JP2002120370A - 流体噴射装置、インクジェット装置およびその動作方法 - Google Patents
流体噴射装置、インクジェット装置およびその動作方法Info
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 変換器とチャンバとの間の位置不整合をある
程度許容できると共に、変換器とチャンバとの間の従来
の接着性結合を不要とするインクジェット装置である。 【解決手段】 静電引力は、圧電アクチュエータ５と流
体チャンバ１の可とう性壁８との間の接着剤として働
く。複数のチャネル間で共有され得る単一のアクチュエ
ータ５が、インク２をノズル４から外方に駆動する力を
提供する。静電界はオンおよびオフに切換えでき、従っ
て個々のチャネルは、これらのチャネルが液滴を射出し
なければならない場合にのみ、アクチュエータ５に対し
て選択的に固定される。
程度許容できると共に、変換器とチャンバとの間の従来
の接着性結合を不要とするインクジェット装置である。 【解決手段】 静電引力は、圧電アクチュエータ５と流
体チャンバ１の可とう性壁８との間の接着剤として働
く。複数のチャネル間で共有され得る単一のアクチュエ
ータ５が、インク２をノズル４から外方に駆動する力を
提供する。静電界はオンおよびオフに切換えでき、従っ
て個々のチャネルは、これらのチャネルが液滴を射出し
なければならない場合にのみ、アクチュエータ５に対し
て選択的に固定される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に流体噴射デ
バイス、より特定的には、インクジェット装置、インク
ジェットプリンタヘッドおよびそれを動作させる方法に
関する。
バイス、より特定的には、インクジェット装置、インク
ジェットプリンタヘッドおよびそれを動作させる方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットプリンタは、それが印刷
している表面と物理的に全く接触しない非衝撃式プリン
タのタイプとして知られている。「インクジェット」と
いう名前が示唆するように、インクジェットプリンタ
は、印刷されるべき表面上に自由空気を通してプリンタ
ヘッドから外方にインクジェットを放射する。接触する
ことなくさまざまな形状およびテクスチュアをもつ表面
上に印刷できるというその能力のため、インクジェット
技術は、特に製品のマーキング、コード入れ、日付入れ
または識別に依存するあらゆるタイプの産業において、
日々新しい利用分野を見い出している。インクジェット
印刷（テキストおよびグラフィクス）もまた著しく発達
してきた。
している表面と物理的に全く接触しない非衝撃式プリン
タのタイプとして知られている。「インクジェット」と
いう名前が示唆するように、インクジェットプリンタ
は、印刷されるべき表面上に自由空気を通してプリンタ
ヘッドから外方にインクジェットを放射する。接触する
ことなくさまざまな形状およびテクスチュアをもつ表面
上に印刷できるというその能力のため、インクジェット
技術は、特に製品のマーキング、コード入れ、日付入れ
または識別に依存するあらゆるタイプの産業において、
日々新しい利用分野を見い出している。インクジェット
印刷（テキストおよびグラフィクス）もまた著しく発達
してきた。
【０００３】インクジェット技術は２つの主要なカテゴ
リの中に入る。１つは、インクの流れがプリンタの本体
からプリンタヘッドまでそして再びプリンタの本体まで
連続的に循環している連続式インクジェット技術であ
る。インクはノズルにおいて液滴に分割され、次に電荷
により偏向されて標的に達するかあるいは戻りブロック
内で終わる。もう１つの技術は、インクの小滴が必要と
なった場合にのみ適当な時点でノズルから外方に強制的
に押し出される、ドロップオンデマンドである。一部の
ケースでは、抵抗器を加熱して気泡を膨張させることに
よってインクが射出される。気泡がつぶれた時点で、小
滴は裂け、システムはその当初の状態に戻る。その他の
ケースでは、インク中で機械的にひき起こされた容積変
化に起因する圧力パルスの下でインクが射出される。
リの中に入る。１つは、インクの流れがプリンタの本体
からプリンタヘッドまでそして再びプリンタの本体まで
連続的に循環している連続式インクジェット技術であ
る。インクはノズルにおいて液滴に分割され、次に電荷
により偏向されて標的に達するかあるいは戻りブロック
内で終わる。もう１つの技術は、インクの小滴が必要と
なった場合にのみ適当な時点でノズルから外方に強制的
に押し出される、ドロップオンデマンドである。一部の
ケースでは、抵抗器を加熱して気泡を膨張させることに
よってインクが射出される。気泡がつぶれた時点で、小
滴は裂け、システムはその当初の状態に戻る。その他の
ケースでは、インク中で機械的にひき起こされた容積変
化に起因する圧力パルスの下でインクが射出される。
【０００４】後者のケースの標準的なドロップオンデマ
ンドタイプのインクジェット印刷システムは、Howkins
に付与された米国特許第４,４５９,６０１号の中で開示
されている。Howkins では、射出チャンバの容積は、射
出チャンバの可動壁と連通する圧電変換器によって変動
させられる。該変換器は、１つのオリフィスを通してイ
ンクを外方へ駆動すべく膨張および収縮する。圧電変換
器上に設置された電極に印刷制御電圧が印加されて、変
換器の膨張または収縮運動が誘発される。
ンドタイプのインクジェット印刷システムは、Howkins
に付与された米国特許第４,４５９,６０１号の中で開示
されている。Howkins では、射出チャンバの容積は、射
出チャンバの可動壁と連通する圧電変換器によって変動
させられる。該変換器は、１つのオリフィスを通してイ
ンクを外方へ駆動すべく膨張および収縮する。圧電変換
器上に設置された電極に印刷制御電圧が印加されて、変
換器の膨張または収縮運動が誘発される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一般に、上述のHawkin
s の構造においては、変換器は、射出チャンバに取付け
られるべく接着剤またはそれと類似のものを通して、予
め定められた位置に設置される。特に高品質のプリンタ
においては、インクジェットプリンタヘッド内でインク
液滴を射出するために、通常より数多くのノズルを設計
することが望ましい。インクジェットプリンタヘッドの
寸法は制限されていることから、密にパッケージされた
アレイの形に配置された変換器はできるかぎり小型でな
くてはならない。従って、多数のノズルを有する高密度
インクジェット記録装置の場合、変換器を整列させその
