JP2002074753A - 半透明反射膜及びこれを用いて形成される光学記録媒体 - Google Patents
半透明反射膜及びこれを用いて形成される光学記録媒体Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐候性の改善、所望の透過率の維持を図った
半透明反射膜及びそれを用いた光学記録媒体を得る。 【解決手段】 Ｃｕに、Ａｇが、０．３〜１０．０重量
％含有されたＣｕＡｇ合金に、耐食性向上材料として、
例えばＴｉであれば０．０１〜５．０重量％含有されて
なる合金薄膜よりなる半透明反射膜３を形成し、この半
透明反射膜３を構成要素とする光学記録媒体１１を作成
する。
半透明反射膜及びそれを用いた光学記録媒体を得る。 【解決手段】 Ｃｕに、Ａｇが、０．３〜１０．０重量
％含有されたＣｕＡｇ合金に、耐食性向上材料として、
例えばＴｉであれば０．０１〜５．０重量％含有されて
なる合金薄膜よりなる半透明反射膜３を形成し、この半
透明反射膜３を構成要素とする光学記録媒体１１を作成
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半透明反射膜及び
それを用いて形成される光学記録媒体に係わる。
それを用いて形成される光学記録媒体に係わる。
【０００２】
【従来の技術】２層ディスクタイプのＤＶＤにおいて
は、構成要素である半透明反射膜の材料として、Ａｕ
（金）あるいはＳｉ（珪素）が、所望の反射率、透過率
などの光学特性を満足するうえ、スパッタリング法など
により容易に薄膜を形成できるということから一般に用
いられていた。
は、構成要素である半透明反射膜の材料として、Ａｕ
（金）あるいはＳｉ（珪素）が、所望の反射率、透過率
などの光学特性を満足するうえ、スパッタリング法など
により容易に薄膜を形成できるということから一般に用
いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ＤＶＤの半
透明反射膜の形成材に一般に利用されるＡｕとＳｉにつ
いて、Ａｕは材料コストが高いという問題があり、一
方、Ｓｉは安価な材料であるが、透明接着剤あるいはプ
ラスティック基板との接着力が弱いため、曲げ、反り、
あるいは吸湿などに対する信頼性が十分ではない。さら
に、Ｓｉ膜は、金属に比較して、スパッタリング室内に
付着した膜がはがれ易いため、スパッタリングプロセス
装置内で発生するパーティクルが多く、エラーレートの
悪化を招くという問題もある。
透明反射膜の形成材に一般に利用されるＡｕとＳｉにつ
いて、Ａｕは材料コストが高いという問題があり、一
方、Ｓｉは安価な材料であるが、透明接着剤あるいはプ
ラスティック基板との接着力が弱いため、曲げ、反り、
あるいは吸湿などに対する信頼性が十分ではない。さら
に、Ｓｉ膜は、金属に比較して、スパッタリング室内に
付着した膜がはがれ易いため、スパッタリングプロセス
装置内で発生するパーティクルが多く、エラーレートの
悪化を招くという問題もある。
【０００４】この発明の目的は、以上のような問題点を
解決した半透明反射膜及びこれを用いて形成される光学
記録媒体を提供することにある。
解決した半透明反射膜及びこれを用いて形成される光学
記録媒体を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、Ｃｕに、Ａｇと耐食性向上材料が含有
されてなる合金薄膜により、光学記録媒体を構成する半
透明反射膜を形成し、この半透明反射膜を構成要素とす
る光学記録媒体を得るものである。
めに、本発明は、Ｃｕに、Ａｇと耐食性向上材料が含有
されてなる合金薄膜により、光学記録媒体を構成する半
透明反射膜を形成し、この半透明反射膜を構成要素とす
る光学記録媒体を得るものである。
【０００６】また、本発明は、Ｃｕに、Ａｇと、耐食性
向上材料としてＴｉ、Ｐｄ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｔａ、
Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｚｒの内の一種類、あるいは
複数種類の元素が、それぞれ添加されてなる合金薄膜に
より、光学記録媒体を構成する半透明反射膜を形成し、
この半透明反射膜を構成要素とする光学記録媒体を得る
ものである。本発明の半透明反射膜によれば、光学記録
媒体用の半透明反射膜として適用した場合に、塩素、水
素、酸素、硫黄に対して、大気中あるいは特殊環境中で
要求される高い耐食性の向上を図ることができる。そし
て、薄膜と基板との接合性が強化され、より高い信頼性
が得られる半透明反射膜とすることができる。また、所
望の透過率の半透明反射膜を有する光学記録媒体とする
ことができる。
向上材料としてＴｉ、Ｐｄ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｔａ、
Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｚｒの内の一種類、あるいは
複数種類の元素が、それぞれ添加されてなる合金薄膜に
