JP2002050091A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁界変調オーバーライトが可能な光磁気記録
媒体において、パワーマージンを広範にし、繰り返し信
号記録後の劣化の低減を図る。 【解決手段】 光透過性基板２上に、少なくとも第１の
誘電体層３、光磁気記録層４、第２の誘電体層６、反射
層７とが順次積層形成されて成る光磁気記録媒体１にお
いて、第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反射層７の
膜厚をｄ2 としたとき、０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦
０．９の関係が成立し、かつ反射層７は、Ａｌ、Ａｕ、
およびＴｉにより構成され、Ａｕが２０〜４０〔重量
％〕、Ｔｉが０．５〜２．０〔重量％〕含有されて成る
ものとする。
媒体において、パワーマージンを広範にし、繰り返し信
号記録後の劣化の低減を図る。 【解決手段】 光透過性基板２上に、少なくとも第１の
誘電体層３、光磁気記録層４、第２の誘電体層６、反射
層７とが順次積層形成されて成る光磁気記録媒体１にお
いて、第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反射層７の
膜厚をｄ2 としたとき、０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦
０．９の関係が成立し、かつ反射層７は、Ａｌ、Ａｕ、
およびＴｉにより構成され、Ａｕが２０〜４０〔重量
％〕、Ｔｉが０．５〜２．０〔重量％〕含有されて成る
ものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録媒体に
係わる。
係わる。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報記録媒体開発の分野において
は、光記録方式に関する研究が各所で進められている。
この光記録方式は、レーザー光を照射することにより情
報の記録再生を行うものであり、この方式を利用した光
学記録媒体として、再生専用型のディジタルオーディオ
ディスク（いわゆるコンパクトディスク）や、光学方式
ビデオディスク（いわゆるレーザーディスク（登録商
標））等が広く普及している。
は、光記録方式に関する研究が各所で進められている。
この光記録方式は、レーザー光を照射することにより情
報の記録再生を行うものであり、この方式を利用した光
学記録媒体として、再生専用型のディジタルオーディオ
ディスク（いわゆるコンパクトディスク）や、光学方式
ビデオディスク（いわゆるレーザーディスク（登録商
標））等が広く普及している。
【０００３】一方、ユーザーが、繰り返して情報の記
録、および消去を行うことができる、書き込み可能型の
光学記録媒体として、光磁気記録媒体の開発が進められ
ており、商品化されている。このような光磁気記録媒体
として、ミニディスク（Ｍｉｎｉ Ｄｉｓｃ）が広く普
及している。
録、および消去を行うことができる、書き込み可能型の
光学記録媒体として、光磁気記録媒体の開発が進められ
ており、商品化されている。このような光磁気記録媒体
として、ミニディスク（Ｍｉｎｉ Ｄｉｓｃ）が広く普
及している。
【０００４】このような光磁気記録媒体は、一般的に、
例えばポリカーボネート製の透明基板上に、この基板面
上に成膜面と垂直方向に磁化容易軸を有し、かつ磁気光
学効果の大きな磁性薄膜よりなる磁気記録層と、誘電体
層と、金属反射層と、誘電体層とが順次積層された構成
を有するものである。そして、上記磁気記録層と誘電体
層と、金属反射層からなる積層構成の記録部上に、例え
ば紫外線硬化性樹脂よりなる保護層が積層形成された構
成を有するものである。
例えばポリカーボネート製の透明基板上に、この基板面
上に成膜面と垂直方向に磁化容易軸を有し、かつ磁気光
学効果の大きな磁性薄膜よりなる磁気記録層と、誘電体
層と、金属反射層と、誘電体層とが順次積層された構成
を有するものである。そして、上記磁気記録層と誘電体
層と、金属反射層からなる積層構成の記録部上に、例え
ば紫外線硬化性樹脂よりなる保護層が積層形成された構
成を有するものである。
【０００５】例えば、ミニディスクのような光磁気記録
媒体においては、民生用録音機器として手軽に音楽等を
記録できるが、この情報信号の録音時間に関しては、当
初６０〔分〕であったものが７４〔分〕となり、さらに
近年においては８０〔分〕と長時間化が実現されてい
る。
媒体においては、民生用録音機器として手軽に音楽等を
記録できるが、この情報信号の録音時間に関しては、当
初６０〔分〕であったものが７４〔分〕となり、さらに
近年においては８０〔分〕と長時間化が実現されてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、記録時
間の長時間化に伴い、ディスク型の光磁気記録媒体の線
速度が、６０〔分〕記録の場合には１．２〔ｍ／ｓ〕で
あったものが、１．４〔ｍ／ｓ〕になり、情報信号のト
ラックピッチに関しても、１．６〔μｍ〕から１．５
〔μｍ〕になり、情報信号の高密度化が進んでおり、こ
のため、光磁気記録媒体の特性の一つであるパワーマー
ジンを広範に確保することに対して不利になってきてい
る。パワーマージンが狭くなると、エラーレートの上昇
度合いが顕著になり、外乱によって安定した信号特性が
得られなくなってしまいがちである。場合によっては、
信号が読めなくなってしまうこともあり、Ｃ／Ｎ特性の
著しい劣化を招来した。
間の長時間化に伴い、ディスク型の光磁気記録媒体の線
速度が、６０〔分〕記録の場合には１．２〔ｍ／ｓ〕で
あったものが、１．４〔ｍ／ｓ〕になり、情報信号のト
ラックピッチに関しても、１．６〔μｍ〕から１．５
〔μｍ〕になり、情報信号の高密度化が進んでおり、こ
のため、光磁気記録媒体の特性の一つであるパワーマー
ジンを広範に確保することに対して不利になってきてい
る。パワーマージンが狭くなると、エラーレートの上昇
度合いが顕著になり、外乱によって安定した信号特性が
得られなくなってしまいがちである。場合によっては、
信号が読めなくなってしまうこともあり、Ｃ／Ｎ特性の
著しい劣化を招来した。
【０００７】さらに、多数回繰り返して情報の記録およ
び再生を行うミニディスクのような光磁気記録媒体にお
いては、特性安定性、耐久性に関してさらなる向上を図
ることが望まれている。
び再生を行うミニディスクのような光磁気記録媒体にお
いては、特性安定性、耐久性に関してさらなる向上を図
ることが望まれている。
【０００８】従来においては、レーザー光が光磁気記録
媒体の信号記録層を正確にトレースするように、光磁気
記録媒体に形成されたグルーブ溝の特性を向上させた
り、また、記録層近傍に誘電体層を形成し、かつこの膜
厚を調整し、エンハンスト効果により、記録精度を向上
させたりしていたが、今後においては、さらに高いＣ／
Ｎ特性を有し、かつ耐久性に優れた光磁気記録媒体の実
現が望まれている。
媒体の信号記録層を正確にトレースするように、光磁気
記録媒体に形成されたグルーブ溝の特性を向上させた
り、また、記録層近傍に誘電体層を形成し、かつこの膜
厚を調整し、エンハンスト効果により、記録精度を向上
させたりしていたが、今後においては、さらに高いＣ／
Ｎ特性を有し、かつ耐久性に優れた光磁気記録媒体の実
現が望まれている。
【０００９】そこで、本発明者等は、上述した点に鑑み
て、パワーマージンの拡大を図り、Ｃ／Ｎ特性を向上さ
せ、多数回繰り返し記録後においても、特性劣化が少な
く、安定した高いＣ／Ｎ特性を維持し得る磁界変調オー