それぞれの可動壁に結合させる上での精度の観点からみ
て制限がある。可動壁と圧電変換器との間に介在された
接着層はまた、インクジェット装置の駆動効率をも低下
させる可能性がある。
s の構造においては、変換器は、射出チャンバに取付け
られるべく接着剤またはそれと類似のものを通して、予
め定められた位置に設置される。特に高品質のプリンタ
においては、インクジェットプリンタヘッド内でインク
液滴を射出するために、通常より数多くのノズルを設計
することが望ましい。インクジェットプリンタヘッドの
寸法は制限されていることから、密にパッケージされた
アレイの形に配置された変換器はできるかぎり小型でな
くてはならない。従って、多数のノズルを有する高密度
インクジェット記録装置の場合、変換器を整列させその
それぞれの可動壁に結合させる上での精度の観点からみ
て制限がある。可動壁と圧電変換器との間に介在された
接着層はまた、インクジェット装置の駆動効率をも低下
させる可能性がある。
【０００６】さらに、従来のインクジェット装置は、各
チャネル毎に別々の変換器を利用する。各変換器内で個
別に、一対の電極も形成されなければならない。従っ
て、かかるプリンタヘッドを製造するためには、多数の
個別部品を使用しなければならず、アレイを組立てるの
に多数の工程が必要となる。これらの理由から、これま
では非常に高密度のインクジェットプリンタヘッドを製
造することは実際上不可能であった。
チャネル毎に別々の変換器を利用する。各変換器内で個
別に、一対の電極も形成されなければならない。従っ
て、かかるプリンタヘッドを製造するためには、多数の
個別部品を使用しなければならず、アレイを組立てるの
に多数の工程が必要となる。これらの理由から、これま
では非常に高密度のインクジェットプリンタヘッドを製
造することは実際上不可能であった。
【０００７】従って、本発明の１つの目的は、変換器と
チャンバとの間の位置不整合を、精度を犠牲にすること
なく、ある程度許容するようなインクジェット装置を提
供することにある。
チャンバとの間の位置不整合を、精度を犠牲にすること
なく、ある程度許容するようなインクジェット装置を提
供することにある。
【０００８】本発明のさらなる目的は、変換器とチャン
バのと間の物理的な接着性結合を不要として、インクジ
ェット装置の駆動効率を改善するようなインクジェット
装置を提供することにある。
バのと間の物理的な接着性結合を不要として、インクジ
ェット装置の駆動効率を改善するようなインクジェット
装置を提供することにある。
【０００９】本発明のさらなる目的は、共通の変換器お
よびチャンバを利用し、しかも上述の目的を達成するよ
うなインクジェット装置を提供することにある。
よびチャンバを利用し、しかも上述の目的を達成するよ
うなインクジェット装置を提供することにある。
【００１０】本発明のさらなる目的は、単一の変換器が
複数のチャネル間で共用できかくして使用すべき部品の
数を減らし、インクジェットプリンタヘッドの製造にお
ける組立てプロセスを簡略化するインクジェットプリン
タヘッドを提供することにある。
複数のチャネル間で共用できかくして使用すべき部品の
数を減らし、インクジェットプリンタヘッドの製造にお
ける組立てプロセスを簡略化するインクジェットプリン
タヘッドを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のこれらのおよび
その他の目的は、変換器に射出チャンバの可動壁を結合
させるために静電引力を利用することによって達成され
る。本発明の１つの態様によると、流体噴射装置は、流
体チャンバおよびアクチュエータを備える。流体チャン
バは、ノズルと、振動してこのチャンバの容積を変える
能力を持つ可とう性壁とを有する。アクチュエータは、
制御信号に従って機械的運動を生成する。可とう性壁お
よびアクチュエータは、静電結合構成によって結合さ
れ、かくしてアクチュエータの機械的運動は、可とう性
壁の振動へと変換される。
その他の目的は、変換器に射出チャンバの可動壁を結合
させるために静電引力を利用することによって達成され
る。本発明の１つの態様によると、流体噴射装置は、流
体チャンバおよびアクチュエータを備える。流体チャン
バは、ノズルと、振動してこのチャンバの容積を変える
能力を持つ可とう性壁とを有する。アクチュエータは、
制御信号に従って機械的運動を生成する。可とう性壁お
よびアクチュエータは、静電結合構成によって結合さ
れ、かくしてアクチュエータの機械的運動は、可とう性
壁の振動へと変換される。
【００１２】本発明の上述の目的はまた、インクチャン
バおよびアクチュエータを備えるインクジェット装置に
よっても達成される。インクチャンバは、ノズル、入
口、および可とう性壁を含む。静電結合構成が、可とう
性壁とアクチュエータとの間の静電結合を生み出すため
に具備される。かくして、アクチュエータが移動したと
きに、可とう性壁が変形されて、ノズルを通してインク
を外方へ強制的に押し出し、入口を通してインクを中に
引き込む。本発明の一態様によると、静電結合構成に
は、アクチュエータの端面および可とう性壁の外部表面
に対し直接または間接的に取付けられる一対の電極が含
まれている。
バおよびアクチュエータを備えるインクジェット装置に
よっても達成される。インクチャンバは、ノズル、入
口、および可とう性壁を含む。静電結合構成が、可とう
性壁とアクチュエータとの間の静電結合を生み出すため
に具備される。かくして、アクチュエータが移動したと
きに、可とう性壁が変形されて、ノズルを通してインク
を外方へ強制的に押し出し、入口を通してインクを中に
引き込む。本発明の一態様によると、静電結合構成に
は、アクチュエータの端面および可とう性壁の外部表面
に対し直接または間接的に取付けられる一対の電極が含
まれている。
【００１３】本発明の上述の目的はまた、複数の射出チ
ャンバと、少なくとも１つの動作駆動要素と、結合制御
回路とからなるインクジェットプリンタヘッドによって
も達成される。各射出チャンバはノズル、入口および可
とう性壁を有する。各々１つの可とう性壁と連係する、
複数の第１の静電結合部材が存在する。少なくとも１つ
の第２の静電結合部材もまた、少なくとも１つの動作駆
動要素のために具備される。結合制御回路は、選択され
た第１の静電結合部材と少なくとも１つの第２の静電結
合部材との間の静電結合を選択的に形成する。従って、
少なくとも１つの動作駆動要素が移動したときに、選択
された第１の静電結合部材と連係する可とう性壁のみが
変形されて、インクをそのノズルを通して外方へと強制
的に押し出し、インクをその入口を通して中に引き込
む。本発明の一態様によると、静電結合部材は、少なく
