JP2002095203A - 真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ - Google Patents
真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャンの損失を増加させることなく、キャン
の強度を向上することができる真空ポンプ用軸方向空隙
形キャンドモータを提供する。 【解決手段】 モータ外枠６における真空ポンプ１のフ
レーム２への取付部に、キャン挟持用のモータフランジ
１７を設け、モータ外枠６とモータフランジ１７により
キャン１６を挟持するとともに、真空側となるモータフ
ランジ１７の内径を、モータ外枠６の内径よりも小さく
して、モータフランジ１７のキャン１６との接触面積を
モータ外枠６よりも広くし、かつ、キャン１６の中央部
を固定子９側に突出させて突出部１６ａを形成する。
の強度を向上することができる真空ポンプ用軸方向空隙
形キャンドモータを提供する。 【解決手段】 モータ外枠６における真空ポンプ１のフ
レーム２への取付部に、キャン挟持用のモータフランジ
１７を設け、モータ外枠６とモータフランジ１７により
キャン１６を挟持するとともに、真空側となるモータフ
ランジ１７の内径を、モータ外枠６の内径よりも小さく
して、モータフランジ１７のキャン１６との接触面積を
モータ外枠６よりも広くし、かつ、キャン１６の中央部
を固定子９側に突出させて突出部１６ａを形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造等に
おける真空引き装置として用いられる真空ポンプ用軸方
向空隙形キャンドモータに関するものである。
おける真空引き装置として用いられる真空ポンプ用軸方
向空隙形キャンドモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空引き装置として用いられる従来の真
空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータは、図７に示す
ように構成されていた。図７において、１は真空ポン
プ、２は真空ポンプのフレーム、３は前記フレーム２に
軸受４を介して回転自在に支承した真空ポンプの回転軸
で、先端部の外周面にキー溝３ａを設けるとともに、先
端面には図示しないネジ穴を設けている。５は真空ポン
プ用軸方向空隙形キャンドモータ、６は底部６ａと側壁
部６ｂからなるカップ状のモータ外枠で、前記底部６ａ
に、固定子コア７と、前記固定子コア７に巻装した固定
子巻線８からなる固定子９を取り付けている。１０は前
記固定子９と軸方向の空隙を介して対向配置された回転
子で、前記真空ポンプ１の回転軸３の先端部に嵌合固着
された略円板状のハブ１１と、前記ハブ１１の外周部に
取り付けられた永久磁石１２とからなっている。前記ハ
ブ１１には、前記真空ポンプ１の回転軸３との嵌合面に
キー溝１１ａを設け、前記真空ポンプ１の回転軸３に設
けたキー溝３ａと位置合わせしてキー１３を差し込むこ
とにより、回り止めをしている。軸方向の抜け止めは、
前記ハブ１１を押さえプレート１４で押さえてネジ１５
を回転軸３に締め付けることにより行う。１６は前記固
定子９と回転子１０間に介挿した平板状のキャンで、前
記モータ外枠６の側壁部６ｂの内面に設けた段付き面６
ｃと前記固定子コア７の先端面に、溶接や接着によって
固着している。このキャン１６を隔てて、回転子１０側
が真空側で、固定子９側が大気側となる。このキャン１
６により、真空ポンプ１から排気されるガス等が大気側
に流れ込むのを防止することができる。
空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータは、図７に示す
ように構成されていた。図７において、１は真空ポン
プ、２は真空ポンプのフレーム、３は前記フレーム２に
軸受４を介して回転自在に支承した真空ポンプの回転軸
で、先端部の外周面にキー溝３ａを設けるとともに、先
端面には図示しないネジ穴を設けている。５は真空ポン
プ用軸方向空隙形キャンドモータ、６は底部６ａと側壁
部６ｂからなるカップ状のモータ外枠で、前記底部６ａ
に、固定子コア７と、前記固定子コア７に巻装した固定
子巻線８からなる固定子９を取り付けている。１０は前
記固定子９と軸方向の空隙を介して対向配置された回転
子で、前記真空ポンプ１の回転軸３の先端部に嵌合固着
された略円板状のハブ１１と、前記ハブ１１の外周部に
取り付けられた永久磁石１２とからなっている。前記ハ
ブ１１には、前記真空ポンプ１の回転軸３との嵌合面に
キー溝１１ａを設け、前記真空ポンプ１の回転軸３に設
けたキー溝３ａと位置合わせしてキー１３を差し込むこ
とにより、回り止めをしている。軸方向の抜け止めは、
前記ハブ１１を押さえプレート１４で押さえてネジ１５
を回転軸３に締め付けることにより行う。１６は前記固
定子９と回転子１０間に介挿した平板状のキャンで、前
記モータ外枠６の側壁部６ｂの内面に設けた段付き面６
ｃと前記固定子コア７の先端面に、溶接や接着によって
固着している。このキャン１６を隔てて、回転子１０側
が真空側で、固定子９側が大気側となる。このキャン１
６により、真空ポンプ１から排気されるガス等が大気側
に流れ込むのを防止することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の軸方向空隙形キャンドモータにおいては、次
のような問題があった。 (1) 固定子側と回転子側に圧力差がない場合は、キャン
に変形がなく問題はないが、真空ポンプ用キャンドモー
タでは、固定子側が大気側で回転子側が真空側となるた
め圧力差が生じ、キャンには固定子側から回転子側へと
向かう外圧が作用する。そのため、キャンは回転子側に
変形し、回転子と接触する危険がある。 (2) 前記(1) を防ぐために、キャンの板厚を上げて強度
アップを図ろうとすると、キャンの損失が増加してモー
タ効率が低下する。本発明は、このような問題を解消す
るためになされたもので、キャンの損失を増加させるこ
