JP2002134636A - 高周波回路基板およびそれを用いた高周波モジュールおよびそれを用いた電子装置および高周波回路基板の製造方法 - Google Patents
高周波回路基板およびそれを用いた高周波モジュールおよびそれを用いた電子装置および高周波回路基板の製造方法Info
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Abstract
高周波回路基板を提供する。 【解決手段】 回路基板2を構成する誘電体基板3の他
方主面に形成された配線電極6上に半導体素子8とフィ
ルタ30搭載する。フィルタ30のストリップ線路電極
33はスルーホール34と接地電極32と配線電極6と
スルーホール7を介して回路基板2の接地電極4と直流
的に接続されている。 【効果】 端子電極5と半導体素子8の高周波信号端子
がフィルタ30を介して接続されているため、静電気に
よるサージ電圧が端子電極5から印加されてもフィルタ
30を介して接地電極4にアースされ、半導体素子8が
静電破壊を起こすのを防止することができる。
Description
よびそれを用いた高周波モジュールおよびそれを用いた
電子装置および高周波回路基板の製造方法に関する。
図を示す。図11において、高周波回路基板1は、回路
基板2と半導体素子8と受動インピーダンス回路素子で
あるフィルタ15を備えている。ここで、回路基板2
は、例えばアルミナ基板(比誘電率は約9〜10)のよ
うな比較的低誘電率の誘電体からなる誘電体基板3の一
方主面に接地電極4と端子電極5が形成され、他方主面
に配線電極6が形成され、配線電極6の一部はスルーホ
ール7を介して端子電極5と接続されて構成されてい
る。半導体素子8は誘電体基板3の他方主面に搭載され
ており、半導体素子8上に形成された接続ランド8a、
8bと配線電極6との間がワイヤー(ボンディングワイ
ヤー)10を介して接続されている。フィルタ15は誘
電体基板3の他方主面に形成された配線電極6上に搭載
されている。フィルタ15は、誘電体基板16と、その
表面に形成されたフィルタ機能を実現するためのストリ
ップ線路電極17から構成されている。そして、ストリ
ップ線路電極17と配線電極6との間がワイヤー10を
介して接続されている。
は、1つの回路基板2上に主として能動素子である半導
体素子8と受動素子であるフィルタ15が同時に搭載さ
れており、1つの機能を持った部品として動作させるこ
とができる。
8、特にGaAs半導体素子は一般的に耐圧が低く、静
電気によるサージ電圧によって静電破壊を起こす可能性
がある。そのため、半導体素子8を搭載した高周波回路
基板1において、例えば端子電極5やスルーホール7、
配線電極6、ワイヤー10からなる信号ラインを介して
半導体素子8に静電破壊を起こすサージ電圧が印加され
ると、高周波回路基板1が破損する可能性があった。
ものとして無線通信の送受信モジュールを考えると、ア
ンテナに接続される端子電極が外部に露出しており、こ
の端子電極を介して印加されたサージ電圧によって半導
体素子が破壊される可能性がある。
て半導体素子8に至る信号ラインに関しては、フィルタ
15の入出力間が絶縁されていれば半導体素子8にサー
ジ電圧が印加されることはない。しかしながら、半導体
素子8を回路基板2に搭載する製造ラインにおいてはフ
ィルタ15の有無に関わらず同様の静電気対策が必要と
なる。そして、半導体工場のような静電気対策が十分な
工場とは異なり、誘電体基板上に半導体素子を搭載する
ための製造ラインなどにおいては必ずしも十分な静電気
対策が施されていないため、静電気対策を徹底するため
には工程管理のためのコストがかかるという問題があ
る。
信号端子などにサージ電圧保護用のダイオードを接続す
るという方法もあるが、半導体素子のコスト上昇を招く
だけではなく、ダイオードが高周波信号のロスの原因に
なるという別の問題が発生する。
的とするもので、静電気によるサージ電圧に対する耐圧
の高い高周波回路基板およびそれを用いた高周波モジュ
ールおよびそれを用いた電子装置および高周波回路基板
の製造方法を提供する。
に、本発明の高周波回路基板は、回路基板と、該回路基
板に搭載された半導体素子を有する高周波回路基板であ
って、前記回路基板は接地電極と端子電極を有し、前記
