JP2002016098A - ボール検査方法 - Google Patents
ボール検査方法Info
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- JP2002016098A JP2002016098A JP2000198429A JP2000198429A JP2002016098A JP 2002016098 A JP2002016098 A JP 2002016098A JP 2000198429 A JP2000198429 A JP 2000198429A JP 2000198429 A JP2000198429 A JP 2000198429A JP 2002016098 A JP2002016098 A JP 2002016098A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、多量広範囲のボールを基準画像から
のズレ量の平均により補正してボール検査を行い、機械
的誤差を補正することが可能なボール検査方法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、ボー
ル検査方法に次の手段を採用した。第１に、複数の素子
が存在する電子部品上に搭載されたボールの画像又は吸
着ヘッドの複数の素子に対応した吸着ボールの画像を取
り込む手段を設ける。第２に、取り込んだボールの取込
画像と基準画像との各々のボールのズレ量を算出する手
段を設ける。第３に、ズレ量の平均を算出する手段を設
ける。第４に、算出されたズレ量の平均によりズレ補正
を行いボール検査を行う。
のズレ量の平均により補正してボール検査を行い、機械
的誤差を補正することが可能なボール検査方法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、ボー
ル検査方法に次の手段を採用した。第１に、複数の素子
が存在する電子部品上に搭載されたボールの画像又は吸
着ヘッドの複数の素子に対応した吸着ボールの画像を取
り込む手段を設ける。第２に、取り込んだボールの取込
画像と基準画像との各々のボールのズレ量を算出する手
段を設ける。第３に、ズレ量の平均を算出する手段を設
ける。第４に、算出されたズレ量の平均によりズレ補正
を行いボール検査を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の素子の存在
する電子部品に搭載されたボールの検査方法及びボール
搭載装置の吸着ヘッドに複数の素子に対応させて吸着し
たボールの検査方法に関するものであって、主としてウ
エハへのボール搭載後の検査の方法及び、ウエハレベル
ボールマウント装置の吸着ヘッドへのボール吸着検査を
主眼に開発されたものである。
する電子部品に搭載されたボールの検査方法及びボール
搭載装置の吸着ヘッドに複数の素子に対応させて吸着し
たボールの検査方法に関するものであって、主としてウ
エハへのボール搭載後の検査の方法及び、ウエハレベル
ボールマウント装置の吸着ヘッドへのボール吸着検査を
主眼に開発されたものである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハへのボール搭載装置の吸着ヘッド
に吸着されたボールの検査やウエハへ搭載されたボール
の検査は、処理する量が一度に数万個から数十万個と非
常に多く、且つ、検査範囲も広大なため、ラインセンサ
カメラを用い、ボール吸着面やボール搭載面を複数回ス
キャンして、画像取り込みを行い、取り込んだボール画
像とあらかじめ登録してある基準画像を比較して検査を
行うことになると考えられている。
に吸着されたボールの検査やウエハへ搭載されたボール
の検査は、処理する量が一度に数万個から数十万個と非
常に多く、且つ、検査範囲も広大なため、ラインセンサ
カメラを用い、ボール吸着面やボール搭載面を複数回ス
キャンして、画像取り込みを行い、取り込んだボール画
像とあらかじめ登録してある基準画像を比較して検査を
行うことになると考えられている。
【０００３】しかし、従来のボール検査方法では、座標
系を固定にしているため広範囲の検査では、ワーク姿勢
や吸着ヘッドの取付による誤差、例えばワークや吸着ヘ
ッドが傾いているときに生じる誤差や、ワーク移動軸や
吸着ヘッド軸とラインセンサカメラの移動軸の直交度の
