JP2002074719A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

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JP2002074719A
JP2002074719A JP2000254502A JP2000254502A JP2002074719A JP 2002074719 A JP2002074719 A JP 2002074719A JP 2000254502 A JP2000254502 A JP 2000254502A JP 2000254502 A JP2000254502 A JP 2000254502A JP 2002074719 A JP2002074719 A JP 2002074719A
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JP
Japan
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light
optical
light emitting
semiconductor laser
laser
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JP2000254502A
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English (en)
Inventor
Fumihiro Tawa
文博 田和
Shinya Hasegawa
信也 長谷川
Tetsuo Hizuka
哲男 肥塚
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B17/00Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
    • G03B17/48Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光層が傾斜した光学装置に関し、反射部か
らの反射光の発光層の傾斜による光強度分布又は偏光方
向の変移を補償することができる光学装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 発光部と反射部とを、反射部からの反
射光の発光層の傾斜による強度分布又は偏光方向の変移
を補償する位置に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光学装置に係り、特
に、発光層が傾斜した光学装置に関する。
【0002】近年、MO、CD−ROM、DVDなどの
光ディスク装置の光学ヘッドとして光集積ヘッドモジュ
ールが採用されつつある。光集積ヘッドモジュールは、
光ディスクに照射する光ビームを発生するレーザ発生素
子と光ディスクからの反射光を受光する受光素子とを一
つのモジュールに一体化したモジュールである。
【0003】光集積ヘッドモジュールにより光学素子の
位置決めが容易となり、よって、製造が容易となるとと
もに、光ディスク装置の小型化が可能となる。
【0004】また、光ディスクは、年々、高記録密度化
されている。光ディスクの高密度化には、光ビームの品
質が重要な要素となっている。このため、光ビームの品
質を向上することが望まれている。
【0005】
【従来の技術】図1に従来の光磁気ディスク装置の一例
の概略構成図を示す。
【0006】光磁気ディスク装置1は、スピンドルモー
タ2、回転制御回路3、光学ヘッド4、レーザ出力制御
回路5、フォーカス・トラッキング制御回路6、MO信
号検出回路7、磁界発生部8、磁界制御回路9から構成
される。光磁気ディスク装置1には、記録媒体として光
磁気ディスク10が装着される。
【0007】スピンドルモータ2は、光磁気ディスク1
0を矢印A方向に回転させる。回転制御回路3は、スピ
ンドルモータ2の回転を制御する。光学ヘッド4は、光
磁気ディスク10に光ビームLを照射し、その反射光を
検出する。レーザ出力制御回路5は、光学ヘッド4から
出射される光ビームLの強度を制御する。
【0008】フォーカス・トラッキング制御回路6は、
光ヘッド4に設けられたフォーカシングアクチュエータ
及びトラッキングアクチュエータ(ともに図示せず)を
制御して、光学ヘッド4から光磁気ディスク10に照射
する光ビームのLのフォーカス及びトラッキング制御を
行なう。MO信号検出回路7は、光学ヘッド4で検出し
た信号からMO信号を検出する。
【0009】磁界発生部8は、光磁気ディスク10に磁
界を印加する。磁界制御回路9は、記録信号に応じた磁
界を磁界発生部8に発生させるように磁界発生部8を制
