JP2002092995A - 光学ヘッド用スライダ、光学ヘッド用スライダの製造方法及び記録再生装置 - Google Patents

光学ヘッド用スライダ、光学ヘッド用スライダの製造方法及び記録再生装置

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JP2002092995A
JP2002092995A JP2000282685A JP2000282685A JP2002092995A JP 2002092995 A JP2002092995 A JP 2002092995A JP 2000282685 A JP2000282685 A JP 2000282685A JP 2000282685 A JP2000282685 A JP 2000282685A JP 2002092995 A JP2002092995 A JP 2002092995A
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彰生 三島
Kenjiro Watanabe
健次郎 渡辺
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学ヘッド用スライダの記録媒体からの浮上
量が極めて小さくなった場合であっても、記録媒体に対
する情報信号の記録及び／又は再生を適切に行うことが
できるようにする。 【解決手段】 記録媒体４に対する信号の記録及び／又
は再生時に、記録媒体４上を浮上走行するスライダ部材
１１と、このスライダ部材１１に接合された半球状光学
レンズ１２と、この半球状光学レンズ１２が接合された
スライダ部材１１の記録媒体４と対向する下面側に設け
られた磁界発生手段１６とを備えており、スライダ部材
１１は、半球状光学レンズ１２の材質と同じ材質からな
り、半球状光学レンズ１２のフラット面が上面部に接合
されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク等の記
録媒体に対する情報信号の記録及び／又は再生を行う光
学ヘッドに用いられる光学ヘッド用スライダ、光学ヘッ
ド用スライダの製造方法及びそのような光学ヘッド用ス
ライダを用いた光学ヘッドにより記録媒体に対する情報
信号の記録及び／又は再生を行う記録再生装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、光磁気ディスクや相変化型ディス
ク等のように、信号記録面に光を照射することにより情
報信号の記録再生が行われる光ディスクが提案されてい
る。そして、これら光ディスクにおいては、できるだけ
多くの情報を記録可能とすべく、記録密度の高密度化が
盛んに行われている。
【０００３】また、このような光ディスクの高密度化に
伴って、光ディスクに対して信号の記録再生を行う光学
ピックアップについても、光ディスクの信号記録面に照
射される光のスポット径を小さくすることにより、記録
密度を向上させる試みが行われている。
【０００４】特に、近年では、ハードディスク装置等に
おける浮上型ヘッドスライダの技術を応用し、光学レン
ズをスライダ部材に搭載して光学ヘッドスライダを構成
することが行われている。すなわち、この光学ヘッドス
ライダを、光ディスクの信号記録面上を所定の浮上量で
浮上走査させながら、この光学ヘッドスライダに搭載さ
れた光学レンズにより集光された光を該光ディスクの信
号記録面に照射し、該光ディスクに対する信号の記録再
生を行うことが提案されている。
【０００５】光ディスク装置において、このような光学
ヘッド用スライダを用いた場合には、光学レンズと光デ
ィスクの信号記録面との距離を、スライダを有しない光
学ヘッドからの光を光ディスクの信号記録面に照射させ
る場合に比ぺて、大幅に短くすることができる。これに
より、高ＮＡ（開口数）レンズを使用することが可能と
なり、光ディスクの信号記録面に照射される光のスポッ
ト径を小さくすることが可能となる。
【０００６】上述した光ディスク装置において、光学レ
ンズと光学ヘッド用スライダとは、一体的に設けられ、
しかも、光学レンズの下面を光ディスクと対向する光学
ヘッド用スライダの下面側に設ける必要がある。この光
学レンズは、光学ヘッド用スライダに開けられた孔の中
で、ガラス融着、もしくは、ＵＶ（紫外線）硬化型の有
機接着剤によって固定されている。
【０００７】ここで、上述のような光学ヘッドスライダ
の一例を図１６に示す。この図１６に示す光学ヘッド用
スライダ１００は、光磁気ディスク１０１に対する信号
の記録再生時に、この光磁気ディスク１０１上を浮上走
行するスライダ部材１０２と、このスライダ部材１０２
に接合された対物レンズ１０３とを備えている。また、
スライダ部材１０２には、光ファイバ１０４と偏光ミラ
ー１０５とが組み込まれている。光ファイバ１０４によ
リ導かれたレーザビームＬは、偏光ミラー１０５を介し
て対物レンズ１０３に入射され、この対物レンズ１０３
により集光されて、光磁気ディスク１０１の信号記録層
１０１ａに照射されるようになされている。
