JP2002127186A - トランスファー成形装置用の材料供給装置 - Google Patents

トランスファー成形装置用の材料供給装置

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JP2002127186A
JP2002127186A JP2000326085A JP2000326085A JP2002127186A JP 2002127186 A JP2002127186 A JP 2002127186A JP 2000326085 A JP2000326085 A JP 2000326085A JP 2000326085 A JP2000326085 A JP 2000326085A JP 2002127186 A JP2002127186 A JP 2002127186A
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transfer molding
hopper
supply device
material supply
pot
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Nobuki Yamamoto
伸樹 山本
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Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポットに粉粒状の樹脂材料を供給する際に、
供給されるべき粉粒状の樹脂材料が、材料供給装置の材
料ホッパー内に残留することがなく、ポットに所定量の
材料の供給がされない問題や、材料供給装置での材料詰
まりという問題の発生を防止できるトランスファー成形
装置用の材料供給装置を提供する。 【解決手段】 粉粒状の樹脂材料を保持する材料ホッパ
ー5と、この材料ホッパー5内の樹脂材料の排出を制御
するシャッター6を取付けているヘッドベース7を具備
していて、ヘッドベース7がトランスファー成形装置の
金型のポットの上方に移動可能であるトランスファー成
形装置用の材料供給装置であって、材料ホッパー5の側
壁面の周囲に、冷却用媒体の流路を形成していることを
特徴とするトランスファー成形装置用の材料供給装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子等の電
子部品を樹脂封止する際に使用されるトランスファー成
形装置用の材料供給装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体素子等の電子部品をエポキシ樹脂
等の熱硬化性樹脂を用いて封止成形を行うにあたって、
従来からトランスファー成形が行われている。一般に、
トランスファー成形における樹脂成形装置の金型は、ポ
ット(チャンバーともいう)とキャビティ及びポットと
キャビティとを接続するランナー等の樹脂流路を設けて
形成されるものであり、ポットには注入プランジャーが
進退自在に設けてある。そしてポットに熱硬化性樹脂等
の樹脂材料を供給し、ポット内で樹脂材料を加熱しなが
ら、注入プランジャーを前進させてポット内の樹脂材料
を加圧すると、ポット内での加熱とこの加圧で樹脂材料
が溶融し、樹脂流路からキャビティに樹脂材料が注入さ
れて、成形が行われるようになっている。
【0003】ポットに供給する樹脂材料としては、粉粒
状のものと、予め粉粒状の樹脂材料を加圧して圧縮した
タブレットとがある。このうちポットに供給する樹脂材
料として粉粒状のものを使用するトランスファー成形装
置の一例を示しているのが図4であり、このトランスフ
ァー成形装置には、粉粒状の樹脂材料をポット1に供給
する材料供給装置Aと、供給された粉粒状の樹脂材料を
用いてトランスファー成形を行う成形金型装置Bを具備
している。また、このトランスファー成形装置には半導
体素子を装着したリードフレームを成形金型装置Bにセ
ットする前にプレヒートするプレヒートテーブル2や成
形金型装置Bで成形を終えた、ランナー・カル付きの成
形品を載せるための取りだしテーブル3等も備えてい
る。そして、成形金型装置Bは上型と、下型よりなる金
型4を金型セット位置12(2点鎖線で示す位置)にセ
ットするようになっていて、この例では、12個のポッ
ト1を有する金型4を使用している。
【0004】そして、このようなトランスファー成形装
置に使用される粉粒状の樹脂材料を供給する材料供給装
置Aの従来例として、図5、図6に示すものがある。図
5は従来の材料供給装置Aの要部を示す斜視図であり、
図6は従来の材料供給装置Aの要部の断面図である。図
5、図6に示すように、従来の材料供給装置Aは、上面
を開口して形成され、粉粒状の樹脂材料を保持する材料
ホッパー5と、この材料ホッパー5内の樹脂材料の排出
を制御するシャッター6を取付けているヘッドベース7
を具備していて、このヘッドベース7が、成形金型装置
Bの金型4の上型と下型が開いているときに、下型に形
成されているポット1の上方に移動して、粉粒状の樹脂
材料をポット1内に供給できるように構成されている。
