JPH1187443A - 欠陥判別方法、欠陥判別装置及び欠陥判別プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体装置のウェハ欠陥検査において、共通
欠陥の判別精度を向上させる。 【解決手段】 欠陥分類処理部１３は、検出された欠陥
に対しその種類に応じた欠陥分類を付加する。グループ
化手段１４２は、座標比較手段１４１で同一位置に存在
する欠陥として検索された欠陥に同一のグループ番号を
付加する。欠陥数集計手段１４３は、各グループに属す
る欠陥を欠陥分類ごとに集計し、全検査ショット数に対
しその欠陥分類に属する欠陥が存在するショット数の割
合を求め、最も大きな値をそのグループの欠陥有りショ
ット数の割合とする。共通欠陥判別手段１４４は、前記
求められた欠陥有りショット数の割合がしきい値を越え
る場合には、そのグループに属する欠陥を共通欠陥と判
別する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置のウ
ェハ欠陥検査に関し、とくにステッパ装置に依存した共
通欠陥の判別を行う技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩなどの半導体装置の製造工程にお
いては、ウェハ欠陥検査工程として、ウェハ上の欠陥の
位置、大きさなどの情報の検出が行われている。この検
査工程で検出された欠陥情報から、欠陥の発生原因を推
定し、すばやく対策を講じることにより、歩留まりを向
上させることができる。

【０００３】従来、欠陥発生原因の推定法の一つとして
共通欠陥の判別がある。共通欠陥とは、ウェハ上の同一
位置に欠陥が繰り返し現れる現象である。共通欠陥と判
別された場合、ステッパ装置に原因があると推定され
る。これは、ステッパ装置ではマスクパターンの露光を
ショット単位で繰り返し行うため、ステッパ装置の異常
により欠陥が発生した場合、ショット毎に同様の欠陥が
繰り返して発生すると考えられるからである。このた
め、ステッパ装置のショット毎に座標系（以下、ショッ
ト座標系）を設け、ショット座標における同一座標に存
在する欠陥が現れた場合に、それを共通欠陥と判別する
ことで、ステッパ装置に依存した欠陥を特定するように
している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のウェハ欠陥検査
工程では、共通欠陥を判別する際に、同一のステッパ装
置により処理されたウェハの各ショット上で検出された
欠陥の座標を比較し、同一座標で欠陥が繰り返し検出さ
れた場合には、それらを共通欠陥として判別している。
ところが、この方式では、ステッパ装置には依存してい
ない欠陥であって、偶然に同一座標に存在しただけの欠
陥についても共通欠陥と判別してしまうため、共通欠陥
の判別精度が低くなるという問題点があった。

【０００５】この発明は、共通欠陥の判別精度を向上さ
せることができる欠陥判別方法、欠陥判別装置及び欠陥
判別プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な
記録媒体を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、対象物の分割された各領域で欠
陥を検出し、各領域の同一位置に存在する欠陥を共通欠
陥と判別する欠陥判別方法において、検出された欠陥
を、欠陥の種類に応じて分類し、該分類に基づいて共通
欠陥の判別を行うことを特徴とする。

【０００７】請求項２の発明は、対象物の分割された各
領域で欠陥を検出し、各領域の同一位置に存在する欠陥
を共通欠陥と判別する欠陥判別方法において、検出され
た欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識別情報を付加し、
同一位置に存在する欠陥をグループ化し、それぞれのグ
ループに属する欠陥を識別情報ごとに集計し、該集計結
果に基づいて共通欠陥の判別を行うことを特徴とする。

【０００８】請求項３の発明は、対象物の分割された各
領域で検出された欠陥の位置を比較し、各領域の同一位
置に存在する欠陥を共通欠陥と判別する欠陥判別方法に
おいて、検出された欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識
別情報を付加する識別情報付加ステップと、領域内の同
一位置に存在する欠陥に同一のグループ番号を付加する
グループ化ステップと、それぞれのグループに属する欠
陥を欠陥分類ごとに集計するとともに、全検査領域数に
対し、その欠陥分類に属する欠陥が存在する領域数の割
合を求め、それぞれのグループで最も大きな値をそのグ
ループの欠陥有り領域数の割合とする欠陥数集計ステッ
プと、前記欠陥有り領域数の割合が、あらかじめ設定さ
れたしきい値を越える場合は、そのグループに属する欠
陥を共通欠陥と判別する共通欠陥判別ステップとを含む
ことを特徴とする。