となく、キャンの強度を向上することができる真空ポン
プ用軸方向空隙形キャンドモータを提供することを目的
とするものである。
うな従来の軸方向空隙形キャンドモータにおいては、次
のような問題があった。 (1) 固定子側と回転子側に圧力差がない場合は、キャン
に変形がなく問題はないが、真空ポンプ用キャンドモー
タでは、固定子側が大気側で回転子側が真空側となるた
め圧力差が生じ、キャンには固定子側から回転子側へと
向かう外圧が作用する。そのため、キャンは回転子側に
変形し、回転子と接触する危険がある。 (2) 前記(1) を防ぐために、キャンの板厚を上げて強度
アップを図ろうとすると、キャンの損失が増加してモー
タ効率が低下する。本発明は、このような問題を解消す
るためになされたもので、キャンの損失を増加させるこ
となく、キャンの強度を向上することができる真空ポン
プ用軸方向空隙形キャンドモータを提供することを目的
とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、つぎのようにしたものである。 (1) 請求項１の発明は、真空ポンプのフレームに軸受を
介して回転自在に支承した真空ポンプの回転軸の先端部
に嵌合固着された略円板状のハブと、前記ハブの外周部
に取り付けられた永久磁石とからなる回転子と、底部と
側壁部からなるカップ状のモータ外枠の前記底部に取り
付けられた固定子コアと、前記固定子コアに巻装した固
定子巻線とからなる固定子と、前記固定子と回転子の間
に介挿されるとともに、前記モータ外枠の側壁部と前記
固定子コアの先端面に固着された平板状のキャンとを備
え、前記回転子側が真空側で、前記固定子側が大気側と
なる真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータにおい
て、前記モータ外枠における真空ポンプのフレームへの
取付部に、キャン挟持用のモータフランジを設け、前記
モータ外枠とモータフランジにより前記キャンを挟持す
るとともに、真空側となる前記モータフランジの内径
を、大気側となるキャンドモータのモータ外枠の内径よ
りも小さくして、モータフランジのキャンとの接触面積
を前記モータ外枠よりも広くし、かつ、前記キャンの中
央部を固定子側に突出させて突出部を形成するようにし
たものである。 (2) 請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記
突出部を、前記固定子巻線を巻装した固定子コアの内径
側に位置させ、かつ、固定子巻線のコイルエンドに空隙
を介して沿うように形成するようにしたものである。 (3) 請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記
モータ外枠の底部の、前記キャンの突出部に対向する部
分を回転子側に突出させて形成した突部を設け、前記キ
ャンの突出部とモータ外枠の突部とを固着するようにし
たものである。 (4) 請求項４の発明は、請求項３の発明において、前記
キャンの突出部の底部を、回転子側から円板状の締結体
で押圧して、モータ外枠の突部に締め付け固着するよう
にしたものである。 (5) 請求項５の発明は、請求項３の発明において、前記
キャンの突出部に、回転子側からカップ状の締結体を嵌
合するとともに、前記キャンの突出部の底部を、前記カ
ップ状の締結体の底部で押圧して、前記キャンの突出部
の底部を、前記モータ外枠の突部に締め付け固着するよ
うにしたものである。 (6) 請求項６の発明は、請求項５の発明において、前記
カップ状の締結体を、円板状の締付板と、筒状の支え環
からなる２分割構成にするようにしたものである。 (7) 請求項７の発明は、請求項３の発明において、前記
キャンの突出部の底部に穴をあけて前記突出部を筒状形
状にするとともに、前記筒状形状の突出部の先端面に外
側に向かう円弧状の縁を形成して、前記筒状形状の突出
部に前記モータ外枠の突部の側部に嵌合し、かつ、前記
筒状形状の突出部の内側にカップ状の締結体を嵌合する
とともに、前記締結体の底部をモータ外枠の突部に締め
付け固着するようにしたものである。 (8) 請求項８の発明は、請求項１から７までの発明にお
いて、前記キャンの突出部の内側の空間内に、前記回転
子の略円板状ハブと真空ポンプの回転軸との結合部を配
置するようにしたものである。 (9) 請求項９の発明は、請求項１から８までの発明にお
いて、前記キャンの固定子コアと接する部分に凹部を形
成し、前記凹部に固定子コアの先端部を位置させるよう
にしたものである。 (10)請求項１０の発明は、請求項１から９までの発明に
おいて、前記モータ外枠の底部に冷媒通路を設けるよう
にしたものである。
め、本発明は、つぎのようにしたものである。 (1) 請求項１の発明は、真空ポンプのフレームに軸受を
介して回転自在に支承した真空ポンプの回転軸の先端部
に嵌合固着された略円板状のハブと、前記ハブの外周部
に取り付けられた永久磁石とからなる回転子と、底部と
側壁部からなるカップ状のモータ外枠の前記底部に取り
付けられた固定子コアと、前記固定子コアに巻装した固
定子巻線とからなる固定子と、前記固定子と回転子の間
に介挿されるとともに、前記モータ外枠の側壁部と前記
固定子コアの先端面に固着された平板状のキャンとを備
え、前記回転子側が真空側で、前記固定子側が大気側と
なる真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータにおい
て、前記モータ外枠における真空ポンプのフレームへの
取付部に、キャン挟持用のモータフランジを設け、前記
モータ外枠とモータフランジにより前記キャンを挟持す
るとともに、真空側となる前記モータフランジの内径
を、大気側となるキャンドモータのモータ外枠の内径よ
りも小さくして、モータフランジのキャンとの接触面積
を前記モータ外枠よりも広くし、かつ、前記キャンの中
央部を固定子側に突出させて突出部を形成するようにし
たものである。 (2) 請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記
