JP2002141650A - フラックス転写装置及びボール搭載装置 - Google Patents
フラックス転写装置及びボール搭載装置Info
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- JP2002141650A JP2002141650A JP2000332228A JP2000332228A JP2002141650A JP 2002141650 A JP2002141650 A JP 2002141650A JP 2000332228 A JP2000332228 A JP 2000332228A JP 2000332228 A JP2000332228 A JP 2000332228A JP 2002141650 A JP2002141650 A JP 2002141650A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】フラックス転写ヘッド及びマウントヘッドの位
置ずれ量確認のため実際にフラックスを転写したり、ボ
ールを搭載する回数を大幅に減らすこと。 【解決手段】電子部品にフラックスが転写された画像又
はボールが搭載された画像を取り込む画像取込手段を有
するフラックス転写装置又はボールマウント装置に次の
ような構成を付加する。第１に、取込画像の第１のパッ
ド位置指定手段と、該パッドに向けて転写されたフラッ
クスの位置又は搭載されたボールの位置指定手段を設け
る。第２に、取込画像の第２のパッド位置指定手段と、
該パッドに向けて転写されたフラックス又は搭載された
ボールの位置指定手段とを設ける。第３に、上記指定さ
れた位置を基にフラックスの転写位置又は搭載ボール位
置と電子部品のパッドの位置とのずれを演算する演算手
段を備える。
置ずれ量確認のため実際にフラックスを転写したり、ボ
ールを搭載する回数を大幅に減らすこと。 【解決手段】電子部品にフラックスが転写された画像又
はボールが搭載された画像を取り込む画像取込手段を有
するフラックス転写装置又はボールマウント装置に次の
ような構成を付加する。第１に、取込画像の第１のパッ
ド位置指定手段と、該パッドに向けて転写されたフラッ
クスの位置又は搭載されたボールの位置指定手段を設け
る。第２に、取込画像の第２のパッド位置指定手段と、
該パッドに向けて転写されたフラックス又は搭載された
ボールの位置指定手段とを設ける。第３に、上記指定さ
れた位置を基にフラックスの転写位置又は搭載ボール位
置と電子部品のパッドの位置とのずれを演算する演算手
段を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フラックス転写装
置又はボール搭載装置の改良に関するもので、詳しくは
取込画像の電子部品のパッド位置とフラックス転写位置
又はボール搭載位置とを指定して両者のずれ量を演算す
る演算手段を備えたことを特徴とするものである。
置又はボール搭載装置の改良に関するもので、詳しくは
取込画像の電子部品のパッド位置とフラックス転写位置
又はボール搭載位置とを指定して両者のずれ量を演算す
る演算手段を備えたことを特徴とするものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より半田ボールマウント装置では、
ワークのパッド位置に正確にフラックスを転写し、更に
はその位置に正確にボールを搭載するために、マウント
ヘッドやフラックス転写ヘッドの姿勢と、ワークの姿勢
を合わせる位置決めを行っていた。
ワークのパッド位置に正確にフラックスを転写し、更に
はその位置に正確にボールを搭載するために、マウント
ヘッドやフラックス転写ヘッドの姿勢と、ワークの姿勢
を合わせる位置決めを行っていた。
【０００３】特にワークの変更に際しては、ワークのパ
ッドの位置とフラックス転写位置のずれ及びワークのパ
ッドの位置とボール搭載位置のずれを確認する必要があ
り、そのためにワークに取りあえずフラックスの転写又
はボールの搭載を行い、該ワークを半田ボールマウント
装置から取り出し顕微鏡で上記ずれを確認していた。そ
の後、Ｘ軸、Ｙ軸、Θ軸の各軸のずれ量を計算し、該ず
れ量をオフセット量のパラメータとして半田ボールマウ
ント装置のフラックス転写装置及びボール搭載装置に設
定していた。
ッドの位置とフラックス転写位置のずれ及びワークのパ
ッドの位置とボール搭載位置のずれを確認する必要があ
り、そのためにワークに取りあえずフラックスの転写又
はボールの搭載を行い、該ワークを半田ボールマウント
装置から取り出し顕微鏡で上記ずれを確認していた。そ
の後、Ｘ軸、Ｙ軸、Θ軸の各軸のずれ量を計算し、該ず
れ量をオフセット量のパラメータとして半田ボールマウ
ント装置のフラックス転写装置及びボール搭載装置に設
定していた。
【０００４】しかし、上記方法は、ワークを半田ボール
マウント装置から取り出す時間もかかる上、人がオフセ
ット量を計算するものであるため計算ミスや入力ミスが
発生しやすかった。従って何度もずれ量確認のためのフ
ラックス転写やボール搭載と計測、計算を繰り返す必要
があった。
マウント装置から取り出す時間もかかる上、人がオフセ
ット量を計算するものであるため計算ミスや入力ミスが
発生しやすかった。従って何度もずれ量確認のためのフ
ラックス転写やボール搭載と計測、計算を繰り返す必要
があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、フラックス
転写ヘッド及びマウントヘッドのオフセット量の調整に
関し、位置ずれ量確認のため実際にフラックスを転写し
たり、ボールを搭載する回数を大幅に減らすことを目的
とするものである。
転写ヘッド及びマウントヘッドのオフセット量の調整に
