JP2002064263A - Printed wiring board and its manufacturing method - Google Patents

Printed wiring board and its manufacturing method

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JP2002064263A
JP2002064263A JP2000250767A JP2000250767A JP2002064263A JP 2002064263 A JP2002064263 A JP 2002064263A JP 2000250767 A JP2000250767 A JP 2000250767A JP 2000250767 A JP2000250767 A JP 2000250767A JP 2002064263 A JP2002064263 A JP 2002064263A
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filling
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泰志 墨
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed wiring board having proper hole-filling properties and high reliability. SOLUTION: A plurality of through-holes 3, 4, etc., of different diameters are formed on a board 2. A through-hole plating 5 is applied to the large- diameter through-holes 3 and the small-diameter through-holes 4 to make conductive the front side and the backside of the board 2. Filling materials 6 and 7 contain at least a thermoplastic resin component, such as epoxy resin and a filler component, such as silica fillers. The filler in the filling material 6, filled in the large-diameter through-holes 3 has a lower grain size standard deviation than that of the filler in the filling material 7, filled in the small- diameter through-holes 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、スルーホールメッ
キによりコア基板の裏表の導通を取り、該スルーホール
内が充填材により穴埋めされたプリント配線基板、及び
その製造方法に関する。特に、孔径の異なるスルーホー
ルを同一基板内に形成させる場合、さらにはスルーホー
ル内に小径のスルーホールを同軸的に形成させる場合に
有用で、MPU用ICパッケージ等、高い信頼性が要求
されるプリント配線基板として使用可能である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board in which conduction between the front and back of a core substrate is achieved by through-hole plating and the inside of the through-hole is filled with a filler, and a method of manufacturing the same. In particular, it is useful when forming through holes with different hole diameters in the same substrate, and furthermore, when forming a small diameter through hole coaxially in the through hole, and high reliability is required for an MPU IC package or the like. It can be used as a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】多層プリント配線基板の製造方法には、
次のような方法がある。まず、コア基板となる銅張積層
板等にスルーホールとなる貫通孔を開けたのち、内壁を
メッキ(スルーホールメッキ)して導体層を形成する。
このスルーホールは、スルーホール充填用ペーストにて
穴埋めされる。こうして基板を平坦にした後、上層に絶
縁層及び導体層を交互にビルドアップすることで多層プ
リント配線基板が得られる。
2. Description of the Related Art A method for manufacturing a multilayer printed wiring board includes:
There are the following methods. First, a through-hole serving as a through-hole is formed in a copper-clad laminate or the like serving as a core substrate, and then an inner wall is plated (through-hole plating) to form a conductor layer.
This through hole is filled with a paste for filling the through hole. After the substrate is flattened in this way, a multilayer printed wiring board is obtained by alternately building up an insulating layer and a conductor layer on the upper layer.

【0003】上記のような方法で製造されるプリント配
線基板は、スルーホールメッキとスルーホール充填材と
の界面で剥離が生じると、剥離した隙間にメッキ液等が
しみ込んだり、信頼性試験で剥離を起点として上層のビ
ルドアップ層にクラックが進展し、不良となることがあ
る。このため、スルーホールメッキの表面に凹凸を形成
し、界面の密着性を上げる方法が知られている。
In a printed wiring board manufactured by the above method, when peeling occurs at the interface between the through-hole plating and the through-hole filler, a plating solution or the like soaks into the peeled gap or peels off in a reliability test. In some cases, cracks may develop in the upper build-up layer from the starting point, resulting in failure. For this reason, a method is known in which unevenness is formed on the surface of through-hole plating to improve the adhesion at the interface.

【0004】一方、近年の配線回路の微細化に伴い、ス
ルーホールの径を小さくする手法としてレーザーによる
微細なスルーホール加工が知られている(例えば、特開
昭61−176186等)。さらに、レーザー加工のコ
ストを抑えるために、機械ドリル加工とレーザー加工の
両方を用いた配線基板や、大径のスルーホール中に小径
のスルーホールを形成し、小型化あるいは電気特性の向
上を図った配線基板(例えば、特開昭56−10049
4、特開平4−317359等)など、一つの基板内に
径の異なるスルーホールが混在したプリント配線基板が
求められている。
On the other hand, with the recent miniaturization of wiring circuits, fine through-hole processing with a laser is known as a technique for reducing the diameter of the through-hole (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-176186). Furthermore, in order to reduce the cost of laser processing, wiring boards that use both mechanical drilling and laser processing, and small-diameter through-holes formed in large-diameter through-holes, are used to reduce the size or improve electrical characteristics. Wiring board (for example, see Japanese Unexamined Patent Publication No.
4, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-317359, etc.) are demanded for printed wiring boards in which through holes having different diameters are mixed in one board.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】スルーホールにスルー
ホール充填用ペーストを穴埋めするのに、一般的にスク
リーン印刷法が用いられている。しかし、レーザー加工
による小径でアスペクト比(=スルーホールの長さ/ス
ルーホールの直径)が大きく、スルーホールメッキの表
面に凹凸が形成されたスルーホールに穴埋めする場合、
基板の裏面まで十分に穴埋めできない場合がある。
In order to fill a through-hole with a paste for filling the through-hole, a screen printing method is generally used. However, when filling in a through hole with a small diameter by laser processing, a large aspect ratio (= length of through hole / diameter of through hole), and irregularities formed on the surface of the through hole plating,
In some cases, it may not be possible to sufficiently fill the back surface of the substrate.

【0006】このような不具合を防止するために、基板
表面から重ね塗りして押し込む方法や、裏面印刷で基板
裏面の未充填を補う方法が考えられるが、これらの方法
ではいずれもスルーホール中に大きなボイドが発生して
しまい、後の工程や信頼性試験で不具合が発生してしま
う場合がある。また、穴埋め充填性を上げるためには穴
埋めペーストの粘度を下げれば良いと考えられるが、そ
れだけでは十分な効果は得られない。
To prevent such inconveniences, there are conceivable a method of applying an overcoat from the surface of the substrate and pushing it in, and a method of compensating for unfilling of the back surface of the substrate by printing on the back surface. A large void may be generated, and a defect may occur in a later process or a reliability test. Although it is considered that the viscosity of the filling paste should be reduced in order to enhance the filling property, the sufficient effect cannot be obtained by itself.

【0007】本発明の課題は、異なる孔径のスルーホー
ルを備えたプリント配線基板において、孔径によってそ
れぞれ最適なペーストを充填することで、良好な穴埋め
性と高い信頼性を備えるプリント配線基板を提供するこ
とにある。
An object of the present invention is to provide a printed wiring board having good hole filling properties and high reliability by filling an optimum paste according to the hole diameter in a printed wiring board having through holes having different hole diameters. It is in.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段及び作用・効果】上記の課
題を解決するために、本発明に係るプリント配線基板
は、複数のスルーホールを備え、孔径の異なる少なくと
も2つのスルーホールについて、大径スルーホールに充
填される充填材料中のフィラーの粒径標準偏差が、小径
スルーホールに充填される充填材料中のフィラーの粒径
標準偏差よりも小さいことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a printed wiring board according to the present invention has a plurality of through-holes, and at least two through-holes having different hole diameters have a large diameter. It is characterized in that the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material filled in the through hole is smaller than the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material filled in the small through hole.

【0009】また、本発明に係るプリント配線基板の製
造方法の第一は、複数のスルーホールを備え、該スルー
ホール内に充填用材料(前駆体材料:例えばペースト状
のもの)を充填硬化して製造されるプリント配線基板の
製造方法において、孔径の異なる少なくとも2つのスル
ーホールについて、大径スルーホールに充填する充填用
材料中のフィラーの粒径標準偏差が、小径スルーホール
に充填する充填用材料中のフィラーの粒径標準偏差より
も小さいことを特徴とする。なお、充填用材料は、例え
ば未硬化の熱硬化性樹脂とフィラーとを含むスルーホー
ル充填用ペーストとすることができる。
A first method of manufacturing a printed wiring board according to the present invention comprises a plurality of through holes, in which a filling material (precursor material: for example, a paste) is filled and cured. In the method of manufacturing a printed wiring board manufactured by the method, the standard deviation of the particle diameter of the filler in the filling material to be filled in the large-diameter through-hole is at least two through-holes having different hole diameters. It is characterized by being smaller than the standard deviation of the particle size of the filler in the material. The filling material can be a through-hole filling paste containing, for example, an uncured thermosetting resin and a filler.