狂いから、ボール画像が傾いて取り込まれたり、平行四
辺形状につぶされた状態で取り込まれたりして、検査結
果に悪影響を及ぼしていた。そして、このようなズレの
補正操作やソフト処理はきわめて難しいものである。
系を固定にしているため広範囲の検査では、ワーク姿勢
や吸着ヘッドの取付による誤差、例えばワークや吸着ヘ
ッドが傾いているときに生じる誤差や、ワーク移動軸や
吸着ヘッド軸とラインセンサカメラの移動軸の直交度の
狂いから、ボール画像が傾いて取り込まれたり、平行四
辺形状につぶされた状態で取り込まれたりして、検査結
果に悪影響を及ぼしていた。そして、このようなズレの
補正操作やソフト処理はきわめて難しいものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、多量広範囲
のボールを基準画像からのズレ量の平均により補正して
ボール検査を行い、機械的誤差を補正することが可能な
ボール検査方法を提供することを目的とする。
のボールを基準画像からのズレ量の平均により補正して
ボール検査を行い、機械的誤差を補正することが可能な
ボール検査方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、ボール検査方法に次の手段を採用した。第
１に、複数の素子が存在する電子部品上に搭載されたボ
ールの画像又は吸着ヘッドの複数の素子に対応した吸着
ボールの画像を取り込む手段を設ける。第２に、取り込
んだボールの取込画像と基準画像との各々のボールのズ
レ量を算出する手段を設ける。第３に、ズレ量の平均を
算出する手段を設ける。第４に、算出されたズレ量の平
均によりズレ補正を行いボール検査を行う。
決するため、ボール検査方法に次の手段を採用した。第
１に、複数の素子が存在する電子部品上に搭載されたボ
ールの画像又は吸着ヘッドの複数の素子に対応した吸着
ボールの画像を取り込む手段を設ける。第２に、取り込
んだボールの取込画像と基準画像との各々のボールのズ
レ量を算出する手段を設ける。第３に、ズレ量の平均を
算出する手段を設ける。第４に、算出されたズレ量の平
均によりズレ補正を行いボール検査を行う。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実
施例に係るボール検査方法に使用する検査装置を示す説
明図であり、ウエハレベルボールマウント装置の吸着ヘ
ッド１への半田ボール２の吸着検査で用いられる検査装
置である。吸着ヘッド１でのボール搭載対象物は、複数
素子が存在するウエハ、フレーム、基板等が考えられる
が、本実施例では複数素子が存在するウエハである。
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実
施例に係るボール検査方法に使用する検査装置を示す説
明図であり、ウエハレベルボールマウント装置の吸着ヘ
ッド１への半田ボール２の吸着検査で用いられる検査装
置である。吸着ヘッド１でのボール搭載対象物は、複数
素子が存在するウエハ、フレーム、基板等が考えられる
が、本実施例では複数素子が存在するウエハである。
【０００７】検査装置には、吸着ヘッド１下方位置で、
ボールねじ１１とナット１２によりＹ軸方向（図１中前
後方向）に移動可能とされたラインセンサカメラ３が用
いられている。すなわち、本発明における吸着ヘッド１
の複数の素子に対応した吸着半田ボール２の画像を取り
込む手段としてラインセンサカメラ３を用いるのであ
る。図１中１３は、レンズであり、１４は、照明ライト
である。尚、画像を取り込む手段は、ラインセンサカメ
ラ３に限定されるものではなく、２次元ＣＣＤカメラを
用いることもできる。
ボールねじ１１とナット１２によりＹ軸方向（図１中前
後方向）に移動可能とされたラインセンサカメラ３が用
いられている。すなわち、本発明における吸着ヘッド１
の複数の素子に対応した吸着半田ボール２の画像を取り
込む手段としてラインセンサカメラ３を用いるのであ
る。図１中１３は、レンズであり、１４は、照明ライト
である。尚、画像を取り込む手段は、ラインセンサカメ
ラ３に限定されるものではなく、２次元ＣＣＤカメラを
用いることもできる。
【０００８】図２は、吸着ヘッド１のボール吸着面の概
略平面図であり、吸着ヘッド１は、ラインセンサカメラ