バーライトが可能な光磁気記録媒体を提供することとし
た。
て、パワーマージンの拡大を図り、Ｃ／Ｎ特性を向上さ
せ、多数回繰り返し記録後においても、特性劣化が少な
く、安定した高いＣ／Ｎ特性を維持し得る磁界変調オー
バーライトが可能な光磁気記録媒体を提供することとし
た。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
は、光透過性基板上に、少なくとも第１の誘電体層、光
磁気記録層、第２の誘電体層、および反射層とが順次積
層形成されて成る光磁気記録媒体であるものとし、第１
の誘電体層の膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 とし
たときに、０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が
成立するものとし、かつ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、および
Ｔｉにより構成されて成り、反射層中に、Ａｕが２０〜
４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．０〔重量％〕含有
されて成るものとする。
は、光透過性基板上に、少なくとも第１の誘電体層、光
磁気記録層、第２の誘電体層、および反射層とが順次積
層形成されて成る光磁気記録媒体であるものとし、第１
の誘電体層の膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 とし
たときに、０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が
成立するものとし、かつ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、および
Ｔｉにより構成されて成り、反射層中に、Ａｕが２０〜
４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．０〔重量％〕含有
されて成るものとする。
【００１１】本発明によれば、磁界変調オーバーライト
が可能な光磁気記録媒体において、パワーマージンの拡
大が図られたことによりエラーレートの上昇が抑えら
れ、外乱の影響を受けにくくなされ、信号品質が向上
し、Ｃ／Ｎ特性の向上を図ることができ、信号品質の向
上が図られる。また、反射層中に、添加元素としてＡ
ｕ，Ｔｉを、所要量添加したことによって、多数回繰り
返し記録後においても、特性劣化が少なく高い安定性を
有してＣ／Ｎ特性を維持される。
が可能な光磁気記録媒体において、パワーマージンの拡
大が図られたことによりエラーレートの上昇が抑えら
れ、外乱の影響を受けにくくなされ、信号品質が向上
し、Ｃ／Ｎ特性の向上を図ることができ、信号品質の向
上が図られる。また、反射層中に、添加元素としてＡ
ｕ，Ｔｉを、所要量添加したことによって、多数回繰り
返し記録後においても、特性劣化が少なく高い安定性を
有してＣ／Ｎ特性を維持される。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の光磁気記録媒体は、光透
過性基板上に、第１の誘電体層、光磁気記録層、第２の
誘電体層、および反射層とが順次積層形成されて成る光
磁気記録媒体であるものとし、第１の誘電体層の膜厚を
ｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 としたときに、０．５５
≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立するものとし、
かつ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構成さ
れ、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．
０〔重量％〕含有されて成るものとする。
過性基板上に、第１の誘電体層、光磁気記録層、第２の
誘電体層、および反射層とが順次積層形成されて成る光
磁気記録媒体であるものとし、第１の誘電体層の膜厚を
ｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 としたときに、０．５５
≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立するものとし、
かつ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構成さ
れ、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．
０〔重量％〕含有されて成るものとする。
【００１３】以下、発明の光磁気記録媒体について、例
を挙げて説明するが、本発明の光磁気記録媒体は、以下
に示す例に限定されるものではない。
を挙げて説明するが、本発明の光磁気記録媒体は、以下
に示す例に限定されるものではない。
【００１４】図１に、本発明の光磁気記録媒体１の一例
の概略断面図を示す。本発明の光磁気記録媒体１は、例
えば、ポリカーボネート樹脂からなる光透過性基板２上
に、第１の誘電体層３、光磁気記録層４、および第２の
誘電体層６が順次積層されて成る記録層１０が形成され
ており、この記録層１０上に、反射層７および保護層８
が形成された構成を有するものである。
の概略断面図を示す。本発明の光磁気記録媒体１は、例
えば、ポリカーボネート樹脂からなる光透過性基板２上
に、第１の誘電体層３、光磁気記録層４、および第２の
誘電体層６が順次積層されて成る記録層１０が形成され
ており、この記録層１０上に、反射層７および保護層８
が形成された構成を有するものである。
【００１５】図１に示す光磁気記録媒体１においては、
第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反射層７の膜厚を
ｄ2 とするものとし、このとき、これらｄ1 とｄ2 との
間には、０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成
立するものとする。
第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反射層７の膜厚を
ｄ2 とするものとし、このとき、これらｄ1 とｄ2 との
間には、０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成
立するものとする。
【００１６】また、反射層７は、Ａｌを主体として、Ａ
ｕ、およびＴｉが添加されて構成されたものとし、これ
らの構成比は、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが
０．５〜２．０〔重量％〕であるものとし、Ａｌはこれ
らの残部量、すなわちバランス量であるものとする。
ｕ、およびＴｉが添加されて構成されたものとし、これ
らの構成比は、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが
０．５〜２．０〔重量％〕であるものとし、Ａｌはこれ
らの残部量、すなわちバランス量であるものとする。
【００１７】図１に示す光磁気記録媒体１に対して信号
の記録を行う場合には、光透過性基板２側から所定のパ
ワーのレーザ光を連続照射し光磁気記録層４をキュリー
温度以上まで昇温し、それと同時に保護層８側から、所
定の情報に応じて変調させた磁界をかけて情報の書き込
みを行う。また、信号の再生を行う場合には、光透過性
基板２側から、媒体が加熱されない程度のパワーのレー
ザー光、例えば７８０ｎｍの波長のレーザー光を、対物