とも１つの動作駆動要素の端面および可とう性壁の外部
表面に直接または間接的に取付けられた電極である。
ャンバと、少なくとも１つの動作駆動要素と、結合制御
回路とからなるインクジェットプリンタヘッドによって
も達成される。各射出チャンバはノズル、入口および可
とう性壁を有する。各々１つの可とう性壁と連係する、
複数の第１の静電結合部材が存在する。少なくとも１つ
の第２の静電結合部材もまた、少なくとも１つの動作駆
動要素のために具備される。結合制御回路は、選択され
た第１の静電結合部材と少なくとも１つの第２の静電結
合部材との間の静電結合を選択的に形成する。従って、
少なくとも１つの動作駆動要素が移動したときに、選択
された第１の静電結合部材と連係する可とう性壁のみが
変形されて、インクをそのノズルを通して外方へと強制
的に押し出し、インクをその入口を通して中に引き込
む。本発明の一態様によると、静電結合部材は、少なく
とも１つの動作駆動要素の端面および可とう性壁の外部
表面に直接または間接的に取付けられた電極である。
【００１４】本発明の上述の目的はまた、インクジェッ
ト装置を動作する方法によっても達成される。インクジ
ェット装置には、可とう性壁を伴うインクチャンバとア
クチュエータが含まれる。該方法によると、静電結合が
可とう性壁とアクチュエータの間に形成される。次に、
可とう性壁は、第１の方向へのアクチュエータの運動に
応答して変形される。本発明の一態様によると、このと
き可とう性壁は、第２の方向へのアクチュエータの運動
に応答して、または静電結合が除去されたときに、その
もとの状態に戻る。
ト装置を動作する方法によっても達成される。インクジ
ェット装置には、可とう性壁を伴うインクチャンバとア
クチュエータが含まれる。該方法によると、静電結合が
可とう性壁とアクチュエータの間に形成される。次に、
可とう性壁は、第１の方向へのアクチュエータの運動に
応答して変形される。本発明の一態様によると、このと
き可とう性壁は、第２の方向へのアクチュエータの運動
に応答して、または静電結合が除去されたときに、その
もとの状態に戻る。
【００１５】本発明の以上の目的はまた、インクジェッ
トプリンタヘッドの動作方法によっても達成される。イ
ンクジェットプリンタヘッドは、複数の射出チャンバお
よび少なくとも１つのアクチュエータを含む。該方法に
よると、選択された射出チャンバの可とう性壁と少なく
とも１つのアクチュエータとの間で選択的に静電結合が
形成される。次に、第１の方向での少なくとも１つのア
クチュエータの運動に応答して、選択された可とう性壁
が変形される。本発明の一態様によると、選択された可
とう性壁はこのとき、第２の方向での少なくとも１つの
アクチュエータの運動に応答してかまたは静電結合が除
去されたときに、そのもとの状態に戻る。従って、イン
クは、選択された射出チャンバのみから噴射される。
トプリンタヘッドの動作方法によっても達成される。イ
ンクジェットプリンタヘッドは、複数の射出チャンバお
よび少なくとも１つのアクチュエータを含む。該方法に
よると、選択された射出チャンバの可とう性壁と少なく
とも１つのアクチュエータとの間で選択的に静電結合が
形成される。次に、第１の方向での少なくとも１つのア
クチュエータの運動に応答して、選択された可とう性壁
が変形される。本発明の一態様によると、選択された可
とう性壁はこのとき、第２の方向での少なくとも１つの
アクチュエータの運動に応答してかまたは静電結合が除
去されたときに、そのもとの状態に戻る。従って、イン
クは、選択された射出チャンバのみから噴射される。
【００１６】本発明のさらにその他の目的および利点
は、本発明を実施する上で考えられる最良態様の単なる
例示として、本発明の好ましい実施形態のみが示され記
述されている以下の詳細の説明から、当業者には直ちに
明らかとなることだろう。ここで分かるように、本発明
は、その他のおよび異なる実施形態が可能であり、その
いくつかの細部は、全て本発明から逸脱することなくさ
まざまな明白な点において変形され得るものである。従
って、図面および本明細書は、それ自体例示としてみな
され、制限的な意味をもつものとはみなされるべきでは
ない。
は、本発明を実施する上で考えられる最良態様の単なる
例示として、本発明の好ましい実施形態のみが示され記
述されている以下の詳細の説明から、当業者には直ちに
明らかとなることだろう。ここで分かるように、本発明
は、その他のおよび異なる実施形態が可能であり、その
いくつかの細部は、全て本発明から逸脱することなくさ
まざまな明白な点において変形され得るものである。従
って、図面および本明細書は、それ自体例示としてみな
され、制限的な意味をもつものとはみなされるべきでは
ない。
【００１７】本発明は、添付図面の図の中で、制限とし
てではなく一例として示されてあり、同じ参照番号のつ
いた要素が全体を通して同じ要素を表わしている。
てではなく一例として示されてあり、同じ参照番号のつ
いた要素が全体を通して同じ要素を表わしている。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明によるインクジェットプリ
ンタヘッド内で使用するためのインクジェット装置およ
びその動作方法を述べる。以下の詳細な記述において
は、説明を目的として、本発明を完全に理解できるよう
にするため数多くの特定的細部が記されている。しかし
ながら、本発明はこれらの特定的細部なしに実施するこ
とのできるということは明白である。他の例では、図面
を簡略化するため、周知の構造およびデバイスがブロッ
ク図で示されている。
ンタヘッド内で使用するためのインクジェット装置およ
びその動作方法を述べる。以下の詳細な記述において
は、説明を目的として、本発明を完全に理解できるよう
にするため数多くの特定的細部が記されている。しかし
ながら、本発明はこれらの特定的細部なしに実施するこ
とのできるということは明白である。他の例では、図面
を簡略化するため、周知の構造およびデバイスがブロッ
ク図で示されている。
【００１９】図１を参照すると、インクジェット装置１
０は、チャンバ１およびアクチュエータ５を含んでな
る。チャンバ１は、標的（図示せず）上に画素を形成す
べく、チャンバ１の壁の上に作られたノズル４を通して
射出されるインク２で満たされている。インク２は、イ
ンクタンク（図示せず）と連通している入口３を通して
チャンバ１に供給される。チャンバ１はさらに、その容
積を変動させるべく振動する可とう性壁８を有する。チ
ャンバ１の容積が減少すると、チャンバ１の内部のイン
ク圧は上昇し、インク２をノズル４を通して外方へと強
制的に押し出す。反対に、チャンバ１の容積が増大した