【０００８】そして、このスライダ部材１０２には、記
録時に、光磁気ディスク１０１に磁界を印可するための
薄膜コイル１０６と、この薄膜コイル１０６と電気的に
接続された端子１０７とが設けられている。薄膜コイル
１０６は、スライダ部材１０２の光磁気ディスク１０１
と対向する下面側に、対物レンズ１０３の周りを巻回す
るようにして薄膜として形成されている。一方、端子１
０７は、スライダ部材１０２を薄膜コイル１０６に当接
する位置まで厚み方向に貫いて形成された孔部１０８の
内部に、導電性材料が充填されることにより形成されて
いる。
【０００９】また、このスライダ部材１０２は、光ディ
スク装置内に設けられた支持アーム１０９の先端部に取
り付けられており、この支持アーム１０９が光磁気ディ
スク１０１の径方向に沿って回動されることにより、回
転操作される光磁気ディスク１０１上を走査することに
なる。
【００１０】以上のように構成された光学ヘッド用スラ
イダ１００は、光磁気ディスク１０１の回転により生じ
る空気流を受けて、この光磁気ディスク１０１上を所定
の浮上量で浮上しながら、スライダ部材１０２に搭載さ
れた対物レンズ１０３により集光されたレーザピームＬ
を光磁気ディスク１０１の信号記録層１０１ａに照射し
て、該光磁気ディスク１０１に対する信号の記録再生を
行う。また、記録時においては、薄膜コイル１０６が所
定の強度の磁界を発生し、この磁界を光磁気ディスク１
０１の信号記録層１０１ａのレーザビームＬが照射され
た箇所に印加する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な光学ヘッド用スライダ１００には、上述したように、
スライダ部材１０２を厚み方向に貫いた孔部が形成さ
れ、この孔部に対物レンズが嵌合され、ガラス融着、も
しくは、ＵＶ硬化型の接着剤１１０によって固定されて
いる。
【００１２】光磁気ディスクに対向する光学ヘッド用ス
ライダ１００の下面部には、スライダ部材１０２、対物
レンズ１０３、薄膜コイル１０６、接着剤１１０が存在
し、研磨仕上げの時、それぞれの硬さの違いから、１０
０ｎｍ乃至２００ｎｍの凹凸が発生する。
【００１３】しかしながら、記録密度を上げるために、
高ＮＡレンズを使用して、光磁気ディスク上により小さ
い光のスポットを形成する場合になると、光学ヘッド用
スライダ１００の該光磁気ディスクからの浮上量は、極
めて小さくなる。そのため、浮上面のわずかな凹凸に塵
挨が付着し、光磁気ディスク１０１にクラッシュさせる
ことが起こることとなった。また、このとき、スライダ
の浮上面に付着した塵挨は、いわゆる焼き付いた状態と
なり、有機溶剤によるクリーニングでは除去できなくな
ってしまう。
【００１４】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されたものであり、光学ヘッド用スライダの記録媒体
からの浮上量が極めて小さくなった場合であっても、該
記録媒体に対する情報信号の記録及び／又は再生を適切
に行うことができ、かつ、製造が容易な構造とされた信
頼性の高い光学ヘッド用スライダを提供しようとするも
のである。また、そのような光学ヘッド用スライダを高
精度、かつ、簡便に製造することを可能とする光学ヘッ
ド用スライダの製造方法を提供しようとするものであ
る。さらに、そのような光学ヘッド用スライダを用いた
光学ヘッドを備えた記録再生装置を提供しようとするも
のである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る光学ヘッド用スライダは、記録媒体に
対する信号の記録及び／又は再生時に、該記録媒体上を
浮上走行するスライダ部材と、このスライダ部材に接合
された球面及びフラット面を有する光学レンズと、この
光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒体と対向
する下面側に設けられた磁界発生手段とを備えている。
そして、スライダ部材は、光学レンズの材質と同じ材質
からなり、該光学レンズのフラット面が上面部に接合さ
れていることを特徴とするものである。
【００１６】この光学ヘッド用スライダにおいては、光
学レンズと、該光学レンズと同じ材料からなるスライダ
部材とが、光学的に何ら問題とならないオプティカルコ
ンタクト状態で接合され、該スライダ部材が該光学レン
ズの一部を構成していることから、製造が容易な構造で
あって、かつ、小型化を実現することができる。
【００１７】また、本発明に係る光学ヘッド用スライダ
の製造方法は、スライダ部材となる基板上に球面及びフ
ラット面を有する光学レンズを接合する第１の工程と、
該スライダ部材となる基板上に光学レンズを避けるため
の貫通孔が形成された補強ブロックを接合する第２の工
程と、スライダ部材となる基板の記録媒体と対向する下
面部を研磨して光学レンズと該スライダ部材となる基板
との厚さの合計を該光学レンズの球面の曲率半径に等し
くする第３の工程と、補強ブロックの上面部を研磨して
スライダ部材の厚さを所定の厚さとする第４の工程と、
スライダ部材となる基板を分割して個々のスライダ部材