突出部を、前記固定子巻線を巻装した固定子コアの内径
側に位置させ、かつ、固定子巻線のコイルエンドに空隙
を介して沿うように形成するようにしたものである。 (3) 請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記
モータ外枠の底部の、前記キャンの突出部に対向する部
分を回転子側に突出させて形成した突部を設け、前記キ
ャンの突出部とモータ外枠の突部とを固着するようにし
たものである。 (4) 請求項４の発明は、請求項３の発明において、前記
キャンの突出部の底部を、回転子側から円板状の締結体
で押圧して、モータ外枠の突部に締め付け固着するよう
にしたものである。 (5) 請求項５の発明は、請求項３の発明において、前記
キャンの突出部に、回転子側からカップ状の締結体を嵌
合するとともに、前記キャンの突出部の底部を、前記カ
ップ状の締結体の底部で押圧して、前記キャンの突出部
の底部を、前記モータ外枠の突部に締め付け固着するよ
うにしたものである。 (6) 請求項６の発明は、請求項５の発明において、前記
カップ状の締結体を、円板状の締付板と、筒状の支え環
からなる２分割構成にするようにしたものである。 (7) 請求項７の発明は、請求項３の発明において、前記
キャンの突出部の底部に穴をあけて前記突出部を筒状形
状にするとともに、前記筒状形状の突出部の先端面に外
側に向かう円弧状の縁を形成して、前記筒状形状の突出
部に前記モータ外枠の突部の側部に嵌合し、かつ、前記
筒状形状の突出部の内側にカップ状の締結体を嵌合する
とともに、前記締結体の底部をモータ外枠の突部に締め
付け固着するようにしたものである。 (8) 請求項８の発明は、請求項１から７までの発明にお
いて、前記キャンの突出部の内側の空間内に、前記回転
子の略円板状ハブと真空ポンプの回転軸との結合部を配
置するようにしたものである。 (9) 請求項９の発明は、請求項１から８までの発明にお
いて、前記キャンの固定子コアと接する部分に凹部を形
成し、前記凹部に固定子コアの先端部を位置させるよう
にしたものである。 (10)請求項１０の発明は、請求項１から９までの発明に
おいて、前記モータ外枠の底部に冷媒通路を設けるよう
にしたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。 ［第１の実施例］図１は、本発明の第１の実施例を示す
真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータの側断面図で
ある。本発明の構成は、基本的には従来の真空引き用軸
方向空隙形キャンドモータの構成と同じであるが、キャ
ン１６の構成と、キャンの取り付け構成の点で異なって
いる。以下、これらの点について、説明する。なお、図
７に示す従来の構成と同一符号は、同一または相当する
部材を示しており、説明を省略する。本実施例では、前
記モータ外枠６における真空ポンプ１のフレーム２への
取付部に、キャン挟持用のモータフランジ１７を設け、
前記モータ外枠６とモータフランジ１７により前記キャ
ン１６を挟持するようにしている。さらに、真空側とな
る前記モータフランジ１７の内径を、大気側となるモー
タ外枠６の内径よりも小さくして、前記モータフランジ
１７のキャン１６との接触面積が、前記モータ外枠６よ
りも広くなるようにしている。このため、キャン１６に
固定子９側から回転子１０側へと向かう外圧が作用した
場合、キャン１６との接触面積がモータ外枠６よりも広
くキャン１６を外圧に対抗して支えるモータフランジ１
７が補強材となり、キャン１６の変形を防止することが
できる。さらに、モータフランジ１７とキャン１６とは
接触面積が大きく、かつキャン１６は外圧を受けるため
モータフランジ１７との密着が良く、固定子９の熱がキ
ャン１６に良好に伝達される。そのため、固定子９の熱
がキャン１６を介してモータフランジ１７やモータ外枠
６、また真空ポンプ１のフレーム２等に良好に伝達さ
れ、モータの冷却効率が向上する。また、前記キャン１
６は、絞りにより中央部を固定子９側に突出させて突出
部１６ａを形成するとともに、前記突出部１６ａを、前
記固定子巻線８を巻装した固定子コア７の内径側に位置
させ、かつ、固定子巻線８のコイルエンド８ａに細隙を
介して対向するようにして沿わせて形成している。この
ような構成にすることにより、前記キャン１６は、前記
突出部１６ａのリブ効果により強度が大きく向上するの
で、キャン１６を薄くすることができる。したがって、
モータの効率が向上しモータを小形化することができ
る。さらに、キャン中央部の突出部１６ａの内側の空間
に、回転子１０のハブ１１と真空ポンプ１の回転軸３と
の結合部を配置しているので、空間の有効利用ができ、
モータの全長が短くなって省スペース化を図ることがで
きる。また、キャン１６は、固定子コア７と接触する部
分を回転子１０側に突出させた凹部１６ｃを設け、前記
凹部１６ｃに接着材を塗布して、固定子コア７に固着し
ている。このため、キャン１６の固定子コア７に対する
位置決めは、前記キャン１６の凹部１６ｃに固定子コア
７の先端部を入れ込むだけでよいので、組立作業を簡単
に行うことができる。さらに、キャン１６と固定子コア
７を固着するための接着剤も前記凹部１６ｃに塗布する
だけでよいので、接着剤の過不足が生じることも塗布場
所を間違うこともなく、塗布作業を簡単に行うことがで
きる。なお、図において、１８、１９はシール用溝、２
０、２１はＯリングなどのシール部材である。
いて説明する。 ［第１の実施例］図１は、本発明の第１の実施例を示す
真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータの側断面図で
ある。本発明の構成は、基本的には従来の真空引き用軸
方向空隙形キャンドモータの構成と同じであるが、キャ
ン１６の構成と、キャンの取り付け構成の点で異なって
いる。以下、これらの点について、説明する。なお、図
７に示す従来の構成と同一符号は、同一または相当する
部材を示しており、説明を省略する。本実施例では、前
