JP2002010619A - リニアモータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 固定子と可動子との間の空隙部が十分に空冷
されるリニアモータを提供する。 【解決手段】 可動子１６が第１の開口部１８Ａ側に進
行すると、衝突風がこの第１の開口部から第１の空孔路
２０を通って空隙部１４に流入して、該空隙部１４内を
空冷し、第２の空孔路２２を通って第２の開口部１８Ｂ
から放出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は機械の駆動源等とし
て使用されるリニアモータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、リニアモータは一般に棒状の固定
子と、この固定子との間に微小、且つ適宜な空隙部を有
して配置され、固定子に沿って駆動される可動子と、を
有している。

【０００３】可動子は複数のコイルを有し、これらコイ
ルに順次通電して進行方向に磁界を変化させるとマグネ
ットを有する固定子に対して駆動力が発生すると共にコ
イルは発熱する。可動子にマグネットを設け、固定子に
コイルを設けた場合も同様である。

【０００４】可動子の発熱はリニアモータの効率を低下
させると共に可動子及び周辺装置を熱膨張により変形さ
せて搬送精度の低下等の問題を生じさせることがあるの
で、可動子は十分に冷却される必要がある。

【０００５】可動子は駆動され、空気に対して相対移動
することにより、ある程度空冷される。この空冷の効果
を高めるために、可動子に冷却フィンを設けて放熱面積
を増加させるリニアモータが知られている。

【０００６】しかし、可動子は固定子との間に上記のよ
うに微小な空隙部を有し、この空隙部に対する空冷の効
果は極めて小さく、定格上限近くで駆動された場合、空
隙部が十分に冷却されないために、可動子全体が過熱状
態となるという問題があった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】これに対して可動子が
固定子から十分に離間されて配置されることにより空隙
部に対する空冷の効果は高められるが、可動子の駆動力
が低下して、リニアモータの効率が低下するという性能
上根本的な問題を生じさせることとなる。

【０００８】又、可動子が定格上限に対して余裕のある
状態で駆動されると、空隙部は十分に冷却され得るが、
必要な駆動力を得るためにリニアモータが大型化すると
いう新たな問題を生じさせることとなる。

【０００９】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、固定子と可動子との間の微小な空隙部
が十分に空冷されて、効率が良く搬送精度の高いコンパ
クトなリニアモータを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１のよ
うに、固定子と、この固定子との間に微小、且つ適宜な
空隙部を有して配置され、該固定子に沿って駆動される
可動子と、を有してなるリニアモータにおいて、前記可
動子は進行方向一方の端面に設けられた第１の開口部か
ら前記空隙部まで通じる第１の空孔路と、進行方向他方
の端面に設けられた第２の開口部から前記空隙部まで通
じる第２の空孔路と、を有することを特徴とするリニア
モータにより、上記目的を達成するものである。

【００１１】又、前記第１の空孔路及び第２の空孔路は
各々前記開口部から可動子進行方向に設けられた主空孔
路と、この主空孔路から前記空隙部まで貫通し、進行方
向適宜な間隔で設けられた複数の副空孔路とからなるよ
うにしてもよい。

【００１２】更に、前記第１の空孔路の前記副空孔路
は、その空隙部側の端部を前記第２の空孔路側に向けて
傾斜し、前記第２の空孔路の前記副空孔路は、その空隙
部側の端部を前記第１の空孔路側に向けて傾斜している
ようにしてもよい。

【００１３】更に又、前記可動子は前記固定子を幅方向
両側から適宜な隙間を有して挟み込んで配置された左右
一対の側壁を有し、この側壁の可動子進行方向一方及び
他方の端面に前記第１の開口部と前記第２の開口部とが
設けられるようにしてもよい。

【００１４】又、前記可動子の前記空隙部に臨む被駆動
面に、前記左右の側壁における各々の前記第１の空孔路
と前記第２の空孔路とを接続し、中間部において幅方向
中央側へ突出して湾曲する左側通気溝及び右側通気溝を
設けるようにしてもよい。

【００１５】更に、前記第１の空孔路及び第２の空孔路
には各々空気流の方向に対応して開閉する逆流防止弁が
設けられ、これら逆流防止弁は前記第１の空孔路の左右
一方と、前記第２の空孔路の左右他方とを同期して開閉
させ、且つ、これと逆位相で前記第１の空孔路の左右他
方と、前記第２の空孔路の左右一方とを同期して開閉さ
せるようにしてもよい。