レンズにより集光し照射することによって行う。
の記録を行う場合には、光透過性基板２側から所定のパ
ワーのレーザ光を連続照射し光磁気記録層４をキュリー
温度以上まで昇温し、それと同時に保護層８側から、所
定の情報に応じて変調させた磁界をかけて情報の書き込
みを行う。また、信号の再生を行う場合には、光透過性
基板２側から、媒体が加熱されない程度のパワーのレー
ザー光、例えば７８０ｎｍの波長のレーザー光を、対物
レンズにより集光し照射することによって行う。
【００１８】光透過性基板２は、適用するレーザー光に
対して、透過性を有する材料により形成されるものと
し、例えば、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エ
ポキシ樹脂、４−メチル−ペンテン樹脂、非晶質ポリオ
レフィン樹脂、スチレン系樹脂等の、従来公知の樹脂を
用いて、射出成形法により作製することができる。ま
た、光透過性基板２の材料として樹脂の他にガラスも適
用することができる。
対して、透過性を有する材料により形成されるものと
し、例えば、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エ
ポキシ樹脂、４−メチル−ペンテン樹脂、非晶質ポリオ
レフィン樹脂、スチレン系樹脂等の、従来公知の樹脂を
用いて、射出成形法により作製することができる。ま
た、光透過性基板２の材料として樹脂の他にガラスも適
用することができる。
【００１９】光透過性基板２の面上には、ピットやグル
ーブを構成する所定の微細凹凸が形成されていてもよ
い。グルーブを形成した場合には、これを案内溝として
レーザー光をディスク上の任意の位置へ移動させること
ができ、ピットの場合には、これが情報信号となってレ
ーザー光の照射により記録情報を読み取ることができ
る。所定の微細凹凸は、射出成形や、フォトポリマリゼ
イション法（２Ｐ法）によって形成することができる。
ーブを構成する所定の微細凹凸が形成されていてもよ
い。グルーブを形成した場合には、これを案内溝として
レーザー光をディスク上の任意の位置へ移動させること
ができ、ピットの場合には、これが情報信号となってレ
ーザー光の照射により記録情報を読み取ることができ
る。所定の微細凹凸は、射出成形や、フォトポリマリゼ
イション法（２Ｐ法）によって形成することができる。
【００２０】第１の誘電体層３、および第２の誘電体層
６は、光磁気記録媒体１のＣ／Ｎ特性を向上させ、第１
の記録層４および第２の記録層５の腐食を防止するため
に形成されるものである。すなわち、透明基板２や、保
護層８中には、金属を腐食させる成分が含まれている場
合が多いので、第１の誘電体層３および第２の誘電体層
６を、中間に第１の記録層４および第２の記録層５を挟
み込むようにして形成することにより、金属を腐食させ
る成分に直接影響されることを回避することができるの
である。第１の誘電体層３は、厚さ７０〜９０〔ｎｍ〕
程度に形成し、第２の誘電体層６は、厚さ１５〜５０
〔ｎｍ〕程度に形成する。
６は、光磁気記録媒体１のＣ／Ｎ特性を向上させ、第１
の記録層４および第２の記録層５の腐食を防止するため
に形成されるものである。すなわち、透明基板２や、保
護層８中には、金属を腐食させる成分が含まれている場
合が多いので、第１の誘電体層３および第２の誘電体層
６を、中間に第１の記録層４および第２の記録層５を挟
み込むようにして形成することにより、金属を腐食させ
る成分に直接影響されることを回避することができるの
である。第１の誘電体層３は、厚さ７０〜９０〔ｎｍ〕
程度に形成し、第２の誘電体層６は、厚さ１５〜５０
〔ｎｍ〕程度に形成する。
【００２１】なお、第１の誘電体層３および第２の誘電
体層６は、記録再生用のレーザー光の適用波長に対し
て、吸収能の低い材料により形成することが必要であ
る。例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 混合体や、Ａｌ，Ｓｉ，
Ｔａ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｍｇ，Ｂ，Ｚｎ，Ｐｄ，Ｌａ，Ｇｅ
等の金属および半金属の元素の窒化物、酸化物、炭化
物、フッ化物、窒酸化物、窒炭化物、酸炭化物、ＡｌＯ
Ｎ、ＳＩＡｌＯＮ等からなる層、およびこれらを主成分
とする材料を適用することができる。
体層６は、記録再生用のレーザー光の適用波長に対し
て、吸収能の低い材料により形成することが必要であ
る。例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 混合体や、Ａｌ，Ｓｉ，
Ｔａ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｍｇ，Ｂ，Ｚｎ，Ｐｄ，Ｌａ，Ｇｅ
等の金属および半金属の元素の窒化物、酸化物、炭化
物、フッ化物、窒酸化物、窒炭化物、酸炭化物、ＡｌＯ
Ｎ、ＳＩＡｌＯＮ等からなる層、およびこれらを主成分
とする材料を適用することができる。
【００２２】光磁気記録層４としては、光熱磁気効果に
より記録および再生ができる性質を有するものを適用す
る。具体的には、成膜面に垂直方向に磁化容易軸を有
し、任意反転磁区を作ることにより、光磁気効果に基づ
いて情報の記録および再生が可能な磁性金属薄膜を形成
することが必要である。例えば、ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣ
ｏ、ＧｄＴｂＦｅ、ＮｄＤｙＦｅＣｏ、ＮｄＤｙＴｂＦ
ｅＣｏ、ＮｄＦｅ、ＣｅＦｅ等の希土類元素と遷移金属
元素との非晶質合金膜、Ｃｏ／Ｐｔ、Ｃｏ／Ｐｄ等の人
工格子多層膜等を適用することができる。さらに、光磁
気記録層４は、単層構造に限らず、組成の異なる複数の
層を積層した多層構造とすることもできる。このような
多層構造として光磁気記録層４を形成する場合には、読
み出し性能の高い層と、記録性能の高い層とを積層する
ことにより、Ｃ／Ｎ特性に優れ、かつ記録感度の高い光
磁気記録媒体を得ることができる。
より記録および再生ができる性質を有するものを適用す
る。具体的には、成膜面に垂直方向に磁化容易軸を有
し、任意反転磁区を作ることにより、光磁気効果に基づ
いて情報の記録および再生が可能な磁性金属薄膜を形成
することが必要である。例えば、ＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣ
ｏ、ＧｄＴｂＦｅ、ＮｄＤｙＦｅＣｏ、ＮｄＤｙＴｂＦ
ｅＣｏ、ＮｄＦｅ、ＣｅＦｅ等の希土類元素と遷移金属
元素との非晶質合金膜、Ｃｏ／Ｐｔ、Ｃｏ／Ｐｄ等の人
工格子多層膜等を適用することができる。さらに、光磁
気記録層４は、単層構造に限らず、組成の異なる複数の
層を積層した多層構造とすることもできる。このような
多層構造として光磁気記録層４を形成する場合には、読
み出し性能の高い層と、記録性能の高い層とを積層する
ことにより、Ｃ／Ｎ特性に優れ、かつ記録感度の高い光
磁気記録媒体を得ることができる。
【００２３】本発明の光磁気記録媒体１を構成する反射
層７は、Ａｌを主体として、Ａｕ、およびＴｉが添加さ
れて構成されたものとし、これらの構成比は、Ａｕが２
０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．０〔重量％〕
であるものとし、Ａｌはこれらの残部量、すなわちバラ
ンス量であるものとする。
層７は、Ａｌを主体として、Ａｕ、およびＴｉが添加さ
れて構成されたものとし、これらの構成比は、Ａｕが２
０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．０〔重量％〕