関し、位置ずれ量確認のため実際にフラックスを転写し
たり、ボールを搭載する回数を大幅に減らすことを目的
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、第１の発明は、電子部品を位置決めする位
置決め手段と電子部品のパッドにフラックスを転写する
フラックス転写ヘッドと電子部品にフラックスが転写さ
れた画像を取り込む画像取込手段とを有するフラックス
転写装置に次のような構成を付加する。
決するため、第１の発明は、電子部品を位置決めする位
置決め手段と電子部品のパッドにフラックスを転写する
フラックス転写ヘッドと電子部品にフラックスが転写さ
れた画像を取り込む画像取込手段とを有するフラックス
転写装置に次のような構成を付加する。
【０００７】第１に、取込画像の第１のパッドの位置を
指定する手段と、該パッドに向けて転写されたフラック
スの位置を指定する手段を設ける。第２に、取込画像の
第２のパッド位置を指定する手段と、該パッドに向けて
転写されたフラックスの位置を指定する手段とを設け
る。第３に、上記指定された位置を基にフラックスの転
写位置と電子部品のパッドの位置とのずれを演算する演
算手段を備える。
指定する手段と、該パッドに向けて転写されたフラック
スの位置を指定する手段を設ける。第２に、取込画像の
第２のパッド位置を指定する手段と、該パッドに向けて
転写されたフラックスの位置を指定する手段とを設け
る。第３に、上記指定された位置を基にフラックスの転
写位置と電子部品のパッドの位置とのずれを演算する演
算手段を備える。
【０００８】第２の発明は、電子部品を位置決めする位
置決め手段と電子部品のパッドにボールを搭載するボー
ルマウントヘッドと電子部品にボールが搭載された画像
を取り込む画像取込手段とを有するボール搭載装置に次
の手段を付加する。
置決め手段と電子部品のパッドにボールを搭載するボー
ルマウントヘッドと電子部品にボールが搭載された画像
を取り込む画像取込手段とを有するボール搭載装置に次
の手段を付加する。
【０００９】第１に、取込画像の第１のパッドの位置を
指定する手段と該パッドに向けて搭載されたボールの位
置を指定する手段を設ける。第２に、取込画像の第２の
パッド位置を指定する手段と、該パッドに向けて搭載さ
れたボールの位置を指定する手段とを設ける。第３に、
上記指定された位置を基にボール搭載位置と電子部品の
パッドの位置とのずれを演算する演算手段を備える。
指定する手段と該パッドに向けて搭載されたボールの位
置を指定する手段を設ける。第２に、取込画像の第２の
パッド位置を指定する手段と、該パッドに向けて搭載さ
れたボールの位置を指定する手段とを設ける。第３に、
上記指定された位置を基にボール搭載位置と電子部品の
パッドの位置とのずれを演算する演算手段を備える。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発
明が実施される半田ボールマウント装置の平面図であ
る。該半田ボールマウント装置は、ウエハ供給装置１
と、フラックス転写装置２と、ボール搭載装置３と、ウ
エハ移動装置４とで構成される。
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発
明が実施される半田ボールマウント装置の平面図であ
る。該半田ボールマウント装置は、ウエハ供給装置１
と、フラックス転写装置２と、ボール搭載装置３と、ウ
エハ移動装置４とで構成される。
【００１１】本発明での電子部品には通常のＢＧＡ（ボ
ールグリッドアレー）やフレーム状のＢＧＡも含まれる
が、本実施例におけるワークはウエハである。ウエハ供
給装置１は、供給用のウエハカセットや搬出用のウエハ
カセット等の各ウエハカセット５と、ウエハをウエハカ
セット５とウエハ移動装置４との間での受渡を行うクリ
ーンルーム用スカラー型のロボット６よりなる。ウエハ
はロボット６によりウエハ移動装置４のウエハ位置決め
位置７のウエハテーブル１２に載置される。
ールグリッドアレー）やフレーム状のＢＧＡも含まれる
が、本実施例におけるワークはウエハである。ウエハ供
給装置１は、供給用のウエハカセットや搬出用のウエハ
カセット等の各ウエハカセット５と、ウエハをウエハカ
セット５とウエハ移動装置４との間での受渡を行うクリ
ーンルーム用スカラー型のロボット６よりなる。ウエハ
はロボット６によりウエハ移動装置４のウエハ位置決め
位置７のウエハテーブル１２に載置される。
【００１２】ウエハ位置決め位置７の上方には、図２に
示されるように、本発明における画像取込手段となるＣ
ＣＤカメラ８が配置されており、その下方には、ウエハ
上に向いた照明器９が配備されている。ＣＣＤカメラ８
及び照明器９は、少なくともウエハ移動装置４のウエハ
位置決め位置７上方にてＹ軸（図１中上下方向）にモー
タ３０により移動可能とされている。
示されるように、本発明における画像取込手段となるＣ
ＣＤカメラ８が配置されており、その下方には、ウエハ
上に向いた照明器９が配備されている。ＣＣＤカメラ８
及び照明器９は、少なくともウエハ移動装置４のウエハ
位置決め位置７上方にてＹ軸（図１中上下方向）にモー
タ３０により移動可能とされている。
【００１３】ウエハ移動装置４には、ウエハテーブル１
２が設けられており、ウエハテーブル１２をウエハ位置
決め位置７からフラックス転写位置１０及びボールマウ
ント位置１１間を移動させるＸ軸（図１中左右方向）と
Θ軸（回転方向）の２軸の駆動機構が設けられる。Θ軸
の駆動機構は、位置決めを主たる役割として採用された
駆動機構であるが、Ｘ軸の駆動機構は、ウエハ移動の役
割と位置決めの役割を有する。ウエハテーブル１２は、
Ｘ軸駆動機構により、ウエハ位置決め位置７と、フラッ
クス転写位置１０と、ボールマウント位置１１の間を移
