JP2002110525A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000302045A JP4566376B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000302045A JP4566376B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002110525A JP2002110525A (ja) | 2002-04-12 |
JP2002110525A5 true JP2002110525A5 (ru) | 2007-11-15 |
JP4566376B2 JP4566376B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=18783474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000302045A Expired - Fee Related JP4566376B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4566376B2 (ru) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004274028A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 現像装置および現像方法 |
JP4985188B2 (ja) * | 2007-07-30 | 2012-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
CN102782807B (zh) * | 2010-01-22 | 2015-07-08 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 基板处理装置及基板处理方法 |
JP6148210B2 (ja) * | 2014-06-17 | 2017-06-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP6289318B2 (ja) * | 2014-09-08 | 2018-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
JP6798390B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
JP7149170B2 (ja) * | 2018-11-20 | 2022-10-06 | ナガセケムテックス株式会社 | 流動性材料の塗布方法および塗布装置、ならびにノズルヘッド |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01281729A (ja) * | 1988-05-09 | 1989-11-13 | Fujitsu Ltd | 現像・エッチング処理装置 |
JPH076944A (ja) * | 1992-12-31 | 1995-01-10 | Sigma Merutetsuku Kk | 薬液処理方法および装置 |
JP3527426B2 (ja) * | 1998-01-09 | 2004-05-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理方法および現像処理装置 |
JPH11329960A (ja) * | 1998-02-23 | 1999-11-30 | Toshiba Corp | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP3049039B1 (ja) * | 1999-02-10 | 2000-06-05 | 九州日本電気株式会社 | 現像液供給装置 |
-
2000
- 2000-10-02 JP JP2000302045A patent/JP4566376B2/ja not_active Expired - Fee Related