JP2002093865A - ウエハの故障サイン自動検出、分類方法 - Google Patents
ウエハの故障サイン自動検出、分類方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウエハマップを手動で確認するときの人為的過
失を回避するため、自動的にウエハの故障サインを検
出、及び分類する手段を提供する。歩留り解析技術者が
ウエハの故障サインを分類する時間を節約する。 【解決手段】故障サインデータベースの構築２０と、自
動比較装置による比較２２とを備えることにより、検査
結果をデータベース中の故障サインの型に基づいて自動
的に分類する。さらに、製品の歩留りを向上するための
さらなる解析２７のために、解析装置に対して検査結果
を出力する。
失を回避するため、自動的にウエハの故障サインを検
出、及び分類する手段を提供する。歩留り解析技術者が
ウエハの故障サインを分類する時間を節約する。 【解決手段】故障サインデータベースの構築２０と、自
動比較装置による比較２２とを備えることにより、検査
結果をデータベース中の故障サインの型に基づいて自動
的に分類する。さらに、製品の歩留りを向上するための
さらなる解析２７のために、解析装置に対して検査結果
を出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハの故障サイ
ンを自動的に検出する方法に関する。特に、本発明は、
半導体製造プロセスにおいてウエハの故障サインを自動
的に検出、分類し、さらなるデバッギング、及び解析の
ために使用する方法に関する。
ンを自動的に検出する方法に関する。特に、本発明は、
半導体製造プロセスにおいてウエハの故障サインを自動
的に検出、分類し、さらなるデバッギング、及び解析の
ために使用する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、半導体製造プロセスには、ウ
エハ製造プロセス、ウエハプロービングプロセス、ウエ
ハ実装プロセス、及びウエハ検査プロセスが含まれる。
ウエハ製造プロセスにおいては、１枚のウエハに二つ以
上のダイが形成される。それぞれのダイの電気特性は、
ウエハプロービングプロセスにおいてテストデバイスに
より測定される。ウエハプロービングプロセスを行った
後、個々の故障ダイがそれぞれ検出され、良好なダイと
区別するために一般的には色インクの点で印を付ける。
しかし、各故障ダイに色インクの点で印を付ける方法
は、多くの欠点を有する。例えば、色インクが良好なダ
イを化学的に破壊し、あるいは汚染するため、故障ダイ
との区別が困難になる。上述の欠点を排除するために、
ウエハ検査情報結果を記録する多数の代替手段が開発さ
れてきた。ある一般的な方法は、ウエハマップを生成す
るためにコンピュータを使用して、ウエハの検査情報結
果を記録する。ウエハマップは一般的に、各故障ダイの
位置や故障ダイの製造欠陥の種類を示す。この情報は、
歩留まり解析技術者によるさらなる解析のために、紙に
印刷されるか、あるいはモニタに伝送される。
エハ製造プロセス、ウエハプロービングプロセス、ウエ
ハ実装プロセス、及びウエハ検査プロセスが含まれる。
ウエハ製造プロセスにおいては、１枚のウエハに二つ以
上のダイが形成される。それぞれのダイの電気特性は、
ウエハプロービングプロセスにおいてテストデバイスに
より測定される。ウエハプロービングプロセスを行った
後、個々の故障ダイがそれぞれ検出され、良好なダイと
区別するために一般的には色インクの点で印を付ける。
しかし、各故障ダイに色インクの点で印を付ける方法
は、多くの欠点を有する。例えば、色インクが良好なダ
イを化学的に破壊し、あるいは汚染するため、故障ダイ
との区別が困難になる。上述の欠点を排除するために、
ウエハ検査情報結果を記録する多数の代替手段が開発さ
れてきた。ある一般的な方法は、ウエハマップを生成す
るためにコンピュータを使用して、ウエハの検査情報結
果を記録する。ウエハマップは一般的に、各故障ダイの
位置や故障ダイの製造欠陥の種類を示す。この情報は、
歩留まり解析技術者によるさらなる解析のために、紙に
印刷されるか、あるいはモニタに伝送される。
【０００３】図１に示されるような、コンピュータによ
り生成された従来のウエハマップ１０は、１枚のウエハ
１１の、二以上のダイに関する歩留まりの状態、及び二
以上の故障ダイ１３の位置を、多数のシグナル及び色彩
により示す。
り生成された従来のウエハマップ１０は、１枚のウエハ
１１の、二以上のダイに関する歩留まりの状態、及び二
以上の故障ダイ１３の位置を、多数のシグナル及び色彩
により示す。
【０００４】従来の技術においては、熟練した歩留まり
解析技術者が、コンピュータにより生成されたウエハマ
ップの各故障サインを手動で検査し、ウエハを故障サイ
ンにより分類するために最良の判断を行う、「目視」法
に依存する。分類後、解析装置によりウエハの故障ダイ
の原因をさらに解析してもよい。
解析技術者が、コンピュータにより生成されたウエハマ
ップの各故障サインを手動で検査し、ウエハを故障サイ
ンにより分類するために最良の判断を行う、「目視」法
に依存する。分類後、解析装置によりウエハの故障ダイ
の原因をさらに解析してもよい。
【０００５】しかし、この従来の方法は、実用化の際に
多数の制限を課していた。第一に、歩留まり解析技術者
は、各ウエハマップの検査に多くの時間を費やさなけれ
ばならなかった。第二に、歩留り解析技術者は、この業
務に適任となるためにはウエハマップの故障サインにつ
いての十分な知識及び経験を備える必要があった。ま
た、故障に関するさらなる原因解析は、新しいウエハの
故障サインを歩留り解析技術者が分類しない限りなされ
なかった。さらに、手動により行われる方法は、避けが
たい人為的過失を有していた。
多数の制限を課していた。第一に、歩留まり解析技術者
は、各ウエハマップの検査に多くの時間を費やさなけれ
ばならなかった。第二に、歩留り解析技術者は、この業
務に適任となるためにはウエハマップの故障サインにつ
いての十分な知識及び経験を備える必要があった。ま
た、故障に関するさらなる原因解析は、新しいウエハの
故障サインを歩留り解析技術者が分類しない限りなされ
なかった。さらに、手動により行われる方法は、避けが
たい人為的過失を有していた。
【０００６】以上を鑑み、上述の従来技術の問題点を排
除するため、ウエハの故障サインを自動的に検出する方
法を提供する。
除するため、ウエハの故障サインを自動的に検出する方
法を提供する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、人為
的過失を回避するため、歩留り解析技術者がウエハの故
障サインを分類する時間を節約することにある。
的過失を回避するため、歩留り解析技術者がウエハの故
障サインを分類する時間を節約することにある。
【０００８】本発明の他の目的は、ウエハ番号、及び故
障サインが検出されたときから遅れずに、そのときに発
生した故障の根本的原因を解析することである。
障サインが検出されたときから遅れずに、そのときに発
生した故障の根本的原因を解析することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の目的を達成する
ため、本発明は、ウエハの故障サインを自動的に検出
し、分類する方法を提供する。本発明によると、まず二
以上の故障サインデータを有する故障サインデータベー
スを構築する。各故障サインデータには、位置、故障モ
ード、位置依存性情報、及び故障サインが含まれる。こ
こで、各故障ダイの位置は、実施の形態において、各ダ
イの番号により表示され、位置依存性情報は、故障サイ
ンが故障ダイの位置と互いに関連性を有するか否かを示
す。次に、テストデバイスにより、少なくとも１枚の選
択されたウエハが検査され、選択されたウエハのそれぞ
れについて、故障ダイの位置及び故障モードを含む検査
結果が生成される。その後、自動比較装置により、選択
された各ウエハの検査結果を、故障サインデータベース
の故障サインデータと個々に比較する。記録された位置
依存性情報がＹ（ｙｅｓ、即ち関連性有り）であると
き、各検査結果は、故障ダイの故障モード及び位置と比
較される。記録された位置依存性情報がＮ（ｎｏ、即ち
関連性なし）であるとき、各検査結果は故障ダイの故障
モード及び個数と比較される。比較後、ウエハ番号、故
障サイン及びヒット率を含む比較結果が各検査結果につ
いて生成される。そしてヒット率と個々に比較するため
の閾値が選択され、この閾値以上のヒット率を有するウ
エハ番号及び故障サインを容易に検出することが可能と