であるものとし、Ａｌはこれらの残部量、すなわちバラ
ンス量であるものとする。
【００２４】保護層８は、反射層７上に積層形成される
ものとし、これは、紫外線硬化性樹脂によって形成する
ことができる。保護層８は、例えば５〜２０〔μｍ〕程
度の膜厚に形成する。
ものとし、これは、紫外線硬化性樹脂によって形成する
ことができる。保護層８は、例えば５〜２０〔μｍ〕程
度の膜厚に形成する。
【００２５】次に、本発明の光磁気記録媒体について、
具体的な〔実施例〕および〔比較例〕を挙げて説明する
が、本発明は、以下に示す例に限定されるものではな
い。
具体的な〔実施例〕および〔比較例〕を挙げて説明する
が、本発明は、以下に示す例に限定されるものではな
い。
【００２６】〔実施例１〕以下のようにして、図１に示
した構造の光磁気記録媒体を作製した。光透過性基板２
として、ポリカーボネート樹脂により、外径６４〔ｍ
ｍ〕、厚さ１．２〔ｍｍ〕のディスク状基板を作製す
る。続いて、Ａｒ／Ｎ2 ガス雰囲気中で、Ｓｉをターゲ
ットとして、スパッタ法により、光透過性基板２上に、
窒化ケイ素膜を厚さ８５０〔Å〕に成膜して第１の誘電
体層３を形成した。次に、Ａｒ雰囲気中において、スパ
ッタ法により、ＴｂＦｅＣｏ合金膜を、厚さ３２０
〔Å〕に成膜し、光磁気記録層４を形成した。続いてＡ
ｒ／Ｎ2 ガス雰囲気中で、Ｓｉをターゲットとして、ス
パッタ法により窒化ケイ素膜を成膜して第２の誘電体層
６を形成した。
した構造の光磁気記録媒体を作製した。光透過性基板２
として、ポリカーボネート樹脂により、外径６４〔ｍ
ｍ〕、厚さ１．２〔ｍｍ〕のディスク状基板を作製す
る。続いて、Ａｒ／Ｎ2 ガス雰囲気中で、Ｓｉをターゲ
ットとして、スパッタ法により、光透過性基板２上に、
窒化ケイ素膜を厚さ８５０〔Å〕に成膜して第１の誘電
体層３を形成した。次に、Ａｒ雰囲気中において、スパ
ッタ法により、ＴｂＦｅＣｏ合金膜を、厚さ３２０
〔Å〕に成膜し、光磁気記録層４を形成した。続いてＡ
ｒ／Ｎ2 ガス雰囲気中で、Ｓｉをターゲットとして、ス
パッタ法により窒化ケイ素膜を成膜して第２の誘電体層
６を形成した。
【００２７】次に、Ａｒ雰囲気中で、Ａｌ68Ａｕ30Ｔｉ
2.0 合金をターゲットとして、スパッタ法により第２の
誘電体層６上に、金属層を成膜して反射層７を形成し
た。なお、金属元素の添字の６８、３０、２．０は、組
成比であり、元素の重量％を示すものとする。すなわち
反射層７は、Ａｌが６８〔重量％〕、Ａｕが３０〔重量
％〕、Ｔｉが２．０〔重量％〕含有されてなるものとす
る。反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕に形成し、上記第１
の誘電体層３の膜厚をｄ1とし、反射層７の膜厚をｄ2
としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が０．５５になるよう
にした。
2.0 合金をターゲットとして、スパッタ法により第２の
誘電体層６上に、金属層を成膜して反射層７を形成し
た。なお、金属元素の添字の６８、３０、２．０は、組
成比であり、元素の重量％を示すものとする。すなわち
反射層７は、Ａｌが６８〔重量％〕、Ａｕが３０〔重量
％〕、Ｔｉが２．０〔重量％〕含有されてなるものとす
る。反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕に形成し、上記第１
の誘電体層３の膜厚をｄ1とし、反射層７の膜厚をｄ2
としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が０．５５になるよう
にした。
【００２８】次に、反射層７上に、紫外線硬化性樹脂を
スピンコートし、紫外線を照射してこれを硬化すること
により、保護層８を形成し、最終的に目的とする光磁気
記録媒体７を作製した。
スピンコートし、紫外線を照射してこれを硬化すること
により、保護層８を形成し、最終的に目的とする光磁気
記録媒体７を作製した。
【００２９】〔実施例２〕第１の誘電体層３の膜厚を８
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚５５３〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．６５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
68Ａｕ30Ｔｉ2.0 、すなわちＡｌが６８〔重量％〕、Ａ
ｕが３０〔重量％〕、Ｔｉが２．０〔重量％〕含有され
てなるものとした。その他、光透過性基板２、第２の誘
電体層６、および保護層８については、上記〔実施例
１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順について
も〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製し
た。
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚５５３〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．６５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
68Ａｕ30Ｔｉ2.0 、すなわちＡｌが６８〔重量％〕、Ａ
ｕが３０〔重量％〕、Ｔｉが２．０〔重量％〕含有され
てなるものとした。その他、光透過性基板２、第２の誘
電体層６、および保護層８については、上記〔実施例
１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順について
も〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製し
た。
【００３０】〔実施例３〕第１の誘電体層３の膜厚を８
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚５２０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．６５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
78.5Ａｕ20Ｔｉ1.5 、すなわちＡｌが７８．５〔重量
％〕、Ａｕが２０〔重量％〕、Ｔｉが１．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚５２０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．６５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
78.5Ａｕ20Ｔｉ1.5 、すなわちＡｌが７８．５〔重量
％〕、Ａｕが２０〔重量％〕、Ｔｉが１．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
【００３１】〔実施例４〕第１の誘電体層３の膜厚を８
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚６８０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．８５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
59.5Ａｕ40Ｔｉ0.5 、すなわちＡｌが５９．５〔重量
％〕、Ａｕが４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚６８０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．８５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
