JP2002071773A - 磁気センサ装置および電流センサ装置 - Google Patents

磁気センサ装置および電流センサ装置

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JP2002071773A JP2000267665A JP2000267665A JP2002071773A JP 2002071773 A JP2002071773 A JP 2002071773A JP 2000267665 A JP2000267665 A JP 2000267665A JP 2000267665 A JP2000267665 A JP 2000267665A JP 2002071773 A JP2002071773 A JP 2002071773A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成で、温度上昇に伴ってゲインが減
少する場合におけるゲインの補正を可能にする。 【解決手段】 帰還増幅器7は、磁気センサ部5より、
被測定磁界に応じた信号を入力し、基準電圧Vpを基準
として被測定磁界に応じて変化する電圧を生成する。帰
還増幅器7の出力電圧と基準電圧Vpとの差に応じて出
力電流が発生し、出力電流の一部は帰還電流として帰還
コイル6に供給される。差動増幅器14は、帰還電流経
路に挿入された抵抗11の両端間に発生した電圧を入力
し、参照電圧Vrefを基準として被測定磁界に応じて変
化する測定信号を出力する。帰還コイル6に対して並列
に設けられた分流回路24は、出力電流の一部をサーミ
スタ25を介して分流する。温度が上昇すると、分流回
路24の抵抗値は減少し、抵抗11を流れる出力電流は
増加し、抵抗11の両端間の電圧が増加する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、比較的大きな磁界
を測定するための磁気センサ装置およびこれを利用して
大電流を非接触で測定するための電流センサ装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、環境問題や資源エネルギー問題に
関する社会的要請から、電気ハイブリッド自動車、燃料
電池、太陽光発電等が実用化されてきている。これらの
技術は、直流大電流を取り扱うため、直流大電流を測定
するための電流センサ装置を必要とする点で共通してい
る。そのため、安価で信頼性の高い直流大電流センサ装
置の開発は社会的要請となっている。
【0003】一般に、直流大電流を非接触で測定する方
法としては、電流が作る磁界を磁気センサ素子で検出す
る方法が採られる。従来、このための磁気センサ素子と
してはホール素子が多く用いられていた。
【0004】また、本発明者等によって、安定性に優れ
るインダクタンス変化型の磁気センサ素子、すなわちフ
ラックスゲート素子を用いた磁気センサ装置や電流セン
サ装置も提案されている。ここで、フラックスゲート素
子を用いた磁界の検出の原理について簡単に説明する。
フラックスゲート素子は、磁芯入りコイルを有してい
る。磁芯入りコイルは、コイル電流がある値より大きく
なると磁芯が飽和するので、そのインダクタンスが減少
する。ここで、インダクタンスが例えば半減するような
バイアス電流をコイルに流しておき、磁芯に外部から磁
界を与えると、与えた磁界の方向および大きさに応じた
インダクタンス変化が生じる。そのため、このインダク
タンス変化から与えられた磁界を検出することができ
る。磁芯には、棒状磁芯またはドラム型磁芯が用いられ
ている。
【0005】ところが、上記の磁芯入りコイルのインダ
クタンス変化は、外部磁界に対し直線性が悪い上に、か
なり急峻である。このことは、磁気センサ装置や電流セ
ンサ装置のリニアリティを悪くすると共に、測定範囲を
狭める。
【0006】この欠点を避けるための技術としては負帰
還法がある。負帰還法は、被測定磁界と絶対値が等し
く、被測定磁界に対して逆極性となる帰還磁界を磁気セ
ンサ素子に加え、磁気センサ素子が常にゼロに近い磁界
の中で動作するようにしたものである。帰還磁界は、磁
界センサ素子の出力を電流に変換し、この電流を帰還磁
界発生コイルに帰還電流として印加することで簡単に得
ることができる。
【0007】上記の帰還電流の経路中に挿入した抵抗の
両端間の電位差は帰還電流に比例している。帰還電流は
被測定磁界と絶対値が等しい磁界を発生するので、前記
電位差は被測定磁界に完全に比例している。従って、こ
の電位差を検出することによって、被測定磁界を検出す
ることができる。このようにしてリニアリティがよく、
ゲイン変動のない磁気センサ装置または電流センサ装置