【００１６】更に又、前記可動子は前記空隙部から該空
隙部と反対側の背面まで通じる第３の空孔路を有し、こ
の第３の空孔路内の空気を吸引排出可能であるファンが
前記背面に設けられていてもよい。

【００１７】又、前記第１の空孔路の主空孔路と前記第
２の空孔路の主空孔路とを隔てる可動隔壁が設けられ、
この可動隔壁は進行方向の設置位置を調節自在とされて
いてもよい。

【００１８】本発明によれば、固定子と可動子との間の
空隙部に外気を送り込むことができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例を
図面を参照して詳細に説明する。

【００２０】図１に示されるように、本実施の形態の例
に係るリニアモータ１０は、複数の板状のマグネットを
並べて構成される長方形板状体の固定子１２と、この固
定子１２との間に微小、且つ、適宜な空隙部１４を有し
て配置される可動子１６と、を有している。

【００２１】この可動子１６は、図２に示されるよう
に、進行方向一方の端面に設けられた第１の開口部１８
Ａから前記空隙部１４まで通じる左右一対の第１の空孔
路２０と、進行方向他方の端面に設けられた第２の開口
部１８Ｂから前記空隙部１４まで通じる左右一対の第２
の空孔路２２と、を有し、これら第１の空孔路２０と第
２の空孔路２２とは進行方向対称に形成されている。

【００２２】又、前記リニアモータ１０は、前記固定子
１２の幅方向両側に平行に配置された一対の棒状体で前
記可動子１６の幅方向両側を支持して進行方向に案内す
るリニアガイド２４と、これらリニアガイド２４及び前
記固定子１２を下方から支持するベース部材２６とを有
している。

【００２３】前記可動子１６は、略長方形板状体のコイ
ル支持部材１６Ａと、このコイル支持部材１６Ａの下面
に支持されるコイル１６Ｂと、このコイル１６Ｂ及び前
記固定子１２を挟み込んで配置された非磁性体材料から
なる左右一対の側壁２８と、前記リニアガイド２４と摺
動自在に係合して、前記コイル支持部材１６Ａの下面角
部を支持する４つのガイド部材１６Ｃとから構成されて
いる。

【００２４】前記第１の空孔路２０と第２の空孔路２２
とは前記側壁２８に設けられ、これら側壁２８の幅方向
の側面には図３に示されるように略長方形板状体の複数
の冷却フィン３０が上下方向適宜な間隔で形成されてい
る。

【００２５】前記第１の空孔路２０は前記第１の開口部
１８Ａから進行方向に設けられた主空孔路２０Ａと、こ
の主空孔路２０Ａから前記空隙部１４まで貫通し、進行
方向適宜な間隔で設けられた複数の副空孔路２０Ｂとか
ら構成されている。

【００２６】これら副空孔路２０Ｂは、前記空隙部１４
側の端部を前記第２の空孔路２２側に向けて傾斜してい
る。

【００２７】前記第２の空孔路２２は、前記第１の空孔
路２０と同様に主空孔路２２Ａと副空孔路２２Ｂとから
構成され、前記第１の空孔路２０と進行方向対称形状で
あるので説明は省略する。

【００２８】次に、前記リニアモータ１０の空冷作用に
ついて説明する。

【００２９】前記可動子１６の前記コイル１６Bに通電
して磁界を発生させ、この磁界の発生する部位を進行方
向に順次変化させると前記固定子１２に対して駆動力が
発生し、該可動子１６は進行方向に駆動されると共に、
前記コイル１６Ｂは発熱し、この熱は前記可動子１６全
体に伝播する。

【００３０】前記側壁２８は非磁性体材料で形成されて
いるので、前記固定子１２と前記コイル１６Ｂとの間の
磁界の大きさ、方向を変化させることがない。

【００３１】前記可動子１６は、駆動されることにより
その周囲の空気が相対的に流動して空冷され、上面、進
行方向側面、及び幅方向側面から放熱し、特に幅方向側
面において放熱面積の大きな前記冷却フィン３０により
効率良く放熱される。

【００３２】又、可動子１６の前面は空気に衝突するの
で、前記第１の開口部１８Ａ側に進行する場合、該第１
の開口部１８Ａから前記第１の空孔路２０に衝突風が導
入され、前記主空孔路２０Ａ、前記副空孔路２０Ｂを通
って前記空隙部１４へ流入する。