３の移動方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）
に移動可能とされている。図２のボール吸着面に多数存
在する方形図形は素子３１を示している。尚、四隅に存
在するマーク４はアライメントマークである。
略平面図であり、吸着ヘッド１は、ラインセンサカメラ
３の移動方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）
に移動可能とされている。図２のボール吸着面に多数存
在する方形図形は素子３１を示している。尚、四隅に存
在するマーク４はアライメントマークである。
【０００９】吸着ヘッド１に吸着された半田ボール２の
画像取り込みは以下の工程で行われる。尚、実施例での
吸着ヘッド１は８インチウエハへの半田ボール搭載用で
ある。まず、第１工程では、ラインセンサカメラ３は、
吸着ヘッド１のボール吸着面の下方で第１基準マーク２
１と第５基準マーク２５の中間位置の第１基準マーク２
１側に停止しており、ラインセンサカメラ３の中心から
左右１インチ、合計２インチ幅分のエリア１の各素子３
１を観察領域としている。
画像取り込みは以下の工程で行われる。尚、実施例での
吸着ヘッド１は８インチウエハへの半田ボール搭載用で
ある。まず、第１工程では、ラインセンサカメラ３は、
吸着ヘッド１のボール吸着面の下方で第１基準マーク２
１と第５基準マーク２５の中間位置の第１基準マーク２
１側に停止しており、ラインセンサカメラ３の中心から
左右１インチ、合計２インチ幅分のエリア１の各素子３
１を観察領域としている。
【００１０】この状態で吸着ヘッド１が、Ｘ軸方向に移
動すると、ラインセンサカメラ３は、その間に吸着ヘッ
ド１のボール吸着面の４分の１列目の素子３１（エリア
１内の素子３１）のボール画像を取り込んでいく。画像
取込時には照明ライト１４が、上昇し、吸着ヘッド１下
面のボール吸着面を照らしている。
動すると、ラインセンサカメラ３は、その間に吸着ヘッ
ド１のボール吸着面の４分の１列目の素子３１（エリア
１内の素子３１）のボール画像を取り込んでいく。画像
取込時には照明ライト１４が、上昇し、吸着ヘッド１下
面のボール吸着面を照らしている。
【００１１】第２工程では、吸着ヘッド１が元の位置
（画像取り込み開始位置）に戻る。その間にラインセン
サカメラ３は、ボール吸着面の４分の１分横移動（２イ
ンチＹ軸方向へ移動）をする。吸着ヘッド１の移動完了
時にはラインセンサカメラ３は、第２基準マーク２２と
第６基準マーク２６との中間位置に移動を完了して停止
している。
（画像取り込み開始位置）に戻る。その間にラインセン
サカメラ３は、ボール吸着面の４分の１分横移動（２イ
ンチＹ軸方向へ移動）をする。吸着ヘッド１の移動完了
時にはラインセンサカメラ３は、第２基準マーク２２と
第６基準マーク２６との中間位置に移動を完了して停止
している。
【００１２】第３工程では、吸着ヘッド１がＸ軸方向に
移動している間にラインセンサカメラ３は、吸着ヘッド
１のボール吸着面の４分の２列目の素子３１（エリア２
内の素子）のボール画像を取り込む。第１工程での画像
取込と同様の動作をする。
移動している間にラインセンサカメラ３は、吸着ヘッド
１のボール吸着面の４分の２列目の素子３１（エリア２
内の素子）のボール画像を取り込む。第１工程での画像
取込と同様の動作をする。
【００１３】第４工程では、吸着ヘッド１が元の位置に
戻る。その間にラインセンサカメラ３が吸着ヘッド１の
ボール吸着面の４分の１分横移動（２インチＹ軸方向へ
移動）をする。吸着ヘッド１の移動完了時にはラインセ
ンサカメラ３は、第３基準マーク２３と第７基準マーク
２７の中間位置に移動を完了している。
戻る。その間にラインセンサカメラ３が吸着ヘッド１の
ボール吸着面の４分の１分横移動（２インチＹ軸方向へ
移動）をする。吸着ヘッド１の移動完了時にはラインセ
ンサカメラ３は、第３基準マーク２３と第７基準マーク
２７の中間位置に移動を完了している。
【００１４】第５工程では、吸着ヘッド１が移動してい
る間に吸着ヘッド１のボール吸着面の４分の３列目の素
子３１（エリア３内の素子）のボール画像を取り込む。
る間に吸着ヘッド１のボール吸着面の４分の３列目の素
子３１（エリア３内の素子）のボール画像を取り込む。
【００１５】第６工程では、吸着ヘッド１が元の位置に
戻る。その間にラインセンサカメラ３が吸着ヘッド１の
