JP2002132217A - 電子装置およびその駆動方法 - Google Patents

電子装置およびその駆動方法

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JP2002132217A JP2001242374A JP2001242374A JP2002132217A JP 2002132217 A JP2002132217 A JP 2002132217A JP 2001242374 A JP2001242374 A JP 2001242374A JP 2001242374 A JP2001242374 A JP 2001242374A JP 2002132217 A JP2002132217 A JP 2002132217A
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潤 小山
Shunpei Yamazaki
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 新規の回路構成を有する駆動回路および画素
を用いて、低消費電力化が可能な電気光学装置の提供を
課題とする。 【解決手段】 nビット(nは自然数、n≧2)のデジ
タル映像信号を用いて映像表示を行う電気光学装置にお
いて、1画素あたりn×m個(mは自然数)の揮発性の
記憶回路と、n×k個(kは自然数)の不揮発性の記憶
回路を有し、mフレーム分のデジタル映像信号を揮発性
の記憶回路に記憶する機能と、kフレーム分のデジタル
映像信号を不揮発性の記憶回路に記憶する機能とを有す
る。静止画像の表示は、一旦記憶回路に記憶されたデジ
タル映像信号を繰り返し読み出して各フレームで表示を
行うことにより、その間のソース信号線駆動回路の駆動
を停止出来る。また、不揮発性の記憶回路に記憶された
デジタル映像信号は、電源遮断後も記憶されるため、次
の電源投入時に直ちに表示が可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子装置およびそ
の駆動方法に関し、特に、絶縁体上に作成される薄膜ト
ランジスタを有するアクティブマトリクス型電子装置お
よびその駆動方法を用いたアクティブマトリクス型電子
装置に関する。その中で特に、映像ソースとしてデジタ
ル映像信号を用い、画素部に有機エレクトロルミネッセ
ンス(EL)素子を始めとする自発光素子を用いたアク
ティブマトリクス型電子装置およびその駆動方法を用い
たアクティブマトリクス型電子装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、ガラス基板等の絶縁体上に半導体
薄膜を形成した電子装置、特に薄膜トランジスタ(以下
TFTと表記する)を用いたアクティブマトリクス型電
子装置の普及が顕著となっている。TFTを使用したア
クティブマトリクス型電子装置は、マトリクス状に配置
された数十万から数百万のTFTを有し、各画素の電荷
を制御することによって画像の表示を行っている。
【0003】さらに最近の技術として、画素を構成する
画素TFTの他に、画素部の周辺部に、TFTを用いて
駆動回路を同時形成するポリシリコンTFTに関する技
術が発展してきており、装置の小型化、低消費電力化に
大いに貢献し、それに伴って、近年その応用分野の拡大
が著しいモバイル機器の表示部等に、電子装置は不可欠
なデバイスとなってきている。
【0004】また、LCD(液晶ディスプレイ)に替わ
るフラットパネルディスプレイとして、有機EL等の自
発光材料を応用した、電子装置が注目を集めており、活
発な研究が行われている。
【0005】デジタル方式の電子装置の概略図の一例
を、図13に示す。中央に画素部1307が配置されて
いる。画素部1307には、ソース信号線、ゲート信号
線に加え、EL素子に電流を供給するための、電流供給
線1306が配置されている。画素部1307の上側に
は、ソース信号線を制御するための、ソース信号線駆動
回路1301が配置されている。ソース信号線駆動回路
1301は、シフトレジスタ回路1303、第1のラッ
チ回路1304、第2のラッチ回路1305等を有す
る。画素部1307の左右には、ゲート信号線を制御す
るための、ゲート信号線駆動回路1302が配置されて
いる。なお、図13においては、ゲート信号線駆動回路
1302は、画素部1307の左右両側に配置されてい
るが、片側配置でも構わない。ただし、両側配置とした
方が、駆動効率、駆動信頼性の面から見て望ましい。
【0006】ソース信号線駆動回路1301に関して
は、図14に示すような構成を有しており、シフトレジ
スタ回路(SR)1401、第1のラッチ回路(LAT
1)1402、第2のラッチ回路(LAT2)1403
等を有する。なお、図14では図示していないが、必要
に応じてバッファ回路、レベルシフタ回路等を配置して
も良い。
【0007】図13および図14を用いて動作について
簡単に説明する。まず、シフトレジスタ回路1303
(図14中、SRと表記)にクロック信号(S−CL
K、S−CLKb)およびスタートパルス(S−SP)
が入力され、順次パルスが出力される。続いて、それら
のパルスは第1のラッチ回路1304(図14中、LA
T1と表記)に入力され、同じく第1のラッチ回路13
04に入力されたデジタル映像信号(Digital
Data)をそれぞれ保持していく。第1のラッチ回路
1304において、1水平周期、それぞれ1ビット分の
デジタル映像信号の保持が完了すると、帰線期間中に、
第1のラッチ回路1304で保持されているデジタル映
像信号は、ラッチ信号(Latch Pulse)の入
力に従い、一斉に第2のラッチ回路1305(図14
中、LAT2と表記)へと転送される。
【0008】一方、ゲート信号線側駆動回路1302に
おいて、シフトレジスタ(図示せず)に、ゲート側クロ
ック信号(G−CLK)、ゲート側スタートパルス(G
−SP)が入力される。シフトレジスタは、これら入力
信号に基づいて、順次パルスを出力し、バッファ等(図
示せず)を経由して、ゲート信号線選択パルスとして出
力され、順次ゲート信号線を選択していく。
【0009】ソース信号線側駆動回路1301の第2の
ラッチ回路1305に転送されたデータは、ゲート信号
線選択パルスによって選択されている列の画素に書き込
まれる。
【0010】続いて、画素部1307の駆動について説
明する。図19に、図13の画素部1307の一部を示
す。図19(A)は、3×3画素のマトリクスを示して
いる。点線枠1900にて囲まれた部分が1画素であ
り、図19(B)にその拡大図を示す。図19(B)に
おいて、1901は、画素に信号を書き込む時のスイッ
チング素子として機能するTFT(以下、スイッチング
用TFTという)である。このスイッチング用TFT1
901にはNチャネル型もしくはPチャネル型のいずれ
の極性を用いても良い。1902はEL素子1903に
供給する電流を制御するための素子(電流制御素子)と
して機能するTFT(以下、EL駆動用TFTという)
である。EL駆動用TFT1902にPチャネル型を用
いる場合には、EL素子1903の陽極1909と電流
供給線1907との間に配置する。別の構成方法とし
て、EL駆動用TFT1902にNチャネル型を用い
て、EL素子1903の陰極1910と陰極電極190
8との間に配置したりすることも可能である。しかし、
TFTの動作としてソース接地が良いこと、EL素子1
903の製造上の制約などから、EL駆動用TFT19
02にはPチャネル型を用い、EL素子1903の陽極
1909と電流供給線1907との間にEL駆動用TF
T1902を配置する方式が一般的であり、多く採用さ
れている。1904は、ソース信号線1906から入力
される信号(電圧)を保持するための保持容量である。
図19(B)での保持容量1904の一方の端子は、電
流供給線1907に接続されているが、専用の配線を用
いることもある。スイッチング用TFT1901のゲー
ト電極は、ゲート信号線1905に、ソース領域は、ソ
ース信号線1906に接続されている。
【0011】次に、同図19を参照して、アクティブマ
トリクス型電子装置の回路の動作について説明する。ま
ず、ゲート信号線1905が選択されると、スイッチン
グ用TFT1901のゲート電極に電圧が印加され、ス
イッチング用TFT1901が導通状態になる。する
と、ソース信号線1906の信号(電圧)が保持容量1
904に蓄積される。保持容量1904の電圧は、EL
駆動用TFT1902のゲート・ソース間電圧VGSとな
るため、保持容量1904の電圧に応じた電流がEL駆
動用TFT1902とEL素子1903に流れる。その
結果、EL素子1903が点灯する。
【0012】EL素子1903の輝度、つまりEL素子
1903を流れる電流量は、EL駆動用TFT1902
のVGSによって制御出来る。VGSは、保持容量1904
の電圧であり、それはソース信号線1906に入力され
る信号(電圧)である。つまり、ソース信号線1906
に入力される信号(電圧)を制御することによって、E
L素子1903の輝度を制御する。最後に、ゲート信号
線1905を非選択状態にして、スイッチング用TFT
1901のゲートを閉じ、スイッチング用TFT190
1を非導通状態にする。その時、保持容量1904に蓄
積された電荷は保持される。よって、EL駆動用TFT
1902のVGSは、そのまま保持され、V GSに応じた電
流が、EL駆動用TFT1902を経由してEL素子1
903に流れ続ける。
【0013】EL素子の駆動等に関しては、SID99 Dige
st : P372 :“Current Status andfuture of Light-Emi
tting Polymer Display Driven by Poly-Si TFT”、ASI
A DISPLAY98 : P217 :“High Resolution Light Emitti
ng Polymer Display Drivenby Low Temperature Polysi
licon Thin Film Transistor with Integrated Drive
r”、Euro Display99 Late News : P27 :“3.8 Green O
LED with Low Temperature Poly-Si TFT”などに報告さ
れている。
【0014】次に、EL素子の階調表示の方式について
述べる。アナログ階調方式は、EL駆動用TFTの電流
特性のばらつきに弱いという欠点がある。つまり、EL
駆動用TFTの電流特性が異なると、同じゲート電圧を
印可しても、EL駆動用TFTとEL素子を流れる電流
値が変わってしまう。その結果EL素子の明るさ、つま
り階調が変わってしまう。
【0015】そこで、EL駆動用TFTの特性ばらつき
の影響を小さくするために、デジタル階調方式と呼ぶ方
式が考案されている。この方式は、EL駆動用TFTの
ゲート電圧の絶対値|VGS|が点灯開始電圧以下の状態
(ほとんど電流が流れない)と、輝度飽和電圧よりも大
きい状態(最大に近い電流が流れている)、という2つ
の状態で階調を制御する方式である。この場合、EL駆
動用TFTのゲート電圧の絶対値|VGS|を輝度飽和電
圧よりも十分大きくしておけば、EL駆動用TFTの電
流特性がばらついても、電流値はIMAXに近くなる。よ
って、EL駆動用TFTのばらつきの影響を非常に小さ
く出来る。以上のように、ON状態(最大電流が流れて
いるため明るい)とOFF状態(電流が流れないため暗
い)の2つの状態で階調を制御するため、この方式はデ
ジタル階調方式と呼ばれている。
【0016】しかしながら、デジタル階調方式の場合、
このままでは2階調しか表示できない。そこで、別の方
式と組み合わせて、多階調化を図る技術が複数提案され
ている。
【0017】多階調化を図る方式の一つとして、時間階
