JP2002137158A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】研磨テープを効率良く使用でき、かつ、研磨能
力の低下もなくすことができる研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨テープＴが装着される研磨ヘッド本体
３と、研磨ヘッド本体３を支持する支持部材１と、被研
磨材が装着される研磨台２とを備え、研磨テープＴを研
磨台２の設置面２４に設置した被研磨材に接触させなが
ら、研磨ヘッド本体３を支持部材１に対して研磨台２の
設置面２４と直交する線を軸線Ｚとして回転させるよう
にした研磨装置であって、研磨テープＴは、研磨台２に
設置された被研磨材に接触させる研磨テープＴの接触部
が研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚよりも径方向外方に位
置するように研磨ヘッド本体３に装着されている構成と
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨テープが装着
される研磨ヘッド本体と、研磨ヘッド本体を支持する支
持部材と、被研磨材が装着される研磨台とを備え、研磨
テープを研磨台の設置面に設置した被研磨材に接触させ
ながら、研磨ヘッド本体を支持部材に対して研磨台の設
置面と直交する線を軸線として回転させるようにした研
磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】今日、ワープロ、パソコン、テレビなど
のディスプレイとして液晶ディスプレイが利用されてき
ており、また、ワープロ、パソコンといった電子機器に
は、半導体チップなどの電子素子を取り付けるための配
線が形成されたプリント基板が利用されている。

【０００３】液晶ディスプレイについては、種々の処理
がなされたガラス基板を切断した後、その間に液晶を注
入して封止し、さらに偏光板を接着することで製造され
るのであるが、液晶ディスプレイの製造工程中、ガラス
基板を切断する際にガラスの切り粉が発生してガラス表
面に付着したり、液晶の封止の際に使用した樹脂の残存
物がガラス表面に固着したりして、これが不良品発生の
主要な原因となっていた。

【０００４】そこで液晶ディスプレイの製造不良品をな
くすためにはこれら異物を除去する必要があり、従来で
は手作業により、カッターナイフによる切削作業や、あ
るいはアセトン、アルコールなどの溶剤を用いた異物の
除去作業が行われていた。しかし、手作業による異物の
除去は、液晶ディスプレイの生産性を悪くし、またその
品質が一定に維持されにくい問題がある。

【０００５】また、プリント基板の製造に際しては、基
板に配線を形成するために、薄膜の形成、除去などの化
学的処理、穴空け、切断などの物理的処理を行うが、そ
のために、基板の表面、裏面を研磨する必要がある。

【０００６】そこで、液晶ガラス基板、プリント基板等
の平坦な被研磨材を研磨テープにより研磨またはクリー
ニングする研磨装置が提案されており、この研磨装置Ａ
は、特開平１１−１９８５９号公報に記載され、かつ、
図７および図８に示すように、研磨テープＢが装着され
る研磨ヘッド本体Ｃと、研磨ヘッド本体Ｃを支持する支
持部材Ｄと、研磨ヘッド本体Ｃの下方に設置され被研磨
材が装着される研磨台（図示せず）とを備えている。

【０００７】そして、従来の研磨装置Ａは、研磨ヘッド
本体Ｃに装着された研磨テープＢを研磨台上に設置され
た被研磨材の表面に接触させながら、研磨ヘッド本体Ｃ
を支持部材Ｄに対して研磨台の面と直交する線を軸線と
して回転させるように構成されている。

【０００８】さらに、研磨ヘッド本体Ｃは、研磨テープ
Ｂを複数の走行ローラーＥで走行させながら被研磨材を
研磨するようにもなっており、研磨ヘッド本体Ｃの内部
に、研磨テープＢが巻かれたロールが取り付けられる供
給ローラーＦと、供給ローラーＦから引き出された研磨
テープＢを巻き取るための巻取りローラーＧとが取り付
けられ、研磨ヘッド本体Ｃ内に設ける研磨テープ搬送用
モータＨにより、巻取りローラーＧ及び走行ローラーＥ
の一部を回転駆動させて、研磨テープＢが供給ローラー
Ｆから引き出され、複数の走行ローラーＥで研磨テープ
Ｂを搬送しながら、研磨ヘッド本体Ｃの下端に設ける押
え付けローラーＥ１を通過させた後、巻取りローラーＧ
で巻き取るようになっている。

【０００９】また、研磨ヘッド本体Ｃの下端に設ける押
え付けローラーＥ１は、押え付けローラーＥ１の軸線と
研磨ヘッド本体Ｃの回転中心とを直交させて研磨台に対
して水平になるように設けられ、研磨テープＢを走行さ
せながら押え付けローラーＥ１により研磨テープＢを研
磨台上の被研磨材に押し付けるようになっている。

【００１０】さらに、支持部材Ｄに設ける研磨ヘッド本
体回転用モータＪにより、研磨ヘッド本体Ｃを研磨台の
被研磨材設置面と直交する方向に延びる軸線を中心に回
転させるようになっている。

【００１１】以上のように、従来の研磨装置Ａでは、研
磨テープＢを研磨ヘッド本体Ｃに設ける研磨テープ搬送
用モータＨにより研磨テープＢを走行ローラーＥに沿っ
て走行させながら、研磨ヘッド本体Ｃを支持部材Ｄに対
して回転させて、研磨テープＢを押え付けローラーＥ１
により研磨台上に設置される被研磨材に接触させること
により、被研磨材の表面を自動的に研磨するようにして
いる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図７及び図
８に示す研磨装置Ａでは、一本の研磨テープＢを複数の
走行ローラーＥで走行させながら、研磨ヘッド本体Ｃも
回転させて研磨するようにしていることから、研磨ヘッ
ド本体Ｃが回転すると、押え付けローラーＥ１の軸線と
研磨ヘッド本体Ｃの回転中心とが交差する点を中心にし
て研磨ヘッド本体Ｃの下端に設ける押え付けローラーＥ
１が旋回することになる。即ち、研磨テープＢの幅方向
の中心を軸心として回転することとなる。

【００１３】このとき、押え付けローラーＥ１のローラ
ー面全面にわたって研磨テープＢを接触させると、研磨
ヘッド本体Ｃの回転時に押え付けローラーＥ１による研
磨テープＢの被研磨材への押し付けで研磨テープＢがね
じれ、テープの幅方向中央部分において大きな皺が生
じ、研磨が良好に行えない問題があった。

【００１４】そのため、従来の研磨装置では、図８に示
すように、押え付けローラーＥ１を、幅方向中央部のロ
ーラー径が両端側のローラー径よりも小径となるように
形成し、押え付けローラーＥ１の幅方向中央部において
研磨テープＢがローラー面に接触しないようにしてい
る。

