JP2002089444A

JP2002089444A - 高融点活性金属製造用真空排気装置及びその真空排気方法

Info

Publication number: JP2002089444A
Application number: JP2000274489A
Authority: JP
Inventors: Fukuhiro Komada; 福大駒田
Original assignee: Osaka Titanium Technologies Co Ltd
Current assignee: Osaka Titanium Technologies Co Ltd
Priority date: 2000-09-11
Filing date: 2000-09-11
Publication date: 2002-03-27
Anticipated expiration: 2020-09-11
Also published as: JP3566641B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高融点活性金属の精錬、還元、分離及び溶解
などの製造過程で使用される各種真空排気装置におい
て、苛酷な条件で使用される真空ポンプを改良し、長期
間メンテナンスなしの状態で連続使用が可能で、高い真
空排気能力を維持し得る高融点活性金属製造用真空排気
装置を提供する。【解決手段】高融点活性金属の製造過程で使用される
各種真空排気装置において、外気へ排気するための真空
ポンプにドライ真空ポンプを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高融点活性金属の
精錬、還元、分離及び溶解などの製造工程で使用される
各種真空排気装置において、苛酷な条件で使用される真
空ポンプを改良した高融点活性金属製造用真空排気装置
及びその真空排気方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バ
ナジウムなどの高融点活性金属の工業的規模の製造に
は、原料となる鉱石を塩化物とし、これを蒸留精製して
高純度塩化物としたものを、金属マグネシウムや金属ナ
トリウムなどの還元剤を使用してスポンジ状の金属を得
るクロール法やハンター法が一般的に行われている。
又、一部では、塩化物を直接電気分解して、目的の金属
を得る方法も実施されている。このようにして得られた
金属を、インゴットとして造塊するために、各種の溶解
装置により溶解されている。

【０００３】高融点活性金属は、高温では空気中の酸
素、窒素、炭素などと容易に化合し、性質を悪化させる
ため、これらの製造工程では、大気と完全に遮断した状
態で製造され、真空中または不活性ガス雰囲気中で操業
される。すなわち、これらの高融点活性金属を製造する
装置内は真空排気して、この状態を維持するか、又はい
ったん真空に排気した後、不活性ガスを装置内に挿入し
て操業することとなり、いずれにしても、必ず一度は真
空に排気しなければならない。このときの真空度は約１
Ｐａ以下の比較的高真空が要求され、しかもクロール法
の真空分離や溶解の工程では、昼夜に及ぶ長時間の操業
の継続が必要である。特に、電子ビーム溶解では、より
一層の高真空の維持が長時間にわたって必要で、真空ポ
ンプの性能と信頼性は非常に重要である。

【０００４】一方、これらの高融点活性金属の製造にお
いては、スポンジの製造工程、溶解工程においても、操
業形態はほとんどがバッチ式であり、装置内の真空排気
は、必ずバッチごとに大気圧からの真空排気が必要であ
る。近年、生産の合理化のため、これらの生産設備は大
型化し装置の内容積も大きく、多量の空気を排気しなけ
ればならない。多量の空気を排気すると、空気中に含ま
れる水分の絶対量も増加し、これらの水分は真空ポンプ
にまで飛来する。特に溶解工程では、原料挿入時に大気
解放せざるをえないため、溶解前に水分を含む大量の空
気を排気する必要がある。

【０００５】また、溶解原料となるスポンジ状の金属に
は、真空分離工程で分離しきれなかった僅かな塩化マグ
ネシシウムが残存するため、スポンジチタンの破砕時、
圧縮成型時及び溶解炉への溶解原料装入時などで空気に
さらされるときに、塩化マグネシウムが空気中の水分を
吸湿し含水塩化マグネシウムとなる。この含水塩化マグ
ネシウムは、溶解時の熱により一部は塩化水素に分解し
て真空ポンプまで飛来する。また、クロール法による真
空分離でも、残存水分と塩化マグネシウムから発生する
と考えられる微量の塩化水素が真空ポンプまで飛来す
る。

