JP2002022518A - 複合型流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 外部からの振動の影響を受けることなく正確
な流量測定を可能にし、さらに、消費エネルギーの節減
を図る。 【解決手段】 フルイディック発振素子２ａの誘振子１
５の両側の対称位置であって主噴流が通る位置に大流量
域測定用の熱式流速検出部材１７，１８を配設する。こ
れによりノズル１２からの流体の噴流方向の切り替えの
周波数を一対の熱式流速検出部材１７，１８からの出力
により検出し、外部の振動の影響を受けることなく大流
量域の流量測定を行うことができる。また、この大流量
域測定用の熱式流速検出部材１７，１８を、小流量域測
定用の熱式流速検出部材３に付与する駆動エネルギーよ
り低い駆動エネルギーで駆動する。これにより消費エネ
ルギーの節減を図ることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大流量域の測定と
小流量域の測定とが可能な複合型流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、流体を噴出させるノズルと、この
ノズルの出口に対向する誘振子とを有するフルイディッ
ク発振素子を用い、ノズルから噴流する流体の流れる向
きが誘振子の両側に交互に変化する現象を利用し、この
ときに流れる流体の流量に応じた振動数による流体振動
を電気信号に変換して流量を測定するフルイディック流
量計が知られている。このフルイディック流量計は小流
量域の測定精度が低いため大流量域の測定に利用されて
いる。また、測定流量域の範囲を広げるために、上記の
フルイディック発振素子の流路中に、小流量域の測定に
適したフローセンサ等の検出素子を配設した複合型流量
計も知られている。

【０００３】従来のフルイディック流量計の多くは、流
体振動を検出するために、ノズルの出口と誘振子との間
に、一対の圧力導入孔をノズルの中心を境とする対称位
置に配置し、これらの圧力導入孔から噴出する流体の圧
力を圧力センサにより検出し、二つの圧力センサの出力
変化によってノズルからの噴流の方向が交互に変わるこ
とよる流体振動を認識し、この流体振動の周波数により
流量を求めるように構成されている。

【０００４】最近では、上記のように流体振動の検出を
圧力センサの出力により行うフルイディック流量計は、
外部から加わる振動を拾い易く、それが擬似信号として
検出されてしまい、流量測定が不正確になると指摘され
ている。そのために、フルイディック発振素子における
流体振動の検出を圧力センサ以外の検出素子の出力によ
って行う提案がなされている。その例を次に述べる。

【０００５】第一は、特開平４−５８１１１号公報に記
載されているように、流体振動の検出をフローセンサの
出力により行うものである。このフローセンサは、フル
イディック発振素子の中心を挟んで形成された一対の開
孔を連通する流路に配置され、このフローセンサの出力
により流量を測定しようとするものである。

【０００６】第二は、特開平６−６６６０８号公報に記
載されているように、流体振動の検出を一対のサーミス
タなどの熱センサの出力により行うものである。この一
対の熱センサは、誘振子（ターゲット）の前面側の両側
に配置され、噴流の向きが交互に変わる流体の温度に対
応する抵抗値を出力するもので、これら一対の熱センサ
の出力により流量を測定しようとするものである。

【０００７】第三は、特開平４−３６１１１９号公報に
記載されているように、流体振動の検出をサーミスタ、
白金薄膜抵抗素子などの一対の熱式流速検出部材の出力
により行うものである。これらの熱式流速検出部材は、
誘振子（ターゲット）の左右両側の対称位置で、かつノ
ズルから噴出する主噴流が通過する位置に配置され、こ
れら一対の熱式流速検出部材の出力により流量を測定し
ようとするものである。ている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、フルイ
ディック発振素子における流体振動の検出を圧力センサ
以外の検出素子によって行う提案の中では、サーミス
タ、白金薄膜抵抗素子などの一対の熱式流速検出部材を
主噴流が通過する位置に配置したものが、流量測定精度
の点で優れている。

【０００９】フローセンサなどの熱式流速検出部材は、
従来から小流量域の測定のために用いられているが、感
度を高めるためにある程度に高めた駆動エネルギーによ
り駆動するものである。これにより、小流量域の測定の
ためのフローセンサなどの熱式流速検出部材をそのまま
利用してフルイディック発振素子の振動検出を行うと、
消費エネルギーが大きくなってしまい、ガスメータなど
のように、駆動電源を電池とし、かつ１０年間もの長期
にわたり作動させる要求には応えられない問題がある。