ボール吸着面の４分の１分横移動（２インチＹ軸方向へ
移動）する。吸着ヘッド１の移動完了時にはラインセン
サカメラ３は、第４基準マーク２４と第８基準マーク２
８の中間位置に移動を完了している。
戻る。その間にラインセンサカメラ３が吸着ヘッド１の
ボール吸着面の４分の１分横移動（２インチＹ軸方向へ
移動）する。吸着ヘッド１の移動完了時にはラインセン
サカメラ３は、第４基準マーク２４と第８基準マーク２
８の中間位置に移動を完了している。
【００１６】第７工程では、吸着ヘッド１が移動してい
る間に吸着ヘッド１のボール吸着面の４分の４列目の素
子３１（エリア４内の素子）の画像を取り込み、ボール
吸着面の画像取込動作を終了する。
る間に吸着ヘッド１のボール吸着面の４分の４列目の素
子３１（エリア４内の素子）の画像を取り込み、ボール
吸着面の画像取込動作を終了する。
【００１７】本実施例では、次にズレ量の算出とズレ量
の平均化が行われる。その工程を図４に示すフロー図に
従って説明する。ここでのボール検査は、あらかじめ作
成し登録してある基準画像（ボールパターン及びウエハ
マッピングの各基準位置データ）と実際にとらえた取込
画像とのボールの状態を比較することにより行われる。
尚、ボール検査は単一の素子３１（シングルデバイス）
の単位で行われる。
の平均化が行われる。その工程を図４に示すフロー図に
従って説明する。ここでのボール検査は、あらかじめ作
成し登録してある基準画像（ボールパターン及びウエハ
マッピングの各基準位置データ）と実際にとらえた取込
画像とのボールの状態を比較することにより行われる。
尚、ボール検査は単一の素子３１（シングルデバイス）
の単位で行われる。
【００１８】第１工程は、１つの素子３１に対してあら
かじめ登録してある基準画像に対する取込画像の個々の
ボールのズレ量を算出する。本発明における取り込んだ
ボールの取込画像と基準画像との各々のボールのズレ量
を算出する手段である。図４の取込画像とは異なる取込
画像であるが、図３のズレ量算出の説明図に従い説明す
ると、白丸で示されているのがあらかじめ登録してある
基準画像のボール位置で、斜線で示されているのが取込
画像のボール位置である。
かじめ登録してある基準画像に対する取込画像の個々の
ボールのズレ量を算出する。本発明における取り込んだ
ボールの取込画像と基準画像との各々のボールのズレ量
を算出する手段である。図４の取込画像とは異なる取込
画像であるが、図３のズレ量算出の説明図に従い説明す
ると、白丸で示されているのがあらかじめ登録してある
基準画像のボール位置で、斜線で示されているのが取込
画像のボール位置である。
【００１９】例えば第１列目の取込画像で、左より１個
目のボール画像はＸ軸方向にａ１のズレ量を有し、Ｙ軸
方向にＡ１のズレ量を有するので、その値（ａ１，Ａ
１）を算出する。同様に、２個目のボール画像からＸ軸
方向及びＹ軸方向のズレ量の値を算出する。このように
して全ボールのズレ量を算出する。
目のボール画像はＸ軸方向にａ１のズレ量を有し、Ｙ軸
方向にＡ１のズレ量を有するので、その値（ａ１，Ａ
１）を算出する。同様に、２個目のボール画像からＸ軸
方向及びＹ軸方向のズレ量の値を算出する。このように
して全ボールのズレ量を算出する。
【００２０】第２工程は、取込画像中ズレ量の多いボー
ルを除外する。図４に戻って取込画像のボール配列図Ｂ
の内、２段４列目のボールと５段３列目のボールは、ズ
レ量が異常に大きいので、これを取り除きボール配列図
Ｃを確定する。検出時の異常なボール位置（他のボール
位置の規則性と異なっているもの）を排除し、より正確
な基準位置作りを確保するためである。
ルを除外する。図４に戻って取込画像のボール配列図Ｂ
の内、２段４列目のボールと５段３列目のボールは、ズ
レ量が異常に大きいので、これを取り除きボール配列図
Ｃを確定する。検出時の異常なボール位置（他のボール
位置の規則性と異なっているもの）を排除し、より正確
な基準位置作りを確保するためである。
【００２１】ズレ量の平均化の一つは、第３工程と第４
工程で行われる。第３工程は、ボール配列図Ｄに示すよ
うにボール配列の一つの横軸ごとにＸ軸方向のズレ量の
平均を計算する。第４工程は、ボール配列図Ｅに示すよ
うにボール配列の一つの縦軸ごとにＹ軸方向のズレ量の
平均を計算する。
工程で行われる。第３工程は、ボール配列図Ｄに示すよ