なる。
ため、本発明は、ウエハの故障サインを自動的に検出
し、分類する方法を提供する。本発明によると、まず二
以上の故障サインデータを有する故障サインデータベー
スを構築する。各故障サインデータには、位置、故障モ
ード、位置依存性情報、及び故障サインが含まれる。こ
こで、各故障ダイの位置は、実施の形態において、各ダ
イの番号により表示され、位置依存性情報は、故障サイ
ンが故障ダイの位置と互いに関連性を有するか否かを示
す。次に、テストデバイスにより、少なくとも１枚の選
択されたウエハが検査され、選択されたウエハのそれぞ
れについて、故障ダイの位置及び故障モードを含む検査
結果が生成される。その後、自動比較装置により、選択
された各ウエハの検査結果を、故障サインデータベース
の故障サインデータと個々に比較する。記録された位置
依存性情報がＹ（ｙｅｓ、即ち関連性有り）であると
き、各検査結果は、故障ダイの故障モード及び位置と比
較される。記録された位置依存性情報がＮ（ｎｏ、即ち
関連性なし）であるとき、各検査結果は故障ダイの故障
モード及び個数と比較される。比較後、ウエハ番号、故
障サイン及びヒット率を含む比較結果が各検査結果につ
いて生成される。そしてヒット率と個々に比較するため
の閾値が選択され、この閾値以上のヒット率を有するウ
エハ番号及び故障サインを容易に検出することが可能と
なる。
【００１０】本発明の他の目的を達成するため、本発明
においてはさらにウエハ番号および故障サインをその後
の解析のために解析装置に入力する。請求項１に記載の
発明は、ウエハの故障サイン識別方法において、故障サ
インデータベースを構築し、二以上の故障サインデータ
を記録する工程と、この工程において、各故障サインデ
ータは、故障サイン、故障ダイ位置フィールド、故障モ
ード及び位置依存性情報を有し、位置依存性情報は、故
障サインの故障ダイの位置に対する関連性の有無を表示
することと、選択されたウエハを検査し、選択されたウ
エハにおける故障の位置、及び故障モードを含む検査結
果を生成する工程と、このウエハはウエハ番号を有する
ことと、検査結果の故障モードと、各故障サインデータ
の故障モードとを自動比較手段により比較して、比較結
果を生成する工程と、この比較結果は、ヒットとミスを
有し、比較結果がヒットであるときは、さらにウエハ番
号と故障サインを有することとを備えることを要旨とす
る。
においてはさらにウエハ番号および故障サインをその後
の解析のために解析装置に入力する。請求項１に記載の
発明は、ウエハの故障サイン識別方法において、故障サ
インデータベースを構築し、二以上の故障サインデータ
を記録する工程と、この工程において、各故障サインデ
ータは、故障サイン、故障ダイ位置フィールド、故障モ
ード及び位置依存性情報を有し、位置依存性情報は、故
障サインの故障ダイの位置に対する関連性の有無を表示
することと、選択されたウエハを検査し、選択されたウ
エハにおける故障の位置、及び故障モードを含む検査結
果を生成する工程と、このウエハはウエハ番号を有する
ことと、検査結果の故障モードと、各故障サインデータ
の故障モードとを自動比較手段により比較して、比較結
果を生成する工程と、この比較結果は、ヒットとミスを
有し、比較結果がヒットであるときは、さらにウエハ番
号と故障サインを有することとを備えることを要旨とす
る。
【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
された方法において、前記位置依存性情報は、故障サイ
ンが位置と関連性を有するときはＹ、有しないときはＮ
であり、故障ダイの個数は、故障サインデータのうちの
位置に基づき自然数Ｍとして算出されることを要旨とす
る。
された方法において、前記位置依存性情報は、故障サイ
ンが位置と関連性を有するときはＹ、有しないときはＮ
であり、故障ダイの個数は、故障サインデータのうちの
位置に基づき自然数Ｍとして算出されることを要旨とす
る。
【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
された方法の工程において、前記ヒットは、検査結果の
故障モードが故障サインデータに含まれる故障モードで
あるときに表示されることを要旨とする。
された方法の工程において、前記ヒットは、検査結果の
故障モードが故障サインデータに含まれる故障モードで
あるときに表示されることを要旨とする。
【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
された方法の工程において、前記位置依存性情報がＹで
あるときは、検査結果の故障ダイの位置を故障サインデ
ータの故障ダイの位置と比較し、故障サインデータの故
障ダイと位置が完全に一致するダイの個数を表示する０
以上の整数ｎを算出する工程を、さらに有することを要
旨とする。
された方法の工程において、前記位置依存性情報がＹで
あるときは、検査結果の故障ダイの位置を故障サインデ
ータの故障ダイの位置と比較し、故障サインデータの故
障ダイと位置が完全に一致するダイの個数を表示する０
以上の整数ｎを算出する工程を、さらに有することを要
旨とする。
【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項２に記載
された方法の工程において、前記位置依存性情報がＮで
あるときは、検査結果における故障ダイの個数として、
０以上の整数ｎを算出する工程を、さらに有することを
要旨とする。
された方法の工程において、前記位置依存性情報がＮで
あるときは、検査結果における故障ダイの個数として、
０以上の整数ｎを算出する工程を、さらに有することを
要旨とする。
【００１５】請求項６に記載の発明は、請求項４に記載
された方法において、前記比較結果はヒット率を有し、
ヒット率はｎをＭで割った数値であることを要旨とす
る。請求項７に記載の発明は、請求項６に記載された方
法において、閾値を選択する工程と、この閾値を前記ヒ
ット率と比較する工程と、閾値以上のヒット率を有する
ウエハのウエハ番号と故障サインを選択する工程と、さ
らなる解析のため、前記ウエハ番号と故障サインを解析
手段に入力する工程とをさらに有することを要旨とす
る。
された方法において、前記比較結果はヒット率を有し、
ヒット率はｎをＭで割った数値であることを要旨とす
る。請求項７に記載の発明は、請求項６に記載された方
法において、閾値を選択する工程と、この閾値を前記ヒ
ット率と比較する工程と、閾値以上のヒット率を有する
ウエハのウエハ番号と故障サインを選択する工程と、さ
らなる解析のため、前記ウエハ番号と故障サインを解析
手段に入力する工程とをさらに有することを要旨とす
る。
【００１６】請求項８に記載の発明は、請求項７に記載
された方法において、ヒット率が０のときは、前記比較
結果は、前記自動比較手段により定義されるアンノウン
サイン、及びこのアンノウンサインの内容表示を含み、
前記アンノウンサインは前記選択されたウエハの故障サ
インとされることを要旨とする。
された方法において、ヒット率が０のときは、前記比較
結果は、前記自動比較手段により定義されるアンノウン
サイン、及びこのアンノウンサインの内容表示を含み、
前記アンノウンサインは前記選択されたウエハの故障サ
インとされることを要旨とする。
【００１７】請求項９に記載の発明は、請求項８に記載
された方法において、さらなる解析のため、前記解析手
段に前記アンノウンサインとその内容を入力する工程を
有することを要旨とする。
された方法において、さらなる解析のため、前記解析手
段に前記アンノウンサインとその内容を入力する工程を
有することを要旨とする。
【００１８】請求項１０に記載の発明は、請求項９に記
載された方法において、前記アンノウンサインを定義す
る工程と、このアンノウンサインを新しい故障サインと
して前記故障サインデータベースに入力する工程とをさ
らに有することを要旨とする。
載された方法において、前記アンノウンサインを定義す
る工程と、このアンノウンサインを新しい故障サインと
して前記故障サインデータベースに入力する工程とをさ
らに有することを要旨とする。
【００１９】本発明の実施の形態によると、自動比較装
置が検査結果を各故障サインデータと比較した後、検査
結果が故障サインデータベースのものと一致しないとき
は、未定義のサインである旨を表示する結果が生成され
る。このとき、この結果には、選択されたウエハのウエ
ハ番号、自動比較装置により明示されたアンノウンサイ
ン、及びこのアンノウンサインに関する内容表示が含ま
れる。さらに、アンノウンサイン及びこのアンノウンサ
インの内容が、解析のために解析装置に入力される。そ
