。（１）請求項１の発明によれば、インクジェットヘッド
の駆動部を磁歪素子により形成し、磁歪素子に磁界を印
加し、また磁歪素子を加熱することにより駆動するの
で、従来にない新規な構成で、制御性，省消費電力性，
生産性に優れたインクジェットヘッドが実現可能とな
る。

【００３２】（２）請求項２の発明によれば、磁歪素子
として、磁界を印加することにより磁界と平行方向に伸
びる磁歪素子材料と磁界と平行方向に縮む磁歪素子材料
の積層体を用いるので、いずれかの磁歪素子材料を単独
で用いた場合に比べ大きな変形が得られるため、インク
の射出制御が容易である。

【００３３】（３）請求項３の発明によれば、磁歪素子
として、Ｔｂ及びＦｅを含む化合物、またはＳｍ及びＦ
ｅを含む化合物を用いるので、インクジェットヘッドの
インク室の体積変化が大きくでき、インクの射出量の制
御性が向上する。

【００３４】（４）請求項４の発明によれば、磁歪素子
に磁界を印加する手段が永久磁石であるので、省消費電
力化が可能となる。

【００３５】（５）請求項５の発明によれば、永久磁石
はＳｍＣｏ系合金、またはＮｄＦｅＢ系合金からなるの
で、より大きな駆動力が得られる。

【００３６】（６）請求項６の発明によれば、磁歪素
子，永久磁石は、薄膜で作製するので、インクジェット
ヘッドの作製にあたってより簡便なプロセスを適用する
ことが可能となる。

【００３７】（７）請求項７の発明によれば、磁歪素子
の加熱手段が発熱体であるので、比較的単純な素子の構
成にすることができ、その簡単な構成でも大きな駆動力
が得られる。

【００３８】（８）請求項８の発明によれば、磁歪素子
の加熱手段が光または電磁波であるので、素子の駆動に
関して制御性が良くなりインクの射出量などの制御性も
向上する。

【００３９】（９）請求項９の発明によれば、駆動部が
磁歪素子よりなるインクジェットヘッドを用いたので、
従来とは異なる新規な構成で、制御性，省消費電力性，
生産性に優れたインクジェットプリンタが実現可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例のインクジェットヘッドにおい
て、駆動部の磁歪素子が磁界を印加することにより縮む
性質を持つ材料である場合の構成を示す概略断面図であ
る。

【図２】図１に示すインクジェットヘッドがインクを
射出する時の概略断面図である。

【図３】第１実施例のインクジェットヘッドにおい
て、駆動部の磁歪素子が磁界を印加することにより伸び
る性質を持つ材料である場合の構成を示す概略断面図で
ある。

【図４】図２に示すインクジェットヘッドがインクを
射出する時の概略断面図である。

【図５】第２及び第３実施例のインクジェットヘッド
における、ＳｍＦｅとＴｂＦｅ合金の積層体からなる磁
歪素子の積層状態を示す模式図である。

【図６】図５に示す磁歪素子に磁界を印加した時のＳ
ｍＦｅとＴｂＦｅ合金の積層状態を示す模式図である。

【図７】第４実施例のインクジェットヘッドにおけ
る、永久磁石を用いた磁界印加手段を示す概略平面図で
ある。

【図８】図７に示す永久磁石に磁気回路を形成した磁
界印加手段を示す概略平面図である。

【図９】第５実施例のインクジェットヘッドにおけ
る、ＳｍＣｏ系合金またはＮｄＦｅＢ系合金からなる永
久磁石を用いた磁界印加手段を示す概略平面図である。

【図１０】第６実施例のインクジェットヘッドにおい
て、薄膜で作成された磁歪素子、永久磁石を用いたイン
クジェットヘッドの断面の概略図である。

【図１１】第７実施例のインクジェットヘッドにおけ
る、発熱体からなる加熱手段を備えた磁界印加手段を示
す概略平面図である。

【図１２】第８実施例のインクジェットヘッドにおい
て、光を用いた加熱手段を備えたインクジェットヘッド
を示す概略断面図である。

【図１３】第９実施例のインクジェットプリンタの概
略断面図である。

【符号の説明】

１…基板、２…振動板、３…ノズル、４，４ａ，４ｂ…
磁歪素子、５…インク室、６…供給口、７…インク滴、
８，８ａ，８ｂ…永久磁石、９，９ａ…軟磁性材料、１
０…発熱体、１１…レーザーダイオード、２１…給紙カ
セット、２２…用紙、２３…ローラ、２４…搬送部、２
５…記録ヘッド、２６…排紙トレイ、２７…センサ、２
８…センサ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを射出する駆動部に磁歪素子を用
い、該磁歪素子に磁界を印加し該磁歪素子を変形してお
き、前記変形した磁歪素子に熱を加え前記変形を戻す変
化を起こさせることによりインクを射出することを特徴
とするインクジェットヘッド。
【請求項２】前記磁歪素子は、磁界を印加することに
より磁界と平行方向に伸びる性質を持つ材料と磁界と平
行方向に縮む性質を持つ材料の積層体であることを特徴
とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】前記磁歪素子は、Ｔｂ及びＦｅを含む化
合物及び／またはＳｍ及びＦｅを含む化合物からなるこ
とを特徴とする請求項１または２記載のインクジェット
ヘッド。
【請求項４】前記磁歪素子に磁界を印加する手段は、
永久磁石であることを特徴とする請求項１乃至３いずれ
か記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記永久磁石は、ＳｍＣｏ系合金、また
はＮｄＦｅＢ系合金からなることを特徴とする請求項４
記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】前記磁歪素子及び／または永久磁石は、
薄膜で作製することを特徴とする請求項１乃至５いずれ
か記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】前記磁歪素子に熱を加える手段は、発熱
体であることを特徴とする請求項１乃至６いずれか記載
のインクジェットヘッド。
【請求項８】前記磁歪素子に熱を加える手段は、光ま
たは電磁波であることを特徴とする請求項１乃至６いず
れか記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】インクを射出するインクジェットヘッド
は、請求項１乃至８いずれか記載のインクジェットヘッ
ドであることを特徴とするインクジェットプリンタ。