なお、この図4に示すトランスファー成形装置に適用す
る場合には、材料供給装置Aは12個の材料ホッパー5
を、ヘッドベース7に装着することになる。そして、シ
ャッター6はヘッドベース7に取付けているシャッター
開閉シリンダー10によって、材料ホッパー5の排出口
の開閉ができるようになっていて、シャッター6の上側
にはシャッター蓋8が、シャッター6の下側にはシャッ
ター受台9が配設されている。また、ヘッドベース7
は、昇降装置(図示せず)を動作させることにより、上
下方向に進退自在になっている。さらに、ヘッドベース
7は駆動装置(図示せず)を動作することにより、図4
に示す、材料供給装置Aの待機位置11から、プレヒー
トテーブル2の上方位置、さらに、金型4をセットして
いる金型セット位置12(2点鎖線で示す位置)に移動
できるようになっている。
【0005】そして、この材料供給装置Aは、待機位置
11において、シャッター6が閉の状態で各材料ホッパ
ー5に所定量の粉粒状の樹脂を供給した後、加熱状態に
している金型4であって、上、下型が開いている状態の
金型4の下型に形成されているポット1の上方にヘッド
ベース7を移動させ、次いで昇降装置(図示せず)によ
って、ヘッドベース7を下降させた後、材料ホッパー5
の排出口を閉じていたシャッター6を開の状態にして、
粉粒状の樹脂材料を材料ホッパー5から排出してポット
1内に供給するようにしている。その後、ヘッドベース
7は待機位置11に戻り、金型4の上下型を型締めし
て、トランスファ成形が行われるようになっている。な
お、ヘッドベース7には、リードフレームを着脱できる
チャッキング装置(図示せず)が設けられていて、材料
供給装置Aを使用して粉粒状の樹脂材料と共にリードフ
レームを上下型が開いている状態の金型4内に供給する
ようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の材料供給装置を用いた場合、粉粒状の樹脂材料を
材料ホッパーら排出して金型のポット内に供給するとき
に、材料ホッパーが加熱状態にある金型からの熱で加熱
されてその温度が上昇するため、ポットに供給されるべ
き粉粒状の樹脂材料が、材料ホッパーの内側に付着し
て、排出されずに残留することがあった。そして、この
ような付着現象が発生して、材料ホッパー内に粉粒状の
樹脂材料が残留した場合には、ポットに所定量の材料の
供給がされなかったり、材料詰まりというトラブルが発
生し、そのために成形不良が発生することがあった。
【0007】本発明は、上記問題点を改善するために成
されたもので、その目的とする所は、上面を開口して形
成され、粉粒状の樹脂材料を保持する材料ホッパーと、
この材料ホッパー内の樹脂材料の排出を制御するシャッ
ターを取付けているヘッドベースを具備していて、この
ヘッドベースがトランスファー成形装置の金型のポット
の上方に移動可能であるトランスファー成形装置用の材
料供給装置を用いて、トランスファー成形装置の金型に
形成されているポットに粉粒状の樹脂材料を供給する際
に、供給されるべき粉粒状の樹脂材料が、材料供給装置
の材料ホッパー内に残留することがなく、その結果、ポ
ットに所定量の材料の供給がされない問題や、材料供給
装置での材料詰まりという問題の発生を防止できるトラ
ンスファー成形装置用の材料供給装置を提供することで
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明のト
ランスファー成形装置用の材料供給装置は、上面を開口
して形成され、粉粒状の樹脂材料を保持する材料ホッパ
ーと、この材料ホッパー内の樹脂材料の排出を制御する
シャッターを取付けているヘッドベースを具備してい
て、このヘッドベースがトランスファー成形装置の金型
のポットの上方に移動可能であるトランスファー成形装
置用の材料供給装置であって、上記材料ホッパーの側壁
面の周囲に、冷却用媒体の流路を形成していることを特
徴とするトランスファー成形装置用の材料供給装置であ
る。
【0009】この請求項1に係る発明のトランスファー
成形装置用の材料供給装置では、材料ホッパーの側壁面
の周囲に、冷却用媒体の流路を形成しているので、加熱
された金型からの熱で材料ホッパーが加熱されてその温
度が上昇する現象を防止できる。従って、この材料供給
装置を用いると、ポットに投入されるべき樹脂材料が、
材料ホッパー内に付着しにくくなるようにでき、そのた
め、ポットに所定量の材料の供給がされない問題や、材
料供給装置での材料詰まりという問題の発生を防止する
ことができる。
【0010】請求項2に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置は、冷却用媒体の流路が、材料ホ
ッパーの側壁面を形成する部材を貫通していることを特
徴とする請求項1記載のトランスファー成形装置用の材
料供給装置である。
【0011】この請求項2に係る発明のトランスファー
成形装置用の材料供給装置では、材料ホッパーの側壁面
を形成する部材を貫通するように冷却用媒体の流路を設
けているので、金型からの熱で材料ホッパーが加熱され
てその温度が上昇する現象をより確実に防止できる。