と、チャンバ１内のインク圧力は低下し、インク２を入
口３を通して中へと引き込む。図１ではノズル４が可と
う性壁８とは反対の壁上に形成され、入口３がチャンバ
１の側面に形成されているが、当業者であれば、さまざ
まな配置を容易に考えつくものである。チャンバ１の構
造的構成要素の形状、材料または寸法といったその他の
詳細もまた周知のことであり、ここで列挙する必要はな
い。
０は、チャンバ１およびアクチュエータ５を含んでな
る。チャンバ１は、標的（図示せず）上に画素を形成す
べく、チャンバ１の壁の上に作られたノズル４を通して
射出されるインク２で満たされている。インク２は、イ
ンクタンク（図示せず）と連通している入口３を通して
チャンバ１に供給される。チャンバ１はさらに、その容
積を変動させるべく振動する可とう性壁８を有する。チ
ャンバ１の容積が減少すると、チャンバ１の内部のイン
ク圧は上昇し、インク２をノズル４を通して外方へと強
制的に押し出す。反対に、チャンバ１の容積が増大した
と、チャンバ１内のインク圧力は低下し、インク２を入
口３を通して中へと引き込む。図１ではノズル４が可と
う性壁８とは反対の壁上に形成され、入口３がチャンバ
１の側面に形成されているが、当業者であれば、さまざ
まな配置を容易に考えつくものである。チャンバ１の構
造的構成要素の形状、材料または寸法といったその他の
詳細もまた周知のことであり、ここで列挙する必要はな
い。
【００２０】インクジェット装置１０は、可とう性壁８
の振動を駆動するためにアクチュエータ５の機械的運動
を利用する。ここでもまた、アクチュエータ５のタイ
プ、形状、材料または寸法といった詳細は周知のことで
あり、ここで列挙する必要はない。例えば、アクチュエ
ータ５は、電圧がその上に印加されたときに膨張または
収縮する圧電材料で作られていてよい。図１では、アク
チュエータ５は、端面が可とう性壁８に対面しここから
わずかに離隔した状態でチャンバ１と同軸的に設置され
て示されているが、当業者であればさまざまな配置を容
易に考えつく。また、アクチュエータ５はチャンバ１の
中心軸（図示せず）に沿って移動する必要がないという
こともわかる。
の振動を駆動するためにアクチュエータ５の機械的運動
を利用する。ここでもまた、アクチュエータ５のタイ
プ、形状、材料または寸法といった詳細は周知のことで
あり、ここで列挙する必要はない。例えば、アクチュエ
ータ５は、電圧がその上に印加されたときに膨張または
収縮する圧電材料で作られていてよい。図１では、アク
チュエータ５は、端面が可とう性壁８に対面しここから
わずかに離隔した状態でチャンバ１と同軸的に設置され
て示されているが、当業者であればさまざまな配置を容
易に考えつく。また、アクチュエータ５はチャンバ１の
中心軸（図示せず）に沿って移動する必要がないという
こともわかる。
【００２１】アクチュエータ５の運動を可とう性壁８の
振動へと変換するため、本発明のインクジェット装置
は、静電引力の形での静電結合を利用する。静電界は、
電圧が印加されたときに、第１の電極６と第２の電極７
との間に生成される。当業者であれば、アクチュエータ
５と可とう性壁８との間に充分強い静電結合を提供すべ
く第１および第２の電極の数多くの配置を容易に実現で
きるであろう。
振動へと変換するため、本発明のインクジェット装置
は、静電引力の形での静電結合を利用する。静電界は、
電圧が印加されたときに、第１の電極６と第２の電極７
との間に生成される。当業者であれば、アクチュエータ
５と可とう性壁８との間に充分強い静電結合を提供すべ
く第１および第２の電極の数多くの配置を容易に実現で
きるであろう。
【００２２】図１に示された実施形態においては、第１
の電極６は、アクチュエータ５の近接した端面上に形成
され、一方第２の電極７は可とう性壁８の外部表面上に
形成されている。電極対６および７の間には、短絡を防
ぐための絶縁体９が設置されている。好ましくは、第２
の電極７と絶縁体９は、可とう性壁８の振動に対して干
渉しないタイプのものである。例えば、図１に示すイン
クジェット装置１０の絶縁体９は、第１の電極６に取付
けられており、絶縁体９と第２の電極７との間には小さ
な空隙１５が存在する。しかしながら、第１の電極６に
代わって第２の電極７と絶縁体９が接触している場合、
すなわち、第２の電極７に絶縁体９が取付けられている
場合のようなその他の構成が除外されるわけではない。
第２の電極７は、当該技術分野において周知の技術によ
り、可とう性壁８の外部表面全体にわたり薄いフィルム
として形成され得る。一つの変形形態として、第２の電
極７および可とう性壁８を本体に一体に組込むこともで
きる。
の電極６は、アクチュエータ５の近接した端面上に形成
され、一方第２の電極７は可とう性壁８の外部表面上に
形成されている。電極対６および７の間には、短絡を防
ぐための絶縁体９が設置されている。好ましくは、第２
の電極７と絶縁体９は、可とう性壁８の振動に対して干
渉しないタイプのものである。例えば、図１に示すイン
クジェット装置１０の絶縁体９は、第１の電極６に取付
けられており、絶縁体９と第２の電極７との間には小さ
な空隙１５が存在する。しかしながら、第１の電極６に
代わって第２の電極７と絶縁体９が接触している場合、
すなわち、第２の電極７に絶縁体９が取付けられている
場合のようなその他の構成が除外されるわけではない。
第２の電極７は、当該技術分野において周知の技術によ
り、可とう性壁８の外部表面全体にわたり薄いフィルム
として形成され得る。一つの変形形態として、第２の電
極７および可とう性壁８を本体に一体に組込むこともで
きる。
【００２３】インクジェット装置１０の動作は、図２〜
４を参照することによって最も良く理解されるだろう。
図２に示されているように、電極６および７の対に電圧
差Ｖ 1が加えられたときに、強い静電界が形成され、１
つの電極はもう１つの電極を引きつける。このとき、可
とう性壁８およびアクチュエータ５は結合され、可とう
性壁８の振動がアクチュエータ５の運動によって駆動さ
れることになる。別の電圧Ｖ2が圧電材料製のアクチュ
エータ５に印加されたとき、アクチュエータ５は収縮
し、矢印Ａによって示されるように、チャンバ１から離
れる。第１の電極６および第２の電極７は、静電界によ
って結合されることから、アクチュエータ５は、可とう
性壁８を引っ張り、これを図２に示されている膨張状態
まで変形させる。可とう性壁８が変形すると、チャンバ
１の容積は増大し、チャンバ１の内部のインク圧力は低
下し、かくしてインク２は入口３を通してチャンバ１内
に引き込まれることになる。
４を参照することによって最も良く理解されるだろう。
図２に示されているように、電極６および７の対に電圧