【００１０】そこで本発明の目的は、外部からの振動の
影響を受けることなく正確な流量測定を行うことがで
き、さらに、消費エネルギーを節減し得る複合型流量計
を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
流体を流す流路中に流路を絞るノズルと、このノズルの
出口から広がる流路拡大部と、この流路拡大部に配置さ
れて前記ノズルの出口に対向する誘振子とが設けられた
フルイディック発振素子と、前記フルイディック発振素
子の前記流路拡大部における前記誘振子の両側の対称位
置であって前記ノズルから噴出する主噴流が通る位置に
配設された大流量域測定用の熱式流速検出部材と、小流
量域の流量測定のためにフルイディック発振素子の前記
流路に配置されて流体の流量に応じた電気信号を出力す
る小流量域測定用の熱式流速検出部材と、を備え、大流
量域測定用の前記熱式流速検出部材は、付与される駆動
エネルギーが小流量域測定用の前記熱式流速検出部材に
付与させる駆動エネルギーより低い仕様に設定されてい
る。

【００１２】したがって、ノズルから噴出する流体の流
れは、流体の熱の変化に対応して出力される熱式流速検
出部材の電気信号により検出され、ノズルからの流体の
噴流方向の切り替えの周波数は一対の熱式流速検出部材
からの電気信号により検出され、検出された周波数によ
り流体の大流量域の測定がなされる。また、大流量域測
定用の熱式流速検出部材は主噴流が通る位置に配設され
ているため、測定精度を高めることが可能となる。さら
に、熱式流速検出部材は流体の温度に対応する電気信号
を出力するため外部の振動の影響を受けることはない。
さらに、大流量域測定用の熱式流速検出部材を低い駆動
エネルギーによって駆動することができるため、消費エ
ネルギーを節減することが可能となる。

【００１３】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、小流量域測定用の前記熱式流速検出部材の
出力が定められた値以下の場合に大流量域測定用の前記
熱式流速検出部材の駆動を停止する駆動停止手段を具備
する。

【００１４】したがって、測定範囲が小流量域の場合
に、大流量域測定用の熱式流速検出部材の駆動を停止さ
せ、消費エネルギーを節減することが可能となる。

【００１５】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、前記熱式流速検出部材としてフロー
センサを用いる。

【００１６】したがって、フローセンサは薄膜技術など
により薄型化、小型化を図ることが可能であるため、流
体の流れを損なうことがなく、フルイディック発振素子
にコンパクトに組み込むことが可能となる。

【００１７】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、大流量域測定用の前記フローセンサは、駆
動時の温度が小流量域測定用の前記フローセンサの駆動
時の温度より低い仕様に設定されている。

【００１８】したがって、大流量域測定用の熱式流速検
出部材を低い駆動エネルギーによって駆動することがで
きるため、消費エネルギーを節減することが可能とな
る。

【００１９】請求項５記載の発明は、請求項３記載の発
明において、大流量域測定用の前記フローセンサは、発
熱体の面積が小流量域測定用の前記フローセンサの発熱
体の面積より小さい値に設定されている。

【００２０】したがって、大流量域測定用のフローセン
サを低電圧で駆動し、消費エネルギーを節減することが
可能となる。

【００２１】請求項６記載の発明は、請求項３記載の発
明において、大流量域測定用の前記フローセンサは、全
体の薄膜のパターン面積が小流量域測定用の前記フロー
センサの全体の薄膜のパターン面積より小さい値に設定
されている。

【００２２】したがって、大流量域測定用のフローセン
サを低電圧で駆動し、消費エネルギーを節減することが
可能となる。

【００２３】請求項７記載の発明は、請求項３ないし６
の何れか一記載の発明において、大流量域測定用のフロ
ーセンサの駆動方式は定温度駆動とする。

【００２４】したがって、大流量域測定の場合、大流量
域測定用のフローセンサにおける発熱体の温度低下、こ
れに伴う感度の低下を防止することが可能となる。

【００２５】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図面に基
づいて説明する。図１は複合型流量計の内部構造を示す
平面図、図２は主噴流と大流量域測定用のフローセンサ
との関係を示す説明図、図３はフローセンサを拡大して
示す平面図、図４はフローセンサの差動出力電圧と流量
との関係を示すグラフである。

【００２６】図１及び図２において、１は複合型流量計
である。この複合型流量計１は、フルイディック流量計
２と、小流量域測定用の熱式流速検出部材としてのフロ
ーセンサ３とにより形成されている。