御する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の光磁
気ディスク装置1の光学ヘッドでは、発光素子、レンズ
やプリズムなどの光学素子、受光素子が別体で構成され
ているので、部品点数が多く、小型化が困難であり、か
つ、装置への組み付ける性が悪いなどの問題点があっ
た。
【0011】そこで、発光素子、光学素子、受光素子な
どを集積化した光集積ヘッドモジュールが開発されつつ
ある。
【0012】図2に光集積ヘッドモジュールを用いた光
学ヘッドの構成図を示す。
【0013】光学ヘッド4は、主に、光集積ヘッドモジ
ュール11、複合光学素子12、コリメータレンズ1
3、対物レンズ14から構成される。光集積ヘッドモジ
ュール11は、光ビームLを発生するとともに、光磁気
ディスク10からの反射光に応じた電気信号を出力す
る。複合光学素子12は、ビームスプリッタ12a、1
2b、12c及び複合化ホログラム12dから構成さ
れ、光集積ヘッドモジュール11上の発光素子から出射
された光ビーム及び光磁気ディスク10からの反射光を
光集積ヘッドモジュール11上の複数の受光素子により
分割して所定の位置に出射する。
【0014】図3に光集積ヘッドモジュールの要部の構
成図を示す。
【0015】光集積ヘッドモジュール11は、主に、受
光素子基板21、サブマウント22、半導体レーザ2
3、立ち上げミラー24から構成される。受光素子基板
21は、半導体基板を含む構成とされている。受光素子
基板21の表面には、受光素子25−1〜25−7が形
成される。受光素子25−1〜25−7には、光磁気デ
ィスク10から反射光が複合光学素子12で分割されて
供給される。
【0016】受光素子25−1〜25−4では、トラッ
キングエラー信号を検出するための光が検出される。受
光素子25−5、25−6では、フォーカスエラー信号
を検出するための光が検出される。受光素子25−7で
は、半導体レーザ110から出射される光を監視するた
めのモニタ用の光が検出される。受光素子25−7で
は、MO信号を検出するための光が検出される。
【0017】上記受光素子25−1〜25−8で検出さ
れた光に基づいてMO信号、トラッキングエラー信号、
フォーカスエラー信号、モニタ信号が生成される。モニ
タ信号は、レーザ出力制御回路5に供給される。レーザ
出力制御回路5は、モニタ信号に応じて半導体レーザ2
3から出力されるレーザ光の強度を制御する。
【0018】MO信号は、MO信号検出回路7に供給さ
れる。MO信号検出回路7は、MO信号を復号して出力
する。また、トラッキングエラー信号及びフォーカスエ
ラー信号は、フォーカス・トラッキング制御回路6に供
給される。フォーカス・トラッキング制御回路6は、フ
ォーカスエラー信号に応じて光学ヘッド4に設けられた
フォーカスアクチュエータ(図示せず)を駆動してフォ
ーカス制御を行なう。また、フォーカス・トラッキング
制御回路6は、トラッキングエラー信号に応じて光学ヘ
ッド4に設けられたトラッキングアクチュエータ(図示
せず)を駆動してトラッキング制御を行なう。
【0019】サブマウント22は、受光素子基板21の
受光素子形成面の略中心部から矢印Y1方向側にわずか
に変位した位置に固定される。サブマウント22の上に
は半導体レーザ23が固定される。サブマウント22
は、受光素子基板21と半導体レーザ23とを絶縁する
とともに、半導体レーザ23を外部と接続するための配
線を行なう。
【0020】半導体レーザ23は、Al−Ga−As系
半導体レーザのレアチップから構成され、サブマウント
22上に固定される。半導体チップ23は、レーザ出力
制御回路5に接続されており、レーザ出力制御回路5か
らの駆動信号に応じてレーザ光を発光する。半導体レー
ザ23は、矢印Y2方向にレーザ光を発光する。
【0021】立ち上げミラー24は、受光素子基板21
の略中央部に、反射面24aが矢印Y1方向に向くよう
に固定される。反射面24aは、受光素子基板21の受
光素子形成面に対して略45°の角度に形成されてい
る。
【0022】半導体レーザ23により発光されたレーザ
光は、立ち上げミラー24の反射面に照射される。立ち
上げミラー24は、半導体レーザ23からのレーザ光を
受光素子基板21の受光素子形成面に対して略90°の
方向、矢印Z方向に立ち上げる。立ち上げミラー24に
より反射されたレーザ光は、複合光学素子12で分割さ
れ、光磁気ディスク10及び受光素子25−7に供給さ
れる。
【0023】次に光ビームと立ち上げミラー24との関
係を説明する。
【0024】図4にレーザ光と立ち上げミラーとの関係
を説明するための図を示す。図4(A)は斜視図、図4
(B)は平面図を示す。
【0025】半導体レーザ23は、半導体基板に平行に
発光層が形成される。また、半導体レーザ23から発光
されるレーザ光の光軸は、光磁気ディスク10の半径方