うにボール配列の一つの横軸ごとにＸ軸方向のズレ量の
平均を計算する。第４工程は、ボール配列図Ｅに示すよ
うにボール配列の一つの縦軸ごとにＹ軸方向のズレ量の
平均を計算する。
【００２２】ズレ量の平均化のもう一つは第５工程と第
６工程で行われる。第５工程は、ある１つの横軸のズレ
量の平均と全横軸のズレ量の平均の差を、その横軸のズ
レ量とし、その横軸の基準とする。これを全横軸に対し
て行う。
６工程で行われる。第５工程は、ある１つの横軸のズレ
量の平均と全横軸のズレ量の平均の差を、その横軸のズ
レ量とし、その横軸の基準とする。これを全横軸に対し
て行う。
【００２３】第６工程は、ある１つの縦軸のズレ量の平
均と全縦軸のズレ量の平均の差を、その縦軸のズレ量と
し、その縦軸の基準とする。これを全縦軸に対して行
う。以上で１つの素子３１に対するズレ量の算出及び平
均化を終了する。
均と全縦軸のズレ量の平均の差を、その縦軸のズレ量と
し、その縦軸の基準とする。これを全縦軸に対して行
う。以上で１つの素子３１に対するズレ量の算出及び平
均化を終了する。
【００２４】基準とした縦軸と横軸に合わせて取込画像
又はあらかじめ登録してある基準画像を補正し、両者を
比較して、ボールの有無の検出（ミッシングボールの検
出）、余分な吸着ボールの検出（エクセスボールの検
出）、ボールサイズ、ボールがくっついたものの検出
（ダブルボールの検出）、ボールポジション等のボール
検査を行う。尚、検査対象ボールは、取込画像中の全ボ
ールに関して行われるのであって、平均化の第２工程で
除外された取込画像中ズレ量の多いボールも検査される
ことは当然である。
又はあらかじめ登録してある基準画像を補正し、両者を
比較して、ボールの有無の検出（ミッシングボールの検
出）、余分な吸着ボールの検出（エクセスボールの検
出）、ボールサイズ、ボールがくっついたものの検出
（ダブルボールの検出）、ボールポジション等のボール
検査を行う。尚、検査対象ボールは、取込画像中の全ボ
ールに関して行われるのであって、平均化の第２工程で
除外された取込画像中ズレ量の多いボールも検査される
ことは当然である。
【００２５】実施例では、実際のデバイスの取込画像か
ら縦方向の統計処理と横方向の統計処理を行い、傾き、
ズレを補正し、実際のボール配列と基準位置座標系のボ
ール配列を比較し、新規の基準画像（基準位置座標系の
ボール配列）を作成して登録し、これを基にボール検査
を行なっている。
ら縦方向の統計処理と横方向の統計処理を行い、傾き、
ズレを補正し、実際のボール配列と基準位置座標系のボ
ール配列を比較し、新規の基準画像（基準位置座標系の
ボール配列）を作成して登録し、これを基にボール検査
を行なっている。
【００２６】以上の説明は、吸着ヘッドの複数の素子に
対応した吸着ボールの画像を取り込む手段を有する実施
例に関するものであるが、複数の素子が存在する電子部
品上に搭載されたボールの画像を取り込む手段を有する
実施例も当然考えられ、その場合であっても、取込対象
が異なるのみであって、同様の方法でボール検査が行い
うるものである。
対応した吸着ボールの画像を取り込む手段を有する実施
例に関するものであるが、複数の素子が存在する電子部
品上に搭載されたボールの画像を取り込む手段を有する
実施例も当然考えられ、その場合であっても、取込対象
が異なるのみであって、同様の方法でボール検査が行い
うるものである。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、算出されたズレ量の平均によ
りズレ補正を行いボールの検査を行う方法であるので、
検査ボール量が非常に多く、且つ、検査範囲も広大な場
合であっても、検査に際して適正な補正ができ有効なボ
ール検査が可能となった。
りズレ補正を行いボールの検査を行う方法であるので、
検査ボール量が非常に多く、且つ、検査範囲も広大な場
合であっても、検査に際して適正な補正ができ有効なボ
ール検査が可能となった。
【００２８】その結果、ボールマウント装置の吸着ヘッ
ド等の機械組み立て時の取付誤差の補正を厳重に管理し
なくても済み、機械組み立て作業が容易なものとなっ
た。
ド等の機械組み立て時の取付誤差の補正を厳重に管理し
なくても済み、機械組み立て作業が容易なものとなっ
た。
【００２９】請求項３の発明の効果ではあるが、検出時
