JP2002026116A - 平板状の搬送対象物を搬送するための容器 - Google Patents
平板状の搬送対象物を搬送するための容器Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 容器に求められる複数の機能全てに満足でき
る収納容器を提供する。 【解決手段】 シリコンディスク等の平板状搬送対象物
１１ｐを搬送するための容器１は、内部空間２ｖを形成
するボックスの形の本体２と、この本体２の側壁２ｇに
設けられた複数のポケット３ｓからなるラック３と、本
体２の底部に設けられたランナ４とを含み、本体２、ポ
ケット３ｓ及びランナ４は全て独立した部品であり、１
つに組み合わされて容器１を形成するとともに、異なる
物理的及び化学的性質を持つ材料から作成される。
る収納容器を提供する。 【解決手段】 シリコンディスク等の平板状搬送対象物
１１ｐを搬送するための容器１は、内部空間２ｖを形成
するボックスの形の本体２と、この本体２の側壁２ｇに
設けられた複数のポケット３ｓからなるラック３と、本
体２の底部に設けられたランナ４とを含み、本体２、ポ
ケット３ｓ及びランナ４は全て独立した部品であり、１
つに組み合わされて容器１を形成するとともに、異なる
物理的及び化学的性質を持つ材料から作成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、塵埃又は他の不純
物が処理を受けている部品に堆積すると、プロセス及び
処理の精度及び真の目的を容認できないほど損ねるの
で、そうしたことが起きないことを確実にするために、
制御又は非制御雰囲気環境、すなわち空気を濾過して極
めて高水準に調整することさえできる環境に設置された
様々なステーション中に、電子部品又はシリコンディス
ク（ウェハ）等の平板状の搬送対象物を移動させるため
に使用するシステムの技術分野に関する。
物が処理を受けている部品に堆積すると、プロセス及び
処理の精度及び真の目的を容認できないほど損ねるの
で、そうしたことが起きないことを確実にするために、
制御又は非制御雰囲気環境、すなわち空気を濾過して極
めて高水準に調整することさえできる環境に設置された
様々なステーション中に、電子部品又はシリコンディス
ク（ウェハ）等の平板状の搬送対象物を移動させるため
に使用するシステムの技術分野に関する。
【０００２】さらに詳しくは、本発明は、記述した種類
のシステムの一部を構成する構造的トラック要素を介し
て移動する容器であって、システムの様々なステーショ
ン間を搬送されながら多数の異なるプロセスを受けなけ
ればならない例えばシリコンディスク（ウェハ）などの
平板状の搬送対象物を収納する特殊ラックを内部に備え
た容器に関する。
のシステムの一部を構成する構造的トラック要素を介し
て移動する容器であって、システムの様々なステーショ
ン間を搬送されながら多数の異なるプロセスを受けなけ
ればならない例えばシリコンディスク（ウェハ）などの
平板状の搬送対象物を収納する特殊ラックを内部に備え
た容器に関する。
【０００３】
【従来の技術】当業者には周知であるこの種の容器は、
前記ラックを含む上部開口ボックスの形態を採り、前記
ラックは、ほぼ垂直方向に配置されかつ容器の移動方向
に平行な容器の壁に形成された多数対の対向する平行な
スロットを備えている。シリコンディスクは、その下縁
を容器の中心の方向に開口するスロットに収容させた状
態で配置される。
前記ラックを含む上部開口ボックスの形態を採り、前記
ラックは、ほぼ垂直方向に配置されかつ容器の移動方向
に平行な容器の壁に形成された多数対の対向する平行な
スロットを備えている。シリコンディスクは、その下縁
を容器の中心の方向に開口するスロットに収容させた状
態で配置される。
【０００４】上記容器は、高密度ポリウレタンから作成
される遊転ホイールの形態で通常作成されるトラック要
素を介して移動できるランナを備えている。
される遊転ホイールの形態で通常作成されるトラック要