向、すなわち、矢印Y方向となるように配置されてい
る。また、立ち上げミラー24は、反射面24aが受光
素子形成面に対して45°に形成されている。
【0026】半導体レーザ23から発光されるレーザ光
の偏光方向は、半導体基板に対して所定の方向とされて
いた。
【0027】立ち上げミラー24は、半導体レーザ23
からのレーザ光の偏光方向に対して反射面24aが平行
となるように配置される。これにより、レーザ光は、偏
光方向が矢印X方向、すなわち、光磁気ディスク10上
に形成されるトラック方向と一致するように出射され
る。
【0028】一方、光磁気ディスク装置においては、強
度分布が真円に近い半導体レーザが望まれていた。この
ため、強度分布が真円に近似したAl−Ga−In−A
s−P系高出力半導体レーザが開発されている。このA
l−Ga−In−As−P系高出力半導体レーザとして
(Self-Aligned stepped substrate)レーザが開発
されている。
【0029】図5にAl−Ga−In−As−P系S
半導体レーザの構成図を示す。
【0030】Al−Ga−In−As−P系S半導体
レーザ30は、基板31、クラッド層32、歪MQW活
性層33、第1クラッド層34、電流ブロック層35、
第2クラッド層36、コンタクト層37から構成され
る。
【0031】Al−Ga−In−As−P系S半導体
レーザ30を作成するには、まず、主面の面指数が(1
00)6°オフである基板を選択的にエッチングするこ
とで、p型発光層38を形成すべき部分に(411)A
面を表出させる。(411)A面が形成された基板31
上にクラッド層32、歪MQW活性層33を形成する。
歪MQW活性層33には、(411)A面上にp型発光
層38が形成され、(100)6°オフ面上にn型領域
39が形成される。また、電流ブロック層35は、(1
00)6°オフ面上にのみ形成されており、電流ブロッ
ク機能を有する。
【0032】Al−Ga−In−As−P系S半導体
レーザ1は、上記の構成により真円に近い強度分布を得
ている。
【0033】しかしながら、Al−Ga−In−As−
P系S半導体レーザ1は、(100)6°面を主面と
する基板31の(411)A面に発光層38を形成す
る。このため、発光層38は、基板31の主面に対して
13.5°程度傾いて形成される。よって、レーザ光
は、基板31の主面に対して13.5°傾いた偏光面で
出射される。
【0034】図6に光集積ヘッドモジュールにS半導
体レーザを用いた場合の出射動作を説明するための図を
示す。図6(A)は斜視図、図6(B)は平面図を示
す。
【0035】半導体レーザ23としてS半導体レーザ
を用いた場合、半導体レーザ23及び立ち上げミラー2
4は、半導体レーザ23からの出射光の光軸C11が受
光素子基板21の中心軸C12に平行となり、かつ、立
ち上げミラー24による反射光の光軸が受光素子基板2
1の受光素子形成面21aに対して垂直(矢印Z方向)
に立ち上がるように配置されていた。
【0036】一方、このため、S半導体レーザからの
出射光の偏光方向は、基板31の主面に対して13.5
°傾斜しているため、そのまま、受光素子基板21上に
半導体レーザ23を搭載すると、半導体レーザ23から
の出射光の偏光方向D11は、図6に示すように傾斜し
て立ち上げミラー24の反射面24aに照射される。
【0037】このため、図6(B)に示すように立ち上
げミラー24の反射面24aで偏光方向D12が傾斜す
ることになる。よって、立ち上げミラー24により立ち
上がった光の偏光方向は、図6(A)にD13で示すよ
うに本来得ようとする偏光方向D10に対して回転した
ものとなる。
【0038】しかるに、Al−Ga−In−As−P系
半導体レーザは、偏光方向が基準面に対して傾斜し
ているため、従来の光集積ヘッドモジュールにそのまま
搭載すると、図6に示すように本来得ようとする偏光方
向D10に対して回転した偏光方向D13となる。この
ため、従来の光集積ヘッドモジュールにはそのまま搭載
することができない。すなわち、光集積ヘッドモジュー
ルにAl−Ga−In−As−P系S半導体レーザを
搭載するためには、サブマウントを加工するなど、その
光学系をAl−Ga−In−As−P系S半導体レー
ザ専用に設計し直さなければならず、また、設計したさ
れたものは汎用性がないので、コストが高くなるなどの
問題点がった。
【0039】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、発光層の傾斜が補償された光強度分布及び偏光方向
の光を出射可能にすることで、再生信号品質を向上させ
た光学装置を提供することを目的とする。
【0040】
【課題を解決するための手段】レーザの発光層から出射
されるレーザの偏光方向は、発光層の短手、あるいは長