調方式がある。時間階調方式とは、EL素子が点灯して
いる時間を制御して、その点灯時間の長短によって階調
を出す方式である。つまり、1フレーム期間を、複数の
サブフレーム期間に分割し、点灯しているサブフレーム
期間の数や長さを制御して、階調を表現している。
【0018】図9を参照する。図9は、時間階調方式を
用いた、回路の駆動タイミングについて簡単に示してい
る。フレーム周波数を60[Hz]とし、時間階調方式に
よって3ビットの階調を得る例である。
【0019】図9(A)に示すように、1フレーム期間
を、階調ビット数分のサブフレーム期間に分割する。こ
こでは3ビットであるので、3つのサブフレーム期間に
分割している。1つのサブフレーム期間は、さらにアド
レス期間(Ta)とサステイン(点灯)期間(Ts)に
分けられる(図9(B))。SF1でのサステイン期間
をTs1と呼ぶことにする。SF2、SF3の場合におい
ても同様に、Ts2、Ts3と呼ぶことにする。アドレス
期間は、1フレーム分の映像信号を画素に書き込む期間
であるので、いずれのサブフレーム期間においても長さ
が等しい(図9(C))。サステイン期間は、ここでは
Ts1:Ts2:Ts3=22:21:20=4:2:1とい
うように、2のべき乗の比を有する。
【0020】階調表示の方法としては、Ts1からTs3
までのサステイン(点灯)期間において、EL素子を点
灯させるか点灯させないかのいずれかの状態に制御する
ことにより、1フレーム期間内の総点灯時間の長短によ
って輝度を制御している。この例では、点灯するサステ
イン(点灯)期間の組み合わせにより、23=8通りの
点灯時間の長さを決定することが出来るため、8階調を
表示できる。このように点灯時間の長短を利用して階調
表現を行う。
【0021】さらに階調数を増やす場合は、1フレーム
期間の分割数を増やしていけばよい。1フレーム期間を
n個のサブフレームに期間に分割した場合、サステイン
(点灯)期間の長さの比率はTs1:Ts2:・・・・・
Ts(n-1):Tsn=2(n-1):2(n-2):・・・・・
1:20となり、2n通りの階調を表現することが可能
となる。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】一般的なアクティブマ
トリクス型電子装置においては、動画の表示をスムーズ
に行うため、前述の図9(A)に示したように、1秒間
に60回前後、画面表示の更新が行われる。すなわち、
1フレーム毎にデジタル映像信号を供給し、その都度画
素への書き込みを行う必要がある。たとえ、映像が静止
画であったとしても、1フレーム毎に同一の信号を供給
しつづけなければならないため、駆動回路が連続して同
じデジタル映像信号の繰り返し処理を行う必要がある。
【0023】静止画のデジタル映像信号を一旦、外部の
記憶回路に書き込み、以後は1フレーム毎に外部の記憶
回路から電子装置にデジタル映像信号を供給する方法も
あるが、いずれの場合にも外部の記憶回路と駆動回路は
動作し続ける必要があることに変わりはない。
【0024】特にモバイル機器においては、低消費電力
化が大きく望まれている。さらに、このモバイル機器に
おいては、静止画モードで使用されることが大部分を占
めているにもかかわらず、前述のように外部回路、駆動
回路などは静止画表示の際にも動作し続けているため、
低消費電力化への足かせとなっている。
【0025】本発明は前述のような問題点を鑑見て、新
規の回路を用いることにより、静止画の表示時における
外部回路、信号線駆動回路などの消費電力を低減するこ
とを課題とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明では次のような手段を用いた。
【0027】画素内に複数の記憶回路を配置し、画素毎
にデジタル映像信号を記憶させる。静止画の場合、一度
書き込みを行えば、それ以降、画素に書き込まれる情報
は同様であるので、フレーム毎に信号の入力を行わなく
とも、記憶回路に記憶されている信号を読み出すことに
よって静止画を継続的に表示することができる。すなわ
ち、静止画を表示する際は、最低1フレーム分の信号の
処理動作を行って以降は、外部回路、ソース信号線駆動
回路などを停止させておくことが可能となり、それに伴
って電力消費を大きく低減することが可能となる。
【0028】さらに、画素内に配置されている記憶回路
の一部は不揮発性のものであり、一度この不揮発性の記
憶回路に記憶したデジタル映像信号は、表示装置の電源
を遮断した後も継続して記憶しておくことが出来る。よ
って、再度電源を投入した後に、改めてデジタル映像信
号のサンプリングを行うことなく、不揮発性の記憶回路
よりデジタル映像信号を読み出して静止画の表示が可能
である。それに伴って電力消費を大きく低減することが
可能となる。
【0029】
【発明の実施の形態】図2は、記憶回路を有する画素を
用いた電子装置における、ソース信号線駆動回路および
一部の画素の構成を示したものである。この回路は、3
ビットデジタル階調信号に対応したものであり、シフト
レジスタ回路201、第1のラッチ回路202、第2の
ラッチ回路203、ビット信号選択スイッチ204、画
素205を有する。210は、ゲート信号線駆動回路あ
るいは外部から直接供給される信号が入力される信号線
であり、画素の説明とともに後述する。
【0030】図1は、図2における画素205における
回路構成を詳細に示したものである。この画素は、3ビ
ットデジタル階調に対応したものであり、EL素子(E
L)129、保持容量(Cs)127、揮発性の記憶回
路(A1〜A3およびB1〜B3)、不揮発性の記憶回
路(C1〜C3)等を有している。101はソース信号
線、102〜104は書き込み用ゲート信号線、105
〜107は、読み出し用ゲート信号線、108〜110
は書き込み用TFT、111〜113は読み出し用TF
T、114〜116、120〜122は書き込み用記憶
回路選択部、117〜119、123〜125は読み出
し用記憶回路選択部、126は電流供給線、128はE
L駆動用TFTである。
【0031】本発明の特徴は、画素が有する記憶回路の
中に、少なくともnビットのデジタル映像信号を1フレ
ーム分記憶する不揮発性の記憶回路(図1中、C1〜C
3で表記)を含む点にある。その他の記憶回路(図1
中、A1〜A3、B1〜B3で表記)に関しては、不揮
発性の記憶回路との区別を明確とするため、ここではあ
えて揮発性の記憶回路と表記しているが、A1〜A3、
B1〜B3を構成する記憶回路は必ずしも揮発性である
必要はなく、不揮発性であっても良い。ただし、1フレ
ーム期間内で書き込みや読み出しを行う必要があり、そ
の書き込み時間や読み出し時間が十分に短い必要がある
ため、本発明の実施形態においては、SRAMやDRA
M等の揮発性の記憶回路を用いている。
【0032】図3は、図1に示した本発明の表示装置に
おけるタイミングチャートである。表示装置は3ビット
デジタル階調、VGAのものを対象としている。図1〜
図3を用いて、駆動方法について説明する。なお、各番
号は、図1〜図3のものをそのまま用いる(図番は省略
する)。
【0033】図2および図3(A)(B)を参照する。
図3(A)において、各フレーム期間をα、β、γ、δ
と表記して説明する。まず、区間αにおける回路動作に
ついて説明する。
【0034】従来のデジタル方式の駆動回路の場合と同
様に、シフトレジスタ回路201にクロック信号(S−
CLK、S−CLKb)およびスタートパルス(S−S
P)が入力され、順次サンプリングパルスが出力され
る。続いて、サンプリングパルスは第1のラッチ回路2
02(LAT1)に入力され、同じく第1のラッチ回路
202に入力されたデジタル映像信号(Digital
Data)をそれぞれ保持していく。この期間を、本
明細書においてはドットデータサンプリング期間と表記
する。1水平期間分のドットデータサンプリング期間
は、図3(A)において1〜480で示す各期間であ
る。デジタル映像信号は3ビットであり、D1がMSB
(Most Significant Bit)、D3がLSB(Least Sign
ificant Bit)である。第1のラッチ回路202におい
て、1水平周期分のデジタル映像信号の保持が完了する
と、帰線期間中に、第1のラッチ回路202で保持され
ているデジタル映像信号は、ラッチ信号(Latch
Pulse)の入力に従い、一斉に第2のラッチ回路2
03(LAT2)へと転送される。
【0035】続いて、再びシフトレジスタ回路201か
ら出力されるサンプリングパルスに従い、次水平周期分
のデジタル映像信号の保持動作が行われる。
【0036】一方、第2のラッチ回路203に転送され
たデジタル映像信号は、画素内に配置された記憶回路に
書き込まれる。図3(B)に示すように、次列のドット
データサンプリング期間をI、IIおよびIIIと3分割し、
第2のラッチ回路に保持されているデジタル映像信号を
ソース信号線に出力する。このとき、ビット信号選択ス
イッチ204によって、各ビットの信号が順番にソース
信号線に出力されるように選択的に接続される。
【0037】期間Iでは、書き込み用ゲート信号線10
2にパルスが入力されてTFT108が導通し、記憶回
路選択部114が記憶回路A1を選択し、記憶回路A1
にデジタル映像信号が書き込まれる。続いて、期間IIで
は、書き込み用ゲート信号線103にパルスが入力され
てTFT109が導通し、記憶回路選択部115が記憶
回路A2を選択し、記憶回路A2にデジタル映像信号が
書き込まれる。最後に、期間IIIでは、書き込み用ゲー
ト信号線104にパルスが入力されてTFT110が導
通し、記憶回路選択部116が記憶回路A3を選択し、
記憶回路A3にデジタル映像信号が書き込まれる。
【0038】以上で、1水平期間分のデジタル映像信号
の処理が終了する。図3(B)の期間は、図3(A)に
おいて※印で示された期間である。以上の動作を最終段
まで行うことにより、1フレーム分のデジタル映像信号
が記憶回路A1〜A3に書き込まれる。
【0039】ところで、本発明の電子装置においては、
3ビットのデジタル階調を、時間階調方式により表現す
る。時間階調方式とは、画素に印加する電圧によって輝
度の制御を行う通常の方式と異なり、画素には2種類の
電圧のみを印加してON、OFFの2状態を用い、点灯
時間の差を利用して階調を得る方式である。時間階調方
式においてnビットの階調表現を行う際には、その表示
期間をn個の期間に分割し、各期間の長さの比を
n-1:2n-2:・・・:20のように2のべき乗とし、
どの期間で画素をONの状態にするかによって、点灯時
間の長さに差を生じ、もって階調の表現を行う。
【0040】また、表示期間の長さを2のべき乗以外の
区分によって階調表示を行うようにしても表示は可能で
ある。
【0041】以上をふまえて、区間βにおける動作につ
いて説明する。最終段における記憶回路への書き込みが
終了すると、1フレーム目の表示が行われる。図3
(C)は、3ビットの時間階調方式について説明する図
である。今、デジタル映像信号は、ビットごとに記憶回
路A1〜A3に記憶されている。Ts1は、第1ビット
データによる表示期間、Ts2は、第2ビットデータに
よる表示期間、Ts3は、第3ビットデータによる表示
期間であり、各表示期間の長さは、Ts1:Ts2:T
s3=4:2:1となっている。
【0042】ここでは3ビットであるから、輝度は0〜
7までの8段階が得られる。Ts1〜Ts3のいずれの
期間においても表示が行われない場合には輝度0、全て
の期間を用いて表示を行えば輝度7を得る。例えば、輝
度5を表示したい場合には、Ts1とTs3において画
素をONの状態とし、表示させればよい。
【0043】具体的に図を用いて説明する。Ts1にお
いては、読み出し用ゲート信号線105にパルスが入力
されてTFT111が導通し、記憶回路選択部117が
記憶回路A1を選択し、記憶回路A1に記憶されたデジ