【００２７】フルイディック型流量計２の主要な構成部
材をなすフルイディック発振素子２ａの上面の開口面は
図示しない上カバーにより閉塞されるものである。フル
イディック発振素子２ａには流体を矢印方向に流す流路
４が形成されている。この流路４には、流体の流れ方向
の上流側から下流側に向けて、入口部５、複数の整流用
網６，７，８及び整流格子９が所定の間隔をおいて配置
された整流流路部１０、下流側に向けて流路が絞られた
フローセンサ流路部１１、ノズル１２、流路拡大部１
３、出口部１４が形成されている。流路拡大部１３には
ノズル１２の出口に対向する誘振子１５と、この誘振子
１５の下流側に配置されたエンドブロック１６とが形成
されている。

【００２８】さらに本発明のフルイディック流量計２
は、流路拡大部１３における誘振子１５の両側の対称位
置であってノズル１２から噴出する主噴流が通る位置に
配設された大流量域測定用の熱式流速検出部材としての
フローセンサ１７，１８を具備する。

【００２９】前述した小流量域測定用のフローセンサ３
は、フローセンサ流路部１１においてノズル１２の幅方
向の中心を通る直線上に配置されている。この小流量域
測定用のフローセンサ３と、大流量域測定用のフローセ
ンサ１７，１８とは、流路４の開口面を覆う上カバーの
内面に支持されている。

【００３０】ここで、図３を参照し、小流量域測定用の
フローセンサ３の一例について説明する。本実施の形態
におけるフローセンサ３，１７，１８はダイヤフラム型
であるが、これに限られるものではなくマイクロブリッ
ジ型でもよい。基板１０１の表面には、図示しないが金
属薄膜がその表面を絶縁膜により絶縁された状態で形成
されている。この表面が絶縁された金属薄膜の中央部分
（点線で囲った領域）はダイヤフラム部１０２である。
この表面が絶縁された金属薄膜の上には、流体の流れの
方向（矢印方向）に沿って、流体温度検出素子１０３、
抵抗素子１０４，１０５，１０６、これらの素子１０３
〜１０６を制御回路(図示せず)に接続するボンディング
パッド１０７〜１１３が形成されている。すなわち、流
体温度検出素子１０３の両端はボンディングパッド１０
７，１０８に接続され、抵抗素子１０４はボンディング
パッド１０９，１１０に接続され、抵抗素子１０５はボ
ンディングパッド１１１，１１２に接続され、抵抗素子
１０６はボンディングパッド１１０，１１３に接続され
ている。１１４はダイヤフラム部１０２の下部に空隙部
１１５を形成するための溝である。すなわち、溝１１４
からエッチング液を注入するという異方性エッチング法
により空隙部１１５が形成されている。この空隙部１１
５の輪郭は点線で囲ったダイヤフラム部１０２の輪郭と
等しい。抵抗素子１０４，１０５，１０６はダイヤフラ
ム部１０２の上に配列され、空隙部１１５により基板１
０１とは熱的に絶縁されている。

【００３１】ここで、抵抗素子１０５は流体を暖める発
熱体として機能し、抵抗素子１０４，１０６は測温抵抗
素子として機能する。すなわち、発熱体としての抵抗素
子１０５を加熱し、図３において矢印方向から流体が流
れるものとすると、上流側の抵抗素子１０４は流体の流
れにより冷やされ、抵抗素子１０４から熱を奪った流体
に触れる下流側の抵抗素子１０６は温度が上がる。この
ときの両者の温度差は抵抗値の変化により差動出力電圧
として出力されるため、その出力をホイートストーンブ
リッジ回路に取り込み、抵抗値の変化を電圧に変換する
ことで、その電圧に対応する流体の流速が測定される。

【００３２】大流量域測定用のフローセンサ１７，１８
は、基本的には小流量域測定用のフローセンサ３の構造
と同様であるが、流体温度検出素子１０３はなくても構
わない。ただし、大流量域測定用のフローセンサ１７，
１８は、駆動時の抵抗素子１０５の温度が、小流量域測
定用のフローセンサ３における抵抗素子１０５の駆動時
の温度より低い仕様に設定されている。

【００３３】このような構成において、複合型流量計１
の流量測定について説明する。入口部５ら流路４に流れ
る流体は、整流用網６により緩衝され、次段の整流用網
７との隙間でミキシングされ周期的な振動の変動が緩和
され、同様にして、整流用網７，８により変動が緩和さ
れて流路４内で略均一な流速分布にされた後に、格子状
の整流格子９により二次元流となり非圧縮性の定常的な
一様な流れとなる。これにより、低流量域測定用のフロ
ーセンサ３の出力を安定させることができる。

