JP2002042313A

JP2002042313A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性検査方法及び安定性検査装置

Info

Publication number: JP2002042313A
Application number: JP2000225847A
Authority: JP
Inventors: Yuka Monma; 由香門馬; Yoichi Inmaki; 洋一印牧
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2000-07-26
Filing date: 2000-07-26
Publication date: 2002-02-08

Abstract

(57)【要約】【課題】ＭＲヘッドのセンス電流に対する安定性を適
切に検査する。【解決手段】切り換えスイッチ２９によりＭＲヘッド
１に供給するセンス電流の切り換え動作を行いながら、
磁気テープＴからの信号磁界をＭＲヘッド１により検出
する。そして、検出された信号磁界に応じたＭＲヘッド
１からの出力波形を波形観察装置２４により観察し、観
察された出力波形の波形変動量を定量化する。これによ
り、センス電流の切り換え動作をストレスパラメータと
した場合のＭＲヘッド１の安定性を定量的に検査するこ
とが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープを記録
媒体として用いる記録再生装置において再生用の磁気ヘ
ッドとして用いられる磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安定
性を検査する安定性検査方法及び安定性検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気抵抗効果素子（以下、Ｍ
Ｒ素子と称する。）の磁気抵抗効果を利用して、磁気記
録媒体に記録された信号を読み取る磁気抵抗効果型磁気
ヘッド（以下、ＭＲヘッドと称する。）が普及してお
り、例えば、ハードディスク装置等における再生用の磁
気ヘッドとして使用されている。

【０００３】ＭＲヘッドは、薄膜形成されるＭＲ素子の
幅によりトラック幅が決定されるので、狭トラック化が
容易であると共に、ＭＲ素子が磁気記録媒体と対向する
面から露出しているので再生感度が高い。このため、Ｍ
Ｒヘッドは、記録密度の高密度化を実現するために必須
のデバイスとして注目されている。

【０００４】ところで、このようなＭＲヘッドを再生用
磁気ヘッドとして適切に使用するためには、ＭＲ素子の
不安定性に起因するバルクハウゼンノイズや波形変動等
を有効に抑制することが重要である。このため、ＭＲヘ
ッドは、一般的に、ＭＲ素子の両端部に永久磁石等の硬
磁性材を配し、ＭＲ素子の磁化容易軸方向にバイアス磁
界を付与することによって、ＭＲ素子の磁区構造の安定
化を図る構造とされており、また、ＭＲ素子自体に対し
ても、厳密な磁気特性の管理が行われている。

【０００５】また、製造されたＭＲヘッドに対しては、
その安定性の検査を行って、不安定なＭＲヘッドが多数
検出される場合には、製造プロセスに対して有効な対策
を施して、安定なＭＲヘッドが継続的に製造されるよう
に、厳密なプロセス管理を行うようにしている。

【０００６】ここで、上述したハードディスク装置にお
ける再生用磁気ヘッドとして用いられるＭＲヘッドで
は、例えば、以下に示すような方法で安定性の検査が行
われている。すなわち、ハードディスク装置に用いられ
るＭＲヘッドの安定性を検査する場合には、例えば、所
定の周波数（例えば、適用されるハードディスク装置の
最低周波数、又は最高周波数、或いは最高周波数の１／
２の周波数）で記録再生動作を複数回繰り返して行い、
再生時にＭＲヘッドから出力された１トラック分の出力
電圧の平均値（ＴＡＡ）を各記録再生動作毎に測定す
る。そして、複数回記録再生動作を繰り返したときに得
られるＴＡＡ（トラック平均振幅）の標準偏差を、ＴＡ
Ａの平均値で割った出力変動（ＣＯＶ:Coefficient Of
Variation）を算出する。そして、このＣＯＶを用いて
ＭＲヘッドの不安定性を定量化し、ＭＲヘッドの安定性
を定量的に検査するようにしている。

【０００７】ハードディスク装置に用いられるＭＲヘッ
ドは、通常、記録用のインダクティブ型ヘッドと一体化
された録再一体型の磁気ヘッドとして構成されており、
記録用のインダクティブ型ヘッドから発生する記録磁界
の影響を受け易い構造となっている。このため、ＭＲヘ
ッドが不安定な場合には、記録時におけるインダクティ
ブ型ヘッドからの記録磁界が磁気的ストレスとなって、
ＭＲ素子の磁区構造の変化をもたらし、バルクハウゼン
ノイズや出力変動等を引き起こし易い。そこで、ハード
ディスク装置に用いられるＭＲヘッドにおいては、上述
した方法によって、記録用のインダクティブ型ヘッドか
ら発生する記録磁界による影響を検出することで、その
安定性を検査するようにしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、磁気
テープに対してヘリカルスキャン方式で情報信号の記録
再生を行う記録再生装置において、上述したようなＭＲ
ヘッドを再生用の磁気ヘッドとして用いる試みがなされ
ている。このような記録再生装置にＭＲヘッドを用いる
場合には、特に、このＭＲヘッドを記録用のインダクテ
ィブ型ヘッドと一体化する必要がなく、記録用のインダ
クティブ型ヘッドとは分離した、独立のヘッドチップと
して構成することが可能である。実際に、磁気テープに
対してヘリカルスキャン方式で情報信号の記録再生を行
う記録再生装置にＭＲヘッドを用いるにあたっては、こ
のＭＲヘッドを独立のヘッドチップとして構成すること
が検討されている。