素を介して移動できるランナを備えている。
【０００５】既存の容器は、通常、成形工程によって、
プラスチック材料（強化用繊維を「充填」又はその他の
方法で含む合成樹脂など）から形成された一体構造体
（monolithic body）として生産される。さらに、前記
スロットは、容器の前記２つの側壁の全長に沿って形成
される。
プラスチック材料（強化用繊維を「充填」又はその他の
方法で含む合成樹脂など）から形成された一体構造体
（monolithic body）として生産される。さらに、前記
スロットは、容器の前記２つの側壁の全長に沿って形成
される。
【０００６】その場合、容器を生産するために選択され
る単一の材料が、上述の容器の部分のうちの１つの機能
上の必要性に完全に適合する特徴を持つが、他の部分に
とってはそうではない材料であるという問題が生じる。
る単一の材料が、上述の容器の部分のうちの１つの機能
上の必要性に完全に適合する特徴を持つが、他の部分に
とってはそうではない材料であるという問題が生じる。
【０００７】例えば、容器のラックの前述のスロット
は、搬送対象物の下縁との接触によって生じる摩耗に対
し非常に強い耐性を持たなければならないのに対して、
それらを分離する隔壁は振動を発生させてはならず、代
わりに、容器内に含まれる平板状の搬送対象物が移動す
るときにそれらによって受ける衝撃を減衰しなければな
らない。
は、搬送対象物の下縁との接触によって生じる摩耗に対
し非常に強い耐性を持たなければならないのに対して、
それらを分離する隔壁は振動を発生させてはならず、代
わりに、容器内に含まれる平板状の搬送対象物が移動す
るときにそれらによって受ける衝撃を減衰しなければな
らない。
【０００８】他方、上述のランナは、前記トラックの材
料と接触したときに最低可能な摩擦係数を持たなければ
ならない。
料と接触したときに最低可能な摩擦係数を持たなければ
ならない。
【０００９】さらに、純粋に構造的な機能を持つ残りの
部品に関する限り、容器は全体として、各寸法に対する
公差の範囲が非常に小さく、高い寸法精度で生産するこ
とを可能にするような特徴を呈さなければならない。
部品に関する限り、容器は全体として、各寸法に対する
公差の範囲が非常に小さく、高い寸法精度で生産するこ
とを可能にするような特徴を呈さなければならない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】容易に理解できるよう
に、１つだけの材料から作成される一体構造の容器が、
上に列挙した全ての特徴を同時に持つことは物理的に不
可能であり、その結果、それは前記機能のうちの１つに
必然的に適合し、他の機能への適合性はより低く、ある
いはそれは全ての機能にとって「充分」であるが、満足
できるまでには適合せず、システムの様々な処理段階の
精度及び効果ならびにその速度及び効率に対して影響が
ある。
に、１つだけの材料から作成される一体構造の容器が、
上に列挙した全ての特徴を同時に持つことは物理的に不
可能であり、その結果、それは前記機能のうちの１つに
必然的に適合し、他の機能への適合性はより低く、ある
いはそれは全ての機能にとって「充分」であるが、満足
できるまでには適合せず、システムの様々な処理段階の
精度及び効果ならびにその速度及び効率に対して影響が
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の発明者は、当該
種類の容器を単一の材料から一体品として作成するので
はなく、むしろ適切に選択された材料からの幾つかの部
品として作成して１つに組み立て、かつ前記スロット
を、容器の内部空間を画定する側壁の上部及び下部に取
り付けた対向する対のポケットによって作成すれば、上
で説明した問題は回避できることを見出した。
種類の容器を単一の材料から一体品として作成するので
はなく、むしろ適切に選択された材料からの幾つかの部
品として作成して１つに組み立て、かつ前記スロット
を、容器の内部空間を画定する側壁の上部及び下部に取