【０００６】高融点活性金属製造用真空排気装置の最終
段のポンプには、一般に油回転式真空ポンプが使用され
ているが、このポンプの性能は油の状態により非常に大
きく左右される。ところが、上記のごとく高融点活性金
属の製造工程で発生する水分や上記塩化物が真空ポンプ
まで飛来して油に混入する。単に油に水分が混入しただ
けでも、水の蒸気圧が高いために到達真空度を著しく上
昇させ、排気速度を低下させる。その上、飛来した各種
の塩化物が真空ポンプ内で凝縮して、更にポンプ性能を
劣化させる。

【０００７】例えば、クロール法によるスポンジ状高融
点金属の溶解工程では、溶解炉内で水分、塩化水素、塩
化マグネシウムなどが発生する。蒸気圧曲線の低い塩化
マグネシウムなどは、水冷炉壁に触れて冷却され固化し
て炉内にとどまるが、水分、塩化水素などの比較的蒸気
圧の高い物質は、気体のまま真空排気装置の最終段の油
回転ポンプまで飛来し、ここでポンプ油に撹拌されて捕
らえれる。すなわち、油拡散ポンプやメカニカルブース
ターポンプ内は素通りして、最終段の油回転ポンプで捕
えられる。そのため、油回転ポンプの性能や寿命が著し
く劣化する。従って、高融点活性金属製造用真空排気装
置においては、最終段のポンプの維持管理が問題とな
る。

【０００８】このように、高融点活性金属製造用真空排
気装置の最終段の油回転ポンプは、初期の排気で空気中
に含まれている水分と、水冷炉壁に凝縮付着している水
分がポンプ油中に撹拌・存在するようになる。この状態
で溶解を開始すると、溶解中に発生した塩化水素が油中
の水分に溶け込み、強酸性水（ｐＨ３〜１程度）とな
り、ポンプ油を著しく劣化させる。この状態での操業
は、上記のようにポンプの到達真空度の上昇や、排気速
度を低下させると共に、ポンプとこれに付随する大部分
の構成材料である鉄系部品を腐食させ、ポンプの寿命が
著しく低下するという問題が起きていた。

【０００９】上記の問題点を回避するため、従来は油回
転ポンプの油を頻繁に取替え、油の性能維持に努めてい
た。しかし、油回転ポンプの運転は昼夜に及ぶ長時間に
わたり行われるので、操業の途中で運転を一次停止して
油の交換を行うことは困難であった。また、腐食により
発生するスラッジの除去や排気弁の交換などのかなりの
メンテナンスが必要で、コスト削減の妨げとなってい
た。

【００１０】上記ポンプ油の劣化を最小限にして、これ
らの問題を解決するため、特開平１０−２６３３１０号
公報には、ポンプの運転中も連続してポンプ油の劣化を
防止できるように、真空排気系に各種のろ過装置、循環
ポンプを設置する方法が提案されている。しかしなが
ら、これらの装置を付けることにより、油交換の回数は
減るが、ろ過装置自身の維持管理に費用がかかり、根本
的な解決には至っていない。また、強酸性を示す含水油
の処理に使用される場合にはステンレス鋼製のフィルタ
ー類、バルブ、循環ポンプなども腐食により短期間に使
用できなくなる。

【００１１】酸に対する耐食性を高めるため、ステンレ
ス鋼に代えて樹脂系材料を使用したとしても、真空油に
対する樹脂の劣化が問題となるため、高価な樹脂を採用
することが条件となり、コスト的に不利となる。

【００１２】一方、上記の問題点を避けるため、真空排
気装置の最終段ポンプに、油回転ポンプの代わりに水封
式ポンプを用いる方法がある。この水封式ポンプは内部
に機械的摺動部分がなく、ダストを含む気体、凝縮性気
体、腐食性気体、爆発性気体の吸引も可能である。しか
し、これらの気体を吸引した後の大量の水の排水処理に
コストがかかる。また、多量の水を回転駆動するためロ
ーターの駆動動力が大きくなったり、圧力の減少に伴っ
て発生するキャビテーションのためにローターの摩耗が
大きい。そして、到達真空度はポンプ内の水の平衡蒸気
圧とほぼ同等で、油回転ポンプと同等の排気能力を得る
には、前段にメカニカルブースターポンプを併設する必
要があり、装置が複雑化すると共に、運転動力が更に増
加する等の問題がある。従って、水封式ポンプを油回転
ポンプの代替わりとして使用するにも問題がある。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記のごとく、従来、
高融点活性金属製造の真空排気装置の最終段に使用され
ている油回転ポンプや水封式ポンプでは、ポンプの性能
維持、運転において次のような問題点がある。

