JP2633362B2

JP2633362B2 - 気体用流量計

Info

Publication number: JP2633362B2
Application number: JP23591089A
Authority: JP
Inventors: 克人酒井; 孝植木; 稔彦伊藤; 雅仁長沼
Original assignee: Tokyo Gas Co Ltd; Aichi Tokei Denki Co Ltd
Current assignee: Tokyo Gas Co Ltd; Aichi Tokei Denki Co Ltd
Priority date: 1989-09-11
Filing date: 1989-09-11
Publication date: 1997-07-23
Anticipated expiration: 2012-07-23
Also published as: JPH0396817A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は気体用流量計の改良に関する。

〔従来技術とその問題点〕

従来の膜式ガスメータに大替し得る小型で設置性に優
れた気体流量計、すなわちフルイディック発振素子を用
いたフルイディック流量計（例えば特開昭57−66313号
公報）は小型で、可動部がないので耐久性にも優れてい
るという利点を有してはいるが、測定できる流量範囲が
50倍程度で、膜式ガスメータの３号メータに見られるよ
うな３〜3000l/hの流量範囲、すなわち1000倍もの流量
範囲を測定することはできない。

そこで、中〜大流量を計測するフルイディック発振素
子と、小流量の範囲を計測する別のフルイディック素子
とを用い、切換弁により、両フルイディック素子を流量
の大小に応じて切換えて使用するいわゆる親子式の流量
計が特開昭61−223517号公報で提案されている。

しかし、フルイディック発振素子を二つ設けても、10
00倍の流量範囲を測定するのが困難であり、また切換弁
を用いると、切換弁自体の可動部が弁漏れを発生し3l/h
程度の微少流量まで計測しようとすると、耐久性が問題
であった。

さらに又、切換弁の作動力は受圧ダイアフラムの面積
で決定されるので、ガスメータのような微小圧損で作動
させるにはダアフラムの形状を大きくする必要があり、
小型化が困難であり、機械的な構造も複雑になるという
問題点があった。

そこで微小流量域を計測するのに、いわゆる熱式流量
計に用いるのと同様の原理のフローセンサを用い、それ
以上の流量域を計測するのにフルイディック発振素子を
用い、電子回路で切換える方式が提案されているが、フ
ローセンサはダスト，水分の附着，経時変化で計測値が
変動するため、フローセンサの測定流量域での計測誤差
が大きくなり易い欠点があった。

この発明はこのような問題点を解決するためにフロー
センサによる計測値を信頼性の高いフルイディック発振
素子の計測値で較正しながら使うことを提案している。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の気体流量計においては、フルイディック発振
素子と、該フルイディック発振素子の流体振動を検知し
て電気信号に変換するセンサと、前記フルイディック発
振素子のノズル部の流速を検知して電気信号に変換する
フローセンサと、中〜大流量域における前記流体振動検
知用センサと小流量域における流速検知用フローセンサ
の信号を演算して積算流量を求める電子回路と、該電子
回路で求めた積算流量を表示する表示器とを設け前記電
子回路は、フローセンサでの流量計測を定められた一定
時間間隔で行なうように制御する電源制御回路と、予め
定められた流量範囲内ではフローセンサとフルイディッ
ク発振素子の双方で流量計測を行ない、その計測結果を
フルイディック発振素子による計測値を基準にして比較
し、両計測値の差の予め定めた範囲を越えた時はフロー
センサで流量計測を行なう前記一定時間間隔を変更して
両計測値の差を定められた範囲内に保持する演算制御回
路とを備えたものである。

演算制御回路は、一定時間間隔を変更する代りに、パ
ルス常数を変更する機能を備えていてもよい（請求項
２）。

〔実施例〕

フルイディック発振素子を用いたフルイディック流量
計の流体振動現象を第２図により説明する。流路の入口
１から流入しノズル２から噴出した気体がコアンダ効果
により、側壁３又は３′に沿った流れになる。この流れ
がフィードバック流路入口４又は４′に到達すると、圧
力がノズル部２に伝わり流れを切り替える。この切り替
えは交互に発生し、流量に比例した周波数をもつ流体振
動になる。５は噴出ノズル１の下流中央部に位置する柱
状物体（ターゲット）、６は出口である。符号７はフル
イディック発振素子の全体である。