の後歩留り解析技術者は、アンノウンサインを定義し、
新しい故障サインとして故障サインデータベースに入力
する。
置が検査結果を各故障サインデータと比較した後、検査
結果が故障サインデータベースのものと一致しないとき
は、未定義のサインである旨を表示する結果が生成され
る。このとき、この結果には、選択されたウエハのウエ
ハ番号、自動比較装置により明示されたアンノウンサイ
ン、及びこのアンノウンサインに関する内容表示が含ま
れる。さらに、アンノウンサイン及びこのアンノウンサ
インの内容が、解析のために解析装置に入力される。そ
の後歩留り解析技術者は、アンノウンサインを定義し、
新しい故障サインとして故障サインデータベースに入力
する。
【００２０】請求項１１に記載の発明は、請求項６に記
載された方法において、前記故障サインデータは従属的
サインをさらに有することを要旨とする。請求項１２に
記載の発明は、請求項１１に記載された方法において、
前記故障サインデータのヒット率が所定の数値を超える
と、故障サインデータベースのうちの従属的サインを比
較する工程がスキップされることを要旨とする。
載された方法において、前記故障サインデータは従属的
サインをさらに有することを要旨とする。請求項１２に
記載の発明は、請求項１１に記載された方法において、
前記故障サインデータのヒット率が所定の数値を超える
と、故障サインデータベースのうちの従属的サインを比
較する工程がスキップされることを要旨とする。
【００２１】請求項１３に記載の発明は、請求項１２に
記載された方法において、前記所定の数値は８０％であ
ることを要旨とする。本発明の実施の形態によると、故
障サインデータは、故障サインに対して従属的なサイン
をさらに含んでいてもよい。従属的サインは、本来は、
故障サインデータベースに記録された故障サインであ
る。しかし、その位置と故障モードが他の故障サインデ
ータに完全に含まれるため、これを含む故障サインデー
タの従属的サインとして表示される。従って、自動比較
装置がテスト結果と、歩留り解析技術者が予め設定した
数値を超えるヒット率を有する故障サインデータとを個
々に比較するときには、従属的サインは重複した比較を
避けるため、スキップされる。
記載された方法において、前記所定の数値は８０％であ
ることを要旨とする。本発明の実施の形態によると、故
障サインデータは、故障サインに対して従属的なサイン
をさらに含んでいてもよい。従属的サインは、本来は、
故障サインデータベースに記録された故障サインであ
る。しかし、その位置と故障モードが他の故障サインデ
ータに完全に含まれるため、これを含む故障サインデー
タの従属的サインとして表示される。従って、自動比較
装置がテスト結果と、歩留り解析技術者が予め設定した
数値を超えるヒット率を有する故障サインデータとを個
々に比較するときには、従属的サインは重複した比較を
避けるため、スキップされる。
【００２２】
【発明の実施の形態】図２を参照する。本発明において
は工程２０で、まず故障サインデータベースが構築され
る。実施の態様において、データベースはサーバ内に構
築されてもよい。図４を参照する。故障サインデータベ
ースは、全ての定義された故障サインデータを記録する
が、この故障サインデータはウエハマップに基づいて決
定される。各故障サインのデータは、故障サイン、少な
くとも１つの故障モード、故障ダイを示す位置フィール
ド、位置依存性情報及び選択依存性サインを、次に述べ
るように自動比較装置により比較するために含む。本発
明の故障サインデータは、一般的には既知のウエハマッ
プの情報を記録することが望ましいが、必ずしもパター
ンとして図形に示されなくてもよい。また、故障モード
はウエハの故障原因を記号で示す特性パラメータであ
り、位置フィールドは故障ダイのシリアル番号により表
示されてもよく、位置依存性情報はその故障サインが故
障ダイの位置と関連するか否かを示す。故障サインが故
障ダイの位置と関連があるときは、記録された位置依存
性情報はＹ（ｙｅｓ）であり、故障サインが故障ダイの
位置と関連しないときは、位置依存性情報はＮ（ｎｏ）
となる。
は工程２０で、まず故障サインデータベースが構築され
る。実施の態様において、データベースはサーバ内に構
築されてもよい。図４を参照する。故障サインデータベ
ースは、全ての定義された故障サインデータを記録する
が、この故障サインデータはウエハマップに基づいて決
定される。各故障サインのデータは、故障サイン、少な
くとも１つの故障モード、故障ダイを示す位置フィール
ド、位置依存性情報及び選択依存性サインを、次に述べ
るように自動比較装置により比較するために含む。本発
明の故障サインデータは、一般的には既知のウエハマッ
プの情報を記録することが望ましいが、必ずしもパター
ンとして図形に示されなくてもよい。また、故障モード
はウエハの故障原因を記号で示す特性パラメータであ
り、位置フィールドは故障ダイのシリアル番号により表
示されてもよく、位置依存性情報はその故障サインが故
障ダイの位置と関連するか否かを示す。故障サインが故
障ダイの位置と関連があるときは、記録された位置依存
性情報はＹ（ｙｅｓ）であり、故障サインが故障ダイの
位置と関連しないときは、位置依存性情報はＮ（ｎｏ）
となる。
【００２３】工程２１において、少なくとも１枚の選択
されたウエハがテストデバイスにより検査される。各選
択されたウエハはウエハ番号を有する。テストデバイス
は、各選択されたウエハの検査結果を生成し、各検査結
果には、その選択されたウエハの各故障ダイの位置と故
障モードが含まれる。この技術は従来の技術と同様であ
り、当業者には理解されているので、これ以上詳細に述
べることを省略する。しかし、従来の技術においては、
歩留り解析技術者の視認により点検するために、検査結
果をウエハマップ１０に（図１に示されるように）翻訳
する必要があったが、本発明においてはその必要はな
い。
されたウエハがテストデバイスにより検査される。各選
択されたウエハはウエハ番号を有する。テストデバイス
は、各選択されたウエハの検査結果を生成し、各検査結
果には、その選択されたウエハの各故障ダイの位置と故
障モードが含まれる。この技術は従来の技術と同様であ
り、当業者には理解されているので、これ以上詳細に述
べることを省略する。しかし、従来の技術においては、
歩留り解析技術者の視認により点検するために、検査結
果をウエハマップ１０に（図１に示されるように）翻訳
する必要があったが、本発明においてはその必要はな
い。
【００２４】検査後、工程２２（点線で表示される）で
自動比較装置により、選択されたウエハの各検査結果が
故障サインデータベースの各故障サインと比較され、比
較結果が生成される。実施の形態において、自動比較装
置は比較プログラムを備えたコンピュータのようなハー
ドウエア装置である。さらに、比較プログラムは、位
置、故障モードマッチ率を比較し、故障ダイの個数を算
出することができる。
自動比較装置により、選択されたウエハの各検査結果が
故障サインデータベースの各故障サインと比較され、比
較結果が生成される。実施の形態において、自動比較装
置は比較プログラムを備えたコンピュータのようなハー
ドウエア装置である。さらに、比較プログラムは、位
置、故障モードマッチ率を比較し、故障ダイの個数を算
出することができる。
【００２５】工程２２において、まず、工程２２０にお
いてＮ＝１を設定し、その後、工程２２１において、検
査結果の故障モードがＮ番目の故障サインの故障モード
に含まれているか否かをチェックするために、検査結果
をＮ番目の故障サインデータと比較する。工程２２１に
おいて、答えがｙｅｓであるときは工程２２２が行わ
れ、ｎｏであるときは工程２２９が行われる。
いてＮ＝１を設定し、その後、工程２２１において、検
査結果の故障モードがＮ番目の故障サインの故障モード
に含まれているか否かをチェックするために、検査結果
をＮ番目の故障サインデータと比較する。工程２２１に
おいて、答えがｙｅｓであるときは工程２２２が行わ
れ、ｎｏであるときは工程２２９が行われる。
【００２６】工程２２２において、本発明は、Ｎ番目の
故障サインデータの位置依存性情報がＹであるか、Ｎで
あるかをチェックする。工程２２２で位置依存性情報が
Ｙである場合は、自動比較装置が、検査結果の故障ダイ
の位置と、工程２２３におけるＮ番目の故障サインデー
タの故障ダイの位置フィールドとを比較し、データベー
スの位置フィールドに合致する位置にある故障ダイの総
数ｎを生成する。ｎは、０以上の整数である。
故障サインデータの位置依存性情報がＹであるか、Ｎで
あるかをチェックする。工程２２２で位置依存性情報が