【００１５】しかしながら、押え付けローラーＥ１の中
央部に研磨テープＢとの非接触部分が形成されてしまう
と、研磨テープＢの幅方向中央部において被研磨材への
押え付けが行えなくなることから、研磨テープＢの幅方
向中央部においては研磨がなされず未使用部分が生じて
しまい、研磨テープＢに無駄が生じ、効率良く使用する
ことができなかった。

【００１６】また、押え付けローラーＥ１は、ローラー
軸と直交する研磨ヘッド本体Ｃの回転軸線を中心にして
旋回させながら、ローラー軸を中心にして回転させるよ
うな構造となっているため、研磨ヘッド本体Ｃの回転軸
線に対し、押え付けローラーＥ１の軸方向長さの一方側
半分と他方側半分とでは、押え付けローラーＥ１のロー
ラー軸を中心にした回転と研磨ヘッド本体Ｃの回転との
関係で研磨能力が異なってしまい、研磨テープＢの幅方
向半分の研磨能力が低下してしまう不具合もある。

【００１７】そこで、本発明は、研磨テープを効率良く
使用でき、かつ、研磨能力の低下もなくすことができる
研磨装置を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の発明は、研磨テープが装着される研磨ヘッド本体と、
研磨ヘッド本体を支持する支持部材と、被研磨材が装着
される研磨台とを備え、研磨テープを研磨台の設置面に
設置した被研磨材に接触させながら、研磨ヘッド本体を
支持部材に対して研磨台の設置面と直交する線を軸線と
して回転させるようにした研磨装置であって、研磨テー
プは、研磨台に設置された被研磨材に接触させる研磨テ
ープの接触部が研磨ヘッド本体の回転軸線よりも径方向
外方に位置するように研磨ヘッド本体に装着されている
構成とした。

【００１９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の研磨装置において、研磨ヘッド本体に、被研磨材の表
面を切削するカッターを設け、カッターと研磨テープの
被研磨材への接触部とを同一平面上に位置させるととも
に、カッターを研磨ヘッド本体の回転軸線よりも径方向
外方に位置させている構成とした。

【００２０】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の研磨装置において、研磨テープの被研磨材への接触部
と被研磨材の表面を切削するカッターとを同一線上で、
かつ、研磨ヘッド本体の回転軸線に対して対称となるよ
うに位置させている構成とした。

【００２１】請求項４に記載の発明は、請求項１から請
求項３の何れかに記載の研磨装置において、研磨ヘッド
本体に研磨テープを被研磨材に接触させるための押え付
け部を設け、この押え付け部において研磨テープの被研
磨材への接触部を構成するとともに、押え付け部をロー
ラーから構成し、ローラーは研磨テープを一方向に走行
させるように回転可能となっており、押え付け部は、ロ
ーラーの軸線が研磨ヘッド本体の回転軸線と直交し、か
つ、同一平面上に位置するように複数個設けられるとと
もに、全てのローラーが研磨ヘッド本体の回転中に被研
磨材の所定の位置において同一方向にローラー軸線を中
心にして回転するようにしている構成とした。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明にかかる第１の実施形態に
ついての研磨装置の全体構成図を図１および図２に示
す。研磨装置は、箱状の下部フレーム部１１と、下部フ
レーム部１１の上部四隅に取り付けられる４本の支柱フ
レーム部１２と、４本の支柱フレーム部１２の上部位置
で支持される上部フレーム部１３とを備える支持部材１
を備えている。

【００２３】支持部材１の下部フレーム部１１上には、
被研磨材が設置される研磨台２が設けられており、この
研磨台２は、多数の小さな穴が形成されたゴム製のエン
ドレスベルト２２と、このエンドレスベルト２２が掛け
渡されてエンドレスベルト２２を走行させるための複数
の駆動ローラー２３とから構成される被研磨材搬送機構
２１を備えている。

【００２４】そして、被研磨材が設置される設置面２４
をエンドレスベルト２２上に設けており、エンドレスベ
ルト２２に水平走行させる部分が形成されるように駆動
ローラー２３でエンドレスベルト２２を支持させて水平
走行部分を設置面２４としている。そして、設置面２４
におけるエンドレスベルト２２の下面側には、エンドレ
スベルト２２に形成した多数の貫通穴を介して被研磨材
をエンドレスベルト２２に吸着させるための吸着手段２
５を設けている。吸着手段２５は、真空装置により構成
されている。なお、被研磨材の固定はこれに限らず、留
め具により設置面２４上に固定するようにしても良い。

【００２５】以上の研磨台２は、エンドレスベルト２２
における水平走行部分の端部に被研磨材を載せると、駆
動ローラー２３による回転駆動でエンドレスベルト２２
が走行し、被研磨材が所定の研磨位置まで運ばれ、吸着
手段２５により被研磨材がエンドレスベルト２２の設置
面２４に吸着されて被研磨材の動きが阻止されるように
なっている。なお、研磨台２の設置面２４近く上方に
は、研磨作業時にノズルから水を供給して研磨効率を上
げるための水供給部２６が配設されている。

【００２６】さらに、研磨台２の上方位置に設ける支持
部材１の上部フレーム部１３に、研磨テープＴが走行可
能に装着される研磨ヘッド本体３が上部フレーム部１３
に設ける水平移動装置４および昇降装置５を介して取り
付けられている。

【００２７】上部フレーム部１３に設ける水平移動装置
４は、研磨ヘッド本体３をＸ軸方向（図１に示すＸ方
向）に移動させるためのＸ軸方向移動機構４１およびＹ
軸方向（図２に示すＹ方向）に移動させるためのＹ軸方
向移動機構４２とを備えている。

【００２８】Ｘ軸方向移動機構４１は、上部フレーム部
１３に固定される２本のＸ軸方向移動用レール部材４１
ａ，４１ａと、このＸ軸方向移動用レール部材４１ａ，
４１ａに嵌め合わされるＸ軸方向移動用嵌合部材４１
ｂ，４１ｂと、Ｘ軸方向移動用嵌合部材４１ｂ，４１ｂ
が下面に固定されるＸ軸方向移動用フレーム４１ｃと、
Ｘ軸方向移動用フレーム４１ｃをＸ軸方向移動用レール
部材４１ａ，４１ａに沿って移動させるためのＸ軸方向
移動用モータ４１ｄとから構成される。

【００２９】Ｙ軸方向移動機構４２は、Ｘ軸方向移動用
フレーム４１ｃの上面に固定される２本のＹ軸方向移動
用レール部材４２ａ，４２ａと、このＹ軸方向移動用レ
ール部材４２ａ，４２ａに嵌め合わされるＹ軸方向移動
用嵌合部材４２ｂ，４２ｂと、Ｙ軸方向移動用嵌合部材
４２ｂ，４２ｂが下面に固定されるＹ軸方向移動用フレ
ーム４２ｃと、Ｙ軸方向移動用フレーム４２ｃをＹ軸方
向移動用レール部材４２ａ，４２ａに沿って移動させる
ためのＹ軸方向移動用モータ４２ｄとから構成される。