第１図の実施例では、フルイディック発振素子７の側
壁3,3′は円柱形で、第２図の原理図の場合と形状が異
なり、他の部分の素子形状もいくらか違うが、発振素子
としての作動原理は同じである。気体は矢印Ａのように
フルイディック発振素子の入口から入り、ノズル２から
下流に噴出し、第２図で説明したように流体振動を発生
する。

８はフルイディック発振素子を形成するケース本体で、
この素子形状を工夫することで、３号ガスメータとして
許容される密度0.8kg/m³のガスで最大圧損13mmH₂Ｏの制
限下において、発振範囲を55〜3000l/hにまで拡大でき
た。この流体振動は、圧力導入路9,9′によりセンサ10
に導かれ、電気信号に変換された電子回路11に伝えられ
る。12はノズル２に配置されたフローセンサで、ノズル
部で絞られて速くなった流速を検知し、流速に比例した
アナログの電気信号に変換する。この電気信号は、前記
センサ10の電気信号とともに電子回路11で演算処理さ
れ、流量積算値として表示器13に表示される。

なお、第１図は理解し易いようにフルイディック発振
素子の蓋を取り外した状態を示している。

流体振動を検出するセンサ10は、フィードバック流路
４と４′に開口する一対の圧力導入口14,14′に前記圧
力導入路9,9′の各一端を連通させ、圧力導入路9,9′の
各他端をセンサ10の一対の圧力導入口に連通させること
で、センサ10の高分子圧電膜16の両側に差動的に流体振
動による脈動圧をかけている。

センサ10は、第３図に示すように、高分子圧電膜を用
いた構造とし、圧力導入口15,15′を第１図のように連
通して、フィードバック流路4,4′の２点間の差圧を検
出するようにすることもできる。

フローセンサ12は一般の熱式フローセンサで、その一
例は第４図（Ａ）に拡大図を示すように、気体の流れに
当たる面に、発熱部12bと気体温度検出部12cとが順に配
置されたセンサチップ12aと、このセンサチップ12aの発
熱部12bの発熱用抵抗Rhと気体温度検出部12cの流体温度
検出用抵抗Rtを接続したブリッジとオペアンプを用いた
第４図（Ｂ）のフィードバック回路とからなる。

センサチップ12aの断面構造を第４図（Ａ）に示す。
流速（流量）の検出部はシリコンチップ上に形成され、
流体は第４図（Ａ）のチップの上面をこれと平行に流れ
る。チップには裏側からエッチングして板厚を0.02mmに
薄くした部分があり、これが前記発熱部12bで流量検出
部となる。

流量検出部の薄板部分は熱伝達率の低い酸化シリコン
で形成されていて、その表面中央部には、白金薄膜の発
熱用抵抗Rhが設けられ、電流を流すことで発熱する。発
熱部12bからは流量に応じた流量が流体に奪われ、その
温度が流量に応じて変化し抵抗Rhが変化する。発熱部の
温度を一定に保つための供給電力を知れば流量が求めら
れる。酸化シリコンの薄板は発熱部の熱がチップに伝わ
らないようにする目的で設けられている。

流体の温度変化がフローセンサ出力にあたえる影響を
補償するために、発熱部の温度は流体温度より常に一定
温度高く保つ必要がある。チップの左端の白金薄膜の流
体温度検出部12cが流量出力の温度補償を行なう。

第４図（Ｂ）はフローセンサの電気回路で、点線で囲
んだ部分がチップ上に集積化されている。２つの白金薄
膜抵抗RhとRtを２辺にもつブリッジの駆動電圧の変化は
流量変化に対応する。ブリッジとオペアンプを用いたフ
ィードバック回路により、発熱用抵抗Rhと流体温度検出
用抵抗Rtとの抵抗値の差は常に一定に保たれる。すなわ
ち発熱部12bと流体の温度差が常に一定に保たれ、流体
の温度変化が流量センサの出力に与える影響が補償され
る。

なお、第４図（Ａ）のセンサチップ12aを備えたフロ
ーセンサ12は、第１図のノズル部２の上部にこれを取付
けたとき、第４図（Ａ）のセンサチップ12aの上面が、
第１図では下面になるように裏向きに取付けられ、流量
（ノズル部の流速）に対応したアナログ電気信号を生じ
るものである。