59.5Ａｕ40Ｔｉ0.5 、すなわちＡｌが５９．５〔重量
％〕、Ａｕが４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
【００３２】〔実施例５〕第１の誘電体層３の膜厚を８
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚７２０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．９になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
64.5Ａｕ35Ｔｉ0.5 、すなわちＡｌが６４．５〔重量
％〕、Ａｕが３５〔重量％〕、Ｔｉが０．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚７２０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．９になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
64.5Ａｕ35Ｔｉ0.5 、すなわちＡｌが６４．５〔重量
％〕、Ａｕが３５〔重量％〕、Ｔｉが０．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
【００３３】〔比較例１〕第１の誘電体層３の膜厚を６
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚３６０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．６になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ54
Ａｕ45Ｔｉ1 、すなわちＡｌが５４〔重量％〕、Ａｕが
４５〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなるも
のとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚３６０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．６になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ54
Ａｕ45Ｔｉ1 、すなわちＡｌが５４〔重量％〕、Ａｕが
４５〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなるも
のとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
【００３４】〔比較例２〕第１の誘電体層３の膜厚を１
０５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚７８８
〔Å〕に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 と
し、反射層７の膜厚をｄ2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）
の値が０．７５になるようにした。また反射膜７の組成
はＡｌ64.7Ａｕ35Ｔｉ0.3 、すなわちＡｌが６４．７
〔重量％〕、Ａｕが３５〔重量％〕、Ｔｉが０．３〔重
量％〕含有されてなるものとした。その他、光透過性基
板２、第２の誘電体層６、および保護層８については、
上記〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成
膜順についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒
体１を作製した。
０５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚７８８
〔Å〕に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 と
し、反射層７の膜厚をｄ2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）
の値が０．７５になるようにした。また反射膜７の組成
はＡｌ64.7Ａｕ35Ｔｉ0.3 、すなわちＡｌが６４．７
〔重量％〕、Ａｕが３５〔重量％〕、Ｔｉが０．３〔重
量％〕含有されてなるものとした。その他、光透過性基
板２、第２の誘電体層６、および保護層８については、
上記〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成
膜順についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒
体１を作製した。
【００３５】〔比較例３〕第１の誘電体層３の膜厚を７
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚３００〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．４になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ69
Ａｕ30Ｔｉ1 、すなわちＡｌが６９〔重量％〕、Ａｕが
３０〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなるも
のとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚３００〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．４になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ69
Ａｕ30Ｔｉ1 、すなわちＡｌが６９〔重量％〕、Ａｕが
３０〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなるも
のとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
【００３６】〔比較例４〕第１の誘電体層３の膜厚を８
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚８８０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
１．１になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ69
Ａｕ30Ｔｉ1 、すなわちＡｌが６９〔重量％〕、Ａｕが
３０〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなるも
のとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
００〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚８８０〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
１．１になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ69
Ａｕ30Ｔｉ1 、すなわちＡｌが６９〔重量％〕、Ａｕが
３０〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなるも
のとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
【００３７】〔比較例５〕第１の誘電体層３の膜厚を８
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
98Ｔｉ2 、すなわちＡｌが９８〔重量％〕、Ｔｉが２
〔重量％〕含有されてなるものとした。その他、光透過
性基板２、第２の誘電体層６、および保護層８について
は、上記〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、
各成膜順についても〔実施例１〕と同様として光磁気記
録媒体１を作製した。
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
98Ｔｉ2 、すなわちＡｌが９８〔重量％〕、Ｔｉが２
〔重量％〕含有されてなるものとした。その他、光透過
性基板２、第２の誘電体層６、および保護層８について
は、上記〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、
各成膜順についても〔実施例１〕と同様として光磁気記
録媒体１を作製した。
【００３８】〔比較例６〕第１の誘電体層３の膜厚を８
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｕ
100 、すなわち全て金により成るものとした。その他、
光透過性基板２、第２の誘電体層６、および保護層８に
ついては、上記〔実施例１〕と同様にして成膜するもの
とし、各成膜順についても〔実施例１〕と同様として光
磁気記録媒体１を作製した。
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｕ
100 、すなわち全て金により成るものとした。その他、
光透過性基板２、第２の誘電体層６、および保護層８に
ついては、上記〔実施例１〕と同様にして成膜するもの
とし、各成膜順についても〔実施例１〕と同様として光
磁気記録媒体１を作製した。
【００３９】〔比較例７〕第１の誘電体層３の膜厚を８
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
89Ａｕ10Ｔｉ1 、すなわちＡｌが８９〔重量％〕、Ａｕ
が１０〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなる
ものとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
89Ａｕ10Ｔｉ1 、すなわちＡｌが８９〔重量％〕、Ａｕ
が１０〔重量％〕、Ｔｉが１〔重量％〕含有されてなる
ものとした。その他、光透過性基板２、第２の誘電体層
６、および保護層８については、上記〔実施例１〕と同
様にして成膜するものとし、各成膜順についても〔実施
例１〕と同様として光磁気記録媒体１を作製した。
【００４０】〔比較例８〕第１の誘電体層３の膜厚を８
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
80Ａｕ20、すなわちＡｌが８０〔重量％〕、Ａｕが２０
〔重量％〕含有されてなるものとした。その他、光透過
性基板２、第２の誘電体層６、および保護層８について
は、上記〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、
各成膜順についても〔実施例１〕と同様として光磁気記
録媒体１を作製した。
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
80Ａｕ20、すなわちＡｌが８０〔重量％〕、Ａｕが２０
〔重量％〕含有されてなるものとした。その他、光透過
性基板２、第２の誘電体層６、および保護層８について
は、上記〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、
各成膜順についても〔実施例１〕と同様として光磁気記
録媒体１を作製した。
【００４１】〔比較例９〕第１の誘電体層３の膜厚を８
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
77.5Ａｕ20Ｔｉ2.5 、すなわちＡｌが７７．５〔重量
％〕、Ａｕが２０〔重量％〕、Ｔｉが２．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
５０〔Å〕に成膜して、反射膜７は、膜厚４６８〔Å〕
に形成し、上記第１の誘電体層３の膜厚をｄ1 とし、反
射層７の膜厚をｄ 2 としたとき、（ｄ2 ／ｄ1 ）の値が
０．５５になるようにした。また反射膜７の組成はＡｌ
77.5Ａｕ20Ｔｉ2.5 、すなわちＡｌが７７．５〔重量
％〕、Ａｕが２０〔重量％〕、Ｔｉが２．５〔重量％〕
含有されてなるものとした。その他、光透過性基板２、
第２の誘電体層６、および保護層８については、上記
〔実施例１〕と同様にして成膜するものとし、各成膜順
についても〔実施例１〕と同様として光磁気記録媒体１
を作製した。
【００４２】上述のようにして作製した〔実施例１〕〜
〔実施例５〕および〔比較例１〕〜〔比較例９〕の各光
磁気記録媒体を、光磁気ディスク標準評価装置を用い
て、それぞれのパワーマージン特性の評価を行った。パ
ワーマージン特性の評価については、初期のパワーマー
ジン、および１０6回繰り返し記録を行った後のパワー
マージンの測定を行った。測定条件を以下に示す。初期
のパワーマージンとしては、７０〔％〕以上を確保する
ことを実用上の目的値とし、繰り返し記録後の劣化のレ
ベルは、パワーマージンの劣化が１〔％〕未満に抑えら
れているものを、実用上、良好なレベルとして設定し
た。測定条件は、以下の通りとする。 レーザー波長：７８０〔ｎｍ〕 開口率ＮＡ ：０．４５ 記録時レーザーパワー：２．５〜８．０〔ｍＷ〕 再生レーザーパワー：０．６〔ｍＷ〕 バイアス磁界：１００〜３００〔Ｏｅ〕 各光磁気記録媒体の作製条件および特性評価の評価結果
について、下記〔表１〕に示す。
〔実施例５〕および〔比較例１〕〜〔比較例９〕の各光
磁気記録媒体を、光磁気ディスク標準評価装置を用い
て、それぞれのパワーマージン特性の評価を行った。パ
ワーマージン特性の評価については、初期のパワーマー
ジン、および１０6回繰り返し記録を行った後のパワー
マージンの測定を行った。測定条件を以下に示す。初期
のパワーマージンとしては、７０〔％〕以上を確保する
ことを実用上の目的値とし、繰り返し記録後の劣化のレ
ベルは、パワーマージンの劣化が１〔％〕未満に抑えら
れているものを、実用上、良好なレベルとして設定し
た。測定条件は、以下の通りとする。 レーザー波長：７８０〔ｎｍ〕 開口率ＮＡ ：０．４５ 記録時レーザーパワー：２．５〜８．０〔ｍＷ〕 再生レーザーパワー：０．６〔ｍＷ〕 バイアス磁界：１００〜３００〔Ｏｅ〕 各光磁気記録媒体の作製条件および特性評価の評価結果
について、下記〔表１〕に示す。
【００４３】
【表１】
【００４４】〔表１〕に示すように、第１の誘電体層の
膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ 2 としたときに、
０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立し、か
つ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構成され、
Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．０