【００３０】さらに、水平移動装置４に昇降装置５が組
みつけられており、この昇降装置５により研磨ヘッド本
体３を上下方向へ移動させるようになっている。なお、
昇降装置５は、研磨ヘッド本体３を研磨台２の設置面２
４上に配置した被研磨材に接近または遠ざけるために用
いるものである。

【００３１】昇降装置５は、Ｙ軸方向移動用フレーム４
２ｃにシリンダー本体５１ａ，５２ａが固定される上下
移動用エアシリンダー５１と上下方向の移動量の微調整
を行うためのコンタクトシリンダー５２とから構成さ
れ、上下移動用エアシリンダー５１とコンタクトシリン
ダー５２のピストン部５１ｂ，５２ｂの先端部を研磨ヘ
ッド本体３が支持される箱状の本体取付け部材１４の取
付け片１４ａに固定させている。

【００３２】本体取付け部材１４は、研磨ヘッド本体３
を回転可能に支持するものであるが、ベースプレート１
４ｂとその前後左右の端部から垂直に伸長する側壁１４
ｃから成り、左右（図１における左右方向）の側壁１４
ｃにおける外側には、平行に伸びる二つの溝１４ｄ，１
４ｄがそれぞれ形成されている。一方、水平移動装置４
におけるＹ軸方向移動用フレーム４２ｃには、溝１４
ｄ，１４ｄに嵌め合わされるスライド部４２ｅ，４２ｅ
が突設されている。

【００３３】以上のように、本体取付け部材１４は、水
平移動装置４におけるＹ軸方向移動用フレーム４２ｃに
上下移動用エアシリンダー５１とコンタクトシリンダー
５２を介して支持されるとともに、本体取付け部材１４
は、昇降装置５である上下移動用エアシリンダー５１と
コンタクトシリンダー５２の駆動によりスライド部４２
ｅに案内されて上下方向に移動できるようになってい
る。

【００３４】そして、本体取付け部材１４には、研磨ヘ
ッド本体３と研磨ヘッド本体３を回転させるためのヘッ
ド本体駆動用モータ７１とが支持されており、研磨ヘッ
ド本体３は支持部材１である上部フレーム部１３に対し
て研磨台２の設置面２４と直交する線を軸線として回転
できるようにスピンドル機構７を介して支持されてい
る。

【００３５】研磨ヘッド本体３は、図１に示すように、
その上部がスピンドル機構７を介して本体取付け部材１
４に支持されており、研磨ヘッド本体３に取付けられる
スピンドル機構７は、図１に示す筒体７２と図３に示す
ように筒体７２内部に回転可能に装着されるスピンドル
７３とから構成されており、筒体７２の上部側面には、
半径方向外方に張り出したフランジ７２ａが形成され、
スピンドル７３は、筒体７２から抜け落ちることがない
ように筒体７２内に収納されている。

【００３６】そして、本体取付け部材１４のベースプレ
ート１４ｂの中央に開口を形成して、その開口とほぼ同
じ直径を有する筒体７２を開口に挿通させて、筒体７２
の上部側面に形成するフランジ７２ａをベースプレート
１４ｂの上面に当接させて筒体７２の開口からの抜け落
ちを阻止している。フランジ７２ａは、ネジ等によりベ
ースプレート１４ｂに固定するようになっている。

【００３７】スピンドル機構７は、スピンドル７３の先
端に図１に示すようにプーリー７４が取り付けられてお
り、このプーリー７４と、ヘッド本体駆動用モータ７１
に設けるプーリーとをベルト７５で掛けわたして連結
し、ヘッド本体駆動用モータ７１の回転駆動によりスピ
ンドル７３が回転し、スピンドル７３に連結される研磨
ヘッド本体３も回転するようになっている。

【００３８】なお、研磨ヘッド本体３には、研磨テープ
Ｔを走行させるためのテープ走行用モータ３１を配設し
ているため、このテープ走行用モータ３１を駆動させる
ためのリード線を研磨ヘッド本体３の回転に支障なく配
線する必要がある。

【００３９】そこで、本実施の形態では、図示していな
いが、スピンドル７３の内部にテープ走行用モータ３１
に接続されるリード線と外部の電源に接続されるリード
線とを接続するコネクタをスピンドル７３に対してフリ
ー回転可能に取付けるとともに、電源に接続されるリー
ド線をコネクタに固定し、テープ走行用モータ３１に接
続されるリード線をコネクタに対して回転可能に接続し
ている。

【００４０】従って、スピンドル７３が回転すること
で、研磨ヘッド本体３内のテープ走行用モータ３１およ
びテープ走行用モータ３１に接続するリード線が回動し
ても、コネクタと電源に接続されるリード線は回転しな
いようになっている。

【００４１】なお、２本のリード線はコネクタに電気的
に接続させているので、テープ走行用モータ３１が研磨
ヘッド本体３とともに回転しても、テープ走行用モータ
３１へ電気を送ることができ、スピンドル７３、研磨ヘ
ッド本体３の回転に関係なく、テープ走行用モータ３１
を駆動することができる。

【００４２】そして、スピンドル７３の下端には、研磨
ヘッド本体３が固定されており、研磨ヘッド本体３内に
は、研磨テープＴを走行させるテープ走行機構が設けら
れている。

【００４３】研磨ヘッド本体３は、昇降装置５により研
磨台２の設置面２４に向けて降下させて、研磨ヘッド本
体３に装着する研磨テープＴを設置面２４に設置した被
研磨材に接触させた状態で研磨ヘッド本体３を回転させ
ることにより被研磨材を研磨するようになっている。

【００４４】以下、研磨ヘッド本体３の構成について図
３および図４に基づいて説明する。研磨ヘッド本体３
は、スピンドル７３が固定される頂部壁３２と頂部壁３
２の下面から互いに平行に伸びた側壁３３，３３を有し
ている。一方の側壁３３の上部には、テープ走行用モー
タ３１が取付けられており、テープ走行用モータ３１か
ら延びる第１回転軸６１を軸受を介して２枚の側壁３
３，３３に回転可能に支持させるとともに、第１回転軸
６１の先端部に第１回転軸６１の回転力を出力するため
の第１プーリー６１ａが取り付けられている。