【００３３】前記副空孔路２０Ｂは、前記空隙部１４側
の端部を前記第２の空孔路２２側に向けて傾斜している
ので、前記主空孔路２０Ａから前記副空孔路２０Ｂへの
通気の際の圧力損失が小さく、外気は前記空隙部１４へ
スムーズに流入する。

【００３４】又、前記副空孔路２０Ｂは進行方向適宜な
間隔で設けられているので、外気は前記空隙部１４内へ
平均して流入する。

【００３５】前記空隙部１４へ外気が流入することによ
り、該空隙部１４内の圧力が高まる。又、前記第２の開
口部１８Ｂは進行方向に対して略垂直な端面に設けら
れ、周囲の空気が回り込み難いため、該第２の開口部１
８Ｂ近傍にはここから空気が入り込むような正圧が発生
するようなことはない。

【００３６】これにより、前記空隙部１４内の空気は前
記第２の空孔路２２に導入され、前記副空孔路２２Ｂ、
前記主空孔路２２Ａを通って前記第２の開口部１８Ｂか
ら外部へ放出される。

【００３７】前記副空孔路２２Ｂは、前記空隙部１４側
の端部を前記第１の空孔路２０側に向けて傾斜している
ので、該副空孔路２２Ｂから前記主空孔路２２Ａへの通
気の際の圧力損失が小さく、前記空隙部１４内の空気は
前記第２の開口部１８Ｂからスムーズに流出する。

【００３８】又、前記副空孔路２２Ｂは進行方向適宜な
間隔で設けられているので、前記空隙部１４内の空気は
平均して流出する。

【００３９】このように外気が前記空隙部１４内全体を
平均して通過することにより、該空隙部１４は十分に空
冷されるので、前記コイル１６Ｂを過熱させて駆動効率
を低下させたり、前記可動子１６及び他の周辺装置を熱
膨張により変形させて搬送精度を低下させることがな
い。

【００４０】次に、本発明の実施の形態の第２例につい
て説明する。

【００４１】本実施の形態の第２例は、図４に示される
ように、可動子４０に左側通気溝４２Ａ及び右側通気溝
４２Ｂが設けられたことを特徴としている。

【００４２】他の構成については、実施の形態の第１例
と同じであるので図１、２又は３と同一符号を付するこ
とにより説明を省略する。

【００４３】前記左側通気溝４２Ａと前記右側通気溝４
２Ｂとは、前記可動子４０の前記空隙部１４に臨む被駆
動面４０Ａに幅方向左右対称に形成されている。

【００４４】前記左側通気溝４２Ａは、同心的に設けら
れた複数の略円弧形状の溝からなり、中間において幅方
向中央側へ突出して湾曲し、左側の前記側壁２８におけ
る前記第１の空孔路の前記副空孔路２０Ｂと前記第２の
空孔路の前記副空孔路２２Ｂとを接続している。

【００４５】前記右側通気溝４２Ｂは、前記左側通気溝
４２Ａと左右対称形状であるので説明を省略する。

【００４６】次に、本実施の形態の第２例において設け
られている前記左側通気溝４２Ａ及び前記右側通気溝４
２Ｂの作用について説明する。

【００４７】前記左側通気溝４２Ａ及び前記右側通気溝
４２Ｂは、前記第１の空孔路２０の前記副空孔路２０Ｂ
から前記空隙部１４に導入される外気を幅方向中央側へ
案内して、前記第２の空孔路２２の前記副空孔路２２Ｂ
から放出させる。

【００４８】これにより、前記空隙部１４の中央部近傍
が確実に空冷されると共に、前記空隙部１４の隙間が狭
い場合であっても、空冷のための十分な通気量が確保さ
れる。

【００４９】次に、本発明の実施の形態の第３例につい
て説明する。

【００５０】本実施の形態の第３例に係る可動子５０
は、図５に示されるように、前記第１の空孔路２０及び
第２の空孔路２２に各々空気流の方向に対応して開閉す
る複数の逆流防止弁５２を有することを特徴としてい
る。

【００５１】他の構成については、実施の形態の第１例
と同じであるので図１、２又は３と同一符号を付するこ
とにより説明を省略する。

【００５２】前記逆流防止弁５２は、取付位置と開閉の
方向との組合せが異なる４組の逆流防止弁５２Ａ、５２
Ｂ、５２Ｃ及び５２Ｄから構成されている。

【００５３】前記逆流防止弁５２Ａは、幅方向一方側
（図中上側）の前記第１の空孔路２０の前記副空孔路２
０Ｂ各々に一つずつ設けられ、前記空隙部１４から前記
主空孔路２０Ａへの方向の空気流により開き、逆方向の
空気流により閉じるようにされている。