また、その他の例として第４図（Ｃ），（Ｄ），
（Ｅ）に示すようなフローセンサも用いることができ
る。

第４図（Ｃ）に示すフローセンサは、２本の平行な抵
抗線型温度センサの間に、この２本の線を含む面に垂直
な方向に加熱線を張ったものである。これと一定周期で
サイン状あるいはパルス状に加熱し、下流側の温度セン
サ出力と加熱電流の位相〔産業上の利用分野〕あるいは
時間〔産業上の利用分野〕を検出して流速を求めるもの
である。

第４図（Ｄ）に示すフローセンサは、気体の流れのな
かに電熱線を設け、気体の温度を一定上昇させるのに必
要な電気エネルギーを測定して気体の流量を求めるもの
である。気体を加熱するのに要するエネルギーおよびそ
のエネルギーによる気体の温度上昇の間には次式が成立
する。

Ｅ＝Ｊ・Cp・Ｔ・Ｍ E:単位時間に気体に与えるエネルギー Cp:気体の定圧比熱 T:Eによる気体の温度上昇 M:気体の質量流量 Cpは一定の気体においては定数であるから、与えるエネ
ルギーを一定にして温度上昇Ｔを測定するか、温度上昇
を一定にしてエネルギーを測定することにより、気体の
流量を測定することができる。

第４図（Ｅ）に示すフローセンサは金属毛細管の外側
に２本の自己発熱抵抗体Ru，Rdが巻かれた構造になって
いる。毛細管は定電流制御された自己発熱抵抗体により
加熱されており、流れがないときには毛細管の中心に対
して対称な温度分布になっている。これに対し流れがあ
るときには、上流側の抵抗体Ruは熱が奪われることによ
り温度が下り、逆に下流側の抵抗体Rdは熱が与えられて
温度が上る。この結果温度分布が非対称となり、このと
きの温度差を、ブリッジ回路により検出すれば流量を測
定することができる。

第５図のブロック線図において、17はアナログ・デイ
ジタル変換回路で、フローセンサ12で検知した小流量域
のアナログ電気信号を流量に比例した周波数の電気パル
ス信号に変換する機能をもっている。18はアナログ・デ
イジタル変換回路17の出力である高速の電気パルス（信
号Ｂ）をマイクロコンピュータ19に入力するのに一時的
にストックするカウンタ、20は電源、21は圧電膜回路部
22とフローセンサ回路部33とに供給する駆動電圧を制御
する電源制御回路、24はセンサ10の電気信号を増幅する
アナログ増幅器、25はアナログ増幅器24の出力信号を矩
形波に整形する波形整形回路、26は、波形整形回路の出
力である信号Ａを入力とし、その周波数が一定値以上か
どうかを判定する信号判定回路で、その周波数が一定値
以上のときに、信号Ａを同じ周波数の信号Ｊとしてマイ
クロコンピュータ19に伝送する。27はクロック制御回路
で、マイクロコンピュータ19の指令を受けてA/D変換の
ためのクロック信号Ｈをアナログ・デイジタル変換回路
17へ送出する。マイクロコンピュータ19は演算制御回路
を備えている。

次に第６図を利用して第５図の電子回路の動作を説明
する。

第６図のＡ〜Ｈに示す信号はそれぞれ第５図のＡ〜Ｈ
の各信号と対応している。

第６図の最上部の図は、横軸を時間軸、縦軸を流量と
した図で、図中、実線で示す信号Ｂはフローセンサ12の
信号が流量に応じて変化している有様を示す。又、２点
鎖線で示す信号Ａは圧電膜センサ10による信号が流量に
応じて変化している有様を示す。図中イは流量増大時に
フローセンサ12の信号Ｂからセンサ10の信号Ａに切替え
る点、ロは流量減少時にセンサ10の信号Ａからフローセ
ンサ12の信号Ｂに切替える点を示す。流量が零から点イ
までの間はフローセンサ回路部23へ第６図Ｅに示すよう
に間欠的に電源を供給する。フローセンサ12が消費する
電流は最大値が大きいため、周期T₀毎に、短時間T₁だけ
電源を供給することで平均電流を減らしている。第６図
Ｅにこの有様を示す。ノズル部２に配置されて、気体の
流速に比例したアナログ信号を生じるフローセンサ12
は、クロック制御回路27から、前記電源供給信号Ｅに同
期してT₁の通電時間中のみ供給される32KHzのクロック
信号Ｈと同期して、流量に比例するパルス数の流量信号
Ｂを第７図，第８図に示すように出力する。この信号Ｂ
は間隔（周期）T_o毎に出力され、その都度のパルス数は
流量0l/hで０パルス、流量180l/hで250パルスになるよ
う流量に比例したパルス数の信号Ｂを出力するようにア
ナログ・デイジタル変換回路17の特性が定めてある。フ
ルイディック発振素子の流体振動を検知する圧電膜セン
サは前記点ロより少し下流域以上の流量で流体振動を検
知できる性能をもっていて、点イより少ない流量域では
フローセンサ12が通電され、点ロより大きい流量域では
圧電膜センサ10に通電されるため、点イとロの間の流量
域では双方のセンサに通電される。流量が点イより大き
い流域から零に減少するときは、点イの流量でフローセ
ンサ12への通電が開始され、ロの流量で圧電膜センサ10
への通電がオフとなる。