【０００９】このような記録再生装置に再生用の磁気ヘ
ッドとして用いられるＭＲヘッドに対しても、その安定
性を検査することが要求される。しかしながら、ＭＲヘ
ッドを記録用のインダクティブ型ヘッドとは分離した、
独立のヘッドチップとして構成した場合、上述したハー
ドディスク装置に用いられるＭＲヘッドの安定性検査方
法をそのまま適用することは適当でない。

【００１０】詳述すると、ＭＲヘッドを独立のヘッドチ
ップとして構成した場合、上述したハードディスク装置
に用いられるＭＲヘッドとは異なり、記録用のインダク
ティブ型ヘッドからの記録磁界による影響はほとんどな
いものと考えられる。しかしながら、磁気テープに対し
てヘリカルスキャン方式で情報信号の記録再生を行う記
録再生装置にＭＲヘッドを用いる場合には、省電力化を
図るために、ＭＲヘッドに供給するセンス電流のオン・
オフの切り換えが頻繁に行われることが想定され、この
センス電流の切り換えによりＭＲ素子にもたらされる影
響が懸念される。したがって、このような記録再生装置
に用いられるＭＲヘッドの安定性を検査するには、セン
ス電流の切り換えによる影響を考慮して、ＭＲヘッドの
センス電流に対する安定性を検査することが適当であ
る。

【００１１】本発明は、以上のような実情に鑑みて創案
されたものであって、ＭＲヘッドのセンス電流に対する
安定性を適切に検査することができる安定性検査方法、
及びこのＭＲヘッドのセンス電流に対する安定性の検査
に用いられる検査装置を提供することを目的としてい
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気抵抗効
果型磁気ヘッドの安定性検査方法は、磁気抵抗効果型磁
気ヘッドに供給するセンス電流の切り換え動作を行いな
がら、磁気テープからの信号磁界を上記磁気抵抗効果型
磁気ヘッドにより検出し、上記磁気テープから検出され
た信号磁界に応じた上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドから
の出力波形を観察し、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドか
らの出力波形の変動量に基づいて、上記磁気抵抗効果型
磁気ヘッドのセンス電流に対する安定性を検査すること
を特徴としている。

【００１３】磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、例えば、供
給されるセンス電流のオン・オフの切り換え等が行われ
ると、これが電気的、熱的ストレスとなる場合がある。
そして、不安定な磁気抵抗効果型磁気ヘッドでは、この
ような電気的、熱的ストレスによって磁区構造の変化等
がもたらされ、これが出力波形の変動として現れること
になる。

【００１４】本発明に係る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
安定性検査方法は、磁気抵抗効果型磁気ヘッドに供給す
るセンス電流の切り換え動作を行いながら、磁気テープ
からの信号磁界を上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより
検出し、検出された信号磁界に応じた磁気抵抗効果型磁
気ヘッドからの出力波形の変動量に基づいて、磁気抵抗
効果型磁気ヘッドのセンス電流に対する安定性を検査す
るようにしているので、センス電流のオン・オフの切り
換え等が行われることが想定される磁気抵抗効果型磁気
ヘッドに対して、そのセンス電流に対する安定性を適切
に検査することができる。

【００１５】また、本発明に係る磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドの安定性検査装置は、磁気テープが巻回される回転
ドラムと、上記回転ドラムに巻回された磁気テープに磁
気抵抗効果型磁気ヘッドを接触させ、この磁気抵抗効果
型磁気ヘッドに供給するセンス電流の切り換え動作を行
いながら、上記磁気テープからの信号磁界を上記磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにより検出する検出手段と、上記磁
気テープから検出された信号磁界に応じた上記磁気抵抗
効果型磁気ヘッドからの出力波形を観察するための波形
観察手段とを備えることを特徴としている。