【０００９】請求項４の発明は、対象物の分割された各
領域で検出された欠陥の位置を比較し、各領域の同一位
置に存在する欠陥を共通欠陥と判別する欠陥判別装置に
おいて、検出された欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識
別情報を付加する識別情報付加手段と、領域内の同一位
置に存在する欠陥に同一のグループ番号を付加するグル
ープ化手段と、それぞれのグループに属する欠陥を欠陥
分類ごとに集計するとともに、全検査領域数に対し、そ
の欠陥分類に属する欠陥が存在する領域数の割合を求
め、それぞれのグループで最も大きな値をそのグループ
の欠陥有り領域数の割合とする欠陥数集計手段と、前記
欠陥有り領域数の割合が、あらかじめ設定されたしきい
値を越える場合は、そのグループに属する欠陥を共通欠
陥と判別する共通欠陥判別手段とを備えたことを特徴と
する。

【００１０】請求項５の発明は、対象物の分割された各
領域で検出された欠陥の位置を比較し、各領域の同一位
置に存在する欠陥を共通欠陥と判別する処理において、
検出された欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識別情報を
付加する処理と、領域内の同一位置に存在する欠陥に同
一のグループ番号を付加する処理と、それぞれのグルー
プに属する欠陥を欠陥分類ごとに集計するとともに、全
検査領域数に対し、その欠陥分類に属する欠陥が存在す
る領域数の割合を求め、それぞれのグループで最も大き
な値をそのグループの欠陥有り領域数の割合とする処理
と、前記欠陥有り領域数の割合が、あらかじめ設定され
たしきい値を越える場合は、そのグループに属する欠陥
を共通欠陥と判別する処理とを含み、これらの処理をコ
ンピュータに実行させることを特徴とする欠陥判別プロ
グラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
である。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明に係わる欠陥判別
方法、欠陥判別装置及び欠陥判別プログラムを格納した
コンピュータ読み取り可能な記録媒体を欠陥判別システ
ムに適用した場合の実施形態ついて説明する。

【００１２】図１は、この実施形態に係わる欠陥判別シ
ステムの全体構成を示すブロック図である。この欠陥判
別システム１０は、欠陥検査装置１１、データベース１
２、欠陥分類処理部１３、共通欠陥判別部１４により構
成されている。

【００１３】欠陥検査装置１１は、検査対象となるウェ
ハを検査し、各ショットごとに、検出した欠陥の座標、
サイズなど（ここでは、座標、サイズのみとする）のデ
ータを出力する。

【００１４】データベース１２は、前記欠陥検査装置１
１で検出された欠陥の座標、サイズのデータを格納する
とともに、これらの基本データと後述する欠陥分類、グ
ループ番号などを対応付けて格納する。

【００１５】欠陥分類処理部１３は、検出されたそれぞ
れの欠陥を分類し、その欠陥の種類に応じた識別情報と
しての欠陥分類情報を、各欠陥ごとに対応付けて登録す
る。

【００１６】共通欠陥判別部１４は、検出された欠陥が
共通欠陥かどうかを判別する部分であり、次の各手段に
より構成されている。

【００１７】座標比較手段１４１は、各ショットで検出
された欠陥の座標を、すべてのショットについて比較
し、座標が一致する欠陥を検索する。

【００１８】グループ化手段１４２は、座標が一致した
欠陥に同一のグループ番号を付けて、同一座標に存在す
る欠陥をグループ化する。

【００１９】欠陥数集計手段１４３は、それぞれのグル
ープに属する欠陥を欠陥分類ごとに集計するとともに、
全検査ショット数に対し、その欠陥分類に属する欠陥が
存在するショット数の割合を求め、それぞれのグループ
において最も大きな値をそのグループの欠陥有りショッ
ト数の割合とする。

【００２０】共通欠陥判別手段１４４は、欠陥数集計手
段１４３で求められた欠陥有りショット数の割合が、あ
らかじめ設定されたしきい値を越えるかどうかを判断
し、越える場合は、そのグループに属する欠陥を共通欠
陥と判別し、共通欠陥グループとして登録する。