を実現することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、負帰還
法を、インダクタンス変化型磁気センサ素子を用いた磁
気センサ装置または電流センサ装置に適用する場合に
は、以下のような問題点がある。
【0009】負帰還法が完全に成立するためには、帰還
磁界が完全に帰還電流に比例しなければならない。ここ
で、詳しい解析によると、被測定磁界hと帰還電流iに
は次の式(1)で表される関係がある。
【0010】 h=−Ai{1+Ne(μs−1)}/{1+Nc(μs−1)} …(1)
【0011】ただし、Aは定数、Neは被測定磁界から
見たセンサ磁芯の反磁界係数、Ncはセンサコイルから
見たセンサ磁芯の反磁界係数、μsはセンサ磁芯の比透
磁率である。ここで、Ne=Ncの場合またはNe(μ
s−1)とNc(μs−1)が1より十分大きい場合に
は、式(1)において、温度によって大きく変動する比
透磁率μsの項は消去され、式(1)は、h=−Aiま
たはh=−A´iとなって被測定磁界hは帰還電流iに
比例する。ただし、A´は、ほぼNe/Ncに等しく、
比透磁率μsに依存しない定数である。
【0012】しかし、Ne=Nc、またはNe(μs−
1)とNc(μs−1)が1より十分大きいといった関
係がない場合には、温度によって比透磁率μsが変動す
ると、被測定磁界hと帰還電流iとを関係づける比例定
数が変動する。ここで、i/hは、磁気センサ装置のゲ
インに相当する。従って、温度によって比透磁率μsが
変動すると、ゲインi/hが温度によって変動すること
になる。ゲインi/hが変動すると、磁気センサ装置ま
たは電流センサ装置の測定結果に誤差を生じる。このよ
うなゲインi/hの変動は、原理的なものであるため、
実際の磁気センサ装置または電流センサ装置では何らか
のゲインの補正が必要となる。
【0013】ところで、式(1)において、比透磁率μ
sを1から無限大まで変化させると、ゲインi/hは−
1/Aから−1/A(Ne/Nc)まで変化する。Ne
<Ncであれば、ゲインは比透磁率μsの増加に伴って
増加する。逆に、Ne>Ncであれば、ゲインは比透磁
率μsの増加に伴って減少する。
【0014】磁気センサ装置または電流センサ装置とし
ては、Ne>Ncの方が、小さい帰還電流で大きな被測
定磁界を測定することができ、その結果、電力消費が少
なくなるので、好都合である。この場合、ゲインは比透
磁率μsの増加に伴って減少する。比透磁率μsは、フ
ェライト磁芯の場合には温度上昇に伴って増加する。自
動車用のセンサ装置に要求される使用可能温度範囲は、
−40〜+105℃と広いので、比透磁率μsの温度変
動によるゲイン変動は数%におよぶ場合もある。
【0015】温度上昇に伴ってゲインが増加する場合に
おける対策としては、帰還電流経路に挿入された電流検
出抵抗と並列に負温度係数サーミスタ(以下、単にサー
ミスタと記す。)回路を接続すればよいので、対策は簡
単である。
【0016】逆に、温度上昇に伴ってゲインが減少する
場合には、電流検出抵抗のところで温度補償を行おうと
すると、正温度係数の素子を用いなければならない。し
かし、正温度係数抵抗器は高価なばかりではなく温度係
数自体が小さいので、大幅な補正には不向きである。ま
た、正温度係数サーミスタは抵抗変化の非線形性が大き
いので、実際に使用することはできない。
【0017】ここで、図6を参照して、温度上昇に伴っ
て減少するゲインを補償するようにした磁気センサ装置
の構成の一例について説明する。この磁気センサ装置
は、電源入力端101と、一端が電源入力端101に接
続された抵抗102と、カソードが抵抗102の他端に
接続され、アノードが接地されたツェナーダイオード1
03と、非反転入力端が抵抗102とツェナーダイオー
ド103との接続点に接続されたオペアンプ104とを
備えている。オペアンプ104の反転入力端は出力端に
接続されている。電源入力端101には、電源電圧Vd
が印加されるようになっている。
【0018】磁気センサ装置は、更に、基準電圧入力端
がオペアンプ104の出力端に接続された磁気センサ部
105と、一端がオペアンプ104の出力端に接続され
た帰還コイル106と、非反転入力端が磁気センサ部1
05の出力端に接続されたオペアンプよりなる帰還増幅
器107と、一端がオペアンプ104の出力端に接続さ
れ、他端が帰還増幅器107の非反転入力端に接続され
た抵抗108と、一端がオペアンプ104の出力端に接
続され、他端が帰還増幅器107の反転入力端に接続さ
れた抵抗109と、一端が帰還増幅器107の反転入力
端に接続され、他端が帰還増幅器107の出力端に接続
された抵抗110と、一端が帰還増幅器107の出力端
に接続され、他端が帰還コイル106の他端に接続され