【００３４】ノズル１２から下流側に向かって噴出され
た流体は誘振子１５の外側に沿って左右に振り分けられ
る。図１において誘振子１５の下側に流体が流れる状
態、すなわち主噴流の向きがＢの状態から説明すると、
ノズル１２から噴出する流体の主噴流は流路拡大部１３
から出口部１４に向けて流れるが、一部はエンドブロッ
ク１６にぶつかり流路拡大部１３の下側の側壁に沿って
帰還流体となり、新たにノズル１２から噴出する流体の
噴流に直角方向からぶつかる。この帰還流体のエネルギ
ーにより、新たにノズル１２から噴出する流体の主噴流
は今度は誘振子１５の上側のＡの向きに流れ、一部はエ
ンドブロック１６にぶつかり流路拡大部１３の上側の側
壁に沿って帰還流体となり、新たにノズル１２から噴出
する流体の主噴流に直角方向からぶつかる。この帰還流
体のエネルギーにより、新たにノズルから噴出する流体
の噴流は今度は誘振子１５の下側となるＢの向き流れ
る。ノズル１２から噴出する主噴流の流れの振り分けは
このようにして繰り返される。

【００３５】このとき、ノズル１２から噴出する流体の
流速は、流体の熱の変化に対応して出力されるフローセ
ンサ１７，１８の電気信号により検出され、ノズル１２
からの流体の噴流方向の切り替えの周波数は一対のフロ
ーセンサ１７，１８からの電気信号により検出され、検
出された周波数により流体の大流量域の流量を求めるこ
とができる。

【００３６】この場合、大流量域測定用のフローセンサ
１７，１８は主噴流が通る位置に配設されているため、
測定精度を高めることができる。

【００３７】さらに、フローセンサ１７，１８は流体の
温度に対応する電気信号を出力するため外部の振動の影
響を受けることはない。

【００３８】さらに、熱式流速検出部材として用いたフ
ローセンサ３，１７，１８は、薄膜により製作可能で薄
型化、小型化を図ることができるため、流体の流れを損
なうことがなく、フルイディック発振素子２ａにコンパ
クトに組み込むことができる。特に、大流量域測定用の
フローセンサ１７，１８は主噴流の向きが交替する流路
拡大部１３に配置されるため、流体の流れを損なわない
点については有利である。

【００３９】上述のように、複合型流量計１において
は、小流量域の流量をフローセンサ３の出力を基に測定
し、大流量域の流量をフルイディック流量計２により測
定しているので、小流量域測定用のフローセンサ３の出
力が定められた値以下の場合に大流量域測定用のフロー
センサ１７，１８の駆動を停止する駆動停止手段を具備
することにより、測定範囲が小流量域の場合に、大流量
域測定用のフローセンサ１７，１８の駆動を停止させる
ことができる。この駆動停止手段は、フローセンサ１
７，１８の駆動を停止させるときのフローセンサ３の出
力をテーブルとして備え、フローセンサ３の出力の監視
と、フローセンサ３の出力とテーブルでの設定値との比
較判断と、その比較判断の結果によりフローセンサ１
７，１８を駆動するドライバの駆動停止制御とを、マイ
クロコンピュータ構成の制御部によって制御することで
実現できる。

【００４０】一般に、複合型流量計１は、小流量域の測
定時には、ある周期をもってフローセンサ３を駆動して
流量測定を行っているが、大流量域の測定時にはフルイ
ディック流量計２を常時駆動している。これに対し、本
発明における複合型流量計１においては、前述のよう
に、大流量域測定用のフローセンサ１７，１８は、駆動
時の抵抗素子１０５の温度が、小流量域測定用のフロー
センサ３における抵抗素子１０５の駆動時の温度より低
い仕様に設定されているので、大流量域測定用のフロー
センサ１７，１８を低い電圧（駆動エネルギー）によっ
て駆動することができる。これにより、消費エネルギー
を節減することができる。