り付けた対向する対のポケットによって作成すれば、上
で説明した問題は回避できることを見出した。
【００１２】このやり方により、各部に最善の材料を選
択することができるので、各部はその特定の機能を最良
可能なやり方で実行することが可能になる。
択することができるので、各部はその特定の機能を最良
可能なやり方で実行することが可能になる。
【００１３】そこで、本発明は、請求項１の前提部分に
記載され、同請求項の特徴部分によって特徴付けられる
容器を提供する。
記載され、同請求項の特徴部分によって特徴付けられる
容器を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明による容器の実施形態につ
いて、ここでより詳細に説明するが、これは、上述の請
求項１の教示に従い当業者によって達成可能な他の実施
形態に関して拘束又は制限するものと理解すべきではな
い。
いて、ここでより詳細に説明するが、これは、上述の請
求項１の教示に従い当業者によって達成可能な他の実施
形態に関して拘束又は制限するものと理解すべきではな
い。
【００１５】前述の説明では、添付の図面も参照する。
【００１６】図１及び２において、本発明の容器１は、
図２でより詳細に示すとおり、その上側２ｓが開口し、
内部空間２ｖを備え、前記容器１の移動方向（図１の矢
印Ｍ）に平行な２個の側壁２ｇを備えたボックスの形の
本体２を具備する。この本体２は、寸法精度を上げ易く
するために、ポリカーボネートから作成することが好ま
しい。
図２でより詳細に示すとおり、その上側２ｓが開口し、
内部空間２ｖを備え、前記容器１の移動方向（図１の矢
印Ｍ）に平行な２個の側壁２ｇを備えたボックスの形の
本体２を具備する。この本体２は、寸法精度を上げ易く
するために、ポリカーボネートから作成することが好ま
しい。
【００１７】この内部空間２ｖにおいて、側壁２ｇに
は、一対の上部ポケット３ｓと一対の下部ポケット３ｉ
とで構成されるラック３が固定されている。ラック３
は、ほぼ垂直の隔壁３ｄによって相互に分離される複数
の平行なスロット３ｐを有する。平板状の搬送対象物１
１ｐたるシリコンディスクの振動を防止し、衝撃を減衰
するために、上部ポケット３ｓは例えば、その目的に適
した、例えばポリスルホンなどの材料から形成すること
ができる。
は、一対の上部ポケット３ｓと一対の下部ポケット３ｉ
とで構成されるラック３が固定されている。ラック３
は、ほぼ垂直の隔壁３ｄによって相互に分離される複数
の平行なスロット３ｐを有する。平板状の搬送対象物１
１ｐたるシリコンディスクの振動を防止し、衝撃を減衰
するために、上部ポケット３ｓは例えば、その目的に適
した、例えばポリスルホンなどの材料から形成すること
ができる。
【００１８】これに対し、スロット３ｐに収容される搬
送対象物１１ｐの下縁を支持する下部ポケット３ｉは、
例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）など、
摩擦による摩耗に極めて強い材料から形成する。各搬送
対象物１１ｐは、接触による損傷ができるだけ少なくな
るように、上部ポケット３ｓ及び下部ポケット３ｉによ
って、外周部のみが所定の間隔をあけて保持されてい
る。
送対象物１１ｐの下縁を支持する下部ポケット３ｉは、
例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）など、
摩擦による摩耗に極めて強い材料から形成する。各搬送
対象物１１ｐは、接触による損傷ができるだけ少なくな
るように、上部ポケット３ｓ及び下部ポケット３ｉによ
って、外周部のみが所定の間隔をあけて保持されてい
る。
【００１９】本体２の底部には、１つ以上のランナ４
（図面では２つ）が取り付けられており、これらランナ
４と構造的トラック要素５（通常は遊転ホイール）を介
して容器１が移動するようになっている。ランナ４は、
構造的トラック要素５が構成される材料に対して低い摩
擦係数を持つ材料から作成する。例えば、構造的トラッ