た電流検出抵抗111とを備えている。なお、磁気セン
サ部105は、磁気センサ素子と、この磁気センサ素子
を駆動する回路とを含んでいる。
【0019】磁気センサ装置は、更に、一端が抵抗11
1の一端に接続されたサーミスタ121と、一端がサー
ミスタ121の他端に接続された抵抗112と、一端が
抵抗111の他端に接続されたサーミスタ122と、一
端がサーミスタ122の他端に接続された抵抗113
と、反転入力端が抵抗112の他端に接続され、非反転
入力端が抵抗113の他端に接続されたオペアンプより
なる差動増幅器114と、一端が差動増幅器114の反
転入力端に接続され、他端が差動増幅器114の出力端
に接続された抵抗115と、差動増幅器114の出力端
に接続された測定信号出力端116とを備えている。
【0020】磁気センサ装置は、更に、参照電圧入力端
117と、非反転入力端が参照電圧入力端117に接続
され、反転入力端が出力端に接続されたオペアンプ11
8と、一端がオペアンプ118の出力端に接続され、他
端が差動増幅器114の非反転入力端に接続された抵抗
119とを備えている。
【0021】オペアンプ104、帰還増幅器107、差
動増幅器114およびオペアンプ118の各電源入力端
は電源入力端101に接続され、各接地端は接地されて
いる。
【0022】次に、図6に示した磁気センサ装置の作用
について説明する。この磁気センサ装置では、電源入力
端101に電源電圧Vdが印加され、この電源電圧Vd
によって各回路部分が動作している。
【0023】抵抗102とツェナーダイオード103
は、電源電圧Vdを用いて、両者の接続点において基準
電圧Vpを発生させる。オペアンプ104はボルテージ
フォロワを構成しており、オペアンプ104の出力端の
電位は基準電圧Vpと等しい。基準電圧Vpは、磁気セ
ンサ部105の基準電圧入力端と、帰還コイル106、
抵抗108,109の各一端に印加される。
【0024】また、参照電圧入力端117には参照電圧
Vrefが印加される。オペアンプ118はボルテージフ
ォロワを構成しており、オペアンプ118の出力端の電
位は参照電圧Vrefと等しい。参照電圧Vrefは、抵抗1
19を介して差動増幅器114の非反転入力端に印加さ
れる。
【0025】磁気センサ部105は、その出力端より、
被測定磁界に応じた信号を、帰還増幅器107の非反転
入力端に対して出力する。帰還増幅器107は、基準電
圧Vpを基準として被測定磁界に応じて変化する出力電
圧を生成する。被測定磁界がゼロのときには帰還増幅器
107の出力電圧は基準電圧Vpと等しい。
【0026】帰還増幅器107から抵抗111を経て帰
還コイル106に至るまで帰還電流経路が形成されてい
る。この帰還電流経路では、帰還増幅器107の出力電
圧と基準電圧Vpとの差に応じて帰還電流が発生し、こ
の帰還電流が帰還コイル106に供給される。この帰還
電流は、帰還増幅器107の出力電圧が基準電圧Vpよ
り大きいか小さいかに応じて正逆両方向に流れる。帰還
電流経路に挿入された抵抗111の両端間に発生した電
圧(電位差)は、コモンモード電圧としての基準電圧V
pに重畳されて、差動増幅器114に入力される。差動
増幅器114は、被測定磁界に対応すると共に、コモン
モード電圧Vpが除去された信号を出力する。差動増幅
器114の非反転入力端には、抵抗119を介して参照
電圧Vrefが印加されている。従って、差動増幅器11
4の出力信号、すなわち測定信号出力端116より出力
される測定信号は、参照電圧Vrefを基準として被測定
磁界に応じて変化する単極性の信号となる。
【0027】図6に示した磁気センサ装置では、温度上
昇に伴って減少するゲインを補償するために、差動増幅
器114の入力抵抗112,113にサーミスタ12
1,122を直列接続している。しかしながら、この方
法の場合には、サーミスタを差動増幅器114の非反転
入力側と反転入力側の両方に挿入しないと、差動増幅器
114の差動バランスを崩すので、サーミスタは2個必
要になる。また、サーミスタは一般に抵抗値の精度が悪
いので、上記の方法では、差動増幅器114の差動バラ
ンスを崩しやすいという問題点がある。差動バランスが
崩れるとコモンモード電圧が漏れ出てオフセット電圧を
発生させる。
【0028】図7は、他の方法を用いて温度上昇に伴っ
て減少するゲインを補償するようにした磁気センサ装置
の要部を示す回路図である。この磁気センサ装置では、
差動増幅器114の入力側にはサーミスタは挿入されて
いない。その代りに、帰還電流経路に挿入された抵抗1
11の両端間の電圧を取り出して出力電圧とする回路
を、2段の増幅器を用いて構成し、2段目の増幅器の増
幅度が温度上昇に伴って増加するように、2段の増幅器