【００１４】油回転ポンプの使用では、製造工程で発生
する物質が、ポンプ油タンク内で捕らえられてしまうた
め、これがポンプの性能、寿命を劣化させ、ポンプ自身
と油の管理のため多くの工数及び経費がかかり、ポンプ
の性能ゃ寿命を劣化させる。これは、ポンプ後段に真空
油の浄化装置を取り付けても、根本的な解決はできな
い。

【００１５】水封式ポンプの使用では、ポンプ自身の管
理は軽減され、油の管理からは解放されるが、大量の水
を使用するため大がかりな廃水処理が必要となる。又、
性能が低いため多段化が必要となり、ランニングコスト
の増加の原因となる。

【００１６】本発明は、従来の真空排気装置に見られる
上記問題点を排除することを目的とし、真空排気装置の
最終段のポンプにドライ真空ポンプを用いることによ
り、高い真空排気能力を維持し得る高融点活性金属製造
用真空排気装置を提供するものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明者は、問題解決の
ため、種々実験・検討を重ねているうち、クロール法に
より製造されたスポンジチタンをもとに、ＶＡＲ法によ
り再溶解してインゴットを作る際に、空気中の水分とス
ポンジチタンに残留する塩化マグネシウムが結合して水
和物を作り、炉のアーク発生部で塩化水素ガスとなり、
炉の真空排気系に持ち込まれ、真空ポンプ中にたまった
水分中に溶け込み、塩酸となりポンプ自体を腐食損傷す
る事実を見いだした。

【００１８】上記のポンプ内で水分中に塩化水素ガスが
溶け込みポンプ自体が腐食損傷するのを避けるため、真
空排気装置の最終段に使用するポンプに、ポンプ内部の
ガス排気通路に油、水などの液体でシールする構造を持
たない真空ポンプを採用することにより、高融点活性金
属を製造する際に発生して真空ポンプまで飛来する物質
が、最終段の真空ポンプをも素通りし、ポンプ内で凝縮
させないことによって、腐食損傷を避けポンプの維持管
理を大幅に軽減できることを見いだした。本発明は、こ
の知見に基づいて完成したものである。

【００１９】すなわち、本発明の高融点活性金属製造用
真空排気装置は、高融点活性金属の製造工程で使用され
る各種真空排気装置において、外気へ排気するための真
空ポンプにドライ真空ポンプを用いることにより、高い
真空排気能力を維持し得ることを特徴とする。

【００２０】また、本発明の高融点活性金属製造用真空
排気装置は、スポンジ状である高融点活性金属の溶解工
程で使用される真空排気装置において、外気へ排気する
ための真空ポンプにドライ真空ポンプを用いることによ
り、高い真空排気能力を維持し得ることを特徴とする。

【００２１】上記真空排気装置の真空ポンプに用いるド
ライ真空ポンプは、ターボ型、スクロール型、クロー
型、ルーツ型及びスクリュー型の各ポンプの使用が可能
であるが、油回転ポンプの能力に匹敵する排気性能と飛
来する異物に対し十分な耐久性があり、吸引ガスをガス
状のまま排気できるクロー型、ルーツ型、スクリュー型
の使用が望ましい。この中でも特にスクリュー型の使用
が最も望ましい。

【００２２】本発明の高融点活性金属製造用真空排気方
法は、スポンジ状である高融点活性金属の溶解工程の真
空排気系において、ドライ真空ポンプを使用し、そのド
ライ真空ポンプから排気される大気圧付近の液体（水、
油）に吸収されることによって塩化水素を除去した後で
大気へ放出することを特徴とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明は、高融点活性金属の還元
・真空分離工程やスポンジの溶解工程などの製造工程で
発生し、真空排気装置の最終段の真空ポンプまて飛来す
る種々の物質、例えば水分や塩化水素などを、ポンプ内
で凝縮させることなく、ガス状のまま真空排気装置外へ
排出させるために、真空排気装置の最終段のポンプとし
てドライ真空ポンプを使用するのである。