【００５４】前記逆流防止弁５２Ｂは、幅方向他方側
（図中下側）の前記第１の空孔路２０の前記副空孔路２
０Ｂ各々に一つずつ設けられ、前記逆流防止弁５２Ａと
逆位相で開閉するようにされ、前記空隙部１４から前記
主空孔路２０Ａへの方向の空気流により閉じ、逆方向の
空気流により開くようにされている。

【００５５】前記逆流防止弁５２Ｃは、前記逆流防止弁
５２Ａと同じ幅方向一方側（図中上側）の前記第２の空
孔路２２の前記副空孔路２２Ｂ各々に一つずつ設けら
れ、前記空隙部１４から前記主空孔路２２Ａへの方向の
空気流により開き、逆方向の空気流により閉じるように
されている。

【００５６】前記逆流防止弁５２Ｄは、幅方向他方側
（図中下側）の前記第２の空孔路２２の前記副空孔路２
２Ｂ各々に一つずつ設けられ、前記逆流防止弁５２Ｃと
逆位相で開閉するようにされ、前記空隙部１４から前記
主空孔路２２Ａへの方向の空気流により閉じ、逆方向の
空気流により開くようにされている。

【００５７】次に、本実施の形態の第３例において設け
られている前記逆流防止弁５２の作用について説明す
る。

【００５８】図５に示されるように、前記可動子５０が
前記第１の開口部１８Ａ側（図中左側）へ進行するとき
は、該第１の開口部１８Ａから前記第１の空孔路２０へ
流入する空気流により前記逆流防止弁５２Ａは閉じら
れ、逆に前記逆流防止弁５２Ｂは開かれ、この逆流防止
弁５２Ｂを通過した外気は前記空隙部１４に流入する。

【００５９】この空隙部１４に送り込まれた外気は前記
第２の空孔路２２に流入し、この空気流により前記逆流
防止弁５２Ｄは閉じられ、逆に逆流防止弁５２Ｃは開か
れ、この逆流防止弁５２Ｃを通過した外気は前記第２の
開口部１８Ｂから外部へ放出される。

【００６０】即ち、前記空隙部１４に送り込まれる外気
は該空隙部１４を幅方向の一方側から他方側へ斜めに横
断する。

【００６１】図６に示されるように、前記可動子５０が
前記第２の開口部１８Ｂ側（図中右側）へ進行するとき
は、前記逆流防止弁５２Ｄ及び５２Ａが開かれ、逆に前
記逆流防止弁５２Ｃ及び５２Ｂは閉じられ、前記空隙部
１４に流入する外気は、図５の空気流とクロスする方向
で該空隙部１４を幅方向の一方側から他方側へ斜めに横
断する。

【００６２】このように前記可動子５０が進行方向に往
復運動することにより、前記空隙部１４全体が確実に空
冷される。

【００６３】なお、本実施の形態の第３例においては、
前記逆流防止弁５２は前記副空孔路２０Ｂ及び２２Ｂ各
々に一つずつ設けられているが、本発明はこれに限定さ
れるものでなく、前記逆流防止弁５２は、前記主空孔路
２０Ａの前記第１の開口部１８Ａ近傍及び前記主空孔路
２２Ａの前記第２の開口部１８Ｂ近傍に設けられるよう
にしてもよい。

【００６４】この場合、前記逆流防止弁５２の設置数が
低減され、低コストである。

【００６５】次に、本発明の実施の形態の第４例につい
て説明する。

【００６６】本実施の形態の第４例に係る可動子６０
は、図７に示されるように、前記コイル１６Ｂを支持す
るコイル支持部材６０Ａを貫通する第３の空孔路６２
と、ファン６４とが設けられたことを特徴としている。

【００６７】他の構成については、実施の形態の第１例
と同じであるので図１、２又は３と同一符号を付するこ
とにより説明を省略する。

【００６８】前記第３の空孔路６２は、前記コイル支持
部材６０Ａに複数設けられ、前記空隙部１４側（図中下
面側）から反対側の背面まで貫通している。

【００６９】前記ファン６４は、前記コイル支持部材６
０Ａの前記背面に取付けられ、前記第３の空孔路６２内
の空気を吸引排出可能とされている。

【００７０】次に、本実施の形態の第４例に係る可動子
６０の作用について説明する。

【００７１】前記ファン６４を駆動すると、前記第３の
空孔路６２内の空気が吸引排出されて前記空隙部１４内
の気圧が低下し、前記第１の空孔路２０及び前記第２の
空孔路２２から前記空隙部１４へ外気が流入する。