Ｙである場合は、自動比較装置が、検査結果の故障ダイ
の位置と、工程２２３におけるＮ番目の故障サインデー
タの故障ダイの位置フィールドとを比較し、データベー
スの位置フィールドに合致する位置にある故障ダイの総
数ｎを生成する。ｎは、０以上の整数である。
【００２７】工程２２１における位置依存性情報がＮで
あるときは、工程２２４において、自動比較装置は、検
査結果の故障ダイの個数ｎを算出する。ｎは０以上の整
数である。
あるときは、工程２２４において、自動比較装置は、検
査結果の故障ダイの個数ｎを算出する。ｎは０以上の整
数である。
【００２８】上述の工程２２３又は２２４の後、工程２
２５において比較結果が得られ、Ｎ番目の故障サインデ
ータまでのヒット率を算出する。ここで、比較結果に
は、選択された各ウエハのウエハ番号、Ｎ番目の故障サ
インデータの故障サイン、及びヒット率が含まれる。ヒ
ット率は、Ｎ番目故障サインデータの故障ダイの個数
（Ｍで表される）に対するｎの比率である。即ち、ヒッ
ト率はｎ／Ｍである。
２５において比較結果が得られ、Ｎ番目の故障サインデ
ータまでのヒット率を算出する。ここで、比較結果に
は、選択された各ウエハのウエハ番号、Ｎ番目の故障サ
インデータの故障サイン、及びヒット率が含まれる。ヒ
ット率は、Ｎ番目故障サインデータの故障ダイの個数
（Ｍで表される）に対するｎの比率である。即ち、ヒッ
ト率はｎ／Ｍである。
【００２９】さらに工程２２６において、最後の故障サ
インデータが比較されると、工程２２７が行われる。最
後の故障サインデータが比較されていないときは、工程
２３２が行われる。工程２３２において、本発明はＮ＝
Ｎ＋１に設定した後、工程２２１に戻り、（Ｎ＋１）番
目の故障サインデータを比較する。
インデータが比較されると、工程２２７が行われる。最
後の故障サインデータが比較されていないときは、工程
２３２が行われる。工程２３２において、本発明はＮ＝
Ｎ＋１に設定した後、工程２２１に戻り、（Ｎ＋１）番
目の故障サインデータを比較する。
【００３０】工程２２７において、各Ｎ番目の故障サイ
ンデータに対する検査結果のヒット率が０であるとき
は、検査結果がアンノウンサインであることを表示する
比較結果が工程２２８において生成される。比較結果
は、選択されたウエハのウエハ番号、アンノウンサイ
ン、及びアンノウンサインの内容表示を含む。ここで、
アンノウンサインは自動比較装置により定義され、本発
明の実施形態においては、アンノウンサインはＯＴＨＥ
Ｒ＿Ｎ（Ｎは自然数）により表示される。比較結果にＯ
ＴＨＥＲ＿Ｎが存在するときは、その故障サインは定義
されておらず、故障サインデータベースにも入力されな
いことを示す。
ンデータに対する検査結果のヒット率が０であるとき
は、検査結果がアンノウンサインであることを表示する
比較結果が工程２２８において生成される。比較結果
は、選択されたウエハのウエハ番号、アンノウンサイ
ン、及びアンノウンサインの内容表示を含む。ここで、
アンノウンサインは自動比較装置により定義され、本発
明の実施形態においては、アンノウンサインはＯＴＨＥ
Ｒ＿Ｎ（Ｎは自然数）により表示される。比較結果にＯ
ＴＨＥＲ＿Ｎが存在するときは、その故障サインは定義
されておらず、故障サインデータベースにも入力されな
いことを示す。
【００３１】工程２２７において、Ｎ番目までの故障サ
インデータに対する検査結果のヒット率が、少なくとも
１つにおいて０でないときは、工程２３１において、検
査結果が故障サインデータと一致すること（ヒット）を
示す比較結果が生成される。
インデータに対する検査結果のヒット率が、少なくとも
１つにおいて０でないときは、工程２３１において、検
査結果が故障サインデータと一致すること（ヒット）を
示す比較結果が生成される。
【００３２】上述のように、工程２２１における答えが
ｎｏであるときは、工程２２９が行われる。工程２２９
において、最後の故障サインデータが比較されると、工
程２３０が行われる。最後の故障サインデータが比較さ
れないときは、工程２３２が行われる。さらに、工程２
３２において、本発明はＮ＝Ｎ＋１に設定し、その後、
工程２２１に戻って（Ｎ＋１）番目の故障サインデータ
を比較する。
ｎｏであるときは、工程２２９が行われる。工程２２９
において、最後の故障サインデータが比較されると、工
程２３０が行われる。最後の故障サインデータが比較さ
れないときは、工程２３２が行われる。さらに、工程２
３２において、本発明はＮ＝Ｎ＋１に設定し、その後、
工程２２１に戻って（Ｎ＋１）番目の故障サインデータ
を比較する。
【００３３】工程２３０において、検査結果の故障モー
ドがＮ個の故障サインデータのいずれにもヒットしない
ときは、即ち、検査結果の故障モードが故障サインデー
タのいずれにも含まれないときは、検査結果がアンノウ
ンサインであることを示す比較結果が工程２２８におい
て生成される。そうでない場合には、検査結果が故障サ
インデータとヒットすることを示す比較結果が工程２３
１において生成される。
ドがＮ個の故障サインデータのいずれにもヒットしない
ときは、即ち、検査結果の故障モードが故障サインデー
タのいずれにも含まれないときは、検査結果がアンノウ
ンサインであることを示す比較結果が工程２２８におい
て生成される。そうでない場合には、検査結果が故障サ
インデータとヒットすることを示す比較結果が工程２３
１において生成される。
【００３４】工程２２の比較が行われ、比較結果が生成
された後、比較結果（工程２３１）にヒットが示された
ときは、工程２５において、比較結果のヒット率と比較
するための閾値が設定される。なお、本実施の形態にお
いては、閾値は歩留り解析技術者により経験に基づいて
設定される。
された後、比較結果（工程２３１）にヒットが示された
ときは、工程２５において、比較結果のヒット率と比較
するための閾値が設定される。なお、本実施の形態にお
いては、閾値は歩留り解析技術者により経験に基づいて
設定される。
【００３５】さらに、工程２６において、閾値以上のヒ
ット率を有するウエハのウエハ番号と故障サインを検出
する。そして工程２７において、故障の根本的原因をさ
らに解析するため、検出された全てのウエハ番号及び故
障サインが解析装置に入力される。実施の形態におい
て、解析装置は、本発明により提供されるウエハ番号及
び故障サインに基づき、故障ウエハの根本的原因を解析
可能な、共通性調査手段である。
ット率を有するウエハのウエハ番号と故障サインを検出
する。そして工程２７において、故障の根本的原因をさ
らに解析するため、検出された全てのウエハ番号及び故
障サインが解析装置に入力される。実施の形態におい
て、解析装置は、本発明により提供されるウエハ番号及
び故障サインに基づき、故障ウエハの根本的原因を解析
可能な、共通性調査手段である。
【００３６】一実施形態においては、数種類の閾値に対
応して、さらに１つ以上のウエハ番号及び故障サインを
選択するための工程を重複して含んでもよい。この１つ
以上の重複した工程は、毎回異なる閾値を選択する工
程、選択された各ウエハのヒット率を比較する工程、閾
値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号及び故障
サインを選択する工程、及びさらに故障の根本的原因を
解析するために検出された全てのウエハ番号及び故障サ
インを解析装置に入力する工程を備える。
応して、さらに１つ以上のウエハ番号及び故障サインを
選択するための工程を重複して含んでもよい。この１つ
以上の重複した工程は、毎回異なる閾値を選択する工
程、選択された各ウエハのヒット率を比較する工程、閾
値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号及び故障
サインを選択する工程、及びさらに故障の根本的原因を
解析するために検出された全てのウエハ番号及び故障サ
インを解析装置に入力する工程を備える。
【００３７】さらに、本発明による故障サインデータ
は、故障サインに対応する従属的サインを選択的に記録
してもよい。ここで、従属的サインとは、本来は故障サ
インであるが、この従属的サインに関する故障サインデ
ータにおいて、位置フィールド及び故障モードが、他の
故障サインデータに完全に含まれるものである。従っ
て、このような故障サインは、これを包含する故障サイ
ンの従属的サインとして機能する。自動比較装置が個々
に検査結果を故障サインデータと比較するときに、従属
的データと遭遇した場合、その従属的データを含む故障
サインのヒット率が、工程２２５において歩留り解析技
術者が定めた値を超えるときは、不要な再比較と時間の
