JP2001014708A - レンズ付きスライダ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録再生時に記録媒体に対向するように支持
されるスライダと、記録媒体の記録再生に使用する光を
集光するレンズとを備えたレンズ付きスライダとして、
スライダにレンズを精度良く取り付けることが容易であ
り、製造が簡単なレンズ付きスライダを提供する。 【解決手段】 スライダ２に、記録媒体対向面側が狭く
且つその反対側が広く形成された開口部を形成してお
き、この開口部内にレンズ４を取り付ける。このレンズ
４は、レンズ媒質を球状に形成した状態でスライダ２の
開口部内に取り付け、その後、スライダ２と共に研磨す
ることにより所定の形状とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクシステ
ムや光磁気ディスクシステム等の光学ヘッド用として好
適なレンズ付きスライダ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスクや光磁気ディスク等のような
記録媒体の高記録密度化を進めるには、記録再生に使用
する光のスポット径を小さくする必要があり、そのため
には、対物レンズの開口数を大きくすることが有効であ
る。

【０００３】そこで、対物レンズの開口数を大きくする
という観点から、いわゆるソリッドイマージョンレンズ
（ＳＩＬ：Solid Immersion Lens）を対物レンズとして
使用する手法が考案されている。ソリッドイマージョン
レンズは、複数のレンズから構成され、入射光束が物体
側レンズの端面にて結像し、その大部分が当該レンズ端
面で全反射するように構成される。このとき、レンズ端
面と記録媒体との間隔を十分に狭めておけば、エバネッ
セント光の一部が記録媒体と結合してレンズ外に取り出
され、１以上の開口数での記録再生が可能となる。

【０００４】このようにエバネッセント光を利用して記
録再生を行う際は、上述したように、レンズ端面と記録
媒体との間隙を十分に狭める必要があり、そのために、
ソリッドイマージョンレンズは、記録再生時に記録媒体
に対向するように支持されるスライダに搭載される。換
言すれば、エバネッセント光を利用して記録再生を行う
際は、レンズがスライダに搭載されてなるレンズ付きス
ライダが用いられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ソリッドイマージョン
レンズを実用化するには、ソリッドイマージョンレンズ
を構成する各レンズをスライダに搭載するにあたり、そ
れらのレンズの間隔、平行度及び光軸等を精度良く合わ
せることが要求される。また、ソリッドイマージョンレ
ンズをスライダに搭載する際には、スライダの記録媒体
対向面と、物体側レンズのレンズ端面とにより、いわゆ
るＡＢＳ（Air Bearing Surface）面が形成されるの
で、スライダの記録媒体対向面とレンズ端面とが同一面
になるようにすることが要求される。

【０００６】以上のように、ソリッドイマージョンレン
ズを実用化するためには、当該ソリッドイマージョンレ
ンズをスライダに搭載するにあたり、非常に高いアライ
メント精度が要求される。そのため、レンズ付きスライ
ダは組み立てが難しく大量生産が困難であるという問題
があった。しかも、記録媒体の高記録密度化に伴い、ス
ライダやレンズの大きさは、ますます小型化する傾向に
ある。そして、小型化が進むと、スライダへのレンズの
取り付けは、ますます難しいものとなってしまう。

【０００７】本発明は、以上のような従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、スライダにレンズを精度良く
取り付けることが容易であり、製造が簡単なレンズ付き
スライダ及びその製造方法を提供することを目的として
いる。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係るレンズ付き
スライダは、記録媒体の記録及び／又は再生時に記録媒
体に対向するように支持されるスライダと、記録媒体の
記録及び／又は再生に使用する光を集光するレンズとを
備える。そして、スライダは、記録媒体対向面側が狭く
且つその反対側が広く形成された開口部を有し、レンズ
は、スライダの開口部内に取り付けられてなる。また、
レンズは、スライダの開口部内に取り付けられた後、ス
ライダと共に研磨されることにより所定の形状に形成さ
れてなる。

【０００９】このレンズ付きスライダでは、スライダの
開口部内にレンズを取り付けた後、スライダと共に研磨
することで、レンズを所定の形状に形成するようにして
いる。したがって、スライダにレンズを精度良く取り付
けることが容易にでき、しかも、スライダの記録媒体対
向面とレンズ端面とを同一面とすることができる。