タル映像信号にしたがってEL素子を点灯させる。続い
て、Ts2においては、読み出し用ゲート信号線106
にパルスが入力されてTFT112が導通し、記憶回路
選択部118が記憶回路A2を選択し、記憶回路A2に
記憶されたデジタル映像信号にしたがってEL素子を点
灯させる。最後に、Ts3においては、読み出し用ゲー
ト信号線107にパルスが入力されてTFT113が導
通し、記憶回路選択部119が記憶回路A3を選択し、
記憶回路A3に記憶されたデジタル映像信号によってE
L素子を点灯させる。
【0044】以上のようにして、1フレーム期間分の表
示が行われる。一方、駆動回路側では、同時に次のフレ
ーム期間のデジタル映像信号の処理が行われている。第
2のラッチ回路へのデジタル映像信号の転送までは前述
と同様の手順である。続く記憶回路への書き込み期間に
おいては、もう一方の記憶回路を用いる。ただし、画素
内に設けた揮発性の記憶回路が1フレーム分であるとき
は、先に書き込んだ揮発性の記憶回路に上書きする。
【0045】期間Iでは、書き込み用ゲート信号線10
2にパルスが入力されてTFT108が導通し、記憶回
路選択部114が記憶回路B1を選択し、記憶回路B1
にデジタル映像信号が書き込まれる。続いて、期間IIで
は、書き込み用ゲート信号線103にパルスが入力され
てTFT109が導通し、記憶回路選択部115が記憶
回路B2を選択し、記憶回路B2にデジタル映像信号が
書き込まれる。最後に、期間IIIでは、書き込み用ゲー
ト信号線104にパルスが入力されてTFT110が導
通し、記憶回路選択部116が記憶回路B3を選択し、
記憶回路B3にデジタル映像信号が書き込まれる。
【0046】続いて、区間γに入り、記憶回路B1〜B
3に記憶されたデジタル映像信号に従って2フレーム目
の表示が行われる。同時に、次のフレーム期間のデジタ
ル映像信号の処理が開始される。このデジタル映像信号
は、1フレーム目の表示が終了した記憶回路A1〜A3
に再び記憶される。
【0047】その後、記憶回路A1〜A3に記憶された
デジタル映像信号の表示が区間δで行われ、同時に次の
フレーム期間のデジタル映像信号の処理が開始される。
このデジタル映像信号は、2フレーム目の表示が終了し
た記憶回路B1〜B3に再び記憶される。
【0048】不揮発性の記憶回路C1〜C3へのデジタ
ル映像信号の書き込みは、一般的にSRAM等の揮発性
の記憶回路への書き込みに比べて、非常に長い時間を必
要とするため、一旦揮発性の記憶回路A1〜A3もしく
はB1〜B3にデジタル映像信号を記憶させ、そこから
不揮発性の記憶回路C1〜C3へ書き込むという手順を
踏むのが望ましい。図1においては、揮発性の記憶回路
A1〜A3もしくはB1〜B3への書き込みが終了した
のち、読み出し用TFT111〜113がONして映像
表示を行うが、不揮発性の記憶回路への書き込みを行う
際は、読み出し用TFT111〜113がOFFし、記
憶回路選択部117〜119が、不揮発性の記憶回路C
1〜C3を選択し、書き込みを行う。この期間中は、画
面上には表示が行われないが、書き込み時間は数[ms]
程度〜100[ms]程度なのでほとんど問題とはならな
い。
【0049】また、電源投入時等に不揮発性の記憶回路
C1〜C3に記憶されたデジタル映像信号を読み出して
映像表示を行う場合にも、一旦揮発性の記憶回路A1〜
A3もしくはB1〜B3の方に書き込んで、以後のフレ
ーム期間では、揮発性の記憶回路A1〜A3もしくはB
1〜B3から読み出すようにすると良い。
【0050】以上の動作を繰り返して、映像の表示が継
続的に行われる。ここで、静止画を表示する場合には、
最初の動作で記憶回路A1〜A3にいったんデジタル映
像信号が記憶されてからは、各フレーム期間で記憶回路
A1〜A3に記憶されたデジタル映像信号を反復して読
み出せば良い。したがってこの静止画が表示されている
期間中は、外部回路、ソース信号線駆動回路などの駆動
を停止させることが出来る。
【0051】また、画素部に配置されている不揮発性の
記憶回路C1〜C3にデジタル映像信号を書き込んでお
くことで、表示装置の電源を遮断した後も継続して記憶
しておくことができる。よって,再度電源を入れた後
に,改めてデジタル映像信号のサンプリングを行うこと
なく、静止画の表示が可能である。
【0052】さらに、記憶回路へのデジタル映像信号の
書き込み、あるいは記憶回路からのデジタル映像信号の
読み出しは、ゲート信号線1本単位で行うことが可能で
ある。すなわち、ソース信号線駆動回路およびゲート信
号線駆動回路を短期間のみ動作させ、画面の一部のみを
書き換えるなどといった表示方法をとることも出来る。
この場合は、ゲート信号線駆動回路として、デコーダを
使うのが望ましい。デコーダを使用する場合には、特開
平8−101609に開示された回路を用いればよく、
図20に一例を示す。また,ソース信号線駆動回路にも
デコーダを用いて部分書き換えを行うことも可能であ
る。
【0053】また、本実施形態においては、1画素内に
A1〜A3およびB1〜B3の揮発性の記憶回路を有
し、3ビットのデジタル映像信号を2フレーム分だけ記
憶する機能を有しているが、本発明はこの数に限定しな
い。つまり、nビットのデジタル映像信号をmフレーム
分だけ記憶するには、1画素内にn×m個の記憶回路を
有していれば良い。
【0054】同様に、本実施形態においては、1画素内
にC1〜C3の不揮発性の記憶回路を有し、3ビットの
デジタル映像信号を1フレーム分だけ記憶する機能を有
しているが、本発明はこの数に限定しない。つまり、n
ビットのデジタル映像信号を、電源を遮断した後もkフ
レーム分だけ記憶しておくには、1画素内にn×k個の
不揮発性の記憶回路を有していれば良い。
【0055】以上の方法により、画素内に実装された記
憶回路を用いてデジタル映像信号の記憶を行うことによ
り、静止画を表示する際に各フレーム期間で記憶回路に
記憶されたデジタル映像信号を反復して用い、外部回
路、ソース信号線駆動回路などを駆動することなく、継
続的に静止画表示が可能となる。よって、電子装置の低
消費電力化に大きく貢献することが出来る。
【0056】また、ソース信号線駆動回路に関しては、
ビット数に応じて増加するラッチ回路等の配置の問題か
ら、必ずしも絶縁体上に一体形成する必要はなく、その
一部あるいは全部を外付けで構成しても良い。
【0057】さらに、本実施形態にて示した、電子装置
のソース信号線駆動回路においては、ビット数に応じた
ラッチ回路を配置しているが、1ビット分のみ配置して
動作させることも可能である。この場合、上位ビットか
ら下位ビットのデジタル映像信号を直列にラッチ回路に
入力すれば良い。
【0058】
【実施例】以下に本発明の実施例について記述する。
【0059】[実施例1]本実施例においては、実施形態
において示した回路における記憶回路選択部を、具体的
にトランジスタ等を用いて構成し、その動作について説
明する。
【0060】図4は、図1に示した画素と同様のもの
で、記憶回路選択部周辺を実際に回路で構成した例であ
る。図4(A)中、揮発性の記憶回路A1〜A3および
B1〜B3の各々に、書き込み選択用TFT420、4
22、424、426、428、430と、読み出し選
択用TFT421、423、425、427、429、
431とを設け、記憶回路選択信号線414〜419を
もって制御する。不揮発性の記憶回路C1〜C3の各々
は、書き込み選択用TFT435、437、439と、
読み出し選択用TFT436、438、440とを設
け、記憶回路選択信号線432〜434、441〜44
3をもって制御する。本実施例に示した画素は、揮発性
の記憶回路A1〜A3およびB1〜B3において、3ビ
ットのデジタル映像信号を2フレーム分記憶し、さらに
不揮発性の記憶回路C1〜C3によって、3ビットのデ
ジタル映像信号を1フレーム分記憶するものである。
【0061】本実施例にて図4(A)で示した回路の駆
動は、実施形態にて図3を用いて示したタイミングチャ
ートに従って駆動することが出来る。図3、図4(A)
を用いて、記憶回路選択部の実際の駆動方法を加えて、
回路動作について説明する。なお、各番号は、図3、図
4(A)のものをそのまま用いる(図番は省略する)。
【0062】図3(A)(B)を参照する。図3(A)
において、各フレーム期間をα、β、γ、δと表記して
説明する。まず、区間αにおける回路動作について説明
する。
【0063】シフトレジスタ回路から第2のラッチ回路
までの駆動方法に関しては実施形態にて示したものと同
様であるのでそれに従う。
【0064】まず、記憶回路選択信号線414〜416
にパルスが入力されて書き込み選択用TFT420、4
24、428が導通し、記憶回路A1〜A3への書き込
みが可能な状態となる。期間Iでは、書き込み用ゲート
信号線402にパルスが入力されてTFT408が導通
し、記憶回路A1にデジタル映像信号が書き込まれる。
続いて、期間IIでは、書き込み用ゲート信号線403に
パルスが入力されてTFT409が導通し、記憶回路A
2にデジタル映像信号が書き込まれる。最後に、期間II
Iでは、書き込み用ゲート信号線404にパルスが入力
されてTFT410が導通し、記憶回路A3にデジタル
映像信号が書き込まれる。
【0065】以上で、1水平期間分のデジタル映像信号
の処理が終了する。図3(B)の期間は、図3(A)に
おいて※印で示された期間である。以上の動作を最終段
まで行うことにより、1フレーム分のデジタル映像信号
が記憶回路A1〜A3に書き込まれる。
【0066】続いて、区間βにおける動作について説明
する。最終段における記憶回路への書き込みが終了する
と、1フレーム目の表示が行われる。図3(C)は、3
ビットの時間階調方式について説明する図である。今、
デジタル映像信号は、ビットごとに記憶回路A1〜A3
に記憶されている。Ts1は、第1ビットデータによる
表示期間、Ts2は、第2ビットデータによる表示期
間、Ts3は、第3ビットデータによる表示期間であ
り、各表示期間の長さは、Ts1:Ts2:Ts3=
4:2:1となっている。
【0067】ただし、表示期間の長さを2のべき乗以外
の区分によって階調表示を行うようにしても表示は可能
である。
【0068】ここでは3ビットであるから、輝度は0〜
7までの8段階が得られる。Ts1〜Ts3のいずれの
期間においても表示が行われない場合には輝度0、全て
の期間を用いて表示を行えば輝度7を得る。例えば、輝
度5を表示したい場合には、Ts1とTs3において画
素をONの状態とし、表示させればよい。
【0069】具体的に図を用いて説明する。記憶回路へ
の書き込み動作が終了した後、表示期間に移る際に、記
憶回路選択信号線414〜416に入力されていたパル
スが終了して書き込み用TFT420、422、424
は非導通状態となり、同時に記憶回路選択信号線417
〜419にパルスが入力され、読み出し用TFT42
1、425、429が導通して、記憶回路A1〜A3か
らの読み出しが可能な状態となる。Ts1においては、
読み出し用ゲート信号線405にパルスが入力されてT
FT411が導通し、記憶回路A1に記憶されたデジタ
ル映像信号にしたがってEL素子446が点灯する。続
いて、Ts2においては、読み出し用ゲート信号線40
6にパルスが入力されてTFT412が導通し、記憶回
路A2に記憶されたデジタル映像信号にしたがってEL
素子446が点灯する。最後に、Ts3においては、読
み出し用ゲート信号線407にパルスが入力されてTF
T413が導通し、記憶回路A3に記憶されたデジタル
映像信号によってEL素子446が点灯する。
【0070】以上のようにして、1フレーム期間分の表
示が行われる。一方、駆動回路側では、同時に次のフレ
ーム期間のデジタル映像信号の処理が行われている。第
2のラッチ回路へのデジタル映像信号の転送までは前述
と同様の手順である。続く記憶回路への書き込み期間に