【0012】請求項3に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置は、冷却用媒体が、冷却エアーで
あることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のトラ
ンスファー成形装置用の材料供給装置であり、冷却用媒
体が冷却エアーであるために、液体を用いる場合に比
べ、冷却用媒体がその流路外にもれても、周囲を汚染す
ることがないという利点がある。
【0013】請求項4に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置は、材料ホッパーの内面をふっ素
樹脂で被覆していることを特徴とする請求項1〜請求項
3の何れかに記載のトランスファー成形装置用の材料供
給装置であり、材料ホッパーの内面をふっ素樹脂で被覆
しているので、材料ホッパー内に粉粒状の樹脂材料がよ
り付着しにくくなり、ポットに所定量の材料の供給がさ
れない問題や、材料供給装置での材料詰まりという問題
の発生をより確実に防止することができるようになる。
【0014】請求項5に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置は、上記ふっ素樹脂がポリテトラ
フルオロエチレンであることを特徴とする請求項4記載
のトランスファー成形装置用の材料供給装置である。こ
の材料供給装置では、ふっ素樹脂としてより非粘着性が
優れるポリテトラフルオロエチレンを使用するので、材
料ホッパー内に粉粒状の樹脂材料がより付着しにくくな
り、ポットに所定量の材料の供給がされない問題や、材
料供給装置での材料詰まりという問題の発生をより確実
に防止することができるようになる。
【0015】
【発明の実施の形態】図4は本発明の材料供給装置を適
用できる、金型4に形成されているポット1に供給する
樹脂材料として粉粒状のものを使用するトランスファー
成形装置の一例を示している平面図である。このトラン
スファー成形装置は、従来の技術の欄でも説明したよう
に、材料供給装置Aと成形金型装置Bを具備している。
また、このトランスファー成形装置には半導体素子を装
着したリードフレームを成形金型装置Bにセットする前
にプレヒートするプレヒートテーブル2、成形金型装置
Bで成形を終えた、ランナー・カル付きの成形品を載せ
るための取りだしテーブル3、カル・ランナーを分離し
た後の成形品を一旦保持するための成形品保持部17等
も備えている。そして、成形金型装置Bは上型と、下型
よりなる金型4を金型セット位置12(2点鎖線で示す
位置)にセットするようになっていて、この例では、1
2個のポット1を有する金型4を使用している。以下に
説明する本発明の材料供給装置は、図4に示すようなト
ランスファー成形装置に適用できるが、図4に示すもの
以外に、ポットに供給する樹脂材料として粉粒状のもの
を使用する各種のトランスファー成形装置に適用できる
ものである。
【0016】以下、本発明の実施の形態を、図4に示す
トランスファー成形装置に適用する場合を例にして説明
する。
【0017】図1は本発明の材料供給装置の一実施形態
の要部を示す斜視図であり、図2はその材料供給装置A
の要部の縦断面図である。この実施形態の材料供給装置
Aは図1、図2に示すように、上面を開口して形成さ
れ、熱硬化性樹脂等からなる粉粒状の樹脂材料を保持す
る材料ホッパー5と、この材料ホッパー5内の樹脂材料
の排出を制御するシャッター6を取付けているヘッドベ
ース7を有している。材料ホッパー5は、ホッパー枠1
3内に6個形成していて、合計12個の材料ホッパー5
をヘッドベース7に装着している。また、ホッパー枠1
3は、この実施形態では金属製であり、このホッパー枠
13によって材料ホッパー5の側壁面を形成している。
そして、シャッター6はヘッドベース7に取り付けてい
るシャッター開閉シリンダー10によって、材料ホッパ
ー5の排出口を開閉できるようになっていて、シャッタ
ー6の上側にはシャッター蓋8が、シャッター6の下側
にはシャッター受台9が配設されている。また、ヘッド
ベース7は、昇降装置(図示せず)を動作させることに
より、昇降自在になっている。さらに、ヘッドベース7
は駆動装置(図示せず)を動作することにより、図4に
示す、材料供給装置Aの待機位置11から、プレヒート
テーブル2の上方位置、さらに、金型4をセットしてい
る金型セット位置12(2点鎖線で示す位置)に移動で
きるようになっている。
【0018】そして、この材料供給装置Aは、待機位置
11において、シャッター6が閉の状態で各材料ホッパ
ー5に所定量の粉粒状の樹脂を供給した後、加熱されて
いて、上下型が開いている状態の金型4の下型に形成さ
れているポット1の上方にヘッドベース7を移動させ、
次いで昇降装置(図示せず)によって、ヘッドベース7
を下降させた後、材料ホッパー5の排出口を閉じていた
シャッター6を、シャッター開閉シリンダー10によっ
て開の状態にして、粉粒状の樹脂材料を材料ホッパー5
から排出してポット1内に供給するようにしている。そ
の後、ヘッドベース7は待機位置11に戻り、金型4の