【００２１】上記欠陥判別システム１０のうち、データ
ベース１２、欠陥分類処理部１３及び共通欠陥判別部１
４は、例えばキーボード、マウス、ライトペン又はフレ
キシブルディスク装置などの入力デバイス、ＣＰＵ、及
びこのＣＰＵに接続されたＲＯＭ，ＲＡＭ、磁気ディス
クなどの記憶装置、ディスプレイ装置やプリンタ装置な
どの出力デバイスを含む通常のコンピュータシステムに
より構成される。

【００２２】次に、上述した欠陥判別システム１０にお
いて、検出された欠陥が共通欠陥かどうかの判別を行う
場合の処理手順を図２のフローチャートにより説明す
る。

【００２３】まず、欠陥検査装置１１は、検査対象とな
るウェハの検査を行い、各ショットごとに、検出した欠
陥の座標、サイズのデータを得る（ステップ１０１）。
これらの基本データはデータベース１２に格納される。
次に、欠陥分類処理部１３は、検出された各欠陥の分類
を行い、その欠陥の種類に応じた欠陥分類情報を、基本
データの各欠陥ごとに対応付けて登録する（ステップ１
０２）。

【００２４】ここから、共通欠陥判別部１４の処理に移
行する。まず座標比較手段１４１は、検出された欠陥の
座標を、すべてのショットについて比較し、座標が一致
する欠陥を検索する（ステップ１０３）。グループ化手
段１４２は、座標が一致した欠陥に同一のグループ番号
を割り当てて登録する（ステップ１０４）。次に、欠陥
数集計手段１４３は、それぞれのグループに属する欠陥
を欠陥分類ごとに集計し（ステップ１０５）、全検査シ
ョット数に対して、その欠陥分類に属する欠陥が存在す
るショット数の割合を求め、それぞれのグループの中で
最も大きな値をそのグループの欠陥有りショット数の割
合として登録する（ステップ１０６）。続いて、共通欠
陥判別手段１４４は、欠陥数集計手段１４３で求められ
た欠陥有りショット数の割合が、あらかじめ設定された
しきい値を越えるかどうかを判断する（ステップ１０
７）。ここで、欠陥有りショット数の割合がしきい値を
越える場合は、そのグループに属する欠陥を共通欠陥と
し、共通欠陥グループとして登録する（ステップ１０
８）。一方、しきい値を越えない場合は、そのグループ
に属する欠陥は共通欠陥ではないと判定し、共通欠陥グ
ループとしての登録は行わない。

【００２５】このようにして、すべてのグループの欠陥
有りショット数について処理を終了したかどうかを判断
し（ステップ１０９）、すべての欠陥有りショット数に
ついて終了するまで上記処理を繰り返す。

【００２６】次に、上述した処理を具体例に基づいて説
明し、併せて図１に示す各部の動作をさらに詳細に説明
する。

【００２７】まず、検査対象となるウェハの一例を図３
示す。この例では、ウェハ３１の分割された各領域をシ
ョット（単位）３２とし、各ショットには連続したショ
ットＮｏ．が付されている。また、ショットごとに２次
元のショット座標が設定され、欠陥の座標、サイズはシ
ョットＮｏ．とショット座標により表される。なお、シ
ョット座標の原点は、各ショットを重ね合わせた場合に
欠陥の位置を比較することができれば、どこに設定され
ていてもよい。

【００２８】ショット上に共通欠陥が発生した場合の例
を図４に示す。図４では、ステッパ装置に何らかの異常
が生じた結果、露光の際にショット１、２、３、４の同
じショット座標に共通欠陥３３が発生している。なお、
ここでは共通欠陥３３のショット座標を、欠陥領域の中
心部を基準として表す。一方、図５は、ショット上に欠
陥が発生した場合の例を示したもので、図４と同じショ
ット１〜４について示している。図５において、欠陥３
２１Ａから３２１Ｃまでがショット１上に検出された欠
陥、以下同様に、欠陥３２２Ａから３２２Ｂ、欠陥３２
３Ａから３２３Ｂ、欠陥３２４Ａから３２４Ｃが、それ
ぞれショット２、３、４上に検出された欠陥である。欠
陥検査装置１１で検出された欠陥の座標、サイズの基本
データは、データベース１２内では、図６に示すような
データ構造により格納される。ここでは、各ショット内
の欠陥に欠陥Ｎｏ．を付けている。例えば、ショット１
の３２１Ａに欠陥Ｎｏ．１、３２１Ｂに欠陥Ｎｏ．２、
３２１Ｃに欠陥Ｎｏ．３を付けている。このようにショ
ットＮｏ．と欠陥Ｎｏ．を用いることで、各ショット内
の欠陥を特定することができる。なお、欠陥Ｎｏ．はシ
ョットごとに１、２、３・・・としてもよいし、ショッ
ト１〜４を通して連番としてもよい。