動停止可能とされている。
２が設けられており、ウエハテーブル１２をウエハ位置
決め位置７からフラックス転写位置１０及びボールマウ
ント位置１１間を移動させるＸ軸（図１中左右方向）と
Θ軸（回転方向）の２軸の駆動機構が設けられる。Θ軸
の駆動機構は、位置決めを主たる役割として採用された
駆動機構であるが、Ｘ軸の駆動機構は、ウエハ移動の役
割と位置決めの役割を有する。ウエハテーブル１２は、
Ｘ軸駆動機構により、ウエハ位置決め位置７と、フラッ
クス転写位置１０と、ボールマウント位置１１の間を移
動停止可能とされている。
【００１４】フラックス転写装置２は、転写ヘッド１３
及びそのＹ軸及びＺ軸駆動機構と、フラックス供給装置
１５と、転写ヘッド１３の移動路に設置された転写ヘッ
ド１３のクリーニング部１６とよりなる。尚、図中点線
で示されるウエハテーブル１２の位置はウエハ移動装置
４上のフラックス転写位置１０である。
及びそのＹ軸及びＺ軸駆動機構と、フラックス供給装置
１５と、転写ヘッド１３の移動路に設置された転写ヘッ
ド１３のクリーニング部１６とよりなる。尚、図中点線
で示されるウエハテーブル１２の位置はウエハ移動装置
４上のフラックス転写位置１０である。
【００１５】転写ヘッド１３には、図３に示されるよう
に、フラックス供給装置１５とウエハ移動装置４上のフ
ラックス転写位置１０との間を往復するＹ軸と、Ｚ軸
（昇降軸）の２軸の駆動機構が設けられている。図中１
７は、転写ヘッド１３のＺ軸駆動モータであり、図中１
８は、Ｙ軸駆動モータである。ここにおけるＹ軸の駆動
機構は、転写ヘッド１３の移動の役割とともに、転写ヘ
ッド１３とウエハの位置決めにおいても利用される。
に、フラックス供給装置１５とウエハ移動装置４上のフ
ラックス転写位置１０との間を往復するＹ軸と、Ｚ軸
（昇降軸）の２軸の駆動機構が設けられている。図中１
７は、転写ヘッド１３のＺ軸駆動モータであり、図中１
８は、Ｙ軸駆動モータである。ここにおけるＹ軸の駆動
機構は、転写ヘッド１３の移動の役割とともに、転写ヘ
ッド１３とウエハの位置決めにおいても利用される。
【００１６】ボール搭載装置３は、マウントヘッド１４
及びその駆動機構と、ボール供給装置２６と、ボール吸
着検査装置２９とで構成される。尚、図中実線で示され
るウエハテーブル１２の位置は、ウエハ移動装置４上の
ボールマウント位置１１である。
及びその駆動機構と、ボール供給装置２６と、ボール吸
着検査装置２９とで構成される。尚、図中実線で示され
るウエハテーブル１２の位置は、ウエハ移動装置４上の
ボールマウント位置１１である。
【００１７】マウントヘッド１４には、図４に示される
ように、ボール供給装置２６とウエハ移動装置４上のボ
ールマウント位置１１との間を往復するＹ軸と、Ｚ軸
（昇降軸）の２軸の駆動機構が設けられる。図中２７は
Ｚ軸駆動モータであり、図中２８はＹ軸駆動モータであ
る。ここにおけるＹ軸の駆動機構は、マウントヘッド１
４の移動の役割とともに、マウントヘッド１４とウエハ
の位置決めにおいても利用される。
ように、ボール供給装置２６とウエハ移動装置４上のボ
ールマウント位置１１との間を往復するＹ軸と、Ｚ軸
（昇降軸）の２軸の駆動機構が設けられる。図中２７は
Ｚ軸駆動モータであり、図中２８はＹ軸駆動モータであ
る。ここにおけるＹ軸の駆動機構は、マウントヘッド１
４の移動の役割とともに、マウントヘッド１４とウエハ
の位置決めにおいても利用される。
【００１８】上記のように転写ヘッド１３及びマウント
ヘッド１４の移動がＹ軸、ウエハテーブル１２の移動が
Ｘ軸、ウエハテーブル１２の回転がΘ軸なので、フラッ
クス転写位置１０及びボールマウント位置１１での位置
決めは、転写ヘッド１３又はマウントヘッド１４の単独
の位置決めではなく、両ヘッド１３，１４とウエハテー
ブル１２の相対的位置決めとなる。
ヘッド１４の移動がＹ軸、ウエハテーブル１２の移動が
Ｘ軸、ウエハテーブル１２の回転がΘ軸なので、フラッ
クス転写位置１０及びボールマウント位置１１での位置
決めは、転写ヘッド１３又はマウントヘッド１４の単独
の位置決めではなく、両ヘッド１３，１４とウエハテー
ブル１２の相対的位置決めとなる。
【００１９】本実施例における半田ボールマウント装置
には、図５及び図６に示される位置ずれ量を演算する演
算装置３１と、演算装置３１の演算結果に基づき転写ヘ
ッド１３又はマウントヘッド１４とウエハテーブル１２
の各軸（Ｙ軸、Ｘ軸、Θ軸）の駆動機構に移動若しくは
回転を指令する制御装置３２とが設けられている。尚、
図５及び図６中符号３４は、取込画像２０等を表示する
表示装置であり、符号３３は、位置指定手段等に用いら
れるマウスである。
には、図５及び図６に示される位置ずれ量を演算する演
算装置３１と、演算装置３１の演算結果に基づき転写ヘ
ッド１３又はマウントヘッド１４とウエハテーブル１２
の各軸（Ｙ軸、Ｘ軸、Θ軸）の駆動機構に移動若しくは
回転を指令する制御装置３２とが設けられている。尚、
図５及び図６中符号３４は、取込画像２０等を表示する
表示装置であり、符号３３は、位置指定手段等に用いら
れるマウスである。
【００２０】以下、本実施例に係る半田ボールマウント
装置での転写ヘッド１３及びマウントヘッド１４のずれ
量の確認及び調整手順について説明する。まず、供給用
のウエハカセット５から１枚ずつロボット６でウエハを
ウエハ位置決め位置７にあるウエハテーブル１２上に供
給する。ウエハテーブル１２では、ウエハが供給される
と図示されていないブロアモータを通して、ウエハテー
ブル１２上面の穴から真空吸引を開始し、ウエハを保持
する。
装置での転写ヘッド１３及びマウントヘッド１４のずれ
量の確認及び調整手順について説明する。まず、供給用
のウエハカセット５から１枚ずつロボット６でウエハを
ウエハ位置決め位置７にあるウエハテーブル１２上に供