手方向にならう。実際のレーザは、製造誤差により偏光
方向が多少傾くことがあるが、略発光層の短手あるは長
手方向にならう。本発明は、上記の原理を利用してS
レーザなどのような、レーザの発光層がボンディング面
に対して傾いているレーザの偏光方向の補正を行なうよ
うにしたものである。
【0041】なお、本発明の下記に示す実施例では、S
レーザを例にとって説明を行なうが、本発明はレーザ
の発光層がボンディング面に対して傾いているレーザ一
般に応用可能である。
【0042】また、レーザの発光層から出射されるレー
ザの光強度分布が、発光層の短手方向が長軸、長手方向
が短軸となる楕円状の強度分布になる。したがって、発
光層がボンディング面に対して平行な従来のレーザと同
様な使用方法で、発光層がボンディング面に対して傾斜
したレーザを使用すると、発光層の傾きにより、楕円状
強度分布が傾くことになる。本発明では、この楕円強度
分布の傾きを補正できる。
【0043】そこで、まず、本発明は、反射部からの反
射光の強度分布又は偏光方向の発光層の傾斜による変移
が補償されるように発光部及び反射部を配置したことを
特徴とする。
【0044】本発明によれば、発光層が傾斜した発光素
子から反射部を介して出力される光を所望の強度分布又
は偏光方向で出射することができる。
【0045】また、本発明は、反射部からの出射光の偏
光方向を記録媒体のトラックに対して垂直又は平行とな
るようにする。
【0046】本発明によれば、反射部からの出射光の偏
光方向を記録媒体のトラックに対して垂直又は平行とな
るようにすることにより、記録媒体からの光を効率よく
信号に変換できる。
【0047】さらに、本発明は、受光基板に、反射部か
らの反射光の強度分布又は偏光方向の発光層の傾斜によ
る変移を補償するように配置された反射部と発光部との
対を複数設けたことを特徴とする。
【0048】本発明によれば、偏光方向、波長などが異
なる複数種類の光を出射することができる。
【0049】さらに、本発明は、複数の反射部と発光部
との対で光の光軸の方向を異ならせる。
【0050】本発明によれば、出射光を近接させつつ発
光部を離間して配置できるため、発光部で発生する熱の
放熱を効率よく行なえる。
【0051】本発明は複数の反射部と発光部との対で発
光層の傾斜を異なる角度とする。
【0052】本発明によれば、出射光の光強度分布、偏
光方向を異ならせることができる。
【0053】したがって、特に光磁気記録のような光の
偏光方向の変移を検出して信号の再生を行う光学装置に
おいて、再生信号品質を向上させることができる。
【0054】
【発明の実施の形態】図7に本発明の第1実施例の光集
積ヘッドモジュールの構成図を示す。同図中、図2、図
3と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略
する。
【0055】本実施例の光集積ヘッドモジュール101
は、半導体レーザ110、サブマウント120、及び、
立ち上げミラー130の配置が図1に示すディスク装置
1とは相違する。なお、本実施例の光集積ヘッドモジュ
ール101は、図1のディスク装置の光学ヘッド4に置
き換えることによりディスク装置を構成可能である。よ
って、本実施例では、ディスク装置の説明は省略する。
【0056】本実施例の光集積ヘッドモジュール101
を構成する半導体レーザ110は、図5に示されるAl
−Ga−In−As−P系S半導体レーザから構成さ
れる。半導体レーザ110は、例えば、レーザ光の偏光
方向が基板31の基準面に対して13.5°傾斜した状
態で出射される。
【0057】半導体レーザ110は、サブマウント12
0の上に固定される。サブマウント120は、レーザ光
の出射軸C1が受光素子基板21の中心軸C2に対して
α°だけ傾斜するように受光素子基板21の受光素子形
成面21a上に配置される。
【0058】また、立ち上げミラー130は、受光素子
基板21の中心軸C2上に配置される。また、立ち上げ
ミラー130は、反射面130aが向く方向(矢印A方
向)をレーザ光の出射軸C1に対向して配置される。立
ち上げミラー130の反射面130aは、受光素子基板
21の受光素子面21aに対してβ°に設定されてい
る。
【0059】なお、α、βは、半導体レーザ110から
のレーザ光が受光素子基板21の受光素子面21aに対
して90°の方向に立ち上がるように設定される。例え
ば、(411)A面上にp型発光層38が形成された半
導体レーザ110の場合には、αは略13.5°、βは
略45°に設定される。
【0060】図8に本発明の一実施例のレーザ光の経路
を説明するための図を示す。図8(A)は斜視図、図8
(B)は立ち上げミラー130の平面図、図8(C)は
立ち上げミラー130の正面図、図8(D)は立ち上げ
ミラー130の側面図を示す。
【0061】レーザ光Lは、偏光方向D1が受光素子基