【００２４】ドライ真空ポンプは、多少の形式上の違い
があっても、ガスを真空に近い圧力から大気圧付近まで
圧縮する際に生じる熱と、ポンプ自身が機械的な運転を
する際に生じる熱により、発熱するのが普通である。こ
のため、排気ガス通過経路をポンプ自身の運転に支障の
ない範囲で、適当な高温にコントロールすると、吸引し
てきたガスが凝縮性ガスであっても、凝縮点がボンプ内
温度以下の物質は、ガス状態のまま排気することが可能
となる。

【００２５】本発明の実施によれば、油回転ポンプのよ
うに、ポンプまで飛来してきた物質がポンプ内で凝縮す
ることはないものの、高温の塩化水素ガスなどの腐食性
ガスが通過するから、ポンプのガス通過経路には、耐食
性を考慮して、例えばフッ素樹脂コーティングなどの表
面処理を施こすことが望ましい。

【００２６】高融点活性金属製造時に発生する主な物質
の蒸気圧曲線を図１に示す。Ｎａ、Ｍｇ、Ｃａなどは高
融点活性金属塩化物の還元剤、ＮａＣｌ、ＭｇＣｌ₂、
ＣａＣｌ₂は高融点活性金属還元後の副産物、Ｈ₂Ｏ、Ｈ
Ｃｌはこれらの副産物の水和物が高温で分解する際に発
性するものである。上記Ｈ₂Ｏは、夏場の高温多湿状態
の環境で操業されるバッチ式大型炉で、大気圧より真空
排気すると必ず水分として空気中にも多量に含まれる。
この線図において、各曲線より右下の領域では、物質は
気体として存在し、曲線より左上の領域では、固体また
は液体として存在する。

【００２７】図中に、油回転ポンプ内及びドライ真空ポ
ンプ内の圧力−温度範囲を示した。圧力の領域は、いず
れのタイプでも約１Ｐａ〜大気圧よりやや高い圧力で
は、ほぼ同等であるが、ポンプ内排気後段付近の温度が
異なる。すなわち、油回転ポンプでは、ポンプ内を水冷
しており、この中で油が循環しているので、油の温度は
高くても５０〜６０℃である。これに対し、ドライ真空
ポンプでは、内部に液体によるシール機構をもたず、吸
引気体の大気圧までの断熱圧縮と機械的な運動による発
熱のため、その内部温度は１００〜２００℃にも達す
る。

【００２８】一方、高融点活性金属製造時に発生する主
な物質の蒸気圧曲線を見ると、Ｎａ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｎａ
Ｃｌ、ＭｇＣｌ₂、ＣａＣｌ₂などの物質は、いずれも同
温での蒸気圧が低く、油回転ポンプ及びドライ真空ポン
プの圧力−温度領域では、固体で存在する。なお、図を
簡素にするためＣａ、ＣａＣｌ₂の蒸気圧曲線の表示を
省略したが、これらはいずれもＭｇＣｌ₂の蒸気圧曲線
より右側にあり、油回転ポンプ及びドライ真空ポンプの
動作領域では、固体の状態で存在する。これらの物質
は、周知のバグフィルター類を設置することにより、ポ
ンプ前段で固体として回収が可能である。

【００２９】しかし、Ｈ₂Ｏ、ＨＣｌは蒸気圧が高いた
め、ポンプ前段で固体として回収するのは不可能で、ポ
ンプまで気体として飛来する。そして、Ｈ₂Ｏは油回転
ポンプ内では、ポンプ油の温度が低いため、ここで凝縮
し液化して水となる。生じた水は、ポンプ内の機械的撹
拌により油と混合してエマルジョン化し、真空ポンプの
能力を著しく低下させる。その上、気体として吸引した
ＨＣｌは、エマルジョン化した水に溶解して塩酸を生
じ、ポンプ油はｐＨ１〜３の強酸性となり、ポンプを著
しく腐食・損傷させる。そして、ポンプ内に腐食した鉄
分がスラッジとして堆積する。これら水分の液化・凝
縮、塩酸の生成、スラッジの発生は、油回転ポンプの後
段に油の浄化装置を設けても、根本的に解決することは
できない。

【００３０】しかし、ドライ真空ポンプでは、ポンプ内
の温度が高いため、Ｈ₂Ｏ、ＨＣｌは共に気体の状態の
ままポンプ内を通過し、液化・凝縮することなくポンプ
系外へ排出される。したがって、ポンプは単に気体の通
過経路として存在するだけで、液化・凝縮に伴うトラブ
ルやメンテナンスの増加は皆無である。