【００１０】また、本発明に係るレンズ付きスライダの
製造方法は、記録媒体の記録及び／又は再生時に記録媒
体に対向するように支持されるスライダと、スライダに
取り付けられたレンズとを備えたレンズ付きスライダの
製造方法である。そして、凹部を有するスライダ部材を
作製するスライダ部材作製工程と、レンズ媒質を球状に
形成したレンズ部材を、スライダ部材の凹部内に取り付
けるレンズ部材取付工程と、レンズ部材が取り付けられ
たスライダ部材の記録媒体対向面となる側の面を、レン
ズ部材が所定のレンズ形状となるまで、レンズ部材と共
に研磨する研磨工程とを備える。

【００１１】このレンズ付きスライダの製造方法では、
球状に形成されたレンズ部材をスライダ部材に形成され
た凹部内に落とし込んで取り付けるだけで、スライダに
対するレンズの位置が定まることとなる。したがって、
この製造方法によれば、スライダにレンズを精度良く取
り付けることが、非常に容易にできる。しかも、この製
造方法では、スライダ部材の記録媒体対向面となる側の
面を、レンズ部材が所定のレンズ形状となるまで、レン
ズ部材と共に研磨するようにしているので、スライダの
記録媒体対向面とレンズ端面が自ずと同一面となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の
説明では、光磁気ディスクの記録再生に使用される光学
ヘッドに搭載されるレンズ付きスライダを例に挙げる
が、本発明は以下の例に限定されるものではなく、スラ
イダにレンズが取り付けられてなるレンズ付きスライダ
に対して広く適用可能であることは言うまでもない。

【００１３】本発明を適用したレンズ付きスライダの一
例を図１乃至図３に示す。なお、図１はレンズ付きスラ
イダ１の斜視図であり、図２はレンズ付きスライダ１を
上面から見た平面図であり、図３は図２のＸ１−Ｘ２線
における断面図である。なお、ここでは、レンズ付きス
ライダ１の記録媒体対向面１ａの側の面を下面と称し、
記録媒体対向面１ａの反対側の面を上面と称する。

【００１４】このレンズ付きスライダ１は、光磁気ディ
スクの記録再生に使用される光学ヘッドに搭載されるレ
ンズ付きスライダであり、記録再生時に光磁気ディスク
に対向するように支持されるスライダ２と、光磁気ディ
スクの記録再生に使用する光を集光する第１及び第２の
レンズ３，４と、記録時に光磁気ディスクに対して磁界
を印加するための磁気コイル５とを備える。

【００１５】スライダ２は、全体として略直方体状に形
成されてなる。本発明においてスライダ２の大きさは特
に限定されるものではないが、具体的には例えば、厚さ
ｔ１を０．６ｍｍ程度、長さｔ２を２．８ｍｍ程度、幅
ｔ３を２．２ｍｍ程度とする。

【００１６】このスライダ２は、その前端中央部が切り
欠かれ、矩形状の凹部１０が形成されている。そして、
この凹部１０の中に、下面に至る開口部１１が形成され
ている。この開口部１１は、四角錐状に形成されてな
り、上面側が広く、下面側が狭くなっている。

【００１７】そして、このスライダ２の上面に第１のレ
ンズ３が取り付けられており、開口部１１の内部に第２
のレンズ４が取り付けられている。

【００１８】第１のレンズ３は、球面レンズ又は非球面
レンズであり、一方の面１２が平面とされ、その反対側
の面１３が凸状に形成されてなる。また、凸状に形成さ
れることでレンズとして作用する部分の周囲には、この
第１のレンズ３を支持するレンズ支持部１４が一体成形
されている。

【００１９】そして、第１のレンズ３は、平面とされた
側の面１２が、スライダ２の上面に接着されることで、
スライダ２に取り付けられている。ここで、第１のレン
ズ３は、当該第１のレンズ３の光軸が、スライダ２に形
成された開口部１１の中心に一致するように、スライダ
２に形成された凹部１０の上に配される。したがって、
第１のレンズ３のレンズとして作用する部分は凹部１０
の上に位置しており、レンズ支持部１４の部分がスライ
ダ２に接着されている。

