JP4819944B2 - 熱補償手段並びに冷却手段を有するリニア電気モータ用のスタンド - Google Patents

熱補償手段並びに冷却手段を有するリニア電気モータ用のスタンド Download PDF

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Description

本発明は、スタンドの膨張の熱補償手段並びに冷却手段を有するリニア電気モータ用のスタンドに関する。
より詳細には、本発明は、第1の部分と第2の部分とを有するリニア電気モータ用のスタンドであって、このスタンドは、第1の部分と共に垂直平面内に延び、第2の部材を有する構造体に案内手段により長手方向に可動に装着され、また、このスタンドは、第1の部分が取着された中央プレートを有し、この中央プレートは、第1の接続部分により第1の上側のウィングに接続され、第2の接続部分により第2の下側のウィングに接続され、これらウィングの各々は、案内手段の他の整合用の部分を有する前記構造体に対してスタンドを案内するための手段の一部を有し、また、このスタンドは、動作時に第1の部分の熱により生じるスタンドの材料の熱膨張を吸収するように、スタンドの熱膨張を補償するための手段を有している。
リニア電気モータ、特に「フラット」タイプのリニアモータ用の多くのスタンドが、知られている。
詳細には、このようなモータは、特に、マシンの搬送動作又は移送動作を行うための多くの適用例で、産業上使用されることができる。
リニアモータは、特に、動作の実質的な加速において、移動速度の速さと位置付けの優れた精度とを得ることを可能にしている。
しかし、所定の例用例において、案内手段が早期に磨耗してしまうという問題が、特に、このようなリニアモータが、連続的な搬送動作、時には高速で反復される搬送動作を行うためのマシンに使用されるときに、留意される。
このような磨耗の問題は、特に、付加的にマシンを停止させる必要があるマシンのメインテナンスの頻繁かつコストのかかる介入の元となっている。
本発明の目的は、特に、上述された欠点を克服するスタンドを提案している。
この目的のために、本発明は、補償手段が、接続ブリッジを規定している細長いスロットで構成され、これらスロットは、冷却用の通気孔を形成し、これら通機構を通して、強制された空気の循環が、スタンドの動作中に生じ、かくして第1の部分を対流により冷却し得る、上述されたタイプのリニアモータ用のスタンドを提案している。
好適には、本発明に係わるスタンドのスロットは、動作時の第1の部分の熱により生じるスタンドの材料の熱膨張を吸収並びに限定するように、スタンドの熱膨張を補償する手段と、スタンドを冷却するための手段とを形成している。
好適には、本発明に係わる補償手段は、熱膨張を補償し得る変形機能を有する弾性のゾーンをスタンドに局所的に与えることにより、スタンドの材料の熱膨張を吸収することを可能にしている。
本発明の他の特長に従えば、
前記スロットを構成している補償手段は、案内手段への力の伝達を制限するように、スタンドの移動の方向に直交する所定の方向へのスタンド材料の熱膨張を吸収することが可能であり、
スタンドの熱膨張を補償するための手段を形成している前記スロットは、ウィング、即ち上側のウィングと下側のウィングとの各々を有する中央プレートの第1の接続部分と第2の接続部分とに配置され、
前記スロットは、互いに平行に延び、スタンドの両接続部分の長さの部分又は全体に渡って延び、
スタンドは、第1の部分が中に入れられた内側のハウジングを有し、このハウジングは、長手方向の両端部と、対向して配置された第2の部分の方向で横方向とに開いており、また、
スタンドは、横方向の断面を通る垂直セクションで、前記ハウジングを規定しているほぼ「U字」形状の中央部分を有し、この中央部分の中央の垂直プレートは、互いにほぼ水平に延びている上側の接続部分と下側の接続部分とにより形成された互いに平行なブランチに接続された中間ブランチを形成し、
前記スロットは、スタンドの上側の接続部分と下側の接続部分にまっすぐに横方向に延び、
前記構造体は、パッケージマシンのようなマシンに属し、このマシンの搬送手段は、この搬送手段を長手方向に駆動させ得るスタンドの垂直外面に取着されている。
本発明の他の特長並びに利点は、理解のために、添付図面を参照した以下の詳細な説明を読むことにより明らかになる。
以下の説明では、同じ参照符号が、同じパーツ又は同様の機能を有したパーツを示している。
本発明は、図示されている表示L,V,Tに従った長手方向、垂直方向、並びに横方向を理解するのを容易にするために、非限定的な態様で説明される。尚、垂直方向は、必ずしも重力の方向を示すものではない。