差Ｖ 1が加えられたときに、強い静電界が形成され、１
つの電極はもう１つの電極を引きつける。このとき、可
とう性壁８およびアクチュエータ５は結合され、可とう
性壁８の振動がアクチュエータ５の運動によって駆動さ
れることになる。別の電圧Ｖ2が圧電材料製のアクチュ
エータ５に印加されたとき、アクチュエータ５は収縮
し、矢印Ａによって示されるように、チャンバ１から離
れる。第１の電極６および第２の電極７は、静電界によ
って結合されることから、アクチュエータ５は、可とう
性壁８を引っ張り、これを図２に示されている膨張状態
まで変形させる。可とう性壁８が変形すると、チャンバ
１の容積は増大し、チャンバ１の内部のインク圧力は低
下し、かくしてインク２は入口３を通してチャンバ１内
に引き込まれることになる。
【００２４】次の段階では、アクチュエータ５上の電圧
Ｖ2は変更され、例えば除去されて、図３中の矢印Ｂに
より示されているように、その以前の位置まで急速に戻
る。従って、可とう性壁８はそのもとの状態まで復帰
し、チャンバ１内に捕捉されたインク２を圧縮する。チ
ャンバ１内部の増大しつつあるインク圧力はインク２を
ノズル４から外方へ強制的に押し出し、標的に向かって
飛行するインク液滴２０を形成する。チャンバ１内の過
渡的圧力は減衰し、電圧Ｖ1は、任意に電極対６および
７からとり除かれる。こうしてサイクルは完了し、イン
クジェット装置１０は、いつでも次のサイクルに入れる
状態となる。
Ｖ2は変更され、例えば除去されて、図３中の矢印Ｂに
より示されているように、その以前の位置まで急速に戻
る。従って、可とう性壁８はそのもとの状態まで復帰
し、チャンバ１内に捕捉されたインク２を圧縮する。チ
ャンバ１内部の増大しつつあるインク圧力はインク２を
ノズル４から外方へ強制的に押し出し、標的に向かって
飛行するインク液滴２０を形成する。チャンバ１内の過
渡的圧力は減衰し、電圧Ｖ1は、任意に電極対６および
７からとり除かれる。こうしてサイクルは完了し、イン
クジェット装置１０は、いつでも次のサイクルに入れる
状態となる。
【００２５】当業者にとって、電圧Ｖ1を変えることで
可とう性壁８も図２の膨張状態からもとの状態に復帰さ
せ、インク液滴２０をノズル４を通して噴射させること
になる、ということは明白である。これは、電圧Ｖ1が
変更または除去されたときに、静電結合が消滅するかま
たは充分に弱くなるからである。このとき電極対６およ
び７は互いに解放し、可とう性壁８は自由にそのもとの
状態に復帰できるようになる。
可とう性壁８も図２の膨張状態からもとの状態に復帰さ
せ、インク液滴２０をノズル４を通して噴射させること
になる、ということは明白である。これは、電圧Ｖ1が
変更または除去されたときに、静電結合が消滅するかま
たは充分に弱くなるからである。このとき電極対６およ
び７は互いに解放し、可とう性壁８は自由にそのもとの
状態に復帰できるようになる。
【００２６】同様にして、アクチュエータ５の運動にも
かかわらず、第１の電極６と第２の電極７との間の静電
結合が充分に強くない場合、可とう性壁８はもとの状態
から膨張状態まで移動しない。図４に示されているよう
に、電圧Ｖ2が印加されたときに、アクチュエータ５
は、矢印Ａによって示されているように、収縮しチャン
バ１から離れる。しかしながら、電圧Ｖ1は電極６およ
び７の対に印加されないことから（Ｖ1＝０），いかな
る静電界も形成されず、従って、第１の電極６および第
２の電極７は互いに引き合わない。可とう性壁８はアク
チュエータ５の運動によって駆動されず、チャンバ１は
休止状態にある。従って、インク２はチャンバ１内に進
入せず、アクチュエータ５が戻ったときノズル４から全
くインクは射出されない。
かかわらず、第１の電極６と第２の電極７との間の静電
結合が充分に強くない場合、可とう性壁８はもとの状態
から膨張状態まで移動しない。図４に示されているよう
に、電圧Ｖ2が印加されたときに、アクチュエータ５
は、矢印Ａによって示されているように、収縮しチャン
バ１から離れる。しかしながら、電圧Ｖ1は電極６およ
び７の対に印加されないことから（Ｖ1＝０），いかな
る静電界も形成されず、従って、第１の電極６および第
２の電極７は互いに引き合わない。可とう性壁８はアク
チュエータ５の運動によって駆動されず、チャンバ１は
休止状態にある。従って、インク２はチャンバ１内に進
入せず、アクチュエータ５が戻ったときノズル４から全
くインクは射出されない。
【００２７】本発明のもう１つの実施形態が図５に描か
れている。図５中のインクジェット装置３０の構成要素
の大部分は、図１のインクジェット装置１０のものと類
似のものであり、ここで再度記述しない。インクジェッ
ト装置３０は、第２の電極７が可とう性壁８の外部表面
上に形成されず、代わりにてこ機構３６のような反転機
構を介して可とう性壁８に接続されている、という点
で、インクジェット装置１０と異なっている。
れている。図５中のインクジェット装置３０の構成要素
の大部分は、図１のインクジェット装置１０のものと類
似のものであり、ここで再度記述しない。インクジェッ
ト装置３０は、第２の電極７が可とう性壁８の外部表面
上に形成されず、代わりにてこ機構３６のような反転機
構を介して可とう性壁８に接続されている、という点
で、インクジェット装置１０と異なっている。
【００２８】前述のとおり、電極対６および７は、電圧
Ｖ1の印加に応答して互いに引きつけ合い、アクチュエ
ータ５は、電圧Ｖ2の印加に応答して矢印Ａの方向に離
れる。しかしながらインクジェット装置３０では、てこ
機構３６は、可とう性壁８の変形方向を反転させる。特
に、第２の電極７が第１の電極６によって引きつけられ
矢印Ａの方向に移動したときに、てこ機構３６のアーム
３３は矢印Ｂによって示された反対方向に移動する。ア
ーム３３は可とう性壁８をチャンバ１の内部へと内側に
押し、インク２をノズル４から外方に強制的に押し出
し、インク液滴２０を形成する。このとき、アクチュエ
ータ５が戻ったとき、または静電結合が除去されたとき
に、てこ機構３６のアーム３３および可とう性壁８はそ
のそれぞれのもとの位置まで復帰する。チャンバ１内部
のインク圧力は減少し、インク２をチャンバ１内に突進
させる。インクジェット装置３０はいつでも次のサイク
ルの待機状態となる。このモードは、当該技術分野にお
いて、充てん前発射（fire-before-fill）モードとして
知られている。
Ｖ1の印加に応答して互いに引きつけ合い、アクチュエ
ータ５は、電圧Ｖ2の印加に応答して矢印Ａの方向に離
れる。しかしながらインクジェット装置３０では、てこ
機構３６は、可とう性壁８の変形方向を反転させる。特