【００２０】一方、第２のレンズ４は、いわゆる半球レ
ンズであり、半球状に形成された側が上面側となり、平
面上に形成された側が下面側となるように、スライダ２
に形成された開口部１１の内部に接着剤１５により取り
付けられている。

【００２１】この第２のレンズ４は、球状の光学ガラス
を、スライダ２に形成された開口部１１の内部に落とし
込んで接着し、その後、この光学ガラスをスライダ２と
共に研磨することにより、半球レンズとされている。

【００２２】一般に、微細な半球レンズを精度良く作製
することも、その半球レンズを精度良く取り付けること
も、非常に困難である。したがって、半球状の第２のレ
ンズ４を予め作製し、その半球状の第２のレンズ４をス
ライダ２に取り付けるようにしたので、レンズ付きスラ
イダ１を精度良く作製することは困難である。

【００２３】一方、このレンズ付きスライダ１では、ス
ライダ２の開口部１１の内部に球状の光学レンズを落と
し込んで接着した後、下面をスライダ２と共に研磨する
だけで、半球状の第２のレンズ４がスライダ２に取り付
けられた状態となる。したがって、このレンズ付きスラ
イダ１は、非常に容易に精度良く作製することができ
る。

【００２４】なお、このレンズ付きスライダ１におい
て、第１のレンズ３及び第２のレンズ４は、ソリッドイ
マージョンレンズを構成している。すなわち、光磁気デ
ィスクの記録再生時に、記録再生に使用するレーザ光
は、先ず第１のレンズ３に入射し、当該第１のレンズ３
によって集光されて第２のレンズ４に入射し、第２のレ
ンズ４の下面側のレンズ端面上に焦点を結ぶ。

【００２５】ここで、例えば、第１のレンズ３の開口数
ＮＡ＝０．６、第２のレンズ４の媒質の屈折率ｎ＝２の
とき、全体としては開口数ＮＡ＝０．６×２＝１．２が
達成される。このように、第１のレンズ３と第２のレン
ズ４を組み合わせたソリッドイマージョンレンズでは、
１以上の開口数を実現することができ、記録再生に使用
する光のスポット径を非常に小さくすることができる。
したがって、更なる高記録密度化を進めることができ
る。

【００２６】また、上述したように、光磁気ディスクの
記録再生時に入射レーザ光は第２のレンズ４のレンズ端
面上に焦点を結ぶが、レンズ付きスライダ１には、この
焦点位置を中心として、薄膜プロセスにより形成された
磁気コイル５が埋設されている。

【００２７】この磁気コイル５は、光磁気ディスクにデ
ータを記録するときに、光磁気ディスクに対して磁界を
印加するためのものである。すなわち、光磁気ディスク
にデータを記録するときには、上述したように入射レー
ザ光を第２のレンズ４のレンズ端面上に焦点を結ばせる
とともに、磁気コイル５に電流を流して磁界を発生させ
る。

【００２８】つぎに、以上のようなレンズ付きスライダ
１の製造方法について説明する。

【００２９】上記レンズ付きスライダ１を製造する際
は、先ず、スライダ部材作製工程として、金型を用いて
モールド成形によりガラスを成形して、図４に示すよう
なスライダ部材２０を作製する。

【００３０】なお、図４並びに後掲する図５乃至図１１
では、一つのレンズ付きスライダ１に対応する部分だけ
を拡大した断面図を示すが、実際には、多数のレンズ付
きスライダ１を同時に作製する。すなわち、例えば４ｍ
ｍ角程度の大きさのガラス板に、図４に示すようなパタ
ーンをマトリクス状に作製して、最終的に個別に切り出
すことにより、多数のレンズ付きスライダ１を同時に作
製する。

【００３１】スライダ部材作製工程では、図４に示すよ
うに、スライダ部材２０に矩形状の凹部２１を形成して
おくとともに、その凹部２１の中に更に、四角錐状の凹
部２２を形成しておく。ここで、矩形状の凹部２１は、
最終的には、スライダ２の前端中央部に形成される矩形
状の凹部１０となるものである。また、四角錐状の凹部
２２は、最終的には、スライダ２の下面に至る開口部１
１となる。