とする第５の工程とを有することを特徴とするものであ
る。
【００１８】この光学ヘッド用スライダの製造方法にお
いては、光学レンズと同じ材料のスライダ部材に、該光
学レンズが位置決めされて配列され、熱圧着で光学的に
等質となるように接合され、さらに、このスライダ部材
にレンズ孔の開いた補強ブロックが位置決めされて接着
され、光学レンズ及びスライダ部材の合計の厚みがレン
ズの曲率半径になるようにスライダ部材を研磨すること
により、光学ヘッド用スライダが、一括して複数作製さ
れることになる。すなわち、以上のような工程を経て光
学ヘッド用スライダを製造するようにすれば、小型化さ
れた光学ヘッド用スライダを、精度良く、かつ、簡便な
方法で製造することができる。また、この製造方法にお
いては、品質の安定した光学ヘッド用スライダを一括し
て大量に製造することができるので、製造コストの低減
を図ることができる。
【００１９】そして、本発明に係る記録再生装置は、記
録媒体に対する信号の記録及び／又は再生を行う光学ヘ
ッドを備えた記録再生装置であって、光学ヘッドは、回
転操作される上記記録媒体上を走査するヘッドスライダ
と、このヘッドスライダを支持する支持アームとを備え
ている。そして、ヘッドスライダは、記録媒体に対する
信号の記録及び／又は再生時に、記録媒体上を浮上走行
するスライダ部材と、このスライダ部材に接合された光
学レンズと、この光学レンズが接合されたスライダ部材
の記録媒体と対向する下面側に設けられた磁界発生手段
とを有する。また、スライダ部材には、上面部に球面及
びフラット面を有する光学レンズが接合されていること
を特徴とする。
【００２０】この記録再生装置においては、スライダ部
材は、小型化された場合であっても、記録媒体に対する
情報信号の記録及び／又は再生を適切に行うことができ
る。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】本発明を適用した光ディスク装置の一例を
図１に示す。この図１に示す光ディスク装置は、パーソ
ナルコンピュータ等における記憶装置として使用される
ハードディスク装置の技術を応用したものである。筐体
２の内部に設けられたスピンドルモータ３には、情報信
号の記録再生が行われる光磁気ディスク４が取り付けら
れ、クランパ５により固定されている。この磁気ディス
ク４は、制御回路によって駆動制御されるスピンドルモ
ータ３の回転に伴い、所定の回転数で回転操作される。
【００２３】また、筐体２の内部には、ハードディスク
装置で用いられる磁気ヘッド装置の代えて、光学ヘッド
装置６が設けられている。この光学ヘッド装置６は、ス
ピンドルモータ３により回転操作される光磁気ディスク
４に対して、情報信号の記録再生を行うものであり、ボ
イスコイルモータ７の駆動により回転操作されるアーム
８と、このアーム８の先端側に一体的に形成されたヘッ
ド支持バネ９と、このヘッド支持バネ９の先端部に取り
付けられたヘッドスライダ１０とを備えている。
【００２４】ボイスコイルモータ７は、アーム８に取り
付けられたボイスコイルと、このボイスコイルを挟持し
て配設された一対のマグネットとにより構成されてい
る。ボイスコイルに外部から電流が供給されることによ
り、このボイスコイルに流れる電流とマグネットの形成
する磁界とによって駆動力が生じ、アーム８及びヘッド
支持パネ９は、支軸８ａを回動中心として、図１中矢印
Ｘで示す方向に回動操作される。
【００２５】この光学ヘッド装置６では、アーム８及び
ヘッド支持バネ９が、ボイスコイルモータ７の駆動によ
って回動操作されることにより、ヘッド支持バネ９の先
端部に取り付けられたヘッドスライダ１０は、スピンド
ルモータ３の駆動により回転操作される光磁気ディスク
４の径方向に移動操作されることになる。そして、ヘッ
ド支持パネ９の先端部に取り付けられたヘッドスライダ
１０は、光磁気ディスク４の回転により生じる空気流を
受けて、光磁気ディスク４より所定の浮上量で浮上しな
がら、光磁気ディスク４上を走査することになる。
【００２６】この光学ヘッド装置６が備えるヘッドスラ
イダ１０の一例を図２に示す。このヘッドスライダ１０
は、光磁気ディスク４に対する情報信号の記録再生時
に、この光磁気ディスク４の信号記録面上を浮上走行す
るスライダ部材１１と、このスライダ部材１１上に形成
された半球状光学レンズである対物レンズ１２とを備え
ている。
【００２７】スライダ部材１１は、例えば、「ＢＫ−
７」等の光学材料から略々矩形状に成形されており、ヘ
ッド支持パネ９の先端部において光磁気ディスク４と相
対向するように支持されている。また、スライダ部材１
１には、光磁気ディスク４と対向する下面側１１ａに、
光磁気ディスク４の回転に伴って発生する空気流により
浮揚力を発生させるための空気潤滑面が形成されてい
る。なお、この空気潤滑面の形状は、特に限定されるも
のではなく、任意の形状とすることができる。
【００２８】このスライダ部材１１には、所定の箇所に
その厚み方向に貫通する貫通孔１３が設けられた補強ブ
ロック１７が接着されている。この貫通孔１３は、その