おいては、記憶回路B1〜B3を用いる。
【0071】なお、揮発性の記憶回路A1〜A3に信号
が書き込まれる期間においては、書き込み選択用TFT
420、424、428が導通し、揮発性の記憶回路A
1〜A3に書き込みが可能な状態となっているが、同時
に読み出し選択用TFT423、427、431も導通
し、揮発性の記憶回路B1〜B3からの読み出しが可能
な状態となっている。逆に、揮発性の記憶回路B1〜B
3に信号が書き込まれる期間においては、書き込み選択
用TFT422、426、430が導通し、揮発性の記
憶回路B1〜B3に書き込みが可能な状態となっている
が、同時に読み出し選択用TFT421、425、42
9も導通し、揮発性の記憶回路A1〜A3からの読み出
しが可能な状態となっている。すなわち、本実施例で示
す画素においては、揮発性の記憶回路A1〜A3および
B1〜B3は、あるフレーム期間において書き込みと読
み出しが交互に行われる。
【0072】期間Iでは、書き込み用ゲート信号線40
2にパルスが入力されて書き込み用TFT408が導通
し、記憶回路B1にデジタル映像信号が書き込まれる。
続いて、期間IIでは、書き込み用ゲート信号線403に
パルスが入力されて書き込み用TFT409が導通し、
記憶回路B2にデジタル映像信号が書き込まれる。最後
に、期間IIIでは、書き込み用ゲート信号線404にパ
ルスが入力されて書き込み用TFT410が導通し、記
憶回路B3にデジタル映像信号が書き込まれる。
【0073】続いて、区間γに入り、記憶回路B1〜B
3に記憶されたデジタル映像信号に従って2フレーム目
の表示が行われる。同時に、次のフレーム期間のデジタ
ル映像信号の処理が開始される。このデジタル映像信号
は、1フレーム目の表示が終了した記憶回路A1〜A3
に再び記憶される。
【0074】その後、記憶回路A1〜A3に記憶された
デジタル映像信号の表示が区間δで行われ、同時に次の
フレーム期間のデジタル映像信号の処理が開始される。
このデジタル映像信号は、2フレーム目の表示が終了し
た記憶回路B1〜B3に再び記憶される。
【0075】不揮発性の記憶回路C1〜C3におけるデ
ジタル映像信号の書き込み、読み出し動作については、
実施形態と同様である。
【0076】以上の手順を繰り返すことにより、映像の
表示を行う。なお、静止画の表示を行う場合には、ある
フレームのデジタル映像信号の、記憶回路への書き込み
が終了したら、ソース信号線駆動回路を停止させ、同じ
記憶回路に書き込まれている信号を毎フレームで読み込
んで表示を行う。このような方法により、静止画の表示
中における消費電力を大きく低減することが出来る。さ
らに、不揮発性の記憶回路を用いてデジタル映像信号を
記憶することによって、表示装置の電源を遮断した後
も、静止画のデジタル映像信号を記憶することが可能で
あり、再度電源を投入した後も、静止画の表示を行うこ
とが出来る。
【0077】[実施例2]本実施例においては、画素部の
記憶回路への書き込みを点順次で行うことにより、ソー
ス信号線駆動回路の第2のラッチ回路を省略した例につ
いて記す。
【0078】図5は、記憶回路を有する画素を用いた電
子装置における、ソース信号線駆動回路および一部の画
素の構成を示したものである。この回路は、3ビットデ
ジタル階調信号に対応したものであり、シフトレジスタ
回路501、ラッチ回路502、画素503を有する。
510は、ゲート信号線駆動回路あるいは外部から直接
供給される信号が入力される信号線であり、画素の説明
とともに後述する。
【0079】図6は、図5に示した画素503の回路構
成の詳細図である。実施例1と同様、3ビットデジタル
階調に対応したものであり、EL素子646、保持容量
644、揮発性の記憶回路(A1〜A3およびB1〜B
3)、不揮発性の記憶回路(C1〜C3)等を有してい
る。601は第1ビット(MSB)信号用ソース信号
線、602は第2ビット信号用ソース信号線、603は
第3ビット(LSB)信号用ソース信号線、604は書
き込み用ゲート信号線、605〜607は、読み出し用
ゲート信号線、608〜610は書き込み用TFT、6
11〜613は読み出し用TFTである。記憶回路選択
部は、書き込み選択用TFT620、622、624、
626、628、630および読み出し選択用TFT6
21、623、625、627、629、631等を用
いて構成される。632〜634および641〜643
は、記憶回路選択信号線である。不揮発性の記憶回路C
1〜C3に関しては、記憶回路選択部は、書き込み選択
用TFT636、638、640および読み出し選択用
TFT635、637、639等を用いて構成される。
電流供給線635、保持容量638、EL駆動用TFT
645、EL素子637は実施例1と同様のもので良
い。
【0080】図7は、本実施例にて示した回路の駆動に
関するタイミングチャートである。図5、図6および図
7を用いて説明する。
【0081】シフトレジスタ回路501からラッチ回路
(LAT1)502までの動作は実施形態および実施例
1と同様に行われる。図7(B)に示すように、第1段
目でのラッチ動作が終了すると、直ちに画素内に有する
揮発性の記憶回路への書き込みを開始する。書き込み用
ゲート信号線604にパルスが入力され、書き込み用T
FT608〜610が導通し、さらに記憶回路選択信号
線626にパルスが入力されて書き込み選択用TFT6
14、618、622が導通して、揮発性の記憶回路A
1〜A3への書き込みが可能な状態となる。ラッチ回路
502に保持されたビット毎のデジタル映像信号は、3
本のソース信号線601〜603を経由して、同時に書
き込まれる。
【0082】第1段目でラッチ回路に保持されたデジタ
ル映像信号が、揮発性の記憶回路へ書き込まれていると
き、次段では続くサンプリングパルスに従って、ラッチ
回路においてデジタル映像信号の保持が行われている。
このようにして、順次揮発性の記憶回路への書き込みが
行われていく。
【0083】以上を1水平期間(図7(A)中、※※で
示す期間)内に行い、ゲート信号線の本数分が繰り返さ
れて、区間αにおける1フレーム分のデジタル映像信号
の揮発性の記憶回路への書き込みが終了すると、区間β
で示される、1フレーム目の表示期間に移る。書き込み
用ゲート信号線604に入力されていたパルスが停止
し、さらに記憶回路選択信号線614〜616が停止し
て書き込み選択用TFT620、624、628が非導
通となり、代わって記憶回路選択信号線617〜619
にパルスが入力されて読み出し選択用TFT621、6
25、629が導通し、揮発性の記憶回路A1〜A3か
らの読み出しが可能な状態となる。
【0084】続いて、実施例1で示した時間階調方式に
より、図7(C)に示すように、表示期間Ts1では、
読み出し用ゲート信号線605にパルスが入力されて読
み出し用TFT611が導通し、揮発性の記憶回路A1
に書き込まれているデジタル映像信号により、表示が行
われる。続いてTs2では、読み出し用ゲート信号線6
06にパルスが入力されて読み出し用TFT612が導
通し、揮発性の記憶回路A2に書き込まれているデジタ
ル映像信号により、表示が行われ、同様にTs3では、
読み出し用ゲート信号線607にパルスが入力されて読
み出し用TFT613が導通し、揮発性の記憶回路A3
に書き込まれているデジタル映像信号により、表示が行
われる。
【0085】以上で、1フレーム目の表示期間が完了す
る。区間βでは、同時に次のフレームにおけるデジタル
映像信号の処理が行われる。ラッチ回路502へのデジ
タル映像信号の保持までは前述と同様の手順である。続
く揮発性の記憶回路への書き込み期間においては、揮発
性の記憶回路B1〜B3を用いる。
【0086】なお、揮発性の記憶回路A1〜A3に信号
が書き込まれる期間においては、書き込み選択用TFT
620、624、628が導通し、揮発性の記憶回路A
1〜A3に書き込みが可能な状態となっているが、同時
に読み出し選択用TFT623、627、631も導通
し、揮発性の記憶回路B1〜B3からの読み出しが可能
な状態となっている。逆に、揮発性の記憶回路B1〜B
3に信号が書き込まれる期間においては、書き込み選択
用TFT622、626、630が導通し、揮発性の記
憶回路B1〜B3に書き込みが可能な状態となっている
が、同時に読み出し選択用TFT621、625、62
9も導通し、揮発性の記憶回路A1〜A3からの読み出
しが可能な状態となっている。すなわち、本実施例で示
す画素においては、揮発性の記憶回路A1〜A3および
B1〜B3は、あるフレーム期間において書き込みと読
み出しが交互に行われる。
【0087】記憶回路B1〜B3への書き込み動作、読
み出し動作は揮発性の記憶回路A1〜A3の場合と同様
である。揮発性の記憶回路B1〜B3への書き込みが終
了すると、区間γに入り、2フレーム目の表示期間に移
る。さらにこの区間では、次のフレームにおけるデジタ
ル映像信号の処理が行われる。ラッチ回路502へのデ
ジタル映像信号の保持までは前述と同様の手順である。
続く揮発性の記憶回路への書き込み期間においては、再
び揮発性の記憶回路A1〜A3を用いる。
【0088】その後、揮発性の記憶回路A1〜A3に記
憶されたデジタル映像信号の表示が区間δで行われ、同
時に次のフレーム期間のデジタル映像信号の処理が開始
される。このデジタル映像信号は、2フレーム目の表示
が終了した揮発性の記憶回路B1〜B3に再び記憶され
る。
【0089】不揮発性の記憶回路C1〜C3におけるデ
ジタル映像信号の書き込み、読み出し動作については、
実施形態と同様である。
【0090】以上の手順を繰り返すことにより、映像の
表示を行う。静止画の表示を行う場合には、あるフレー
ムのデジタル映像信号の、記憶回路への書き込みが終了
したら、ソース信号線駆動回路を停止させ、同じ記憶回
路に書き込まれている信号を毎フレームで読み込んで表
示を行う。さらに、一度電源を遮断し、再度電源を投入
した後に静止画を表示するときには、不揮発性の記憶回
路C1〜C3に記憶されているデジタル映像信号に基づ
き表示を行う。このような方法により、静止画の表示中
における消費電力を大きく低減することが出来る。さら
に、実施例1にて示した回路と比較すると、ラッチ回路
の数を1/2とすることが出来、回路配置の省スペース
化による装置全体の小型化に貢献出来る。
【0091】[実施例3]本実施例においては、実施例2
にて示した、第2のラッチ回路を省略した電子装置の回
路構成を応用し、線順次駆動により画素内の記憶回路へ
の書き込みを行う方法を用いた電子装置の例について記
す。
【0092】図17は、本実施例にて示す電子装置のソ
ース信号線駆動回路の回路構成例を示している。この回
路は、3ビットデジタル階調信号に対応したものであ
り、シフトレジスタ回路1701、ラッチ回路170
2、スイッチ回路1703、画素1704を有する。1
710は、ゲート信号線駆動回路あるいは外部から直接
供給される信号が入力される信号線である。画素の回路
構成に関しては、実施例2のものと同様で良いので、図
6をそのまま参照する。
【0093】図18は、本実施例にて示した回路の駆動
に関するタイミングチャートである。図6、図17およ
び図18を用いて説明する。
【0094】シフトレジスタ回路1701からサンプリ
ングパルスが出力され、ラッチ回路1702で、サンプ
リングパルスに従ってデジタル映像信号を保持するまで
の動作は、実施例1および実施例2と同様である。本実
施例では、ラッチ回路1702と画素1704内の揮発
性の記憶回路との間に、スイッチ回路1703を有して
いるため、ラッチ回路でのデジタル映像信号の保持が完
了しても、直ちに揮発性の記憶回路への書き込みが開始
されない。ドットデータサンプリング期間が終了するま
での間は、スイッチ回路1703は閉じたままであり、
その間、ラッチ回路ではデジタル映像信号が保持され続
ける。
【0095】図18(B)に示すように、1水平期間分