【００３２】また、スライダ部材２０の下面（すなわ
ち、記録媒体対向面１ａとなる側の面）に、複数の段差
２３を設けておく。これらの段差２３は、後述する第１
の研磨工程における研磨完了位置の前段から始まり、少
なくとも研磨完了位置に至るまで形成しておく。そし
て、第１の研磨工程では、これらの段差２３を基準とし
て研磨量を制御する。なお、これらの段差は、例えば、
それぞれを０．５μｍ程度の段差として、５段程度設け
ておく。

【００３３】また、スライダ部材２０の上面（すなわ
ち、記録媒体対向面１ａとなる側の反対側の面）にも、
複数の段差２４を設けておく。これらの段差２４は、後
述する第２の研磨工程における研磨完了位置の前段から
始まり、少なくとも研磨完了位置に至るまで形成してお
く。そして、第２の研磨工程では、これらの段差２４を
基準として研磨量を制御する。なお、これらの段差２４
は、例えば、それぞれを０．５μｍ程度の段差として、
５段程度設けておく。

【００３４】また、スライダ部材２０には、上面（すな
わち、記録媒体対向面１ａとなる側の反対側の面）に、
第１のレンズ３の取付位置を示す位置合わせ用凹部２５
を形成しておく。後述するレンズ取付工程では、この位
置合わせ用凹部２５を基準として、第１のレンズ３の取
付位置を制御する。

【００３５】次に、レンズ部材取付工程として、図５に
示すように、レンズ媒質を球状に形成したレンズ部材３
０を、スライダ部材２０の凹部２１に落とし込み、次い
で、図６に示すように、このレンズ部材３０を凹部２１
の内部に接着剤３１により取り付ける。ここで、レンズ
部材３０の直径は、例えば３００μｍ程度とする。この
レンズ部材３０は、後述する第１の研磨工程で研磨さ
れ、最終的には、半球レンズからなる第２のレンズ４と
なる。

【００３６】なお、ソリッドイマージョンレンズを採用
することにより記録媒体の高記録密度化を図る場合、レ
ンズ付きスライダ１に搭載される第２のレンズ４の半径
誤差は、少なくとも０．５μｍ程度以下にすることが要
求される。したがって、最終的に第２のレンズ４となる
レンズ部材３０は、半径誤差が少なくとも０．５μｍ以
下であり、且つ十分に真円度が高いことが望まれる。

【００３７】次に、スライダ部材２０の段差２３，２４
を形成した部分（上面側、下面側の両方）に、Ａｌ等か
らなる金属薄膜を蒸着等により形成する。これらの金属
薄膜は、後述する第１及び第２の研磨工程において、ス
ライダ部材２０に形成された段差２３，２４をレーザ光
を利用して検出できるようにするためのものである。

【００３８】次に、第１の研磨工程として、図７に示す
ように、スライダ部材２０の下面に形成された段差２３
の部分にレーザ光Ｌ１を照射し、その反射光を検出しな
がら、レンズ部材３０が取り付けられたスライダ部材２
０の下面を研磨する。この第１の研磨工程では、図８に
示すように、レンズ部材３０が所定のレンズ形状となる
まで（すなわち、レンズ部材３０が半球状となるま
で）、スライダ部材２０の下面をレンズ部材３０と共に
研磨する。

【００３９】この第１の研磨工程では、スライダ部材２
０の下面側に形成しておいた複数の段差２３を基準とし
て研磨量を制御する。すなわち、スライダ部材２０の下
面側を研磨する際に、スライダ部材２０の下面側に形成
しておいた複数の段差２３のうち、どの段差部分まで研
磨が進んだかを監視して、研磨完了位置に対応する段差
部分まで研磨が進んだら、そこで研磨を終了する。

【００４０】ここで、段差２３が形成された部分には、
金属薄膜を形成してある。したがって、研磨が進み、金
属薄膜が研磨されると、その部分の反射率が大きく変化
する。そこで、どの段差まで研磨が進んだかを監視する
際は、図７に示したように、段差２３が形成された部分
にレーザ光Ｌ１を照射し、その反射光を検出する。そし
て、段差部分での反射率の変化を検出することで、どの
段差まで研磨が進んだかを検出する。