【００２９】次に、欠陥分類処理部１３では、データベ
ース１２に格納された欠陥の座標に基づいて、その座標
上にある欠陥の分類を行う。欠陥は、例えば図７に示す
ように分類される。図中（ａ）の欠陥３５は配線間がシ
ョートしている場合、同（ｂ）の欠陥３６は配線が切れ
てオープン状態の場合、さらに同（ｃ）の欠陥３７はス
クラッチがある場合をそれぞれ示している。欠陥分類処
理部１３では、その欠陥の種類に応じた欠陥分類情報
を、欠陥分類として各欠陥ごとに基本データに登録す
る。欠陥分類を登録した場合のデータ構造を図８に示
す。図８の欠陥分類ａ〜ｃはそれぞれ図７の（ａ）〜
（ｃ）の分類に対応している。

【００３０】次に、共通欠陥判別部１４では、データベ
ース１２に格納されたデータをもとに、検出された欠陥
が共通欠陥かどうかを判別する。最初に、座標比較手段
１４１において、検出された欠陥の座標を、すべてのシ
ョットについて比較し、座標が一致するかどうかの判定
をう。判定を行う場合は、図９に示すように、対象とな
るすべてのショットであるショットＮｏ．ｎ〜ショット
Ｎｏ．ｍ上に存在するすべての欠陥を、座標データを用
いて重ね合わせた後、それぞれの欠陥に着目し、座標が
一致する欠陥を検索する。ここでは、欠陥検査装置１１
のステージ誤差等により、座標が正確に一致しないこと
があるため、あらかじめｘ、ｙ方向に許容範囲４１を設
定しておき、着目している欠陥を中心とした許容範囲４
１内に存在する欠陥は座標が一致したものと見なしてい
る。図９において、重ね合わせショット４２の欠陥４３
に着目した場合、許容範囲は４１であるから、欠陥４４
は一致したものと見なし、欠陥４５は一致しないものと
見なす。

【００３１】このようにして、検出されたすべての欠陥
について座標が一致するかどうかの判定を行った後、グ
ループ化手段１４２において、着目した欠陥４３と座標
が一致した欠陥４４に同一のグループ番号を付ける。こ
こで、欠陥４３にすでにグループ番号が付けられていた
場合は、欠陥４４にも同じ番号を付ける。また、欠陥４
３にグループ番号が付けられていない場合は、いままで
付けられた最大のグループ番号に１を加えた番号を欠陥
４３、４４に付ける。同様の処理を、座標が一致したす
べての欠陥に対して行い、許容範囲内に存在するすべて
の欠陥に同じグループ番号を割り当てて登録する。グル
ープ番号を登録した場合のデータ構造を図１０に示す。
なお、図１０ではグループ番号１、２、３・・を設定し
ているが、このグループ番号は、それぞれのグループを
識別できるように独自に設定することができる。

【００３２】次に、欠陥数集計手段１４３では、それぞ
れのグループに属する欠陥を欠陥分類ごとに集計する。
欠陥数の集計結果を図１１に示す。この後、それぞれの
グループの欠陥分類ごとに、対象となった全検査ショッ
ト数のうち、その欠陥分類に属する欠陥が存在するショ
ット数（欠陥有りショット数）の割合（欠陥有りショッ
ト数／全検査ショット数）を求める。そして、この結果
から、それぞれのグループにおいて、最も数値の高い値
をそのグループの欠陥有りショット数の割合とする。欠
陥数の集計結果に、欠陥有りショット数の割合を加えた
ものを図１２に示す。図１２において、グループＮｏ．
１では、欠陥分類ａの欠陥数が４、同ｂの欠陥数が０、
同ｃの欠陥数が０となるため、欠陥有りショット数の割
合は４／４＝１．００となる。また、グループＮｏ．２
では、欠陥分類ａ〜ｃの欠陥数がそれぞれ１となるた
め、欠陥有りショット数の割合は１／４＝０．２５とな
る。また、グループＮｏ．３では、欠陥分類ａ、ｂの欠
陥数がともに０、同ｃの欠陥数が３となるため、欠陥有
りショット数の割合は３／４＝０．７５となる。