のデジタル映像信号の保持が完了すると、その後の帰線
期間中にラッチ信号(Latch Pulse)が入力
されてスイッチ回路1703が一斉に開き、ラッチ回路
1702で保持されていたデジタル映像信号は一斉に画
素1704内の揮発性の記憶回路に書き込まれる。この
ときの書き込み動作に関わる、画素1704内の動作、
さらに次のフレーム期間における表示の再の読み出し動
作に関わる、画素1704内の動作については、実施例
2と同様で良いので、ここでは説明を省略する。同様
に、不揮発性の記憶回路への書き込み方法およびタイミ
ングに関しても、実施例2に従うので、ここでは説明を
省略する。
【0096】以上の方法によって、ラッチ回路を省略し
たソース信号線駆動回路においても、線順次の書き込み
駆動を容易に行うことが出来る。
【0097】[実施例4]本実施例では、本発明の電子装
置の画素部とその周辺に設けられる駆動回路部(ソース
信号線側駆動回路、ゲート信号線側駆動回路、画素選択
信号線側駆動回路)のTFTを同時に作製する方法につ
いて説明する。但し、説明を簡単にするために、駆動回
路部に関しては基本単位であるCMOS回路を図示する
こととする。
【0098】まず、図10(A)に示すように、コーニ
ング社の#7059ガラスや#1737ガラスなどに代
表されるバリウムホウケイ酸ガラス、またはアルミノホ
ウケイ酸ガラスなどのガラスから成る基板5001上に
酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコ
ン膜などの絶縁膜から成る下地膜5002を形成する。
例えば、プラズマCVD法でSiH4、NH3、N2Oか
ら作製される酸化窒化シリコン膜5002aを10〜2
00[nm](好ましくは50〜100[nm])形成し、同様
にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化水素化シリコ
ン膜5002bを50〜200[nm](好ましくは100
〜150[nm])の厚さに積層形成する。本実施例では下
地膜5002を2層構造として示したが、前記絶縁膜の
単層膜または2層以上積層させた構造として形成しても
良い。
【0099】島状半導体層5003〜5007は、非晶
質構造を有する半導体膜をレーザー結晶化法や公知の熱
結晶化法を用いて作製した結晶質半導体膜で形成する。
この島状半導体層5003〜5007の厚さは25〜8
0[nm](好ましくは30〜60[nm])の厚さで形成す
る。結晶質半導体膜の材料に限定はないが、好ましくは
シリコンまたはシリコンゲルマニウム(SiGe)合金
などで形成すると良い。
【0100】レーザー結晶化法で結晶質半導体膜を作製
するには、パルス発振型または連続発光型のエキシマレ
ーザーやYAGレーザー、YVO4レーザーを用いる。
これらのレーザーを用いる場合には、レーザー発振器か
ら放射されたレーザー光を光学系で線状に集光し半導体
膜に照射する方法を用いると良い。結晶化の条件は実施
者が適宣選択するものであるが、エキシマレーザーを用
いる場合はパルス発振周波数30[Hz]とし、レーザーエ
ネルギー密度を100〜400[mJ/cm2](代表的には2
00〜300[mJ/cm2])とする。また、YAGレーザー
を用いる場合にはその第2高調波を用いパルス発振周波
数1〜10[kHz]とし、レーザーエネルギー密度を30
0〜600[mJ/cm2](代表的には350〜500[mJ/c
m2])とすると良い。そして幅100〜1000[μm]、
例えば400[μm]で線状に集光したレーザー光を基板
全面に渡って照射し、この時の線状レーザー光の重ね合
わせ率(オーバーラップ率)を80〜98[%]として行
う。
【0101】次いで、島状半導体層5003〜5007
を覆う第1のゲート絶縁膜5008を形成する。第1の
ゲート絶縁膜5008はプラズマCVD法またはスパッ
タ法を用い、厚さを40〜150[nm]としてシリコンを
含む絶縁膜で形成する。本実施例では、120[nm]の厚
さで酸化窒化シリコン膜で形成する。勿論、第1のゲー
ト絶縁膜はこのような酸化窒化シリコン膜に限定される
ものでなく、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積
層構造として用いても良い。例えば、酸化シリコン膜を
用いる場合には、プラズマCVD法でTEOS(Tetrae
thyl Orthosilicate)とO2とを混合し、反応圧力40
[Pa]、基板温度300〜400[℃]とし、高周波(1
3.56[MHz])、電力密度0.5〜0.8[W/cm2]で放
電させて形成することが出来る。このようにして作製さ
れる酸化シリコン膜は、その後400〜500[℃]の熱
アニールによりゲート絶縁膜として良好な特性を得るこ
とが出来る。
【0102】そして、第1のゲート絶縁膜5008上に
ゲート電極を形成するための第1の導電膜5009と第
2の導電膜5010とを形成する。本実施例では、第1
の導電膜5009をTaで50〜100[nm]の厚さに形
成し、第2の導電膜5010をWで100〜300[nm]
の厚さに形成する。
【0103】Ta膜はスパッタ法で、Taのターゲット
をArでスパッタすることにより形成する。この場合、
Arに適量のXeやKrを加えると、Ta膜の内部応力
を緩和して膜の剥離を防止することが出来る。また、α
相のTa膜の抵抗率は20[μΩcm]程度でありゲート電
極に使用することが出来るが、β相のTa膜の抵抗率は
180[μΩcm]程度でありゲート電極とするには不向き
である。α相のTa膜を形成するために、Taのα相に
近い結晶構造をもつ窒化タンタルを10〜50[nm]程度
の厚さでTaの下地に形成しておくとα相のTa膜を容
易に得ることが出来る。
【0104】W膜を形成する場合には、Wをターゲット
としたスパッタ法で形成する。その他に6フッ化タング
ステン(WF6)を用いる熱CVD法で形成することも
出来る。いずれにしてもゲート電極として使用するため
には低抵抗化を図る必要があり、W膜の抵抗率は20
[μΩcm]以下にすることが望ましい。W膜は結晶粒を大
きくすることで低抵抗率化を図ることが出来るが、W中
に酸素などの不純物元素が多い場合には結晶化が阻害さ
れ高抵抗化する。このことより、スパッタ法による場
合、純度99.9999[%]のWターゲットを用い、さ
らに成膜時に気相中からの不純物の混入がないように十
分配慮してW膜を形成することにより、抵抗率9〜20
[μΩcm]を実現することが出来る。
【0105】なお、本実施例では、第1の導電膜500
9をTa、第2の導電膜5010をWとしたが、特に限
定されず、いずれもTa、W、Ti、Mo、Al、Cu
などから選ばれた元素、または前記元素を主成分とする
合金材料もしくは化合物材料で形成してもよい。また、
リン等の不純物元素をドーピングした多結晶シリコン膜
に代表される半導体膜を用いてもよい。本実施例以外の
他の組み合わせの一例で望ましいものとしては、第1の
導電膜5009を窒化タンタル(TaN)で形成し、第
2の導電膜5010をWとする組み合わせ、第1の導電
膜5009を窒化タンタル(TaN)で形成し、第2の
導電膜5010をAlとする組み合わせ、第1の導電膜
5009を窒化タンタル(TaN)で形成し、第2の導
電膜5010をCuとする組み合わせが挙げられる。
【0106】次に、レジストによるマスク5011を形
成し、電極及び配線を形成するための第1のエッチング
処理を行う。本実施例ではICP(Inductively Couple
d Plasma:誘導結合型プラズマ)エッチング法を用い、
エッチング用ガスにCF4とCl2を混合し、1[Pa]の圧
力でコイル型の電極に500[W]のRF(13.56[MH
z])電力を投入してプラズマを生成して行う。基板側
(試料ステージ)にも100[W]のRF(13.56[MH
z])電力を投入し、実質的に負の自己バイアス電圧を印
加する。CF4とCl2を混合した場合にはW膜及びTa
膜とも同程度にエッチングされる。
【0107】上記エッチング条件では、レジストによる
マスクの形状を適したものとすることにより、基板側に
印加するバイアス電圧の効果により第1の導電層及び第
2の導電層の端部がテーパー形状となる。テーパー部の
角度は15〜45°となる。ゲート絶縁膜上に残渣を残
すことなくエッチングするためには、10〜20[%]程
度の割合でエッチング時間を増加させると良い。W膜に
対する酸化窒化シリコン膜の選択比は2〜4(代表的に
は3)であるので、オーバーエッチング処理により、酸
化窒化シリコン膜が露出した面は20〜50[nm]程度エ
ッチングされることになる。こうして、第1のエッチン
グ処理により第1の導電層と第2の導電層から成る第1
の形状の導電層5012〜5017(第1の導電層50
12a〜5017aと第2の導電層5012b〜501
7b)を形成する。このとき、第1のゲート絶縁膜50
08においては、第1の形状の導電層5012〜501
7で覆われない領域は20〜50[nm]程度エッチングさ
れ薄くなった領域が形成される。(図10(B))
【0108】そして、第1のドーピング処理を行いN型
を付与する不純物元素を添加する。ドーピングの方法は
イオンドープ法もしくはイオン注入法で行えば良い。イ
オンドープ法の条件はドーズ量を1×1013〜5×10
14[atoms/cm2]とし、加速電圧を60〜100[keV]とし
て行う。N型を付与する不純物元素として15族に属す
る元素、典型的にはリン(P)または砒素(As)を用
いるが、ここではリン(P)を用いる。この場合、導電
層5012、5013および5015〜5017がN型
を付与する不純物元素に対するマスクとなり、自己整合
的に第1の不純物領域5018〜5022が形成され
る。第1の不純物領域5018〜5022には1×10
20〜1×1021[atoms/cm3]の濃度範囲でN型を付与す
る不純物元素を添加する。(図10(B))
【0109】次に、図10(C)に示すように、レジス
トマスクは除去しないまま、第2のエッチング処理を行
う。エッチングガスにCF4とCl2とO2とを用い、W
膜を選択的にエッチングする。この時、第2のエッチン
グ処理により第2の形状の導電層5023〜5028
(第1の導電層5023a〜5028aと第2の導電層
5023b〜5028b)を形成する。このとき、第1
のゲート絶縁膜5008においては、第2の形状の導電
層5023〜5028で覆われない領域はさらに20〜
50[nm]程度エッチングされ薄くなった領域が形成され
る。
【0110】W膜やTa膜のCF4とCl2の混合ガスに
よるエッチング反応は、生成されるラジカルまたはイオ
ン種と反応生成物の蒸気圧から推測することが出来る。
WとTaのフッ化物と塩化物の蒸気圧を比較すると、W
のフッ化物であるWF6が極端に高く、その他のWC
5、TaF5、TaCl5は同程度である。従って、C
4とCl2の混合ガスではW膜及びTa膜共にエッチン
グされる。しかし、この混合ガスに適量のO2を添加す
るとCF4とO2が反応してCOとFになり、Fラジカル
またはFイオンが多量に発生する。その結果、フッ化物
の蒸気圧が高いW膜のエッチング速度が増大する。一
方、TaはFが増大しても相対的にエッチング速度の増
加は少ない。また、TaはWに比較して酸化されやすい
ので、O2を添加することでTaの表面が酸化される。
Taの酸化物はフッ素や塩素と反応しないためさらにT
a膜のエッチング速度は低下する。従って、W膜とTa
膜とのエッチング速度に差を作ることが可能となりW膜
のエッチング速度をTa膜よりも大きくすることが可能
となる。
【0111】そして、図11(A)に示すように第2の
ドーピング処理を行う。この場合、第1のドーピング処
理よりもドーズ量を下げて高い加速電圧の条件としてN
型を付与する不純物元素をドーピングする。例えば、加