【００４５】側壁３３，３３の下部には、第１プーリー
６１ａと第１ベルト７１によって連結される第２プーリ
ー６２ａが取付けられた第２回転軸６２が回転自在に取
り付けられ、その第２回転軸６２の両端部には、複数の
走行ローラー３４に回転を伝えるための第１歯車６２ｂ
と第２歯車６２ｃとが取り付けられており、第２回転軸
６２の第２プーリー６２ａを取付けた側と反対側端部に
は、研磨テープＴを巻き取るためのテープ巻取りローラ
ー８３に回転を伝えるための第３プーリー６２ｄを設け
ている。

【００４６】テープ走行用モータ３１にパワーが供給さ
れると、第１プーリー６１ａが回転し、その回転は第１
ベルト７１を介して第２プーリー６２ａに伝えられ、第
３プーリー６２ｄ、第１歯車６２ｂおよび第２歯車６２
ｃが回転するようになっている。なお、第１ベルト７１
に所定のテンションを与えるためのテンションローラー
３５が一方の側壁３３の外側に設けられている。

【００４７】さらに、両側壁３３，３３の間で、第２回
転軸６２の下方に押付け部となる押え付けローラー８１
が回転可能に取付けられている。押え付けローラー８１
の第３回転軸６３の軸線は、研磨ヘッド本体３の回転軸
線Ｚに対して直交するように配設されている。さらに、
押え付けローラー８１の第３回転軸６３の一端側には、
第３歯車６３ａが取付けられている。なお、押え付けロ
ーラー８１は、研磨ヘッド本体３の最下端に位置するよ
うに設けられている。

【００４８】側壁３３，３３の間で、第１回転軸６１と
第２回転軸６２との間には、研磨テープＴが巻かれたロ
ールが取り付けられるテープ供給ローラー８２と、テー
プ供給ローラー８２から引き出された研磨テープＴを巻
き取るためのテープ巻取りローラー８３とが側壁３３，
３３に軸受を介して回転可能に設けられている。これら
テープ供給ローラー８２およびテープ巻取りローラー８
３の回転軸線は、スピンドル７３の回転軸線Ｚに対して
直交するように設けられている。

【００４９】このようにテープ供給ローラー８２および
テープ巻取りローラー８３の回転軸線をスピンドル７３
の回転軸線Ｚに対して直交するように設けることによ
り、研磨作業時の初期にはテープ供給ローラー８２に多
くの研磨テープがまかれ、研磨が進むとともに研磨テー
プＴはテープ巻取りローラー８３に移ることになるが、
それぞれのローラーの重心は研磨テープの巻き量に関係
なくスピンドル７３の回転軸線Ｚ上にあることになる。

【００５０】そして、テープ供給ローラー８２の第４回
転軸６４の一方の先端部には研磨テープＴのテンション
を調節するための第１トルクリミター６４ａが設けられ
ている。この第１トルクリミター６４ａによりテープ供
給ローラー８２から引き出される研磨テープＴの供給量
が制御されるとともに、研磨テープＴが弛むことなく一
定のテンションが保持される。

【００５１】また、テープ巻取りローラー８３の第５回
転軸６５の一方側端部にも研磨テープＴの送り速度を調
節するための第２トルクリミター６５ａと、第２回転軸
６２に設けられる第３プーリー６２ｄと第２ベルト７２
を介して連結される第４プーリー６５ｂが設けられてい
る。

【００５２】テープ走行用モータ３１が駆動して第１プ
ーリー６１ａが回転し、その回転が第１ベルト７１を介
して第２プーリー６２ａに伝えられ、第３プーリー６２
ｄを介してテープ巻取りローラー８３の第４プーリー６
５ｂに伝えられてテープ巻取りローラー８３が回転する
ようになっている。

【００５３】さらに、テープ巻取りローラー８３では、
巻き始めと巻き終わりとで外径の長さが異なってくるた
め、テープ巻取りローラー８３が第２回転軸６２から伝
達されて常に同じ回転数で回転すると、巻き始めでは研
磨テープＴの巻き取り速度が遅くなり、巻き終わりでは
巻取り速度が速くなって、後記する駆動走行ローラー３
４ａや押え付けローラー８１による送り速度とに差が生
じ、巻取り量が多くなるにしたがい研磨テープＴにかか
るテンションが大きくなってしまう。そこで、第２トル
クリミター６５ａによりトルク制御を行って、巻取り速
度を調整し、巻取り量の如何に関わらずほぼ一定の速度
で研磨テープＴを巻き取るようにしている。

【００５４】また、側壁３３，３３の間には、テープ供
給ローラー８２から引き出された研磨テープＴがテープ
巻取りローラー８３に巻き取られるまでの間に、研磨テ
ープＴの走行を案内するための走行ローラー３４が複数
設けられている。

【００５５】特に、側壁３３，３３の下部で、第２プー
リー６２ａが取付けられている第２回転軸６２の近傍に
設ける駆動走行ローラー３４ａは、テープ走行用モータ
３１の駆動により第２プーリー６２ａに伝達された回転
力が第２歯車６２ｃから別途側壁３３に取付けられる第
４歯車６６ａに伝達された後、駆動走行ローラー３４ａ
の第６回転軸６６に設ける第５歯車６６ｂに伝達され
て、駆動走行ローラー３４ａが駆動されるようになって
おり、駆動走行ローラー３４ａの回転駆動により研磨テ
ープＴを一定の速度で走行させるようにしている。

【００５６】さらに、側壁３３，３３の下部で、第２プ
ーリー６２ａが取付けられている第２回転軸６２の近傍
には、第２プーリー６２ａに隣接して第２回転軸６２に
設ける第１歯車６２ｂと噛合う第６歯車６７ａとこの第
６歯車６７ａに隣接して設けられる第７歯車６７ｂとを
有する第７回転軸６７と、第７回転軸６７の第７歯車６
７ｂかみ合う第８歯車６８ａとこの第８歯車６８ａに隣
接して設けられる第９歯車６８ｂとを有する第８回転軸
６８とを回転可能に設けている。

【００５７】そして、テープ走行用モータ３１の回転駆
動が第２プーリー６２ａに伝達された後、第２プーリー
６２ａを備える第２回転軸６２の第１歯車６２ｂから、
第７回転軸６７の第６歯車６７ａに駆動力が伝達され、
さらに、第７回転軸６７の第７歯車６７ｂを介して第８
回転軸６８の第８歯車６８ａに伝達された後、第８回転
軸６８の第９歯車６８ｂを介して押え付けローラー８１
の第３歯車６３ａに駆動力が伝達されて、押え付けロー
ラー８１が回転するようになっている。