【0010】上記本発明によると、孔径の異なるスルー
ホールに、それぞれ最適な充填用材料を充填硬化させる
ことで、良好な穴埋め充填性を確保でき、信頼性の高い
プリント配線基板を製造することが可能となる。充填材
料中のフィラーの粒径標準偏差は、フィラーの粒度分布
を反映した値であり、該標準偏差の値が小さいものほど
フィラーが偏在しやすく、大きいものほどフィラーがよ
り均一に分散しやすい傾向にある。内径が相対的に小さ
い小径スルーホールにおいては、粒径標準偏差の大きい
フィラーを使用することで、充填されるフィラーが良好
に分散してスルーホール内に詰まり難くなるため、充填
材料の充填性が向上する。
According to the present invention, by filling and hardening the optimum filling material into the through holes having different hole diameters, it is possible to secure good filling and filling properties and to manufacture a highly reliable printed wiring board. It becomes possible. The standard deviation of the particle size of the filler in the filling material is a value reflecting the particle size distribution of the filler.The smaller the value of the standard deviation, the easier the uneven distribution of the filler, and the larger the standard deviation, the more easily the filler tends to be more uniformly dispersed. It is in. For small diameter through holes with relatively small inner diameters, the use of fillers with a large standard deviation of the particle size allows the filler to be dispersed well and makes it difficult for the through holes to be clogged. improves.

【0011】他方、内径が相対的に大きい大径スルーホ
ールにおいては、粒径標準偏差が大きすぎるフィラーを
採用すると、スルーホール内のフィラーの体積充填率が
不足して、硬化後の充填材料に大きな凹みが発生する場
合がある。しかしながら、大径スルーホールでは、充填
すべきフィラーの全体積に対するスルーホール内面積の
相対比率が増すため、壁面摩擦によるスルーホール内へ
のフィラーの詰まりが小径スルーホールほどには生じに
くい。そこで、本発明では、大径のスルーホールにおい
てはフィラーの粒径標準偏差が相対的に小さい充填用材
料を使用することで、スルーホール内のフィラーの体積
充填率を増加させ、上記の凹み発生を防止ないし抑制し
ている。すなわち、小径のスルーホールにおいてはフィ
ラーの粒径標準偏差が相対的に大きい充填用材料を使用
し、大径のスルーホールにおいてはフィラーの粒径標準
偏差が相対的に小さい充填用材料を使用してプリント配
線基板を製造することで、印刷充填性の向上と、硬化後
に穴埋め材(充填材料)に発生する凹みの抑制とを両立
させることが可能となる。
On the other hand, in a large-diameter through-hole having a relatively large inner diameter, if a filler having a too large standard deviation of the particle size is employed, the volume filling rate of the filler in the through-hole becomes insufficient, and the filler material after curing becomes harder. Large dents may occur. However, in a large-diameter through-hole, the relative ratio of the area in the through-hole to the total volume of the filler to be filled increases, so that clogging of the filler in the through-hole due to wall friction is less likely to occur as in a small-diameter through-hole. Therefore, in the present invention, by using a filling material having a relatively small filler particle diameter standard deviation in a large-diameter through-hole, the volume filling rate of the filler in the through-hole is increased, and the above-described dent generation Is prevented or suppressed. In other words, a filling material having a relatively large standard deviation of the filler particle size is used for small-diameter through holes, and a filling material having a relatively small standard deviation of the filler particle size is used for large-diameter through holes. By manufacturing a printed wiring board by using this method, it is possible to achieve both improvement in print filling properties and suppression of dents generated in the filling material (filling material) after curing.

【0012】なお、フィラーの粒径標準偏差は、基板ス
ルーホール内の硬化後の充填材料部分の断面を光学顕微
鏡あるいは走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察し、そ
の観察画像中に現われる粒子寸法に基づいて算出するこ
とができる。本実施例においてフィラーの粒子寸法(粒
径)とは、上記観察画像中に現われる粒子外形線に対
し、粒子内部を横切らない外接平行線を種々の位置関係
にて引いたときの、その最大間隔をdmax、最小間隔を
dminとして、(dmax+dmin)/2の値として定義す
る。
The standard deviation of the particle size of the filler is determined by observing the cross section of the cured filling material portion in the through hole of the substrate with an optical microscope or a scanning electron microscope (SEM), and measuring the particle size appearing in the observed image. Can be calculated based on In this example, the particle size (particle size) of the filler refers to the maximum distance between the external shape of the particle appearing in the observed image and a circumscribed parallel line that does not cross the inside of the particle in various positional relationships. Is defined as dmax and the minimum interval is defined as dmin, and is defined as a value of (dmax + dmin) / 2.

【0013】次に、本発明のプリント配線基板の製造方
法の第二は、充填用材料(スルーホール充填用ペースト
(以下、単にペーストとも言う))を少なくとも熱硬化
性樹脂とフィラーとを含むものとし、充填用材料中のフ
ィラーの体積含有率をV、フィラーの充填率をDT
/D、フィラーのタップ密度をDT、フィラーの真
密度をDとし、Y=V/(DT/D)として、
小径スルーホールに充填硬化する充填用材料のYの値
が、大径スルーホールに充填硬化する充填用材料のYの
値よりも小さいことを特徴とする。なお、この場合に、
大径スルーホールに充填する充填用材料中のフィラーの
粒径標準偏差が、小径スルーホールに充填する充填用材
料中のフィラーの粒径標準偏差よりも小さい各充填用材
料を用いることもできる。
Next, the second method of the present invention for producing a printed wiring board is to provide a filling material (a paste for filling through holes (hereinafter also simply referred to as a paste)) containing at least a thermosetting resin and a filler. , The volume content of the filler in the filling material is V F , and the filling rate of the filler is DT F
/ D F, the tap density of the filler DT F, the true density of the filler and D F, as Y = V F / (DT F / D F),
It is characterized in that the value of Y of the filling material that fills and hardens the small-diameter through hole is smaller than the value of Y of the filling material that fills and hardens the large-diameter through hole. In this case,
Each filling material in which the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material to be filled in the large-diameter through hole is smaller than the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material to be filled in the small-diameter through hole can also be used.

【0014】上記本発明の製造方法の第二は、スルーホ
ール中への粉末充填密度の観点から捉えたものであり、
(DT/D)溶媒や樹脂を加えない状態で乾式測定
した、フィラーの相対タップ密度、つまり理想的にフィ
ラーを充填したときの限界充填密度に対応する指標であ
る。従って、Y=V/(DT/D)の値は、実際
の充填用材料において、限界充填密度を基準としてどの
程度の比率までフィラーが含有されているかを表す。Y
の値が小さいほど、充填用材料中のフィラーが限界充填
密度から隔たった相対的に少ない充填率に留められてい
ることを意味し、その分だけスルーホール内でフィラー
が詰まり難く、印刷充填性が向上し、良好な穴埋め充填
性が得られることになる。すなわち、フィラー詰まりを
起こしやすい小径のスルーホールにおいて有利となる。
一方、大径のスルーホールではフィラー詰まりはそれほ
ど生じにくいことから、Yの値が極端に小さいフィラー
を用いると、硬化後の穴埋め材(充填材料)に発生する
凹みが大きくなり、却って不利となる場合がある。
The second of the above-mentioned production method of the present invention is taken from the viewpoint of the powder packing density in through holes,
(DT F / D F ) This is an index corresponding to the relative tap density of the filler, that is, the critical packing density when the filler is ideally filled, which is measured by dry measurement without adding a solvent or a resin. Therefore, the value of Y = V F / (DT F / D F) represents the actual filling material, or filler to what extent the ratio based on the limit packing density is contained. Y
The smaller the value of, the smaller the filling ratio of the filler in the filling material, which is separated from the critical packing density, means that the filler is less likely to be clogged in the through-holes, and the printability Is improved, and good filling and filling properties can be obtained. That is, it is advantageous in a small-diameter through-hole in which filler clogging is likely to occur.
On the other hand, since clogging of the filler is unlikely to occur in a large-diameter through-hole, the use of a filler having an extremely small Y value results in a large dent generated in the hole filling material (filling material) after curing, which is rather disadvantageous. There are cases.

【0015】そこで、大径のスルーホールにおいてはY
の値が相対的に大きいペーストを、小径のスルーホール
においてはYの値が相対的に小さいペーストを使用する
ことで、製造されるプリント配線基板の印刷充填性を向
上させ、且つ硬化後の穴埋め材に発生する凹みを抑制す
ることが可能となった。なお、Yの値が0.4〜1.3
であって、その範囲にて前記小径スルーホールに充填硬
化する充填材料のYの値が、前記大径スルーホールに充
填硬化する充填材料のYの値よりも小さいものとするの
が、良好な穴埋め充填性を確保する上で好ましい。
Therefore, in a large diameter through hole, Y
By using a paste having a relatively large value of Y and a paste having a relatively small Y value in a small-diameter through hole, it is possible to improve the print filling property of a printed wiring board to be manufactured and to fill the hole after curing. It has become possible to suppress dents occurring in the material. Note that the value of Y is 0.4 to 1.3.
In this range, the value of Y of the filling material that fills and hardens the small-diameter through hole is preferably smaller than the value of Y of the filling material that hardens and fills the large-diameter through hole. It is preferable to ensure filling and filling.