より、光学記録媒体を構成する半透明反射膜を形成し、
この半透明反射膜を構成要素とする光学記録媒体を得る
ものである。本発明の半透明反射膜によれば、光学記録
媒体用の半透明反射膜として適用した場合に、塩素、水
素、酸素、硫黄に対して、大気中あるいは特殊環境中で
要求される高い耐食性の向上を図ることができる。そし
て、薄膜と基板との接合性が強化され、より高い信頼性
が得られる半透明反射膜とすることができる。また、所
望の透過率の半透明反射膜を有する光学記録媒体とする
ことができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化した実施
形態を図面に基づいて説明する。この実施形態において
は、ＤＶＤとよばれている高密度の光学記録媒体に適用
する場合について説明する。
形態を図面に基づいて説明する。この実施形態において
は、ＤＶＤとよばれている高密度の光学記録媒体に適用
する場合について説明する。
【０００８】図１に示すように、この光学記録媒体は、
第１の基板１と、第２の基板２とが、光透過性の光硬化
性樹脂９を介して積層された２層構造をなす。第１の基
板１は、例えばポリカーボネート等の光透過性樹脂によ
り形成され、一主面にデータ記録ピット、またはプリグ
ルーブ等の第１の微細凸凹５を有し、これの上に例えば
膜厚５〜１５ｎｍの半透明反射膜３を有し、この半透明
反射膜３により第１の情報記録層７が形状されてなるも
のである。この半透明反射膜は、Ｃｕに、Ａｇと、耐食
性向上材料としてＴｉが添加されてなる合金薄膜により
なる。ここで、合金の各金属の割合は、いずれかの請求
項に記載した内容である。
第１の基板１と、第２の基板２とが、光透過性の光硬化
性樹脂９を介して積層された２層構造をなす。第１の基
板１は、例えばポリカーボネート等の光透過性樹脂によ
り形成され、一主面にデータ記録ピット、またはプリグ
ルーブ等の第１の微細凸凹５を有し、これの上に例えば
膜厚５〜１５ｎｍの半透明反射膜３を有し、この半透明
反射膜３により第１の情報記録層７が形状されてなるも
のである。この半透明反射膜は、Ｃｕに、Ａｇと、耐食
性向上材料としてＴｉが添加されてなる合金薄膜により
なる。ここで、合金の各金属の割合は、いずれかの請求
項に記載した内容である。
【０００９】また、上述した第１の基板１と積層される
第２の基板２は、第１の基板１と同様に、例えばポリカ
ーボネート等の光透過性樹脂によって形成され、一主面
にデータ記録ピット、またはプリグルーブ等の第２の微
細凸凹６を有し、これの上に、反射膜４を有し、この反
射膜４により第２の情報記録層８が形成されてなるもの
である。
第２の基板２は、第１の基板１と同様に、例えばポリカ
ーボネート等の光透過性樹脂によって形成され、一主面
にデータ記録ピット、またはプリグルーブ等の第２の微
細凸凹６を有し、これの上に、反射膜４を有し、この反
射膜４により第２の情報記録層８が形成されてなるもの
である。
【００１０】さらに、第２の情報記録層８上には、例え
ばアクリル系の紫外線硬化性樹脂よりなる保護膜１０が
形成されている。図１に示す光学記録媒体１１におい
て、第１の情報記録層７の信号の再生は、第１の基板１
側から入射する再生光１３を第１の情報記録層７に集光
させることにより行う。一方、第２の情報記録層８の信
号の再生は、対物レンズ１２の焦点位置を第２の情報記
録層８に移行させ、第２の情報記録層８に再生光１３を
集光することにより行う。
ばアクリル系の紫外線硬化性樹脂よりなる保護膜１０が
形成されている。図１に示す光学記録媒体１１におい
て、第１の情報記録層７の信号の再生は、第１の基板１
側から入射する再生光１３を第１の情報記録層７に集光
させることにより行う。一方、第２の情報記録層８の信
号の再生は、対物レンズ１２の焦点位置を第２の情報記
録層８に移行させ、第２の情報記録層８に再生光１３を
集光することにより行う。
【００１１】ここで、第２の情報記録層８の信号の再生
にあたっては、再生光１３が第１の情報記録層７を透過
する必要がある。第１の情報記録層７の半透明反射膜３
は、作製の容易さ等からスパッタリング法、一般には、
マグネトロンスパッタリング法により形成される。
にあたっては、再生光１３が第１の情報記録層７を透過
する必要がある。第１の情報記録層７の半透明反射膜３
は、作製の容易さ等からスパッタリング法、一般には、
マグネトロンスパッタリング法により形成される。
【００１２】次に、本実施形態の半透明反射膜により、
光学記録媒体１１の半透明反射膜３を作成した場合の、
光学特性を評価した。まず、平滑な表面を有するガラス
基板上に、半透明反射膜であるＣｕ−Ｔｉ−Ａｇ合金薄
膜をスパッタリング法により形成した。
光学記録媒体１１の半透明反射膜３を作成した場合の、
光学特性を評価した。まず、平滑な表面を有するガラス
基板上に、半透明反射膜であるＣｕ−Ｔｉ−Ａｇ合金薄
膜をスパッタリング法により形成した。
【００１３】その後、半透明反射膜の表面側から平行光
を入射させ、その反射率、透過率、および吸収率の測定
を行った。上述の光学特性の測定において、用いた波長