【００４１】以上のように、予め形成しておいた段差２
３を基準として研磨することにより、研磨量を非常に精
度良く制御することができる。したがって、レンズ部材
３０を研磨することにより半球状に形成される第２のレ
ンズ４を、非常に精度良く形成することができる。

【００４２】しかも、スライダ部材２０とレンズ部材３
０をまとめて研磨するので、スライダ部材２０からレン
ズ部材３０にわたって一様な平面が得られる。したがっ
て、このようにして形成されたレンズ付きスライダ１で
は、第２のレンズ４のレンズ端面と、スライダ２の下面
との間に段差が生じたりすることなく、それらは同一面
となる。

【００４３】次に、第２の研磨工程として、図９に示す
ように、スライダ部材２０の上面に形成された段差２４
の部分にレーザ光Ｌ２を照射し、その反射光を検出しな
がら、レンズ部材３０が取り付けられたスライダ部材２
０の上面を研磨する。この第２の研磨工程では、図１０
に示すように、レンズ部材３０が取り付けられたスライ
ダ部材２０が所定の厚みとなるまで、スライダ部材２０
の上面を研磨する。

【００４４】この第２の研磨工程では、スライダ部材２
０の上面側に形成しておいた複数の段差２４を基準とし
て研磨量を制御する。すなわち、スライダ部材２０の上
面側を研磨する際に、スライダ部材２０の上面側に形成
しておいた複数の段差２４のうち、どの段差部分まで研
磨が進んだかを監視して、研磨完了位置に対応する段差
部分まで研磨が進んだら、そこで研磨を終了する。

【００４５】ここで、段差２４が形成された部分には、
金属薄膜を形成してある。したがって、研磨が進み、金
属薄膜が研磨されると、その部分の反射率が大きく変化
する。そこで、どの段差まで研磨が進んだかを監視する
際は、図９に示したように、段差２４が形成された部分
にレーザ光Ｌ２を照射し、その反射光を検出する。そし
て、段差部分での反射率の変化を検出することで、どの
段差まで研磨が進んだかを検出する。

【００４６】なお、この第２の研磨工程で研磨された面
には、後述するレンズ取付工程において、第１のレンズ
３が取り付けられる。したがって、第１のレンズ３と第
２のレンズ４の間隔は、この第２の研磨工程での研磨量
によって決定される。したがって、第１のレンズ３と第
２のレンズ４の間隔の精度を高めるには、第２の研磨工
程での研磨量を精度良く制御する必要がある。そして、
第２の研磨工程では、上述のように、予め形成しておい
た段差２４を基準として研磨することにより、研磨量を
非常に精度良く制御することができる。したがって、こ
の製造方法によれば、第１のレンズ３と第２のレンズ４
の間隔誤差を非常に少なくすることができる。

【００４７】次に、磁気コイル形成工程として、図１１
及び図１２に示すように、スライダ部材２０及びレンズ
部材３０の下面部分に埋設するように、薄膜プロセスに
より磁気コイル５を形成する。この磁気コイル５を形成
する際は、先ず、レンズ部材３０の中心を取り巻くよう
に、スライダ部材２０及びレンズ部材３０の下面部分に
円環状の凹部を形成し、その凹部内に磁性薄膜４０を形
成する。次に、その磁性薄膜４０の上に非磁性薄膜を介
して、導電体薄膜からなる磁気コイル５を形成する。そ
の後、磁気コイル５を覆うように、非磁性材４１を埋め
込み、スライダ部材２０及びレンズ部材３０の下面部分
を平面に戻す。なお、磁気コイル５の下層に形成した磁
性薄膜４０は、磁気コイル５に電流を流したときに発生
する磁界が、より効率良く光磁気ディスクに印加される
ようにするためのものであり、必ずしも必要というわけ
ではない。

【００４８】次に、スライダ部材２０の下面をエッチン
グして、所定の凹凸パターンを形成する。なお、スライ
ダ部材２０の下面は、最終的に、レンズ付きスライダ１
のＡＢＳ面となる。したがって、ここでは、レンズ付き
スライダ１のＡＢＳ面に形成する凹凸パターンを、スラ
イダ部材２０の下面をエッチングすることにより形成す
る。

【００４９】次に、スライダ部材２０を個別に切り出す
とともに、不要部分を削除する。これにより、図１３に
示すように、スライダ２の形状に加工されたスライダ部
材２０に、第２のレンズ４となるように半球状に加工さ
れたレンズ部材３０が取り付けられた状態となる。