記モータ外枠６における真空ポンプ１のフレーム２への
取付部に、キャン挟持用のモータフランジ１７を設け、
前記モータ外枠６とモータフランジ１７により前記キャ
ン１６を挟持するようにしている。さらに、真空側とな
る前記モータフランジ１７の内径を、大気側となるモー
タ外枠６の内径よりも小さくして、前記モータフランジ
１７のキャン１６との接触面積が、前記モータ外枠６よ
りも広くなるようにしている。このため、キャン１６に
固定子９側から回転子１０側へと向かう外圧が作用した
場合、キャン１６との接触面積がモータ外枠６よりも広
くキャン１６を外圧に対抗して支えるモータフランジ１
７が補強材となり、キャン１６の変形を防止することが
できる。さらに、モータフランジ１７とキャン１６とは
接触面積が大きく、かつキャン１６は外圧を受けるため
モータフランジ１７との密着が良く、固定子９の熱がキ
ャン１６に良好に伝達される。そのため、固定子９の熱
がキャン１６を介してモータフランジ１７やモータ外枠
６、また真空ポンプ１のフレーム２等に良好に伝達さ
れ、モータの冷却効率が向上する。また、前記キャン１
６は、絞りにより中央部を固定子９側に突出させて突出
部１６ａを形成するとともに、前記突出部１６ａを、前
記固定子巻線８を巻装した固定子コア７の内径側に位置
させ、かつ、固定子巻線８のコイルエンド８ａに細隙を
介して対向するようにして沿わせて形成している。この
ような構成にすることにより、前記キャン１６は、前記
突出部１６ａのリブ効果により強度が大きく向上するの
で、キャン１６を薄くすることができる。したがって、
モータの効率が向上しモータを小形化することができ
る。さらに、キャン中央部の突出部１６ａの内側の空間
に、回転子１０のハブ１１と真空ポンプ１の回転軸３と
の結合部を配置しているので、空間の有効利用ができ、
モータの全長が短くなって省スペース化を図ることがで
きる。また、キャン１６は、固定子コア７と接触する部
分を回転子１０側に突出させた凹部１６ｃを設け、前記
凹部１６ｃに接着材を塗布して、固定子コア７に固着し
ている。このため、キャン１６の固定子コア７に対する
位置決めは、前記キャン１６の凹部１６ｃに固定子コア
７の先端部を入れ込むだけでよいので、組立作業を簡単
に行うことができる。さらに、キャン１６と固定子コア
７を固着するための接着剤も前記凹部１６ｃに塗布する
だけでよいので、接着剤の過不足が生じることも塗布場
所を間違うこともなく、塗布作業を簡単に行うことがで
きる。なお、図において、１８、１９はシール用溝、２
０、２１はＯリングなどのシール部材である。
【０００６】［第２の実施例］図２は、本発明の第２の
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、キ
ャン１６の突出部１６ａと、モータ外枠６の構成以外
は、前記第１の実施例のモータ構成と同一である。本実
施例は、前記第１の実施例における前記モータ外枠６の
底部６ａの、前記キャン１６の突出部１６ａに対向する
部分に、回転子１０側に突出する突部６ｄを設け、前記
キャン１６の突出部１６ａとモータ外枠６の突部６ｄと
を、接着あるいは溶着して固着するようにしたものであ
る。このような構成にすることにより、キャン１６の突
出部１６ａには外圧が作用せず、また、機械的にキャン
１６の突出部１６ａを固定しているため、さらにキャン
１６の強度を向上させることができ、キャン１６の変形
を抑えることができるとともに、キャン１６をさらに薄
くしてモータの効率を大きく向上させることができる。
また、固定子巻線８で発生した熱およびキャン１６の渦
流損失により発生した熱をより効果的にモータ外枠６に
伝達することができるので、冷却効率を大きく向上させ
ることができる。これにより、モータをさらに小形化す
ることができる。さらに、モータ外枠６に冷媒通路２２
を設けているので、キャン１６を介してモータ外枠６に
伝達された固定子巻線８の熱が、冷媒通路２２内を流れ
る冷媒と速やかに熱交換され、固定子巻線８の冷却効率
が大きく向上する。したがって、モータをさらに小型化
することができる。
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、キ
ャン１６の突出部１６ａと、モータ外枠６の構成以外
は、前記第１の実施例のモータ構成と同一である。本実
施例は、前記第１の実施例における前記モータ外枠６の
底部６ａの、前記キャン１６の突出部１６ａに対向する
部分に、回転子１０側に突出する突部６ｄを設け、前記
キャン１６の突出部１６ａとモータ外枠６の突部６ｄと
を、接着あるいは溶着して固着するようにしたものであ
る。このような構成にすることにより、キャン１６の突
出部１６ａには外圧が作用せず、また、機械的にキャン
１６の突出部１６ａを固定しているため、さらにキャン
１６の強度を向上させることができ、キャン１６の変形
を抑えることができるとともに、キャン１６をさらに薄
くしてモータの効率を大きく向上させることができる。
また、固定子巻線８で発生した熱およびキャン１６の渦
流損失により発生した熱をより効果的にモータ外枠６に
伝達することができるので、冷却効率を大きく向上させ
ることができる。これにより、モータをさらに小形化す
ることができる。さらに、モータ外枠６に冷媒通路２２
を設けているので、キャン１６を介してモータ外枠６に
伝達された固定子巻線８の熱が、冷媒通路２２内を流れ
る冷媒と速やかに熱交換され、固定子巻線８の冷却効率
が大きく向上する。したがって、モータをさらに小型化
することができる。
【０００７】［第３の実施例］図３は、本発明の第３の
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部６ａに形成した突部６ｄ、およびキャ
ン１６の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第２の実
施例と同一である。本実施例は、前記第２の実施例にお
ける前記キャン１６の突出部１６ａの底部１６ｂを、回