半導体素子は前記回路基板の前記端子電極との間で高周
波信号が伝達される高周波信号端子を有し、前記回路基
板の前記端子電極および前記半導体素子の前記高周波信
号端子の少なくとも一方が、前記回路基板の前記接地電
極と直流的に接続されていることを特徴とする。
導体素子の前記高周波信号端子と前記回路基板の前記端
子電極の間に接続された受動インピーダンス回路素子を
前記回路基板上に搭載してなり、前記高周波信号端子お
よび該高周波信号端子との間で高周波信号が伝達される
前記端子電極のいずれか一方が、前記受動インピーダン
ス回路素子を介して前記接地電極と直流的に接続されて
いることを特徴とする。
導体素子の前記高周波信号端子と前記回路基板の前記外
部端子の間に接続された受動インピーダンス回路素子を
前記回路基板上に搭載してなり、前記高周波信号端子お
よび該高周波信号端子との間で高周波信号が伝達される
前記端子電極の両方が、前記受動インピーダンス回路素
子を介して前記接地電極と直流的に接続されていること
を特徴とする。
動インピーダンス回路素子が、前記回路基板および前記
半導体素子を構成する材料より誘電率の高い誘電体基板
に形成されていることを特徴とする。
導体素子が前記回路基板上にバンプ実装されていること
を特徴とする。
導体素子の前記高周波信号端子以外の端子に静電気保護
用ダイオードが設けられていることを特徴とする。
の高周波回路基板を用いてなり、前記回路基板を部品搭
載基板とし、前記回路基板の前記端子電極を外部端子と
したことを特徴とする。
かに記載の高周波回路基板または高周波モジュールを用
いたことを特徴とする。
は、接地電極と端子電極を有する回路基板に、少なくと
もいずれか一方の端子が前記接地電極と直流的に接続さ
れる受動インピーダンス回路素子を、一方の端子を前記
端子電極に接続して搭載する第1の工程と、前記回路基
板に、高周波信号端子を有する半導体素子を、前記高周
波信号端子を前記受動インピーダンス回路素子の他方の
端子に接続して搭載する第2の工程からなることを特徴
とする。
は、前記受動インピーダンス回路素子および前記半導体
素子が前記回路基板にバンプ実装されることを特徴とす
る。
高周波回路基板においては、静電気によるサージ電圧に
対する耐圧を高めて信頼性を向上させるとともに小型化
を図ることができる。
子装置においても、信頼性を向上させることができる。
においては、製造中における半導体素子の静電破壊を低
減することができ、製造工程の簡素化を図り、高周波回
路基板の低コスト化を図ることができる。
の一実施例の断面図を示す。図1において、図11と同
一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を
省略する。
体基板3の他方主面に形成された配線電極6上に半導体
素子8と受動インピーダンス回路素子であるフィルタ3
0を搭載して構成されている。また、図11に示した従
来の高周波回路基板1とは異なり、配線電極6のうちワ
イヤー10を介して半導体素子8の接続ランド8a、8
bと接続されたものは端子電極5とは接続されていな
い。
示す。図2において、フィルタ30は、高周波回路基板
20を構成する誘電体基板3(例えばアルミナ基板なら
比誘電率は約9)や半導体素子8を構成する材料(例え
ばGaAsなら比誘電率は約12.5)より誘電率の高
い、例えば比誘電率が110の誘電体基板31と、誘電
体基板31の一方主面に形成された接地電極32と、同
じく他方主面に形成されたストリップ線路電極33と、
接地電極32とストリップ線路電極33を接続するスル
ーホール34とで構成されている。このうち、ストリッ
プ線路電極33は、線路部分と、線路部分の途中に接続
された1/4波長のスタブから構成されており、スタブ
の先端はスルーホール34で接地電極32と接続されて
接地されているためショートスタブとなっている。そし
て、線路部分の両端、すなわち入力端子や出力端子とな
る部分はワイヤー10を介して、図1に示した高周波回
路基板20の配線電極5に接続されている。
ョートスタブの長さに対応する特定の周波数を通過させ
るバンドパスフィルタとして機能する。また、ショート
スタブの先端がスルーホール34を介して接地電極32
と接続されているため、フィルタ30の入出力端子部分