図1は、本発明の好ましい実施形態に係わるリニアモータ14用のスタンド12と、マシン(図示されず)のフレームのような構造体16の一部とを主に有する装置10を示している。
前記リニア電気モータ14は、ほぼ平行六面体の形状の第1の部分18と、第2の部分20とで構成された「フラット」タイプのリニアモータである。
好ましくは、前記第1の部分18は、第2の部分20が取着されている前記構造体16に対して移動され得る設備の物品を形成するように、スタンド12に取着されている。
図示されている表示(L,V,T)に応じて、この例で第1の部分18を支持している前記スタンド12は、垂直方向の平均的な平面(average plane)に延びている。
前記第2の部分20は、決定されたエアギャップの値「e」に対応した距離だけ離れて、横方向で第1の部分18と対向して、垂直方向に配置されている。
この例の第2の部分20は、前記構造体16に対するスタンド12と第1の部分18との移動のパスを決定する磁気パスを形成するように、長手方向にまっすぐ延びている。
前記スタンド12は、構造体16に沿って移動するように装着され、この構造体に対して、スタンドは、案内手段22により、長手方向に水平に移動する。
前記案内手段22は、スタンド12と構造体16との間で、前記第2の部分20の両側に配置されている。
前記スタンド12は、第1の部分18が取着されている中央のプレート24を有している。この中央のプレートは、第1の接続部分28により、上側のウィング26と称される第1のウィングに接続され、第2の接続部分32により、下側のウィング30と称される第2のウィングに接続されている。
前記スタンド12の案内手段22は、上側の案内手段34と称される案内手段と、下側の案内手段36と称される案内手段とを有している。
前記上側の案内手段34と下側の案内手段36とは、この例では、同一であり、「ボールガイド(ball guide)」タイプであることが好ましい。
前記案内手段22の各々は、構造体16に固定された細長いレールを構成している第1の固定部分と、このレール上を摺動可能な可動部分とを有している。この可動部分は、スタンド12の前記両ウィング26,30の一方に固定して装着された少なくとも1つのスキッドで構成されている。
前記上側の案内手段34は、前記構造体の垂直面40に取着された細長い上側レール38と、1対の上側スキッド42、即ち前方の上側スキッド42Aと後方の上側スキッド42Bとを有している。
同様に、前記下側の案内手段36は、構造体16の垂直面40に取着された細長い下側レール44と、1対の下側スキッド46、即ち前方の下側スキッドと後方の下側スキッド(図示されず)とを有している。
図2に良好に示され得るように、前記両上側スキッド42は、スタンド12の前記上側のウィング26の内側垂直面48に固定して装着され、また、前記両下側スキッド46は、スタンド12の前記下側のウィング30の内側垂直面50に固定して装着されている。
従って、前記両ウィング、即ち、上側のウィング26と下側のウィング30との各々は、構造体16の細長いレール38,44に対してスタンド12を案内するように設計された案内手段22の可動部分を形成している1対のスキッド42,46を夫々有している。
前記スタンド12の前記案内手段22には、隙間がなく、即ち、前記両スキッドは、案内手段22が、少なくとも垂直方向に隙間を有することのないように、両レールに対して「浮上」装着されていない。
従って、スタンド12が、例えば前後に往復移動したとき、前記第1の部分18は、熱せられ、伝導性により熱をスタンド12に伝達する。
複数の適用例に応じて、前記スタンド12は、スタンド12の材料の熱膨張の現象をもたらす64℃ないし90℃のオーダーの温度に達し得る。
材料の熱膨張の影響を受けて、前記スタンド12は、変形し、かくして、前記上側の案内手段34へと上方に与えられる垂直方向の圧力と、前記下側の案内手段36へと下方に与えられる垂直方向の圧力とを生じさせる。
従って、材料の熱膨張によるこれら「寄生(parasitic)」力は、前記両レール38,44により決定されるスタンド12の移動の長手方向に対して直角に与えられる。
これら力は、前記両案内手段34,36の早すぎる磨耗をもたらし、時には、スタンド12の案内に影響を与え得る。
従って、好適には、前記スタンド12は、動作時の第1の部分18の熱により生じたスタンドの材料の熱膨張を吸収するように、スタンド12の熱膨張を補償する手段52を有している。