【００１６】この磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性検
査装置によれば、検出手段が、磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドを回転ドラムに巻回された磁気テープに接触させるこ
とによって、磁気テープに記録された信号磁界が磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにより検出されることになる。そし
て、磁気テープから検出された信号磁界に応じた磁気抵
抗効果型磁気ヘッドからの出力波形が、波形観察手段に
より観察されることになる。このとき、検出手段が磁気
抵抗効果型磁気ヘッドに供給するセンス電流の切り換え
を行っているので、磁気抵抗効果型磁気ヘッドが不安定
な場合には、センス電流の切り換え動作の影響を受け
て、波形観察手段により観察される磁気抵抗効果型磁気
ヘッドからの出力波形に変動が現れる。したがって、こ
の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性検査装置によれ
ば、波形観察手段により観察される磁気抵抗効果型磁気
ヘッドからの出力波形の変動量に基づいて、磁気抵抗効
果型磁気ヘッドのセンス電流に対する安定性を適切に検
査することが可能である。

【００１７】また、本発明に係る他の磁気抵抗効果型磁
気ヘッドの安定性検査方法は、磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドに供給するセンス電流の切り換え動作を行いながら、
この磁気抵抗効果型磁気ヘッドに対して磁界発生手段か
らの外部磁界を印加し、上記磁界発生手段からの外部磁
界に応じた上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力波
形を観察し、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの主力
波形の変化量に基づいて、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドのセンス電流に対する安定性を検査することを特徴と
している。

【００１８】この本発明に係る他の磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの安定性検査方法においても、磁気抵抗効果型磁
気ヘッドに供給するセンス電流の切り換え動作を行いな
がら、磁気抵抗効果型磁気ヘッドに対して磁界発生手段
からの外部磁界を印加し、磁界発生手段からの外部磁界
に応じた磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力波形の変
動量に基づいて、磁気抵抗効果型磁気ヘッドのセンス電
流に対する安定性を検査するようにしているので、セン
ス電流のオン・オフの切り換え等が行われることが想定
される磁気抵抗効果型磁気ヘッドに対して、そのセンス
電流に対する安定性を適切に検査することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００２０】先ず、本発明を適用した方法によって安定
性の検査が行われる磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、
ＭＲヘッドと称する。）１について説明する。

【００２１】このＭＲヘッド１は、記録媒体としての磁
気テープに対してヘリカルスキャン方式で情報信号の記
録再生を行う記録再生装置の再生用ヘッドとして用いら
れるものであり、記録用のインダクティブ型ヘッドとは
分離された独立のヘッドチップとして構成されているも
のである。

【００２２】ＭＲヘッド１は、例えば、図１に示すよう
に、いわゆるシールド型ＭＲヘッドとして構成されてお
り、磁気抵抗効果を発揮する薄膜２（以下、ＭＲ薄膜２
と称する。）が、上下一対の磁気シールド層３，４間に
ギャップ膜５，６を介して挟み込まれ、これらが一対の
基板７，８によって挟持された構造となっている。

【００２３】ＭＲ薄膜２は、ＭＲヘッド１における感磁
部となるものであり、その一端が、ＭＲヘッド１の媒体
摺動面となる面から外部に露呈するように配設されてい
る。また、ＭＲ薄膜２の両端部には、一対のバイアス層
９，１０が接続されている。そして、これら一対のバイ
アス層９，１０に、一対の電極層１１，１２の一端部が
それぞれ接続されている。これら一対の電極層１１，１
２の他端部は、図示しない外部接続端子に接続されてい
る。

【００２４】ＭＲヘッド１においては、これらＭＲ薄膜
２と、一対のバイアス層９，１０と、一対の電極層１
１，１２と、外部接続端子とにより、磁気テープに記録
された情報信号を読み出すための素子回路が構成されて
いる。このＭＲヘッド１は、素子回路にセンス電流が供
給された状態で磁気テープ上を摺動したときに、磁気テ
ープからの信号磁界に応じて、ＭＲ薄膜２の抵抗値が変
化することになる。そして、このＭＲ薄膜２の抵抗値変
化が、電圧変化として外部接続端子から検出されること
で、磁気テープに記録された情報信号が読み出されるこ
とになる。

【００２５】なお、ＭＲ薄膜２は、異方性磁気抵抗効果
を発揮するＡＭＲ膜として構成されていてもよいし、巨
大磁気抵抗効果を発揮するＧＭＲ膜、トンネル磁気抵抗
効果を発揮するＴＭＲ膜として構成されていてもよい。

【００２６】また、ＭＲヘッド１は、上述したようなシ
ールド型ＭＲヘッドに限らず、例えば、ＭＲ薄膜が媒体
摺動面から外部に露呈しないヨーク型ＭＲヘッドとして
構成されていてもよい。