【００３３】次に、共通欠陥判別手段１４４では、欠陥
数集計手段１４３で求められた欠陥有りショット数の割
合が、あらかじめ設定されたしきい値を越えるかどうか
を判断し、しきい値を越えるグループを共通欠陥グルー
プとして基本データに登録する。図１２に示す欠陥有り
ショット数の割合において、しきい値を０．５と設定し
た場合、グループ１とグループ３は共通欠陥グループと
して登録されることになる。共通欠陥グループを登録し
た場合のデータ構造を図１３に示す。ここでは、共通欠
陥グループとして判別されたそれぞれのグループにＩ、
II・・・などの共通グループ番号を付けている。これら
の最終的な判別結果はデータベース１２に格納される。

【００３４】上述した具体例において、図１２のグルー
プ２は同一座標内に存在する欠陥がそれぞれ分類の異な
る欠陥であるため、共通欠陥でない可能性が高い。この
ような欠陥に対して従来システムで共通欠陥の判別を行
った場合、欠陥分類ごとの欠陥有りショット数の割合は
考慮されないため、図１２のグループ２の欠陥有りショ
ット数の割合は、単純に３／４＝０．７５となり、共通
欠陥として判別されてしまう。しかし、この実施形態の
欠陥判別システムでは、欠陥分類ごとの欠陥有りショッ
ト数の割合が考慮されるので、グループ２に属する欠陥
はそれぞれ別の要因により発生したものと推定され、共
通欠陥と判別されることがない。したがて、従来システ
ムに比べて、共通欠陥の判別精度をより向上させること
ができる。

【００３５】なお、上記実施形態において、欠陥分類は
システムが自動的に行うだけでなく、人手により分類を
行っても良く、分類される欠陥の種類も状況、目的に応
じて適宜に変更可能である。また欠陥の座標が一致する
かどうかの判定についても、どのような方式の装置を用
いても良いし、また目視による測定であってもよい。さ
らに、欠陥の座標、サイズ、欠陥分類などのデータの格
納も、必要な項目が登録され、参照できるような形式で
あれば、データベース以外の格納方法であってもよい。
また、欠陥の座標、欠陥分類のグループ分けの処理も、
最終的に座標と欠陥分類のグループ化ができれば、処理
を行う順番、方法は任意であり、さらには欠陥サイズな
ど、その他の情報を考慮して処理を行うようにすること
もできる。

【００３６】また、上述した欠陥判別方法を実現するた
めのプログラムはコンピュータ読み取り可能な記録媒体
に保存することができる。この記録媒体をコンピュータ
システムによって読み込ませ、前記プログラムを実行し
てコンピュータを制御することにより、上述した欠陥判
別方法を実現することができる。ここで、前記記録媒体
としては、例えばメモリ装置、磁気ディスク装置、光デ
ィスク装置などのプログラムを記録できるような装置が
含まれる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係わる
欠陥判別方法、欠陥判別装置及び欠陥判別プログラムを
格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体によれ
ば、同一位置に繰り返し現れた欠陥であっても、欠陥の
種類がそれぞれ異なる場合には、共通欠陥と判別しない
ようにしたので、偶然に同一座標に存在しただけの欠陥
を共通欠陥と判別することがなくなり、従来システムに
比べて共通欠陥の判別精度をより向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態に係わる欠陥判別システムの全体構成
を示すブロック図。