孔径が対物レンズ１２の外径よりやや大きくなされて形
成されている。
【００２９】対物レンズ１２は、光磁気ディスク４に対
する信号の記録再生時に、光磁気ディスク４の信号記録
面上に形成された信号記録層４ａに照射するレーザビー
ムＬを集光するためのものであり、例えば、光学ガラス
や光学プラスチック等、レーザピームＬの波長城におい
て光透過率が十分に高く、かつ、屈折率が高い材料がス
ライダ部材１１とともに略半球状の部分を成形して構成
されている。そして、この対物レンズ１２をなす球の一
部をなすレンズは、その底面部を接合面として、スライ
ダ部材１１の所定の位置に融着されて、スライダ部材１
１と一体化されている。
【００３０】すなわち、対物レンズ１２は、スライダ部
材１１と、このスライダ部材１１上に接合された球の一
部であるレンズとが重なって一体になったものとして、
半球状のレンズとして構成されている。
【００３１】スライダ部材１１の光磁気ディスク４に対
向する下面部には、光磁気ディスク４との接触による傷
損を防止するため、ダイヤモンドライクカーボン等の硬
度の高い材料からなる耐久性向上膜１８が、厚さ５ｎｍ
乃至２０ｎｍとなされて形成されている。
【００３２】また、スライダ部材１１には、光学ヘッド
装置６内に設けられた図示しない半導体レーザから出射
されたレーザビームＬを対物レンズ１２へと導くための
光ファイバ１４と偏光ミラー１５とが組み込まれてい
る。光ファイパ１４は、その一端部がスライダ部材１１
の側面部から貫通孔１３の内部に臨むように設けられて
いる。偏光ミラー１５は、スライダ部材１１の貫通孔１
３の内部に、光ファイパ１４と対物レンズ１２との間の
光路中に位置して設けられている。
【００３３】したがって、このヘッドスライダ１０で
は、光ファイバ１４により導かれたレーザビームＬは、
偏光ミラー１５を介して対物レンズ１２に入射され、こ
の対物レンズ１２により集光され、光磁気ディスク４の
信号記録眉４ａに照射される。
【００３４】以上のように構成されたヘッドスライダ１
０は、光磁気ディスク４の回転により生じる空気流を受
けて、この光磁気ディスク４の信号記録面上を所定の浮
上量で浮上しながら、スライダ部材１１に搭載された対
物レンズ１２により集光させたレーザビームＬを光磁気
ディスク４の信号記録層４ａに照射することにより、該
光磁気ディスク４に対する情報信号の記録再生を行う。
また、記録時においては、薄膜コイル１６が所定の強度
の磁界を発生し、この磁界が光磁気ディスク４の信号記
録層４ａのレーザビームＬが照射された箇所に印加され
る。
【００３５】次に、上述したヘッドスライダ１０を製造
する方法について、その製造工程の一例を例示しながら
説明する。このヘッドスライダ１０を製造する際には、
まず、例えば、「ＢＫ７」、Ｓｉ０2、「ＬａＳＦ」、
「ＴａＦ−３」、「ＳＦ−８」、ＴｉＯ2からなるアモ
ルファスボール、あるいは、ＧａＰ，ＳｉＣ，ＺｎＳ、
ＺｎＳｅ等の化合物半導体ボールを用意する。これらボ
ールは、上述した対物レンズ１２の一部となるものであ
り、図３に示すように、研磨冶具２１上にピッチ等の接
着剤２０で固定して研磨する。この研磨は、半球状レン
ズ１９の厚さと、次に説明する基板２２の厚さとを合計
した厚さが、該半球状レンズ１９の曲率半径に達する前
で止める。このとき、研磨後の半球状レンズ１９の研磨
面粗度は、Ｒmax１０ｎｍ以下程度に仕上げる。
【００３６】また、半球状レンズ１９と同じ材質からな
る基板２２を用意し、図４に示すように、所定の厚みに
研磨する。このとき、研磨後の基板２２の表面粗度も、
Ｒmax１０ｎｍ以下程度に仕上げる。
【００３７】次に、図５に示すように、基板２２の所定
の位置に半球レンズ１９を置き、加圧した状態で電気炉
に入れる。電気炉内の雰囲気は、半球レンズ１９がＴｉ
系ガラスである場合には酸素中とし、これ以外のガラス
では、大気中とし、また、化合物半導体では、真空中と
し、該半球レンズ１９の転移点Tgから屈伏点Atの間まで
昇温して、基板２２と半球１９を接合させる。すなわ
ち、温度が転移点Tgより低いと接合ができないし、屈伏
点Atより高いと半球状レンズ１９が熱変形を起こしてし
まうからである。
【００３８】そして、図６に示すように、コイルのマス
クパターンを使いて、絶縁物と銅とを交互に成膜してエ
ッチングし、薄膜コイル１６を作製する。絶縁物として
ＳｉＯ2をスパッタで成膜し、コイルはフレームメッキ
で作る。
【００３９】次に、図７に示すように、対物レンズが嵌
合される孔をあらかじめ形成した補強ブロック１７を用
意する。この補強ブロック１７と基板２２とを、加圧し
た状態で電気炉に入れ、電気炉内の雰囲気を所定の雰囲
気として昇温し、熱圧着で接合する。この場合におい
て、基板２２がＴｉ系ガラスである場合には、雰囲気は
酸素中とし、これ以外のガラスでは、大気中とし、ま
た、化合物半導体では、真空中とし、昇温は、基板２２
の転移点Tgから屈伏点Atまでの間までとする。なお、こ
の接合は、ＵＶ（紫外線）硬化型の接着剤で行ってもよ
い。
【００４０】次に、図８に示すように、光磁気ディスク