【００２７】次に、以上のようなＭＲヘッド１の安定性
を検査する本発明を適用した安定性検査方法について、
具体的に説明する。

【００２８】ＭＲヘッド１は、上述したように、記録用
のインダクティブ型ヘッドとは分離された独立のヘッド
チップとして構成されているので、ハードディスク装置
に用いられるＭＲヘッドのように記録用のインダクティ
ブ型ヘッドと一体化されたＭＲヘッドとは異なり、記録
用のインダクティブ型ヘッドからの記録磁界による影響
はほとんどないものと考えられる。

【００２９】しかしながら、このＭＲヘッド１は、磁気
テープに対してヘリカルスキャン方式で情報信号の記録
再生を行う記録再生装置の再生用ヘッドとして用いられ
るので、センス電流の切り換えによる影響が懸念され
る。すなわち、磁気テープに対してヘリカルスキャン方
式で情報信号の記録再生を行う記録再生装置では、省電
力化を図るために、ＭＲヘッド１が磁気テープ上を摺動
するときにのみ、このＭＲヘッド１にセンス電流を供給
し、ＭＲヘッド１が磁気テープ上を摺動しないときには
センス電流の供給を停止するといったように、ＭＲヘッ
ド１に供給するセンス電流のオン・オフの切り換えが頻
繁に行われることが想定され、このセンス電流の切り換
えによりＭＲヘッド１のＭＲ薄膜２にもたらされる影響
が懸念される。

【００３０】そこで、本発明を適用したＭＲヘッド１の
安定性検査方法では、このようなセンス電流の切り換え
による影響を考慮して、ＭＲヘッド１のセンス電流に対
する安定性を検査するようにしている。

【００３１】先ず、磁気テープからの信号磁界をＭＲヘ
ッド１により検出し、この信号磁界に応じたＭＲヘッド
１からの出力波形を観察することでＭＲヘッド１の安定
性を検査する、いわゆる動的検査方法に本発明を適用し
た例について説明する。

【００３２】本発明を適用した動的検査方法でＭＲヘッ
ド１の安定性を検査する場合には、図２に示すような安
定性検査装置２０が用いられる。この安定性検査装置２
０は、例えばビデオテープレコーダに用いられるビデオ
ヘッドのように、磁気テープに対する情報信号の書き込
みや読み出しを行うヘッドとしてこれまで用いられてき
たインダクティブ型ヘッドの電磁変換特性を検査するた
めの装置として知られているドラムテスタを応用したも
のである。

【００３３】安定性検査装置２０は、図２に示すよう
に、磁気テープＴが巻回される回転ドラム２１と、この
回転ドラム２１に巻回された磁気テープＴに対して信号
磁界を印加することで情報信号を記録する記録系２２
と、磁気テープＴからの信号磁界を検出することで磁気
テープＴに記録された情報信号を読み出す検出手段とし
ての再生系２３と、再生系２３により磁気テープＴから
検出された信号磁界に応じた出力波形を観察するための
波形観察装置２４とを備えている。

【００３４】回転ドラム２１は、図示しないスピンドル
モータに接続されており、このスピンドルモータの駆動
によって回転操作されることで、その周面に巻回された
磁気テープＴを所定の速度で送り動作させる。

【００３５】記録系２２は、磁気テープＴに記録する情
報信号を発生させる発振器２５と、この発振器２５から
の情報信号に応じた信号磁界を、回転ドラム２１に巻回
された磁気テープＴに印加することで、磁気テープＴに
対して情報信号の書き込みを行う記録用磁気ヘッド２６
と、情報信号に応じた信号磁界を記録用磁気ヘッド２６
から適切に発生させるために、必要に応じて、発振器２
５からの情報信号に対応した記録電流を増幅して記録用
磁気ヘッド２６に供給する記録増幅器２７とを有してい
る。

【００３６】ここで、記録用磁気ヘッド２６としては、
磁気コアに励磁コイルが巻回された構造を有し、励磁コ
イルに情報信号に対応した記録電流が供給されること
で、電磁誘導により情報信号に応じた信号磁界を発生さ
せるインダクティブ型の磁気ヘッドが用いられる。そし
て、安定性検査装置２０では、この記録用磁気ヘッド２
６が、図示しない可動テーブル上に設置されており、回
転ドラム２１に巻回されて所定の速度で送り動作される
磁気テープＴに対して、最適な当たりを維持しながら、
この磁気テープＴに接触できるようになされている。

【００３７】一方、再生系２３は、検査対象となるＭＲ
ヘッド１に対してセンス電流を供給する電流供給源２８
と、この電流供給源２８からＭＲヘッド１に供給される
センス電流の切り換えを行う切り換えスイッチ２９と、
ＭＲヘッド１により磁気テープＴから検出された信号磁
界に応じた微小な出力電圧を増幅する再生増幅器３０と
を有している。なお、安定性検査装置２０では、検査対
象となるＭＲヘッド１を図示しない可動テーブル上に設
置し、回転ドラム２１に巻回されて所定の速度で送り動
作される磁気テープＴに対して、このＭＲヘッド１を最
適な当たりを維持しながら接触させるようになされてい
る。