【0016】大径スルーホールは、例えば機械ドリル加
工によって形成することができる。その直径は250μ
m以上(通常1mm以下)、好ましくは250〜500
μm、より好ましくは250〜350μmとすることが
できる。その場合、大径スルーホールに充填硬化される
ペーストのYの値が0.7以上、1.3以下、好ましく
は0.7以上、1.2以下であると良い。Yの値が1.
3を超えるとペーストの流動性が極端に低下し、穴埋め
充填性が大きく低下する場合がある。また、Yの値が
0.7未満であると充填硬化後に穴埋め材(充填材料)
に発生する凹みが大きくなってしまう場合がある。
The large-diameter through hole can be formed by, for example, mechanical drilling. Its diameter is 250μ
m or more (usually 1 mm or less), preferably 250 to 500
μm, more preferably 250 to 350 μm. In this case, the value of Y of the paste filled and cured in the large-diameter through-hole is preferably 0.7 or more and 1.3 or less, and more preferably 0.7 or more and 1.2 or less. If the value of Y is 1.
If it exceeds 3, the fluidity of the paste may be extremely reduced, and the filling and filling properties may be significantly reduced. When the value of Y is less than 0.7, the filling material (filling material) after filling and curing.
In some cases, the dent that occurs on the surface becomes large.

【0017】小径スルーホールは、例えばレーザー加工
によって形成することができる。その直径は250μm
未満(通常50μm以上)となる。その場合、小径スル
ーホールに充填硬化されるペーストのYの値が0.4以
上、0.7未満、好ましくは0.4以上、0.6以下で
あると良い。Yの値が0.7以上であると印刷充填性が
低下し、ペースト(結果的には硬化した充填材料)が十
分に充填されていないスルーホールが発生する場合があ
る。なお、小径スルーホールにおいては、Yの値が0.
4であっても充填硬化後に穴埋め材に凹みが発生するこ
とはないが、Yの値を小さくし過ぎると、フィラーの沈
降が起こりやすくなるため、公知の沈降防止剤を添加す
るのが望ましい。
The small-diameter through hole can be formed by, for example, laser processing. Its diameter is 250μm
(Usually 50 μm or more). In that case, the value of Y of the paste filled and cured in the small-diameter through-hole is preferably 0.4 or more and less than 0.7, and more preferably 0.4 or more and 0.6 or less. When the value of Y is 0.7 or more, the print filling property is reduced, and a through-hole may not be sufficiently filled with the paste (consequently, the cured filling material). In addition, in the small diameter through hole, the value of Y is 0.1.
Even if the value is 4, no pitting occurs in the filling material after the filling and curing, but if the value of Y is too small, the sedimentation of the filler tends to occur. Therefore, it is desirable to add a known anti-settling agent.

【0018】本発明のプリント配線基板を製造するため
に用いる熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂とその硬化剤で
あることが望ましい。エポキシ樹脂は一般に硬化収縮が
少ないため、硬化時の凹みを押さえることが可能であ
る。特に耐熱性、耐湿性、耐薬品性の点で芳香族エポキ
シ樹脂を用いることが望ましい。更にはペーストの無溶
剤化のために、常温で液状のエポキシ樹脂(BPA型、
BPF型、PN型)が望ましい。エポキシ樹脂の硬化剤
は、耐熱性、耐薬品性、無溶剤化の点で触媒系、特にイ
ミダゾール系硬化剤が好ましい。
The thermosetting resin used for producing the printed wiring board of the present invention is preferably an epoxy resin and a curing agent thereof. Epoxy resins generally have low curing shrinkage, and therefore can suppress dents during curing. In particular, it is desirable to use an aromatic epoxy resin in terms of heat resistance, moisture resistance, and chemical resistance. Furthermore, in order to make the paste solvent-free, a liquid epoxy resin (BPA type,
BPF type and PN type) are desirable. The curing agent for the epoxy resin is preferably a catalyst system, particularly an imidazole curing agent, from the viewpoints of heat resistance, chemical resistance, and solvent-free.

【0019】一方、本発明のプリント配線基板を製造す
るために用いるフィラーとしては例えば結晶性シリカ、
非晶性シリカ、溶融シリカ、アルミナ、タルク、水酸化
アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、
炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシ
ウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、窒化アルミ
ニウム、ホウ酸アルミニウムウィスカ、窒化ホウ素、炭
化ケイ素、窒化ケイ素等の無機系フィラー、銅、銀、ニ
ッケル、亜鉛、錫等の金属系フィラー等を用いることが
できる。その他の成分として、必要に応じて、消泡剤、
レベリング剤、沈降防止剤等の微量添加剤を添加しても
良い。粘度調製のために揮発性成分を添加することが知
られているが、揮発性成分は1.0%以下(実質的に無
溶剤)であることが望ましい。揮発性成分を添加する
と、ペーストを充填硬化した際に、硬化体中にボイドや
クラックが発生してしまうからである。
On the other hand, as the filler used for producing the printed wiring board of the present invention, for example, crystalline silica,
Amorphous silica, fused silica, alumina, talc, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate,
Inorganic fillers such as magnesium carbonate, calcium silicate, magnesium silicate, calcium oxide, magnesium oxide, aluminum nitride, aluminum borate whiskers, boron nitride, silicon carbide, silicon nitride, copper, silver, nickel, zinc, tin, etc. Metallic fillers and the like can be used. As other components, if necessary, an antifoaming agent,
Minor additives such as leveling agents and anti-settling agents may be added. It is known to add a volatile component for adjusting the viscosity, but it is desirable that the volatile component is 1.0% or less (substantially no solvent). When a volatile component is added, voids and cracks are generated in the cured product when the paste is filled and cured.

【0020】ペーストに含有されるフィラーの体積含有
率Vは、 V=(W/D)/((W/D)+(W/D
)+(W/D))、 に基づいて算出することができる。なお、Wはペースト
に含まれる各成分の重量比を、Dはペーストに含まれる
各成分の真密度を、添え字Fはフィラー成分を、添え字
Rは熱硬化性樹脂成分を、添え字Aはその他の成分を表
す。真密度(D)はその成分が判っているなら、理論値
を用いても良い。例えば、エポキシ樹脂:1.2、シリ
カ:2.2、銅:8.9(g/cm)である。
The volume content V F of the filler contained in the paste, V F = (W F / D F) / ((W F / D F) + (W R / D
R) + (W A / D A)), can be calculated based on. W represents the weight ratio of each component contained in the paste, D represents the true density of each component contained in the paste, suffix F represents the filler component, suffix R represents the thermosetting resin component, and suffix A Represents other components. As for the true density (D), a theoretical value may be used if its component is known. For example, epoxy resin: 1.2, silica: 2.2, copper: 8.9 (g / cm 3 ).

【0021】フィラーの乾式での充填率(DT
)は、フィラーのタップ密度DTの測定値から求
められる。タップ密度は以下の方法で測定することがで
きる。 1.20mlのメスシリンダーにフィラーを投入する。 2.そのメスシリンダーを4.5cmの高さから500
回タッピングする。 3.メスシリンダー内のフィラーの体積をメスシリンダ
ーの目盛から読みとり、そのときのフィラーの重量を計
測する。 4.フィラーの重量をメスシリンダー内のフィラーの体
積で除することによりDTを得る。
The dry filling rate of the filler (DT F /
D F) is determined from the measured values of the tap density DT F of the filler. The tap density can be measured by the following method. 1. Fill the filler into a 20 ml graduated cylinder. 2. The graduated cylinder was raised from a height of 4.5 cm to 500
Tap twice. 3. The volume of the filler in the measuring cylinder is read from the scale of the measuring cylinder, and the weight of the filler at that time is measured. 4. Obtain DT F by dividing the weight of the filler by volume of the filler in the graduated cylinder.

【0022】フィラーの乾式での充填率(DT
)は、ペースト中に添加できるフィラーの体積含有
率の限界尺度となり得る。よって、Yの値は、ペースト
へのフィラーの添加限界量に対して実際にどれだけフィ
ラーが添加されているかを反映した値である。つまり、
Yの値が1付近であれば十分にフィラーが添加されてい
ることを示し、1より小さい値であれば、まだ添加でき
る余地があることを示している。すなわち、Yの値は充
填用材料中の相対的なフィラーの量を示すものである。
なお、本発明においては、沈降防止剤等に用いる微細シ
リカ(例えば粒径50nm以下のもの)は、フィラーと
は見なさず、その他の成分として扱うものとする。
The dry filling rate of the filler (DT F /
D F ) can be a limiting measure of the volume content of fillers that can be added to the paste. Therefore, the value of Y reflects the amount of filler actually added to the limit of filler addition to the paste. That is,
A value of Y near 1 indicates that the filler has been sufficiently added, and a value of less than 1 indicates that there is still room for addition. That is, the value of Y indicates the relative amount of the filler in the filling material.
In the present invention, fine silica (for example, having a particle size of 50 nm or less) used as an antisettling agent is not regarded as a filler, but is treated as another component.