に対向することとなる面１１ａを研磨する。この研磨
は、半球状レンズ１９と基板２２との合計の厚さが該半
球状レンズ１９の曲率半径に一致するまで行う。
【００４１】これら半球状レンズ１９及び基板２２の厚
さは、最初は、磁気、あるいは、光スケールを内蔵した
測長器で行うが、最終的には、図１２に示すように、レ
ンズ厚測定干渉装置を用い、スライダ部材１１を含めた
対物レンズ１２の厚さが半球状レンズ１９の曲率半径に
光学的に一致することを確認する。
【００４２】図１２は、フィゾー干渉計を応用したレン
ズ厚測定装置である。すなわち、フィゾー干渉計から対
物レンズ１２の表面に垂直にレーザビームＬＩを当て
る。レーザピームＬＩは、対物レンズ１２の中を透過
し、対物レンズ１２の光学的中心でスポットを形成す
る。
【００４３】このスポットを、測長ユニット３２の接眼
部にあるＣＣＤカメラ３３及びこのＣＣＤカメラ３３の
撮像画像をモニターするＴＶモニタ３４を用いて確認す
る。すなわち、ＣＣＤカメラ３３のピント位置Ｏとスポ
ットとを一致させる。次に、照明３５を点灯して、研磨
面ＳにＣＣＤカメラ３３のピントを合わせる。このとき
のＣＣＤカメラ３３の移動距離が必要な研磨量で、スポ
ットと研磨面Ｓが一致するまで研磨をする。
【００４４】次に、図９に示すスライダの上面、すなわ
ち、補強ブロック１７の上面２３を研磨して、所定のス
ライダ厚みを得る。
【００４５】基板２２に補強ブロック１７が接合された
ウェハは、薄膜コイル面に所定の形状のパターンを形成
し、ＡＢＳ面とする。図１３は、このパターンの一例を
示したものである。ヘッドスライダ１０の光磁気ディス
クへの対向面は、レール面４１、フロントステップ部４
２、負圧溝４３、センターアイランド４４から構成さ
れ、レール面４１とセンターアイランド４４は同じ高さ
で凸面、フロントステップ部４２が０．３５μｍだけレ
ール面４１よりも掘り下げられ、負圧溝４３はレール面
４１よりも３μｍ程度掘り下げられている。
【００４６】ＡＢＳ面を形成されたウェハは、スパッタ
等の真空成膜装置により、ＤＬＣ（ダイヤモンドライク
カーボン）膜等の耐久性向上膜を成膜された後、切り出
され、図１０に示すように、個々のヘッドスライダ１０
に分割される。
【００４７】さらに、ミラー、ファイバ、ジンパルを組
み込んで、図１１に示すように、ヘッドスライダ１０が
完成する。
【００４８】したがって、以上のような工程を経てヘッ
ドスライダ１０を製造するようにすれば、小型化された
ヘッドスライダ１０を、精度良く、かつ、簡便な方法で
製造することができる。また、この方法では、品質の安
定したヘッドスライダ１０を一括して大量に製造するこ
とができるので、製造コストの低減を図ることができ
る。
【００４９】図１４は、本発明の他の実施の形態を示し
ており、薄膜コイル１６の内径を対物レンズ１２の外径
よりも小さくしたものである。この場合、薄膜コイル１
６の中心部にレーザビームを通過させ、スポット部の熱
で信号記録層の抗磁力Ｈｃを下げて、薄膜コイル１６に
よる僅かな磁界で記録を行うことができる。薄膜コイル
１６の内径が小さいほど、コイル中心部の磁界が強くな
るため、少ない記録電流で光磁気ディスクへの書き込み
ができる。また、薄膜コイルの記録電流が少なくなる
と、コイルの発熱により生じるヘッドスライダの変形が
少なくなり、安定した浮上を保つことが可能となる。
【００５０】図１５は、本発明のさらに別の実施の形態
を示しており、ヘッドスライダが光磁気ディスクの信号
記録面上を微小な間隔を維持して浮上しながら、ニアフ
ィールド記録と呼ばれる近接場光を利用した情報信号の
記録及び／又は再生を行うものについて適用したもので
ある。
【００５１】ここでは、対物レンズ１２ａの下方に、高
屈折率の光学ガラス、例えば、ＧａＰの半球が、同じく
ＧａＰのスライダー部材１１にオプティカルコンタクト
状態で接合されて、ＳＩＬ（solid Immersion lens）１
２ｂを構成している。
【００５２】また、対物レンズ１２ａと補強ブロック１
７とは、図５において説明したオプティカルコンタクト
状態で接合されている。この接合は、ＵＶ硬化型の接着
剤で行ってもよい。
【００５３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光学ヘッドスライダでは、対物レンズをなす光学レン
ズがスライダ部材に所定の位置でオプティカルコンタク
ト、すなわち、光学的面相互を密着させて接着する方法
により接合されて、光学的にスライダ部材と一体に形成
されていることから、製造が容易な構造となり、かつ、
小型化を実現することができる。
【００５４】また、本発明に係る光学ヘッドスライダの
製造方法によれば、スライダ部材に対物レンズをなす光
学レンズが接合されていることにより、光磁気ディスク
に対向する面の材質が同一素材のみからなり、研磨によ
り凹凸の無いフラットな面を形成することが比較的容易
である。このため、精度の良いＡＢＳ面の形成が可能と
なる。また、この方法においては、品質の安定した光学
ヘッド用スライダを一括して大量に製造することができ