【００３８】また、波形観察装置２４は、検査対象とな
るＭＲヘッド１により磁気テープＴから検出された信号
磁界に応じてＭＲヘッド１から出力され、再生増幅器３
０により増幅された出力電圧を示す波形（出力波形）を
観察するためのものであり、例えば、オシロスコープや
スペクトルアナライザ等が用いられる。

【００３９】以上のように構成される安定性検査装置２
０においては、回転ドラム２１に巻回されて送り動作さ
れる磁気テープＴに対して、記録系２２により情報信号
を記録し、この磁気テープＴに記録された情報信号を、
検査対象となるＭＲヘッド１を含む再生系２３により読
み出し、このときのＭＲヘッド１からの出力波形を波形
観察装置２４により観察することで、ＭＲヘッド１の安
定性を検査することができるようになされている。

【００４０】詳述すると、この安定性検査装置２０を用
いてＭＲヘッド１の安定性を検査する場合には、回転ド
ラム２１を回転操作して、この回転ドラム２１に巻回さ
れた磁気テープＴを所定の速度で送り動作させると共
に、記録系２２の発振器２５から情報信号を発生させ、
この情報信号に対応した記録電流を必要に応じて記録増
幅器２７により増幅して記録用磁気ヘッド２６に供給す
る。そして、この記録用磁気ヘッド２６を送り動作され
る磁気テープＴに接触させ、この記録用磁気ヘッド２６
から発生する信号磁界を磁気テープＴに印加すること
で、磁気テープＴに情報信号が記録されることになる。

【００４１】磁気テープＴに記録された情報信号は、検
査対象となるＭＲヘッド１を磁気テープＴに接触させる
ことにより、再生系２３により読み出されることにな
る。すなわち、検査対象となるＭＲヘッド１に対して電
流供給源２８からセンス電流を供給した状態で、このＭ
Ｒヘッド１を磁気テープＴに接触させると、磁気テープ
Ｔに記録された情報信号に応じて磁気テープＴから発生
する信号磁界が、ＭＲヘッド１により検出され、ＭＲヘ
ッド１から信号磁界に応じた出力電圧、すなわち、磁気
テープＴに記録された情報信号に対応した出力電圧が得
られることになる。

【００４２】ＭＲヘッド１からの出力電圧は、再生増幅
器３０により増幅されて、波形観察装置２４に供給され
る。そして、この波形観察装置２４により、ＭＲヘッド
１からの出力波形が観察され、ＭＲヘッド１からの出力
波形の変動に基づいて、ＭＲヘッド１の安定性が検査さ
れることになる。

【００４３】ここで、安定性検査装置２０においては、
検査対象となるＭＲヘッド１を磁気テープＴに接触させ
て、この磁気テープＴに記録された情報信号を再生系２
３により読み出す際に、切り換えスイッチ２９により、
電流供給源２８からＭＲヘッド１に供給されるセンス電
流の切り換えを行うようにしている。そして、この切り
換えスイッチ２９によるセンス電流の切り換え動作をス
トレスパラメータとして、ＭＲヘッド１にストレスが与
えられたときにＭＲヘッド１からの出力波形に生じる変
動量に基づいて、ＭＲヘッド１のセンス電流に対する安
定性を定量的に検査できるようにしている。

【００４４】具体的には、切り換えスイッチ２９は、例
えば、回転ドラム２１が１回転する毎に、電流供給源２
８からＭＲヘッド１に供給されるセンス電流のオン・オ
フの切り換えを行う。このとき、図３に示すように、セ
ンス電流がオンの場合にのみＭＲヘッド１からの出力波
形が観察されることになる。このセンス電流がオンの場
合に観察されるＭＲヘッド１からの出力波形の波形変動
を、後述する方法によって定量化すれば、センス電流の
切り換え動作をストレスパラメータとした場合のＭＲヘ
ッド１のセンス電流に対する安定性を定量的に検査する
ことができる。

【００４５】センス電流がオンの場合に検出されるＭＲ
ヘッド１からの出力波形の波形変動を定量化する方法と
しては、ＣＯＶ（Coefficient Of Variation）を用いる
方法や、ＭＲヘッド１から出力された出力電圧の平均値
を用いる方法、出力電圧の標準偏差を用いる方法、更に
は、出力波形の上下パルスの非対称性（アシンメトリ）
を用いる方法等が考えられる。なお、ＣＯＶは、センス
電流がオンの状態で回転ドラム２１が１回転する間（以
下、測定単位という。）にＭＲヘッド１から出力された
出力電圧の平均値（ＴＡＡ）を、複数の測定単位毎に測
定し、このときに得られるＴＡＡの標準偏差をＴＡＡの
平均値で割ることで得られる出力変動である。また、ア
シンメトリは、図４に示すように、ＭＲヘッド１からの
出力波形の上パルスの最高出力をａ（ｍＶ）とし、下パ
ルスの最高出力をｂ（ｍＶ）としたときに、｛（ａ−
ｂ）／（ａ＋ｂ）｝×１００（％）で表される出力変動
である。