に、第２の電極７が第１の電極６によって引きつけられ
矢印Ａの方向に移動したときに、てこ機構３６のアーム
３３は矢印Ｂによって示された反対方向に移動する。ア
ーム３３は可とう性壁８をチャンバ１の内部へと内側に
押し、インク２をノズル４から外方に強制的に押し出
し、インク液滴２０を形成する。このとき、アクチュエ
ータ５が戻ったとき、または静電結合が除去されたとき
に、てこ機構３６のアーム３３および可とう性壁８はそ
のそれぞれのもとの位置まで復帰する。チャンバ１内部
のインク圧力は減少し、インク２をチャンバ１内に突進
させる。インクジェット装置３０はいつでも次のサイク
ルの待機状態となる。このモードは、当該技術分野にお
いて、充てん前発射（fire-before-fill）モードとして
知られている。
【００２９】当業者であれば以上の記述の数多くの詳細
が例示のみを目的としたものであるということがわかる
だろう。例えば、アクチュエータ５の圧電材料は、電圧
Ｖ2下に置かれたとき膨張するタイプのものであってよ
い。このときアクチュエータ５は、可とう性壁８から離
れる代わりに、可とう性壁８に向かって移動する。もう
１つの変形形態は、第１の電極６がてこ機構３６を介し
てアクチュエータ５に接続されている一方で、第２の電
極７がなおも可とう性壁８の上に形成されるというもの
である。さらに、本発明のインクジェット装置は、イン
クジェットの利用分野に制限されず、流体チャンバから
流体を噴射する必要のあるあらゆる技術においてもまた
使用可能である。
が例示のみを目的としたものであるということがわかる
だろう。例えば、アクチュエータ５の圧電材料は、電圧
Ｖ2下に置かれたとき膨張するタイプのものであってよ
い。このときアクチュエータ５は、可とう性壁８から離
れる代わりに、可とう性壁８に向かって移動する。もう
１つの変形形態は、第１の電極６がてこ機構３６を介し
てアクチュエータ５に接続されている一方で、第２の電
極７がなおも可とう性壁８の上に形成されるというもの
である。さらに、本発明のインクジェット装置は、イン
クジェットの利用分野に制限されず、流体チャンバから
流体を噴射する必要のあるあらゆる技術においてもまた
使用可能である。
【００３０】ここで、図６を参照して、本発明のインク
ジェットプリンタヘッド１００について記述する。該イ
ンクジェットプリントヘッド１００は、図１に示されて
いるインクジェット装置１０とほぼ同一であって再び詳
述することを要しないある数のインクジェット装置を含
んでなる。違いは、複数のインクジェット装置５０，６
０および７０の可とう性壁５８，６８および７８が同一
のアクチュエータ５によって駆動されているという点に
ある。電極対が、可とう性壁５８，６８および７８の各
々とアクチュエータ５の間に配置されている。第２の電
極５７，６７および７７がそれぞれ、可とう性壁５８，
６８および７８の各々の上に形成されている。第１の電
極が、例えば可とう性壁５８に対応する第１の電極５６
として別々にか、または可とう性壁６８および７８に対
応する第１の電極６６として合同で、アクチュエータ５
の端面上に形成されている。絶縁体５９，６９および７
９が類似の要領で配置されている。
ジェットプリンタヘッド１００について記述する。該イ
ンクジェットプリントヘッド１００は、図１に示されて
いるインクジェット装置１０とほぼ同一であって再び詳
述することを要しないある数のインクジェット装置を含
んでなる。違いは、複数のインクジェット装置５０，６
０および７０の可とう性壁５８，６８および７８が同一
のアクチュエータ５によって駆動されているという点に
ある。電極対が、可とう性壁５８，６８および７８の各
々とアクチュエータ５の間に配置されている。第２の電
極５７，６７および７７がそれぞれ、可とう性壁５８，
６８および７８の各々の上に形成されている。第１の電
極が、例えば可とう性壁５８に対応する第１の電極５６
として別々にか、または可とう性壁６８および７８に対
応する第１の電極６６として合同で、アクチュエータ５
の端面上に形成されている。絶縁体５９，６９および７
９が類似の要領で配置されている。
【００３１】インクジェットプリンタヘッド１００は、
サイクル内で噴射すべきインクジェット装置を選択する
ための結合制御回路８０をさらに含む。特に、結合制御
回路８０は、選択されたインクジェット装置のみの可と
う性壁とアクチュエータ５との間に静電結合を生成す
る。本発明の一実施形態においては、結合制御回路８０
は、第１の電極５６および６６および第２の電極５７，
６７および７７と電気的に接続され、電圧Ｖ1を、選択
された電極対に印加する。
サイクル内で噴射すべきインクジェット装置を選択する
ための結合制御回路８０をさらに含む。特に、結合制御
回路８０は、選択されたインクジェット装置のみの可と
う性壁とアクチュエータ５との間に静電結合を生成す
る。本発明の一実施形態においては、結合制御回路８０
は、第１の電極５６および６６および第２の電極５７，
６７および７７と電気的に接続され、電圧Ｖ1を、選択
された電極対に印加する。
【００３２】図６に示す例では、インクジェット装置５
０および７０は、その電極対に電圧Ｖ1が印加された状
態で選択され、一方インクジェット装置６０は、電圧Ｖ
1＝０で選択されていない。静電結合が、選択されたイ
ンクジェット装置５０および７０のアクチュエータ５と
可とう性壁５８および７８との間に作り出される。従っ
て、アクチュエータ５が矢印ＡおよびＢによって表わさ
れた方向に移動すると、可とう性壁５８および７８は、
図２および３についての説明ので記述された要領で変形
し復帰する。その結果、インク液滴２５および２７がイ
ンクジェット装置５０および７０によって射出される。
このサイクル中、未選択のインクジェット装置６０は、
その可とう性壁６８がアクチュエータ５に静電結合され
ていないことから、図４についての説明の中で記述され
ている要領で休みの状態にとどまる。好ましくは、イン
クジェットプリンタヘッド１００はさらに、圧電アクチ
ュエータ５に対し電圧Ｖ2を印加してその運動をひき起
こすための運動制御回路９０を含む。
０および７０は、その電極対に電圧Ｖ1が印加された状
態で選択され、一方インクジェット装置６０は、電圧Ｖ
1＝０で選択されていない。静電結合が、選択されたイ
ンクジェット装置５０および７０のアクチュエータ５と
可とう性壁５８および７８との間に作り出される。従っ
て、アクチュエータ５が矢印ＡおよびＢによって表わさ
れた方向に移動すると、可とう性壁５８および７８は、
図２および３についての説明ので記述された要領で変形
し復帰する。その結果、インク液滴２５および２７がイ
ンクジェット装置５０および７０によって射出される。