【００５８】このように、押え付けローラー８１も回転
させるのは、研磨テープＴを押え付けローラー８１によ
り被研磨材に押し付けたとき、研磨テープＴの走行が
（スピンドルの回転による研磨テープの回転も含めて）
妨げられることから、押え付けローラー８１も回転させ
ることで、研磨テープの円滑な走行を行わせるためであ
る。押え付けローラー８１の被研磨材への押し付け圧が
小さいときなどの場合のように、研磨テープＴの走行が
比較的円滑に行われるときは、上記のように押え付けロ
ーラー８１を駆動させる必要はない。また、研磨テープ
Ｔの走行を一定にする必要がない場合は駆動走行ローラ
ー３４ａを駆動させる必要もない。さらに、研磨テープ
Ｔの走行を行わないで研磨作業をすることもできる。

【００５９】以上の構成において、本実施の形態では、
押え付けローラー８１は研磨ヘッド本体３に一つ設けら
れており、研磨台２に設置された被研磨材に接触させる
研磨テープＴの接触部が研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚ
よりも径方向外方に位置するようにするために、図３に
示すように、被研磨材に接触させる研磨テープＴの接触
部を構成する押え付けローラー８１を研磨ヘッド本体３
の回転軸線Ｚよりも径方向外方に位置するように研磨ヘ
ッド本体３の側壁３３，３３に支持させている。

【００６０】従って、テープ供給ローラー８２およびテ
ープ巻取りローラー８３も押え付けローラー８１のロー
ラー部と上下方向において同一線上に位置するように研
磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚよりも径方向外方に位置さ
せている。

【００６１】さらに、本実施の形態では、研磨ヘッド本
体３に、被研磨材の表面を切削するカッター９を設けて
おり、カッター９は、カッター刃９１と、カッター刃取
付け部９２とを備えており、カッター刃取付け部９２は
研磨ヘッド本体３の一方の側壁３３に固定されている。

【００６２】このとき、カッター刃取付け部９２に固定
されたカッター刃９１の刃の部分と押え付けローラー８
１の最下部とを同一平面上に位置させるとともに、カッ
ター刃９１が研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚよりも径方
向外方に位置させるようにカッター刃取付け部９２を側
壁３３に固定している。

【００６３】特に、本実施の形態では、押え付けローラ
ー８１とカッター９とを同一線上で、かつ、研磨ヘッド
本体３の回転軸線Ｚに対して対称となるように位置させ
ている。

【００６４】以上、第１の実施形態によれば、研磨を実
施する場合、研磨テープＴを、テープ供給ローラー８２
にセットした後、複数の走行ローラー３４に沿わして駆
動走行ローラー３４ａを通過させた後に押え付けローラ
ー８１に掛け渡し、さらに、下流側にある走行ローラー
３４を通過させた後最終的にテープ巻取りローラー８３
に至るようにセットされる。

【００６５】そして、被研磨材の研磨またはクリーニン
グは次のように行われる。まず、平坦な被研磨材を研磨
台２のエンドレスベルト２２上の設置面２４に配置し駆
動ローラー２３による駆動でエンドレスベルト２２上の
被研磨材を所定の位置まで運び、吸着手段２５により被
研磨材をエンドレスベルト２２に吸着させて被研磨材を
研磨台２に固定する。

【００６６】次に、水平移動装置４を駆動させて研磨ヘ
ッド本体３を適切な位置まで水平移動させて、昇降装置
５の駆動により研磨ヘッド本体３に装着した研磨テープ
Ｔを押え付けローラー８１により被研磨材の表面に接触
させる。

【００６７】そして、テープ走行用モータ３１を駆動さ
せて、駆動走行ローラー３４ａ、押え付けローラー８
１、および、テープ巻取りローラー８３を回転させる。
これにより、新しい研磨テープＴが押え付けローラー８
１へと順次供給された後にテープ巻取りローラー８３に
巻き取られる。

【００６８】さらに、ヘッド本体駆動用モータ７１を駆
動させて、スピンドル機構７のスピンドル７３を回転さ
せることにより、研磨ヘッド本体３を回転させる。かく
して、常に供給される新しい研磨テープＴによる回転研
磨、クリーニングが成し遂げられる。

【００６９】なお、この研磨作業時においては、研磨作
業を円滑に行うため被研磨材の研磨面に水供給部２６か
ら水が供給される。

【００７０】また、研磨テープＴによる研磨を行うと同
時に、研磨テープＴでは除去できなかった異物はカッタ
ー９により除去される。

【００７１】さらに、水平移動装置４により研磨ヘッド
本体３を研磨しながら所望の方向に水平移動させること
で、被研磨材の表面を均等に研磨、クリーニングするこ
とができる。

【００７２】第１の実施形態では、被研磨材に接触させ
る研磨テープＴの接触部を構成する押え付けローラー８
１を研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚよりも径方向外方に
位置させているので、押え付けローラー８１で押え付け
られる研磨テープＴを被研磨材との接触時に回転軸線Ｚ
を中心にして旋回させることができ、従来のようにテー
プ幅の中心を回転中心として回転させたときに生じてい
た研磨テープＴの幅方向での捩れが生じることがなくな
って研磨能力の低下をなくすことができ、良好な研磨作
業が行えるとともに、研磨テープＴの幅方向全長を被研
磨材に押し付けながら接触させることができるので、研
磨テープＴに非接触部分が生じることがなくなり研磨テ
ープＴを有効に使用することができる。

【００７３】さらに、本実施の形態では、研磨ヘッド本
体３に、被研磨材の表面を切削するカッター９を設けて
おり、カッター９は、カッター刃取付け部９２に固定さ
れたカッター刃９１の刃の部分と押え付けローラー８１
の最下部とを同一平面上に位置させるとともに、カッタ
ー刃９１が研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚよりも径方向
外方に位置させるようにカッター刃取付け部９２を側壁
３３に固定しているので、押え付けローラー８１により
被研磨材に研磨テープＴを接触させて研磨作業が行えな
がら、カッター９により研磨テープＴで除去できない異
物を除去することができる。

【００７４】特に、本実施の形態では、押え付けローラ
ー８１とカッター９とを同一線上で、かつ、研磨ヘッド
本体３の回転軸線Ｚに対して対称となるように位置させ
ているので、カッター刃９１から研磨テープＴまでの距
離を旋回方向に１８０度分空けることができ、研磨作業
時に供給する水がカッター９により切られて研磨テープ
Ｔに至らなくなるということがなくなり、水を供給しな
がら研磨テープＴによる研磨を良好に行える。

【００７５】次に、第２の実施形態について図５および
図６に基づいて説明する。第１の実施形態では、研磨テ
ープＴを被研磨材に押え付けるための押え付けローラー
８１とカッター９とを一つずつ設けたが、第２の実施形
態では、カッターの代わりにもう一つ研磨テープＴを被
研磨材に押え付けるための押え付けローラー８１を設け
ている。