速電圧を70〜120[keV]とし、1×1013[atoms/cm
2]のドーズ量で行い、図10(B)で島状半導体層に形
成された第1の不純物領域の内側に新たな不純物領域を
形成する。ドーピングは、第2の形状の導電層5023
〜5028を不純物元素に対するマスクとして用い、第
1の導電層5023a〜5028aの下側の領域にも不
純物元素が添加されるようにドーピングする。こうし
て、第3の不純物領域5029〜5033が形成され
る。この第3の不純物領域5029〜5033に添加さ
れたリン(P)の濃度は、第1の導電層5023a〜5
028aのテーパー部の膜厚に従って緩やかな濃度勾配
を有している。なお、第1の導電層5023a〜502
8aのテーパー部と重なる半導体層において、第1の導
電層5023a〜5028aのテーパー部の端部から内
側に向かって若干、不純物濃度が低くなっているもの
の、ほぼ同程度の濃度である。
【0112】図11(B)に示すように第3のエッチン
グ処理を行う。エッチングガスにCHF6を用い、反応
性イオンエッチング法(RIE法)を用いて行う。第3
のエッチング処理により、第1の導電層5023a〜5
028aのテーパー部を部分的にエッチングして、第1
の導電層が半導体層と重なる領域が縮小される。第3の
エッチング処理によって、第3の形状の導電層5034
〜5039(第1の導電層5034a〜5039aと第
2の導電層5034b〜5039b)を形成する。この
とき、第1のゲート絶縁膜5008においては、第3の
形状の導電層5034〜5039で覆われない領域はさ
らに20〜50[nm]程度エッチングされ薄くなった領域
が形成される。
【0113】第3のエッチング処理によって、第3の不
純物領域5029〜5033においては、第1の導電層
5034a〜5039aと重なる第3の不純物領域50
29a〜5033aと、第1の不純物領域と第3の不純
物領域との間の第2の不純物領域5029b〜5033
bとが形成される。
【0114】そして、図11(C)に示すように、Pチ
ャネル型TFTを形成する島状半導体層5004に第1
の導電型とは逆の導電型の第4の不純物領域5041を
形成する。第3の形状の導電層5038bを不純物元素
に対するマスクとして用い、自己整合的に不純物領域を
形成する。このとき、Nチャネル型TFTを形成する島
状半導体層5003、5005、5006、5007お
よび配線部5036はレジストマスク5040で全面を
被覆しておく。不純物領域5041にはそれぞれ異なる
濃度でリンが添加されているが、ジボラン(B26)を
用いたイオンドープ法で形成し、そのいずれの領域にお
いても不純物濃度が2×1020〜2×1021[atoms/c
m3]となるようにする。
【0115】以上までの工程でそれぞれの島状半導体層
に不純物領域が形成される。島状半導体層と重なる第3
の形状の導電層5034、5035、5037、503
9がゲート電極として機能する。島状半導体層と重なる
第3の形状の導電層5038が、不揮発性の記憶回路に
おけるメモリTFTのフローティングゲートとして機能
する。また、5036は島状のソース信号線として機能
する。
【0116】レジストマスク5040を除去した後、導
電型の制御を目的として、それぞれの島状半導体層に添
加された不純物元素を活性化する工程を行う。この工程
はファーネスアニール炉を用いる熱アニール法で行う。
その他に、レーザーアニール法、またはラピッドサーマ
ルアニール法(RTA法)を適用することが出来る。熱
アニール法では酸素濃度が1[ppm]以下、好ましくは
0.1[ppm]以下の窒素雰囲気中で400〜700
[℃]、代表的には500〜600[℃]で行うものであ
り、本実施例では500[℃]で4時間の熱処理を行う。
ただし、第3の形状の導電層5034〜5039に用い
た配線材料が熱に弱い場合には、配線等を保護するため
層間絶縁膜(シリコンを主成分とする)を形成した後で
活性化を行うことが好ましい。
【0117】さらに、3〜100[%]の水素を含む雰囲
気中で、300〜450[℃]で1〜12時間の熱処理を
行い、島状半導体層を水素化する工程を行う。この工程
は熱的に励起された水素により半導体層のダングリング
ボンドを終端する工程である。水素化の他の手段とし
て、プラズマ水素化(プラズマにより励起された水素を
用いる)を行っても良い。
【0118】続いて、図12(A)に示すように、第2
のゲート絶縁膜5042を形成し、第3の導電膜を形成
した後、パターニングによって、メモリTFTのコント
ロールゲート5043を形成する。
【0119】その上に有機絶縁物材料から成る第1の層
間絶縁膜5056を形成した後、コンタクトホールを形
成し、各配線(接続配線、信号線を含む)5045〜5
053をパターニング形成する。
【0120】続いて、第2の層間絶縁膜5054を形成
し、EL駆動用TFTのドレイン配線5052部分にコ
ンタクトホールを形成して、画素電極5063をパター
ニング形成する。なお、この段階で、バンク5056を
形成しておく。
【0121】第2の層間絶縁膜5054としては、有機
樹脂を材料とする膜を用い、その有機樹脂としてはポリ
イミド、ポリアミド、アクリル、BCB(ベンゾシクロ
ブテン)等を使用することが出来る。特に、第2の層間
絶縁膜5054は平坦化の意味合いが強いので、平坦性
に優れたアクリルが好ましい。本実施例ではTFTによ
って形成される段差を十分に平坦化しうる膜厚でアクリ
ル膜を形成する。
【0122】コンタクトホールの形成は、ドライエッチ
ングまたはウエットエッチングを用い、N型の不純物領
域またはP型の不純物領域に達するコンタクトホール、
配線に達するコンタクトホール、電源供給線に達するコ
ンタクトホール(図示せず)、およびゲート電極に達す
るコンタクトホール(図示せず)をそれぞれ形成する。
【0123】また、配線(接続配線、信号線を含む)5
045〜5053として、Ti膜を100[nm]、Tiを
含むアルミニウム膜を300[nm]、Ti膜150[nm]を
スパッタ法で連続形成した3層構造の積層膜を所望の形
状にパターニングしたものを用いる。勿論、他の導電膜
を用いても良い。
【0124】また、本実施例では、画素電極5055と
してMgAg膜を110[nm]の厚さに形成し、パターニ
ングを行った。(図12(A))
【0125】次に、図12(B)に示すように、EL層
5057および透明電極5058を、真空蒸着法を用い
て大気解放しないで連続形成する。なお、EL層505
7の膜厚は80〜200[nm](典型的には100〜12
0[nm])、透明電極5058は、ITO膜にて形成し
た。
【0126】なお、EL層5057としては公知の材料
を用いることが出来る。公知の材料としては、駆動電圧
を考慮すると有機材料を用いるのが好ましい。例えば正
孔注入層、正孔輸送層、発光層および電子注入層でなる
4層構造をEL層とすれば良い。
【0127】最後に、窒化珪素膜でなるパッシベーショ
ン膜5059を300[nm]の厚さに形成する。パッシベ
ーション膜5059を形成しておくことで、EL層50
57を水分等から保護することができ、EL素子の信頼
性をさらに高めることが出来る。
【0128】こうして図12(B)に示すような構造の
ELディスプレイパネルが完成する。なお、本実施例に
おけるELディスプレイパネルの作成工程においては、
回路の構成および工程の関係上、ゲート電極を形成して
いる材料であるTa、Wによってソース信号線を形成
し、ソース、ドレイン電極を形成している配線材料であ
るAlによってゲート信号線を形成しているが、異なる
材料を用いても良い。
【0129】なお、上記の工程により作成されるアクテ
ィブマトリクス型電子装置におけるTFTはトップゲー
ト構造をとっているが、ボトムゲート構造のTFTやそ
の他の構造のTFTに対しても本実施例は容易に適用さ
れ得る。
【0130】また、本実施例においては、ガラス基板を
使用しているが、ガラス基板に限らず、プラスチック基
板、ステンレス基板、単結晶ウェハ等、ガラス基板以外
のものを使用することによっても実施が可能である。
【0131】ところで、本実施例のELディスプレイパ
ネルは、画素部だけでなく駆動回路部にも最適な構造の
TFTを配置することにより、非常に高い信頼性を示
し、動作特性も向上しうる。また結晶化工程においてN
i等の金属触媒を添加し、結晶性を高めることも可能で
ある。それによって、ソース信号線駆動回路の駆動周波
数を10[MHz]以上にすることが可能である。
【0132】まず、極力動作速度を落とさないようにホ
ットキャリア注入を低減させる構造を有するTFTを、
駆動回路部を形成するCMOS回路のNチャネル型TF
Tとして用いる。なお、ここでいう駆動回路としては、
シフトレジスタ、バッファ、レベルシフタ、線順次駆動
におけるラッチ、点順次駆動におけるトランスミッショ
ンゲートなどが含まれる。
【0133】本実施例の場合、Nチャネル型TFTの活
性層は、ソース領域、ドレイン領域、ゲート絶縁膜を間
に挟んでゲート電極と重なるオーバーラップLDD領域
(L OV領域)、ゲート絶縁膜を間に挟んでゲート電極と
重ならないオフセットLDD領域(LOFF領域)および
チャネル形成領域を含む。
【0134】また、CMOS回路のPチャネル型TFT
は、ホットキャリア注入による劣化が殆ど気にならない
ので、特にLDD領域を設けなくても良い。勿論、Nチ
ャネル型TFTと同様にLDD領域を設け、ホットキャ
リア対策を講じることも可能である。
【0135】その他、駆動回路において、チャネル形成
領域を双方向に電流が流れるようなCMOS回路、即
ち、ソース領域とドレイン領域の役割が入れ替わるよう
なCMOS回路が用いられる場合、CMOS回路を形成
するNチャネル型TFTは、チャネル形成領域の両サイ
ドにチャネル形成領域を挟む形でLDD領域を形成する
ことが好ましい。このような例としては、点順次駆動に
用いられるトランスミッションゲートなどが挙げられ
る。また駆動回路において、オフ電流を極力低く抑える
必要のあるCMOS回路が用いられる場合、CMOS回
路を形成するNチャネル型TFTは、LOV領域を有して
いることが好ましい。このような例としては、やはり、
点順次駆動に用いられるトランスミッションゲートなど
が挙げられる。
【0136】なお、実際には図12(B)の状態まで完
成したら、さらに外気に曝されないように、気密性が高
く、脱ガスの少ない保護フィルム(ラミネートフィル
ム、紫外線硬化樹脂フィルム等)や透光性のシーリング
材でパッケージング(封入)することが好ましい。その
際、シーリング材の内部を不活性雰囲気にしたり、内部
に吸湿性材料(例えば酸化バリウム)を配置したりする
とEL素子の信頼性が向上する。
【0137】また、パッケージング等の処理により気密
性を高めたら、基板上に形成された素子又は回路から引
き回された端子と外部信号端子とを接続するためのコネ
クタ(フレキシブルプリントサーキット:FPC)を取
り付けて製品として完成する。このような出荷出来る状
態にまでした状態を本明細書中では電子装置という。
【0138】また、本実施例で示す工程に従えば、電子
装置の作製に必要なフォトマスクの数を抑えることが出
来る。その結果、工程を短縮し、製造コストの低減及び
歩留まりの向上に寄与することが出来る。
【0139】本実施例において説明した構造を有するE
L素子の場合、EL層5057で発生した光は、矢印で
示されるようにTFTが形成された基板の逆方向に向か
って放射されるため、画素部を構成する素子数が増えた
場合にも、開口率の低下を心配する必要がないため、本
発明への適用は特に有効である。また、EL層5057
で発生した光を、本実施例とは逆の方向に向かって放射
されるようにするには、EL素子の両極における画素電
極5055および透明電極5058を逆に用いれば良
い。つまり、画素電極5055に透明電極を用い、陰極
電極5058として、MgAg電極を用いれば良い。