(入出力用のワイヤーが接続される部分)は接地電極3
2と直流的に接続されていることになる。
を構成する誘電体基板2や半導体素子8を構成する半導
体材料より誘電率の高い誘電体基板31上にストリップ
線路電極33を形成して構成されている。この場合、誘
電体基板3上や半導体素子8上にストリップ線路電極を
直接形成する場合に比べて波長短縮率が十分に高くなる
ため、線路電極の大幅な小型化、ひいてはフィルタ30
の大幅な小型化を図ることができる。
製造方法について図3を用いて説明する。図3におい
て、図1と同一もしくは同等の部分には同じ記号を付
し、その説明を省略する。
示すように回路基板2の接地電極4とスルーホール7を
介して接続されている所定の配線電極6上にフィルタ3
0を搭載し、その入出力端子部分と回路基板2の配線電
極6とをワイヤー10で接続する。その際、フィルタ3
0の接地電極32は、ハンダ付けや導電性の材料を用い
たダイボンディングなどによって配線電極6と電気的に
接続され、接地される。フィルタ30の入出力端子部分
は、図2に示したように接地電極32と直流的に接続さ
れているため、回路基板2の接地電極4とも直流的に接
続されることになる。すなわち、回路基板2の配線電極
6のうち、フィルタ30と接続されているものは、フィ
ルタ30を介して接地電極4と直流的に接続されている
ことになる。
すように、回路基板2に半導体素子8を搭載し、その接
続ランドと回路基板2の配線電極6とをワイヤー10で
接続する。半導体素子8の接続ランドとしては、外部と
の間で高周波信号の伝達される高周波信号端子となる接
続ランド8aと、電源端子のような高周波信号の伝達さ
れないその他の端子となる接続ランド8bとを有する。
そして、半導体素子8の高周波信号端子である接続ラン
ド8aはフィルタ30と接続されている配線電極6と接
続されている。このとき、第1の工程で説明したよう
に、フィルタ30と接続されている配線電極6は接地電
極4と直流的に接続されているため、例えば半導体素子
8を搭載する工程において何らかの原因で端子電極5に
静電気によるサージ電圧が印加されても、サージ電圧が
半導体素子8に達する前にフィルタ30を介して接地さ
れてしまうために、半導体素子8に印加されて半導体素
子8が静電破壊を起こすことはない。そのため、静電気
対策のレベルを下げることができ、工程管理のコストを
低減することができる。
グの工程とワイヤーボンディングの工程をまとめるため
に、第1の工程におけるフィルタ30の入出力端子部分
と回路基板2の配線電極6とをワイヤー10で接続する
部分は、第2の工程における回路基板2に半導体素子8
を搭載する部分と、半導体素子8の接続ランドと回路基
板2の配線電極6とをワイヤー10で接続する部分の間
に実施することになる。その場合でも、半導体素子8の
接続ランドと回路基板2の配線電極6とをワイヤー10
で接続するときには、フィルタ30の搭載が完了してい
るため、回路基板2の配線電極6のうち、フィルタ30
と接続されているものは、フィルタ30を介して接地電
極4と直流的に接続されていることになる。そのため、
静電気対策としては、半導体素子8の搭載の前にフィル
タ30のワイヤーボンディングを行う場合と全く同じ作
用効果を奏するものである。
回路基板20においては、回路基板2の端子電極5と、
端子電極5との間で高周波信号が伝達される半導体素子
8の高周波信号端子である接続ランド8aの両方が、フ
ィルタ30を介して回路基板2の接地電極4と直流的に
接続されているために耐圧が高く、何らかの原因で端子
電極5に静電気によるサージ電圧が印加されても、半導
体素子が静電破壊を起こすことは少ない。したがって、
高周波回路基板20の信頼性を向上させることができ
る。また、ストリップ線路電極を回路基板2を構成する
誘電体基板3より誘電率の高い誘電体基板31上に形成
してフィルタ30の小型化を図っているため、高周波回
路基板20自身の大幅な小型化を図ることができる。
に用いる受動インピーダンス回路素子であるフィルタの
別の実施例を示す。図4において、図2と同一もしくは
同等の部分には同じ記号を付し、その説明を省略する。
板31の他方主面上に直線状で約1/2波長のストリッ
プ線路電極36を有し、その中央部分がスルーホール3