板21の受光素子形成面21aに平行な方向E1に対し
て対してθ=13.5°傾斜して立ち上げミラー130
の反射面130aに入射される。反射面130aに入射
されたレーザ光Lは、反射面130aで90°折曲され
る。
【0062】このとき、レーザ光Lの偏光方向D1は、
図8に示すように反射面130aに傾斜して入射され
る。偏光方向D1のレーザ光Lは、図8(B)に示すよ
うに偏光方向が平面上で角度θ2だけ回転され、図8
(C)に示すように正面上で角度θ3だけ回転される。
【0063】偏光方向D1のレーザ光Lが平面上角度θ
2、正面上角度θ3だけ回転されることによりレーザ光
Lが図8に示すように偏光方向D2が中心軸C1に直交
し、かつ、光軸が受光素子基板21の受光素子形成面2
1aに対して90°に立ち上げることができる。
【0064】発光層がボンディング面に傾いているレー
ザとミラーとの基板上での配置関係を、ミラーから出力
される光の偏光方向が記録媒体のトラックに対して垂直
又は平行になるように設定することにより、記憶媒体か
らの反射光の偏光成分の検出が良好となる。したがっ
て、本実施例のレーザの位置関係は、図3に示す発光層
がボンディング面に対して平行な光集積ヘッドモジュー
ルにおけるレーザの位置関係とフォトディテクタの配置
を同じにした場合、フォトディテクタの対称軸若しく
は、光集積ヘッドモジュールの中心軸に対して所定の角
度をなすように配置される。
【0065】なお、フォトディテクタの配置が本実施例
のようになっておらず、対象軸などの基準になるものが
ない場合には、レーザとミラーとをセットで基板上を移
動させつつ、偏光方向を検出し、偏光方向が所望の方向
になるように位置を調整する。
【0066】なお、本発明は上記実施例に限られるもの
ではなく、特許請求の範囲の記載を逸脱することなく、
種々の変形例を実現しうる。例えば、本実施例では、立
ち上げミラー130に三角プリズムを用いたが、受光素
子基板120を異方性エッチングなどにより整形するこ
とにより受光素子基板120と一体に形成するようにし
てもよい。
【0067】また、本実施例では、Al−Ga−In−
As−P系S半導体レーザからの出射光を例にとって
説明したが他の半導体レーザにも適用可能である。ま
た、通常の半導体レーザの補正方法として適用すること
も可能である。さらに、本実施例の構成によれば、出
力、波長の特性を改善できるため、半導体レーザの結晶
構造が変わっても対応できる。
【0068】また、本実施例は、光磁気ディスクに本発
明の光集積ヘッドモジュールを適応した例について説明
したが、適用可能なデバイスは光磁気ディスク装置に限
定されるものではなく、CD(compact disk)装置やD
VD(digital versatile disk)装置などの他の光デバ
イスにも適用可能なことは言うまでもない。
【0069】なお、本実施例は、単一のレーザ光を出力
するものであるが、本実施例の位置決め方法を用いるこ
とにより複数のレーザ光を出力する装置も容易に実現で
きる。
【0070】図9に本発明の第2実施例の要部の平面図
を示す。同図中、図7と同一構成部分には同一符号を付
し、その説明は省略する。
【0071】本実施例の光集積ヘッドモジュール200
は、半導体レーザ201,202から出射されるレーザ
光の光軸203,204が中心軸205に対して所定の
角度αとなるように、半導体レーザ201、202及び
立上ミラー206,207が並列に配置されている。な
お、このとき、半導体レーザ201,202と立上ミラ
ー206、207との配置は、第1実施例の半導体レー
ザ110と立上ミラー130との位置関係と同じであ
る。
【0072】また、半導体レーザ201、202は、半
導体レーザ110と同様に、例えば、Al−Ga−In
−As−P系S半導体レーザから構成され、サブマウ
ント208、209を介して受光素子基板21に実装さ
れる。
【0073】半導体レーザ201と半導体レーザ202
とは、例えば、出射されるレーザ光の波長や偏光方向が
相違する。半導体レーザ201、202とを切り換える
ことにより、波長や偏光方向の異なる2種類のレーザ光
を出射できる。また、このとき、半導体レーザを載せた
サブマウントと立上ミラーとの距離は、レーザ光の波長
に応じた距離に設定するようにしてもよい。例えば、光
学系の収差が補正される距離に設定される。また、光の
利用効率を最適にする距離に設定される。て上記構成の
光集積ヘッドモジュール200を搭載することにより、
例えば、異なる記録媒体に対して情報の記録/再生を行
なうことができる。
【0074】なお、第2実施例では、2つの半導体レー
ザからのレーザ光の光軸が平行となるように配置した
が、光軸が中心軸205に対称に配置するようにしても
よい。
【0075】図10に本発明の第3実施例の要部の平面