ク要素５を高密度ポリウレタンから形成する場合、上述
のランナ４は、例えばポリブチレンから有利に形成する
ことができる。
（図面では２つ）が取り付けられており、これらランナ
４と構造的トラック要素５（通常は遊転ホイール）を介
して容器１が移動するようになっている。ランナ４は、
構造的トラック要素５が構成される材料に対して低い摩
擦係数を持つ材料から作成する。例えば、構造的トラッ
ク要素５を高密度ポリウレタンから形成する場合、上述
のランナ４は、例えばポリブチレンから有利に形成する
ことができる。
【００２０】本発明による容器を構成する様々な部品を
１つに組み立てるために使用する手段（接着剤やねじ手
段等の連結手段）は、非常に単純であり、当業者にはよ
く知られているので、その手段についてここでは詳細に
説明はしない。
１つに組み立てるために使用する手段（接着剤やねじ手
段等の連結手段）は、非常に単純であり、当業者にはよ
く知られているので、その手段についてここでは詳細に
説明はしない。
【００２１】上記構成の容器１は、その取扱い中、保持
される平板状の搬送対象物１１ｐが地面と平行になるよ
うに鉛直面に対して９０°回動され、その上部開口２ｓ
側が搬送対象物１１ｐに処理を施す処理ステーションの
方向を向く。従来のラックは、容器の側壁に対して傾斜
した２つの側面により規定されるＵ字形断面のスロット
を持ち、搬送対象物が容器内に挿入されたときにスロッ
トの両側面に係合するようになっている。
される平板状の搬送対象物１１ｐが地面と平行になるよ
うに鉛直面に対して９０°回動され、その上部開口２ｓ
側が搬送対象物１１ｐに処理を施す処理ステーションの
方向を向く。従来のラックは、容器の側壁に対して傾斜
した２つの側面により規定されるＵ字形断面のスロット
を持ち、搬送対象物が容器内に挿入されたときにスロッ
トの両側面に係合するようになっている。
【００２２】しかしながら、従来のラックにおける各ス
ロットの上記断面形状は次のような問題点があった。す
なわち、平板状の搬送対象物を地面に平行にしたとき
に、搬送対象物の外周縁がスロットの傾斜した側面に載
ることになるが、スロットと搬送対象物との間に必然的
に存在する遊びが存在し、且つ取扱いの過程で搬送対象
物が振動及び変位を必然的に受けるため、地面に対して
不規則な配向を生じ、結果として、地面に「ほぼ」平行
であるが、「厳密には」平行ではなくなることになる。
ロットの上記断面形状は次のような問題点があった。す
なわち、平板状の搬送対象物を地面に平行にしたとき
に、搬送対象物の外周縁がスロットの傾斜した側面に載
ることになるが、スロットと搬送対象物との間に必然的
に存在する遊びが存在し、且つ取扱いの過程で搬送対象
物が振動及び変位を必然的に受けるため、地面に対して
不規則な配向を生じ、結果として、地面に「ほぼ」平行
であるが、「厳密には」平行ではなくなることになる。
【００２３】このため、各搬送対象物を各々の個別処理
及び／又はプロセス前に把持する際の面倒と時間の浪費
を引き起こす。
及び／又はプロセス前に把持する際の面倒と時間の浪費
を引き起こす。
【００２４】上述の問題を回避するために、本発明で
は、その長手方向の断面の形状に関して特別な種類のス
ロット３ｐを考案した。すなわち、このスロット３ｐの
断面輪郭は変形Ｕ字形であり、その開口側は前記内部空
間２ｖにおける容器１の中心方向を向き、容器２の移動
方向（矢印Ｍ）についてみて先行側面Ｂ（図３参照）は
側壁２ｇに対して垂直に方向付ける。なお、図３では、
さらに好適な別の実施形態（後述）として、先行側面Ｂ
が円弧状に膨出した形態として示しているが、先行側面
Ｂを容器本体２の側壁２ｇに垂直に構成する本実施形態
では、当該先行側面Ｂは、図３中の弦Ｄに平行であっ
て、搬送対象物１１ｐに接触する平坦面となる。また、
容器２の移動方向（矢印Ｍ）についてみてスロット３ｐ
における後行側面Ａは、従来のラックにおけるスロット
と同様に、容器本体２の側壁２ｇに対して傾斜している