〔重量％〕含有されて成るものとした本発明の例である
〔実施例１〕〜〔実施例５〕の光磁気ディスクにおいて
は、初期のパワーマージンが、いずれも７０〔％〕以上
の値を確保することができ、さらに、繰り返し記録後の
パワーマージンの劣化についても、いずれも１〔％〕未
満に抑えられており、実用上、良好なレベルであること
がわかった。
膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ 2 としたときに、
０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立し、か
つ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構成され、
Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜２．０
〔重量％〕含有されて成るものとした本発明の例である
〔実施例１〕〜〔実施例５〕の光磁気ディスクにおいて
は、初期のパワーマージンが、いずれも７０〔％〕以上
の値を確保することができ、さらに、繰り返し記録後の
パワーマージンの劣化についても、いずれも１〔％〕未
満に抑えられており、実用上、良好なレベルであること
がわかった。
【００４５】〔比較例１〕の光磁気ディスクは、反射層
７中のＡｕの含有量を４５〔重量％〕としたものである
が、この例においては、初期のパワーマージンについて
７０〔％〕以上の値を確保することができなかった。
７中のＡｕの含有量を４５〔重量％〕としたものである
が、この例においては、初期のパワーマージンについて
７０〔％〕以上の値を確保することができなかった。
【００４６】〔比較例２〕の光磁気ディスクは、反射層
７中のＴｉの含有量を０．３〔重量％〕としたものであ
るが、この例においては、繰り返し記録後のパワーマー
ジンの劣化量が１〔％〕を越えた。
７中のＴｉの含有量を０．３〔重量％〕としたものであ
るが、この例においては、繰り返し記録後のパワーマー
ジンの劣化量が１〔％〕を越えた。
【００４７】〔比較例３〕の光磁気ディスクは、第１の
誘電体層の膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 とした
ときに、（ｄ2 ／ｄ1 ）＝０．４としたものであるが、
この例においては、初期のパワーマージンについて７０
〔％〕以上の値を確保することができなかった。
誘電体層の膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 とした
ときに、（ｄ2 ／ｄ1 ）＝０．４としたものであるが、
この例においては、初期のパワーマージンについて７０
〔％〕以上の値を確保することができなかった。
【００４８】〔比較例４〕の光磁気ディスクは、第１の
誘電体層の膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 とした
ときに、（ｄ2 ／ｄ1 ）＝１．１としたものであるが、
この例においては、初期のパワーマージンについて７０
〔％〕以上の値を確保することができず、また、繰り返
し記録後のパワーマージンの劣化量が１〔％〕となっ
た。
誘電体層の膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 とした
ときに、（ｄ2 ／ｄ1 ）＝１．１としたものであるが、
この例においては、初期のパワーマージンについて７０
〔％〕以上の値を確保することができず、また、繰り返
し記録後のパワーマージンの劣化量が１〔％〕となっ
た。
【００４９】〔比較例５〕の光磁気ディスクは、反射層
７中にＡｕを含有しないものとした場合であるが、この
例においては、繰り返し記録後のパワーマージンの劣化
量が１〔％〕を越えた。
７中にＡｕを含有しないものとした場合であるが、この
例においては、繰り返し記録後のパワーマージンの劣化
量が１〔％〕を越えた。
【００５０】〔比較例６〕の光磁気ディスクは、反射層
７をＡｕのみを用いて作製した場合であるが、この例に
おいては、初期のパワーマージンについて７０〔％〕以
上の値を確保することができず、また、繰り返し記録後
のパワーマージンの劣化量が１〔％〕を越えた。
７をＡｕのみを用いて作製した場合であるが、この例に
おいては、初期のパワーマージンについて７０〔％〕以
上の値を確保することができず、また、繰り返し記録後
のパワーマージンの劣化量が１〔％〕を越えた。
【００５１】〔比較例７〕の光磁気ディスクは、反射層
７中のＡｕの含有量を１０〔重量％〕としたものである
が、この例においては、初期のパワーマージンについて
７０〔％〕以上の値を確保することができず、また、繰
り返し記録後のパワーマージンの劣化量が１〔％〕を越
えた。
７中のＡｕの含有量を１０〔重量％〕としたものである
が、この例においては、初期のパワーマージンについて
７０〔％〕以上の値を確保することができず、また、繰
り返し記録後のパワーマージンの劣化量が１〔％〕を越
えた。
【００５２】〔比較例８〕の光磁気ディスクは、反射層
７中にＴｉを含有しないものとした場合であるが、この
例においては、繰り返し記録後のパワーマージンの劣化
量が１〔％〕を越えた。
７中にＴｉを含有しないものとした場合であるが、この
例においては、繰り返し記録後のパワーマージンの劣化
量が１〔％〕を越えた。
【００５３】〔比較例９〕の光磁気ディスクは、反射層
７中のＴｉの含有量を２．５〔重量％〕としたものであ
るが、この例においては、初期のパワーマージンについ
て７０〔％〕以上の値を確保することができなかった。
７中のＴｉの含有量を２．５〔重量％〕としたものであ
るが、この例においては、初期のパワーマージンについ
て７０〔％〕以上の値を確保することができなかった。
【００５４】上述したように、光透過性基板上に、第１
の誘電体層、光磁気記録層、第２の誘電体層、および反
射層とが順次積層形成されて成り、第１の誘電体層の膜
厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 としたときに、０．
５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立するものと
し、かつ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構成
され、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜
２．０〔重量％〕含有されて成るものとした本発明の光
磁気記録媒体においては、初期のパワーマージンについ
て、いずれも７０〔％〕以上の値を確保でき、パワーマ
ージンを広範にさせることができた。また、エラーレー
トの上昇を抑えられ、外乱の影響を受けにくくでき、再
生信号の品質の向上を図ることができた。さらに、反射
層の構成を、Ａｌを主成分とし添加元素としてＡｕ、Ｔ
ｉを用いることにより、耐久性の向上を図ることがで
き、多数回繰り返し記録後においても、パワーマージン
の劣化量が少なく高い安定性を有し、高いＣ／Ｎ特性が
維持された。
の誘電体層、光磁気記録層、第２の誘電体層、および反
射層とが順次積層形成されて成り、第１の誘電体層の膜
厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 としたときに、０．
５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立するものと
し、かつ反射層は、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構成