【0140】[実施例5]実施例1〜実施例3にて示し
た、本発明の電子装置の画素部においては、揮発性の記
憶回路としてスタティック型メモリ(Static RAM : S
RAM)を用いて構成していたが、揮発性の記憶回路は
SRAMのみに限定されない。本発明の電子装置の画素
部に適用可能な揮発性の記憶回路には、他にダイナミッ
ク型メモリ(Dynamic RAM : DRAM)等があげられ
る。本実施例においては、それらの揮発性の記憶回路を
用いて回路を構成する例を紹介する。
【0141】図8(A)は、画素に配置された揮発性の
記憶回路A1〜A3およびB1〜B3にDRAMを用い
た例を示している。基本的な構成は、実施例1で示した
回路と同様である。揮発性の記憶回路A1〜A3および
B1〜B3に用いたDRAMに関しては、一般的な構成
のものを用いれば良い。本実施例では比較的構成の簡単
な、図8(B)に示すようなインバータおよび容量によ
って構成したものを用いて図示している。
【0142】ソース信号線駆動回路の動作は、実施例1
と同様である。ここで、SRAMと異なり、DRAMの
場合、一定期間ごとに再書き込み動作(以後、この動作
をリフレッシュと表記する)が必要であるため、リフレ
ッシュ用TFT801〜803を有する。リフレッシュ
は、静止画を表示している期間(揮発性の記憶回路に記
憶されたデジタル映像信号を繰り返し読み出して表示を
行っている期間)のあるタイミングで、リフレッシュ用
TFT801〜803をそれぞれ導通させ、画素部にお
ける電荷を、揮発性の記憶回路側にフィードバックする
ことによって行われる。
【0143】さらに、特に図示しないが、他形式の揮発
性の記憶回路として、強誘電体メモリ(Ferroelectric
RAM : FeRAM)を利用して本発明の電子装置の画素
部を構成することも可能である。FeRAMは、SRA
MやDRAMと同等の書き込み速度を有する不揮発性メ
モリであり、その書き込み電圧が低い等の特徴を利用し
て、本発明の電子装置のさらなる低消費電力化が可能で
ある。またその他、フラッシュメモリ等によっても、構
成は可能である。
【0144】[実施例6]本発明を適用して作成した駆動
回路を用いたアクティブマトリクス型表示装置には様々
な用途がある。本実施例では、本発明を適用して作成し
た駆動回路を用いた表示装置を組み込んだ半導体装置に
ついて説明する。
【0145】このような表示装置には、携帯情報端末
(電子手帳、モバイルコンピュータ、携帯電話等)、ビ
デオカメラ、デジタルカメラ、パーソナルコンピュー
タ、テレビ等が挙げられる。それらの一例を図15およ
び図16に示す。
【0146】図15(A)は携帯電話であり、本体26
01、音声出力部2602、音声入力部2603、表示
部2604、操作スイッチ2605、アンテナ2606
から構成されている。本発明は表示部2604に適用す
ることができる。
【0147】図15(B)はビデオカメラであり、本体
2611、表示部2612、音声入力部2613、操作
スイッチ2614、バッテリー2615、受像部261
6から成っている。本発明は表示部2612に適用する
ことができる。
【0148】図15(C)はモバイルコンピュータある
いは携帯型情報端末であり、本体2621、カメラ部2
622、受像部2623、操作スイッチ2624、表示
部2625で構成されている。本発明は表示部2625
に適用することができる。
【0149】図15(D)はヘッドマウントディスプレ
イであり、本体2631、表示部2632、アーム部2
633で構成される。本発明は表示部2632に適用す
ることができる。
【0150】図15(E)はテレビであり、本体264
1、スピーカー2642、表示部2643、受信装置2
644、増幅装置2645等で構成される。本発明は表
示部2643に適用することができる。
【0151】図15(F)は携帯書籍であり、本体26
51、表示部2652、記憶媒体2653、操作スイッ
チ2654、アンテナ2655から構成されており、ミ
ニディスク(MD)やDVD(Digital Ver
satile Disc)に記憶されたデータや、アン
テナで受信したデータを表示するものである。本発明は
表示部2652に適用することができる。
【0152】図16(A)はパーソナルコンピュータで
あり、本体2701、画像入力部2702、表示部27
03、キーボード2704で構成される。本発明は表示
部2703に適用することができる。
【0153】図16(B)はプログラムを記録した記録
媒体を用いるプレーヤーであり、本体2711、表示部
2712、スピーカー部2713、記録媒体2714、
操作スイッチ2715で構成される。なお、この装置は
記録媒体としてDVD(Digtial Versat
ile Disc)、CD等を用い、音楽鑑賞や映画鑑
賞やゲームやインターネットを行うことができる。本発
明は表示部2612に適用することができる。
【0154】図16(C)はデジタルカメラであり、本
体2721、表示部2722、接眼部2723、操作ス
イッチ2724、受像部(図示しない)で構成される。
本発明は表示部2722に適用することができる。
【0155】図16(D)は片眼のヘッドマウントディ
スプレイであり、表示部2731、バンド部2732で
構成される。本発明は表示部2731に適用することが
できる。
【0156】[実施例7]図21に携帯情報端末に本発明
を実施した例を示す。この例では静止画を表示する場合
には、CPU2106の映像信号処理回路2107、V
RAM2111などの機能を停止させ、消費電力の低減
を図ることができる。図21では動作をおこなう部分を
点線で表示している。またコントローラ2112はCO
Gで表示装置2113に装着してもよいし、表示装置内
部に一体形成してもよい。図22,23に携帯電話に本
発明を実施した例を示す。図21と同様に静止画表示時
は一部の機能を停止できるので消費電力を低減できる。
【0157】
【発明の効果】各画素の内部に配置された複数の揮発性
の記憶回路を用いてデジタル映像信号の記憶を行うこと
により、静止画を表示する際に各フレーム期間で揮発性
の記憶回路に記憶されたデジタル映像信号を反復して用
い、継続的に静止画表示を行う際に、ソース信号線駆動
回路を停止させておくことが可能となる。さらに、各画
素に配置された不揮発性の記憶回路を用いてデジタル映
像信号を保持することによって、電源を遮断した後もデ
ジタル映像信号の保持が可能となり、電子装置全体の低
消費電力化に大きく貢献することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 複数の揮発性の記憶回路と、複数の不揮発
性の記憶回路とを内部に有する本発明の画素の回路図。
【図2】 本発明の画素を用いて表示を行うためのソ
ース信号線駆動回路の回路構成例を示す図。
【図3】 本発明の画素を用いて表示を行うためのタ
イミングチャートを示す図。
【図4】 複数の揮発性の記憶回路と、複数の不揮発
性の記憶回路とを内部に有する本発明の画素の詳細な回
路図。
【図5】 第2のラッチ回路を持たないソース信号線
駆動回路の回路構成例を示す図。
【図6】 図5のソース信号線駆動回路によって駆動
される、本発明を応用した画素の詳細な回路図。
【図7】 図5および図6に記載の回路を用いて表示
を行うためのタイミングチャートを示す図。
【図8】 揮発性の記憶回路にダイナミック型メモリ
を用いる場合の本発明の画素の詳細な回路図。
【図9】 電子装置における時間階調方式の一般的な
例のタイミングを示す図。
【図10】 本発明の画素を有する電子装置の作成工
程例を示す図。
【図11】 本発明の画素を有する電子装置の作成工
程例を示す図。
【図12】 本発明の画素を有する電子装置の作成工
程例を示す図。
【図13】 従来の電子装置の全体の回路構成を簡略
に示す図。
【図14】 従来の電子装置のソース信号線駆動回路
の回路構成例を示す図。
【図15】 本発明の画素を有する表示装置の適用が
可能な電子機器の例を示す図。
【図16】 本発明の画素を有する表示装置の適用が
可能な電子電子機器の例を示す図。
【図17】 第2のラッチ回路を持たないソース信号
線駆動回路の回路構成例を示す図。
【図18】 図17に記載の回路を用いて表示を行う
ためのタイミングチャートを示す図。
【図19】 従来の電子装置の画素部の拡大図。
【図20】 デコーダを用いたゲート線駆動回路の例
を示す図。
【図21】 本発明を用いた携帯情報端末のブロック
図。
【図22】 本発明を用いた携帯電話のブロック図
【図23】 携帯電話の送受信部分のブロック図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09G 3/20 631 G09G 3/20 631K 660 660U 680 680A 680T 680V 3/36 3/36 H04N 5/70 H04N 5/70 A Fターム(参考) 5C006 AA01 AA02 AA14 AF06 AF44 AF51 AF53 AF61 BB16 BC02 BC03 BC06 BC12 BC20 BF02 BF03 BF04 BF09 BF11 BF15 BF24 FA47 5C058 AA12 BA02 BA14 BA26 BB11 5C080 AA06 AA10 BB05 DD26 EE17 EE29 FF11 GG12 JJ02 JJ06

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の画素を有する電子装置において、 前記複数の画素はそれぞれ、複数の記憶回路と、複数の
    不揮発性の記憶回路とを有することを特徴とする電子装
    置。
  2. 【請求項2】複数の画素を有する電子装置において、 前記複数の画素はそれぞれ、nビット(nは自然数、2
    ≦n)のデジタル映像信号をmフレーム分(mは自然
    数、1≦m)記憶するn×m個の記憶回路と、 前記nビットのデジタル映像信号をkフレーム分(kは
    自然数、1≦k)記憶するn×k個の不揮発性の記憶回
    路とを有することを特徴とする電子装置。
  3. 【請求項3】複数の画素を有する電子装置において、 前記複数の画素はそれぞれ、 ソース信号線と、 n本(nは自然数、2≦n)の書き込み用ゲート信号線
    と、 n本の読み出し用ゲート信号線と、 n個の書き込み用トランジスタと、 n個の読み出し用トランジスタと、 nビットのデジタル映像信号をmフレーム分(mは自然
    数、1≦m)記憶するn×m個の記憶回路と、 前記nビットのデジタル映像信号をkフレーム分(kは
    自然数、1≦k)記憶するn×k個の不揮発性の記憶回
    路と、 2n個の記憶回路選択部と、 2n個の不揮発性記憶回路選択部と、 電流供給線と、 EL駆動用トランジスタと、 EL素子とを有し、 前記n個の書き込み用トランジスタのゲート電極はそれ
    ぞれ、前記n本の書き込み用ゲート信号線のそれぞれ異
    なるいずれか1本と電気的に接続され、 前記n個の書き込み用トランジスタの入力電極はそれぞ
    れ、前記ソース信号線と電気的に接続され、 前記n個の書き込み用トランジスタの出力電極はそれぞ
    れ、n個の前記記憶回路選択部のそれぞれ異なるいずれ
    か1個を介して、m個の前記記憶回路と電気的に接続さ
    れ、 また前記n個の書き込み用トランジスタの出力電極はそ
    れぞれ、n個の前記不揮発性記憶回路選択部のそれぞれ
    異なるいずれか1個を介して、k個の前記不揮発性の記
    憶回路と電気的に接続され、 前記n個の読み出し用トランジスタのゲート電極はそれ
    ぞれ、前記n本の読み出し用ゲート信号線のそれぞれ異
    なるいずれか1本と電気的に接続され、 前記n個の書き込み用トランジスタの入力電極はそれぞ
    れ、n個の前記記憶回路選択部のそれぞれ異なるいずれ