の入力抵抗の少なくとも一部としてサーミスタを用いて
いる。具体的に説明すると、図7に示した磁気センサ装
置は、一端が差動増幅器114の出力端に接続されたサ
ーミスタ131と、一端がサーミスタ131の他端に接
続され、他端が接地された抵抗132と、非反転入力端
がサーミスタ131の他端に接続され、出力端が測定信
号出力端116に接続されたオペアンプ133とを備え
ている。オペアンプ133の反転入力端はオペアンプ1
33の出力端に接続されている。しかしながら、図7に
示した方法では、増幅器が2個必要になるという問題点
がある。
【0029】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、簡単な構成で、温度上昇に伴ってゲ
インが減少する場合におけるゲインの補正を可能にした
磁気センサ装置および電流センサ装置を提供することに
ある。
【0030】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気センサ装置
は、被測定磁界の値に応じて変化する信号を出力する磁
気センサ部と、磁気センサ部の出力信号を出力電流に変
換する変換手段と、変換手段によって得られる出力電流
を用いて、被測定磁界と絶対値が等しく、被測定磁界に
対して逆極性となる帰還磁界を発生させる帰還手段と、
出力電流を電圧に変換し、測定信号として出力する測定
信号出力手段と、出力電流の電流経路における負荷に対
して並列に接続され、出力電流の一部をサーミスタを介
して分流する分流回路とを備えたものである。
【0031】本発明の電流センサ装置は、被測定電流に
よって発生する被測定磁界の値に応じて変化する信号を
出力する磁気センサ部と、磁気センサ部の出力信号を出
力電流に変換する変換手段と、変換手段によって得られ
る出力電流を用いて、被測定磁界と絶対値が等しく、被
測定磁界に対して逆極性となる帰還磁界を発生させる帰
還手段と、出力電流を電圧に変換し、測定信号として出
力する測定信号出力手段と、出力電流の電流経路におけ
る負荷に対して並列に接続され、出力電流の一部をサー
ミスタを介して分流する分流回路とを備えたものであ
る。
【0032】本発明の磁気センサ装置または電流センサ
装置では、磁気センサ部より、被測定磁界の値に応じて
変化する信号が出力される。この出力信号は、変換手段
によって出力電流に変換される。そして、帰還手段によ
って、出力電流を用いて帰還磁界が発生される。また、
測定信号出力手段によって、出力電流が電圧に変換さ
れ、測定信号として出力される。出力電流の一部は、分
流回路によって、サーミスタを介して分流される。これ
により、温度上昇に伴って分流回路の抵抗値が減少して
出力電流が増加し、温度上昇に伴って減少するゲインが
補償される。
【0033】本発明の磁気センサ装置または電流センサ
装置において、帰還手段は、出力電流を用いて帰還磁界
を発生させると共に、電流経路における負荷となる帰還
コイルを含んでいてもよい。
【0034】本発明の磁気センサ装置または電流センサ
装置において、磁気センサ部は、フラックスゲート素子
を含んでいてもよい。
【0035】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。 [第1の実施の形態]図1は、本発明の第1の実施の形
態に係る磁気センサ装置の構成を示す回路図である。こ
の磁気センサ装置1は、電源入力端2と、参照電圧入力
端17と、非反転入力端が参照電圧入力端17に接続さ
れ、反転入力端が出力端に接続されたオペアンプ18と
を備えている。電源入力端2には、電源電圧Vdが印加
されるようになっている。参照電圧入力端17には、外
部より参照電圧が与えられるようになっている。
【0036】磁気センサ装置1は、更に、非反転入力端
がオペアンプ18の出力端に接続されたオペアンプ21
と、一端がオペアンプ21の反転入力端に接続され、他
端が出力端に接続された抵抗22と、一端がオペアンプ
21の反転入力端に接続され、他端が接地された抵抗2
3とを備えている。オペアンプ21は、基準電圧Vpを
生成するようになっている。
【0037】磁気センサ装置1は、更に、基準電圧入力
端がオペアンプ21の出力端に接続された磁気センサ部
5と、この磁気センサ部5の近傍に配置されると共に、
一端がオペアンプ21の出力端に接続された帰還コイル
6と、非反転入力端が磁気センサ部5の出力端に接続さ
れたオペアンプよりなる帰還増幅器7と、一端がオペア
ンプ21の出力端に接続され、他端が帰還増幅器7の非
反転入力端に接続された抵抗8と、一端がオペアンプ2
1の出力端に接続され、他端が帰還増幅器7の反転入力
端に接続された抵抗9と、一端が帰還増幅器7の反転入
力端に接続され、他端が帰還増幅器7の出力端に接続さ