給する。ウエハテーブル１２では、ウエハが供給される
と図示されていないブロアモータを通して、ウエハテー
ブル１２上面の穴から真空吸引を開始し、ウエハを保持
する。
【００２１】ウエハ位置決め位置７に保持されたウエハ
は、ウエハ位置決め位置７の上方に配置されたＣＣＤカ
メラ８により位置とずれ量が認識されると、演算装置３
１へデータが送られる。ウエハの位置認識が終了したウ
エハテーブル１２はフラックス転写位置１０へ移動す
る。
は、ウエハ位置決め位置７の上方に配置されたＣＣＤカ
メラ８により位置とずれ量が認識されると、演算装置３
１へデータが送られる。ウエハの位置認識が終了したウ
エハテーブル１２はフラックス転写位置１０へ移動す
る。
【００２２】次に、フラックス転写装置２では、フラッ
クス供給装置１５でフラックス供給をした転写ヘッド１
３がフラックス転写位置１０へ移動し、ウエハにフラッ
クスを転写する。フラックスの転写を行うときの座標
は、設定パラメータから計算した理論上の位置とウエハ
の位置決め位置７でのずれ量とオフセット量の和で決定
される。ここではオフセットのためのずれ量を算出する
のであるためオフセット量はないものとして（零とし
て）決定される。
クス供給装置１５でフラックス供給をした転写ヘッド１
３がフラックス転写位置１０へ移動し、ウエハにフラッ
クスを転写する。フラックスの転写を行うときの座標
は、設定パラメータから計算した理論上の位置とウエハ
の位置決め位置７でのずれ量とオフセット量の和で決定
される。ここではオフセットのためのずれ量を算出する
のであるためオフセット量はないものとして（零とし
て）決定される。
【００２３】フラックスが転写されたウエハは、ＣＣＤ
カメラ８により、画像が取り込まれ、表示装置３４に表
示される。まず、図５に示されるようにウエハ１９上の
あるポジションがＣＣＤカメラ８の視野に入るように
し、取込画像２０を取り込むのである。図７は、表示装
置３４に表示された、取込画像２０を示すもので、白丸
部分がパッド２１であり、黒丸部分が転写されたフラッ
クス２２である。尚、現実の取込画像２０では、黒地の
バックに、パッド２１は輝度の高い白色、フラックス２
２は輝度の低い白色で表示されている。
カメラ８により、画像が取り込まれ、表示装置３４に表
示される。まず、図５に示されるようにウエハ１９上の
あるポジションがＣＣＤカメラ８の視野に入るように
し、取込画像２０を取り込むのである。図７は、表示装
置３４に表示された、取込画像２０を示すもので、白丸
部分がパッド２１であり、黒丸部分が転写されたフラッ
クス２２である。尚、現実の取込画像２０では、黒地の
バックに、パッド２１は輝度の高い白色、フラックス２
２は輝度の低い白色で表示されている。
【００２４】該取込画像２０上である第１のパッド２１
ａ（図７中×を付した白丸部分）をマウス３３で指定す
る。図７中矢印が指定を示している。本実施例でのマウ
ス３３が、本発明における位置指定手段となる。このと
きＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座標に指定さ
れた取込画像２０上の位置を加えて第１のパッド位置
（ｘ０１，ｙ０１）を取得する。
ａ（図７中×を付した白丸部分）をマウス３３で指定す
る。図７中矢印が指定を示している。本実施例でのマウ
ス３３が、本発明における位置指定手段となる。このと
きＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座標に指定さ
れた取込画像２０上の位置を加えて第１のパッド位置
（ｘ０１，ｙ０１）を取得する。
【００２５】次に第１のパッド２１ａに実際は転写され
ていなければならないはずの第１のフラックス２２ａ
（図７中×を付した黒丸部分）をマウス３３で指定す
る。このときＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座
標に指定された取込画像２０上の第１のフラックス２２
ａの位置を加えて第１のフラックス位置（ｘ１１，ｙ１
１）を取得する。
ていなければならないはずの第１のフラックス２２ａ
（図７中×を付した黒丸部分）をマウス３３で指定す
る。このときＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座
標に指定された取込画像２０上の第１のフラックス２２
ａの位置を加えて第１のフラックス位置（ｘ１１，ｙ１
１）を取得する。
【００２６】次に図８に示すようにＣＣＤカメラ８をウ
エハ１９上の別のポジションに移動して、取込画像２３
を取り込み、第１のパッド２１ａの場合と同様に第２の
パッド２１ｂ及び第２のフラックス２２ｂを指定し、第
２のパッド位置（ｘ０２，ｙ０２）及び第２のフラック
ス位置（ｘ１２、ｙ１２）を取得する。尚、第２のパッ
ド２１ｂと第１のパッド２１ａとは遠隔のパッドである
ことが好ましい。
エハ１９上の別のポジションに移動して、取込画像２３
を取り込み、第１のパッド２１ａの場合と同様に第２の
パッド２１ｂ及び第２のフラックス２２ｂを指定し、第
２のパッド位置（ｘ０２，ｙ０２）及び第２のフラック
ス位置（ｘ１２、ｙ１２）を取得する。尚、第２のパッ
ド２１ｂと第１のパッド２１ａとは遠隔のパッドである
ことが好ましい。
【００２７】上記４つの座標、すなわち第１のパッド位
置（ｘ０１，ｙ０１）、及び第１のフラックス位置（ｘ
１１，ｙ１１）、第２のパッド位置（ｘ０２，ｙ０２）
及び第２のフラックス位置（ｘ１２、ｙ１２）から、パ
ット２１に対してのフラックス２２の転写位置のずれ量
を算出するのである。
置（ｘ０１，ｙ０１）、及び第１のフラックス位置（ｘ
１１，ｙ１１）、第２のパッド位置（ｘ０２，ｙ０２）
