JP2002137927A5

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Info

Publication number: JP2002137927A5
Application number: JP2000390823A
Authority: JP
Filing date: 2000-12-22
Publication date: 2005-06-30
Anticipated expiration: 2020-12-22

Claims

金属元素を含有しプラズマ耐食性の増大した石英ガラスであり、該石英ガラス中の泡と異物の含有量が１００ｃｍ³あたりの投影面積で１００ｍｍ²未満であることを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラス。
前記金属元素の弗化物の沸点が、Ｓｉの弗化物の沸点より高温度であることを特徴とする請求項１記載のプラズマ耐食性に優れた石英ガラス。
前記金属元素の濃度が０．１〜２０ｗｔ％であることを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマ耐食性に優れた石英ガラス。
前記金属元素が、Ａｌ、Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｌａ、Ｃｅ及びＧｄからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載のプラズマ耐食性に優れた石英ガラス。
請求項１〜４のいずれか１項に記載された石英ガラスにより作成され、表面から所定の深さまでの厚さを有するとともに前記金属元素を０．１〜２０ｗｔ％含有する金属元素含有層を形成したことを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラス治具。
前記金属元素含有層の厚さが少なくとも５ｍｍであることを特徴とする請求項５記載のプラズマ耐食性に優れた石英ガラス治具。
ベルヌイ法で石英粉からプラズマ耐食性に優れた石英ガラスインゴットを作成する方法であり、金属元素粉或いはその化合物粉を、石英粉に混合し、加熱溶融落下させ石英ガラスインゴットを作成する際、該石英ガラスインゴット表面温度を、１８００℃以上に加熱することを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラスの製造方法。
ベルヌイ法で石英粉からプラズマ耐食性に優れた石英ガラスインゴットを作成する方法であり、石英粉を加熱溶融落下させ石英ガラスインゴットを作成すると同時に、金属元素或いはその化合物を純水、酸性溶液、塩基性溶液または有機溶媒に溶解させ作成した溶液を、該石英ガラスインゴットの成長表面に連続的に滴下することを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラスの製造方法。
予め用意された多孔質ＳｉＯ₂体を、前記金属元素の密度が（０．１〜１０ｍｏｌ）／２２．４リットルの範囲の雰囲気中に静置し、加熱処理することを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラスの製造方法。
前記加熱温度が、前記金属元素或いはその化合物の沸点、昇華点及び分解点以上であり、処理圧力が、１〜１０気圧の範囲であることを特徴とする請求項９記載の製造方法。
全体の粒径分布が、０．０１〜１０００μｍの範囲にあり、且つ、そのうち０．０１〜５μｍの範囲の粒子群の重量比が１〜５０ｗｔ％である石英ガラス粉体と、純水、酸性溶液、塩基性溶液または有機溶媒に溶解可能な金属元素或いはその化合物を、純水、酸性溶液、塩基性溶液または有機溶媒中で混合溶解してスラリーを作成し、該スラリーを乾燥固化させた後に、真空下で加熱溶融することを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラスの製造方法。
前記金属化合物が硝酸化合物であり、溶媒が、純水であることを特徴とする請求項１１記載のプラズマ耐食性に優れた石英ガラスの製造方法。
前記金属元素が、Ａｌ、Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｌａ、Ｃｅ及びＧｄからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項７〜１２のいずれか１項記載のプラズマ耐食性に優れた石英ガラスの製造方法。
純水、酸性溶液、塩基性溶液または有機溶媒に溶解可能な金属元素或いはその化合物を純水、酸性溶液、塩基性溶液または有機溶媒中で混合溶解して作成された溶液を、予め用意された石英ガラス治具表面に塗布し、その後、その表面を加熱溶融することを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラス治具の製造方法。
前記金属元素を含む溶液が、金属元素を含む有機金属化合物液或いはそれを有機溶媒に溶解して作成した溶液であることを特徴とする請求項１４記載の製造方法。
前記金属元素が、Ａｌ、Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｌａ、Ｃｅ及びＧｄからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１４又は１５記載の製造方法。
予め用意された石英ガラス治具が請求項７〜１３のいずれか１項記載の製造方法により製造されたものであることを特徴とする請求項１４〜１６のいずれか１項記載の製造方法。