    か1個を介して、k個の前記不揮発性の記憶回路と電気
    的に接続され、 また前記入力電極はそれぞれ、n個の前記不揮発性記憶
    回路選択部のそれぞれ異なるいずれか1個を介して、k
    個の前記不揮発性の記憶回路と電気的に接続され、 前記n個の書き込み用トランジスタの出力電極はそれぞ
    れ、前記EL駆動用トランジスタのゲート電極と電気的
    に接続され、 前記EL駆動用トランジスタの入力電極は、前記電流供
    給線と電気的に接続され、 前記EL駆動用トランジスタの出力電極は、前記EL素
    子の一方の電極と電気的に接続されていることを特徴と
    する電子装置。
  4. 【請求項4】複数の画素を有する電子装置において、 前記複数の画素はそれぞれ、 n本(nは自然数、2≦n)のソース信号線と、 書き込み用ゲート信号線と、 n本の読み出し用ゲート信号線と、 n個の書き込み用トランジスタと、 n個の読み出し用トランジスタと、 nビットのデジタル映像信号をmフレーム分(mは自然
    数、1≦m)記憶するn×m個の記憶回路と、 前記nビットのデジタル映像信号をkフレーム分(kは
    自然数、1≦k)記憶するn×k個の不揮発性の記憶回
    路と、 2n個の記憶回路選択部と、 2n個の不揮発性記憶回路選択部と、 電流供給線と、 EL駆動用トランジスタと、 EL素子とを有し、 前記n個の書き込み用トランジスタのゲート電極はそれ
    ぞれ、前記書き込み用ゲート信号線と電気的に接続さ
    れ、 入力電極はそれぞれ、前記n本のソース信号線のそれぞ
    れ異なるいずれか1本と電気的に接続され、 出力電極はそれぞれ、n個の前記記憶回路選択部のそれ
    ぞれ異なるいずれか1個を介して、m個の前記記憶回路
    と電気的に接続され、 また前記出力電極はそれぞれ、n個の前記不揮発性記憶
    回路選択部のそれぞれ異なるいずれか1個を介して、k
    個の前記不揮発性の記憶回路と電気的に接続され、 前記n個の読み出し用トランジスタのゲート電極はそれ
    ぞれ、前記n本の読み出し用ゲート信号線のそれぞれ異
    なるいずれか1本と電気的に接続され、 入力電極はそれぞれ、n個の前記記憶回路選択部のそれ
    ぞれ異なるいずれか1個を介して、k個の前記不揮発性
    の記憶回路と電気的に接続され、 また前記入力電極はそれぞれ、n個の前記不揮発性記憶
    回路選択部のそれぞれ異なるいずれか1個を介して、k
    個の前記不揮発性の記憶回路と電気的に接続され、 前記n個の書き込み用トランジスタの出力電極はそれぞ
    れ、前記EL駆動用トランジスタのゲート電極と電気的
    に接続され、 前記EL駆動用トランジスタの入力電極は、前記電流供
    給線と電気的に接続され、 前記EL駆動用トランジスタの出力電極は、前記EL素
    子の一方の電極と電気的に接続されていることを特徴と
    する電子装置。
  5. 【請求項5】請求項3もしくは請求項4のいずれか1項
    において、 前記記憶回路選択部は、 前記m個の記憶回路および前記k個の不揮発性の記憶回
    路のうちいずれか1個を選択して、前期書き込み用トラ
    ンジスタの出力電極と、前記選択された記憶回路もしく
    は前記選択された不揮発性の記憶回路とを導通し、前記
    デジタル映像信号の、前記選択された記憶回路への書き
    込みを行い、 あるいは、前記m個の記憶回路および前記k個の不揮発
    性の記憶回路のうちいずれか1個を選択して、前記読み
    出し用トランジスタの入力電極と、前記選択された記憶
    回路もしくは前記選択された不揮発性の記憶回路とを導
    通し、前記記憶されたデジタル映像信号の読み出しを行
    うことを特徴とする電子装置。
  6. 【請求項6】請求項3において、 クロック信号とスタートパルスとにしたがって、順次サ
    ンプリングパルスを出力するシフトレジスタと、 前記サンプリングパルスにしたがって、nビット(nは
    自然数、2≦n)のデジタル映像信号を保持する第1の
    ラッチ回路と、 前記第1のラッチ回路に保持された前記nビットのデジ
    タル映像信号が転送される第2のラッチ回路と、 前記第2のラッチ回路に転送された前記nビットのデジ
    タル映像信号を1ビットずつ順に選択し、前記ソース信
    号線に出力する、ビット選択回路とを有することを特徴
    とする電子装置。
  7. 【請求項7】請求項4において、 クロック信号とスタートパルスとにしたがって、順次サ
    ンプリングパルスを出力するシフトレジスタと、 前記サンプリングパルスにしたがって、nビット(nは
    自然数、2≦n)のデジタル映像信号のうち、1ビット
    の前記デジタル映像信号を保持する第1のラッチ回路
    と、 前記第1のラッチ回路に保持された前記1ビットの前記
    デジタル映像信号が転送され、前記ソース信号線に前記
    1ビットの前記デジタル映像信号を出力する第2のラッ
    チ回路とを有することを特徴とする電子装置。
  8. 【請求項8】請求項4において、 クロック信号とスタートパルスとにしたがって、順次サ
    ンプリングパルスを出力するシフトレジスタと、 前記サンプリングパルスにしたがって、1ビットのデジ
    タル映像信号を保持するラッチ回路と、 前記ラッチ回路に転送された前記1ビットのデジタル映
    像信号を出力する前記ソース信号線を選択する、ビット
    選択回路とを有することを特徴とする電子装置。
  9. 【請求項9】請求項1乃至請求項8のいずれか1項にお
    いて、 前記記憶回路はスタティック型メモリ(SRAM)であ
    ることを特徴とする電子装置。
  10. 【請求項10】請求項1乃至請求項8のいずれか1項に
    おいて、 前記記憶回路は強誘電体メモリ(FeRAM)であるこ
    とを特徴とする電子装置。
  11. 【請求項11】請求項1乃至請求項8のいずれか1項に
    おいて、 前記記憶回路はダイナミック型メモリ(DRAM)であ
    ることを特徴とする電子装置。
  12. 【請求項12】請求項1乃至請求項8のいずれか1項に
    おいて、 前記不揮発性の記憶回路は、電気的に書き込み、読み出
    し、消去が可能な不揮発性メモリ(EEPROM)であ
    ることを特徴とする電子装置。
  13. 【請求項13】請求項1乃至請求項12のいずれか1項
    において、 前記記憶回路は、ガラス基板上に形成されていることを
    特徴とする電子装置。
  14. 【請求項14】請求項1乃至請求項12のいずれか1項
    において、 前記記憶回路は、プラスチック基板上に形成されている
    ことを特徴とする電子装置。
  15. 【請求項15】請求項1乃至請求項12のいずれか1項
    において、 前記記憶回路は、ステンレス基板上に形成されているこ
    とを特徴とする電子装置。
  16. 【請求項16】請求項1乃至請求項12のいずれか1項
    において、 前記記憶回路は、単結晶ウェハ上に形成されていること
    を特徴とする電子装置。
  17. 【請求項17】nビット(nは自然数、2≦n)のデジ
    タル映像信号を用いて映像の表示を行う電子装置の駆動
    方法において、 前記電子装置は、ソース信号線駆動回路と、ゲート信号
    線駆動回路と、複数の画素とを有し前記ソース信号線駆
    動回路においては、 シフトレジスタからサンプリングパルスが出力されてラ
    ッチ回路に入力され、 前記ラッチ回路においては、前記サンプリングパルスに
    したがって前記デジタル映像信信号が保持され、 前記保持されたデジタル映像信号はソース信号線へと書
    き込みが行われ、 前記ゲート信号線駆動回路においては、 ゲート信号線選択パルスが出力されてゲート信号線が選
    択され、 前記複数の画素においてはそれぞれ、 前記ゲート信号線が選択されている行において、 ソース信号線より入力されるnビットのデジタル映像信
    号の、記憶回路への書き込み、 または前記記憶回路に記憶された前記nビットのデジタ
    ル映像信号の読み出し、 または前記ソース信号線より入力される前記nビットの
    デジタル映像信号もしくは前記記憶回路に記憶された前
    記nビットのデジタル映像信号の、不揮発性の記憶回路
    への書き込み、 または前記不揮発性の記憶回路に記憶された前記nビッ
    トのデジタル映像信号の読み出し、 または前記不揮発性の記憶回路に記憶された前記nビッ
    トのデジタル映像信号の、前記記憶回路への書き込みを
    行うことを特徴とする電子装置の駆動方法。
  18. 【請求項18】nビット(nは自然数、2≦n)のデジ
    タル映像信号を用いて映像の表示を行う電子装置の駆動
    方法において、 前記電子装置は、ソース信号線駆動回路と、ゲート信号
    線駆動回路と、複数の画素とを有し前記ソース信号線駆
    動回路においては、 シフトレジスタからサンプリングパルスが出力されてラ
    ッチ回路に入力され、 前記ラッチ回路においては、前記サンプリングパルスに
    したがって前記デジタル映像信信号が保持され、 前記保持されたデジタル映像信号はソース信号線へと書
    き込みが行われ、 前記ゲート信号線駆動回路は、ゲート信号線選択パルス
    を出力して、前記ゲート信号線を、1行目から順次選択
    し、 前記複数の画素においては、1行目から順次前記nビッ
    トのデジタル映像信号の書き込み、または前記nビット
    の映像信号の読み出しが行われることを特徴とする電子
    装置の駆動方法。
  19. 【請求項19】nビット(nは自然数、2≦n)のデジ
    タル映像信号を用いて映像の表示を行う電子装置の駆動
    方法において、 前記電子装置は、ソース信号線駆動回路と、ゲート信号
    線駆動回路と、複数の画素とを有し前記ソース信号線駆
    動回路においては、 シフトレジスタからサンプリングパルスが出力されてラ
    ッチ回路に入力され、 前記ラッチ回路においては、前記サンプリングパルスに
    したがって前記デジタル映像信信号が保持され、 前記保持されたデジタル映像信号はソース信号線へと書
    き込みが行われ、 前記ゲート信号線駆動回路は、ゲート信号線選択パルス
    を、前記ゲート信号線の任意の行を特定して出力するこ
    とによって選択し、 前記複数の画素においては、前記ゲート信号線が選択さ
    れている任意の行において、前記nビットのデジタル映
    像信号の書き込み、 または前記nビットの映像信号の読み出しが行われるこ
    とを特徴とする電子装置の駆動方法。
  20. 【請求項20】請求項17乃至請求項19のいずれか1
    項において、 静止画像の表示期間においては、 前記記憶回路に記憶された前記nビットのデジタル映像
    信号を繰り返し読み出して静止画像の表示を行うことに
    より、前記ソース信号線駆動回路を停止することを特徴
    とする電子装置の駆動方法。
  21. 【請求項21】請求項1乃至請求項16のいずれか1項
    に記載の前記電子装置を用いたことを特徴とする電子機
    器。
  22. 【請求項22】請求項17乃至請求項20のいずれか1
    項に記載の前記電子装置の駆動方法を用いたことを特徴
    とする電子機器。
  23. 【請求項23】請求項21もしくは請求項22のいずれ
    か1項において、 前記電子機器とは、テレビ、パーソナルコンピュータ、
    携帯端末、ビデオカメラ、ヘッドマウントディスプレイ
    のいずれか1つであることを特徴とする電子機器。
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