信号Ｊはマイクロコンピュータ19で演算され流量積算
値となる。また、フローセンサ12に基づく信号Ｂはカウ
ンタ18にストックされたあと、マイクロコンピュータ19
で演算され流量積算値となる。そして微小流量域ではフ
ローセンサ12に基づく信号Ｂが、一定値以上の流量域で
はフルイディック発振素子の周波数をセンサ10で検知し
た信号Ａがマイクロコンピュータ19で演算され、合計の
流量積算値が求められる。

本発明の流量計は、上述のように中〜大流量域をフル
イディック発振素子で、小流量域をフローセンサで計測
するのに、いわゆる熱式流量計に用いるのと同様の原理
のフローセンサ12を用いているため、被計測流体の密度
が変わるとか、被計測流体中に含まれるダクト，水分等
が附着することでフローセンサ12の熱拡散状態が変化し
てフローセンサ12の出力信号が変化する。即ち計測誤差
を生じる。そこで、本発明の流量計では、フルイディッ
ク発振素子の測定値が安定している点に注目し、フルイ
ディック発振素子７とフローセンサ12と双方で計測する
前記イ点とロ点の間の流量範囲で、双方の計測値を比較
し、経時変化とか被計測流体の相違（例えば空気と都市
ガス）等による計測誤差が生じないフルイディック発振
素子７による計測値を基準にして、フローセンサ12の計
測値を較正するようにしている。

フローセンサ12のアナログ信号はアナログ・デイジタ
ル変換回路17によりデイジタル信号Ｂに変換される。フ
ローセンサ12への電源供給は第６図Ｅで示す時間間隔T_o
毎に短時間T₁ずつ通電される。通電時間T₁の内の初めの
約10mSでフローセンサ12の計測動作が立上り、その後第
７図に示すような計測流量に比例するパルス数の出力信
号Ｂを出力する。出力信号Ｂの勾配は被測気体によって
変化し、同一計測流量であっても都市ガス13Aと空気で
は約８％の差が認められる。第８図に通電時間T₁と出力
信号Ｂとのタイミングを示す。フローセンサ12の出力特
性を流量0l/hで０パルス、180l/hで250パルスを基準と
すれば、信号Ｂの１パルスに対応して流量を1ccとする
には、前記一定時間間隔T_oを５秒とし、この間隔で小流
量域の計測を行なえば良い。この５秒の間隔は、から計算されたもので、これを基準通電時間間隔T_onと
表わす。従って、フローセンサ12の出力信号Ｂをフルイ
ディック発振素子７の計測値、即ち信号Ａの周波数と比
較し、信号Ｂが一定以上変化した場合は、経時変化か被
計測流体の変化によるものと考えて、信号Ｂの値を信号
Ａに対応させて較正する。具体的には、請求項１の流量
計の場合、信号Ｂのパルス数が変化して大きくなったと
きは時間間隔T_oを長くし、信号Ｂのパルス数が小さくな
ったときは時間間隔T_oを短くすれば良い。このように時
間間隔T_oを変更することは、第７図に示すフローセンサ
12の流量と出力信号Ｂのパルス数との関係を示す直線の
勾配を変更することに相当する。

被計測気体の流量が小から大へ移行するときは、第６
図の点イの流量でフローセンサ12からフルイディック発
振素子７へ、逆に流量が大から小へ移行する時は点ロの
流量でフルイディック発振素子７からフローセンサ12へ
と計測手段が切り換わる。従って点イとロとの間にフル
イディック発振素子７とフローセンサ12の双方で行なう
範囲があり、最大流量３m³/hの都市ガスメータでは、こ
の範囲が150〜180l/hの計測流量に相当する。