4を介して接地電極32と接続されている。ストリップ
線路電極36の両側端部から少し中央側に寄った位置、
すなわち入力端子や出力端子となる部分にはワイヤー1
0が接続されている。
ては、ストリップ線路電極36の一端側と他端側がそれ
ぞれ1/4波長の共振器として動作するとともに、2つ
の共振器がスルーホール34の有するインダクタンス成
分を介して結合して特定の周波数を通過させるバンドパ
スフィルタとして機能する。また、ストリップ線路電極
36の中央部がスルーホール34を介して接地電極32
と接続されているため、フィルタ35の入出力端子部分
(入出力用のワイヤーが接続される部分)は接地電極3
2と直流的に接続されている。
受動インピーダンス回路素子であるフィルタのさらに別
の実施例を示す。図5において、図4と同一もしくは同
等の部分には同じ記号を付し、その説明を省略する。
ストリップ線路電極36に代えてS字上のストリップ線
路電極41を有する点でのみフィルタ35と異なる。
ては、ストリップ線路電極41の各部が相互に結合し合
うことによって、スプリアス特性の低減などのフィルタ
特性上の改善に加えて、フィルタ35よりもさらに小型
化を図ることができる。
いても、図2に示したフィルタ30と同様に入出力端子
部分が接地電極と直流的に接続されているため、高周波
回路基板に搭載された場合にはフィルタ30と同様の作
用効果を奏することができる。
施例の断面図を示す。図6において、図1と同一もしく
は同等の部分には同じ記号を付し、その説明を省略す
る。
体基板3の他方主面に形成された配線電極6上に半導体
素子8と受動インピーダンス回路素子であるフィルタ3
0をバンプ実装(フリップチップ実装)で搭載して構成
されている。ここで、半導体素子8の端子8a、8b上
にはバンプ8cが設けられており、バンプ8cを介して
配線電極6と接続されている。また、フィルタ30にも
ストリップ線路電極33上にバンプ30aが設けられて
おり、このバンプ30aを介して配線電極6と接続され
ている。そのため、図1に示した高周波回路基板20の
ようなワイヤー(ボンディングワイヤー)は存在しな
い。
は、半導体素子8とフィルタ30をバンプ実装すること
によってワイヤーボンディングの工程を省くことができ
るため、静電破壊の可能性をさらに低くすることができ
る。
れる半導体素子の別の実施例の平面図を示す。図7にお
いて、半導体素子60は、半導体チップ61上に各種回
路素子(図示せず)とともにそれらに接続された接続ラ
ンド62、63、64、65が形成されている。このう
ち、接続ランド62は電源入力用端子、接続ランド63
は接地用端子、接続ランド64、65は高周波信号端子
である。そして、高周波信号端子以外の端子である接続
ランド62と接続ランド63の間には静電気保護用ダイ
オード66が形成されている。
ある接続ランド62、63に静電気保護用ダイオードを
設けることによって、半導体素子60の高周波信号端子
以外の端子に印加されるサージ電圧に対する耐圧を高く
することがができる。しかも、高周波信号端子である接
続ランド64、65には静電気保護用ダイオードが設け
られていないため、ダイオードによる高周波信号のロス
が発生することもない。そして、このように構成された
半導体素子を本発明の高周波回路基板に搭載することに
よって、高周波信号が伝達される経路以外の経路を介し
てサージ電圧が印加された場合の半導体素子の静電破壊
の可能性を低下させることができる。
おいては、受動インピーダンス回路素子としてフィルタ
を用いているが、受動インピーダンス回路素子としては
積極的なフィルタ特性を有していない例えば整合回路な
どでも構わないもので、フィルタの場合と同様の作用効
果を奏するものである。
施例を示す。図8において、図1と同一もしくは同等の
部分には同じ記号を付し、その説明を省略する。また、
図9に、高周波モジュールが無線通信の送受信モジュー
ルである場合の1つの例の概略ブロック図を示す。
高周波回路基板20に、半導体素子8やフィルタ30を
覆うカバー71を搭載して構成されている。この場合、
高周波回路基板20の端子電極5は外部端子になる。
に、高周波モジュール70は、局部発振器LOと、高周
波高周波スイッチSW1、SW2と、ミキサMIX1、
MIX2と、パワーアンプPAと、ローノイズアンプL