図を示す。同図中、図9と同一構成部分には同一符号を
付し、その説明は省略する。
【0076】本実施例の光集積ヘッドモジュール300
は、半導体レーザ301からのレーザ光の光軸303が
中心軸304に対して角度+αで交叉し、半導体レーザ
302から出射されたレーザ光の光軸305を中心軸3
04に対して角度−αで交叉するように配置されてい
る。半導体レーザ301と立上ミラー306との位置関
係は、第1実施例の半導体レーザ110と立上ミラー1
30との関係と同じである。また、半導体レーザ302
と立上ミラー307との位置関係は、半導体レーザ30
1と立上ミラー306との位置関係を中心軸304に対
して対称な関係とされている。
【0077】また、半導体レーザ301、302は、半
導体レーザ110と同様に、例えば、Al−Ga−In
−As−P系S半導体レーザから構成され、サブマウ
ント308、309を介して受光素子基板21に実装さ
れる。なお、半導体レーザ301と半導体レーザ302
とは、発光層の基準面に対する傾斜角度が反対の方向に
形成されている。
【0078】図11に本発明の第3実施例の半導体レー
ザの構成図を示す。同図中、図5と同一構成部分には同
一符号を付し、その説明は省略する。
【0079】半導体レーザ301は、図11に示すよう
に発光面311が基準面312に対して+θ、例えば、
+13.5°程度傾斜して形成されている。また、半導
体レーザ302は、図11に示すように発光面321が
基準面322に対して−θ、例えば、−13.5°程度
傾斜して形成されている。すなわち、半導体レーザ30
1と半導体レーザ302とは中心軸304に対して対称
な構造とされている。
【0080】以上のように半導体レーザ301、302
を配置することにより、同一構造の半導体レーザのチッ
プから半導体レーザ301、302を形成できる。ま
ず、同一構造の半導体レーザチップを切り出す。半導体
レーザ301を形成するためには、切り出した半導体レ
ーザチップの第1の面331に低反射率膜を形成し、第
2の面332に高反射率膜を形成する。半導体レーザ3
02を形成するためには、切り出した半導体レーザチッ
プの第1の面341に高反射率膜を形成し、第2の面3
42に低反射率膜を形成する。
【0081】以上により、偏光方向が中心軸304に対
して対称となる半導体レーザ301、302が形成でき
る。
【0082】本実施例によれば、半導体レーザ301と
半導体レーザ302との間隔を大きくできるので、半導
体レーザ301、302で発生する熱を効率よく放熱で
きる。また、同一構造の半導体レーザチップから異なる
偏光方向のレーザ光を出射する半導体レーザ301、3
02を製造できる。
【0083】また、本実施例では、半導体レーザ及び立
上ミラーを並列に配置したが、対向した配置するように
してもよい。
【0084】図12に本発明の第4実施例の要部の構成
図を示す。同図中、図9と同一構成部分には同一符号を
付し、その説明は省略する。
【0085】本実施例の光集積ヘッドモジュール400
は、半導体レーザ401及び立上ミラー402と半導体
レーザ403及び立上ミラー404とが中心点Oを中心
として点対称に配置されている。
【0086】なお、半導体レーザ401と立上ミラー4
02及び半導体レーザ403と立上ミラー404との位
置関係は、半導体レーザ110と立上ミラー130との
位置関係と同じである。また、半導体レーザ401、4
03は、半導体レーザ110と同様に、例えば、Al−
Ga−In−As−P系S半導体レーザから構成さ
れ、サブマウント408、409を介して受光素子基板
21に実装される。
【0087】本実施例によれば、半導体レーザ401と
半導体レーザ403との間隔を大きくできるので、半導
体レーザ401、403で発生する熱をさらに効率よく
放熱できる。
【0088】また、第2乃至第4実施例では、2対の半
導体レーザ及び立上ミラーを受光素子基板21上に搭載
する場合について説明したが、2対以上の半導体レーザ
及び立上ミラーを搭載するようにしてもよい。
【0089】第1〜第4実施例の光集積ヘッドモジュー
ルは、図1、図2で示したディスク装置に搭載すること
で、情報記憶装置を構成可能である。また、公知の光を
対象物に照射する装置、CD、DVDなどのメディアを
扱うプレーヤ、ディスク、カードなどの再生装置、原盤
作成装置などの媒体処理装置に適用することで、所望の
光量分布で所望の偏光方向の光を得ることができる。
【0090】また、S3半導体レーザだけでなく、発光
層が基準面、例えば、ボンディング面に対して傾斜して
いるレーザの光を出射させる場合にも適用可能である。
【0091】さらに、受光素子基板21上に形成される
受光素子のパターンも上記構成に限定されるものではな
く、光学系、媒体などに応じて種々のパターンとするこ
とができる。