【００４１】ここで、図４に小流量域測定用のフローセ
ンサ３の差動出力電圧と流量との関係を示す。縦軸は差
動出力電圧（測温抵抗素子として機能する抵抗素子１０
４，１０６から出力される検出電圧の差）、横軸は流量
である。同図の実線は、発熱体として機能する抵抗素子
１０５の温度を４０℃に昇温させたときの測定結果、点
線は、抵抗素子１０５の温度を２０℃に昇温させたとき
の測定結果である。測定の対象はＬＰＧガスと、Ａｉｒ
（空気）である。図４のグラフに示すように、同じ流量
でもＬＰＧガスの方がＡｉｒより検出電圧の差が大きい
のは、流体の熱伝導率の違いによるものである。

【００４２】抵抗素子１０５の温度を４０℃に昇温させ
たときの測定結果（実線）では、流量値に対して電圧差
が大きいため感度が高いと評価できるが、抵抗素子１０
５の温度を２０℃に昇温させたときの測定結果（点線）
は、流量値に対して電圧差が小さいため感度が低い。

【００４３】このことから、小流量域測定用のフローセ
ンサ３は抵抗素子１０５の温度が４０℃まで昇温するよ
うに高い電圧で駆動する必要がある。

【００４４】これに対して、大流量域測定用のフローセ
ンサ１７，１８は、それぞれ流体の温度に対応する出力
電圧（電気信号）により主噴流の流速を求め、主噴流の
向きの切り替えを検出できれば目的を達成できるので、
発熱体として機能する抵抗素子１０５の温度が２０℃程
度となる低い電圧で駆動する。これにより、大流量域の
測定に際しては、常時フローセンサ１７，１８を駆動し
なければならない状態であっても、駆動電圧を低くして
消費エネルギーを低く抑えることができる。これによ
り、駆動電源として電池を用いても１０年もの長期にわ
たり複合型流量計１を作動させることができる。

【００４５】このように、大流量域のフローセンサ１
７，１８の駆動電圧を低く抑えるためには、そのフロー
センサ１７，１８の発熱体としての抵抗素子１０５の面
積を、小流量域測定用のフローセンサ３の抵抗素子１０
５の面積より小さい値に設定してもよい。或いは、大流
量域測定用のフローセンサ１７，１８の全体の薄膜のパ
ターン面積を、小流量域測定用のフローセンサ３の全体
の薄膜のパターン面積より小さい値に設定してもよい。

【００４６】この例では、フローセンサ３，１７，１８
の全体の薄膜とは、少なくともダイヤフラム部１０２上
の抵抗素子１０４〜１０６を含む。マイクロブリッジ型
の場合には、基板に形成された堀を横切る薄膜のブリッ
ジ上の抵抗素子である。

【００４７】フローセンサ３，１７，１８を駆動する方
式としては、発熱体として機能する抵抗素子１０５に定
電流を流す定電流駆動方式と、抵抗素子１０５の温度が
一定になるように電流を制御して駆動する定温度駆動方
式とがあるが、少なくとも、大流量域測定用のフローセ
ンサ１７，１８を定温度駆動方式で駆動することによ
り、フローセンサ１７，１８の抵抗素子１０５が大流量
の流体に晒されることによる温度低下、これに伴う感度
の低下を防止することができる。

【００４８】なお、熱式流速検出部材として、フローセ
ンサを用いたが、複数の流体の流路中に複数の抵抗線を
平行に配設した構成のセンサなどの適用も可能である。

【００４９】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、上述のように、
フルイディック発振素子の誘振子の両側の対称位置であ
ってノズルから噴出する主噴流が通る位置に大流量域測
定用の熱式流速検出部材が配設され、この大流量域測定
用の熱式流速検出部材は、付与される駆動エネルギーが
小流量域測定用の熱式流速検出部材に付与させる駆動エ
ネルギーより低い仕様に設定されているので、ノズルか
らの流体の噴流方向の切り替えの周波数を一対の熱式流
速検出部材からの電気信号により検出し、外部の振動の
影響を受けることなく大流量域の流量測定を行うことが
できる。また、大流量域測定用の熱式流速検出部材は主
噴流が通る位置に配設されているため、測定精度を高め
ることができる。さらに、大流量域測定用の熱式流速検
出部材を低い駆動エネルギーによって駆動することがで
きるため、消費エネルギーを節減することができる。

【００５０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、小流量域測定用の熱式流速検出部材の出力
が定められた値以下の場合に大流量域測定用の熱式流速
検出部材の駆動を停止する駆動停止手段を具備するの
で、測定範囲が小流量域の場合に、大流量域測定用の熱
式流速検出部材を停止させ、消費エネルギーを節減する
ことができる。