るので、製造コストの低減を図ることができる。
【００５５】すなわち、本発明は、光学ヘッド用スライ
ダの記録媒体からの浮上量が極めて小さくなった場合で
あっても、該記録媒体に対する情報信号の記録及び／又
は再生を適切に行うことができ、かつ、製造が容易な構
造とされた信頼性の高い光学ヘッド用スライダを提供す
ることができるものである。また、そのような光学ヘッ
ド用スライダを高精度、かつ、簡便に製造することを可
能とする光学ヘッド用スライダの製造方法を提供するこ
とができるものである。さらに、そのような光学ヘッド
用スライダを用いた光学ヘッドを備えた記録再生装置を
提供することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した光ディスク装置の構成の一例
を示す斜視図である。
【図２】上記光ディスク装置が備える本発明に係る光学
ヘッド用スライダの構成を示す縦断面図である。
【図３】本発明に係る光学ヘッド用スライダの製造方法
におけるヘッドスライダの形成工程を示す断面図であ
り、ボールレンズを研磨して半球にした状態を示す断面
図である。
【図４】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、ス
ライダ材となる基板を研磨した状態を示す断面図であ
る。
【図５】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、半
球レンズをスライダ材となる基板に熱圧着した状態を示
す断面図である。
【図６】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、薄
膜コイルを形成した状態を示す断面図である。
【図７】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、ス
ライダ材となる基板に補強ブロックを接着した状態を示
す断面図である。
【図８】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、半
球レンズと基板の厚さの合計が半球レンズの曲率半径に
なるまで、スライダ材を研磨した状態を示す断面図であ
る。
【図９】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、補
強ブロックと基板の厚さの合計が所定のスライダ厚さと
なるまで、補強ブロックを研磨した状態を示す断面図で
ある。
【図１０】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、
ＡＢＳ面を形成した後、チップ切断をした状態を示す断
面図である。
【図１１】ヘッドスライダの形成工程を示す図であり、
ミラー、光ファイバ、ジンパルを組み立ててヘッドスラ
イダが完成した状態を示す断面図である。
【図１２】フィゾー干渉計を応用した半球レンズの厚さ
を測定する装置の光学系の構成を示す側面図である。
【図１３】ヘッドスライダの光記録媒体への対向面の形
状を示す底面図である。
【図１４】薄膜コイルの内径を半球レンズの外形より小
さくしたヘッドスライダの構成を示す断面図である。
【図１５】対物レンズとＳＩＬレンズを組み合わせた近
接場記録用のヘッドスライダの構成を示す断面図であ
る。
【図１６】従来の光学ヘッド用スライダの構成を示す断
面図である。
【符号の説明】
１ 光ディスク装置、４ 光磁気ディスク、１０ ヘッ
ドスライダ、１１ スライダ部材、１１ａ 光磁気ディ
スクと対向する面、１２ 対物レンズ、１６薄膜コイ
ル、１７ 補強ブロック、１８ 耐久性向上膜、１９
半球状レンズ、２１ 研磨冶具、２２ 基板、２３ ス
ライダ上面、３０ レンズ厚測定干渉装置、３１ フィ
ゾー干渉計、４０ ＡＢＳ面、４１ レール面、４２
フロントステップ部、４３ 負圧溝、４４ センターア
イランド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 11/105 ５６１ Ｇ１１Ｂ 11/105 ５６１Ｅ ５７１ ５７１Ｄ ５８６ ５８６Ａ 7/135 7/135 Ｚ 7/22 7/22 Ｆターム(参考） 5D075 AA03 CD17 CE20 CF03 5D119 AA38 BA01 BB05 CA06 DA01 DA05 JA44 JC01 JC03 JC05 JC06 MA06 NA05

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 記録媒体に対する信号の記録及び／又は
    再生時に、該記録媒体上を浮上走行するスライダ部材
    と、 上記スライダ部材に接合された球面及びフラット面を有
    する光学レンズと、 上記スライダ部材の光学レンズが接合された部分の記録
    媒体と対向する下面側に設けられた磁界発生手段とを備
    え、 上記スライダ部材は、上記光学レンズの材質と同じ材質
    からなり、該光学レンズのフラット面が上面部に接合さ
    れていることを特徴とする光学ヘッド用スライダ。
  2. 【請求項２】 スライダ部材と光学レンズとは、オプテ