上下型を型締めして、トランスファ成形を行うようにな
っている。なお、ヘッドベース7には、リードフレーム
を着脱できるチャッキング装置(図示せず)が設けられ
ていて、材料供給装置Aを使用して粉粒状の樹脂材料と
共にリードフレームを上下型が開いている状態の金型4
内に供給するようにしている。
【0019】この実施の形態では、図1〜図3に示すよ
うに、材料ホッパー5の側壁面を形成している部材であ
るホッパー枠13を貫通している、冷却用媒体の流路1
4をホッパー枠13毎に4本形成している。なお、図3
はホッパー枠13の横断面図を示している。この流路1
4に冷却装置(図示せず)で冷却したエアーを流路の入
口15から導入し、出口16から出すようにしている。
そのため、この実施の形態の材料供給装置では、加熱さ
れた金型からの熱で材料ホッパーが加熱されてその温度
が上昇する現象を防止できる。従って、この材料供給装
置を用いると、ポットに投入されるべき樹脂材料が、材
料ホッパー内に付着しにくくなり、そのため、ポットに
所定量の材料の供給がされない問題や、材料供給装置で
の材料詰まりという問題の発生を防止することができ
る。
【0020】上記の実施形態は、冷却用媒体の流路14
には冷却したエアーを通す形態であったが、本発明にお
いては、冷媒として各種の液体やガスを使用してもよ
い。ただし、冷却用媒体としては液体を用いるよりも、
冷却したエアーを用いる方が、周囲を汚染することが少
ないという利点がある。
【0021】また、上記の実施形態では、材料ホッパー
5の側壁面を形成している部材であるホッパー枠13を
貫通して、冷却用媒体の流路14を形成しているが、本
発明においては、材料ホッパー5の側壁面の周囲に、該
側壁面を形成している部材とは別部材(例えば冷却用の
配管)で冷却用媒体の流路を形成することも可能であ
る。
【0022】さらに、上記の図1〜図3に示す実施形態
において、材料ホッパー5の内面をポリテトラフルオロ
エチレン等のふっ素樹脂で被覆するようにすると、材料
ホッパー5内に粉粒状の樹脂材料がより付着しにくくな
り、ポットに所定量の材料の供給がされない問題や、材
料供給装置での材料詰まりという問題の発生をより確実
に防止することができるようになる。この場合に使用す
るふっ素樹脂としては、より非粘着性が優れるポリテト
ラフルオロエチレンを使用することが望ましい。
【0023】
【発明の効果】請求項1に係る発明のトランスファー成
形装置用の材料供給装置では、材料ホッパーの側壁面の
周囲に、冷却用媒体の流路を形成しているので、加熱さ
れた金型からの熱で材料ホッパーが加熱されてその温度
が上昇する現象を防止できる。従って、この請求項1に
係る発明の材料供給装置を用いると、ポットに投入され
るべき樹脂材料が、材料ホッパー内に付着しにくくなる
ようにすることができ、そのため、ポットに所定量の材
料の供給がされない問題や、材料供給装置での材料詰ま
りという問題の発生を防止することが可能となる。
【0024】請求項2に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置では、材料ホッパーの側壁面を形
成する部材を貫通するように冷却用媒体の流路を設けて
いるので、この請求項2に係る発明の材料供給装置を用
いると、金型からの熱で材料ホッパーが加熱されてその
温度が上昇する現象をより確実に防止でき、ポットに所
定量の材料の供給がされない問題や、材料供給装置での
材料詰まりという問題の発生を防止することが可能とな
る。
【0025】請求項3に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置では、冷却用媒体が冷却エアーで
あるために、請求項1に係る発明の効果に加えて、液体
を用いる場合に比べ、冷却用媒体がその流路外にもれて
も、周囲を汚染することがないという効果を奏する。
【0026】請求項4に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置では、材料ホッパーの内面をふっ
素樹脂で被覆しているので、材料ホッパー内に粉粒状の
樹脂材料がより付着しにくくなり、従って請求項4に係
る発明のトランスファー成形装置用の材料供給装置を用
いると、ポットに所定量の材料の供給がされない問題
や、材料供給装置での材料詰まりという問題の発生をよ
り確実に防止することができるようになる。
【0027】請求項5に係る発明のトランスファー成形
装置用の材料供給装置では、ふっ素樹脂としてより非粘
着性が優れるポリテトラフルオロエチレンを使用するの
で、材料ホッパー内に粉粒状の樹脂材料がより付着しに
くくなり、従って請求項5に係る発明のトランスファー
成形装置用の材料供給装置を用いると、ポットに所定量
の材料の供給がされない問題や、材料供給装置での材料
詰まりという問題の発生をより確実に防止することがで
きるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の材料供給装置の要部の斜
視図である。
【図2】同上の要部の縦断面図である。
【図3】同上のホッパー枠の横断面図である。