この範囲は、フローセンサとフルイディック発振素子の
流量と出力との関係を示す特性から決定され、フローセ
ンサの場合は出力の飽和特性から、フルイディック発振
素子の場合は素子７の発振下限及び圧電膜センサの感度
特性等により決定される。

較正の手順は第９図の測定要領で第５図のマイクロコ
ンピュータ19により次のように行なわれる。

（１）通過流量が点イとロの間の流量域であることをフ
ルイディック発振素子７による計測値で判断する。具体
的には第９図のイの領域で示すようにフローセンサの前
記（１）式で求められる基準通電時間間隔T_onを予めセ
ットしておき、そのｎ倍の時間の間、即ちT_on×ｎ秒間
の間の通過流量をフルイディック発振素子７による計測
値で計測する。ｎ倍の時間計測するのは流量計測の精度
を上げるためである。

（２）次に第９図ロの領域で示すようにフローセンサ12
とフルイディック発振素子７とによりフルイディック発
振素子での計測時間と同じT_on×ｎ秒間の通過流量を計
測する。

（３）上記（１）と（２）のフルイディック発振素子に
よる計測値同志を比較し、その差、すなわち流量変化が
微小、通常５〜６％以下であるかどうかを判定する。

（４）上記（１）〜（３）の条件が全て成立していれば
以下の手順でフローセンサ12の較正を行なう。

（５）フルイディック発振素子７とフローセンサ17の上
記（２）による計測値を比較してその差、即ち計測誤差
が一定値、通常５％より大きければフローセンサ12の通
電時間間隔の修正すべき値を次の（２）式より演算し、
演算結果のToにより小流量域の流量をフローセンサ17で
計測する。

（フローセンサのT_on時間のパルス数×１×3600）／フ
ルイディックの計測流量l/h×1000）＝T_o・・・（２）（６）以後、次の較正条件が成立して、時間間隔T_oが更
新されるまでこの通電時間間隔T_oは保持される。

（７）較正が行なわれたら、マイクロコンピュータ19の
条件判定フラグをセットし、以後フルイディック発振素
子で計測中のときは転正を行なわず、一度流量が150l/h
以下に下ってフローセンサ12での計測に切換った後でな
いとフラグがリセットされない等の手段を講ずる。

以上の手順はマイクロコンピュータ19の内部で全て処
理される。

第９図はこの切換え動作を横軸に時間の変化を、縦軸
に流量をとって示す。

第10図は、流量0l/hのときの信号Ｂのパルス数が０パ
ルス、流量180l/hのときの信号Ｂのパルス数を250パル
スを標準値としてこの標準値より５％毎にフローセンサ
の出力値に差が生じた時の、フローセンサの通電時間間
隔の較正値を示した図である。

請求項２の流量計では、信号Ｂの値を信号Ａに対比さ
せて較正するのに、（請求項１の流量計は時間間隔T_oを
変化させて行なったが、）アナログデイジタル変換回路
17でフローセンサ12の流量信号をデイジタル信号Ｂに変
換するときのパルス常数を変化させる。このパルス常数
を変化させることは、請求項１の場合と同様に、第７図
の直線の勾配を変更することに相当する。

較正の手順は請求項１の流量計の場合について述べた
上記（１）乃至（７）の手順のうち（５）と（６）を次
に述べる（５′）と（６′）の手順に変更するだけで、
他の手順は同じである。

（５′）フルイディック発振素子７とフローセンサ12
の上記（２）による計測値を比較して、その差即ち計測
誤差が一定値、通常５％より大きければフローセンサ12
の通電時間間隔をT_oに固定しておき、フローセンサ12の
単位流量当りのパルス定数Ｐを次の式により演算し、演
算結果のパルス定数により計測を行なう。

Ｐ＝（フルイディックの計測流量l/h）×（フローセン
サの測定時間間隔T_o）×測定回数）×1000/〔3600×
（フローセンサで測定中のパルスの総数）〕（６′）以後、次の較正条件が成立して、パルス定数
が更新されるまでこのパルス定数は保持される。