【００３１】ドライ真空ポンプには多くの型式があり、
その中で工業的規模の高融点活性金属の製造に適するも
のとしては、クロー型、ルーツ型及びスクリュー型の各
ポンプの使用が可能であるが、次の理由によりスクリュ
ー型のポンプを使用することが最も望ましい。

【００３２】すなわち、工業的規模の高融点活性金属の
製造に使用される真空排気系列の最終段ポンプには好ま
しい特性として、ポンプ単体で工業的生産規模に合致
する排気速度（２００ｍ³／ｈｒ以上）がある、バッ
チ式操業で大気圧付近でも大きな排気速度が確保され、
１００Ｐａ付近まで排気速度の変化が少ない、高融点
活性金属を製造する際に発生し、ポンプまで飛来する物
質に対し十分な耐久性と飛来する気体物質を液化・凝縮
させることなくポンプ系外へ排出する作用に対する信頼
性があることがあげられる。

【００３３】クロー型、ルーツ型のポンプは、排気性能
を確保するため通常ポンプ内は複数段に多段化して使用
される。そして、クロー型は大気圧側での排気速度は確
保されるが到達真空度が高く、しかも大きな動力が必要
である。又、ルーツ型は排気速度の変化に大きな極大値
があり、しかも大気側の排気速度はこのピーク値より小
さくなっており、排気速度が遅い。

【００３４】上記のごとく、クロー型、ルーツ型のポン
プは、高融点活性金属の製造に用いるのに必要な上記３
つの特性の内一部を欠いており、十分な排気効率を確保
するのが困難である。

【００３５】一方、スクリュー型のポンプは、単段で効
率がよく、油回転ポンプとほぼ同等の排気特性があり、
上記３つの特性の全てを備えており、高融点活性金属の
製造に使用される真空排気系列の最終段ポンプとして、
最も効率的な使用ができる。

【００３６】なお、ドライ真空ポンプから排気される排
気ガスには微量の塩化水素が含まれるため、必要に応じ
てスクラバーなどを設置し、水などの液体で排気ガス中
の塩化水素を吸収・除去すれば良い。吸収する液体は簡
便さから水が望ましいが、水溶液や油でも使用可能であ
る。スクラバーには真空排気能力がないため、スクラバ
ーを用いた場合であっても、ドライ真空ポンプから排気
される排気ガスの圧力は、ほぼ大気圧と同じである。塩
化水素を除去するためのスクラバーは、極小型のもので
十分であり、スクラバー自体にはメンテナンスの必要は
ない。

【００３７】

【実施例】実施例１クロール法でスポンジチタンを製造する際の真空分離装
置における真空排気装置の最終後段にドライ真空ポンプ
を設けた。その概略を図２に示す。原料鉱石のルチール
を塩素ガス処理して精製した四塩化チタンをマグネシウ
ムと共に還元炉１に挿入し、四塩化チタンを還元してス
ポンジチタンを作る。この際の還元反応により生成する
塩化マグネシウムは炉底から抜きとられるが、一部はス
ポンジチタンに付着して真空分離炉２に送られる。そし
て、真空分離炉２の底部と真空排気装置３の間を真空用
接続管４で接合する。上記真空排気装置３は、２基のメ
カニカルブースターポンプと最終段にドライポンプを直
列に配管を介して接合する。ドライポンプとしては、ス
クリュー型を選んだ。

【００３８】上記真空分離炉２は、内容積が１０ｍ
³で、７〜１０ｔｏｎのスポンジチタンを製造すること
ができる。上記設備を使って、１か年間昼夜連続して７
〜１０ｔｏｎ／Ｂｔのスポンジチタンを製造した。その
間、ドライ真空ポンプの整備は皆無で、完全にメンテナ
ンスなしの状態で連続使用した。

【００３９】実施例２実施例１で製造した破砕スポンジチタンを多数溶接して
形成したものをチタン消耗電極６として、図３に示す消
耗電極式真空アーク溶解炉５により再溶解してチタンイ
ンゴットを製造した。この消耗電極式真空アーク溶解炉
５に付属する真空排気装置７は３基の油拡散ポンプと並
列する２基のメカニカルブースターポンプと１基のメカ
ニカルブースターポンプと最終段に並列した２基のドラ
イ真空ポンプを直列に配管を介して接合する。ドライ真
空ポンプとしては、スクリュー型のポンプを選んだ。