【００７２】前記第１の空孔路２０及び前記第２の空孔
路２２は前記可動子６０の進行方向に拘らず、常に前記
空隙部１４への吸気孔とされている。

【００７３】この流入した外気は、前記コイル１６Ｂの
隙間及び前記第３の空孔路６２を通って前記ファン６４
から排出され、これにより発熱源である前記コイル１６
Ｂが空冷される。

【００７４】前記可動子６０は、停止時及び進行時のい
ずれの場合においても、前記ファン６４により空冷さ
れ、常時一定温度以下に保たれる。

【００７５】なお、本実施の形態の第４例においては、
前記ファン６４は前記可動子６０の停止時及び進行時の
いずれの場合においても常時駆動されているが、本発明
はこれに限定されるものではなく、前記ファン６４は前
記可動子６０の停止時又は進行時のいずれか一方の場合
にのみ駆動されるようにしてもよい。

【００７６】次に、本発明の実施の形態の第５例につい
て説明する。

【００７７】本実施の形態の第５例に係る可動子７０
は、図８に示されるように、前記第１の空孔路２０の主
空孔路２０Ａと前記第２の空孔路２２の主空孔路２２Ａ
とが進行方向の設置位置調節自在の可動隔壁７２で隔て
られていることを特徴としている。

【００７８】他の構成については、実施の形態の第１例
と同じであるので図１、２又は３と同一符号を付するこ
とにより説明を省略する。

【００７９】前記主空孔路２０Ａと２２Ａとは同一の雌
ねじ孔に形成され、いもねじ状の前記可動隔壁７２によ
り隔てられている。

【００８０】この可動隔壁７２の進行方向の設置位置を
調節することにより、前記主空孔路２０Ａと２２Ａとの
比率及びこれら主空孔路２０Ａ、２２Ａに貫通する前記
副空孔路２０Ｂと２２Ｂとの比率を調節可能とされてい
る。

【００８１】これにより、例えば前記可動子７０が前記
第２の開口部１８Ｂ側（図中右側）へ進行するときの負
荷が逆方向へ進行するときの負荷よりも大きい場合、若
しくは前記可動子７０が前記第２の開口部１８Ｂ側へ進
行するときの速度が逆方向へ進行するときの速度よりも
遅い場合、前記可動隔壁７２を進行方向中央よりも前記
第２の開口部１８Ｂから離間させ、前記第２の空孔路２
２の比率を高めて、該第２の空孔路２２から前記空隙部
１４への吸気効率を高めることができる。

【００８２】なお、前記実施の形態の第１例乃至第５例
において、前記第１の空孔路２０及び第２の空孔路２２
は前記側壁２８に設けられているが、本発明はこれに限
定されるものではなく、図９に示される実施の形態の第
６例のように、前記第１の空孔路２０及び第２の空孔路
２２は前記コイル支持部材１６Ａに設けられるようにし
てもよい。

【００８３】この場合、前記副空孔路２０Ｂ及び２２Ｂ
を前記コイル１６Ｂの隙間に一致させて設置してもよ
い。

【００８４】又、前記実施の形態の第１例乃至第５例に
おいて、前記固定子１２はマグネットを有し、前記可動
子１６、４０、５０、６０及び７０は前記コイル１６Ｂ
を有しているが、本発明はこれに限定されるものではな
く、前記固定子１２はコイルを有し、前記可動子１６、
４０、５０、６０及び７０はマグネットを有していても
よい。

【００８５】

【発明の効果】本発明によれば、固定子と可動子との間
の空隙部が十分に空冷されるコンパクトなリニアモータ
により、効率良く精度が高い搬送が実現されるという優
れた効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の第１例に係るリニアモー
タの概要を示す斜視図