無駄を防ぐため、その従属的故障データはスキップされ
る。実施の形態において、従属的サインを含む故障デー
タ（例えば図４における故障サインデータ４１、４２）
は、故障サインが従属的サインである（故障サインデー
タ４３のような）故障サインデータよりも先に比較され
る。従属的データを包含する故障サインデータ４１及び
４２を、確実に先に比較する。さらに、所定の値は８０
％になるように設定されることが望ましい。
は、故障サインに対応する従属的サインを選択的に記録
してもよい。ここで、従属的サインとは、本来は故障サ
インであるが、この従属的サインに関する故障サインデ
ータにおいて、位置フィールド及び故障モードが、他の
故障サインデータに完全に含まれるものである。従っ
て、このような故障サインは、これを包含する故障サイ
ンの従属的サインとして機能する。自動比較装置が個々
に検査結果を故障サインデータと比較するときに、従属
的データと遭遇した場合、その従属的データを含む故障
サインのヒット率が、工程２２５において歩留り解析技
術者が定めた値を超えるときは、不要な再比較と時間の
無駄を防ぐため、その従属的故障データはスキップされ
る。実施の形態において、従属的サインを含む故障デー
タ（例えば図４における故障サインデータ４１、４２）
は、故障サインが従属的サインである（故障サインデー
タ４３のような）故障サインデータよりも先に比較され
る。従属的データを包含する故障サインデータ４１及び
４２を、確実に先に比較する。さらに、所定の値は８０
％になるように設定されることが望ましい。
【００３８】前述の工程２２８において、検査結果が故
障サインデータベースにおいて未定義であるときは、選
択されたウエハのウエハ番号、アンノウンサイン、及び
このアンノウンサインに関する内容表示を含む、比較結
果が生成される。ここで本発明の実施の形態において、
ＯＴＨＥＲ＿Ｎはアンノウンサインを示す。図３を参照
する。アンノウンサインを含むウエハマップ３０は、１
枚のウエハ３１の、二以上のダイ３２に関する歩留りの
状態、及び二以上の故障ダイ１３のそれぞれの位置を、
多様な信号及び色彩で示す。ウエハマップ３０の故障サ
インは、連続した二以上の故障ダイを有するという内容
であり、この故障サインは故障サインデータベースにお
いて未定義である。比較結果がＯＴＨＥＲ＿Ｎと表示さ
れるため、工程２７におけるさらなる解析のため、ＯＴ
ＨＥＲ＿Ｎはこの内容表示と共に解析装置に入力され
る。そしてこの故障サインは、工程２３において定義さ
れた後、工程２４において新しい故障サインデータとし
て、工程２０で構築されたデータベースに入力されても
よい。データベースの内容が完全になると、ＯＴＨＥＲ
＿Ｎの出現が激減し、本発明の用途が大幅に向上するこ
とが期待できる。 （実施例）図４は、工程２０において本発明により構築
された故障サインデータベースを示す。故障サインデー
タベースは、二以上の故障サインデータ４１、４２、４
３、４４等を含む。例えば、図１に示されるウエハマッ
プ１０を参照すると、故障サインデータは以下を含む。 故障サイン：ＧＣ ＢＵＭＰ 故障モード：Ｙａ又はＹｄｃａｂｉａ ダイ番号：０２１４，０２１３，０２１２・・・ 従属サイン：４ ｃｌｏｃｋ、８ ｃｌｏｃｋ 位置依存性：Ｙ ここで、ウエハマップ１０のパターンはＧＣ ＢＵＭ
Ｐ、４ｃｌｏｃｋ、８ｃｌｏｃｋのサインに一致する。
しかし、ＧＣ ＢＵＭＰのダイの位置フィールド及び故
障モードは、４ｃｌｏｃｋ又は８ｃｌｏｃｋのいずれか
の、ダイの位置フィールド及び故障モードを完全に含む
ため、ＧＣ ＢＵＭＰが故障サインとして選択され、４
ｃｌｏｃｋ又は８ｃｌｏｃｋは従属的サインとされる。
図２に示される工程２２において、自動比較装置により
比較されたとき、ＧＣ ＢＵＭＰのヒット率が工程２２
５において歩留り解析技術者による所定の値（望ましく
は８０％）を達成すれば、ＧＣ ＢＵＭＰのみと比較さ
れることを要する。重複の比較を回避するため、４ｃｌ
ｏｃｋ、８ｃｌｏｃｋのいずれとも比較されることが必
要ではない。
障サインデータベースにおいて未定義であるときは、選
択されたウエハのウエハ番号、アンノウンサイン、及び
このアンノウンサインに関する内容表示を含む、比較結
果が生成される。ここで本発明の実施の形態において、
ＯＴＨＥＲ＿Ｎはアンノウンサインを示す。図３を参照
する。アンノウンサインを含むウエハマップ３０は、１
枚のウエハ３１の、二以上のダイ３２に関する歩留りの
状態、及び二以上の故障ダイ１３のそれぞれの位置を、
多様な信号及び色彩で示す。ウエハマップ３０の故障サ
インは、連続した二以上の故障ダイを有するという内容
であり、この故障サインは故障サインデータベースにお
いて未定義である。比較結果がＯＴＨＥＲ＿Ｎと表示さ
れるため、工程２７におけるさらなる解析のため、ＯＴ
ＨＥＲ＿Ｎはこの内容表示と共に解析装置に入力され
る。そしてこの故障サインは、工程２３において定義さ
れた後、工程２４において新しい故障サインデータとし
て、工程２０で構築されたデータベースに入力されても
よい。データベースの内容が完全になると、ＯＴＨＥＲ
＿Ｎの出現が激減し、本発明の用途が大幅に向上するこ
とが期待できる。 （実施例）図４は、工程２０において本発明により構築
された故障サインデータベースを示す。故障サインデー
タベースは、二以上の故障サインデータ４１、４２、４
３、４４等を含む。例えば、図１に示されるウエハマッ
プ１０を参照すると、故障サインデータは以下を含む。 故障サイン：ＧＣ ＢＵＭＰ 故障モード：Ｙａ又はＹｄｃａｂｉａ ダイ番号：０２１４，０２１３，０２１２・・・ 従属サイン：４ ｃｌｏｃｋ、８ ｃｌｏｃｋ 位置依存性：Ｙ ここで、ウエハマップ１０のパターンはＧＣ ＢＵＭ
Ｐ、４ｃｌｏｃｋ、８ｃｌｏｃｋのサインに一致する。
しかし、ＧＣ ＢＵＭＰのダイの位置フィールド及び故
障モードは、４ｃｌｏｃｋ又は８ｃｌｏｃｋのいずれか
の、ダイの位置フィールド及び故障モードを完全に含む
ため、ＧＣ ＢＵＭＰが故障サインとして選択され、４
ｃｌｏｃｋ又は８ｃｌｏｃｋは従属的サインとされる。
図２に示される工程２２において、自動比較装置により
比較されたとき、ＧＣ ＢＵＭＰのヒット率が工程２２
５において歩留り解析技術者による所定の値（望ましく
は８０％）を達成すれば、ＧＣ ＢＵＭＰのみと比較さ
れることを要する。重複の比較を回避するため、４ｃｌ
ｏｃｋ、８ｃｌｏｃｋのいずれとも比較されることが必
要ではない。
【００３９】さらに、本発明は少なくとも１枚の選択さ
れたウエハを工程２１においてテストデバイスにより検
査し、各ウエハについて検査結果を生成する。検査結果
には、ウエハ番号、故障ダイの位置及び故障モードが含
まれる。
れたウエハを工程２１においてテストデバイスにより検
査し、各ウエハについて検査結果を生成する。検査結果
には、ウエハ番号、故障ダイの位置及び故障モードが含
まれる。
【００４０】検査後、工程２２において、選択されたウ
エハの各検査結果が、自動比較装置により故障サインデ
ータベースの各故障サインデータと比較され、比較結果
が生成される。
エハの各検査結果が、自動比較装置により故障サインデ
ータベースの各故障サインデータと比較され、比較結果
が生成される。
【００４１】工程２２において、まず本発明は工程２２
０でＮ＝１に設定し、その後、工程２２１でテスト結果
の故障モードがＮ番目の故障サインデータの故障モード
に含まれているか否かをチェックするため、検査結果が
Ｎ番目の故障サインデータと比較する。工程２２１にお
いて答えがｙｅｓであるときは、工程２２２が行われ
る。工程２２１において答えがｎｏであるときは、工程
２２９が行われる。
０でＮ＝１に設定し、その後、工程２２１でテスト結果
の故障モードがＮ番目の故障サインデータの故障モード
に含まれているか否かをチェックするため、検査結果が
Ｎ番目の故障サインデータと比較する。工程２２１にお
いて答えがｙｅｓであるときは、工程２２２が行われ
る。工程２２１において答えがｎｏであるときは、工程
２２９が行われる。
【００４２】工程２２２において、本発明は位置依存性
情報がＹであるかＮであるかをチェックする。位置依存
性情報が、故障サインデータ４１、４３、４４のように
Ｙであれば、工程２２３が行われる。位置依存性情報
が、故障サインデータ４２のようにＮであれば工程２２
４が行われる。
情報がＹであるかＮであるかをチェックする。位置依存
性情報が、故障サインデータ４１、４３、４４のように
Ｙであれば、工程２２３が行われる。位置依存性情報
が、故障サインデータ４２のようにＮであれば工程２２
４が行われる。