【００７６】第２実施形態は、研磨ヘッド本体３に、研
磨テープＴを被研磨材に接触させるための押え付け部と
なる押え付けローラー８１を２つを設け、２つの押え付
けローラー８１，８１を用いて研磨テープＴの被研磨材
への接触部を構成している。

【００７７】そして、２つの押え付けローラー８１，８
１は、前記した第１実施形態と同様に、研磨テープＴを
一方向に走行させるように回転可能となっており、しか
も、２つの押え付けローラー８１，８１は、ローラーの
軸線が研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚと直交し、かつ、
同一平面上に位置するように設けられるとともに、全て
の押え付けローラー８１，８１が研磨ヘッド本体３の回
転中に被研磨材の所定の位置において同一方向にローラ
ー軸線を中心として回転するようにしている。

【００７８】そのため、研磨ヘッド本体３には、２つの
押え付けローラー８１，８１を個別に回転駆動させるた
めに、それぞれの押え付けローラー８１，８１に対応さ
せた２つのテープ走行用モータ３１，３１を設けてい
る。

【００７９】以下、第２実施形態における研磨装置につ
いて具体的に説明する。第２実施形態の研磨装置は、第
１実施形態と研磨ヘッド本体３のみ構造が異なることか
ら、研磨ヘッド本体３の構成のみについて説明する。

【００８０】研磨ヘッド本体３は、スピンドル７３が固
定される頂部壁３２と頂部壁３２の下面から互いに平行
に伸びた３枚の側壁３３，３３，３３を有している。両
端の側壁３３，３３の上部には、それぞれテープ走行用
モータ３１，３１が一つずつ取付けられており、テープ
走行用モータ３１，３１の駆動力を受けるための２本の
第１回転軸６１，６１を軸受を介して３枚の側壁３３，
３３，３３に回転可能に支持させるとともに、両端の側
壁３３，３３から突出する第１回転軸６１，６１の一端
部には、テープ走行用モータ３１，３１からの回転力を
モータ用ベルト６１ｂ，６１ｂを介して受けるモータ側
プーリー６１ｃ，６１ｃと第１回転軸６１，６１の回転
力を出力するための第１プーリー６１ａ，６１ａが取り
付けられている。

【００８１】側壁３３，３３，３３の下部には、第１プ
ーリー６１ａ，６１ａと第１ベルト７１，７１によって
連結される第２プーリー６２ａ，６２ａが取付けられた
２本の第２回転軸６２，６２が回転自在に取り付けら
れ、その第２回転軸６２の両端側壁３３，３３から突出
する端部には、押え付けローラー８１，８１に回転を伝
えるための第１歯車６２ｂ，６２ｂが取り付けられてお
り、第２回転軸６２，６２の第２プーリー６２ａ，６２
ａを取付けた側と反対側端部には、研磨テープＴを巻き
取るためのテープ巻取りローラー８３，８３に回転を伝
えるための第３プーリー６２ｄ，６２ｄを設けている。

【００８２】テープ走行用モータ３１，３１が駆動され
ると、モータ側プーリー６１ｃ，６１ｃと第１プーリー
６１ａ，６１ａが回転し、その回転は第１ベルト７１，
７１を介して第２プーリー６２ａ，６２ａに伝えられ、
第３プーリー６２ｄ，６２ｄ、第１歯車６２ｂ，６２ｂ
が回転するようになっている。なお、第１ベルト７１，
７１に所定のテンションを与えるためのテンションロー
ラー３５，３５が両端の側壁３３，３３の外側に設けら
れている。

【００８３】さらに、各側壁３３，３３，３３の間に、
第２回転軸６２，６２の下方に押付け部となる２つの押
え付けローラー８１，８１が個別に回転できるように、
押え付けローラー８１，８１の２本の第３回転軸６３，
６３が回転可能に取付けられている。押え付けローラー
８１，８１の第３回転軸６３，６３の軸線は、研磨ヘッ
ド本体３の回転軸線Ｚに対して直交するように配設され
ている。また、押え付けローラー８１，８１の第３回転
軸６３，６３における両端の側壁３３，３３から突出す
る一端側には、第３歯車６３ａ，６３ａが取付けられて
いる。なお、２つの押え付けローラー８１，８１は、研
磨ヘッド本体３の最下端に位置するように設けられてい
る。

【００８４】そして、第２実施形態では、２つの押え付
けローラー８１，８１は、研磨台２に設置された被研磨
材に接触させる研磨テープＴの接触部が研磨ヘッド本体
３の回転軸線Ｚよりも径方向外方に位置するようにする
ために、図５に示すように、被研磨材に接触させる研磨
テープＴの接触部を構成する２つの押え付けローラー８
１，８１を研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚよりも径方向
外方で、かつ、２つの押え付けローラー８１，８１が同
一軸線上で研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚに対して対称
に位置するように研磨ヘッド本体３の側壁３３，３３，
３３に支持させている。

【００８５】さらに、２つの押え付けローラー８１，８
１は、研磨ヘッド本体３の回転中に被研磨材の所定の位
置において同一方向にローラー軸線を中心に回転するよ
うに、研磨ヘッド本体３に取り付けられている。

【００８６】各側壁３３，３３，３３には、第１回転軸
６１，６１と第２回転軸６２，６２との間に位置させる
研磨テープＴが巻かれたロールが取り付けられるテープ
供給ローラー８２，８２と、テープ供給ローラー８２か
ら引き出された研磨テープＴを巻き取るためのテープ巻
取りローラー８３，８３とがそれぞれ２つずつ側壁３
３，３３，３３に軸受を介して回転可能に設けられてい
る。これらテープ供給ローラー８２，８２およびテープ
巻取りローラー８３，８３の回転軸線は、スピンドル７
３の回転軸線Ｚに対して直交するように設けられてい
る。

【００８７】そして、テープ供給ローラー８２，８２お
よびテープ巻取りローラー８３，８３も２つの押え付け
ローラー８１，８１のローラー部と上下方向においてそ
れぞれ同一線上に位置するように研磨ヘッド本体３の回
転軸線Ｚよりも径方向外方に位置させている。

【００８８】また、テープ巻取りローラー８３，８３の
第５回転軸６５，６５の一方側端部には、第２回転軸６
２，６２に設けられる第３プーリー６２ｄ，６２ｄと第
２ベルト７２，７２を介して連結される第４プーリー６
５ｂ，６５ｂが設けられている。

