JP2002076574A - プリント基板およびプリント基板の製造方法 - Google Patents

プリント基板およびプリント基板の製造方法

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JP2002076574A
JP2002076574A JP2000267520A JP2000267520A JP2002076574A JP 2002076574 A JP2002076574 A JP 2002076574A JP 2000267520 A JP2000267520 A JP 2000267520A JP 2000267520 A JP2000267520 A JP 2000267520A JP 2002076574 A JP2002076574 A JP 2002076574A
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circuit pattern
selectively
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water
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Masanobu Yanagihara
昌伸 柳原
Hideaki Fukuju
英明 福寿
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Kyocera Chemical Corp
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Toshiba Chemical Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 回路パターン領域にのみ金属触媒を付着させ
る。 【解決手段】 レジストパターン2が形成された多孔質
基板1をフッ化性ガスの存在下でプラズマ処理すること
により、多孔質基板1の露出面を撥水化させた後、撥水
性領域3が形成された多孔質基板1の触媒活性化を行
い、触媒活性化領域4が形成された多孔質基板1の無電
解めっきを行うことにより、めっきパターン5を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板およ
びプリント基板の製造方法に関し、特に、フルアディテ
ィブ法により回路パターンを形成する場合に適用して好
適なものである。
【0002】
【従来の技術】従来、プリント基板に回路パターンを形
成する方法として、サブトラクティブ法とフルアディテ
ィブ法とがある。ここで、フルアディティブ法は回路パ
ターン領域にのみ銅めっきを行うことができ、サブトラ
クティブ法に比べ、銅の消費量を減らすことが可能とな
るとともに、工程を簡略化できるという利点がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フルアディティブ法では、無電解めっきの析出核を基板
表面に形成するために、パラジウムなどの金属触媒を基
板全体に予め沈着させるようにしていた。このため、フ
ルアディティブ法では、基板価格が高くなり、また、回
路パターンが形成される領域以外は無電解めっきが付か
ないようレジストで覆うが、ファインパターンではめっ
きが析出して絶縁不良などが起こりやすいという問題が
あった。
【0004】そこで、本発明の目的は、回路パターン領
域にのみ金属触媒を付着させることが可能なプリント基
板およびプリント基板の製造方法を提供することであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項1記載の発明によれば、回路パターン以
外の領域が選択的に撥水化された撥水化領域と、前記回
路パターン領域に選択的に形成された触媒活性化領域
と、前記触媒活性化領域に選択的に形成された無電解め
っき層とを備えることを特徴とする。
【0006】これにより、回路パターン領域のみを触媒
活性化するために、回路パターン領域にのみ金属触媒を
付着させることが可能となり、撥水化領域に金属触媒が
付着することを防止することができることから、回路パ
ターン間の絶縁特性を向上させることが可能となる。
【0007】また、請求項2記載の発明によれば、回路
パターン領域を選択的に触媒活性化した触媒活性化領域
と、前記触媒活性化領域に選択的に形成された無電解め
っき層とを備えることを特徴とする。
【0008】これにより、回路パターン領域にのみ金属
触媒を付着させ、回路パターン以外の領域に金属触媒が
付着しないようにすることが可能となり、回路パターン
間の絶縁特性を向上させることが可能となる。
【0009】また、請求項3記載の発明によれば、多孔
質ポリマーの回路パターン以外の領域を選択的に撥水化
する工程と、前記回路パターン領域を選択的に触媒活性
化する工程と、前記触媒活性化領域に無電解めっきを行
う工程とを備えることを特徴とする。
【0010】これにより、回路パターン領域にのみ金属
触媒を付着させ、その金属触媒を核として触媒活性化領
域にのみ無電解めっき層を形成することが可能となる。
このため、回路パターン領域にのみ自己整合的に無電解
めっき層を形成することが可能となり、フルアディティ
ブ法による回路パターン間の絶縁特性の劣化を防止する
ことが可能となる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係わる
プリント基板の製造方法について図面を参照しながら説
明する。
【0012】図1は、本発明の実施形態に係わるプリン
ト基板の製造方法を示す斜視図である。
【0013】図1(a)において、多孔質基板1にレジ