【0092】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく請求の範囲の記載に基づいて種々の変形例
が可能である。なお、本発明において、光学装置は、光
集積ヘッドモジュール、光学的処理装置、光情報記憶装
置などを含むものである。
【0093】(付記1) 発光層から光を出射する発光
部と、前記発光部からの光を所定の方向に反射させる反
射部と、少なくとも該発光部と該反射部とが受光面に設
けられ、光を検出する受光基板とを有する光学装置にお
いて、前記発光部は、前記発光層が傾斜しており、前記
発光部と前記反射部とを、前記反射部からの反射光の前
記発光層の傾斜による強度分布又は偏光方向の変移が補
償される位置に配置されたことを特徴とする光学装置。
【0094】(付記2) 前記反射部からの出射光の偏
光方向は、記録媒体のトラックに対して直交又は平行で
あることを特徴とする付記1記載の光学装置。
【0095】(付記3) 前記受光基板に、前記位置関
係に配置された前記反射部と前記発光部との対を複数設
けたことを特徴とする付記1又は2記載の光学装置。
【0096】(付記4) 前記複数の前記反射部と前記
発光部との対のうちの少なくとも一対は、前記発光部か
ら出射される光の光軸が他の対の前記発光部から出射さ
れる光の光軸の方向とは異なる方向となるように配置さ
れたことを特徴とする付記3記載の光学装置。
【0097】(付記5) 前記複数の前記反射部と前記
発光部との対のうちの少なくとも一対は、前記発光層の
傾斜が他の対の前記発光層の傾斜とは異なる角度とされ
たことを特徴とする付記3又は4記載の光学装置。
【0098】(付記6) 前記複数の前記反射部と前記
発光部との対のうち少なくとも二対は、前記反射部の反
射後の偏光方向が互いに直交することを特徴とする付記
3乃至5のいずれか一項記載の光学装置。
【0099】(付記7) 前記複数の前記反射部と前記
発光部との対のうち、少なくとも二対は、波長が異なる
ことを特徴とする付記3乃至6のいずれか一項記載の光
学装置。
【0100】(付記8) 媒体に光ビームを照射して、
該媒体に情報を記録又は該媒体から情報を再生する光学
的情報記憶装置において、傾斜した発光層から光を出射
する発光部と、前記発光部からの光を所定の方向に反射
させる反射部と、前記反射部からの光を前記光ビームと
して前記媒体に照射する光学系と、少なくとも前記発光
部と前記反射部とが受光面に設けられ、光を検出する受
光基板とを有し、前記発光部と前記反射部とを、前記発
光層の傾斜による前記反射部からの反射光の強度分布又
は偏光方向の変移を補償する位置に配置したことを特徴
とする光学的情報記憶装置。
【0101】(付記9) 前記反射部からの出射光の偏
光方向は、記録媒体のトラックに対して直交又は平行で
あることを特徴とする付記8記載の光学的情報記憶装
置。
【0102】(付記10) 前記受光基板に、前記位置
関係に配置された前記反射部と前記発光部との対を複数
設けたことを特徴とする付記8又は9記載の光学的情報
記憶装置。
【0103】(付記11) 前記複数の前記反射部と前
記発光部との対のうちの少なくとも一対は、前記発光部
から出射される光の光軸が他の対の前記発光部から出射
される光の光軸の方向とは異なる方向となるように配置
されたことを特徴とする付記10記載の光学的情報記憶
装置。
【0104】(付記12) 前記複数の前記反射部と前
記発光部との対のうちの少なくとも一対は、前記発光層
の傾斜が他の対の前記発光層の傾斜とは異なる角度とさ
れたことを特徴とする付記10又は11記載の光学的記
憶装置。
【0105】(付記13) 前記複数の前記反射部と前
記発光部との対のうち少なくとも二対は、前記反射部の
反射後の偏光方向が互いに直交することを特徴とする付
記10乃至12のいずれか一項記載の光学的記憶装置。
【0106】(付記14) 前記複数の前記反射部と前
記発光部との対のうち、少なくとも二対は、波長が異な
ることを特徴とする付記10乃至13のいずれか一項記
載の光学的記憶装置。
【0107】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、発光層の
傾斜による反射部からの反射光の強度分布又は偏光方向
の変移を補償する位置に発光部及び反射部を配置するこ
とにより、発光層が傾斜した発光素子から反射部を介し
て出力される光を所望の強度分布又は偏光方向で出射す
ることができる。また、情報記憶装置などに用いた場
合、記録又は再生に好適な光を得ることができるなどの
特長を有する。
【0108】また、本発明のよれば、発光層に傾斜を有
するが、特性の優れた半導体レーザを用い、所望の強度
分布又は偏光方向の光を出射することができる等の特長
を有する。また、情報記憶装置などに用いた場合、記録