【００５０】次に、レンズ取付工程として、図１４に示
すように、第２の研磨工程で研磨された面に、第１のレ
ンズ３を接着して取り付ける。このレンズ取付工程で
は、スライダ部材２０の上面側に形成しておいた位置合
わせ用凹部２５を基準として、第１のレンズ３の取付位
置を制御する。

【００５１】このように、スライダ部材２０に位置合わ
せ用凹部２５を予め形成しておき、当該位置合わせ用凹
部２５を基準として、第１のレンズ３を取り付けるよう
にすることで、第１のレンズ３を非常に精度良く取り付
けることができる。その結果、第１のレンズ３と第２の
レンズ４の光軸を非常に精度良く一致させることができ
る。

【００５２】以上の工程で、図１乃至図３に示したよう
なレンズ付きスライダ１が完成する。

【００５３】なお、ソリッドイマージョンレンズを採用
することにより記録媒体の高記録密度化を図る場合、レ
ンズ付きスライダ１に搭載される第１のレンズ３と第２
のレンズ４の間隔誤差は、少なくとも２μｍ程度以下に
することが要求される。

【００５４】上記製造方法において、第１のレンズ３と
第２のレンズ４の間隔は、上述したように第２の研磨工
程での研磨量によって決定されるが、第２の研磨工程で
の研磨量は、スライダ部材２０に予め段差２４を形成し
ておくことで、非常に精度良く制御することができる。
したがって、上記製造方法では、第１のレンズ３と第２
のレンズ４の間隔誤差を非常に少なくすることができ、
当該間隔誤差を２μｍ以下にすることも容易に実現でき
る。

【００５５】また、ソリッドイマージョンレンズを採用
することにより記録媒体の高記録密度化を図る場合、レ
ンズ付きスライダ１に搭載される第１のレンズ３の光軸
と第２のレンズ４の光軸とのずれ量を、少なくとも５μ
ｍ程度以下にすることが要求される。

【００５６】上記製造方法では、上述したように、スラ
イダ部材２０に位置合わせ用凹部２５を予め形成してお
き、当該位置合わせ用凹部２５を基準として、第１のレ
ンズ３を取り付けるようにしている。したがって、第１
のレンズ３の光軸と第２のレンズ４の光軸とを非常に精
度良く一致させることができ、そのずれ量を５μｍ以下
にすることも容易に実現できる。

【００５７】なお、以上のようにレンズ付きスライダ１
を作製する際は、スライダ部材２０とレンズ部材３０と
を、同一の材料により形成することが好ましい。スライ
ダ部材２０とレンズ部材３０とを、同一の材料により形
成した場合には、第１の研磨工程で下面を研磨する際
に、スライダ部材２０の研磨レートと、レンズ部材３０
の研磨レートとが同じになり、より平滑な平面を容易に
得ることが可能となる。

【００５８】また、上記製造方法では、レンズ部材３０
を落とし込む凹部２２として、四角錐状の凹部２２をス
ライダ部材２０に形成するようにしたが、この凹部２２
は、例えば、円錐状であっても良いし、或いは、四角錐
以外の多角錐状であってもよい。更には、この凹部２２
をＶ字状の溝として、その溝の中にレンズ部材３０を落
とし込んで接着するようにしても良い。

【００５９】なお、スライダ部材２０に形成する凹部２
２を円錐状や角錐状とした場合には、最終的に得られる
レンズ付きスライダ１において、凹部や開口部の部分が
少なくて済むので、レンズ付きスライダ１の強度を高く
保てるという利点がある。一方、スライダ部材２０に形
成する凹部２２をＶ字状の溝とした場合には、スライダ
部材２０を作製するための金型の作製が容易であるとい
う利点がある。

【００６０】また、上記レンズ付きスライダ１では、ソ
リッドイマージョンレンズを構成する第１のレンズ３が
球面レンズ又は非球面レンズからなるものとしたが、こ
の第１のレンズ３には、フレネルレンズ、グレーティン
グレンズ又はホログラムレンズ等を用いることも可能で
ある。これらのレンズを用いた場合には、レンズ付きス
ライダを薄型化することが可能であるという利点があ
る。