【図4】本発明の材料供給装置を適用するトランスファ
ー成形装置の全体構成を説明するための平面図である。
【図5】従来の材料供給装置の要部の斜視図である。
【図6】同上の要部の縦断面図である。
【符号の説明】
A 材料供給装置 B 成形金型装置 1 ポット 2 プレヒートテーブル 3 取りだしテーブル 4 金型 5 材料ホッパー 6 シャッター 7 ヘッドベース 8 シャッター蓋 9 シャッター受台 10 シャッター開閉シリンダー 11 待機位置 12 金型セット位置 13 ホッパー枠 14 流路 15 入口 16 出口 17 成形品保持部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B29L 31:34 B29L 31:34

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上面を開口して形成され、粉粒状の樹脂
    材料を保持する材料ホッパーと、この材料ホッパー内の
    樹脂材料の排出を制御するシャッターを取付けているヘ
    ッドベースを具備していて、このヘッドベースがトラン
    スファー成形装置の金型のポットの上方に移動可能であ
    るトランスファー成形装置用の材料供給装置であって、
    上記材料ホッパーの側壁面の周囲に、冷却用媒体の流路
    を形成していることを特徴とするトランスファー成形装
    置用の材料供給装置。
  2. 【請求項2】 上記冷却用媒体の流路が、材料ホッパー
    の側壁面を形成する部材を貫通していることを特徴とす
    る請求項1記載のトランスファー成形装置用の材料供給
    装置。
  3. 【請求項3】 上記冷却用媒体が、冷却エアーであるこ
    とを特徴とする請求項1又は請求項2記載のトランスフ
    ァー成形装置用の材料供給装置。
  4. 【請求項4】 材料ホッパーの内面をふっ素樹脂で被覆
    していることを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか
    に記載のトランスファー成形装置用の材料供給装置。
  5. 【請求項5】 上記ふっ素樹脂がポリテトラフルオロエ
    チレンであることを特徴とする請求項4記載のトランス
    ファー成形装置用の材料供給装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103915352A (zh) * 2013-01-08 2014-07-09 东和株式会社 树脂封装装置及树脂封装方法
JP2018111251A (ja) * 2017-01-11 2018-07-19 マクセル株式会社 発泡成形体の製造方法及び製造装置
JP2019093593A (ja) * 2017-11-21 2019-06-20 Towa株式会社 搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103915352A (zh) * 2013-01-08 2014-07-09 东和株式会社 树脂封装装置及树脂封装方法
JP2014135330A (ja) * 2013-01-08 2014-07-24 Towa Corp 樹脂封止装置及び樹脂封止方法
JP2018111251A (ja) * 2017-01-11 2018-07-19 マクセル株式会社 発泡成形体の製造方法及び製造装置
WO2018131372A1 (ja) * 2017-01-11 2018-07-19 マクセル株式会社 発泡成形体の製造方法及び製造装置
CN109890588A (zh) * 2017-01-11 2019-06-14 麦克赛尔株式会社 发泡成形体的制造方法和制造装置
KR20190093638A (ko) * 2017-01-11 2019-08-09 마쿠세루 가부시키가이샤 발포 성형체의 제조방법 및 제조장치
EP3569377A4 (en) * 2017-01-11 2020-08-26 Maxell, Ltd. PROCESS AND APPARATUS FOR MANUFACTURING AN EXPANDED PRODUCT
KR102227944B1 (ko) 2017-01-11 2021-03-16 마쿠세루 가부시키가이샤 발포 성형체의 제조방법 및 제조장치
CN109890588B (zh) * 2017-01-11 2021-03-19 麦克赛尔株式会社 发泡成形体的制造方法和制造装置
US11318646B2 (en) 2017-01-11 2022-05-03 Maxell, Ltd. Method and apparatus for manufacturing foamed product
JP2019093593A (ja) * 2017-11-21 2019-06-20 Towa株式会社 搬送装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法

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