又は再生に好適な光を得ることができるなどの特長を有
する。
【0109】また、本発明によれば、受光基板に、位置
関係に配置された反射部と発光部との対を複数設けた偏
光方向、波長などが異なる複数種類の光を出射すること
ができる。これにより、情報記憶装置などに用いた場
合、記録又は再生に好適な光を得ることができるなどの
特長を有する。
【0110】さらに、本発明によれば、複数の反射部と
発光部との対で光の光軸の方向を異ならせることによ
り、出射光を近接させつつ発光部を離間して配置できる
ため、発光部で発生する熱の放熱を効率よく行なえる。
これにより、情報記憶装置などに用いた場合、記録又は
再生に好適な光を得ることができるなどの特長を有す
る。
【0111】本発明によれば、複数の反射部と発光部と
の対で発光層の傾斜を異なる角度とすることにより、複
数の反射部と発光部とので出射される光の光強度分布、
偏光方向を異ならせることができるなどの特長を有す
る。これにより、情報記憶装置などに用いた場合、記録
又は再生に好適な光を得ることができるなどの特長を有
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の光磁気ディスク装置の一例の概略構成図
である。
【図2】光集積ヘッドモジュールを用いた光学ヘッドの
構成図である。
【図3】光集積ヘッドモジュールの構成図である。
【図4】レーザ光と立ち上げミラーとの関係を説明する
ための図である。
【図5】Al−Ga−In−As−P系S半導体レー
ザの構成図である。
【図6】光集積ヘッドモジュールにS半導体レーザを
用いた場合の出射動作を説明するための図である。
【図7】本発明の第1実施例の光集積ヘッドモジュール
の構成図である。
【図8】本発明の第1実施例のレーザ光の経路を説明す
るための図である。
【図9】本発明の第2実施例の要部の平面図である。
【図10】本発明の第3実施例の要部の平面図である。
【図11】本発明の第3実施例の半導体レーザの構成図
である。
【図12】本発明の第4実施例の要部の構成図である。
【符号の説明】
21 受光素子基板 21a 受光素子形成面 25−1〜25−7 受光素子 101 光集積ヘッドモジュール 110 半導体レーザ 120 サブマウント 130 立ち上げミラー 130a 反射面 C1 出射光軸 C2 中心軸 D1、D2 偏光方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 11/105 553 G11B 11/105 553A H01S 5/022 H01S 5/022 5/40 5/40 (72)発明者 肥塚 哲男 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 5D075 AA03 CD07 CD09 CD14 5D119 AA09 BA01 BB01 BB04 BB05 EC34 FA05 FA08 JA57 LB04 LB05 5F073 AA74 AB13 AB27 AB29 BA05 BA06 CA20 EA22 FA02 FA06 FA11

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光層から光を出射する発光部と、前記
    発光部からの光を所定の方向に反射させる反射部と、少
    なくとも該発光部と該反射部とが受光面に設けられ、光
    を検出する受光基板とを有する光学装置において、 前記発光部は、前記発光層が傾斜しており、 前記発光部と前記反射部とを、前記反射部からの反射光
    の前記発光層の傾斜による強度分布又は偏光方向の変移
    が補償される位置に配置したことを特徴とする光学装
    置。
  2. 【請求項2】 前記発光部は、前記反射部からの出射光
    の偏光方向は、記憶媒体のトラックに対して直交又は平
    行であることを特徴とする請求項1記載の光学装置。
  3. 【請求項3】 前記受光基板に、前記位置関係に配置さ
    れた前記反射部と前記発光部との対を複数設けたことを
    特徴とする請求項1又は2記載の光学装置。
  4. 【請求項4】 前記複数の前記反射部と前記発光部との
    対のうちの少なくとも一対は、前記発光部から出射され
    る光の光軸が他の対の前記発光部から出射される光の光
    軸の方向とは異なる方向となるように配置されたことを
    特徴とする請求項3記載の光学装置。
  5. 【請求項5】 前記複数の前記反射部と前記発光部との
    対のうちの少なくとも一対は、前記発光層の傾斜が他の
    対の前記発光層の傾斜とは異なる角度とされたことを特
    徴とする請求項3又は4記載の光学装置。
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