【００６１】また、上記レンズ付きスライダ１は、光磁
気ディスク用であったが、本発明において対象となる記
録媒体は、光磁気ディスクに限定されるものではなく、
例えば、記録層の相変化により情報を記録する相変化型
光ディスクや、予めエンボスピットにより情報が書き込
まれた再生専用光ディスクなどであってもよい。ただ
し、相変化型光ディスクや再生専用光ディスクのよう
に、記録再生に磁界を必要としない記録媒体が対象の場
合には、レンズ付きスライダに磁気コイルを搭載する必
要はない。

【００６２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るレンズ付きスライダは、スライダにレンズを精度良く
取り付けることが容易であり、簡単に製造できる。した
がって、本発明に係るレンズ付きスライダを採用するこ
とにより、精度良く製造されたレンズ付きスライダを安
価にて提供することが可能となる。その結果、レンズ付
きスライダを実用化して、記録媒体の更なる高記録密度
化を進めることが可能となる。

【００６３】また、本発明に係る製造方法では、スライ
ダにレンズを精度良く取り付けることが容易であり、精
度良く作製されたレンズ付きスライダを簡単に製造でき
る。したがって、本発明に係る製造方法を採用すること
により、精度良く製造されたレンズ付きスライダを安価
にて提供することが可能となる。その結果、レンズ付き
スライダを実用化して、記録媒体の更なる高記録密度化
を進めることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したレンズ付きスライダの一例を
示す斜視図である。

【図２】図１に示したレンズ付きスライダを上面から見
た平面図である。

【図３】図２に示したレンズ付きスライダのＸ１−Ｘ２
線における断面図である。

【図４】レンズ付きスライダの製造方法を説明するため
の図であり、ガラスをモールド成形することにより作製
したスライダ部材を示す断面図である。

【図５】レンズ付きスライダの製造方法を説明するため
の図であり、スライダ部材の凹部にレンズ部材を落とし
込んだ状態を示す断面図である。

【図６】レンズ付きスライダの製造方法を説明するため
の図であり、スライダ部材の凹部にレンズ部材を接着し
た状態を示す断面図である。

【図７】レンズ付きスライダの製造方法を説明するため
の図であり、スライダ部材の下面に形成された段差にレ
ーザ光を照射している状態を示す断面図である。

【図８】レンズ付きスライダの製造方法を説明するため
の図であり、スライダ部材の下面を研磨した状態を示す
断面図である。

【図９】レンズ付きスライダの製造方法を説明するため
の図であり、スライダ部材の上面に形成された段差にレ
ーザ光を照射している状態を示す図である。

【図１０】レンズ付きスライダの製造方法を説明するた
めの図であり、スライダ部材の上面を研磨した状態を示
す断面図である。

【図１１】レンズ付きスライダの製造方法を説明するた
めの図であり、スライダ部材及びレンズ部材の下面部分
に磁気コイルを形成した状態を示す断面図である。

【図１２】レンズ付きスライダの製造方法を説明するた
めの図であり、スライダ部材及びレンズ部材の下面部分
に磁気コイルを形成した状態について、磁気コイル近傍
を拡大して示す断面図である。

【図１３】レンズ付きスライダの製造方法を説明するた
めの図であり、スライダ部材を所定のスライダ形状に切
り出した状態を示す断面図である。

【図１４】レンズ付きスライダの製造方法を説明するた
めの図であり、所定のスライダ形状に切り出されたスラ
イダ部材に第１のレンズを取り付けた状態を示す断面図
である。

【符号の説明】

１ レンズ付きスライダ、 ２ スライダ、 ３ 第１
のレンズ、 ４ 第２のレンズ、 ５ 磁気コイル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 直人 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 林 茂 東京都新宿区中落合２丁目７番５号 ホー ヤ株式会社内 Ｆターム(参考） 2H087 KA13 LA01 LA21 PA01 PA02 PA17 PB01 PB02 QA01 QA07 QA13 QA21 QA33 QA41 RA03 RA46 RA47 5D119 AA11 AA22 AA38 BA01 CA06 JA44 JB02 MA06 NA05 9A001 JZ48 KK16 KZ54