〔発明の効果〕

この発明では、フルイディック発振素子の周波数をセ
ンサ10で検知するとともに、フルイディック発振素子の
ノズル部の流速をフローセンサ12で検知し、中〜大流量
と、小流量をそれぞれセンサ10とフローセンサ12で検知
して小〜大流量を計測するものにおいて、フルイディッ
ク発振素子の計測値でフローセンサを較正するようにし
たので、ガスメータで要求される1000倍という広い流量
計測範囲にわたり信頼性の高い流量計が小形で実現でき
る。

フローセンサの特性を自動的に較正するため、測定気
体が変わったときでも、フローセンサの器差特性が最良
に維持できる。又フローセンサの特性が経時変化して
も、自動的に較正され、初期の良好な特性を維持でき
る。さらに又、組立時に、フローセンサの流量対出力特
性を細かく調整しなくても、自動的に最良の器差特性に
較正される効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例の全体を示す概要図、第２図
はフルイディック発振素子の動作を説明する図、第３図
は流体振動を電気信号に変換するセンサの構造を示す
図、第４図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）はフローセ
ンサの説明図、第５図は電気回路のブロック図、第６図
は電子回路の動作を説明する図、第７図は流量と出力信
号Ｂとの関係を示す線図、第８図は時間T₁と信号Ｂとの
関係を示すタイミングチャート、第９図は切換え動作を
説明する図、第10図は出力信号Ｂと時間間隔T_oとの関係
を示す線図である。２……ノズル、７……フルイディック発振素子、10……
センサ、11……電子回路、12……フローセンサ、13……
表示器、19……演算制御回路を備えたマイクロコンピュ
ータ、21……電源制御回路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長沼雅仁愛知県名古屋市熱田区千年１丁目２番70 号愛知時計電機株式会社内 (56)参考文献特開平２−161313（ＪＰ，Ａ) 特開平１−308921（ＪＰ，Ａ) 特開平１−173832（ＪＰ，Ａ) 実開平１−58118（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】フルイディック発振素子（７）と、該フル
イディック発振素子の流体振動を検知して電気信号に変
換するセンサ（10）と、前記フルイディック発振素子の
ノズル部（２）の流速を検知して電気信号に変化するフ
ローセンサ（12）と、中〜大流量域における前記流体振
動検知用センサ（10）と小流量域における流速検知用フ
ローセンサ（12）の信号を演算して積算流量を求める電
子回路（11）と、該電子回路で求めた積算流量を表示す
る表示器（13）とを設けたフルイディック流量計におい
て、前記電子回路（11）はフローセンサ（12）での流量
計測を定められた一定時間間隔で行なうように制御する
電源制御回路（21）と、予め定められた流量範囲内では
フローセンサ（12）とフルイディック発振素子（７）の
双方で流量計測を行ない、その計測結果をフルイディッ
ク発振素子（７）による計測値を基準にして比較し、両
計測値の差が予め定めた範囲を越えた時はフローセンサ
（12）で流量計測を行なう前記一定時間間隔を変更して
両計測値の差を定められた範囲内に保持する演算制御回
路とを備えていることを特徴とする気体用流量計。
【請求項２】フルイディック発振素子（７）と、該フル
イディック発振素子の流体振動を検知して電気信号に変
換するセンサ（10）と、前記フルイディック発振素子の
ノズル部（２）の流速を検知して電気信号に変化するフ
ローセンサ（12）と、中〜大流量域における前記流体振
動検知用センサ（10）と小流量域における流速検知用フ
ローセンサ（12）の信号を演算して積算流量を求める電
子回路（11）と、該電子回路で求めた積算流量を表示す
る表示器（13）とを設けたフルイディック流量計におい
て、前記電子回路（11）は、フローセンサ（12）での流
量計測を定められた一定時間間隔で行なうように制御す
る電源制御回路（21）と、フローセンサ（12）でノズル
部（２）の流速を検知して得た前記電気信号を前記一定
時間間隔で計測した流量に対応する数のパルス信号に変
換するアナログデイジタル変換回路（17）と、予め定め
られた流量範囲内ではフローセンサ（12）とフルイディ
ック発振素子（７）の双方で流量計測を行ない、その計
測結果をフルイディック発振素子（７）による計測値を
基準にして比較し、両計測値の差が予め定めた範囲を越
えた時は前記アナログデイジタル変換回路（17）でパル
ス信号に変換する時のパルス定数を変更して両計測値の
差を定められた範囲内に保持する演算制御回路とを備え
ていることを特徴とする気体用流量計。