【００４３】位置依存性情報が、故障サインデータ４
１、４３、４４のようにＹであれば、工程２２３におい
て、自動比較装置は検査結果の故障ダイの位置と、Ｎ番
目故障サインデータの故障ダイの位置フィールドとを比
較する。その後、Ｎ番目故障サインデータの位置フィー
ルドに記載されたものと完全に同一な位置を有するダイ
の個数がｎとして得られる。
１、４３、４４のようにＹであれば、工程２２３におい
て、自動比較装置は検査結果の故障ダイの位置と、Ｎ番
目故障サインデータの故障ダイの位置フィールドとを比
較する。その後、Ｎ番目故障サインデータの位置フィー
ルドに記載されたものと完全に同一な位置を有するダイ
の個数がｎとして得られる。
【００４４】工程２２３において、ｎが１以上である場
合は、検査結果に含まれる故障ダイの位置及び故障モー
ドが故障サインデータベースとして、以下の検査結果の
ように規定される。 ウエハ番号 故障モード 故障ダイの位置（ダイ番号） Ｐ２Ａ１０３０９．２ Ｙａ ０９０１，０９０２・・・ その後、工程２２５において、検査結果と故障サインデ
ータ４１とを比較した比較結果は、以下のようである。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率％ Ｐ２Ａ１０３０９．２ ＧＣ Ｂｕｍｐ ８０ ここで、検査結果の故障モード（Ｙａ）は、故障サイン
データ４１の故障モード（Ｙａ又はＹｄｃａｂｉａ）に
完全に含まれ、ヒット率は、検査結果の故障ダイの位置
が故障サインデータの故障ダイの位置フィールドに表示
されたものと完全に同一である個数ｎ（例えば４０ダ
イ）の、故障サインデータの全故障ダイの個数であるＭ
（例えば５０ダイ）に対する比率であり、従ってヒット
率は４０／５０、即ち８０％となる。
合は、検査結果に含まれる故障ダイの位置及び故障モー
ドが故障サインデータベースとして、以下の検査結果の
ように規定される。 ウエハ番号 故障モード 故障ダイの位置（ダイ番号） Ｐ２Ａ１０３０９．２ Ｙａ ０９０１，０９０２・・・ その後、工程２２５において、検査結果と故障サインデ
ータ４１とを比較した比較結果は、以下のようである。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率％ Ｐ２Ａ１０３０９．２ ＧＣ Ｂｕｍｐ ８０ ここで、検査結果の故障モード（Ｙａ）は、故障サイン
データ４１の故障モード（Ｙａ又はＹｄｃａｂｉａ）に
完全に含まれ、ヒット率は、検査結果の故障ダイの位置
が故障サインデータの故障ダイの位置フィールドに表示
されたものと完全に同一である個数ｎ（例えば４０ダ
イ）の、故障サインデータの全故障ダイの個数であるＭ
（例えば５０ダイ）に対する比率であり、従ってヒット
率は４０／５０、即ち８０％となる。
【００４５】工程２２７において、工程２２３で算出さ
れたｎのそれぞれが０である場合は、検査結果に含まれ
る故障ダイの位置及び故障モードが、図３に示されるダ
イの連続的な位置における故障の場合のように、故障サ
インデータベースで未定義であることを示す。アンノウ
ンサインを示す比較結果を以下に示す。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率 Ｐ２Ａ１５０６１．１８ ＯＴＨＥＲ１ 連続する２０ダイ ここで、比較結果は故障サイン欄においてＯＴＨＥＲ１
を生成し、ヒット率欄においていくつの連続するダイが
故障するかに関する内容表示を生成する。故障ダイに関
する内容表示は、工程２７においてさらなる解析のため
に解析装置に入力されるために、自動比較装置により生
成される。さらに、工程２３においてさらにＯＴＨＥＲ
１を定義するために歩留り解析技術者に対しその内容が
提供され、その後、工程２４においてその内容が定義さ
れた故障サインとしてデータベースに入力される。
れたｎのそれぞれが０である場合は、検査結果に含まれ
る故障ダイの位置及び故障モードが、図３に示されるダ
イの連続的な位置における故障の場合のように、故障サ
インデータベースで未定義であることを示す。アンノウ
ンサインを示す比較結果を以下に示す。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率 Ｐ２Ａ１５０６１．１８ ＯＴＨＥＲ１ 連続する２０ダイ ここで、比較結果は故障サイン欄においてＯＴＨＥＲ１
を生成し、ヒット率欄においていくつの連続するダイが
故障するかに関する内容表示を生成する。故障ダイに関
する内容表示は、工程２７においてさらなる解析のため
に解析装置に入力されるために、自動比較装置により生
成される。さらに、工程２３においてさらにＯＴＨＥＲ
１を定義するために歩留り解析技術者に対しその内容が
提供され、その後、工程２４においてその内容が定義さ
れた故障サインとしてデータベースに入力される。
【００４６】位置依存性情報が、故障サインデータ４２
に説明されるようにＮであれば、自動比較装置は、工程
２２４における検査結果の故障ダイの個数を算出し、個
数ｎを得る。
に説明されるようにＮであれば、自動比較装置は、工程
２２４における検査結果の故障ダイの個数を算出し、個
数ｎを得る。
【００４７】工程２２４において、ｎが１以上であれ
ば、検査結果が以下のように故障サインデータベースに
より定義されたことを示す。 ウエハ番号 故障モード 故障ダイの位置（ダイ番号） Ｐ２Ａ１１３１７．１ Ｙａ 1200, 1201, 1203・・・ 工程２２５において、故障サインデータ４２に関する検
査結果の比較結果は以下のようである。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率％ Ｐ２Ａ１１３１７．１ Ｙａスクラッチ ５０ ここで、テスト結果の故障モード（Ｙａ）は、故障サイ
ンデータ４２の故障モード（Ｙａ）に完全に含まれ、ヒ
ット率は、故障サインデータＭの故障ダイの個数（例え
ば４０個）に対する検査結果における故障ダイの個数
（例えば２０個）の比率であり、すなわちヒット率は２
０／４０、５０％である。
ば、検査結果が以下のように故障サインデータベースに
より定義されたことを示す。 ウエハ番号 故障モード 故障ダイの位置（ダイ番号） Ｐ２Ａ１１３１７．１ Ｙａ 1200, 1201, 1203・・・ 工程２２５において、故障サインデータ４２に関する検
査結果の比較結果は以下のようである。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率％ Ｐ２Ａ１１３１７．１ Ｙａスクラッチ ５０ ここで、テスト結果の故障モード（Ｙａ）は、故障サイ
ンデータ４２の故障モード（Ｙａ）に完全に含まれ、ヒ
ット率は、故障サインデータＭの故障ダイの個数（例え
ば４０個）に対する検査結果における故障ダイの個数
（例えば２０個）の比率であり、すなわちヒット率は２
０／４０、５０％である。
【００４８】工程２２７において、工程２２４において
算出された各々のｎが０であれば、検査結果は故障サイ
ンデータベースにおいて未定義であることを示し、各選
択されたウエハについてのアンノウンサインを示す比較
結果が工程２２８において生成される。
算出された各々のｎが０であれば、検査結果は故障サイ
ンデータベースにおいて未定義であることを示し、各選
択されたウエハについてのアンノウンサインを示す比較
結果が工程２２８において生成される。
【００４９】好適な実施形態において、自動比較装置に
より比較された後、アンノウンサインを含む比較結果の
総合的な表（工程２２８）、及び定義された故障サイン
データに対するヒットを示す比較結果が、例えば以下の
ように生成される。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率％ Ｐ２Ａ１０１０６．５ Ｐ１ ６０ Ｐ２Ａ１０１０６．５ Ｐ４２ ５０ Ｐ２Ａ１０３０８．５ ＹＡ Ｓｃｒａｃｈ ７２ Ｐ２Ａ１０３０９．２ ＧＣ Ｂｕｍｐ ９５ Ｐ２Ａ１２３９９．７ ＤＣ８ ｃｌｏｃｋ ９５ Ｐ２Ａ０８９９０．８ ＤＴ Ｅｔｃｈ ９５ Ｐ２Ａ１０４０６．１ Ｐ４１ ９０ Ｐ２Ａ１００３４．７ ＳｍｅａｒIII １００ Ｐ２Ａ１２９００．７ ＤＣ８ ｃｌｏｃｋ ９５ Ｐ２Ａ１２３４５．９ ＤＴ Ｅｔｃｈ ９５ Ｐ２Ａ１０４５６．１ ＳｍｅａｒIII １００ Ｐ２Ａ１０３４５．１ ４ ｃｌｏｃｋ １００ Ｐ２Ａ１００２３．６ Ｐ３９ ３０ Ｐ２Ａ１００２３．３ ４ ｃｌｏｃｋ １００ Ｐ２Ａ１２３４９．１ ４ ｃｌｏｃｋ １００ Ｐ２Ａ１５０６１．１８ ＯＴＨＥＲ１ 連続した２０ダイ Ｐ２Ａ１０４７８．１０ ＯＴＨＥＲ２ 連続した１５ダイ 上述の比較結果の表が生成された後、工程２５におい