【００４６】以上のような安定性検査装置２０を用い、
ＭＲヘッド１に供給されるセンス電流のオン・オフの切
り換えを行いながらＭＲヘッド１からの出力波形の波形
変動を観察し、このＭＲヘッド１からの出力波形の波形
変動を定量化したところ、ＭＲヘッド１が安定な場合に
は、図５に示すような結果が得られたのに対し、ＭＲヘ
ッド１が不安定な場合には、図６に示すような結果が得
られた。なお、ここでは、ＭＲヘッド１から出力された
出力電圧の平均値を用いてＭＲヘッド１からの出力波形
の波形変動を定量化するようにした。具体的には、上述
した複数の測定単位毎にＭＲヘッド１から出力される出
力電圧の平均値を求め、それを複数回繰り返し行って出
力波形の波形変動を定量化した。

【００４７】図５に示した結果から、ＭＲヘッド１が安
定な場合には、センス電流のオン・オフの切り換えを２
００回繰り返したときでも、ＭＲヘッド１からの出力波
形にほとんど変動が生じないことが分かる。これに対し
て、ＭＲヘッド１が不安定な場合には、図６に示した結
果から、センス電流のオン・オフの切り換えを複数回繰
り返し行うことにより、ＭＲヘッド１からの出力波形に
不規則な変動が生じていることが分かる。このように不
安定なＭＲヘッド１からの出力波形に変動が生じるの
は、センス電流のオン・オフの切り換えが電気的、熱的
ストレスとなってＭＲ薄膜２の磁区構造が変化し、バル
クハウゼンノイズ等が発生するためと考えられる。

【００４８】以上のように、ＭＲヘッド１に供給される
センス電流のオン・オフの切り換えを行いながらＭＲヘ
ッド１からの出力波形の波形変動を観察し、このＭＲヘ
ッド１からの出力波形の波形変動を定量化することによ
り、センス電流の切り換え動作をストレスパラメータと
した場合のＭＲヘッド１のセンス電流に対する安定性を
定量的に検査することが可能となる。

【００４９】なお、以上は、切り換えスイッチ２９によ
りＭＲヘッド１に供給されるセンス電流のオン・オフの
切り換えを行って、センス電流の切り換え動作をストレ
スパラメータとした場合のＭＲヘッド１のセンス電流に
対する安定性を検査するようにした例について説明した
が、ＭＲヘッド１に供給されるセンス電流の方向を切り
換えスイッチ２９により正方向及び負方向に切り換えな
がらＭＲヘッド１からの出力波形の波形変動を観察し、
このＭＲヘッド１からの出力波形の波形変動を定量化す
るようにすれば、センス電流の切り換え動作をストレス
パラメータとした場合のＭＲヘッド１のセンス電流に対
する安定性を、更に厳しい条件の下で、定量的に検査す
ることが可能となる。

【００５０】具体的には、例えば、回転ドラム２１が１
回転する毎に、電流供給源２８からＭＲヘッド１に供給
されるセンス電流の方向を、切り換えスイッチ２９によ
り正方向及び負方向に切り換える。このとき、図７に示
すように、センス電流の方向が正方向の場合（ａ１，ａ
２，ａ３・・・）と負方向の場合（ｂ１，ｂ２，ｂ３・
・・）とで、同様の出力波形が観察されることになる。
そして、センス電流の方向が正方向の場合に観察される
ＭＲヘッド１からの出力波形（ａ１＋ａ２＋ａ３・・
・）の波形変動と、センス電流の方向が負方向の場合に
観察されるＭＲヘッド１からの出力波形（ｂ１＋ｂ２＋
ｂ３・・・）の波形変動とを、上述した方法によってそ
れぞれ個別に定量化することで、センス電流の切り換え
動作をストレスパラメータとした場合のＭＲヘッド１の
センス電流に対する安定性を定量的に検査することがで
きる。

【００５１】この場合、センス電流の方向が正方向の場
合に観察されるＭＲヘッド１からの出力波形の変動量
と、センス電流の方向が負方向の場合に観察されるＭＲ
ヘッド１からの出力波形の変動量との双方に基づいて、
ＭＲヘッド１のセンス電流に対する安定性が検査される
ことになるので、ＭＲヘッド１のセンス電流に対する安
定性をより厳しく検査することが可能となる。