【0023】上記本発明の製造方法の採用により得られ
る本発明のプリント配線基板は、孔径の異なる複数のス
ルーホールを備え、各スルーホールに充填される充填材
料中のフィラーの、体積含有率の最大値をVmax、最
小値をVminとして、(Vmax−Vmin)/Vm
axで表される値が0〜0.7であるものとすることが
できる。つまり、フィラーの体積含有率を上記のように
調整することで、スルーホールの寸法によらず、各スル
ーホールのフィラー充填密度のばらつきを、上記範囲と
なるように小さく抑えることができ、ひいては、大小各
径のスルーホールにおいて、良好な充填性と、硬化後に
穴埋め材に発生する凹みの抑制との両立を好ましく図る
ことができる。なお、上記範囲は、好ましくは0〜0.
6とするのがよい。
The printed wiring board of the present invention obtained by adopting the above-mentioned manufacturing method of the present invention has a plurality of through holes having different hole diameters. Assuming that the maximum value is Vmax and the minimum value is Vmin, (Vmax−Vmin) / Vm
The value represented by ax may be 0 to 0.7. That is, by adjusting the volume content of the filler as described above, regardless of the size of the through-hole, the variation in the filler filling density of each through-hole can be suppressed to be within the above-described range. In the large and small through-holes, it is possible to preferably achieve both good filling properties and suppression of dents generated in the filling material after curing. The above range is preferably from 0 to 0.
6 is good.

【0024】本発明のプリント配線基板において、充填
材料は少なくとも熱硬化性樹脂とフィラーとを含み、該
充填材料の熱膨張係数と基板の厚み方向の熱膨張係数と
の差の絶対値が20ppm/℃以下、望ましくは、充填
材料(硬化体)と基板(コア基板)の熱膨張差が負であ
ることが好ましい。これらの値からはずれると、熱サイ
クル試験においてスルーホール上のソルダーレジスト等
にクラックが発生する場合があり好ましくない。なお、
用いるコア基板としては、ガラス・BT基板、高Tgガ
ラス・エポキシ基板(FR−5)等の高耐熟性積層板が
望ましい。高耐熱性積層板のZ方向の熱膨張係数は例え
ば47〜52ppm程度であり、この場合においては、
スルーホール充填用ペーストの硬化体の熱膨張係数は3
3〜68ppm程度、さらには33〜52ppm程度で
あると特に望ましい。
In the printed wiring board of the present invention, the filling material contains at least a thermosetting resin and a filler, and the absolute value of the difference between the coefficient of thermal expansion of the filling material and the coefficient of thermal expansion in the thickness direction of the substrate is 20 ppm / C. or lower, desirably, the difference in thermal expansion between the filling material (cured body) and the substrate (core substrate) is negative. If the values deviate from these values, cracks may occur in the solder resist or the like on the through holes in the thermal cycle test, which is not preferable. In addition,
As the core substrate to be used, a highly ripened laminated board such as a glass / BT substrate or a high Tg glass / epoxy substrate (FR-5) is desirable. The coefficient of thermal expansion in the Z direction of the high heat-resistant laminate is, for example, about 47 to 52 ppm, and in this case,
The thermal expansion coefficient of the cured product of the paste for filling through holes is 3
It is particularly desirable to be about 3 to 68 ppm, and more preferably about 33 to 52 ppm.

【0025】充填材料(硬化体)の熱膨張係数は、フィ
ラーの体積含有率(V)でほぼ決まってしまい、熱膨
張係数を45ppm付近にしたい場合は、Vは35%
付近(25〜45%程度)でほぼ固定される。よって、
大径と小径のスルーホールにおいてYの値に差を付ける
ために、各径のスルーホールで充填率の異なるフィラー
を用いるのが望ましい。つまり、大径のスルーホールに
充填硬化されるペーストのフィラーは、その充填率が2
0〜50%のものを、小径のスルーホールに充填硬化さ
れるペーストのフィラーは、その充填率が40〜70%
のものを用いるのが望ましい。
The thermal expansion coefficient of the filling material (hardened body) is would substantially determined by the volume content of the filler (V F), if you want a thermal expansion coefficient in the vicinity of 45ppm, the V F 35%
It is almost fixed in the vicinity (about 25 to 45%). Therefore,
In order to make a difference in the value of Y between the large diameter and the small diameter through holes, it is desirable to use fillers having different filling rates in the through holes of each diameter. In other words, the paste filler that is filled and hardened into the large-diameter through hole has a filling rate of 2%.
Fillers of 0 to 50% are filled into small through holes and hardened, and the filling ratio of the paste is 40 to 70%.
It is desirable to use those.

【0026】本発明のプリント配線基板は、大径スルー
ホールの内側に第1充填材料が充填され、その第1充填
材料の内側には小径スルーホールが形成されるととも
に、該小径スルーホールの内側には第2充填材料が充填
されて、第1充填材料中のフィラーの粒径標準偏差が、
第2充填材料中のフィラーの粒径標準偏差よりも小さく
なるように構成することができる。すなわち、大径スル
ーホール内の充填材料に小径スルーホールが形成され、
該小径スルーホール内をさらに導体層を介して充填材料
によって穴埋めされる同軸構造(スルーホール同軸構
造)のプリント配線基板に本発明を適用すると、印刷充
填性が一層効果的に向上し、硬化後に穴埋め材(充填材
料)に発生する凹みの抑制効果も一層顕著なものにな
る。
In the printed wiring board of the present invention, a first filling material is filled inside the large diameter through hole, a small diameter through hole is formed inside the first filling material, and the inside of the small diameter through hole is formed. Is filled with a second filler material, and the particle size standard deviation of the filler in the first filler material is
It can be configured to be smaller than the standard deviation of the particle size of the filler in the second filling material. That is, a small diameter through hole is formed in the filling material in the large diameter through hole,
When the present invention is applied to a printed wiring board having a coaxial structure (through-hole coaxial structure) in which the inside of the small-diameter through-hole is further filled with a filler material via a conductive layer, the print-filling property is more effectively improved, and after curing, The effect of suppressing dents generated in the filling material (filling material) also becomes more remarkable.

【0027】また、本発明は、スルーホールメッキと充
填材料との界面の密着性を上げる為に、スルーホールメ
ッキ表面に凹凸を形成したものに対しても適用すること
が可能で、良好な穴埋め充填性が得られ、そのプリント
配線基板は高い信頼性を具備したものとなる。本発明に
用いるコア基板の厚みについて特に制約はないが、0.
5mm以上(通常1.0mm以下)、特に0.7mm以
上の基板に形成されるスルーホールにおいて特に良好な
充填性を発揮する。
Further, the present invention can be applied to the case where the surface of the through-hole plating is formed with irregularities in order to improve the adhesion at the interface between the through-hole plating and the filling material. Filling properties are obtained, and the printed wiring board has high reliability. The thickness of the core substrate used in the present invention is not particularly limited.
Particularly good filling properties are exhibited in through holes formed in a substrate of 5 mm or more (usually 1.0 mm or less), particularly 0.7 mm or more.