【図２】欠陥判別システムにおいて、共通欠陥かどうか
の判別を行う場合の処理手順を示すフローチャート。

【図３】検査対象となるウェハの一例を示す説明図。

【図４】ショット上に共通欠陥が発生した場合の例を示
す説明図。

【図５】ショット上に欠陥が発生した場合の例を示す説
明図。

【図６】欠陥の座標、サイズを格納した場合のデータ構
造を示す説明図。

【図７】（ａ）〜（ｃ）は欠陥分類の例を示す説明図。

【図８】欠陥の座標、サイズに欠陥分類を登録した場合
のデータ構造を示す説明図。

【図９】座標が一致する欠陥を検索する処理の説明図。

【図１０】欠陥の座標、サイズ、欠陥分類にグループ番
号を登録した場合のデータ構造を示す説明図。

【図１１】欠陥数の集計結果を示す説明図。

【図１２】欠陥数の集計結果に欠陥有りショット数の割
合を加えた場合の説明図。

【図１３】欠陥の座標、サイズ、欠陥分類、グループ番
号に共通グループ番号を登録した場合のデータ構造を示
す説明図。

【符号の説明】

１０ 欠陥判別システム １１ 欠陥検査装置 １２ データベース １３ 欠陥分類処理部 １４ 共通欠陥判別部 １４１ 座標比較手段 １４２ グループ化手段 １４３ 欠陥数集計手段 １４４ 共通欠陥判別手段

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物の分割された各領域で欠陥を検出
   し、各領域の同一位置に存在する欠陥を共通欠陥と判別
   する欠陥判別方法において、 検出された欠陥を、欠陥の種類に応じて分類し、該分類
   に基づいて共通欠陥の判別を行うことを特徴とする欠陥
   判別方法。
2. 【請求項２】 対象物の分割された各領域で欠陥を検出
   し、各領域の同一位置に存在する欠陥を共通欠陥と判別
   する欠陥判別方法において、 検出された欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識別情報を
   付加し、同一位置に存在する欠陥をグループ化し、それ
   ぞれのグループに属する欠陥を識別情報ごとに集計し、
   該集計結果に基づいて共通欠陥の判別を行うことを特徴
   とする欠陥判別方法。
3. 【請求項３】 対象物の分割された各領域で検出された
   欠陥の位置を比較し、各領域の同一位置に存在する欠陥
   を共通欠陥と判別する欠陥判別方法において、 検出された欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識別情報を
   付加するステップと、 領域内の同一位置に存在する欠陥に同一のグループ番号
   を付加するステップと、 それぞれのグループに属する欠陥を欠陥分類ごとに集計
   するとともに、全検査領域数に対し、その欠陥分類に属
   する欠陥が存在する領域数の割合を求め、それぞれのグ
   ループで最も大きな値をそのグループの欠陥有り領域数
   の割合とするステップと、 前記欠陥有り領域数の割合が、あらかじめ設定されたし
   きい値を越える場合は、そのグループに属する欠陥を共
   通欠陥と判別するステップとを含むことを特徴とする欠
   陥判別方法。
4. 【請求項４】 対象物の分割された各領域で検出された
   欠陥の位置を比較し、各領域の同一位置に存在する欠陥
   を共通欠陥と判別する欠陥判別装置において、 検出された欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識別情報を
   付加する手段と、 領域内の同一位置に存在する欠陥に同一のグループ番号
   を付加する手段と、 それぞれのグループに属する欠陥を欠陥分類ごとに集計
   するとともに、全検査領域数に対し、その欠陥分類に属
   する欠陥が存在する領域数の割合を求め、それぞれのグ
   ループで最も大きな値をそのグループの欠陥有り領域数
   の割合とする手段と、 前記欠陥有り領域数の割合が、あらかじめ設定されたし
   きい値を越える場合は、そのグループに属する欠陥を共
   通欠陥と判別する手段とを備えたことを特徴とする欠陥
   判別装置。
5. 【請求項５】 対象物の分割された各領域で検出された
   欠陥の位置を比較し、各領域の同一位置に存在する欠陥
   を共通欠陥と判別する処理において、 検出された欠陥ごとに、欠陥の種類に応じた識別情報を
   付加する処理と、 領域内の同一位置に存在する欠陥に同一のグループ番号
   を付加する処理と、 それぞれのグループに属する欠陥を欠陥分類ごとに集計
   するとともに、全検査領域数に対し、その欠陥分類に属
   する欠陥が存在する領域数の割合を求め、それぞれのグ
   ループで最も大きな値をそのグループの欠陥有り領域数
   の割合とする処理と、 前記欠陥有り領域数の割合が、あらかじめ設定されたし
   きい値を越える場合は、そのグループに属する欠陥を共
   通欠陥と判別する処理とを含み、これらの処理をコンピ
   ュータに実行させることを特徴とする欠陥判別プログラ
   ムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。