転子１０側から円板状の締結体２３で押圧して、モータ
外枠６の突部６ｄに締め付け固着するようにしたもので
ある。図３において、モータ外枠６の突部６ｄの端面に
は、固定子９側と回転子１０側の気密を保持するため
に、シール用溝２４とネジ穴２５とを設けている。前記
突部６ｄのシール用溝２４には、Ｏリング等のシール部
材２６を挿入し、キャン１６の突出部１６ａを接触させ
るとともに、円板状の締結体２３で押さえてネジ２７を
突部６ｄに締め付け、前記キャン１６の突出部２３を前
記突部２９に密着固定している。このように機械的にキ
ャン１６の突出部１６ａをモータ外枠６に強固に固定す
ることにより、前記第２の実施例の作用、効果に加え、
さらにキャン１６の強度が増してキャン１６の変形が抑
制されるという作用、効果が生じる。また、前記第２の
実施例における接着あるいは溶着によるキャン１６の突
出部１６ａとモータ外枠６の固着方法に対して、本実施
例は、ネジ２７による固着であるため作業性が改善され
る。さらに、キャン１６は容易に着脱可能なため、固定
子９やキャン１６等の部品交換、あるいは手入れのため
の保守点検等が容易になる。
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部６ａに形成した突部６ｄ、およびキャ
ン１６の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第２の実
施例と同一である。本実施例は、前記第２の実施例にお
ける前記キャン１６の突出部１６ａの底部１６ｂを、回
転子１０側から円板状の締結体２３で押圧して、モータ
外枠６の突部６ｄに締め付け固着するようにしたもので
ある。図３において、モータ外枠６の突部６ｄの端面に
は、固定子９側と回転子１０側の気密を保持するため
に、シール用溝２４とネジ穴２５とを設けている。前記
突部６ｄのシール用溝２４には、Ｏリング等のシール部
材２６を挿入し、キャン１６の突出部１６ａを接触させ
るとともに、円板状の締結体２３で押さえてネジ２７を
突部６ｄに締め付け、前記キャン１６の突出部２３を前
記突部２９に密着固定している。このように機械的にキ
ャン１６の突出部１６ａをモータ外枠６に強固に固定す
ることにより、前記第２の実施例の作用、効果に加え、
さらにキャン１６の強度が増してキャン１６の変形が抑
制されるという作用、効果が生じる。また、前記第２の
実施例における接着あるいは溶着によるキャン１６の突
出部１６ａとモータ外枠６の固着方法に対して、本実施
例は、ネジ２７による固着であるため作業性が改善され
る。さらに、キャン１６は容易に着脱可能なため、固定
子９やキャン１６等の部品交換、あるいは手入れのため
の保守点検等が容易になる。
【０００８】［第４の実施例］図４は、本発明の第４の
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部６ａに形成した突部６ｄおよびキャン
１６の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第３の実施
例と同一である。本実施例は、前記第３の実施例におけ
る前記キャン１６の突出部１６ａに、回転子１０側から
カップ状の締結体２８を嵌合するとともに、前記キャン
１６の突出部１６ａの底部１６ｂを、前記カップ状の締
結体２８の底部２８ａで押圧して、前記キャン１６の突
出部１６ａの底部１６ｂを、前記モータ外枠６の突部６
ｄに締め付け固着するようにしたものである。本実施例
においては、前記第３の実施例におけるキャン１６の突
出部１６ａにカップ状の締結体２８を嵌合して、キャン
１６と締結体２８をモータ外枠６の突部６ｄにネジ２７
で締め付けて、前記キャン１６の突出部１６ａを前記モ
ータ外枠６の突部６ｄに密着固定している。このように
することにより、前記第３の実施例の作用、効果に加
え、キャン１６の突出部１６ａの円筒部１６ｄの強度も
大きく向上するので、キャン１６が円筒部１６ｄに作用
する外圧で座屈変形を起こす恐れがないという作用、効
果が生じる。また、キャン１６の強度がさらにアップす
るため、キャン１６をさらに薄くしてモータの効率を向
上させることができる。
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部６ａに形成した突部６ｄおよびキャン
１６の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第３の実施
例と同一である。本実施例は、前記第３の実施例におけ
る前記キャン１６の突出部１６ａに、回転子１０側から
カップ状の締結体２８を嵌合するとともに、前記キャン
１６の突出部１６ａの底部１６ｂを、前記カップ状の締
結体２８の底部２８ａで押圧して、前記キャン１６の突
出部１６ａの底部１６ｂを、前記モータ外枠６の突部６
ｄに締め付け固着するようにしたものである。本実施例
においては、前記第３の実施例におけるキャン１６の突
出部１６ａにカップ状の締結体２８を嵌合して、キャン
１６と締結体２８をモータ外枠６の突部６ｄにネジ２７
で締め付けて、前記キャン１６の突出部１６ａを前記モ
ータ外枠６の突部６ｄに密着固定している。このように
することにより、前記第３の実施例の作用、効果に加
え、キャン１６の突出部１６ａの円筒部１６ｄの強度も
大きく向上するので、キャン１６が円筒部１６ｄに作用
する外圧で座屈変形を起こす恐れがないという作用、効
果が生じる。また、キャン１６の強度がさらにアップす
るため、キャン１６をさらに薄くしてモータの効率を向
上させることができる。
【０００９】［第５の実施例］図５は、本発明の第５の
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部に形成した突部６ｄおよびキャン１６
の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第４の実施例と
同一である。本実施例は、前記第４の実施例における前
記カップ状の締結体２８を、円板状の締付板２９と、筒
状の支え環３０からなる２分割構成にしたもので、この