【0028】従来、表面に凹凸のある小径のスルーホー
ルでは、ペーストの充填性が低下する場合が多い。その
理由は定かではないが、以下のごとく推定される。スル
ーホールに充填用ペーストを印刷で押し入れるとき、ス
ルーホール内壁近傍のペーストは、その凹凸のために微
細な乱流が起こり、凹凸の凹部にペーストが入り込みな
がら充填されていくものと考えられる。スルーホールメ
ッキの凹凸はフィラーの粒径よりも微細であるため、そ
の凹部にはペーストの樹脂成分のみが入り込み、その結
果として、凹凸の近傍ではフィラー含有量の大きい領域
が形成されると思われる。大径のスルーホールへの穴埋
めでは、その径が大きいが故にフィラー含有量が大きく
なった領域は相対的に小さく、その影響は無視でき(す
なわち詰まり難い)、よって充填性への影響は少ないと
思われる。一方、小径のスルーホールではその影響が無
視できず、フィラー含有量が大きくなってしまった領域
においてスルーホールの目詰まりが発生し、それ以上ペ
ーストを充填できなくなってしまうものと考えられる。
そこで、本発明のように、Yの値を小さくしたペースト
(つまり余剰に樹脂成分が添加されたペースト)を用い
れば、内壁の凹凸には余剰の樹脂成分が入り込むので、
フィラー含有量が大きい領域ができても目詰まりするに
は至らず、良好な印刷充填性が確保できるようになる。
Conventionally, in small through-holes having irregularities on the surface, the filling property of the paste often decreases. The reason is not clear, but is presumed as follows. When the filling paste is pressed into the through-hole by printing, it is considered that the paste near the inner wall of the through-hole causes fine turbulence due to the unevenness, and the paste is filled while the paste enters the concave portion of the unevenness. Since the unevenness of the through-hole plating is finer than the particle size of the filler, only the resin component of the paste enters the recess, and as a result, a region having a large filler content is likely to be formed near the unevenness. . In filling a large diameter through-hole, the region where the filler content is large due to its large diameter is relatively small, and its effect is negligible (that is, it is difficult to clog), and therefore the influence on the filling property is small. Seem. On the other hand, it is considered that the influence cannot be ignored in a small-diameter through-hole, and clogging of the through-hole occurs in a region where the filler content is increased, so that the paste cannot be filled any more.
Thus, as in the present invention, if a paste having a reduced Y value (that is, a paste in which an excess of the resin component is added) is used, the excess resin component enters the unevenness of the inner wall.
Even if a region having a large filler content is formed, clogging does not occur, and good print filling properties can be ensured.

【0029】一方、小径スルーホールにおいて、ペース
トの硬化時に発生する凹みが低下する理由は定かではな
いが、以下のごとく推定される。ペーストの硬化時に発
生する凹みは、ペーストの樹脂成分がコア基板の周辺に
流れ出ること(いわゆる、ブリードアウト)によって発
生する。凹みが発生すると、ペーストの表面積増大(樹
脂の広がり及び凹みの発生)による表面エネルギーロス
が発生するが、それよりも基板と樹脂とが濡れることに
よるエネルギー減少の方が大きいが故に凹みが発生する
と考えられる。スルーホール径がより小径になると、凹
みによる表面エネルギーロスが増大すると考えられる
(凹みの曲率半径がより小さくなるが故に)。よって、
小径スルーホールでは、それが基板と樹脂とが濡れるこ
とによるエネルギー減少に打ち勝ち、凹みが抑制される
ものと思われる。
On the other hand, the reason why the dent generated when the paste is hardened in the small-diameter through-hole is not clear, but is presumed as follows. The dent generated when the paste is cured is caused by the resin component of the paste flowing out around the core substrate (so-called bleed-out). When dents occur, surface energy loss occurs due to an increase in the surface area of the paste (spreading of the resin and occurrence of dents). However, when the dents occur because the energy reduction due to the wetting of the substrate and the resin is greater than that, Conceivable. It is considered that when the diameter of the through hole becomes smaller, the surface energy loss due to the depression increases (because the radius of curvature of the depression becomes smaller). Therefore,
It is considered that the small diameter through hole overcomes the energy reduction due to the wetting of the substrate and the resin, and suppresses the dent.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に示す実施例を参照して説明する。図1は本発明のプ
リント配線基板の第1実施例について、その要部を模式
的に示す断面図である。このプリント配線基板1の基板
2には、孔径の異なる複数のスルーホール3,4等が形
成され、大径スルーホール3及び小径スルーホール4に
はスルーホールメッキ5が施されて基板2の裏表が導通
されている。また、各スルーホール3,4内部は充填材
料6,7により穴埋めされている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a sectional view schematically showing a main part of a printed wiring board according to a first embodiment of the present invention. A plurality of through-holes 3 and 4 having different hole diameters are formed in the substrate 2 of the printed wiring board 1, and the large-diameter through-hole 3 and the small-diameter through-hole 4 are subjected to through-hole plating 5 so that Is conducted. The insides of the through holes 3 and 4 are filled with filling materials 6 and 7, respectively.

【0031】スルーホール3,4を穴埋めする充填材料
6,7は、少なくともエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂成
分とシリカフィラー等のフィラー成分とを含んでいる。
ここで、大径スルーホール3に充填される充填材料6中
のフィラーの粒径標準偏差は、小径スルーホール4に充
填される充填材料7中のフィラーの粒径標準偏差よりも
小さくされている。また、各スルーホール3,4に充填
される充填材料6,7中のフィラーの体積含有率の最大
値をVmax、最小値をVminとして、(Vmax−
Vmin)/Vmaxで表される値が0〜0.7とされ
ている。
The filling materials 6, 7 for filling the through holes 3, 4 contain at least a thermosetting resin component such as an epoxy resin and a filler component such as a silica filler.
Here, the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material 6 filled in the large-diameter through hole 3 is smaller than the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material 7 filled in the small-diameter through hole 4. . Further, when the maximum value of the volume content of the filler in the filling materials 6 and 7 filled in the through holes 3 and 4 is Vmax and the minimum value is Vmin, (Vmax−
The value represented by (Vmin) / Vmax is set to 0 to 0.7.

【0032】一方、図2は本発明のプリント配線基板1
0の第2実施例について、その要部を模式的に示す断面
図である。このプリント配線基板10においては、基板
20に設けられた大径スルーホール30の内側に同軸状
に小径スルーホール40が設けられている。すなわち、
基板20に設けられた大径スルーホール30の内側に、
大径スルーホール用の第1充填材料60a,60bが充
填されるとともに、その第1充填材料60a,60bの
内側に小径スルーホール40が形成され、さらに小径ス
ルーホール40の内側に、小径スルーホール用の第2充
填材料70が充填された構成である。なお、大径スルー
ホール30、小径スルーホール40には、それぞれスル
ーホールメッキ50,51が施され、基板20の裏表が
導通されている。
FIG. 2 shows a printed wiring board 1 according to the present invention.
FIG. 12 is a cross-sectional view schematically showing a main part of a second example of No. 0. In the printed wiring board 10, a small-diameter through hole 40 is provided coaxially inside a large-diameter through hole 30 provided in the substrate 20. That is,
Inside the large-diameter through hole 30 provided in the substrate 20,
The first filling materials 60a and 60b for the large-diameter through holes are filled, the small-diameter through holes 40 are formed inside the first filling materials 60a and 60b, and the small-diameter through holes are further formed inside the small-diameter through holes 40. And a second filling material 70 for filling. The large-diameter through-hole 30 and the small-diameter through-hole 40 are plated with through-holes 50 and 51, respectively, so that the front and back of the substrate 20 are electrically connected.

【0033】この場合も、第1充填材料60a,60b
及び第2充填材料70は、少なくとも熱硬化性樹脂成分
とフィラーとを含み、第1充填材料60a,60b中の
フィラーの粒径標準偏差が、第2充填材料70中のフィ
ラーの粒径標準偏差よりも小さいものとされている。ま
た、スルーホール同軸構造は、上記の場合の他、大径ス
ルーホールを形成した後、基板20の表・裏面にビルド
アップ絶縁層を形成してから小径スルーホールを形成し
てもよい。
Also in this case, the first filling materials 60a, 60b
And the second filler 70 includes at least a thermosetting resin component and a filler, and the standard deviation of the particle diameter of the filler in the first filler 60a, 60b is the standard deviation of the particle diameter of the filler in the second filler 70. It is said to be smaller. Further, in the through-hole coaxial structure, in addition to the above-described case, after forming a large-diameter through-hole, a build-up insulating layer may be formed on the front and back surfaces of the substrate 20 and then a small-diameter through-hole may be formed.

【0034】上記第1,第2実施例のスルーホールにお
いては、図3に示すようにスルーホール表面に凹凸10
0を付与することも可能である。特に小径のスルーホー
ルにおいては、スルーホールに凹凸を設けることにより
目詰まりを発生しやすいが、本実施例の場合、余剰に樹
脂成分が添加された充填材料を用いているため、スルー
ホール4,40内壁の凹凸100には余剰の樹脂成分9
0が入り込んでおり、フィラー成分80が偏在してフィ
ラー含有量が大きい領域ができても目詰まりするには至
らず、良好な印刷充填性が確保されている。なお、大径
スルーホール3,30においても、比較的樹脂成分の多
い充填材料を用いることで、良好な充填性を確保するこ
とが可能なことは言うまでもない。
In the through holes of the first and second embodiments, as shown in FIG.
It is also possible to add 0. In particular, in the case of a small-diameter through hole, clogging is likely to occur due to the provision of irregularities in the through hole. However, in the case of the present embodiment, since a filler material to which a resin component is excessively used is used, The surplus resin component 9 is provided on the irregularities 100 on the inner wall 40.
0 is included, and even if an area where the filler component 80 is unevenly distributed and the filler content is large is formed, clogging does not occur, and good print filling property is secured. Needless to say, even in the large-diameter through holes 3 and 30, good filling properties can be ensured by using a filling material having a relatively large resin component.