の異常なボール位置（他のボール位置の規則性と異なっ
ているもの）を排除し、より正確な補正データを取得す
ることが可能となった。
の異常なボール位置（他のボール位置の規則性と異なっ
ているもの）を排除し、より正確な補正データを取得す
ることが可能となった。
【図１】ボール検査方法に使用する検査装置を示す説明
図
図
【図２】吸着ヘッドのボール吸着面の概略平面図
【図３】ズレ量算出の説明図
【図４】ズレ量算出及び平均化のフロー図
１．．．．吸着ヘッド ２．．．．半田ボール ３．．．．ラインセンサカメラ ４．．．．アライメントマーク １１．．．ボールねじ １２．．．ナット １３．．．レンズ １４．．．照明ライト ２１，２２，２３、２４，２５，２６，２７，２
８．．．．基準マーク ３１．．．素子
８．．．．基準マーク ３１．．．素子
フロントページの続き (72)発明者 菱沼 繁 石川県金沢市大豆田本町甲58 澁谷工業株 式会社内 Ｆターム(参考） 5E319 BB04 CD52 5F044 KK19 QQ04
Claims (3)
- 【請求項１】複数の素子の存在する電子部品に搭載され
たボールの画像又は吸着ヘッドの複数の素子に対応した
吸着ボールの画像を取り込む手段と、取り込んだボール
の取込画像と基準画像との各々のボールのズレ量を算出
する手段と、ズレ量の平均を算出する手段とを有し、算
出されたズレ量の平均によりズレ補正を行いボールの検
査を行うボールの検査方法。 - 【請求項２】ズレ量の平均を算出する手段が、取込画像
のボール配列の横の列ごとと縦の列ごとに行うことを特
徴とする請求項１記載のボール検査方法。 - 【請求項３】ズレ量の平均を算出する手段が、取込画像
のボール中でズレ量が所定値以内のボールを基に行うこ
とを特徴とする請求項１記載のボール検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000198429A JP4143795B2 (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | ボール検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000198429A JP4143795B2 (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | ボール検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002016098A true JP2002016098A (ja) | 2002-01-18 |
| JP4143795B2 JP4143795B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=18696595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000198429A Expired - Fee Related JP4143795B2 (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | ボール検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4143795B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110740831A (zh) * | 2017-05-18 | 2020-01-31 | 哈赛姆·阿兹达什特 | 用于将钎焊球施加到基材上的组件和方法 |
-
2000
- 2000-06-30 JP JP2000198429A patent/JP4143795B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110740831A (zh) * | 2017-05-18 | 2020-01-31 | 哈赛姆·阿兹达什特 | 用于将钎焊球施加到基材上的组件和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4143795B2 (ja) | 2008-09-03 |
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