【００５１】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、熱式流速検出部材としてフローセン
サを用いるので、フローセンサは薄型化、小型化を図る
ことが可能であるため、流体の流れを損なうことがな
く、コンパクトに組み込むことができる。特に、大流量
域測定用のフローセンサは主噴流の向きが交替する流路
拡大部に配置されるため、流体の流れを損なわない点に
ついては有利である。

【００５２】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、大流量域測定用のフローセンサは、駆動時
の温度が小流量域測定用のフローセンサの駆動時の温度
より低い仕様に設定されているので、大流量域測定用の
熱式流速検出部材を低い駆動エネルギーによって駆動す
ることができるため、消費エネルギーを節減することが
できる。

【００５３】請求項５記載の発明は、請求項３記載の発
明において、大流量域測定用のフローセンサは、発熱体
の面積が小流量域測定用のフローセンサの発熱体の面積
より小さい値に設定されているので、大流量域測定用の
フローセンサを低電圧で駆動し、消費エネルギーを節減
することができる。

【００５４】請求項６記載の発明は、請求項３記載の発
明において、大流量域測定用のフローセンサは、全体の
薄膜のパターン面積が小流量域測定用のフローセンサの
全体の薄膜のパターン面積より小さい値に設定されてい
るので、大流量域測定用のフローセンサを低電圧で駆動
し、消費エネルギーを節減することができる。

【００５５】請求項７記載の発明は、請求項３ないし６
の何れか一記載の発明において、大流量域測定用のフロ
ーセンサの駆動方式は定温度駆動とするので、大流量域
測定の場合、大流量域測定用のフローセンサにおける発
熱体の温度低下、これに伴う感度の低下を防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における複合型流量計の
内部構造を示す平面図である。

【図２】主噴流と大流量域測定用のフローセンサとの関
係を示す説明図である。

【図３】フローセンサを拡大して示す平面図である。

【図４】フローセンサの差動出力電圧と流量との関係を
示すグラフである。

【符号の説明】

２ａ フルイディック発振素子 ３ 小流量域測定用の熱式流速検出部材、フローセンサ ４ 流路 １２ ノズル １３ 流路拡大部 １５ 誘振子 １７，１８ 大流量域測定用の熱式流速検出部材、フロ
ーセンサ １０５ 発熱体 １０４〜１０６ 薄膜

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体を流す流路中に流路を絞るノズル
   と、このノズルの出口から広がる流路拡大部と、この流
   路拡大部に配置されて前記ノズルの出口に対向する誘振
   子とが設けられたフルイディック発振素子と、 前記フルイディック発振素子の前記流路拡大部における
   前記誘振子の両側の対称位置であって前記ノズルから噴
   出する主噴流が通る位置に配設された大流量域測定用の
   熱式流速検出部材と、 小流量域の流量測定のためにフルイディック発振素子の
   前記流路に配置されて流体の流量に応じた電気信号を出
   力する小流量域測定用の熱式流速検出部材と、を備え、 大流量域測定用の前記熱式流速検出部材は、付与される
   駆動エネルギーが小流量域測定用の前記熱式流速検出部
   材に付与させる駆動エネルギーより低い仕様に設定され
   ていることを特徴とする複合型流量計。
2. 【請求項２】 小流量域測定用の前記熱式流速検出部材
   の出力が定められた値以下の場合に大流量域測定用の前
   記熱式流速検出部材の駆動を停止する駆動停止手段を具
   備する請求項１記載の複合型流量計。
3. 【請求項３】 前記熱式流速検出部材としてフローセン
   サを用いる請求項１又は２記載の複合型流量計。
4. 【請求項４】 大流量域測定用の前記フローセンサは、
   駆動時の温度が小流量域測定用の前記フローセンサの駆
   動時の温度より低い仕様に設定されている請求項３記載
   の複合型流量計。
5. 【請求項５】 大流量域測定用の前記フローセンサは、
   発熱体の面積が小流量域測定用の前記フローセンサの発
   熱体の面積より小さい値に設定されている請求項３記載
   の複合型流量計。
6. 【請求項６】 大流量域測定用の前記フローセンサは、
   全体の薄膜のパターン面積が小流量域測定用の前記フロ
   ーセンサの全体の薄膜のパターン面積より小さい値に設
   定されている請求項３記載の複合型流量計。
7. 【請求項７】 大流量域測定用のフローセンサの駆動方
   式は定温度駆動とする請求項３ないし６の何れか一記載
   の複合型流量計。