【0035】[0035]

【実施例】本発明のプリント配線基板について、以下の
評価を行った。 (穴埋め性評価)基板は、厚み800μmのBT樹脂製
基板とした。それに機械ドリル加工及びレーザー加工に
よって孔開けした後、銅メッキを施すことで、300μ
m及び100μmのスルーホール径を有する基板をそれ
ぞれ作製した。得られたそれぞれの基板の導体表面に、
化学的表面粗化処理(例えばギ酸等の酸を用いる)によ
って処理を施し凹凸を形成した。
EXAMPLES The following evaluation was performed on the printed wiring board of the present invention. (Evaluation of Fillability) The substrate was a BT resin substrate having a thickness of 800 μm. After drilling holes by mechanical drilling and laser processing, copper plating is applied to make 300μ
Substrates having through-hole diameters of m and 100 μm were prepared, respectively. On the conductor surface of each obtained substrate,
The surface was treated by a chemical surface roughening treatment (for example, using an acid such as formic acid) to form irregularities.

【0036】作製した基板のスルーホールにスクリーン
印刷機によって充填用ペーストを印刷した。充填用ペー
ストは、表1の組成で混練したものをそれぞれ用いた。
穴埋めした基板を、120℃×40分の条件下で半硬化
させた。次いで、ベルト式研磨装置(粗研磨)を用いて
コア基板表面を研磨した後、バフ研磨(仕上げ研磨)し
て平坦化した。次いで、半硬化された充填用ペースト
を、150℃×5時間の条件下にて硬化した。作製した
それぞれのサンプルのスルーホールを、基板の裏面から
倍率200倍の拡大鏡を用いて、穴埋め充填性を目視検
査した。
The filling paste was printed on the through holes of the prepared substrate by a screen printer. As the filling paste, those kneaded with the compositions shown in Table 1 were used.
The filled substrate was semi-cured at 120 ° C. for 40 minutes. Next, the surface of the core substrate was polished using a belt-type polishing apparatus (rough polishing), and was then flattened by buff polishing (finish polishing). Next, the semi-cured filling paste was cured at 150 ° C. for 5 hours. The through holes of each of the prepared samples were visually inspected from the back surface of the substrate for filling and filling with a magnifying glass having a magnification of 200 times.

【0037】(熱膨張測定)また、表1に示すスルーホ
ール充填用ペースト1〜7をフイルム状にキャストし、
150℃、5hで熱硬化させ、厚さ100μmのフイル
ム状硬化体とした。これから幅5mmの試験片を切り出
し、これをTMA測定した。測定条件は、スパン15m
m、試験片の長手方向に5gの引張加重を加えた状態で
−55℃まで冷却し、10℃/minの昇温速度で12
5℃以上まで加熱し伸び率を測定し、下記式1よりフィ
ルム状硬化体(充填材料)の熱膨張係数を計算した。 式1:熱膨張係数=((125℃での試験片の伸び率)
−(−55℃での伸び率))/(125−(−55))
(Measurement of Thermal Expansion) Further, pastes 1 to 7 for filling through holes shown in Table 1 were cast into a film,
The film was thermally cured at 150 ° C. for 5 hours to obtain a film-like cured product having a thickness of 100 μm. From this, a test piece having a width of 5 mm was cut out and subjected to TMA measurement. Measurement conditions are span 15m
m, cooled to −55 ° C. with a tensile load of 5 g applied in the longitudinal direction of the test piece, and cooled to 12 ° C. at a rate of 10 ° C./min.
The film was heated to 5 ° C. or higher, the elongation was measured, and the thermal expansion coefficient of the film-shaped cured product (filling material) was calculated from the following formula 1. Equation 1: thermal expansion coefficient = ((elongation rate of test piece at 125 ° C.)
− (Elongation at −55 ° C.)) / (125 − (− 55))

【0038】次に、コア基板のXY方向の熱膨張計数を
上記と同様にして測定した。但し試験片厚さは基板厚さ
と同じ800μmとした。コア基板のZ方向の熱膨張係
数は、基板のZ方向に5gの圧縮加重を加えた状態で−
55℃まで冷却し、10℃/minの昇温速度で125
℃以上まで加熱し伸び率を測定し、上式で同様に計算し
た。コア基板の熱膨張係数は、XY方向:14ppm、
Z方向:48ppmであった。
Next, the thermal expansion coefficient of the core substrate in the X and Y directions was measured in the same manner as described above. However, the thickness of the test piece was 800 μm, which is the same as the substrate thickness. The thermal expansion coefficient in the Z direction of the core substrate is −5 g in a state where a compression load of 5 g is applied in the Z direction of the substrate.
Cool to 55 ° C. and heat at a rate of 10 ° C./min.
The temperature was increased to at least ℃, the elongation was measured, and the above equation was used to calculate the same. The thermal expansion coefficient of the core substrate is 14 ppm in the XY directions,
Z direction: 48 ppm.

【0039】[0039]

【表1】 [Table 1]

【0040】なお、使用したペースト原料は下記の通り
である。シリカフィラーは球状シリカS1((株)龍
森:SOC2)及び球状シリカS2(電気化学工業
(株):FB−35X)であり、銅フィラーは球状銅粉
C1(日本アトマイズ加工(株):SFR−CU−5)
及び樹枝状銅粉C2((株)ジャパンエナジー:#
D)、エポキシ樹脂はビスフェノールA型エポキシ樹脂
E1(油化シェル(株):E−828)及びビスフェノ
ールF型エポキシ樹脂E2(油化シェル(株):E−8
07)、硬化剤はイミダゾール系硬化剤H1(四国化成
工業(株):2P4MZ)及びイミダゾール系硬化剤H
2(四国化成工業(株):2P4MHZ)、沈降防止剤
は微細シリカA(日本アエロジル(株):RY200
S)である。
The paste raw materials used are as follows. The silica filler is spherical silica S1 (Tatsumori Corporation: SOC2) and spherical silica S2 (Electrochemical Industry Co., Ltd .: FB-35X), and the copper filler is spherical copper powder C1 (Nippon Atomize Processing Co., Ltd .: SFR) -CU-5)
And dendritic copper powder C2 (Japan Energy Co., Ltd .: #
D), epoxy resin is bisphenol A type epoxy resin E1 (Yukaka Shell Co., Ltd .: E-828) and bisphenol F type epoxy resin E2 (Yukaka Shell Co., Ltd .: E-8)
07), imidazole-based curing agent H1 (Shikoku Chemicals Co., Ltd .: 2P4MZ) and imidazole-based curing agent H
2 (Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd .: 2P4MHZ), the anti-settling agent was fine silica A (Nippon Aerosil Co., Ltd .: RY200)
S).

【0041】得られた結果を表2に示す。また表2に
は、表1の組成から求めたフィラーの体積含有率
(V)、フィラーのタップ密度より求めたフィラー充
填率(DT/D)、これらから求めたY=V
(DT/D)の値、及びレーザー回折式粒度計より
算出した、フィラーの粒径標準偏差の値を示した。
Table 2 shows the obtained results. Also in Table 2, the volume content of the filler determined from the composition of Table 1 (V F), the filler filling factor determined from the tap density of the filler (DT F / D F), was determined from these Y = V F /
The value of (DT F / D F ) and the value of the standard deviation of the particle size of the filler calculated by the laser diffraction type particle size meter are shown.

【0042】[0042]

【表2】 [Table 2]

【0043】ペースト1,3,7,10は、フィラーの
粒径標準偏差が相対的に小さい、またはYの値が相対的
に大きいものであって、300μm径のスルーホールの
印刷充填性、硬化後の凹み防止は良好であったが、10
0μm径のスルーホールには印刷充填性が悪く、穴埋め
できなかった。ペースト4は低粘度エポキシ樹脂を用い
沈降防止剤の量を減らすことでペースト3を低粘度化し
たが、それでも100μm径のスルーホールに穴埋めす
ることはできなかった。
The pastes 1, 3, 7, and 10 have a relatively small standard deviation of the particle diameter of the filler or a relatively large Y value. The prevention of dents later was good, but 10
The 0-μm-diameter through hole had poor print filling properties and could not be filled. The paste 4 was made to have a low viscosity by using a low-viscosity epoxy resin and reducing the amount of the anti-settling agent, but it was still impossible to fill the through-holes having a diameter of 100 μm.