【００４０】上記炉を使って、１か年間昼夜連続して５
〜９ｔｏｎ／Ｂｔのチタンインゴットを製造した。その
間、ドライ真空ポンプの整備は皆無で、完全にメンテナ
ンスなしの状態で連続使用した。

【００４１】なお、発明者は、前記実施例と同様に、Ｖ
ＡＲ溶解用電極製作時に使用する溶接装置に付属する真
空排気ポンプ、電子ビーム溶解に使用する真空排気ポン
プに、従来使用されている油回転ポンプに代えてドライ
真空ポンプを設置して使用した。結果は、いずれも良好
で真空排気ポンプのメンテナンスを著しく軽減できた。

【００４２】

【発明の効果】本発明の実施によれば、長期間メンテナ
ンスなしの状態で連続使用が可能で、高い真空排気能力
を維持し得る高融点活性金属製造用真空排気装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】高融点活性金属製造時に発生する主な物質の蒸
気圧曲線を示すグラフである。

【図２】本発明をクロール法によるスポンジチタン製造
設備における真空分離装置の真空排気装置に実施した場
合の概略説明図である。

【図３】本発明をクロール法によるスポンジチタン製造
設備における消耗電極式真空アーク溶解炉の真空排気装
置に実施した場合の概略説明図である。

【符号の説明】

１還元炉２真空分離炉３真空排気装置４真空用接続管５消耗電極式真空アーク溶解炉６消耗電極７真空排気装置

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１３年３月２１日（２００１．３．２
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】上記の問題点を回避するため、従来は油回
転ポンプの油を頻繁に取替え、油の性能維持に努めてい
た。しかし、油回転ポンプの運転は昼夜に及ぶ長時間に
わたり行われるので、操業の途中で運転を一時停止して
油の交換を行うことは困難であった。また、腐食により
発生するスラッジの除去や排気弁の交換などのかなりの
メンテナンスが必要で、コスト削減の妨げとなってい
た。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３３】クロー型、ルーツ型のポンプは、排気性能
を確保するため通常ポンプ内は複数段に多段化して使用
される。そして、クロー型は大気圧側での排気速度は確
保されるが到達真空度が高く、しかも大きな動力が必要
である。又、ルーツ型は排気速度の変化に大きな極大値
があり、しかも大気側の排気速度はこのピーク値より小
さくなっており、必要動力の割に排気速度が遅い。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】なお、ドライ真空ポンプから排気される排
気ガスには微量の塩化水素が含まれるため、必要に応じ
てスクラバーなどを設置し、水などの液体で排気ガス中
の塩化水素を吸収・除去すれば良い。吸収する液体は簡
便さから水が望ましいが、水溶液や油でも使用可能であ
る。スクラバーには真空排気能力がないため、スクラバ
ーを用いた場合であっても、ドライ真空ポンプから排気
される排気ガスの圧力は、ほぼ大気圧と同じである。塩
化水素を除去するためのスクラバーは、極小型のもので
十分であり、スクラバー自体には煩雑なメンテナンスの
必要はほとんどない。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ２２Ｂ 34/22 Ｃ２２Ｂ 34/22

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高融点活性金属の製造工程で使用される
各種真空排気装置において、外気へ排気するための真空
ポンプにドライ真空ポンプを用いることにより、高い真
空排気能力を維持し得ることを特徴とする高融点活性金
属製造用真空排気装置。
【請求項２】スポンジ状である高融点活性金属の溶解
工程で使用される真空排気装置において、外気へ排気す
るための真空ポンプにドライ真空ポンプを用いることに
より、高い真空排気能力を維持し得ることを特徴とする
高融点活性金属製造用真空排気装置。
【請求項３】ドライ真空ポンプとしてスクリュー型ド
ライ真空ポンプを用いた請求項１または請求項２記載の
高融点活性金属製造用真空排気装置。
【請求項４】スポンジ状である高融点活性金属の溶解
工程の真空排気系において、ドライ真空ポンプを使用
し、そのドライ真空ポンプから排気された大気圧付近の
排気ガスを液体（水、油）に吸収されることによって、
塩化水素を除去した後で大気へ放出することを特徴とす
る高融点活性金属製造用真空排気方法。