され、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜
２．０〔重量％〕含有されて成るものとした本発明の光
磁気記録媒体においては、初期のパワーマージンについ
て、いずれも７０〔％〕以上の値を確保でき、パワーマ
ージンを広範にさせることができた。また、エラーレー
トの上昇を抑えられ、外乱の影響を受けにくくでき、再
生信号の品質の向上を図ることができた。さらに、反射
層の構成を、Ａｌを主成分とし添加元素としてＡｕ、Ｔ
ｉを用いることにより、耐久性の向上を図ることがで
き、多数回繰り返し記録後においても、パワーマージン
の劣化量が少なく高い安定性を有し、高いＣ／Ｎ特性が
維持された。
【００５５】
【発明の効果】本発明の光磁気記録媒体によれば、第１
の誘電体層３と反射層７との膜厚比を第１の誘電体層の
膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 としたときに、
０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立するも
のとし、反射層７を、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構
成され、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜
２．０〔重量％〕含有されて成るものとしたことによ
り、パワーマージンの拡大を図ることができ、エラーレ
ートの上昇を抑え、外乱の影響を受けにくくし、再生信
号の品質を向上させることができた。
の誘電体層３と反射層７との膜厚比を第１の誘電体層の
膜厚をｄ1 とし、反射層の膜厚をｄ2 としたときに、
０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９の関係が成立するも
のとし、反射層７を、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構
成され、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、Ｔｉが０．５〜
２．０〔重量％〕含有されて成るものとしたことによ
り、パワーマージンの拡大を図ることができ、エラーレ
ートの上昇を抑え、外乱の影響を受けにくくし、再生信
号の品質を向上させることができた。
【００５６】また、反射層中に、添加元素としてＡｕ，
Ｔｉを、所要量添加したことによって、耐久性の向上を
図ることができ、多数回繰り返し記録後においても、特
性劣化が少なく高い安定性を有してＣ／Ｎ特性を維持す
ることができた。
Ｔｉを、所要量添加したことによって、耐久性の向上を
図ることができ、多数回繰り返し記録後においても、特
性劣化が少なく高い安定性を有してＣ／Ｎ特性を維持す
ることができた。
【図１】本発明の光磁気記録媒体の一例の概略断面図を
示す。
示す。
１ 光磁気記録媒体、２ 光透過性基板、３ 第１の誘
電体層、４ 光磁気記録層、６ 第２の誘電体層、７
反射層、８ 保護層、１０ 記録層
電体層、４ 光磁気記録層、６ 第２の誘電体層、７
反射層、８ 保護層、１０ 記録層
Claims (1)
- 【請求項１】 光透過性基板上に、少なくとも第１の誘
電体層、光磁気記録層、第２の誘電体層、反射層とが順
次積層形成されて成る光磁気記録媒体であって、 上記第１の誘電体層の膜厚をｄ1 とし、上記反射層の膜
厚をｄ2 としたとき、 ０．５５≦（ｄ2 ／ｄ1 ）≦０．９であり、 上記反射層は、Ａｌ、Ａｕ、およびＴｉにより構成さ
れ、上記反射層中には、Ａｕが２０〜４０〔重量％〕、
Ｔｉが０．５〜２．０〔重量％〕含有されて成ることを
特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000229605A JP2002050091A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 光磁気記録媒体 |
| US09/838,515 US6501728B2 (en) | 2000-04-21 | 2001-04-19 | Optical disc having groove and land tracks |
| EP01109764A EP1152403A2 (en) | 2000-04-21 | 2001-04-20 | Optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000229605A JP2002050091A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002050091A true JP2002050091A (ja) | 2002-02-15 |
Family
ID=18722696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000229605A Pending JP2002050091A (ja) | 2000-04-21 | 2000-07-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002050091A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007072732A1 (ja) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Pioneer Corporation | 多結晶アルミニウム薄膜及び光記録媒体 |
| JP2008267185A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-06 | Nissan Motor Co Ltd | 内燃機関の吸気制御装置 |
-
2000
- 2000-07-28 JP JP2000229605A patent/JP2002050091A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007072732A1 (ja) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Pioneer Corporation | 多結晶アルミニウム薄膜及び光記録媒体 |
| JPWO2007072732A1 (ja) * | 2005-12-22 | 2009-05-28 | パイオニア株式会社 | 多結晶アルミニウム薄膜及び光記録媒体 |
| US7790064B2 (en) | 2005-12-22 | 2010-09-07 | Pioneer Corporation | Polycrystalline aluminum thin film and optical recording medium |
| JP4559490B2 (ja) * | 2005-12-22 | 2010-10-06 | パイオニア株式会社 | 光記録媒体 |
| US7897065B2 (en) | 2005-12-22 | 2011-03-01 | Pioneer Corporation | Polycrystalline aluminum thin film and optical recording medium |
| JP2008267185A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-06 | Nissan Motor Co Ltd | 内燃機関の吸気制御装置 |
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