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録媒体の記録及び／又は再生時に記録
   媒体に対向するように支持されるとともに、記録媒体対
   向面側が狭く且つその反対側が広く形成された開口部を
   有するスライダと、 上記スライダの開口部内に取り付けられ、記録媒体の記
   録及び／又は再生に使用する光を集光するレンズとを備
   え、 上記レンズは、スライダの開口部内に取り付けられた
   後、スライダと共に研磨されることにより所定の形状に
   形成されてなることを特徴とするレンズ付きスライダ
2. 【請求項２】 上記スライダと上記レンズは、同一の材
   料からなることを特徴とする請求項１記載のレンズ付き
   スライダ。
3. 【請求項３】 上記開口部は、円錐状又は角錐状に形成
   されてなることを特徴とする請求項１記載のレンズ付き
   スライダ。
4. 【請求項４】 上記スライダの記録媒体対向面の反対側
   の面上に取り付けられた第２のレンズを備えることを特
   徴とする請求項１記載のレンズ付きスライダ。
5. 【請求項５】 記録媒体の記録及び／又は再生に使用す
   る光を上記レンズにより集光したときの焦点位置を略中
   心として形成された磁気コイルを備えることを特徴とす
   る請求項１記載のレンズ付きスライダ。
6. 【請求項６】 記録媒体の記録及び／又は再生時に記録
   媒体に対向するように支持されるスライダと、スライダ
   に取り付けられたレンズとを備えたレンズ付きスライダ
   の製造方法において、 凹部を有するスライダ部材を作製するスライダ部材作製
   工程と、 レンズ媒質を球状に形成したレンズ部材を、スライダ部
   材の凹部内に取り付けるレンズ部材取付工程と、 レンズ部材が取り付けられたスライダ部材の記録媒体対
   向面となる側の面を、レンズ部材が所定のレンズ形状と
   なるまで、レンズ部材と共に研磨する研磨工程と、 を備えることを特徴とするレンズ付きスライダの製造方
   法。
7. 【請求項７】 上記スライダ部材と上記レンズ部材と
   を、同一の材料により形成することを特徴とする請求項
   ６記載のレンズ付きスライダの製造方法。
8. 【請求項８】 上記スライダ部材作製工程では、略平板
   状のスライダ部材に上記凹部を円錐状又は角錐状に形成
   することを特徴とする請求項６記載のレンズ付きスライ
   ダの製造方法。
9. 【請求項９】 上記スライダ部材作製工程では、略平板
   状のスライダ部材に上記凹部を溝状に形成することを特
   徴とする請求項６記載のレンズ付きスライダの製造方
   法。
10. 【請求項１０】 上記スライダ部材作製工程では、スラ
    イダ部材の記録媒体対向面となる側の面に、複数の段差
    を設けておき、 上記研磨工程では、上記段差を基準として研磨量を制御
    することを特徴とする請求項６記載のレンズ付きスライ
    ダの製造方法。
11. 【請求項１１】 レンズ部材が取り付けられたスライダ
    部材の記録媒体対向面となる側の反対側の面を研磨する
    第２の研磨工程と、 上記第２の研磨工程で研磨された面に、第２のレンズを
    取り付けるレンズ取付工程とを備えることを特徴とする
    請求項６記載のレンズ付きスライダの製造方法。
12. 【請求項１２】 上記スライダ部材作製工程では、スラ
    イダ部材の記録媒体対向面となる側の反対側の面に、複
    数の段差を設けておき、 上記第２の研磨工程では、上記段差を基準として研磨量
    を制御することを特徴とする請求項１１記載のレンズ付
    きスライダの製造方法。
13. 【請求項１３】 上記スライダ部材作製工程では、スラ
    イダ部材の記録媒体対向面となる側の反対側の面に、第
    ２のレンズの取付位置を示す位置合わせ用凹部を形成し
    ておき、 上記レンズ取付工程では、上記位置合わせ用凹部を基準
    として、第２のレンズの取付位置を制御することを特徴
    とする請求項１１記載のレンズ付きスライダの製造方
    法。
14. 【請求項１４】 上記研磨工程の後、スライダ部材の記
    録媒体対向面となる側に、磁気コイルを形成することを
    特徴とする請求項６記載のレンズ付きスライダの製造方
    法。