【００８９】テープ走行用モータ３１，３１が駆動して
第１プーリー６１ａ，６１ａが回転し、その回転が第１
ベルト７１，７１を介して第２プーリー６２ａ，６２ａ
に伝えられ、第３プーリー６２ｄ，６２ｄを介してテー
プ巻取りローラー８３，８３の第４プーリー６５ｂ，６
５ｂに伝えられてテープ巻取りローラー８３，８３が回
転するようになっている。

【００９０】また、各側壁３３，３３，３３の間には、
テープ供給ローラー８２，８２から引き出された研磨テ
ープＴがテープ巻取りローラー８３，８３に巻き取られ
るまでの間に、研磨テープＴの走行を案内するための走
行ローラー３４が複数設けられている。

【００９１】さらに、側壁３３，３３，３３の下部で、
第２プーリー６２ａ，６２ａが取付けられている第２回
転軸６２，６２の近傍には、第２プーリー６２ａ，６２
ａに隣接して第２回転軸６２，６２に設ける第１歯車６
２ｂ，６２ｂと噛合う第６歯車６７ａ，６７ａと第６歯
車６７ａ，６７ａに隣接して設けられる第７歯車６７
ｂ，６７ｂとを有する２本の第７回転軸６７，６７と、
第７回転軸６７，６７の第７歯車６７ｂ，６７ｂと噛合
う第８歯車６８ａ，６８ａと第８歯車６８ａ，６８ａに
隣接して設けられる第９歯車６８ｂ，６８ｂとを有する
２本の第８回転軸６８，６８とを回転可能に設けてい
る。

【００９２】そして、テープ走行用モータ３１，３１の
回転駆動が第２プーリー６２ａ，６２ａに伝達された
後、第２プーリー６２ａ，６２ａを備える第２回転軸６
２，６２の第１歯車６２ｂ，６２ｂから、第７回転軸６
７，６７の第６歯車６７ａ，６７ａに駆動力が伝達さ
れ、さらに、第７回転軸６７，６７の第７歯車６７ｂ，
６７ｂを介して第８回転軸６８，６８の第８歯車６８
ａ，６８ａに伝達された後、第８回転軸６８，６８の第
９歯車６８ｂ，６８ｂを介して押え付けローラー８１，
８１の第３歯車６３ａ，６３ａに駆動力が伝達されて、
押え付けローラー８１，８１が個別に回転するようにな
っている。

【００９３】なお、押え付けローラー８１，８１は、研
磨テープＴを押え付けローラー８１，８１の被研磨材へ
の押し付け圧が小さいときなどの場合のように、研磨テ
ープＴの走行が比較的円滑に行われるときは、上記のよ
うに押え付けローラー８１，８１を駆動させる必要はな
い。また、研磨テープＴの走行を行わずに研磨をするよ
うにしてもよい。

【００９４】以上、第２の実施形態によれば、研磨を実
施する場合、研磨テープＴを、２つのテープ供給ローラ
ー８２，８２にセットした後、複数の走行ローラー３４
に沿わして２つの押え付けローラー８１，８１にそれぞ
れ掛け渡し、さらに、下流側にある走行ローラー３４を
通過させた後最終的にテープ巻取りローラー８３，８３
に至るようにセットされる。

【００９５】そして、被研磨材の研磨またはクリーニン
グは次のように行われる。まず、第１実施形態と同様
に、平坦な被研磨材を研磨台２のエンドレスベルト２２
上の設置面２４に配置し駆動ローラー２３による駆動で
エンドレスベルト２２上の被研磨材を所定の位置まで運
び、吸着手段２５により被研磨材をエンドレスベルト２
２に吸着させて被研磨材を研磨台２に固定する。

【００９６】次に、水平移動装置４を駆動させて研磨ヘ
ッド本体３を適切な位置まで水平移動させて、昇降装置
５の駆動により研磨ヘッド本体３に装着した研磨テープ
Ｔを押え付けローラー８１，８１により被研磨材の表面
に接触させる。

【００９７】そして、２つのテープ走行用モータ３１を
駆動させて、押え付けローラー８１，８１とテープ巻取
りローラー８３，８３を回転させる。これにより、新し
い研磨テープＴが押え付けローラー８１，８１へと順次
供給された後にテープ巻取りローラー８３，８３に巻き
取られる。

【００９８】さらに、ヘッド本体駆動用モータ７１を駆
動させて、スピンドル機構７のスピンドル７３を回転さ
せることにより、研磨ヘッド本体３を回転させる。かく
して、常に供給される新しい研磨テープＴによる回転研
磨、クリーニングが成し遂げられる。

【００９９】なお、この研磨作業時においては、研磨作
業を円滑に行うため被研磨材の研磨面に水供給部２６か
ら水が供給される。

【０１００】また、水平移動装置４により研磨ヘッド本
体３を研磨しながら所望の方向に水平移動させること
で、被研磨材の表面を均等に研磨、クリーニングするこ
とができる。

【０１０１】第２の実施形態では、被研磨材に接触させ
る研磨テープＴの接触部を構成する２つの押え付けロー
ラー８１，８１を研磨ヘッド本体３の回転軸線Ｚに対し
て対称となるように回転軸線Ｚよりも径方向外方に位置
させているので、押え付けローラー８１，８１で押え付
けられる研磨テープＴは、被研磨材との接触時に回転軸
線Ｚを中心にして旋回させることができ、従来のように
テープ幅の中心を回転中心として回転させたときに生じ
ていた研磨テープＴの幅方向での捩れが生じることがな
く、研磨能力の低下が生じることがなくなり、良好な研
磨作業が行えるとともに、研磨テープＴの幅方向全長を
被研磨材に接触させることができるので、研磨テープＴ
に非接触部分が生じることがなく、研磨テープＴを有効
に使用することができる。

【０１０２】さらに、本実施の形態では、研磨ヘッド本
体３に、２つの押え付けローラー８１，８１を研磨ヘッ
ド本体３の回転軸線Ｚに対して対称となるように回転軸
線Ｚよりも径方向外方に位置させているので、二箇所に
設ける研磨テープＴにより被研磨材の研磨時間を第１実
施形態よりも短縮でき、さらに２つの押え付けローラー
８１，８１は、研磨ヘッド本体３の回転中に被研磨材の
所定の位置において同一方向にローラー軸線を中心に回
転するように、研磨ヘッド本体３に取り付けられている
ので、２つの押え付けローラー８１，８１の研磨能力を
等しくでき研磨能力の低下も生じない。

【０１０３】上記説明した実施例では、歯車とプーリー
およびベルトの組み合わせにより回転の伝達を行った
が、全部を歯車により、あるいはプーリーおよびベルト
により回転の伝達を行うこともできる。