【００５２】ところで、以上は、いわゆる動的検査方法
でＭＲヘッド１の安定性を検査する例について説明した
が、本発明は、磁界発生手段からの外部磁界をＭＲヘッ
ド１に印加し、この磁界発生手段からの外部磁界に応じ
たＭＲヘッド１からの出力波形を観察することでＭＲヘ
ッド１の安定性を検査する、いわゆる静的検査方法に適
用することも可能である。

【００５３】本発明を適用した静的検査方法でＭＲヘッ
ド１の安定性を検査する場合には、図８に示すような安
定性検査装置３１が用いられる。この安定性検査装置３
１は、静的検査方法により磁気ヘッドの安定性を検査す
る際に一般的に用いられるＱＳＴ（Quasi-Static-Tes
t）テスタを応用したものである。

【００５４】安定性検査装置３１は、図８に示すよう
に、検査対象となるＭＲヘッド１の近傍に配設された磁
界発生手段としてのコイル３２と、検査対象となるＭＲ
ヘッド１に対してセンス電流を供給する電流供給源３３
と、この電流供給源３３からＭＲヘッド１に供給される
センス電流の切り換えを行う切り換えスイッチ３４と、
ＭＲヘッド１からの出力波形を観察するためのオシロス
コープ等よりなる波形観察装置３５とを備えている。

【００５５】以上のように構成される安定性検査装置３
１を用いてＭＲヘッド１の安定性を検査する場合には、
検査対象となるＭＲヘッド１に対して電流供給源３３か
らセンス電流を供給した状態で、ＭＲヘッド１の近傍に
配設されたコイル３２に疑似信号を供給して、コイル３
２から所定の大きさの磁界を発生させる。そして、この
コイル３２から発生した外部磁界をＭＲヘッド１に印加
して、図９に示すようなρ−Ｈ曲線（ρ；ＭＲヘッドの
抵抗、Ｈ；磁界強度）を得る。このρ−Ｈ曲線から、Ｍ
Ｒヘッド１の出力を検出し、このＭＲヘッド１からの出
力波形を波形観察装置３５により観察する。そして、観
察されるＭＲヘッド１からの出力波形の変動に基づい
て、ＭＲヘッド１の安定性を検査する。

【００５６】ここで、安定性検査装置３１においては、
コイル３２からの外部磁界をＭＲヘッド１に印加する際
に、切り換えスイッチ３４により、電流供給源３３から
ＭＲヘッド１に供給されるセンス電流の切り換えを行う
ようにしている。そして、この切り換えスイッチ３４に
よるセンス電流の切り換え動作をストレスパラメータと
して、ＭＲヘッド１にストレスが与えられたときにＭＲ
ヘッド１からの出力波形に生じる変動量に基づいて、Ｍ
Ｒヘッド１のセンス電流に対する安定性を定量的に検査
できるようにしている。

【００５７】具体的には、切り換えスイッチ３４は、例
えば、電流供給源３３からＭＲヘッド１に供給されるセ
ンス電流のオン・オフの切り換えを複数回繰り返して行
う。このとき、波形観察装置３５により観察されるＭＲ
ヘッド１からの出力波形の波形変動を定量化するように
すれば、センス電流の切り換え動作をストレスパラメー
タとした場合のＭＲヘッド１のセンス電流に対する安定
性を定量的に検査することができる。

【００５８】なお、切り換えスイッチ３４は、電流供給
源３３からＭＲヘッド１に供給されるセンス電流の方向
を正方向及び負方向に切り換えるようにしてもよい。セ
ンス電流の方向を正方向及び負方向に複数回繰り返して
切り換えながら、ＭＲヘッド１からの出力波形の波形変
動を観察し、このＭＲヘッド１からの出力波形の波形変
動を定量化するようにすれば、センス電流の切り換え動
作をストレスパラメータとした場合のＭＲヘッド１のセ
ンス電流に対する安定性を、更に厳しい条件の下で、定
量的に検査することが可能となる。

【００５９】

【発明の効果】本発明に係る磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の安定性検査方法によれば、磁気抵抗効果型磁気ヘッド
に供給するセンス電流の切り換え動作をストレスパラメ
ータとした場合の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性が
検査されることになるので、センス電流のオン・オフの
切り換え等が行われることが想定される磁気抵抗効果型
磁気ヘッドに対して、そのセンス電流に対する安定性を
適切に検査することが可能となる。