及び第２のフラックス位置（ｘ１２、ｙ１２）から、パ
ット２１に対してのフラックス２２の転写位置のずれ量
を算出するのである。
【００２８】これをオフセット量としてフラックス転写
装置に設定するのである。尚、一点のみのずれ量の算出
ではＸ軸及びＹ軸のみのずれ量しか算出できず、Θ軸の
ずれ量を算出するために、第１及び第２のパッド２１
ａ，２１ｂの２カ所での確認が必要なのである。
装置に設定するのである。尚、一点のみのずれ量の算出
ではＸ軸及びＹ軸のみのずれ量しか算出できず、Θ軸の
ずれ量を算出するために、第１及び第２のパッド２１
ａ，２１ｂの２カ所での確認が必要なのである。
【００２９】このオフセット量の設定により、制御装置
３２は、オフセット量と設定パラメータから計算した理
論上の位置とウエハのウエハテーブル１２上でのずれ量
とを加えて転写ヘッド１３の１軸（Ｙ軸）とウエハテー
ブル１２の２軸（Ｘ軸、Θ軸）に対し、移動指令を出力
する。これに基づき、転写ヘッド１３のＹ軸、ウエハテ
ーブル１２のＸ軸及びΘ軸の各駆動機構が作動し位置合
わせを行うのである。
３２は、オフセット量と設定パラメータから計算した理
論上の位置とウエハのウエハテーブル１２上でのずれ量
とを加えて転写ヘッド１３の１軸（Ｙ軸）とウエハテー
ブル１２の２軸（Ｘ軸、Θ軸）に対し、移動指令を出力
する。これに基づき、転写ヘッド１３のＹ軸、ウエハテ
ーブル１２のＸ軸及びΘ軸の各駆動機構が作動し位置合
わせを行うのである。
【００３０】上記例はＣＣＤカメラ８の視野が狭い場合
の例で、２つの異なるポジションの取込画像２０，２３
を取り込んだものであるが、ＣＣＤカメラ８の視野が広
い場合、図９に示すように取込画像２５は一つとし、該
取込画像２５内の２カ所を第１及び第２のパッド２１
ａ，２１ｂとして指定しても良い。
の例で、２つの異なるポジションの取込画像２０，２３
を取り込んだものであるが、ＣＣＤカメラ８の視野が広
い場合、図９に示すように取込画像２５は一つとし、該
取込画像２５内の２カ所を第１及び第２のパッド２１
ａ，２１ｂとして指定しても良い。
【００３１】他方、ボール搭載装置３での位置ずれ量の
確認及び調整手順もフラックス転写装置とほぼ同様であ
る。しかし、マウントヘッド１４で半田ボールをウエハ
１９上に搭載するにはフラックスが転写されていなけれ
ばならないので、ずれ確認のためフラックスをウエハ１
９全面に塗布したものを用いてボール搭載を行う。
確認及び調整手順もフラックス転写装置とほぼ同様であ
る。しかし、マウントヘッド１４で半田ボールをウエハ
１９上に搭載するにはフラックスが転写されていなけれ
ばならないので、ずれ確認のためフラックスをウエハ１
９全面に塗布したものを用いてボール搭載を行う。
【００３２】ウエハ位置決め位置７に保持され、全面に
フラックスが塗布されたウエハは、ウエハ位置決め位置
７の上方に配置されたＣＣＤカメラ８により位置とずれ
量が認識されると、演算装置３１へデータが送られる。
ウエハの位置認識が終了したウエハテーブル１２はボー
ルマウント位置１１へ送られる。
フラックスが塗布されたウエハは、ウエハ位置決め位置
７の上方に配置されたＣＣＤカメラ８により位置とずれ
量が認識されると、演算装置３１へデータが送られる。
ウエハの位置認識が終了したウエハテーブル１２はボー
ルマウント位置１１へ送られる。
【００３３】ボール搭載装置３では、マウントヘッド１
４は、ボール供給装置２６で半田ボールをマウントヘッ
ド１４下面の吸着孔に吸着し、ボール吸着検査装置２９
を経て、ボールマウント位置１１へ移動する。全面にフ
ラックスが塗布されているウエハ１９に半田ボールを搭
載する。半田ボールを搭載するときの座標は、設定パラ
メータから計算した理論上の位置とウエハの位置決め位
置７でのずれ量とオフセット量の和で決定されるが、こ
こではオフセット量はないものとして（零として）決定
される。
４は、ボール供給装置２６で半田ボールをマウントヘッ
ド１４下面の吸着孔に吸着し、ボール吸着検査装置２９
を経て、ボールマウント位置１１へ移動する。全面にフ
ラックスが塗布されているウエハ１９に半田ボールを搭
載する。半田ボールを搭載するときの座標は、設定パラ
メータから計算した理論上の位置とウエハの位置決め位
置７でのずれ量とオフセット量の和で決定されるが、こ
こではオフセット量はないものとして（零として）決定
される。
【００３４】半田ボールが転写されたウエハは、ＣＣＤ
カメラ８により、その画像が取り込まれる。まず、図５
乃至図９はフラックス転写の場合の図ではあるが、ボー
ル搭載装置３の場合にも同様である。ウエハ１９上のあ
る部分がＣＣＤカメラの視野に入る位置にＣＣＤカメラ
８が移動し、取込画像２０を取り込む。図７は取込画像
２０を示すもので、ボール搭載装置３での取込画像２０
と考えると、白丸部分がパッド２１であり、黒丸部分が
搭載された半田ボール２２となる。尚、現実の取込画像
２０では、黒地のバックに、パッド２１は輝度の高い白
色、半田ボール２２は輝度の低い白色で表示されてい
る。
カメラ８により、その画像が取り込まれる。まず、図５
乃至図９はフラックス転写の場合の図ではあるが、ボー
ル搭載装置３の場合にも同様である。ウエハ１９上のあ
る部分がＣＣＤカメラの視野に入る位置にＣＣＤカメラ
８が移動し、取込画像２０を取り込む。図７は取込画像
２０を示すもので、ボール搭載装置３での取込画像２０
と考えると、白丸部分がパッド２１であり、黒丸部分が
搭載された半田ボール２２となる。尚、現実の取込画像
２０では、黒地のバックに、パッド２１は輝度の高い白
色、半田ボール２２は輝度の低い白色で表示されてい
る。
【００３５】該取込画像２０上である第１のパッド２１
ａ（図７中×を付した白丸部分）をマウス３３で指定す
る。図７中矢印はマウス３３での指定を意味している。
このときＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座標に
指定された取込画像２０上の位置を加えて第１のパッド
位置（ｘ０１，ｙ０１）を算出する。
ａ（図７中×を付した白丸部分）をマウス３３で指定す
る。図７中矢印はマウス３３での指定を意味している。
このときＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座標に
指定された取込画像２０上の位置を加えて第１のパッド
位置（ｘ０１，ｙ０１）を算出する。
【００３６】次にそのパッド２１ａに実際は搭載されて
いなければならないはずの半田ボール２２ｂ（図７中×
を付した黒丸部分）をマウス３３で指定する。このとき
ＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座標に指定され
た取込画像２０上の位置を加えて第１のボール位置（ｘ
１１，ｙ１１）を算出する。
いなければならないはずの半田ボール２２ｂ（図７中×
を付した黒丸部分）をマウス３３で指定する。このとき
ＣＣＤカメラ８とウエハテーブル１２の座標に指定され
た取込画像２０上の位置を加えて第１のボール位置（ｘ
１１，ｙ１１）を算出する。
【００３７】次にボール搭載装置３においても図８に示
すようにＣＣＤカメラ８をウエハ１９上の別のポジショ
ンに移動して、取込画像２３を取り込み、第２のパッド
２１ｂ及び第２のボール２２ｂを指定し、第２のパッド
位置（ｘ０２，ｙ０２）及び第２のボール位置（ｘ１
２、ｙ１２）を取得する。図８中の矢印もマウス３３に
よる指定を意味する。
すようにＣＣＤカメラ８をウエハ１９上の別のポジショ
ンに移動して、取込画像２３を取り込み、第２のパッド
２１ｂ及び第２のボール２２ｂを指定し、第２のパッド
位置（ｘ０２，ｙ０２）及び第２のボール位置（ｘ１
２、ｙ１２）を取得する。図８中の矢印もマウス３３に
よる指定を意味する。
【００３８】上記例はＣＣＤカメラ８の視野が狭い場合
の例で、２つの取込画像２０，２３を取り込んだもので
あるが、ＣＣＤカメラ８の視野が広い場合、取込画像２
５は一つとし、該取込画像２５内の２カ所を第１及び第
２のパッド２１ａ，２１ｂとして指定しても良い。この
点もフラックス転写装置と同様である。
の例で、２つの取込画像２０，２３を取り込んだもので
あるが、ＣＣＤカメラ８の視野が広い場合、取込画像２
５は一つとし、該取込画像２５内の２カ所を第１及び第
２のパッド２１ａ，２１ｂとして指定しても良い。この
点もフラックス転写装置と同様である。
【００３９】上記４つの座標、すなわち第１のパッド位
置（ｘ０１，ｙ０１）、及び第１のボール位置（ｘ１
１，ｙ１１）、第２のパッド位置（ｘ０２，ｙ０２）及
び第２のボール位置（ｘ１２、ｙ１２）から、パットに
対してのボール搭載位置のずれ量を算出するのである。
置（ｘ０１，ｙ０１）、及び第１のボール位置（ｘ１
１，ｙ１１）、第２のパッド位置（ｘ０２，ｙ０２）及
び第２のボール位置（ｘ１２、ｙ１２）から、パットに
対してのボール搭載位置のずれ量を算出するのである。
【００４０】これをオフセット量としてボール搭載装置
に設定するのである。従って、次回のボール搭載からオ
フセット量として該計算結果をパラメータに反映するこ
とができる。尚、一点のみのずれ量の算出ではＸ軸及び
Ｙ軸のみのずれ量しか算出できず、Θ軸のずれ量を算出
するために、第１及び第２のパッド２１ａ，２１ｂの２
カ所での確認が必要なのである。
に設定するのである。従って、次回のボール搭載からオ
フセット量として該計算結果をパラメータに反映するこ
とができる。尚、一点のみのずれ量の算出ではＸ軸及び
Ｙ軸のみのずれ量しか算出できず、Θ軸のずれ量を算出
するために、第１及び第２のパッド２１ａ，２１ｂの２
カ所での確認が必要なのである。
【００４１】このオフセット量の設定により、制御装置
３２は、オフセット量と設定パラメータから計算した理
論上の位置とウエハのウエハテーブル１２上でのずれ量
とを加えてマウントヘッド１４の１軸（Ｙ軸）とウエハ
テーブル１２の２軸（Ｘ軸、Θ軸）に対し、移動指令を
出す。これに基づき、マウントヘッド１４のＹ軸、ウエ
ハテーブル１２のＸ軸及びΘ軸の各駆動機構が作動し位
置合わせを行うのである。
３２は、オフセット量と設定パラメータから計算した理
論上の位置とウエハのウエハテーブル１２上でのずれ量
とを加えてマウントヘッド１４の１軸（Ｙ軸）とウエハ
テーブル１２の２軸（Ｘ軸、Θ軸）に対し、移動指令を
出す。これに基づき、マウントヘッド１４のＹ軸、ウエ
ハテーブル１２のＸ軸及びΘ軸の各駆動機構が作動し位
置合わせを行うのである。
【００４２】上記転写ヘッド１３及びマウントヘッド１
４のずれ量の確認は１回の例で示したが、複数回行い、
その平均を求めるとより精度の高いずれ量の算出が可能
となる。
４のずれ量の確認は１回の例で示したが、複数回行い、
その平均を求めるとより精度の高いずれ量の算出が可能
となる。
【００４３】
【発明の効果】本発明は、電子部品にフラックスが転写
された画像を取り込む画像取込手段を有するフラックス
転写装置において、取込画像の第１のパッドの位置を指
定する手段と、該パッドに向けて転写されたフラックス
の位置を指定する手段と、取込画像の第２のパッド位置
を指定する手段と、該パッドに向けて転写されたフラッ
クスの位置を指定する手段とを設け、上記指定された位
置を基にフラックスの転写位置と電子部品のパッドの位
置とのずれを演算する演算手段を備えものであるため、
フラックス転写ヘッドのオフセット量の調整に関し、人
手による入力ミスをなくし、フラックスを実際に転写す
る回数を減らすことができ、更に、電子部品を半田ボー
ルマウント装置から取り出さずに作業ができるので、調