【０１０４】なお、第１実施形態では、カッターと研磨
テープの被研磨材への接触部となる押え付けローラー８
１とを一つずつ設けたが、カッターまたは押え付けロー
ラーを複数個配設するようにしてもよい。

【０１０５】さらに、第２実施形態では、押え付けロー
ラーを２つ設けたがそれ以上設けてもよい。２つ以上設
ける場合には、各押え付けローラーは周方向に等間隔で
配設することが好ましい。

【０１０６】

【発明の効果】このように、本発明の請求項１に記載の
発明は、研磨テープが装着される研磨ヘッド本体と、研
磨ヘッド本体を支持する支持部材と、被研磨材が装着さ
れる研磨台とを備え、研磨テープを研磨台の設置面に設
置した被研磨材に接触させながら、研磨ヘッド本体を支
持部材に対して研磨台の設置面と直交する線を軸線とし
て回転させるようにした研磨装置であって、研磨テープ
は、研磨台に設置された被研磨材に接触させる研磨テー
プの接触部が研磨ヘッド本体の回転軸線よりも径方向外
方に位置するように研磨ヘッド本体に装着されている構
成としたから、研磨テープの被研磨材への接触部を研磨
ヘッド本体の回転軸線を中心にして旋回させることがで
き、従来のようにテープ幅の中心を回転中心として回転
させたときに生じていた研磨テープの幅方向での捩れが
生じることがなく、研磨能力の低下が生じることがなく
なり、良好な研磨作業が行えるとともに、研磨テープの
幅方向全長を被研磨材に接触させることができるので、
研磨テープに非接触部分が生じることがなく、研磨テー
プを有効に使用することができる。

【０１０７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の研磨装置において、研磨ヘッド本体に、被研磨材の表
面を切削するカッターを設け、カッターと研磨テープの
被研磨材への接触部とを同一平面上に位置させるととも
に、カッターを研磨ヘッド本体の回転軸線よりも径方向
外方に位置させている構成としたから、被研磨材に研磨
テープを接触させながら、カッターにより研磨テープで
除去できない異物を除去することができ、しかも、研磨
テープに無駄が生じることなく研磨テープによる研磨作
業も良好に行える。

【０１０８】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の研磨装置において、研磨テープの被研磨材への接触部
と被研磨材の表面を切削するカッターとを同一線上で、
かつ、研磨ヘッド本体の回転軸線に対して対称となるよ
うに位置させている構成としたから、カッター刃から研
磨テープまでの距離が旋回方向に１８０度分空けること
ができ、研磨作業時に供給する水がカッター刃により切
られて研磨テープに至らなくなることがなくなり、水を
供給しながら研磨テープによる研磨を良好に行える。

【０１０９】請求項４に記載の発明は、請求項１から請
求項３の何れかに記載の研磨装置において、研磨ヘッド
本体に研磨テープを被研磨材に接触させるための押え付
け部を設け、この押え付け部において研磨テープの被研
磨材への接触部を構成するとともに、押え付け部をロー
ラーから構成し、ローラーは研磨テープを一方向に走行
させるように回転可能となっており、押え付け部は、ロ
ーラーの軸線が研磨ヘッド本体の回転軸線と直交し、か
つ、同一平面上に位置するように複数個設けられるとと
もに、全てのローラーが研磨ヘッド本体の回転中に被研
磨材の所定の位置において同一方向にローラー軸線を中
心に回転するようにしている構成としたから、二箇所以
上に設ける研磨テープの接触部により被研磨材の研磨時
間をより短縮でき、さらに複数のローラーは、研磨ヘッ
ド本体の回転中に被研磨材の所定の位置において同一方
向にローラー軸線を中心に回転するように、研磨ヘッド
本体に取り付けられているので、全てのローラーによる
研磨テープの押し付けを均等にでき、その結果研磨能力
を等しくして研磨能力の低下も生じなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨装置の概略全体構成図である。

【図２】図１に示す研磨装置を側面から見た概略全体構
成図である。

【図３】本発明の第１実施形態にかかる研磨ヘッド本体
の断面図である。

【図４】図３の研磨ヘッド本体の側面図である。

【図５】本発明の第２実施形態にかかる研磨ヘッド本体
の断面図である。

【図６】図５の研磨ヘッド本体の側面図である。

【図７】従来の研磨装置の研磨ヘッド本体を示す部分断
面図である。

【図８】図７に示す従来の研磨装置の研磨ヘッド本体の
断面図。

【符号の説明】

Ｔ 研磨テープ １ 支持部材 ２ 研磨台 ２４ 設置面 ３ 研磨ヘッド本体 ８１ 押え付けローラー（押え付け部） ９ カッター

フロントページの続き (72)発明者 湯上 正則 和歌山県日高郡印南町大字西ノ地1333番地 アイエムティー株式会社内 Ｆターム(参考） 3C058 AA05 AA11 AA14 AA16 CA01 CB03

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】研磨テープが装着される研磨ヘッド本体
   と、研磨ヘッド本体を支持する支持部材と、被研磨材が
   装着される研磨台とを備え、研磨テープを研磨台の設置
   面に設置した被研磨材に接触させながら、研磨ヘッド本
   体を支持部材に対して研磨台の設置面と直交する線を軸
   線として回転させるようにした研磨装置であって、研磨
   テープは、研磨台に設置された被研磨材に接触させる研
   磨テープの接触部が研磨ヘッド本体の回転軸線よりも径
   方向外方に位置するように研磨ヘッド本体に装着されて
   いることを特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】研磨ヘッド本体に、被研磨材の表面を切削
   するカッターを設け、カッターと研磨テープの被研磨材
   への接触部とを同一平面上に位置させるとともに、カッ
   ターを研磨ヘッド本体の回転軸線よりも径方向外方に位
   置させている請求項１に記載の研磨装置。
3. 【請求項３】研磨テープの被研磨材への接触部と被研磨
   材の表面を切削するカッターとを同一線上で、かつ、研
   磨ヘッド本体の回転軸線に対して対称となるように位置
   させている請求項２に記載の研磨装置。
4. 【請求項４】研磨ヘッド本体に研磨テープを被研磨材に
   接触させるための押え付け部を設け、この押え付け部に
   おいて研磨テープの被研磨材への接触部を構成するとと
   もに、押え付け部をローラーから構成し、ローラーは研
   磨テープを一方向に走行させるように回転可能となって
   おり、押え付け部は、ローラーの軸線が研磨ヘッド本体
   の回転軸線と直交し、かつ、同一平面上に位置するよう
   に複数個設けられるとともに、全てのローラーが研磨ヘ
   ッド本体の回転中に被研磨材の所定の位置において同一
   方向にローラー軸線を中心にして回転するようにしてい
   る請求項１から請求項３の何れかに記載の研磨装置。