れた抵抗10と、一端が帰還増幅器7の出力端に接続さ
れ、他端が帰還コイル6の他端に接続された電流検出抵
抗11とを備えている。
【0038】磁気センサ装置1は、更に、一端が抵抗1
1の一端に接続された抵抗12と、一端が抵抗11の他
端に接続された抵抗13と、反転入力端が抵抗12の他
端に接続され、非反転入力端が抵抗13の他端に接続さ
れたオペアンプよりなる差動増幅器14と、一端が差動
増幅器14の反転入力端に接続され、他端が差動増幅器
14の出力端に接続された抵抗15と、一端がオペアン
プ18の出力端に接続され、他端が差動増幅器14の非
反転入力端に接続された抵抗19と、差動増幅器14の
出力端に接続された測定信号出力端16とを備えてい
る。
【0039】磁気センサ装置1は、更に、帰還コイル6
に対して並列に接続された分流回路24を備えている。
分流回路24は、直列に接続されたサーミスタ25と抵
抗26とを有している。この分流回路24において、抵
抗26は、温度変化に対する分流回路24全体の抵抗変
化率を調整するために設けられる。サーミスタ25と抵
抗26の位置関係は、図1に示した状態と逆でもよい。
【0040】なお、分流回路24の構成は、図1に示し
たようにサーミスタ25と抵抗26を直列に接続した構
成に限らず、例えば、図2に示したように、サーミスタ
25と抵抗27を並列に接続した構成でもよいし、図3
に示したように、サーミスタ25と抵抗28を直列に接
続し、更にサーミスタ25に対して抵抗29を並列に接
続した構成でもよい。図2または図3における、抵抗2
7,28,29は、温度変化に対する分流回路24全体
の抵抗変化率を調整するために設けられる。
【0041】オペアンプ21、帰還増幅器7、差動増幅
器14およびオペアンプ18の各電源入力端は電源入力
端2に接続され、各接地端は接地されている。
【0042】磁気センサ装置1の測定信号出力端16よ
り出力される測定信号は、この測定信号をアナログ−デ
ジタル変換(以下、A/D変換と言う。)するA/D変
換器31に入力されるようになっている。このA/D変
換器31より出力されるデジタルの測定信号は、例え
ば、このデジタルの測定信号を処理するCPU(中央処
理装置)33に入力されるようになっている。A/D変
換器31には、基準電圧源32より、精度と安定度の高
い基準電圧が供給されるようになっている。なお、基準
電圧源32は、A/D変換器31に内蔵されていてもよ
いし、A/D変換器31の外部に設けられていてもよ
い。基準電圧源32としては、例えばバンドギャップ型
基準電圧発生回路が用いられる。
【0043】磁気センサ装置1の参照電圧入力端17に
は、参照電圧Vrefとして、基準電圧源32より発生さ
れるA/D変換器31用の基準電圧が印加されるように
なっている。
【0044】本実施の形態において、帰還増幅器7は本
発明における変換手段に対応し、抵抗11および帰還コ
イル6は本発明における帰還手段に対応し、抵抗11お
よび差動増幅器14は本発明における測定信号出力手段
に対応する。
【0045】図4は、図1における磁気センサ部5の構
成の一例を示す回路図である。この例における磁気セン
サ部5は、磁気センサ素子として、インダクタンス変化
型の磁気センサ素子、すなわちフラックスゲート素子を
有している。このフラックスゲート素子は、磁芯51
と、この磁芯51に巻回されたセンサコイル52とを含
んでいる。磁気センサ部5は、更に、一端がセンサコイ
ル52の一端に接続されたコンデンサ53と、コンデン
サ53の他端に接続された励振回路54と、一端がセン
サコイル52の他端に接続され、他端が磁気センサ部5
の基準電圧入力端に接続されたインダクタンス素子55
とを有している。インダクタンス素子55は、センサコ
イル52のインダクタンス値の変化を検出するためのも
のであり、例えばコイルよりなる。なお、図4では、励
振回路54の電源および接地端子は図示していない。
【0046】磁気センサ部5は、更に、一端がセンサコ
イル52とインダクタンス素子55との接続点に接続さ
れたコンデンサ56と、一端がコンデンサ56の他端に
接続され、他端が磁気センサ部5の基準電圧入力端に接
続された抵抗57とを有している。コンデンサ56と抵
抗57は、インダクタンス素子55の両端に発生する電
圧を微分する微分回路を構成している。
【0047】磁気センサ部5は、更に、入力端がコンデ
ンサ56と抵抗57との接続点に接続された正ピークホ
ールド回路58と、入力端がコンデンサ56と抵抗57
との接続点に接続された負ピークホールド回路59と、
各入力端がそれぞれ正ピークホールド回路58の出力端
と負ピークホールド回路59の出力端に接続された加算
回路60とを有している。正ピークホールド回路58