ストを塗布する。そして、図1(b)に示すように、レ
ジストを露光・現像し、回路パターン以外の領域のレジ
ストを除去することにより、回路パターンに対応したレ
ジストパターン2を形成する。
【0014】なお、多孔質基板1として、例えば、エポ
キシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル、
ポリイミド、ポリエステル、またはポリブタジエンなど
の多孔質フィルム、あるいは親水性のある多孔質フィル
ムなどを用いることができる。
【0015】次に、図1(c)において、レジストパタ
ーン2が形成された多孔質基板1をフッ化性ガスの存在
下でプラズマ処理することにより、多孔質基板1の露出
面を撥水化する。この結果、レジストパターン2に覆わ
れた部分以外の領域が撥水化され、撥水性領域3が多孔
質基板1上に形成される。
【0016】次に、図1(d)において、多孔質基板1
からレジストパターン2を剥離し、撥水性領域3が形成
された多孔質基板1の触媒活性化を行う。ここで、多孔
質基板1の触媒活性化を行うと、レジストパターン2に
覆われていた撥水化されていない領域のみにパラジウム
などの金属触媒核が形成される。この結果、撥水性領域
3に金属触媒核が形成されることを防止しつつ、回路パ
ターンに対応する領域にのみ触媒活性化領域4を形成す
ることができる。
【0017】ここで、触媒活性化は、センシタイザー、
アクチベイター系を用いてもよく、キャタリスト、アク
セレレーター系を用いてもよい。
【0018】次に、図1(e)において、触媒活性化領
域4が形成された多孔質基板1の無電解めっきを行うこ
とにより、めっきパターン5を形成する。ここで、無電
解めっき層は金属触媒を核として触媒活性化領域5に対
してのみ形成され、触媒活性化されていない撥水性領域
6には無電解めっき層は形成されない。このため、回路
パターンに対応する領域にのみめっきパターン5が形成
され、めっきパターン5と触媒活性化領域4とを自己整
合的に一致させることが可能となる。
【0019】なお、プリント基板1に撥水性を付与する
ために、フッ化ガスの存在下でプラズマ処理する方法の
ほかに、例えば、テフロン(登録商標)加工などを行う
ようにしてもよい。
【0020】このように、上述した実施形態によれば、
回路パターン領域にのみ金属触媒を付着させることが可
能となり、金属触媒核が絶縁領域に付着することを防止
できる。このため、回路パターン間の間隔を狭くした場
合においても、絶縁不良を低減することが可能となり、
プリント基板のファインパターン化が可能となる。
【0021】なお、図1(b)の工程で回路パターン1
3に対応する多孔質基板11の露出部分をサンドブラス
ト法などで表面粗化した後、図1(c)の工程で触媒活
性化領域14を形成してもよい。これにより、触媒活性
化領域14における金属触媒の密着性を向上させること
ができる。
【0022】次に、本発明に係わる実施例について説明
する。
【0023】第1実施例として、ポリイミド製の多孔質
フィルムにパターンめっき用感光剤を塗布し、露光・現
像することにより、回路パターン領域のみが覆われたジ
ストパターンを多孔質フィルム上に形成した。
【0024】次に、多孔質フィルムに対し、レジストパ
ターンをマスクとして、CFガス下で10分間のプラ
ズマ処理を行うことにより、多孔質フィルムのレジスト
パターンで覆われていない部分を選択的に撥水化した。
【0025】次に、多孔質フィルムからレジストを剥離
し、めっき装置により、プレディップ室温2分間、キャ
タリスト25℃3分間、アクセレレータ25℃5分間、
無電解めっき25℃1時間行った。
【0026】これにより、回路パターン領域にのみ選択
的にパラジウム金属が沈着し、このパラジウム金属を核
として無電解めっき層が形成される。このため、回路パ
ターン部分以外の領域にはパラジウム金属が残存しない
ようにして、回路パターンを形成することができた。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回路パターン領域にのみ金属触媒を付着させることが可
能となり、絶縁不良を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係わるプリント基板の
製造工程を示す斜視図である。
【符号の説明】
1、11 多孔質基板 2 レジストパターン 3 撥水性領域 4、14 触媒活性化領域 5、15 めっきパターン 12 レジスト 13 回路パターン

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回路パターン以外の領域が選択的に撥水
    化された撥水化領域と、 前記回路パターン領域に選択的に形成された触媒活性化
    領域と、 前記触媒活性化領域に選択的に形成された無電解めっき
    層とを備えることを特徴とするプリント基板。
  2. 【請求項2】 回路パターン領域を選択的に触媒活性化
    した触媒活性化領域と、 前記触媒活性化領域に選択的に形成された無電解めっき
    層とを備えることを特徴とするプリント基板。
  3. 【請求項3】 多孔質ポリマーの回路パターン以外の領
    域を選択的に撥水化する工程と、 前記回路パターン領域を選択的に触媒活性化する工程
    と、 前記触媒活性化領域に無電解めっきを行う工程とを備え
    ることを特徴とするプリント基板の製造方法。
JP2000267520A 2000-09-04 2000-09-04 プリント基板およびプリント基板の製造方法 Withdrawn JP2002076574A (ja)

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