（この結果、搬送対象物１１ｐに対しても角度αだけ傾
斜することになる）。
は、その長手方向の断面の形状に関して特別な種類のス
ロット３ｐを考案した。すなわち、このスロット３ｐの
断面輪郭は変形Ｕ字形であり、その開口側は前記内部空
間２ｖにおける容器１の中心方向を向き、容器２の移動
方向（矢印Ｍ）についてみて先行側面Ｂ（図３参照）は
側壁２ｇに対して垂直に方向付ける。なお、図３では、
さらに好適な別の実施形態（後述）として、先行側面Ｂ
が円弧状に膨出した形態として示しているが、先行側面
Ｂを容器本体２の側壁２ｇに垂直に構成する本実施形態
では、当該先行側面Ｂは、図３中の弦Ｄに平行であっ
て、搬送対象物１１ｐに接触する平坦面となる。また、
容器２の移動方向（矢印Ｍ）についてみてスロット３ｐ
における後行側面Ａは、従来のラックにおけるスロット
と同様に、容器本体２の側壁２ｇに対して傾斜している
（この結果、搬送対象物１１ｐに対しても角度αだけ傾
斜することになる）。
【００２５】以上の構成によると、容器１を９０°回転
したときに、平板状の搬送対象物１１ｐの外周縁が容器
１の本体２における側壁２ｇに対して垂直な先行側面Ｂ
（スロット３ｐの）に載ることになるので、搬送対象物
１１ｐは、地面に対して平行な位置に厳密に配置され
る。
したときに、平板状の搬送対象物１１ｐの外周縁が容器
１の本体２における側壁２ｇに対して垂直な先行側面Ｂ
（スロット３ｐの）に載ることになるので、搬送対象物
１１ｐは、地面に対して平行な位置に厳密に配置され
る。
【００２６】平板状の搬送対象物１１ｐの外周縁の支持
をいっそう正確かつ信頼できるものにするために改良し
た別の実施形態では、図３に示すように、各スロットの
前記先行側面Ｂをわずかに膨出状の輪郭を持つように形
成して、直線Ｐに沿ってだけ搬送対象物１１ｐに接触す
るようにしている。
をいっそう正確かつ信頼できるものにするために改良し
た別の実施形態では、図３に示すように、各スロットの
前記先行側面Ｂをわずかに膨出状の輪郭を持つように形
成して、直線Ｐに沿ってだけ搬送対象物１１ｐに接触す
るようにしている。
【００２７】この結果を得るために、先行側面Ｂについ
て幾つかの異なる形状の輪郭が可能である。図３に示し
た実施形態では、変形Ｕ字形断面の先行側面Ｂが側壁２
ｇに平行な弦Ｄを有する円弧の輪郭を有する。
て幾つかの異なる形状の輪郭が可能である。図３に示し
た実施形態では、変形Ｕ字形断面の先行側面Ｂが側壁２
ｇに平行な弦Ｄを有する円弧の輪郭を有する。
【００２８】この構成により、２組のポケット３ｉ、３
ｓににおけるスロット３ｐに収容される搬送対象物１１
ｐの外周縁は、直線Ｐだけを介して支持されることにな
るので、搬送対象物１１ｐが地面に対して水平になるか
どうかは、各スロット３ｐにおけるこの直線Ｐの寸法精
度のみに依存する。
ｓににおけるスロット３ｐに収容される搬送対象物１１
ｐの外周縁は、直線Ｐだけを介して支持されることにな
るので、搬送対象物１１ｐが地面に対して水平になるか
どうかは、各スロット３ｐにおけるこの直線Ｐの寸法精
度のみに依存する。
【００２９】以上のとおり、本発明に従って構成された
容器１は、容易に実施される基礎的技術によって全ての
その機能的特性を最適化することができ、本発明が意図
した効果を達成する。
容器１は、容易に実施される基礎的技術によって全ての
その機能的特性を最適化することができ、本発明が意図
した効果を達成する。
【図１】平板状の搬送対象物（シリコンディスク）を含
む本発明の実施形態に係る容器全体の斜視図である。
む本発明の実施形態に係る容器全体の斜視図である。
【図２】図１の容器の組立分解斜視図である。
【図３】搬送対象物を収容するスロットの輪郭の形状を
示す正面図である。
示す正面図である。