て、歩留り解析技術者により、経験に基づいた閾値が設
定される。各選択されたウエハの比較結果のヒット率と
の比較において要求されるように、１以上の閾値を設定
してもよい。例えば、上述の比較結果と閾値を比較す
る。 次に、工程２６において、閾値以上のヒット率を有する
ウエハのウエハ番号及び故障サインを取り出す。工程２
７において、取り出されたウエハ番号及び故障サインの
各々がさらなる解析のために解析装置に入力される。例
えば、閾値＝１００が設定されれば、故障サイン４ ｃ
ｌｏｃｋに該当するウエハ番号はＰ２Ａ１２３４５．
１、Ｐ２Ａ１００２３．３、及びＰ２Ａ１２３４９．１
である。さらに、４ ｃｌｏｃｋ故障サインを含むウエ
ハを示すために使用されたこれらのウエハ番号は、故障
の根本的原因のさらなる解析、及びデバッギングのため
に解析装置に入力されてもよい。
より比較された後、アンノウンサインを含む比較結果の
総合的な表（工程２２８）、及び定義された故障サイン
データに対するヒットを示す比較結果が、例えば以下の
ように生成される。 ウエハ番号 故障サイン ヒット率％ Ｐ２Ａ１０１０６．５ Ｐ１ ６０ Ｐ２Ａ１０１０６．５ Ｐ４２ ５０ Ｐ２Ａ１０３０８．５ ＹＡ Ｓｃｒａｃｈ ７２ Ｐ２Ａ１０３０９．２ ＧＣ Ｂｕｍｐ ９５ Ｐ２Ａ１２３９９．７ ＤＣ８ ｃｌｏｃｋ ９５ Ｐ２Ａ０８９９０．８ ＤＴ Ｅｔｃｈ ９５ Ｐ２Ａ１０４０６．１ Ｐ４１ ９０ Ｐ２Ａ１００３４．７ ＳｍｅａｒIII １００ Ｐ２Ａ１２９００．７ ＤＣ８ ｃｌｏｃｋ ９５ Ｐ２Ａ１２３４５．９ ＤＴ Ｅｔｃｈ ９５ Ｐ２Ａ１０４５６．１ ＳｍｅａｒIII １００ Ｐ２Ａ１０３４５．１ ４ ｃｌｏｃｋ １００ Ｐ２Ａ１００２３．６ Ｐ３９ ３０ Ｐ２Ａ１００２３．３ ４ ｃｌｏｃｋ １００ Ｐ２Ａ１２３４９．１ ４ ｃｌｏｃｋ １００ Ｐ２Ａ１５０６１．１８ ＯＴＨＥＲ１ 連続した２０ダイ Ｐ２Ａ１０４７８．１０ ＯＴＨＥＲ２ 連続した１５ダイ 上述の比較結果の表が生成された後、工程２５におい
て、歩留り解析技術者により、経験に基づいた閾値が設
定される。各選択されたウエハの比較結果のヒット率と
の比較において要求されるように、１以上の閾値を設定
してもよい。例えば、上述の比較結果と閾値を比較す
る。 次に、工程２６において、閾値以上のヒット率を有する
ウエハのウエハ番号及び故障サインを取り出す。工程２
７において、取り出されたウエハ番号及び故障サインの
各々がさらなる解析のために解析装置に入力される。例
えば、閾値＝１００が設定されれば、故障サイン４ ｃ
ｌｏｃｋに該当するウエハ番号はＰ２Ａ１２３４５．
１、Ｐ２Ａ１００２３．３、及びＰ２Ａ１２３４９．１
である。さらに、４ ｃｌｏｃｋ故障サインを含むウエ
ハを示すために使用されたこれらのウエハ番号は、故障
の根本的原因のさらなる解析、及びデバッギングのため
に解析装置に入力されてもよい。
【００５０】さらに、工程２７において、歩留り解析技
術者は、それぞれＯＴＨＥＲ１、ＯＴＨＥＲ２のアンノ
ウンサインを含むＰ２Ａ１５０６１．１８及びＰ２Ａ１
０４７８．１０の情報を、さらなる解析のために解析装
置に入力してもよい。そして、工程２３において、ＯＴ
ＨＥＲ１及びＯＴＨＥＲ２は定義され、工程２４におい
て工程２２において構築される新しい故障サインデータ
としてデータベースに入力されてもよい。
術者は、それぞれＯＴＨＥＲ１、ＯＴＨＥＲ２のアンノ
ウンサインを含むＰ２Ａ１５０６１．１８及びＰ２Ａ１
０４７８．１０の情報を、さらなる解析のために解析装
置に入力してもよい。そして、工程２３において、ＯＴ
ＨＥＲ１及びＯＴＨＥＲ２は定義され、工程２４におい
て工程２２において構築される新しい故障サインデータ
としてデータベースに入力されてもよい。
【００５１】特定の特徴及びサブコンビネーションが使
用でき、請求の範囲内に概要を示す限り、他の特徴及び
サブコンビネーションを参照することなく採用してもよ
いことが理解される。本発明の好適な実施例及び適用例
を説明したが、当業者には、本発明の目的及び特徴は請
求の範囲に示されるようにのみ限定されるものであるこ
とが明らかである。
用でき、請求の範囲内に概要を示す限り、他の特徴及び
サブコンビネーションを参照することなく採用してもよ
いことが理解される。本発明の好適な実施例及び適用例
を説明したが、当業者には、本発明の目的及び特徴は請
求の範囲に示されるようにのみ限定されるものであるこ
とが明らかである。
【００５２】
【発明の効果】請求項１乃至６に記載された発明によ
り、ウエハの故障サインが自動的に検出、分類されるた
め、歩留り分析技術者の熟練した技術を必要とせず、か
つ故障解析の際の人為的誤差が減少する。また、従来技
術のウエハの故障解析において必要とされていた、故障
サインをウエハマップに翻訳する作業、及びウエハマッ
プのモニタへの表示、若しくはプリントアウトを必要と
しないため、故障解析の効率が上がる。
り、ウエハの故障サインが自動的に検出、分類されるた
め、歩留り分析技術者の熟練した技術を必要とせず、か
つ故障解析の際の人為的誤差が減少する。また、従来技
術のウエハの故障解析において必要とされていた、故障
サインをウエハマップに翻訳する作業、及びウエハマッ
プのモニタへの表示、若しくはプリントアウトを必要と
しないため、故障解析の効率が上がる。
【００５３】請求項７に記載された発明により、故障サ
インデータベースの故障サインと所定のヒット率で一致
するウエハを検出することが可能となる。このウエハの
ウエハ番号、及び故障サインが検出されたときは、ウエ
ハの故障ダイの手作業による分類を待たずに、そのとき
に発生した故障の根本的原因を分析することが可能とな
る。
インデータベースの故障サインと所定のヒット率で一致
するウエハを検出することが可能となる。このウエハの
ウエハ番号、及び故障サインが検出されたときは、ウエ
ハの故障ダイの手作業による分類を待たずに、そのとき
に発生した故障の根本的原因を分析することが可能とな
る。
【００５４】請求項８及び９に記載された発明により、
未定義の故障サインが出現したときは、その故障サイン
が未定義である旨、及びその内容のデータが生成され
る。生成されたデータに基づき、解析装置により、原因
解析を行うことが可能となる。
未定義の故障サインが出現したときは、その故障サイン
が未定義である旨、及びその内容のデータが生成され
る。生成されたデータに基づき、解析装置により、原因
解析を行うことが可能となる。
【００５５】請求項１０に記載された発明により、アン
ノウンサインが定義され、新しい故障サインとして故障
サインデータベースに記録されるため、デバッギングが
なされる。
ノウンサインが定義され、新しい故障サインとして故障
サインデータベースに記録されるため、デバッギングが
なされる。
【００５６】請求項１１乃至１３に記載された発明によ
り、位置フィールド及び故障モードが他の故障サインデ
ータに含まれるデータを従属的データとし、この他の故
障サインデータのヒット率が所定の数値を超えたときは
従属サインを比較する工程がスキップされるため、不要
な再比較と時間の無駄が防がれる。
り、位置フィールド及び故障モードが他の故障サインデ
ータに含まれるデータを従属的データとし、この他の故
障サインデータのヒット率が所定の数値を超えたときは
従属サインを比較する工程がスキップされるため、不要
な再比較と時間の無駄が防がれる。
【図１】 コンピュータにより生成されたウエハマッ
プ。
プ。
【図２】 本発明による方法のフローチャート。
【図３】 アンノウンサインを含むウエハマップ。
【図４】 本発明による故障サインデータベース。
【図５】 本発明による装置相関ダイヤグラム。
４１−４４・・・故障サインデータ、１１，３１・・・
ウエハ、１３，３３・・・故障ダイ。
ウエハ、１３，３３・・・故障ダイ。
フロントページの続き (72)発明者 チュー カン−ミァン 台湾 シンチュ サイエンス−ベイスド インダストリアル パーク リー−シン ロード ナンバー19 プロモス テクノロ ジーズ インコーポレイテッド内 Ｆターム(参考） 4M106 AA01 BA01 CA70 DA15 DJ18 DJ20 DJ23
Claims (13)
- 【請求項１】 ウエハの故障サイン識別方法において、
（１）故障サインデータベースを構築し、二つ以上の故
障サインデータを記録する工程と、この工程において、
各故障サインデータは、故障サイン、故障ダイ位置フィ
ールド、故障モード及び位置依存性情報を有し、位置依
存性情報は、故障サインの故障ダイの位置に対する関連
性の有無を表示することと、（２）選択されたウエハを