は、微分回路の出力信号の正のピーク値をホールドし、
負ピークホールド回路59は、微分回路の出力信号の負
のピーク値をホールドする。加算回路60は、正ピーク
ホールド回路58の出力信号と負ピークホールド回路5
9の出力信号とを加算して、磁気センサ部5の出力端よ
り出力する。
【0048】図4に示した磁気センサ部5では、励振回
路54によって、磁気センサ部5に印加される電源電圧
Vdに基づいて励振電流が生成される。この励振電流
は、センサコイル52およびインダクタンス素子55を
流れる。励振電流は、ピーク時には磁芯51が飽和領域
に入るような交流電流とする。なお、本出願において、
磁芯の飽和領域とは、磁界の絶対値が、磁芯の透磁率が
最大透磁率となるときの磁界の絶対値より大きい領域を
いう。励振電流のピーク値付近で磁芯51が飽和領域に
達すると、センサコイル52のインダクタンス値が急減
するため、励振電流は急増する。励振電流の波形を2回
微分すれば、急増した部分の電流波形に相似な逆位相の
出力を検出することができる。
【0049】励振電流はインダクタンス素子55および
微分回路で2回微分され、微分回路より、励振電流の正
負の各ピーク値を表す、互いに逆極性のスパイク状電圧
信号が出力される。この正負のスパイク状電圧信号の各
ピーク値は、正ピークホールド回路58および負ピーク
ホールド回路59によってホールドされ、加算回路60
によって加算されて、被測定磁界に対応した出力信号と
して磁気センサ部5の出力端より出力される。
【0050】次に、本実施の形態に係る磁気センサ装置
1の作用について説明する。この磁気センサ装置では、
電源入力端2に電源電圧Vdが印加され、この電源電圧
Vdによって各回路部分が動作している。すなわち、各
回路部分は単極性電源によって駆動されている。
【0051】また、参照電圧入力端17には、参照電圧
Vrefとして、基準電圧源32より発生されるA/D変
換器31用の基準電圧が印加される。オペアンプ18は
ボルテージフォロワを構成しており、オペアンプ18の
出力端の電位は参照電圧Vrefと等しい。オペアンプ1
8の出力端より出力される参照電圧Vrefは、抵抗19
を介して差動増幅器14の非反転入力端に印加されると
共に、オペアンプ21の非反転入力端に印加される。
【0052】オペアンプ21は、参照電圧Vrefを所定
の増幅度Gで増幅して基準電圧Vpを生成する。抵抗2
2の抵抗値をR1とし、抵抗23の抵抗値をR2とする
と、オペアンプ21の増幅度Gは、1+R1/R2とな
る。オペアンプ21の出力端より出力される基準電圧V
pは、磁気センサ部5の基準電圧入力端と、帰還コイル
6、抵抗8,9の各一端に印加される。
【0053】磁気センサ部5は、その出力端より、被測
定磁界に応じた信号を、帰還増幅器7の非反転入力端に
対して出力する。帰還増幅器7は、基準電圧Vpを基準
として被測定磁界に応じて変化する出力電圧を生成す
る。被測定磁界がゼロのときには帰還増幅器7の出力電
圧は基準電圧Vpと等しい。
【0054】帰還増幅器7から抵抗11を経て帰還コイ
ル6に至るまで帰還電流経路が形成されている。この帰
還電流経路では、帰還増幅器7の出力電圧と基準電圧V
pとの差に応じて出力電流が発生する。従って、帰還増
幅器7は、磁気センサ部5の出力信号を出力電流に変換
していると言える。出力電流は、帰還増幅器7の出力電
圧が基準電圧Vpより大きいか小さいかに応じて正逆両
方向に流れる。出力電流の一部は、帰還電流として帰還
コイル6に供給される。帰還コイル6は、帰還電流に応
じて、被測定磁界と絶対値が等しく、被測定磁界に対し
て逆極性となる帰還磁界を発生する。
【0055】帰還電流経路に挿入された抵抗11の両端
間に発生した電圧(電位差)は、コモンモード電圧とし
ての基準電圧Vpに重畳されて、差動増幅器14に入力
される。差動増幅器14は、被測定磁界に対応すると共
に、コモンモード電圧Vpが除去された信号を出力す
る。差動増幅器14の非反転入力端には、抵抗19を介
して参照電圧Vrefが印加されている。従って、差動増
幅器14の出力信号、すなわち信号出力端16より出力
される測定信号は、参照電圧Vrefを基準として被測定
磁界に応じて変化する単極性の信号となる。
【0056】なお、本実施の形態に係る磁気センサ装置
1では、分流回路24を除いた場合には、温度上昇に伴
ってゲインが減少するものとする。
【0057】本実施の形態では、帰還磁界を発生させる
と共に帰還電流経路における負荷となる帰還コイル6に
対して並列に分流回路24が設けられている。この分流
回路24は、出力電流の一部をサーミスタ25を介して
分流する。なお、分流回路24によって出力電流の一部
を分流するためには、帰還コイル6の抵抗値がある程度