NAと、フィルタ30から構成されている。このうち、
局部発振器LOと、高周波スイッチSW1、SW2と、
ミキサMIX1、MIX2と、パワーアンプPAと、ロ
ーノイズアンプLNAは半導体素子8に形成されてい
る。
SW1の第1の端子に接続され、高周波スイッチSW1
の第2、第3の端子はそれぞれミキサMIX1とミキサ
MIX2に接続されている。ミキサMIX1はパワーア
ンプPAを介して高周波スイッチSW2の第2の端子に
接続されている。高周波スイッチSW2の第1の端子は
フィルタ30を介して高周波モジュール50とは別に設
けられているアンテナANTに接続されている。高周波
スイッチSW2の第3の端子はローノイズアンプLNA
を介してミキサMIX2に接続されている。
て簡単に説明する。まず、ミキサMIX1には図示を省
略した送信側回路からIF信号が入力されている。高周
波スイッチSW1の第1の端子が第2の端子と接続され
ていると、局部発振器LOから出力されたキャリア信号
がミキサMIX1に入力されるため、ミキサMIX1か
らはIF信号で変調されたキャリア信号、すなわちRF
信号が出力される。RF信号はパワーアンプPAで増幅
され、高周波スイッチSW2の第2の端子に入力され
る。高周波スイッチSW2は高周波スイッチSW1と連
動して、高周波スイッチSW1の第1の端子が第2の端
子と接続されるときに高周波スイッチSW2の第1の端
子も第2の端子と接続される。そのため、高周波スイッ
チSW2の第2の端子に入力されたRF信号は第1の端
子から出力され、フィルタ30に入力されて不必要な信
号が取り除かれ、アンテナANTから電波として放射さ
れる。
スイッチSW2の第1の端子が第3の端子と接続されて
いると、アンテナANTで受信したRF信号の電波はフ
ィルタ30に入力されて不必要な信号が取り除かれ、高
周波スイッチSW2を介してローノイズアンプLNAに
入力されて増幅され、ミキサMIX2に入力される。ミ
キサMIX2には局部発振器LOから出力されたキャリ
ア信号が高周波スイッチSW1を介して入力されている
ため、ミキサMIX2ではRF信号からキャリア信号の
成分が取り除かれ、IF信号として出力され、図示を省
略した受信側回路に入力される。
0においては、アンテナANTに接続される端子を介し
て静電気によるサージ電圧が印加される可能性がある
が、サージ電圧はフィルタ30を介して回路基板2の接
地電極4に流れるため、半導体素子8に含まれている局
部発振器LOや、高周波スイッチSW1、SW2や、ミ
キサMIX1、MIX2や、パワーアンプPAや、ロー
ノイズアンプLNAが静電破壊を起こすのを防止するこ
とができる。そのため、静電気対策の十分でない製造ラ
インなどにおいても取り扱うことが容易となる。
斜視図を示す。図10において、電子装置の1つである
携帯電話80は、筐体81と、その中に配置されたプリ
ント基板82と、プリント基板82上に実装された本発
明の高周波モジュール83を備えている。高周波モジュ
ール83は、例えばアンプや発振器、フィルタなどの高
周波部品である。
ては、本発明の高周波モジュール83を用いているた
め、静電気に対して強く、製造工程における静電気対策
を簡素化できるため、コストダウンと信頼性の向上を図
ることができる。
帯電話を示したが、電子装置としては携帯電話に限るも
のではなく、本発明の高周波モジュールを用いたもので
あれば何でも構わないものである。
電極と端子電極を有する回路基板と、それに搭載されて
回路基板の端子電極との間で高周波信号が伝達される高
周波信号端子を有する半導体素子を有し、回路基板の端
子電極および半導体素子の高周波信号端子の少なくとも
一方が、回路基板の接地電極と直流的に接続されている
ことによって、静電気によるサージ電圧に対する耐圧を
高め、信頼性を向上させることができる。
子の高周波信号端子の少なくとも一方が、回路基板およ
び半導体素子を構成する材料より誘電率の高い誘電体基
板に形成された受動インピーダンス回路素子を介して回
路基板の接地電極と直流的に接続されていることによっ
て、高周波回路基板の小型化を図ることができる。
れを用いた電子装置によれば、本発明の高周波回路基板
を用いることによって、静電気によるサージ電圧に対す
る耐圧を高め、信頼性を向上させることができる。