ようにすることによっても前記第４の実施例と同等の作
用、効果を得ることができる。
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部に形成した突部６ｄおよびキャン１６
の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第４の実施例と
同一である。本実施例は、前記第４の実施例における前
記カップ状の締結体２８を、円板状の締付板２９と、筒
状の支え環３０からなる２分割構成にしたもので、この
ようにすることによっても前記第４の実施例と同等の作
用、効果を得ることができる。
【００１０】［第６の実施例］図６は、本発明の第６の
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部６ａに形成した突部６ｄおよびキャン
１６の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第４の実施
例と同一である。本実施例は、第４の実施例における前
記キャン１６の突出部１６ａの底部１６ｂに穴をあけて
前記突出部１６ａを筒状形状にするとともに、前記筒状
形状の突出部１６ａの先端面に外側に向かう円弧状の縁
Ｒを形成して、前記筒状形状の突出部１６ａを前記モー
タ外枠６の突部６ｄの側面に嵌合し、かつ、前記筒状形
状の突出部１６ａの内側にカップ状の締結体２８を嵌合
するとともに、前記締結体２８の底部２８ａをモータ外
枠６の突部６ｄに締め付け固着するようにしたものであ
る。なお、モータ外枠６の突部６ｄの先端面付近の外周
には、固定子９側と回転子１０側の気密を保持するため
のシール用溝３１と、端面にはネジ穴２５を設けてい
る。前記突部６ｄの外周のシール用溝３１にはＯリング
等のシール部材３２を挿入し、前記筒状形状の突出部１
６ａを嵌合させて取付けている。また、キャン１６の突
出部１６ａの内側には、カップ状の締結体２８を嵌合
し、締結体２８の底部２８ａをモータ外枠６の突部６ｄ
にネジ２７で締め付けて密着固定している。このように
することにより、前記第４の実施例の作用、効果に加
え、キャン１６の突出部１６ａを筒状形状としモータ外
枠６の突部６ｄの外周に嵌合させているため、嵌合面で
軸方向の動きをとることができる。したがって、軸方向
に組立の寸法誤差があっても吸収できるため、キャン１
６に無理なストレスがかからないという作用、効果が生
じる。なお、本発明においては、第２実施例から第６実
施例におけるモータ外枠は、内部に冷媒通路を設けたも
のを示しているが、冷媒通路は必ずしも必要ではなく、
なくても構わない。
実施例を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ
の側断面図である。なお、本実施例のモータ構成は、モ
ータ外枠６の底部６ａに形成した突部６ｄおよびキャン
１６の突出部１６ａの固着構造以外は、前記第４の実施
例と同一である。本実施例は、第４の実施例における前
記キャン１６の突出部１６ａの底部１６ｂに穴をあけて
前記突出部１６ａを筒状形状にするとともに、前記筒状
形状の突出部１６ａの先端面に外側に向かう円弧状の縁
Ｒを形成して、前記筒状形状の突出部１６ａを前記モー
タ外枠６の突部６ｄの側面に嵌合し、かつ、前記筒状形
状の突出部１６ａの内側にカップ状の締結体２８を嵌合
するとともに、前記締結体２８の底部２８ａをモータ外
枠６の突部６ｄに締め付け固着するようにしたものであ
る。なお、モータ外枠６の突部６ｄの先端面付近の外周
には、固定子９側と回転子１０側の気密を保持するため
のシール用溝３１と、端面にはネジ穴２５を設けてい
る。前記突部６ｄの外周のシール用溝３１にはＯリング
等のシール部材３２を挿入し、前記筒状形状の突出部１
６ａを嵌合させて取付けている。また、キャン１６の突
出部１６ａの内側には、カップ状の締結体２８を嵌合
し、締結体２８の底部２８ａをモータ外枠６の突部６ｄ
にネジ２７で締め付けて密着固定している。このように
することにより、前記第４の実施例の作用、効果に加
え、キャン１６の突出部１６ａを筒状形状としモータ外
枠６の突部６ｄの外周に嵌合させているため、嵌合面で
軸方向の動きをとることができる。したがって、軸方向
に組立の寸法誤差があっても吸収できるため、キャン１
６に無理なストレスがかからないという作用、効果が生
じる。なお、本発明においては、第２実施例から第６実
施例におけるモータ外枠は、内部に冷媒通路を設けたも
のを示しているが、冷媒通路は必ずしも必要ではなく、
なくても構わない。
【００１１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
ような効果がある。 (1) キャンに突出部を設けることにより、キャンの強度
を大きくアップすることができるので、キャンを薄くす
ることができる。したがって、モータの効率が向上し、
モータを小形化することができる。 (2) 固定子巻線の内径側に突出させたキャンの突出部
が、固定子巻線のコイルエンドに沿って設けられている
ので、固定子巻線で発生した熱を傍らから効率よく吸収
して外枠に伝達し、外枠から大気中に放散させることが
でき、モータの冷却効率が向上しモータを小形化するこ
とができる。 (3) 外枠の底部に突部を設け、前記キャンの突出部と外
枠の突部とを固着させた場合には、キャンから外枠への
熱伝達が極めて良好に行われ、固定子巻線の冷却効率が
さらに大きく向上し、モータをさらに小型化することが
できる。また、キャンの強度がさらにアップするので、
キャンをさらに薄くして、モータの効率を大きく向上さ
せることができる。さらにまた、モータ外枠に冷媒通路
が設けられている場合は、キャンを介してモータ外枠に
伝達された固定子巻線の熱が、冷媒通路内を流れる冷媒
と速やかに熱交換されるので、固定子巻線の冷却効率が
大きく向上するとともに、モータをさらに小型化するこ
とができる。 (4) キャンをキャンドモータの外枠とモータフランジで
挟持しており、また、モータフランジを内径側に長くし