大きいことが必要であるが、帰還コイル6の抵抗値は、
通常、数十オームあるので十分である。
【0058】本実施の形態では、温度が上昇すると、分
流回路24の抵抗値は減少し、その結果、抵抗11を流
れる出力電流は増加し、抵抗11の両端間の電圧は増加
する。これにより、温度上昇に伴って減少するゲインが
補償される。
【0059】また、本実施の形態では、オペアンプ21
によって、電源電圧Vdに依らずに、外部より与えられ
る参照電圧Vrefに基づいて基準電圧Vpを生成してい
る。参照電圧Vrefには、基準電圧源32より発生され
るA/D変換器31用の基準電圧が用いられている。一
般に、A/D変換器で用いられる基準電圧の精度と安定
度は非常に高い。従って、本実施の形態における参照電
圧Vrefは、磁気センサ装置1に供給される電源電圧V
dとは独立した、精度と安定度の高い電圧であり、電源
電圧Vdの変動の影響を全く受けない。その結果、参照
電圧Vrefに基づいて生成される基準電圧Vpも、電源
電圧Vdの変動の影響を受けない、精度と安定度の高い
電圧となる。従って、本実施の形態では、差動増幅器1
4のコモンモード抑圧比を決定する抵抗12,13,1
5,19の抵抗値のバランスが完全でなくとも、差動増
幅器14より出力される測定信号が、電源電圧Vdの変
動に伴って変動することはない。
【0060】ところで、本実施の形態において、オペア
ンプ21は、参照電圧Vrefと基準電圧Vpとの比を1
以外の一定値にしてもよいし、基準電圧Vpを参照電圧
Vrefと等しくしてもよい。
【0061】なお、基準電圧Vpは帰還増幅器7の動作
のゼロ点を決定する。一般に、参照電圧Vrefは2.5
Vのことが多く、電源電圧Vdの最小値は8V程度のこ
とが多い。そのため、参照電圧Vrefを2.5V、電源
電圧Vdを8Vとした場合には、基準電圧Vpを参照電
圧Vrefと等しくすると、帰還増幅器7の動作のゼロ点
が2.5Vとなり、帰還増幅器7の低圧側の動作範囲が
減少する。従って、基準電圧Vpは、電源電圧Vdの1
/2程度、すなわち4V程度にしたほうがよい。本実施
の形態では、一例として、オペアンプ21によって、
2.5Vの参照電圧Vrefを1.6倍に増幅して、4V
の基準電圧Vpを生成する。この場合、図6に示した磁
気センサ装置に比べて、新たに増えるのは抵抗22,2
3だけであり、磁気センサ装置1の価格の上昇はほとん
どない。
【0062】基準電圧Vpを参照電圧Vrefと等しくす
る場合には、R1=0、R2=∞とすればよいので、抵抗
22,23も不要となり、図6に示した磁気センサ装置
に比べて、磁気センサ装置1の価格の上昇は全くなくな
る。なお、この場合には、オペアンプ21はボルテージ
フォロワを構成する。
【0063】以上説明したように、本実施の形態に係る
磁気センサ装置1によれば、帰還コイル6に対して並列
に、出力電流の一部をサーミスタ25を介して分流する
分流回路24を設けたので、簡単な構成で、温度上昇に
伴ってゲインが減少する場合におけるゲインの補正を行
うことができる。すなわち、本実施の形態では、抵抗1
1の両端間の電圧を取り出して出力電圧とする回路を1
段の差動増幅器14によって構成することができると共
に、使用するサーミスタ25も1個でよい。従って、価
格の上昇を抑えながら、ゲインの補正を行うことができ
る。更に、本実施の形態では、サーミスタ25の挿入に
よって差動増幅器14の差動バランスを崩すこともな
い。
【0064】また、本実施の形態に係る磁気センサ装置
1によれば、単極性の電源で動作して単極性の測定信号
を出力できると共に、簡単な構成で電源電圧の変動に伴
う測定信号の変動を抑制することができる。
【0065】また、本実施の形態において、参照電圧V
refと基準電圧Vpとの比を1以外の一定値にする場合
には、帰還増幅器7の動作のゼロ点を適当な電位に設定
することが可能になる。
【0066】また、本実施の形態において、基準電圧V
pを参照電圧Vrefと等しくする場合には、磁気センサ
装置1の構成をより簡単にすることが可能になる。
【0067】[第2の実施の形態]図5は、本発明の第
2の実施の形態に係る電流センサ装置の構成を示す回路
図である。本実施の形態に係る電流センサ装置は、第1
の実施の形態に係る磁気センサ装置を用いて構成されて
いる。
【0068】本実施の形態に係る電流センサ装置41
は、被測定対象としての被測定電流が通過する導電部4
2を囲うように設けられ、一部にギャップを有する磁気
ヨーク43を備えている。そして、磁気ヨーク43のギ
ャップ内に、第1の実施の形態に係る磁気センサ装置に
おける磁気センサ部5が配置されている。
【0069】本実施の形態の電流センサ装置では、導電