    ィカルコンタクトで接合されていることを特徴とする請
    求項１記載の光学ヘッド用スライダ。
  3. 【請求項３】 スライダ部材には、光学レンズが嵌合さ
    れる孔が形成された補強ブロックが接合されていること
    を特徴とする請求項１記載の光学ヘッド用スライダ。
  4. 【請求項４】 スライダ部材には、記録媒体と対向する
    下面部に、スライダ部材よりも硬度の大きい素材からな
    る薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載
    の光学ヘッド用スライダ。
  5. 【請求項５】 磁界発生用コイルの内径が、半球状光学
    レンズの外形よりも小さいことを特徴とする請求項１記
    載の光学ヘッド用スライダ。
  6. 【請求項６】 記録媒体に対する信号の記録及び／又は
    再生時に、該記録媒体上を浮上走行するスライダ部材
    と、このスライダ部材に接合された球面及びフラット面
    を有する光学レンズと、この光学レンズが接合されたス
    ライダ部材の記録媒体と対向する下面側に設けられた磁
    界発生手段とを備える光学ヘッド用スライダの製造方法
    であって、 上記スライダ部材となる基板上に光学レンズを接合する
    第１の工程と、 上記スライダ部材となる基板上に光学レンズを避けるた
    めの貫通孔が形成された補強ブロックを接合する第２の
    工程と、 上記スライダ部材となる基板の記録媒体と対向する下面
    部を研磨して、上記光学レンズと該スライダ部材となる
    基板との厚さの合計を、該光学レンズの球面の曲率半径
    に等しくする第３の工程と、 補強ブロックの上面部を研磨して、スライダ部材の厚さ
    を所定の厚さとする第４の工程と、 上記スライダ部材となる基板を、分割して個々のスライ
    ダ部材とする第５の工程とを有することを特徴とする光
    学ヘッド用スライダの製造方法。
  7. 【請求項７】 第１の工程は、不活性ガス中において、
    光学レンズの転移点から屈伏点の間の温度で加圧して行
    うことを特徴とする請求項６記載の光学ヘッド用スライ
    ダの製造方法。
  8. 【請求項８】 第３の工程において、レンズ厚の測定
    を、フィゾー干渉計を使用した光学測長器で行うことを
    特徴とする請求項６記載の光学ヘッド用スライダの製造
    方法。
  9. 【請求項９】 記録媒体に対する信号の記録及び／又は
    再生を行う光学ヘッドを備えた記録再生装置において、 上記光学ヘッドは、回転操作される上記記録媒体上を走
    査するヘッドスライダと、このヘッドスライダを支持す
    る支持アームとを備え、 上記ヘッドスライダは、記録媒体に対する信号の記録及
    び／又は再生時に、上記記録媒体上を浮上走行するスラ
    イダ部材と、このスライダ部材に接合された光学レンズ
    と、この光学レンズが接合されたスライダ部材の記録媒
    体と対向する下面側に設けられた磁界発生手段とを有
    し、 上記スライダ部材には、上面部に球面及びフラット面を
    有する光学レンズが接合されていることを特徴とする記
    録再生装置。
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TW090122894A TWI241569B (en) 2000-09-18 2001-09-14 Optical head slider, method for manufacturing optical head slider, and recording and/or reproducing apparatus
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002092995A (ja) * 2000-09-18 2002-03-29 Sony Corp 光学ヘッド用スライダ、光学ヘッド用スライダの製造方法及び記録再生装置
KR100464008B1 (ko) * 2002-08-13 2005-01-03 엘지전자 주식회사 구면 렌즈, 렌즈 모듈의 제조방법 및 이를 이용한 근접장광학계용 고체함침 렌즈, 광 픽업 헤드
US7426171B2 (en) * 2002-11-18 2008-09-16 Sony Corporation Optical lens, condenser lens, optical pickup, and optical recording/reproducing apparatus
CN100389461C (zh) * 2004-11-12 2008-05-21 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 物镜与其固持体组合及光学拾取装置
JP2006309850A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Toshiba Corp 光ヘッド装置および情報記録再生装置