【図２】同リニアモータの可動子の構造を示す斜視図

【図３】同リニアモータの要部を示す斜視図

【図４】本発明の実施の形態の第２例に係るリニアモー
タの可動子に設けられた通気溝を示す斜視図

【図５】本発明の実施の形態の第３例に係るリニアモー
タの可動子に設けられた逆流防止弁を示す平断面図

【図６】同逆流防止弁の図５と逆位相の作用を示す平断
面図

【図７】本発明の実施の形態の第４例に係るリニアモー
タの可動子の構造を示す分解斜視図

【図８】本発明の実施の形態の第５例に係るリニアモー
タの可動子の可動隔壁を示す平断面図

【図９】本発明の他の実施の形態の第６例に係るリニア
モータの可動子の第１の空孔路及び第２の空孔路を示す
斜視図

【符号の説明】

１０…リニアモータ １２…固定子 １４…空隙部 １６、４０、５０、６０、７０…可動子 １６Ａ、６０Ａ…コイル支持部材 １６Ｂ…コイル １８Ａ…第１の開口部 １８Ｂ…第２の開口部 ２０…第１の空孔路 ２０Ａ、２２Ａ…主空孔路 ２０Ｂ、２２Ｂ…副空孔路 ２２…第２の空孔路 ２４…リニアガイド ２６…ベース部材 ２８…側壁 ３０…冷却フィン ４０Ａ…被駆動面 ４２Ａ…左側通気溝 ４２Ｂ…右側通気溝 ５２…逆流防止弁 ６２…第３の空孔路 ６４…ファン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安西 洋 東京都調布市国領町８丁目２番地の１ ジ ューキ株式会社内 Ｆターム(参考） 5H609 BB08 BB18 PP07 PP09 QQ02 QQ11 QQ14 QQ16 QQ18 QQ23 RR12 RR20 RR35 RR36 RR37 RR41 RR63 5H641 BB06 BB18 GG03 HH02 HH05 JA02 JA09 JB03 JB04 JB09 JB10

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】固定子と、この固定子との間に微小、且つ
   適宜な空隙部を有して配置され、該固定子に沿って駆動
   される可動子と、を有してなるリニアモータにおいて、
   前記可動子は進行方向一方の端面に設けられた第１の開
   口部から前記空隙部まで通じる第１の空孔路と、進行方
   向他方の端面に設けられた第２の開口部から前記空隙部
   まで通じる第２の空孔路と、を有することを特徴とする
   リニアモータ。
2. 【請求項２】請求項１において、前記第１の空孔路及び
   第２の空孔路は各々前記開口部から可動子進行方向に設
   けられた主空孔路と、この主空孔路から前記空隙部まで
   貫通し、進行方向適宜な間隔で設けられた複数の副空孔
   路とからなることを特徴とするリニアモータ。
3. 【請求項３】請求項２において、前記第１の空孔路の前
   記副空孔路は、その空隙部側の端部を前記第２の空孔路
   側に向けて傾斜し、前記第２の空孔路の前記副空孔路
   は、その空隙部側の端部を前記第１の空孔路側に向けて
   傾斜することを特徴とするリニアモータ。
4. 【請求項４】請求項１、２又は３において、前記可動子
   は前記固定子を幅方向両側から適宜な隙間を有して挟み
   込んで配置された左右一対の側壁を有し、この側壁の可
   動子進行方向一方及び他方の端面に前記第１の開口部と
   前記第２の開口部とが設けられたことを特徴とするリニ
   アモータ。
5. 【請求項５】請求項４において、前記可動子の前記空隙
   部に臨む被駆動面に、前記左右の側壁における各々の前
   記第１の空孔路と前記第２の空孔路とを接続し、中間部
   において幅方向中央側へ突出して湾曲する左側通気溝及
   び右側通気溝を設けたことを特徴とするリニアモータ。
6. 【請求項６】請求項４において、前記第１の空孔路及び
   第２の空孔路には各々空気流の方向に対応して開閉する
   逆流防止弁が設けられ、これら逆流防止弁は前記第１の
   空孔路の左右一方と、前記第２の空孔路の左右他方とを
   同期して開閉させ、且つ、これと逆位相で前記第１の空
   孔路の左右他方と、前記第２の空孔路の左右一方とを同
   期して開閉させることを特徴とするリニアモータ。
7. 【請求項７】請求項１乃至６のいずれかにおいて、前記
   可動子は前記空隙部から該空隙部と反対側の背面まで通
   じる第３の空孔路を有し、この第３の空孔路内の空気を
   吸引排出可能であるファンが前記背面に設けられたこと
   を特徴とするリニアモータ。
8. 【請求項８】請求項２乃至７のいずれかにおいて、前記
   第１の空孔路の主空孔路と前記第２の空孔路の主空孔路
   とを隔てる可動隔壁が設けられ、この可動隔壁は進行方
   向の設置位置を調節自在とされたことを特徴とするリニ
   アモータ。