部42を図5における紙面に垂直な方向に流れる被測定
電流によって発生する磁束が、磁気ヨーク43によって
収束され、磁気ヨーク43を通過する。その結果、磁気
ヨーク43のギャップ内に、被測定磁界が発生する。磁
気ヨーク43のギャップ内に配置された磁気センサ部5
は、被測定電流によって発生する被測定磁界の値に応じ
て変化する信号を出力する。これにより、被測定電流が
非接触で測定される。
【0070】本実施の形態におけるその他の構成、作用
および効果は、第1の実施の形態と同様である。
【0071】なお、本発明は、上記各実施の形態に限定
されず、種々の変更が可能である。例えば、磁気センサ
部は、フラックスゲート素子を含むものに限らず、ホー
ル素子等の他の磁気センサ素子を含むものであってもよ
い。
【0072】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気セン
サ装置または電流センサ装置によれば、出力電流の電流
経路における負荷に対して並列に、出力電流の一部をサ
ーミスタを介して分流する分流回路を設けたので、簡単
な構成で、温度上昇に伴ってゲインが減少する場合にお
けるゲインの補正を行うことができるという効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサ装
置の構成を示す回路図である。
【図2】図1における分流回路の他の構成の例を示す回
路図である。
【図3】図1における分流回路の更に他の構成の例を示
す回路図である。
【図4】図1における磁気センサ部の構成の一例を示す
回路図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態に係る電流センサ装
置の構成を示す回路図である。
【図6】温度上昇に伴って減少するゲインを補償するよ
うにした磁気センサ装置の構成の一例を示す回路図であ
る。
【図7】他の方法を用いて温度上昇に伴って減少するゲ
インを補償するようにした磁気センサ装置の要部を示す
回路図である。
【符号の説明】
1…磁気センサ装置、2…電源入力端、5…磁気センサ
部、6…帰還コイル、7…帰還増幅器、11…電流検出
抵抗、14…差動増幅器、16…測定信号出力端、17
…参照電圧入力端、18…オペアンプ、21…オペアン
プ、24…分流回路、25…サーミスタ、26…抵抗。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定磁界の値に応じて変化する信号を
    出力する磁気センサ部と、 前記磁気センサ部の出力信号を出力電流に変換する変換
    手段と、 前記変換手段によって得られる出力電流を用いて、被測
    定磁界と絶対値が等しく、被測定磁界に対して逆極性と
    なる帰還磁界を発生させる帰還手段と、 前記出力電流を電圧に変換し、測定信号として出力する
    測定信号出力手段と、 前記出力電流の電流経路における負荷に対して並列に接
    続され、前記出力電流の一部をサーミスタを介して分流
    する分流回路とを備えたことを特徴とする磁気センサ装
    置。
  2. 【請求項2】 前記帰還手段は、前記出力電流を用いて
    前記帰還磁界を発生させると共に、前記電流経路におけ
    る負荷となる帰還コイルを含むことを特徴とする請求項
    1記載の磁気センサ装置。
  3. 【請求項3】 前記磁気センサ部は、フラックスゲート
    素子を含むことを特徴とする請求項1または2記載の磁
    気センサ装置。
  4. 【請求項4】 被測定電流によって発生する被測定磁界
    の値に応じて変化する信号を出力する磁気センサ部と、 前記磁気センサ部の出力信号を出力電流に変換する変換
    手段と、 前記変換手段によって得られる出力電流を用いて、被測
    定磁界と絶対値が等しく、被測定磁界に対して逆極性と
    なる帰還磁界を発生させる帰還手段と、 前記出力電流を電圧に変換し、測定信号として出力する
    測定信号出力手段と、 前記出力電流の電流経路における負荷に対して並列に接
    続され、前記出力電流の一部をサーミスタを介して分流
    する分流回路とを備えたことを特徴とする電流センサ装
    置。
  5. 【請求項5】 前記帰還手段は、前記出力電流を用いて
    前記帰還磁界を発生させると共に、前記電流経路におけ
    る負荷となる帰還コイルを含むことを特徴とする請求項
    4記載の電流センサ装置。
  6. 【請求項6】 前記磁気センサ部は、フラックスゲート
    素子を含むことを特徴とする請求項4または5記載の電
    流センサ装置。
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