て、キャンの支え面積を広くしているので、キャンの固
定が安定するだけでなく、キャンから外枠への熱伝達面
も増大し、固定子巻線の冷却効率が向上する。 (5) キャンの固定子コアと接触する部分に凹部を形成
し、前記凹部に接着材を塗布して固定子コアに固着して
いるので、キャンの固定子コアに対する位置決めと、接
着剤の塗布が容易に行えるようになり、組立作業が極め
て簡単になる。
ような効果がある。 (1) キャンに突出部を設けることにより、キャンの強度
を大きくアップすることができるので、キャンを薄くす
ることができる。したがって、モータの効率が向上し、
モータを小形化することができる。 (2) 固定子巻線の内径側に突出させたキャンの突出部
が、固定子巻線のコイルエンドに沿って設けられている
ので、固定子巻線で発生した熱を傍らから効率よく吸収
して外枠に伝達し、外枠から大気中に放散させることが
でき、モータの冷却効率が向上しモータを小形化するこ
とができる。 (3) 外枠の底部に突部を設け、前記キャンの突出部と外
枠の突部とを固着させた場合には、キャンから外枠への
熱伝達が極めて良好に行われ、固定子巻線の冷却効率が
さらに大きく向上し、モータをさらに小型化することが
できる。また、キャンの強度がさらにアップするので、
キャンをさらに薄くして、モータの効率を大きく向上さ
せることができる。さらにまた、モータ外枠に冷媒通路
が設けられている場合は、キャンを介してモータ外枠に
伝達された固定子巻線の熱が、冷媒通路内を流れる冷媒
と速やかに熱交換されるので、固定子巻線の冷却効率が
大きく向上するとともに、モータをさらに小型化するこ
とができる。 (4) キャンをキャンドモータの外枠とモータフランジで
挟持しており、また、モータフランジを内径側に長くし
て、キャンの支え面積を広くしているので、キャンの固
定が安定するだけでなく、キャンから外枠への熱伝達面
も増大し、固定子巻線の冷却効率が向上する。 (5) キャンの固定子コアと接触する部分に凹部を形成
し、前記凹部に接着材を塗布して固定子コアに固着して
いるので、キャンの固定子コアに対する位置決めと、接
着剤の塗布が容易に行えるようになり、組立作業が極め
て簡単になる。
【図１】 本発明の第１の実施例を示す真空ポンプ用軸
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
【図２】 本発明の第２の実施例を示す真空ポンプ用軸
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
【図３】 本発明の第３の実施例を示す真空ポンプ用軸
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
【図４】 本発明の第４の実施例を示す真空ポンプ用軸
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
【図５】 本発明の第５の実施例を示す真空ポンプ用軸
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
【図６】 本発明の第６の実施例を示す真空ポンプ用軸
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
方向空隙形キャンドモータの側断面図である。
【図７】 従来技術を示す真空ポンプ用軸方向空隙形キ
ャンドモータの側断面図である。
ャンドモータの側断面図である。
１ 真空ポンプ、 ２ 真空ポンプのフレーム、 ３ 真空ポンプの回転軸、 ３ａ キー溝、 ４ 軸受、 ５ 真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ、 ６ モータ外枠、 ６ａ 底部、 ６ｂ 側壁部、 ６ｃ 段付き面、 ６ｄ 突部、 ７ 固定子コア、 ８ 固定子巻線、 ８ａ コイルエンド、 ９ 固定子、 １０ 回転子、 １１ ハブ、 １１ａ キー溝、 １２ 永久磁石、 １３ キー、 １４ 押さえプレート、 １５ ネジ、 １６ キャン、 １６ａ 突出部、 １６ｂ 底部、 １６ｃ 凹部、 １６ｄ 円筒部、 １７ モータフランジ、 １８、１９ シール用溝、 ２０、２１ シール部材、 ２２ 冷媒通路、 ２３ 円板状の締結体、 ２４ シール用溝、 ２５ ネジ穴、 ２６ シール部材、 ２７ ネジ、 ２８ カップ状の締結体、 ２８ａ 締結体の底部、 ２９ 円板状の締付板、 ３０ 筒状の支え環、 ３１ シール用溝、 ３２ シール部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０２Ｋ 7/14 Ｈ０２Ｋ 7/14 Ｂ ５Ｈ６０７ 15/02 15/02 Ｑ ５Ｈ６１５ 21/24 21/24 Ｍ ５Ｈ６２１ (72)発明者 井本 康男 福岡県飯塚市大字吉北31番地 株式会社ワ イ・イー・ドライブ内 (72)発明者 佐藤 貞之 福岡県飯塚市大字吉北31番地 株式会社ワ イ・イー・ドライブ内 Ｆターム(参考） 3H029 AA01 AB02 BB12 BB41 CC07 CC09 CC23 CC46 3H031 DA08 FA31 3H076 AA01 AA21 BB04 BB43 CC07 CC46 CC99 5H604 AA05 AA08 BB01 BB10 BB13 CC01 CC05 CC20 PE07 5H605 BB05 BB17 BB20 CC01 CC02 CC03 CC10 DD01 DD05 DD09 DD32 EA02 EB10 GG04 GG06 5H607 AA12 BB01 BB07 BB13 CC09 DD01 DD08 DD09 DD15 DD19 FF06 GG08 JJ05 JJ07 JJ10 5H615 AA01 BB01 BB07 BB15 PP01 PP21 PP28 PP29 SS03 5H621 BB07 GA01 GB08 JK07 JK13 JK17
Claims (10)
- 【請求項１】 真空ポンプのフレームに軸受を介して回
転自在に支承した真空ポンプの回転軸の先端部に嵌合固