によれば、接地電極と端子電極を有する回路基板に、少
なくともいずれか一方の端子が接地電極と直流的に接続
される受動インピーダンス回路素子を、一方の端子を端
子電極に接続して搭載する第1の工程と、回路基板に、
高周波信号端子を有する半導体素子を、高周波信号端子
を受動インピーダンス回路素子の他方の端子に接続して
搭載する第2の工程からなることによって、製造中にお
ける静電破壊の発生を大幅に低下させることができる。
また、製造工程の簡素化を図り、高周波回路基板の低コ
スト化を図ることができる。
図である。
の一実施例を示す斜視図である。
で、(a)は回路基板のフィルタが搭載された状態を示
し、(b)はあらかじめフィルタを搭載した回路基板に
半導体素子が搭載された状態を示す。
の別の実施例を示す斜視図である。
のさらに別の実施例を示す斜視図である。
面図である。
子の別の実施例を示す平面図である。
面図である。
る。
斜視図である。
素子) 70…高周波モジュール 71…カバー 80…携帯電話
Claims (10)
- 【請求項1】 回路基板と、該回路基板に搭載された半
導体素子を有する高周波回路基板であって、 前記回路基板は接地電極と端子電極を有し、前記半導体
素子は前記回路基板の前記端子電極との間で高周波信号
が伝達される高周波信号端子を有し、 前記回路基板の前記端子電極および前記半導体素子の前
記高周波信号端子の少なくとも一方が、前記回路基板の
前記接地電極と直流的に接続されていることを特徴とす
る高周波回路基板。 - 【請求項2】 前記半導体素子の前記高周波信号端子と
前記回路基板の前記端子電極の間に接続された受動イン
ピーダンス回路素子を前記回路基板上に搭載してなり、 前記高周波信号端子および該高周波信号端子との間で高
周波信号が伝達される前記端子電極のいずれか一方が、
前記受動インピーダンス回路素子を介して前記接地電極
と直流的に接続されていることを特徴とする、請求項1
に記載の高周波回路基板。 - 【請求項3】 前記半導体素子の前記高周波信号端子と
前記回路基板の前記外部端子の間に接続された受動イン
ピーダンス回路素子を前記回路基板上に搭載してなり、 前記高周波信号端子および該高周波信号端子との間で高
周波信号が伝達される前記端子電極の両方が、前記受動
インピーダンス回路素子を介して前記接地電極と直流的
に接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の
高周波回路基板。 - 【請求項4】 前記受動インピーダンス回路素子は、前
記回路基板および前記半導体素子を構成する材料より誘
電率の高い誘電体基板に形成されていることを特徴とす
る、請求項2または3に記載の高周波回路基板。 - 【請求項5】 前記半導体素子が前記回路基板上にバン
プ実装されていることを特徴とする、請求項2ないし4
のいずれかに記載の高周波回路基板。 - 【請求項6】 前記半導体素子の前記高周波信号端子以
外の端子に静電気保護用ダイオードが設けられているこ
とを特徴とする、請求項1ないし5のいずれかに記載の
高周波回路基板。 - 【請求項7】 請求項1ないし6のいずれかに記載の高
周波回路基板を用いてなり、前記回路基板を部品搭載基
板とし、前記回路基板の前記端子電極を外部端子とした
ことを特徴とする高周波モジュール。 - 【請求項8】 請求項1ないし6のいずれかに記載の高
周波回路基板または請求項7に記載の高周波モジュール
を用いたことを特徴とする電子装置。 - 【請求項9】 接地電極と端子電極を有する回路基板
に、少なくともいずれか一方の端子が前記接地電極と直
流的に接続される受動インピーダンス回路素子を、一方
の端子を前記端子電極に接続して搭載する第1の工程
と、 前記回路基板に、高周波信号端子を有する半導体素子
を、前記高周波信号端子を前記受動インピーダンス回路
素子の他方の端子に接続して搭載する第2の工程からな
ることを特徴とする高周波回路基板の製造方法。 - 【請求項10】 前記受動インピーダンス回路素子およ
び前記半導体素子が前記回路基板にバンプ実装されるこ
とを特徴とする、請求項9に記載の高周波回路基板の製
造方法。
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