【0044】ペースト2,5,6,8は、フィラーの粒
径標準偏差が相対的に大きい、またはYの値が相対的に
小さいものであって、100μm径のスルーホールの印
刷充填性、硬化後の凹み防止は良好であったが、300
μm径は、ペースト2,6に比べると印刷充填性が若干
悪く、印刷スピードを遅くする必要があった。
The pastes 2, 5, 6, and 8 have a relatively large standard deviation of the particle size of the filler or a relatively small value of Y. The prevention of dents later was good, but 300
With the μm diameter, the print filling property was slightly inferior to the pastes 2 and 6, and it was necessary to reduce the printing speed.

【0045】ペースト9は、Yの値を0.3としたため
に、300μm径のスルーホールでは大きな凹みが見ら
れ、100μm径のスルーホールにおいても凹みが見ら
れた。また、ペースト11は、Yの値を1.4としたた
めに、ペーストの流動性が低下し、穴埋め充填性が低下
した。ペースト12は、得られた基板について、熱サイ
クル試験を行ったところ、スルーホール上のソルダーレ
ジスト等にクラックが発生した。
Since the paste 9 had a Y value of 0.3, a large dent was observed in a through hole having a diameter of 300 μm, and a dent was observed in a through hole having a diameter of 100 μm. In Paste 11, since the value of Y was set to 1.4, the fluidity of the paste was reduced, and the filling and filling properties were reduced. The paste 12 was subjected to a thermal cycle test on the obtained substrate. As a result, cracks occurred in the solder resist and the like on the through holes.

【0046】以上の結果より、孔径300μmの大径ス
ルーホールでは、粒径標準偏差が相対的に小さく、又は
Yの値が相対的に大きいペーストを用いるのが好まし
く、孔径100μmの小径スルーホールでは、粒径標準
偏差が相対的に大きく、又はYの値が相対的に小さいペ
ーストを用いるのが好ましいことが分かる。さらに、硬
化した硬化体と基板との熱膨張係数差の絶対値が、20
ppm/℃となるペーストを用いることが望ましい。
From the above results, it is preferable to use a paste having a relatively small particle diameter standard deviation or a relatively large Y value for a large diameter through hole having a hole diameter of 300 μm. It can be seen that it is preferable to use a paste having a relatively large particle diameter standard deviation or a relatively small Y value. Further, the absolute value of the difference in thermal expansion coefficient between the cured product and the substrate is 20
It is desirable to use a paste that gives ppm / ° C.

【0047】具体的に、図2に示した第2実施例のプリ
ント配線基板10を、上記ペースト1及びペースト6を
用いて以下のように製造した。コア基板として厚み80
0μmのBT樹脂製基板を用い、それに機械ドリル加工
によって孔開けした後、銅メッキを施すことで、300
μmのスルーホール径(大径スルーホール30となる)
及び厚さ18μmのスルーホールメッキ(導体)50を
有する基板を作製した。得られた基板の導体表面に、ギ
酸によって表面粗化処理を施し凹凸を形成し、作製した
基板のスルーホールにスクリーン印刷機によってペース
ト1(第1充填用材料(第1充填材料60aとなる))
を印刷した。このようにして穴埋めした基板を、120
℃×40分の条件下で半硬化させ、次いで、ベルト式研
磨装置(粗研磨)を用いてコア基板表面を研磨した後、
パフ研磨(仕上げ研磨)して平坦化した。次いで、半硬
化された充填用ペーストを、150℃×5時間の条件下
にて硬化した。
More specifically, the printed wiring board 10 of the second embodiment shown in FIG. 2 was manufactured using the pastes 1 and 6 as follows. Thickness 80 as core substrate
Using a 0 μm BT resin substrate, drilling holes in it by mechanical drilling, and then applying copper plating,
μm through hole diameter (becomes large diameter through hole 30)
A substrate having a through-hole plating (conductor) 50 having a thickness of 18 μm was prepared. The conductor surface of the obtained substrate is subjected to a surface roughening treatment with formic acid to form irregularities, and paste 1 (the first filling material (to be the first filling material 60a)) is formed on the through-holes of the prepared substrate by a screen printing machine. )
Was printed. The substrate filled in this way is filled with 120
After semi-curing under conditions of 40 ° C. × 40 minutes, and then polishing the surface of the core substrate using a belt-type polishing device (rough polishing),
It was flattened by puff polishing (finish polishing). Next, the semi-cured filling paste was cured at 150 ° C. for 5 hours.

【0048】この基板に上記大径のスルーホールのほぼ
中心を貫くようにレーザー加工で孔開けした後、銅メッ
キを施すことで、100μmのスルーホール径(小径ス
ルーホール40となる)及び厚み18μmのスルーホー
ルメッキ(導体)51を有する基板を作製した。得られ
た基板の導体表面に、表面粗化処理により凹凸を形成
し、作製した基板のスルーホールにスクリーン印刷機に
よってペースト6(第2充填用材料(第2充填材料60
bとなる))を印刷した。このようにして穴埋めした基
板を、120℃×40分の条件下で半硬化させ、次い
で、ベルト式研磨装置(粗研磨)を用いてコア基板表面
を研磨した後、パフ研磨(仕上げ研磨)して平坦化し
た。次いで、半硬化された充填用ペーストを、150℃
×5時間の条件下にて硬化した。この基板表面の導体層
を公知のサブトラクティブ法により導体回路を形成する
ことで、同軸スルーホールを有する配線基板(プリント
配線基板)10を作製した。なお、この配線基板上にビ
ルドアップ層(絶縁層や導体層)を公知のビルドアップ
技術(絶縁層形成技術、サブトラクティブ、クルアディ
ティブ、セミアディティブ法など)を用いて形成し、多
層配線基板としてもよい。
After drilling a hole in this substrate by laser processing so as to substantially penetrate the center of the large-diameter through hole, and applying copper plating, the through-hole diameter of 100 μm (to become a small-diameter through-hole 40) and the thickness of 18 μm. A substrate having a through-hole plating (conductor) 51 was prepared. Irregularities are formed on the conductor surface of the obtained substrate by surface roughening treatment, and paste 6 (second filling material (second filling material 60
b) was printed. The substrate filled in this way is semi-cured under the conditions of 120 ° C. × 40 minutes, and then the surface of the core substrate is polished using a belt-type polishing device (rough polishing), followed by puff polishing (finish polishing). Flattened. Next, the semi-cured filling paste is heated to 150 ° C.
It was cured under the conditions of × 5 hours. By forming a conductive circuit on the conductive layer on the substrate surface by a known subtractive method, a wiring board (printed wiring board) 10 having a coaxial through hole was manufactured. A build-up layer (insulating layer or conductor layer) is formed on the wiring board by using a known build-up technique (insulating layer forming technique, subtractive, additive, semi-additive, etc.) to form a multilayer wiring board. Is also good.

【0049】このようにして作製した、一つの基板20
内に径の異なるスルーホール30,40が混在するプリ
ント配線基板10は、穴埋め充填性か良好であり、工程
上の不具合は起こらなかった。またサーマルショック試
験1000サイクルにおいても剥離やクラックが起こら
ず、高い信頼性を持つものであった。この場合、ペース
ト1のフィラー体積含有率Vが35%、ペースト6の
フィラー体積含有率V が29%であって、(Vmax
−Vmin)/Vmaxの値は0.17となる。
One substrate 20 manufactured in this manner is
Pre-hole in which through holes 30 and 40 with different diameters are mixed
The wiring board 10 has good filling and filling properties.
The above trouble did not occur. In addition, thermal shock test
Peeling and cracking even after 1000 cycles
And high reliability. In this case, the pace
G1 filler volume content VFOf 35% paste 6
Filler volume content V FIs 29%, and (Vmax
-Vmin) / Vmax is 0.17.

【0050】すなわち、大径スルーホールにおいては、
相対的に粒径標準偏差の値が小さく、上記Yの値が相対
的に大きいフィラーを含むペーストを用い、一方、小径
スルーホールにおいては、相対的に粒径標準偏差の値が
大きく、上記Yの値が相対的に小さいフィラーを含むペ
ーストを用いることで、良好な印刷充填性を確保するこ
とが可能となる。
That is, in a large-diameter through hole,
A paste containing a filler having a relatively small value of the particle size standard deviation and having a relatively large value of Y is used. On the other hand, in a small-diameter through hole, the value of the particle size standard deviation is relatively large, and By using a paste containing a filler having a relatively small value of, it is possible to ensure good print filling properties.