着された略円板状のハブと、前記ハブの外周部に取り付
けられた永久磁石とからなる回転子と、 底部と側壁部からなるカップ状のモータ外枠の前記底部
に取り付けられた固定子コアと、前記固定子コアに巻装
した固定子巻線とからなる固定子と、 前記固定子と回転子の間に介挿されるとともに、前記モ
ータ外枠の側壁部と前記固定子コアの先端面に固着され
た平板状のキャンとを備え、 前記回転子側が真空側で、前記固定子側が大気側となる
真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータにおいて、 前記キャンドモータのモータ外枠における真空ポンプの
フレームへの取付部に、キャン挟持用のモータフランジ
を設け、前記モータ外枠とモータフランジにより前記キ
ャンを挟持するとともに、 真空側となる前記モータフランジの内径を、大気側とな
るキャンドモータのモータ外枠の内径よりも小さくし
て、モータフランジのキャンとの接触面積を前記モータ
外枠よりも広くし、 かつ、前記キャンの中央部を固定子側に突出させて突出
部を形成したことを特徴とする真空ポンプ用軸方向空隙
形キャンドモータ。 - 【請求項２】 前記突出部を、前記固定子巻線を巻装し
た固定子コアの内径側に位置させ、かつ、固定子巻線の
コイルエンドに空隙を介して沿うように形成したことを
特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ用軸方向空隙形
キャンドモータ。 - 【請求項３】 前記モータ外枠の底部の、前記キャンの
突出部に対向する部分を回転子側に突出させて形成した
突部を設け、前記キャンの突出部とモータ外枠の突部と
を固着したことを特徴とする請求項２に記載の真空ポン
プ用軸方向空隙形キャンドモータ。 - 【請求項４】 前記キャンの突出部の底部を、回転子側
から円板状の締結体で押圧して、外枠の突部に締め付け
固着したことを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ
用軸方向空隙形キャンドモータ。 - 【請求項５】 前記キャンの突出部に、回転子側からカ
ップ状の締結体を嵌合するとともに、前記キャンの突出
部の底部を、前記カップ状の締結体の底部で押圧して、
前記キャンの突出部の底部を、前記モータ外枠の突部に
締め付け固着したことを特徴とする請求項３に記載の真
空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ。 - 【請求項６】 前記カップ状の締結体を、円板状の締付
板と、筒状の支え環からなる２分割構成にしたことを特
徴とする請求項５に記載の真空ポンプ用軸方向空隙形キ
ャンドモータ。 - 【請求項７】 前記キャンの突出部の底部に穴をあけて
前記突出部を筒状形状にするとともに、前記筒状形状の
突出部の先端面に外側に向かう円弧状の縁を形成して、
前記筒状形状の突出部を前記モータ外枠の突部の側部に
嵌合し、かつ、前記筒状形状の突出部の内側にカップ状
の締結体を嵌合するとともに、前記締結体の底部をモー
タ外枠の突部に締め付け固着したことを特徴とする請求
項３に記載の真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモー
タ。 - 【請求項８】 前記キャンの突出部の内側の空間内に、
前記回転子の略円板状ハブと真空ポンプの回転軸との結
合部を配置したことを特徴とする請求項１から７のいず
れかの項に記載の真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモ
ータ。 - 【請求項９】 前記キャンの固定子コアと接する部分に
凹部を形成し、前記凹部に固定子コアの先端部を位置さ
せたことを特徴とする請求項１から８のいずれかの項に
記載の真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ。 - 【請求項１０】 前記モータ外枠の底部に冷媒通路を設
けたことを特徴とする請求項１から９のいずれかの項に
記載の真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000278153A JP2002095203A (ja) | 2000-09-13 | 2000-09-13 | 真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000278153A JP2002095203A (ja) | 2000-09-13 | 2000-09-13 | 真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002095203A true JP2002095203A (ja) | 2002-03-29 |
Family
ID=18763359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000278153A Pending JP2002095203A (ja) | 2000-09-13 | 2000-09-13 | 真空ポンプ用軸方向空隙形キャンドモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002095203A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006233863A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | コンプレッサ、真空ポンプ、及び酸素濃縮器 |
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| JP2007043864A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Fujitsu General Ltd | 軸方向空隙型同期機 |
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