１ 容器 ２ 本体 ２ｇ 側壁（本体の） ２ｓ 上部開口 ２ｖ 内部空間 ３ ラック ３ｉ 下部ポケット ３ｐ スロット ３ｓ 上部ポケット １１ｐ 平板状の搬送対象物 ４ ランナ ５ トラック要素 Ａ 後行側面（スロットの） Ｂ 先行側面（スロットの） Ｄ 弦 Ｐ 直線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 501197227 Ｓｔａｂｉｌｅ Ｑ2000， Ｖｉａ Ｃａ ｎｔｏｎａｌｅ ２ａ， 6928 Ｍａｎｎ ｏ， Ｓｗｉｔｚｅｒｌａｎｄ Ｆターム(参考） 3E061 AA02 AB09 AB18 DA01 DB01 DB14 3E096 AA06 BA16 BB04 CA01 CB03 CC02 DA01 DC04 EA02Y FA14 GA04 GA09 GA20 3F022 AA08 BB08 CC02 EE05 5F031 CA02 DA01 EA02 EA06 PA30
Claims (8)
- 【請求項１】 シリコンディスク等の平板状の搬送対象
物（１１ｐ）の搬送システムの一部を形成する構造的ト
ラック要素（５）を介して移動する容器（１）であっ
て、 ａ）少なくともその上側（２ｓ）が開口し、容器（１）
の移動方向に平行な２つの側壁（２ｇ）によって規定さ
れる内部空間（２ｖ）有するボックス状の本体（２）
と、 ｂ）前記搬送対象物（１１ｐ）を収容する複数の平行な
スロット（３ｐ）を有する、前記側壁（２ｇ）に形成さ
れたラック（３）と、 ｃ）前記本体（２）を構造的トラック要素（５）介して
移動させるべく、前記本体（２）の下部に設けられたラ
ンナ（４）と、を含み、前記スロット（３ｐ）は、前記
側壁（２ｇ）に取り付けられた上部）ポケット（３ｓ）
及び下部ポケット（３ｉ）に形成されており、前記上部
ポケット（３ｓ）、前記下部ポケット（３ｉ）、前記本
体（２）及び前記ランナ（４）は全て１つに組み合わさ
れて容器（１）を形成する個別の部品であり、且つ異な
る物理的及び／又は化学的性質を持つ材料から作成され
ることを特徴とする容器。 - 【請求項２】 前記本体（２）がポリカーボネートで形
成されている、請求項１に記載の容器。 - 【請求項３】 前記ラック（３）を形成する前記下部ポ
ケット（３ｉ）がＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケト
ン）で形成されている、請求項１又は２に記載の容器。 - 【請求項４】 前記ラック（３）を形成する前記上部ポ
ケット（３ｓ）がポリスルホンで形成されている、請求
項１ないし３の一項に記載の容器。 - 【請求項５】 前記ランナ（４）がＰＢＴ（ポリブチレ
ン）で形成されている、請求項１〜４の一項に記載の容
器。 - 【請求項６】 前記上部ポケット（３ｓ）及び下部ポケ
ット（３ｉ）の各々スロット（３ｐ）は、変形Ｕ字形の
断面を有し、その開口側が前記内部空間（２ｖ）の中心
方向を向き、容器（１）の移動方向（Ｍ）についてみて
先行側面（Ｂ）が前記側壁（２ｇ）に垂直である、請求
項１〜５の一項に記載の容器。 - 【請求項７】 前記変形Ｕ字形のスロット（３ｐ）にお
ける前記垂直な先行側面（Ｂ）は、膨出状の輪郭を有
し、その一部（Ｓ）においてのみ前記平板状の搬送対象
物（１１ｐ）に対して接触するようになっている、請求
項６に記載の容器。 - 【請求項８】 前記先行側面（Ｂ）は、前記側壁（２
ｇ）に垂直な弦（Ｄ）を有する円弧状の輪郭を持つ、請
求項７に記載の容器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH10802000 | 2000-05-29 | ||
| CH20001080/00 | 2000-05-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002026116A true JP2002026116A (ja) | 2002-01-25 |
Family
ID=4556352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Cited By (4)
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