は４００ｎｍ及び６５０ｎｍである。ここで、これらの
波長を選んだのは、６５０ｎｍが通常の光ディスクシス
テムに用いられている波長であり、また４００ｎｍが高
密度記録化のための青色半導体レーザの波長だからであ
る。これらの波長で十分な光学特性を有することは重要
なことである。また、双方の波長に満足する光学特性を
有することも実用上大きなメリットを有する。
を入射させ、その反射率、透過率、および吸収率の測定
を行った。上述の光学特性の測定において、用いた波長
は４００ｎｍ及び６５０ｎｍである。ここで、これらの
波長を選んだのは、６５０ｎｍが通常の光ディスクシス
テムに用いられている波長であり、また４００ｎｍが高
密度記録化のための青色半導体レーザの波長だからであ
る。これらの波長で十分な光学特性を有することは重要
なことである。また、双方の波長に満足する光学特性を
有することも実用上大きなメリットを有する。
【００１４】例えば、６５０ｎｍと４００ｎｍの双方の
波長において、第１の情報記録層７と第２の情報記録層
８の再生を安定に行うことが可能な膜設計を行っておく
と、将来４００ｎｍの青色レーザを光源とする光ディス
クシステムが開発された場合に、６５０ｎｍの赤色レー
ザを用いた光ディスクシステムで再生が可能だったディ
スク媒体を、そのまま青色レーザのシステムで再生する
ことが可能となるからである。
波長において、第１の情報記録層７と第２の情報記録層
８の再生を安定に行うことが可能な膜設計を行っておく
と、将来４００ｎｍの青色レーザを光源とする光ディス
クシステムが開発された場合に、６５０ｎｍの赤色レー
ザを用いた光ディスクシステムで再生が可能だったディ
スク媒体を、そのまま青色レーザのシステムで再生する
ことが可能となるからである。
【００１５】表１は、波長６５０ｎｍの条件で、代表的
な組成を有する半透明反射膜について、光の反射率、透
過率、および吸収率を測定した結果を示したものであ
る。
な組成を有する半透明反射膜について、光の反射率、透
過率、および吸収率を測定した結果を示したものであ
る。
【００１６】
【表１】 表１に見られるように、各組成とも膜厚の増加とともに
反射率は増加し、逆に透過率は減少し、また吸収率は増
加する。本実施形態の各種半透明反射膜と、従来ＤＶＤ
の半透明反射膜の形成材に利用されているＡｕとを同じ
膜厚において比較すると、本実施形態の半透明反射膜の
方が、Ａｕより総合的に望ましい反射率、透過率、吸収
率を得ている。ここで、ＤＶＤの半透明反射膜として望
ましい値は、反射率３０％以下、透過率５０％以下、吸
収率２０％以下である。
反射率は増加し、逆に透過率は減少し、また吸収率は増
加する。本実施形態の各種半透明反射膜と、従来ＤＶＤ
の半透明反射膜の形成材に利用されているＡｕとを同じ
膜厚において比較すると、本実施形態の半透明反射膜の
方が、Ａｕより総合的に望ましい反射率、透過率、吸収
率を得ている。ここで、ＤＶＤの半透明反射膜として望
ましい値は、反射率３０％以下、透過率５０％以下、吸
収率２０％以下である。
【００１７】従って、本実施形態の光学記録媒体の半透
明反射膜は、以下のような効果を発揮する。光学特性に
関して、半透明反射膜の膜厚を５〜３０ｎｍにすること
により、光の波長が６５０ｎｍまたは４００ｎｍのいず
れかの条件のときに、ならびに、６５０ｎｍ及び４００
ｎｍの双方を同時に満足する条件のときに、安定した再
生が可能な光学記録媒体を得ることができる。なお、６
５０ｎｍと４００ｎｍの波長間の波長においても安定な
再生が可能である。
明反射膜は、以下のような効果を発揮する。光学特性に
関して、半透明反射膜の膜厚を５〜３０ｎｍにすること
により、光の波長が６５０ｎｍまたは４００ｎｍのいず
れかの条件のときに、ならびに、６５０ｎｍ及び４００
ｎｍの双方を同時に満足する条件のときに、安定した再
生が可能な光学記録媒体を得ることができる。なお、６
５０ｎｍと４００ｎｍの波長間の波長においても安定な
再生が可能である。
【００１８】なお、この発明は前記実施形態以外に、以
下のように具体化することができる。 ・前記実施形態では、Ｃｕをベース材料としてＡｇ、さ
らに第三元素としてＴｉが添加されたＣｕ−Ｔｉ−Ａｇ
合金薄膜を薄膜として用いることについて説明したが、
第三元素はＴｉに限定されるわけではない。例えば、Ｐ
ｄ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｓ
ｉ、Ｚｒ等を用いることができる。
下のように具体化することができる。 ・前記実施形態では、Ｃｕをベース材料としてＡｇ、さ
らに第三元素としてＴｉが添加されたＣｕ−Ｔｉ−Ａｇ
合金薄膜を薄膜として用いることについて説明したが、
第三元素はＴｉに限定されるわけではない。例えば、Ｐ
ｄ、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｓ
ｉ、Ｚｒ等を用いることができる。
【００１９】・また、光学記録媒体においては、２つの
情報層を有する構造のディスク上、いわゆる円盤状の光
ディスクについて説明したが、本発明はこのような光デ