US7808879B2 (en) * 2005-06-08 2010-10-05 Dphi Acquisitions, Inc. Optical disk drive with micro-SIL
JP2008159203A (ja) 2006-12-26 2008-07-10 Tdk Corp 光記録媒体、光記録媒体の記録再生方法
KR20090014006A (ko) * 2007-08-03 2009-02-06 삼성전자주식회사 전계 재생/기록 헤드와 그의 제조방법 및 전계 재생/기록헤드를 포함한 정보 저장 장치

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5124961A (en) * 1989-12-28 1992-06-23 Fuji Xerox Co., Ltd. Floating head for use with a recording apparatus of magneto-optical memory device
US5497359A (en) * 1994-08-30 1996-03-05 National Business Machines Corporation Optical disk data storage system with radiation-transparent air-bearing slider
US5729393A (en) * 1996-04-03 1998-03-17 Digital Papyrus Corporation Optical flying head with solid immersion lens having raised central surface facing medium
US6243350B1 (en) * 1996-05-01 2001-06-05 Terastor Corporation Optical storage systems with flying optical heads for near-field recording and reading
TW409248B (en) * 1996-05-01 2000-10-21 Terastor Corp Flying head with solid immersion lens
US6548009B1 (en) * 1996-06-12 2003-04-15 Seagate Technology Llc Method for controlling twist curvature of a disc head slider
US6058094A (en) * 1996-07-30 2000-05-02 Seagate Technology Inc. Flying magneto-optical head with a steerable mirror
AU1785399A (en) * 1998-01-12 1999-07-26 Hitachi Maxell, Ltd. Method and apparatus for magnetooptic reproduction
US6407884B1 (en) * 1998-04-28 2002-06-18 Terastor Corporation Optical head with solid immersion lens and varying cross section coil
US6351436B1 (en) * 1998-05-11 2002-02-26 Maxtor Corporation Field enhancing magnetic pole for magneto-optical recording and reproducing device
JP2000113484A (ja) * 1998-10-07 2000-04-21 Sony Corp 光学ヘッド用スライダ
US6522617B1 (en) * 1998-12-04 2003-02-18 Terastor Corporation Optical head with monolithic layer for optical storage
WO2000033298A2 (en) * 1998-12-04 2000-06-08 Terastor Corporation Monolithic optical head
US6662069B1 (en) * 2000-04-06 2003-12-09 Seagate Technology Llc Slider having independently controlled crown and cross curvature and method of controlling curvature
JP2002092995A (ja) * 2000-09-18 2002-03-29 Sony Corp 光学ヘッド用スライダ、光学ヘッド用スライダの製造方法及び記録再生装置

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