このサイクル中、未選択のインクジェット装置６０は、
その可とう性壁６８がアクチュエータ５に静電結合され
ていないことから、図４についての説明の中で記述され
ている要領で休みの状態にとどまる。好ましくは、イン
クジェットプリンタヘッド１００はさらに、圧電アクチ
ュエータ５に対し電圧Ｖ2を印加してその運動をひき起
こすための運動制御回路９０を含む。
【００３３】特筆すべきことに、アクチュエータのため
に使用される圧電材料のタイプ、電極の構成および反転
機構を含むことといったようなインクジェット装置の上
述の修正は、インクジェットプリンタヘッド１００のイ
ンクジェット装置にもまた適用可能である。
に使用される圧電材料のタイプ、電極の構成および反転
機構を含むことといったようなインクジェット装置の上
述の修正は、インクジェットプリンタヘッド１００のイ
ンクジェット装置にもまた適用可能である。
【００３４】ここに、インクジェットプリンタヘッド内
で使用するためのインクジェット装置およびその動作方
法が記述されてきたということが明白であるはずであ
る。本発明によると、静電引力は、流体チャンバの可と
う性壁と、共通のアクチュエータとの間の接着剤として
役立っている。従って、従来の接着剤結合に事実上取っ
て代わり、流体チャンバとアクチュエータとの間の心ず
れの問題は少なくなる。その上、インクをそのそれぞれ
のノズルから外方に駆動するために、単一のアクチュエ
ータを複数のチャネル間で共用することができる。静電
界がオンおよびオフに切換えられると、個々のチャネル
は、それらが液滴を射出すべきである場合にのみアクチ
ュエータに選択的に固定される。かくして、アクチュエ
ータは従来のアクチュエータのサイズよりも大きいサイ
ズのものであってよく、アクチュエータ製造プロセスは
簡略化される。経時的に変動する印刷制御電圧を、アク
チュエータ自体ではなく電極対に印加できることから、
圧電アクチュエータの寿命も改善される。
で使用するためのインクジェット装置およびその動作方
法が記述されてきたということが明白であるはずであ
る。本発明によると、静電引力は、流体チャンバの可と
う性壁と、共通のアクチュエータとの間の接着剤として
役立っている。従って、従来の接着剤結合に事実上取っ
て代わり、流体チャンバとアクチュエータとの間の心ず
れの問題は少なくなる。その上、インクをそのそれぞれ
のノズルから外方に駆動するために、単一のアクチュエ
ータを複数のチャネル間で共用することができる。静電
界がオンおよびオフに切換えられると、個々のチャネル
は、それらが液滴を射出すべきである場合にのみアクチ
ュエータに選択的に固定される。かくして、アクチュエ
ータは従来のアクチュエータのサイズよりも大きいサイ
ズのものであってよく、アクチュエータ製造プロセスは
簡略化される。経時的に変動する印刷制御電圧を、アク
チュエータ自体ではなく電極対に印加できることから、
圧電アクチュエータの寿命も改善される。
【００３５】本発明の特定の実施形態について記述され
例示されてきたが、特定的に例示され記述された実施形
態の細部を、前述の特許請求の範囲において規定されて
いるような本発明の真の精神および範囲から逸脱するこ
となく変更することも可能であるということが明らかに
なることだろう。
例示されてきたが、特定的に例示され記述された実施形
態の細部を、前述の特許請求の範囲において規定されて
いるような本発明の真の精神および範囲から逸脱するこ
となく変更することも可能であるということが明らかに
なることだろう。
【図１】本発明の実施形態によるインクジェット装置の
概略的断面図である。
概略的断面図である。
【図２】図１に示すインクジェット装置の逐次的動作を
示す概略的断面図である。
示す概略的断面図である。
【図３】図１に示すインクジェット装置の逐次的動作を
示す概略的断面図である。
示す概略的断面図である。
【図４】図１に示すインクジェット装置の逐次的動作を
示す概略的断面図である。
示す概略的断面図である。
【図５】本発明のもう１つの実施形態によるインクジェ
ット装置の概略的断面図である。
ット装置の概略的断面図である。
【図６】本発明によるインクジェットプリンタヘッドの
概略的断面図である。
概略的断面図である。
１…チャンバ ２…インク ３…入口 ４…ノズル ５…アクチュエータ ６…第１の電極 ７…第２の電極 ８…可とう性壁 ９…絶縁体 １０，３０…インクジェット装置 ３６…てこ機構 ５０，６０，７０…インクジェット装置 ５６，６６…第１の電極 ５７，６７，７７…第２の電極 ５８，６８，７８…可とう性壁 ５９，６９，７９…絶縁体 ８０…結合制御回路 ９０…運動制御回路 １００…インクジェットプリンタヘッド
Claims (30)
- 【請求項１】 ノズルと、流体チャンバ容積を変えるべ
く振動する能力をもつ可とう性壁を有する流体チャンバ
と、 機械的運動を生成するためのアクチュエータと、 前記アクチュエータの機械的運動を可とう性壁の振動に
変換するため、前記可とう性壁と該アクチュエータとの
間に配置される静電結合部と、 を含んでなる流体噴射装置。 - 【請求項２】 前記静電結合部が、前記アクチュエータ
の端面および前記可とう性壁の外部表面のうちの１つの
上に設置された第１の電極と、該第１の電極と並列に設
置されこの電極から離隔されている第２の電極とを含む
請求項１に記載の流体噴射装置。 - 【請求項３】 前記第２の電極が前記アクチュエータの
端面および前記可とう性壁の外部表面のうちのもう一方
の上に設置されている請求項２に記載の流体噴射装置。 - 【請求項４】 前記静電結合部と共働して前記アクチュ
エータの機械的運動を前記可とう性壁の振動へと可逆的
に変換するための反転機構をさらに含んでなる請求項２
に記載の流体噴射装置。 - 【請求項５】 前記第２の電極が前記反転機構に取付け
られる請求項４に記載の流体噴射装置。 - 【請求項６】 前記静電結合部は、前記第１の電極と前
記第２の電極との間にさらに絶縁体を含む請求項２に記
載の流体噴射装置。 - 【請求項７】 前記第１の電極および前記第２の電極
は、それらの電極に電圧が印加されたときに互いに引き
つけ合い、前記可とう性壁と前記アクチュエータとの間
に静電結合を与える請求項２に記載の流体噴射装置。 - 【請求項８】 ノズル、入口および可とう性壁を有する
インクチャンバと、 第１の方向および第２の方向に移動するアクチュエータ
と、 可とう性壁と前記アクチュエータのと間に静電結合を与
え、かくして該可とう性壁が変形して、それぞれ第１の
方向および第２の方向への該アクチュエータの移動に応
答してインクを強制的に前記ノズルを通して外方へと押
し出すようにおよび前記入口を通して該インクを中に引