【００６０】また、本発明に係る磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドの安定性検査装置は、磁気抵抗効果型磁気ヘッドに
供給するセンス電流の切り換え動作をストレスパラメー
タとして磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性を検査する
ことができるので、この装置を用いて磁気抵抗効果型磁
気ヘッドの安定性を検査するようにすれば、センス電流
のオン・オフの切り換え等が行われることが想定される
磁気抵抗効果型磁気ヘッドに対して、そのセンス電流に
対する安定性を適切に検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＭＲヘッドを媒体摺動面側から見た様子を示す
平面図である。

【図２】本発明を適用した安定性検査装置の概略構成を
模式的に示す図である。

【図３】ＭＲヘッドに供給するセンス電流のオン・オフ
の切り換え動作とＭＲヘッドからの出力波形との関係を
示す図である。

【図４】アシンメトリを説明するための図である。

【図５】ＭＲヘッドからの出力波形の変動量を定量化し
て得られる結果を示す図であり、ＭＲヘッドが安定な場
合に得られる結果を示す図である。

【図６】ＭＲヘッドからの出力波形の変動量を定量化し
て得られる結果を示す図であり、ＭＲヘッドが不安定な
場合に得られる結果を示す図である。

【図７】ＭＲヘッドに供給するセンス電流の方向の切り
換え動作とＭＲヘッドからの出力波形との関係を示す図
である。

【図８】本発明を適用した他の安定性検査装置の概略構
成を模式的に示す図である。

【図９】ρ−Ｈ曲線を示す図である。

【符号の説明】

１ＭＲヘッド、２ＭＲ薄膜、２０安定性検査
装置、２１回転ドラム、２３再生系、２４
波形観察装置、２８電流供給源、２９切り換えス
イッチ、３１安定性検査装置、３２コイル、
３３電流供給源、３４切り換えスイッチ、３５
波形観察装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気抵抗効果型磁気ヘッドに供給するセ
ンス電流の切り換え動作を行いながら、磁気テープから
の信号磁界を上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより検出
し、上記磁気テープから検出された信号磁界に応じた上
記磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力波形を観察し、
上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力波形の変動量
に基づいて、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドのセンス電
流に対する安定性を検査することを特徴とする磁気抵抗
効果型磁気ヘッドの安定性検査方法。
【請求項２】上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドに供給す
るセンス電流のオン・オフを切り換えながら、上記磁気
抵抗効果型磁気ヘッドのセンス電流に対する安定性を検
査することを特徴とする請求項１記載の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの安定性検査方法。
【請求項３】上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドに供給す
るセンス電流の方向を正方向及び負方向に切り換えなが
ら、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドのセンス電流に対す
る安定性を検査することを特徴とする請求項１記載の磁
気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性検査方法。
【請求項４】磁気テープが巻回される回転ドラムと、上記回転ドラムに巻回された磁気テープに磁気抵抗効果
型磁気ヘッドを接触させ、この磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドに供給するセンス電流の切り換え動作を行いながら、
上記磁気テープからの信号磁界を上記磁気抵抗効果型磁
気ヘッドにより検出する検出手段と、上記磁気テープから検出された信号磁界に応じた上記磁
気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力波形を観察するため
の波形観察手段とを備えることを特徴とする磁気抵抗効
果型磁気ヘッドの安定性検査装置。
【請求項５】上記検出手段は、上記磁気抵抗効果型磁
気ヘッドに供給するセンス電流のオン・オフを切り換え
ながら、上記磁気テープからの信号磁界を上記磁気抵抗
効果型磁気ヘッドにより検出することを特徴とする請求
項４記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性検査装
置。
【請求項６】上記検出手段は、上記磁気抵抗効果型磁
気ヘッドに供給するセンス電流の方向を正方向及び負方
向に切り換えながら、上記磁気テープからの信号磁界を
上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドにより検出することを特
徴とする請求項４記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの安
定性検査装置。
【請求項７】磁気抵抗効果型磁気ヘッドに供給するセ
ンス電流の切り換え動作を行いながら、この磁気抵抗効
果型磁気ヘッドに対して磁界発生手段からの外部磁界を
印加し、上記磁界発生手段からの外部磁界に応じた上記
磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力波形を観察し、上
記磁気抵抗効果型磁気ヘッドからの出力波形の変動量に
基づいて、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドのセンス電流
に対する安定性を検査することを特徴とする磁気抵抗効
果型磁気ヘッドの安定性検査方法。
【請求項８】上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドに供給す
るセンス電流のオン・オフを切り換えながら、上記磁気
抵抗効果型磁気ヘッドのセンス電流に対する安定性を検
査することを特徴とする請求項７記載の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの安定性検査方法。
【請求項９】上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドに供給す
るセンス電流の方向を正方向及び負方向に切り換えなが
ら、上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドのセンス電流に対す
る安定性を検査することを特徴とする請求項７記載の磁
気抵抗効果型磁気ヘッドの安定性検査方法。