検査し、選択されたウエハにおける故障の位置、及び故
障モードを含む検査結果を生成する工程と、このウエハ
はウエハ番号を有することと、（３）検査結果の故障モ
ードと、各故障サインデータの故障モードとを自動比較
手段により比較して、比較結果を生成する工程と、この
比較結果は、ヒットとミスを有し、比較結果がヒットで
あるときは、さらにウエハ番号と故障サインを有するこ
ととからなる方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載された方法において、前
記位置依存性情報は、故障サインが位置と関連性を有す
るときはＹ、有しないときはＮであり、故障ダイの個数
は、故障サインデータの位置に基づき自然数Ｍとして算
出される方法。 - 【請求項３】 請求項１に記載された方法において、工
程（３）におけるヒットは、検査結果の故障モードが故
障サインデータに含まれる故障モードであるときに表示
される方法。 - 【請求項４】 請求項２に記載された方法において、工
程（３）における位置依存性情報がＹであるときは、検
査結果の故障ダイの位置を故障サインデータの故障ダイ
の位置と比較し、故障サインデータの故障ダイと位置が
完全に一致するダイの個数を表示する０以上の整数ｎを
算出する工程をさらに有する方法。 - 【請求項５】 請求項２に記載された方法において、工
程（３）における位置依存性情報がＮであるときは、検
査結果における故障ダイの個数として、０以上の整数ｎ
を算出する工程を、さらに有する方法。 - 【請求項６】 請求項４に記載された方法において、前
記比較結果はヒット率を有し、ヒット率はｎをＭで割っ
た数値である方法。 - 【請求項７】 請求項６に記載された方法において、 閾値を選択する工程と、 この閾値を前記ヒット率と比較する工程と、 閾値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号と故障
サインを選択する工程と、 さらなる解析のため、前記ウエハ番号と故障サインを解
析手段に入力する工程とをさらに有する方法。 - 【請求項８】 請求項７に記載された方法において、ヒ
ット率が０のときは、前記比較結果は、前記自動比較手
段により定義されるアンノウンサイン、及びこのアンノ
ウンサインの内容表示を含み、前記アンノウンサイン
は、前記選択されたウエハの故障サインとされる方法。 - 【請求項９】 請求項８に記載された方法において、さ
らなる解析のため、前記解析手段に前記アンノウンサイ
ンとその内容を入力する工程を有する方法。 - 【請求項１０】 請求項９に記載された方法において、 前記アンノウンサインを定義する工程と、 このアンノウンサインを新しい故障サインとして前記故
障サインデータベースに入力する工程とをさらに有する
方法。 - 【請求項１１】 請求項６に記載された方法において、
前記故障サインデータは従属的サインをさらに有する方
法。 - 【請求項１２】 請求項１１に記載された方法におい
て、前記故障サインデータのヒット率が所定の数値を超
えると、故障サインデータベースのうちの従属的サイン
を比較する工程がスキップされる方法。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載された方法におい
て、前記所定の数値は８０％である方法。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7707471B2 (en) | 2006-08-29 | 2010-04-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of defining fault pattern of equipment and method of monitoring equipment using the same |
| CN113157666A (zh) * | 2021-04-15 | 2021-07-23 | 筏渡(上海)科技有限公司 | 一种建立晶圆良率问题数据库的方法和装置 |
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| US20060136086A1 (en) * | 2004-12-21 | 2006-06-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Inking process management systems and methods |
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| CN106019118A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-10-12 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 功率mos失效位置的判定方法 |
| CN109817540B (zh) * | 2019-01-30 | 2021-06-08 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 晶圆检测缺陷的分类方法 |
| CN113148946B (zh) * | 2021-04-15 | 2024-02-06 | 深圳智现未来工业软件有限公司 | 一种晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US5475695A (en) * | 1993-03-19 | 1995-12-12 | Semiconductor Diagnosis & Test Corporation | Automatic failure analysis system |
| US5828825A (en) * | 1993-12-22 | 1998-10-27 | Intel Corporation | Method and apparatus for pseudo-direct access to embedded memories of a micro-controller integrated circuit via the IEEE test access port |
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| US6154714A (en) * | 1997-11-17 | 2000-11-28 | Heuristic Physics Laboratories | Method for using wafer navigation to reduce testing times of integrated circuit wafers |
| JP4077951B2 (ja) | 1998-01-14 | 2008-04-23 | 株式会社ルネサステクノロジ | 欠陥解析方法、記録媒体及び工程管理方法 |
| JP4136109B2 (ja) | 1998-09-03 | 2008-08-20 | 株式会社日立製作所 | 電子デバイス検査システム |
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| US6580960B1 (en) * | 2000-06-22 | 2003-06-17 | Promos Technologies, Inc. | System and method for finding an operation/tool combination that causes integrated failure in a semiconductor fabrication facility |
-
2001
- 2001-03-13 DE DE10111831A patent/DE10111831A1/de not_active Ceased
- 2001-03-16 US US09/808,989 patent/US7047469B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-04-18 JP JP2001119396A patent/JP3550105B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020053054A1 (en) | 2002-05-02 |
| US7047469B2 (en) | 2006-05-16 |
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