ィスクや形状に限られるものではなく、単層又は３層以
上の情報層を有する光ディスク、光磁気ディスク、相変
化型光ディスク、その他カード状またはシート状の記録
媒体等であって、情報層として金属薄膜を有する各種の
光学記録媒体に適用することができる。
情報層を有する構造のディスク上、いわゆる円盤状の光
ディスクについて説明したが、本発明はこのような光デ
ィスクや形状に限られるものではなく、単層又は３層以
上の情報層を有する光ディスク、光磁気ディスク、相変
化型光ディスク、その他カード状またはシート状の記録
媒体等であって、情報層として金属薄膜を有する各種の
光学記録媒体に適用することができる。
【００２０】・また、例えば２枚の透明基板上にそれぞ
れ２層の情報層を形成し、これら透明基板をその情報層
を有する面をつき合わせて接合して形成し、両透明基板
側から光照射を行うようにした構成とすることもでき
る。
れ２層の情報層を形成し、これら透明基板をその情報層
を有する面をつき合わせて接合して形成し、両透明基板
側から光照射を行うようにした構成とすることもでき
る。
【００２１】
【発明の効果】本発明の半透明反射膜は、酸素や硫黄、
塩素等に対して、耐候性が改善され、かつ半透明反射膜
と基板との接合性が強化され、より高い信頼性が得られ
る。また、半透明反射膜を所定の膜厚にすることによ
り、安定した再生が可能な光学記録媒体を得ることがで
きる。
塩素等に対して、耐候性が改善され、かつ半透明反射膜
と基板との接合性が強化され、より高い信頼性が得られ
る。また、半透明反射膜を所定の膜厚にすることによ
り、安定した再生が可能な光学記録媒体を得ることがで
きる。
【図１】 本発明に係わる光学記録媒体の一例の概略断
面図。
面図。
３…半透明反射膜、１１…光学記録媒体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 崇 東京都豊島区南大塚２丁目37番５号 株式 会社フルヤ金属内 (72)発明者 岩崎 眞明 東京都品川区北品川６丁目７番35号 株式 会社ソニー・ディスクテクノロジー内 Ｆターム(参考） 5D029 MA13 MA14 MA17
Claims (20)
- 【請求項１】 Ｃｕ（銅）を主成分として、そのＣｕを
９９．７〜８５．０重量％含有し、それにＡｇ（銀）を
添加して更に耐食性向上の目的の添加元素を含有されて
なる少なくとも３元素以上の金属材料で構成される合金
薄膜からなることを特徴とした半透明反射膜。 - 【請求項２】 Ｃｕ（銅）を主成分として、それにＡｇ
（銀）を添加して更に光学的特性を補助する目的の添加
元素を含有されてなる少なくとも３元素以上の金属材料
で構成される合金薄膜からなることを特徴とした半透明
反射膜。 - 【請求項３】 Ｃｕを主成分として、それにＡｇを添加
し、更に耐食性向上材料としてＴｉ（チタン）を添加し
てなるＣｕ−Ａｇ−Ｔｉ（銅−銀−チタン）合金からな
る請求項１に記載の半透明反射膜。 - 【請求項４】 Ｃｕ（銅）を主成分として、それにＡｇ
（銀）を添加して更に耐食性向上の目的の添加元素とし
てＰｄ（パラジウム）、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｕ
（金）、Ｐｔ（白金）、Ｔａ（タンタル）、Ｃｒ（クロ
ム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｏ（コバルト）、Ｓｉ（シ
リコン）、Ｚｒ（ジルコニウム）から単数もしくは複数
選ばれたものである請求項１に記載の半透明反射膜。 - 【請求項５】 Ｃｕ（銅）を主成分として、それにＡｇ
（銀）を添加して更に光学的特性を補助する目的の添加
元素としてＰｄ（パラジウム）、Ａｌ（アルミニウ
ム）、Ａｕ（金）、Ｐｔ（白金）、Ｔａ（タンタル）、
Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｏ（コバル
ト）、Ｓｉ（シリコン）、Ｚｒ（ジルコニウム）から単
数もしくは複数選ばれたものである請求項２に記載の半
透明反射膜。 - 【請求項６】 Ａｇが、０．３〜１０．０重量％含有さ
れてなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記
載の半透明反射膜。 - 【請求項７】 Ａｇが、０．３〜７．０重量％含有され
てなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載
の半透明反射膜。 - 【請求項８】 Ａｇが、０．３〜５．０重量％含有され
てなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載
の半透明反射膜。 - 【請求項９】 Ｔｉが、０．０１〜５．０重量％含有さ
れてなることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記
載の半透明反射膜。 - 【請求項１０】 Ｔｉが、０．０１〜１．５重量％含有
されてなることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに
記載の半透明反射膜。 - 【請求項１１】 Ｔｉが、０．０３〜０．９重量％含有
されてなることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに
記載の半透明反射膜。 - 【請求項１２】 Ａｇが、０．３〜５．０重量％、Ｔｉ
が、０．０３〜０．９重量％含有されてなることを特徴
とする請求項１〜５のいずれかに記載の半透明反射膜。 - 【請求項１３】 膜厚が５〜３０ｎｍであることを特徴
とする請求項１〜１２のいずれかに記載の半透明反射
膜。 - 【請求項１４】 膜厚が７．５〜２０ｎｍであることを
特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の半透明反
射膜。 - 【請求項１５】 膜厚が５〜１５ｎｍであることを特徴
とする請求項１〜１２のいずれかに記載の半透明反射
膜。 - 【請求項１６】 膜厚が１０〜１５ｎｍであることを特
徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の半透明反射
膜。 - 【請求項１７】 光学波長領域が３８０ｎｍ〜８００ｎ
ｍの間の場合に光の反射率が２５〜４０％であることを
特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の半透明反
射膜。 - 【請求項１８】 光学波長領域が３８０ｎｍ〜８００ｎ
ｍの間の場合に光の透過率が４０〜６０％であることを
特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の半透明反
射膜。 - 【請求項１９】 光学波長領域が３８０ｎｍ〜８００ｎ
ｍの間の場合に光の吸収率が１０％未満であることを特
徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の半透明反射
膜。 - 【請求項２０】 請求項１〜１９のいずれかに記載の半
透明反射膜を用いて形成されてなることを特徴とする、
光学波長領域が３８０ｎｍ〜８００ｎｍの間のレーザ光
により記録，再生がなされる光学記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000267823A JP2002074753A (ja) | 2000-09-04 | 2000-09-04 | 半透明反射膜及びこれを用いて形成される光学記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000267823A JP2002074753A (ja) | 2000-09-04 | 2000-09-04 | 半透明反射膜及びこれを用いて形成される光学記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002074753A true JP2002074753A (ja) | 2002-03-15 |
Family
ID=18754677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000267823A Pending JP2002074753A (ja) | 2000-09-04 | 2000-09-04 | 半透明反射膜及びこれを用いて形成される光学記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002074753A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006164366A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Toshiba Corp | 光ディスク、光ディスク装置、光ディスク再生方法 |
| JP2006331619A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-12-07 | Mitsubishi Kagaku Media Co Ltd | 光記録媒体、スパッタリングターゲット及びアゾ金属キレート色素 |
-
2000
- 2000-09-04 JP JP2000267823A patent/JP2002074753A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006164366A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Toshiba Corp | 光ディスク、光ディスク装置、光ディスク再生方法 |
| JP2006331619A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-12-07 | Mitsubishi Kagaku Media Co Ltd | 光記録媒体、スパッタリングターゲット及びアゾ金属キレート色素 |
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