【0051】なお、本発明のプリント配線基板は上記実
施例に限ることはなく、例えば3種類以上のスルーホー
ル径を有する配線基板の場合、少なくとも2種類のスル
ーホールで本発明の条件を満たしていればよい。例え
ば、少なくとも「大」、「中」、「小」径の3種のスル
ーホールを有する基板において、 1.「大」、「中」において同じペーストを使用し、
「小」においてフィラー粒径標準偏差が「大」、「中」
よりも大きい、若しくはYの値が「大」、「中」よりも
小さいペーストを使用する。 2.「中」、「小」において同じペーストを使用し、
「大」においてフィラー粒径標準偏差が「中」、「小」
よりも小さい、若しくはYの値が「中」、「小」よりも
大きいペーストを使用する。 3.「大」においてフィラー粒径標準偏差が「中」より
も小さい、若しくはYの値が「中」よりも大きいペース
トを使用し、「中」においてフィラー粒径標準偏差が
「小」よりも小さい、若しくはYの値が「小」よりも大
きいペーストを使用する。 以上のように、孔径の異なる少なくとも2つのスルーホ
ールについて本発明の条件を満たすことで、優れた穴埋
め充填性を確保することが可能となる。なお、この場
合、「大」、「小」がスルーホール同軸構造、「大」、
「中」がスルーホール同軸構造、「中」、「小」がスル
ーホール同軸構造となっていてもよい。
The printed wiring board of the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the case of a wiring board having three or more types of through-hole diameters, at least two types of through-holes satisfy the conditions of the present invention. Just do it. For example, in a substrate having at least three types of through-holes of “large”, “medium”, and “small” diameters, Use the same paste for "large" and "medium"
"Small", filler particle size standard deviation is "large", "medium"
Use a paste that is larger than or larger than Y, that is, smaller than “large” or “medium”. 2. Use the same paste for "medium" and "small"
“Large”, standard deviation of filler particle size is “Medium”, “Small”
Use a paste that is smaller than or smaller than Y value of “medium” or “small”. 3. In the "large", the filler particle diameter standard deviation is smaller than "medium", or using a paste in which the value of Y is larger than "medium", and in "medium" the filler particle diameter standard deviation is smaller than "small", Alternatively, a paste in which the value of Y is larger than “small” is used. As described above, by satisfying the conditions of the present invention for at least two through holes having different hole diameters, it is possible to ensure excellent filling and filling properties. In this case, "large" and "small" are through-hole coaxial structures, "large"
“Middle” may have a through-hole coaxial structure, and “middle” and “small” may have a through-hole coaxial structure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプリント配線基板の第1実施例を示す
断面模式図。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a first embodiment of the printed wiring board of the present invention.

【図2】本発明のプリント配線基板の第2実施例を示す
断面模式図。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the printed wiring board of the present invention.

【図3】スルーホールの一実施例を示す断面模式図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of a through hole.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,10 プリント配線基板 2,20 基板(コア基板) 3,30 大径スルーホール 4,40 小径スルーホール 5,50 スルーホールメッキ 6,7 充填材料 60a,60b 第1充填材料 70 第2充填材料 1,10 Printed wiring board 2,20 Board (core board) 3,30 Large diameter through hole 4,40 Small diameter through hole 5,50 Through hole plating 6,7 Filling material 60a, 60b First filling material 70 Second filling material

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のスルーホールを備え、孔径の異な
る少なくとも2つのスルーホールについて、大径スルー
ホールに充填される充填材料中のフィラーの粒径標準偏
差が、小径スルーホールに充填される充填材料中のフィ
ラーの粒径標準偏差よりも小さいことを特徴とするプリ
ント配線基板。
1. A method for filling at least two through holes having a plurality of through holes and having different hole diameters, wherein the standard deviation of the particle diameter of the filler in the filling material filled in the large diameter through hole is the filling amount filled in the small diameter through hole. A printed wiring board having a particle diameter smaller than a standard deviation of a filler in a material.
【請求項2】 孔径の異なる複数のスルーホールを備
え、各スルーホールに充填される充填材料中のフィラー
の体積含有率の最大値をVmax、最小値をVminと
して、(Vmax−Vmin)/Vmaxで表される値
が0〜0.7である請求項1記載のプリント配線基板。
2. A method according to claim 1, wherein a plurality of through-holes having different hole diameters are provided, and the maximum value of the volume content of the filler in the filling material filled in each through-hole is Vmax, and the minimum value is Vmin, where (Vmax−Vmin) / Vmax. The printed wiring board according to claim 1, wherein a value represented by is 0 to 0.7.
【請求項3】 前記充填材料は少なくとも熱硬化性樹脂
とフィラーとを含み、該充填材料の熱膨張係数と基板の
厚み方向の熱膨張係数との差の絶対値が、20ppm/
℃以下である請求項1又は2に記載のプリント配線基
板。
3. The filling material contains at least a thermosetting resin and a filler, and the absolute value of the difference between the coefficient of thermal expansion of the filling material and the coefficient of thermal expansion in the thickness direction of the substrate is 20 ppm /
The printed wiring board according to claim 1, wherein the temperature is lower than or equal to ℃.
【請求項4】 前記大径スルーホールの内側には第1充
填材料が充填されるとともに、その第1充填材料の内側
には前記小径スルーホールが形成され、該小径スルーホ
ールの内側には第2充填材料が充填されており、前記第
1充填材料中のフィラーの粒径標準偏差が、前記第2充
填材料中のフィラーの粒径標準偏差より小さいものとさ
れる請求項1ないし3のいずれかに記載のプリント配線
基板。
4. A first filling material is filled inside the large diameter through hole, and the small diameter through hole is formed inside the first filling material. 4. The method according to claim 1, wherein the second filler is filled with the filler, and the standard deviation of the particle diameter of the filler in the first filler is smaller than the standard deviation of the particle diameter of the filler in the second filler. A printed wiring board according to any of the claims.
【請求項5】 孔径の異なる複数のスルーホールを備
え、該スルーホール内に充填用材料を充填硬化して製造
されるプリント配線基板の製造方法において、 前記充填用材料は少なくとも熱硬化性樹脂とフィラーと
を含み、 前記充填用材料中のフィラーの体積含有率をV、前記
フィラーの乾式の充填率をDT/D、前記フィラー
のタップ密度をDT、前記フィラーの真密度をD
し、Y=V/(DT/D)として、 小径スルーホールに充填硬化する充填用材料のYの値
が、大径スルーホールに充填硬化する充填用材料のYの
値よりも小さいことを特徴とするプリント配線基板の製
造方法。
5. A method for manufacturing a printed wiring board, comprising: a plurality of through holes having different hole diameters; and filling and curing a filling material in the through holes, wherein the filling material comprises at least a thermosetting resin. and a filler, the volume content V F of the filler of the filling material, the dry packing ratio DT F / D F of the filler, the tap density of the filler DT F, the true density of the filler D and F, as Y = V F / (DT F / D F), the value of Y of filling material filling curing the small diameter through hole, than the value of Y of filling material filling hardened large diameter through hole A method for manufacturing a printed wiring board, characterized by being small.
【請求項6】 前記Yの値が0.4〜1.3であり、そ
の範囲にて前記小径スルーホールに充填硬化する充填用
材料のYの値が、前記大径スルーホールに充填硬化する
充填用材料のYの値よりも小さいものとされる請求項5
記載のプリント配線基板の製造方法。
6. The value of Y is 0.4 to 1.3, and the value of Y of the filling material that fills and hardens the small-diameter through-hole in the range is that the hardening fills the large-diameter through-hole. 6. The method according to claim 5, wherein the value of Y of the filling material is smaller than the value of Y.
A method for manufacturing the printed wiring board according to the above.
【請求項7】 前記大径スルーホールに充填硬化する充
填用材料の上記Yの値が0.7以上、1.3以下である
請求項5又は6に記載のプリント配線基板の製造方法。
7. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 5, wherein the value of Y of the filling material that fills and hardens the large-diameter through-hole is 0.7 or more and 1.3 or less.
【請求項8】 前記小径スルーホールに充填硬化する充
填用材料の上記Yの値が0.4以上、0.7未満である
請求項5ないし7のいずれかに記載のプリント配線基板
の製造方法。
8. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 5, wherein the value of Y of the filling material that fills and hardens the small-diameter through hole is 0.4 or more and less than 0.7. .
【請求項9】 複数のスルーホールを備え、該スルーホ
ール内に充填用材料を充填硬化して製造されるプリント
配線基板の製造方法において、 孔径の異なる少なくとも2つのスルーホールについて、
大径スルーホールに充填する充填用材料中のフィラーの
粒径標準偏差が、小径スルーホールに充填する充填用材
料中のフィラーの粒径標準偏差よりも小さいことを特徴
とするプリント配線基板の製造方法。
9. A method for manufacturing a printed wiring board, comprising a plurality of through holes, and filling and curing a filling material in the through holes, wherein at least two through holes having different hole diameters are provided.
Manufacturing a printed wiring board characterized in that the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material to be filled in the large-diameter through hole is smaller than the standard deviation of the particle size of the filler in the filling material to be filled in the small-diameter through hole. Method.
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