整のための時間を短縮することができるものとなった。
された画像を取り込む画像取込手段を有するフラックス
転写装置において、取込画像の第１のパッドの位置を指
定する手段と、該パッドに向けて転写されたフラックス
の位置を指定する手段と、取込画像の第２のパッド位置
を指定する手段と、該パッドに向けて転写されたフラッ
クスの位置を指定する手段とを設け、上記指定された位
置を基にフラックスの転写位置と電子部品のパッドの位
置とのずれを演算する演算手段を備えものであるため、
フラックス転写ヘッドのオフセット量の調整に関し、人
手による入力ミスをなくし、フラックスを実際に転写す
る回数を減らすことができ、更に、電子部品を半田ボー
ルマウント装置から取り出さずに作業ができるので、調
整のための時間を短縮することができるものとなった。
【００４４】請求項２記載の発明の効果ではあるが、電
子部品にボールが搭載された画像を取り込む画像取込手
段を有し、取込画像の第１のパッドの位置を指定する手
段と該パッドに向けて搭載されたボールの位置を指定す
る手段と、取込画像の第２のパッド位置を指定する手段
と、該パッドに向けて搭載されたボールの位置を指定す
る手段とを設け、上記指定された位置を基にボール搭載
位置と電子部品のパッドの位置とのずれを演算する演算
手段を備えたことを特徴とするボール搭載装置とするこ
とにより、マウントヘッドのオフセット量の調整に関
し、人手による入力ミスをなくし、位置ずれ量確認のた
め実際にボールを搭載する回数を大幅に減らすことがで
き、更に、電子部品を半田ボールマウント装置から取り
出さずに作業ができるので、調整のための時間を短縮す
ることができるものとなった。
子部品にボールが搭載された画像を取り込む画像取込手
段を有し、取込画像の第１のパッドの位置を指定する手
段と該パッドに向けて搭載されたボールの位置を指定す
る手段と、取込画像の第２のパッド位置を指定する手段
と、該パッドに向けて搭載されたボールの位置を指定す
る手段とを設け、上記指定された位置を基にボール搭載
位置と電子部品のパッドの位置とのずれを演算する演算
手段を備えたことを特徴とするボール搭載装置とするこ
とにより、マウントヘッドのオフセット量の調整に関
し、人手による入力ミスをなくし、位置ずれ量確認のた
め実際にボールを搭載する回数を大幅に減らすことがで
き、更に、電子部品を半田ボールマウント装置から取り
出さずに作業ができるので、調整のための時間を短縮す
ることができるものとなった。
【図１】半田ボールマウント装置の平面図
【図２】ＣＣＤカメラを示す側面図
【図３】フラックス転写装置の側面図
【図４】ボール搭載装置の側面図
【図５】ＣＣＤカメラの画像取込位置を示す説明図
【図６】ＣＣＤカメラの移動を示す説明図
【図７】第１のパッドの存在する取込画像の説明図
【図８】第２のパッドの存在する取込画像の説明図
【図９】第１及び第２のパッドが存在する取込画像の説
明図
明図
１．．．．．．．．ウエハ供給装置 ２．．．．．．．．フラックス転写装置 ３．．．．．．．．ボール搭載装置 ４．．．．．．．．ウエハ移動装置 ５．．．．．．．．ウエハカセット ６．．．．．．．．ロボット ７．．．．．．．．ウエハ位置決め位置 ８．．．．．．．．ＣＣＤカメラ ９．．．．．．．．照明器 １０．．．．．．．フラックス転写位置 １１．．．．．．．ボールマント位置 １２．．．．．．．ウエハテーブル １３．．．．．．．転写ヘッド １４．．．．．．．マウントヘッド １５．．．．．．．フラックス供給装置 １６．．．．．．．クリーニング部 １７，２７．．．．Ｚ軸駆動モータ １８，２８．．．．Ｙ軸駆動モータ １９．．．．．．．ウエハ ２０．．．．．．．取込画像 ２１．．．．．．．パッド ２１ａ．．．．．．第１のパッド ２１ｂ．．．．．．第２のパッド ２２．．．．．．．フラックス（半田ボール） ２２ａ．．．．．．第１のフラックス（第１のボール） ２２ｂ．．．．．．第２のフラックス（第２のボール） ２３．．．．．．．取込画像 ２５．．．．．．．取込画像 ２６．．．．．．．ボール供給装置 ２９．．．．．．．ボール吸着検査装置 ３０．．．．．．．モータ ３１．．．．．．．演算装置 ３２．．．．．．．制御装置 ３３．．．．．．．マウス ３４．．．．．．．表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２３Ｋ 3/06 Ｂ２３Ｋ 3/06 Ｈ Ｈ０１Ｌ 21/60 101:40 // Ｂ２３Ｋ 101:40 Ｈ０１Ｌ 21/92 ６０４Ｈ
Claims (2)
- 【請求項１】電子部品を位置決めする位置決め手段と電
子部品のパッドにフラックスを転写するフラックス転写
ヘッドと電子部品にフラックスが転写された画像を取り
込む画像取込手段とを有するフラックス転写装置におい
て、取込画像の第１のパッドの位置を指定する手段と、
該パッドに向けて転写されたフラックスの位置を指定す
る手段と、取込画像の第２のパッド位置を指定する手段
と、該パッドに向けて転写されたフラックスの位置を指
定する手段とを設け、上記指定された位置を基にフラッ
クスの転写位置と電子部品のパッドの位置とのずれを演
算する演算手段を備えたことを特徴とするフラックス転
写装置。 - 【請求項２】電子部品を位置決めする位置決め手段と電
子部品のパッドにボールを搭載するボールマウントヘッ
ドと電子部品にボールが搭載された画像を取り込む画像
取込手段とを有するボール搭載装置において、取込画像
の第１のパッドの位置を指定する手段と該パッドに向け
て搭載されたボールの位置を指定する手段と、取込画像
の第２のパッド位置を指定する手段と、該パッドに向け
て搭載されたボールの位置を指定する手段とを設け、上
記指定された位置を基にボール搭載位置と電子部品のパ