き込むようにする静電結合部と、 を含んでなる流体噴射装置。 - 【請求項９】 前記静電結合部が、前記アクチュエータ
の端面および前記可とう性壁の外部表面のうちの１つの
上に設置された第１の電極と、該第１の電極と並列に設
置されこの電極から離隔されている第２の電極とを含む
請求項８に記載のインクジェット装置。 - 【請求項１０】 前記第２の電極が前記アクチュエータ
の端面および前記可とう性壁の外部表面のうちのもう一
方の上に設置されている請求項９に記載のインクジェッ
ト装置。 - 【請求項１１】 前記静電結合部と共働して前記可とう
性壁を変形させ、それぞれ第１の方向および第２の方向
への前記アクチュエータの移動に応答して前記インクを
強制的に前記ノズルを通して外方へと押し出すようにお
よび前記入口を通して前記インクを中に引き込むように
するための反転機構をさらに含む請求項８に記載のイン
クジェット装置。 - 【請求項１２】 前記静電結合部が、前記第１の電極と
前記第２の電極との間にさらに絶縁体を含む請求項９に
記載のインクジェット装置。 - 【請求項１３】 前記絶縁体が、前記可とう性壁の外部
表面に取付けられていない前記第１の電極と、前記第２
の電極とのうちの一方に取付けられる請求項１２に記載
のインクジェット装置。 - 【請求項１４】 前記絶縁体が、前記第１の電極および
前記第２の電極のうちのもう一方と接触する請求項１３
に記載のインクジェット装置。 - 【請求項１５】 前記アクチュエータが、圧電材料で作
られる請求項８に記載のインクジェット装置。 - 【請求項１６】 各々ノズル、入口および可とう性壁を
有する複数の射出チャンバと、 少なくとも１つの動作駆動要素と、 各々１つの可とう性壁と連係する複数の第１の静電結合
部材と、 少なくとも１つの前記動作駆動要素と連係する少なくと
も１つの第２の静電結合部材と、 複数の前記第１の静電結合部材のうちの予め定められた
第１の静電結合部材と、少なくとも１つの前記第２の静
電結合部材との間で静電結合を選択的に生成し、かくし
て、予め定められた前記第１の静電結合部材と連係する
前記可とう性壁のみが変形されて、少なくもとも１つの
前記動作駆動要素の運動に応答して前記ノズルを通しイ
ンクを強制的に外方に押出すようにおよび該インクをそ
のそれぞれの射出チャンバの前記入口を通して中に引き
込むようにするための結合制御回路と、 を含んでなるインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項１７】 複数の前記第１の静電結合部材の各々
が第１の電極であり、少なくとも１つの前記第２の静電
結合部材が該第１の電極と並列に設置されこの電極から
離隔されている第２の電極である請求項１６に記載のイ
ンクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項１８】 前記第１の電極の各々が、連係する前
記可とう性壁の外部表面上に設置される請求項１７に記
載のインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項１９】 前記第２の電極が、少なくとも１つの
前記動作駆動要素の端面上に設置される請求項１７に記
載のインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項２０】 前記第１の電極と前記第２の電極との
間に、絶縁層をさらに含む請求項１７に記載のインクジ
ェットプリンタヘッド。 - 【請求項２１】 前記結合制御回路が、予め定められた
前記第１の電極の各々と前記第２の電極との間に引力を
もつ静電界を生成すべく、予め定められた該第１の電極
と該第２の電極との間に第１の電圧を選択的に印加する
請求項１７に記載のインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項２２】 少なくとも１つの前記動作駆動要素が
圧電材料からなる請求項１６に記載のインクジェットプ
リンタヘッド。 - 【請求項２３】 少なくとも１つの前記動作駆動要素上
に第２の電圧を印加し、少なくとも１つの前記動作駆動
要素の運動をひき起こすための運動制御回路をさらに含
む請求項２２に記載のインクジェットプリンタヘッド。 - 【請求項２４】 ノズル、入口および可とう性壁を有す
るインクチャンバと、第１の方向および第２の方向に移
動するアクチュエータとを含むインクジェット装置を動
作させる方法において、 ａ）前記可とう性壁と前記アクチュエータとの間の静電
結合を生成する段階と、 ｂ）前記第１の方向への前記アクチュエータの運動に応
答して第１の状態から第２の状態へと前記可とう性壁を
変形する段階と、 ｃ）前記第２の状態から前記第１の状態へ前記可とう性
壁を戻す段階と、を含んでなる方法。 - 【請求項２５】 インクが、前記段階ｂ）で前記入口を
通って中に引き込まれ、前記段階ｃ）で前記ノズルを通
して強制的に外方に押し出される請求項２４に記載の方
法。 - 【請求項２６】 インクが、前記段階ｂ）で前記ノズル
を通して外方に強制的に押し出され、前記段階ｃ）で前
記入口を通して中に引き込まれる請求項２４に記載の方
法。 - 【請求項２７】 前記段階ｃ）が、前記第２の方向への
前記アクチュエータの運動を引き起こすことによって実
行される請求項２４に記載の方法。 - 【請求項２８】 前記段階ｃ）が、前記可とう性壁と前
記アクチュエータの間との静電結合を除去することによ
って実行される請求項２４に記載の方法。 - 【請求項２９】 各々ノズル、入口および可とう性壁を
有する複数の射出チャンバと、第１の方向および第２の
方向に移動する少なくとも１つのアクチュエータとを含
むインクジェットプリンタヘッドを動作させる方法にお
いて、 ａ）予め定められた前記射出チャンバの前記可とう性壁
と、少なくとも１つの前記アクチュエータとの間の静電
結合を選択的に形成する段階と、 ｂ）少なくとも１つの前記アクチュエータの前記第１の
方向への運動に応答して第１の状態から第２の状態へと
予め定められた前記射出チャンバの前記可とう性壁を変
形する段階と、 ｃ）前記第２の状態から前記第１の状態へ前記予め定め
られた射出チャンバの前記可とう性壁を戻し、かくして
インクが、前記予め定められた射出チャンバのみから噴
射される段階と、 を含んでなる方法。 - 【請求項３０】 前記段階ｃ）が、前記静電結合を除去
することおよび前記第２の方向での前記少なくとも１つ
のアクチュエータの運動をひき起こすこと、のうちの少
なくとも一方によって実行される請求項２９に記載の方
法。
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