ッドの位置とのずれを演算する演算手段を備えたことを
特徴とするボール搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000332228A JP2002141650A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | フラックス転写装置及びボール搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000332228A JP2002141650A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | フラックス転写装置及びボール搭載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002141650A true JP2002141650A (ja) | 2002-05-17 |
Family
ID=18808459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000332228A Pending JP2002141650A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | フラックス転写装置及びボール搭載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002141650A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007294713A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Renesas Technology Corp | 制御データ作成方法 |
| JP2008277701A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Athlete Fa Kk | 搭載装置およびこれを制御する方法 |
| JP2010212722A (ja) * | 2010-05-13 | 2010-09-24 | Athlete Fa Kk | ボール搭載方法 |
| JP2013098474A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Hioki Ee Corp | 球状体搭載装置および球状体搭載方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03187746A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-15 | Sony Corp | スクリーン印刷装置 |
| JPH08250846A (ja) * | 1995-03-07 | 1996-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の半田付け用フラックスおよびその塗布装置および電子部品の半田付け方法 |
| JPH1154562A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体パッケージ |
| JPH11163503A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 半田ボールマウント装置 |
-
2000
- 2000-10-31 JP JP2000332228A patent/JP2002141650A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH03187746A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-15 | Sony Corp | スクリーン印刷装置 |
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| JP2007294713A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Renesas Technology Corp | 制御データ作成方法 |
| JP2008277701A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Athlete Fa Kk | 搭載装置およびこれを制御する方法 |
| JP2010212722A (ja) * | 2010-05-13 | 2010-09-24 | Athlete Fa Kk | ボール搭載方法 |
| JP2013098474A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Hioki Ee Corp | 球状体搭載装置および球状体搭載方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070730 |
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| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20091028 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20091110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100112 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100720 |