好適には、前記スタンド12の補償手段52は、第1の部分18が熱せられたときに、スタンド12の案内手段22がこれら力により影響されない又は大きく影響されないように、材料の熱膨張を補償することができる。
本発明に係われば、前記補償手段52は、接続ブリッジ60を規定している細長いスロット58で構成されている。これらスロット58は、冷却用の通気孔を形成しており、これら通気孔を通して、空気の循環が、支持体12の移動の間に行われ、第1の部分18を対流により冷却することができる。
本発明のおかげで、この冷却作用により、前記案内手段22の動作期間は延ばされ、必要なメインテナンス作業は低減される。
好ましくは、スタンドの熱膨張を補償する手段52を形成している前記スロット58は、ウィング、即ち前記上側のウィング26と下側のウィング30との各々を有する前記中央プレート24の第1の接続部分28と第2の接続部分32とに夫々配置されている。
図1並びに2に示されているスタンド12の例示的な例に係われば、スタンド12は、前記第1の部分18を中に入れている内側のハウジング54を有している。このハウジング54は、長手方向の両端部と、構造体16に対向して配置された第2の部分20の方向で横方向とに開いている。
従って、前記スタンド12は、横方向の断面を通る垂直セクションで、前記ハウジング54を規定している「U字」形状の中央部分56を有している。この中央部分の、この例では垂直である中央プレート24は、この例ではほぼ水平に延びている上側の接続部分28と下側の接続部分32とにより夫々形成された互いに平行なブランチに接続された中間ブランチを形成している。
本発明に係われば、前記補償手段52は、接続ブリッジ60を規定している複数のスロット58で構成されている。
より詳細には、各接続ブリッジ60は、連続した2つのスロット58により長手方向が規定されている。
図2の断面図に良好に示され得るように、前記スロット58は、長方形であり、断面が、ほぼ「S字」形状である。
従って、これらスロット58は、上側の接続部分28と下側の接続部分32とのアッセンブリ中に横方向に延び、かつ中央プレート24近くの部分中と、ウィング、即ち上側のウィング26並びに下側のウィング30の各々近くの部分中とに夫々垂直方向に延びている主中央部分を有している。
好ましくは、前記スロット58は、互いに平行に延び、上側の接続部分28と下側の接続部分32との長さ全体又は一部分に渡って延びている。
この例のスロット58は、スタンド12の上側の接続部分28と下側の接続部分32とにまっすぐに横方向に延びている。
好適には、前記スロット58は、冷却用の通気孔を形成し、これら通気孔を通して、「強制された」空気の循環が、スタンド12の移動中に生じ、第1の部分18とスタンド12とを対流により冷却することができる。
変形例(図示されず)に従えば、スタンド12は、スタンド12を冷却しながらスタンドの熱を制限するために、フィンのような、更なる熱放散手段を有している。
好適には、スタンド12は、パッケージマシンのようなマシン(図示されず)に使用されることができる。このマシンでは、装置10が、例えば、少なくとも2つのワークステーション間の搬送のためのデバイス(図示されず)を形成するのに使用される。
好適には、前記スタンドは、厚紙タイプのパッケージをピックアップするための手段のような、このようなマシンの搬送手段62を移動させることができる。
この搬送手段62は、例えば、スタンド12の中央プレート24の垂直外面64に固定して装着されている。
好適には、前記リニアモータ14は、このリニアモータの移動、特にリニアモータの位置と速度とを制御するように設計されたサーボモータを有している。
好適には、このような搬送デバイスは、電気モータにより駆動されるベルト又はチェーンを有するタイプの周知の搬送手段を備えたマシンよりも小型のマシンを製造可能にするリニアモータを有している。
更に、本発明に係わるスタンド12は、前記案内手段22の動作期間を最適にし、特に案内手段22の部材を交換するのにかかるコストを減じ、メインテナンス作業の頻度を低減させることを可能にしている。
従って、本発明に係わるスタンド12は、特にかさばりコストのかかる例えば水循環により能動的な冷却手段を与えることからなる解決策に比べて、適用が特に経済的である解決策を与えている。
構造体に沿って移動するように装着された本発明に係わるスタンドとリニアモータとを有する装置を分解された状態で概略的に示している斜視図である。 組み合わされた位置に示されている図1の装置の垂直平面に沿った断面図である。

Claims (8)

  1. 第1の部分(18)と第2の部分(20)とを有するリニア電気モータ(14)用のスタンド(12)であって、このスタンド(12)は、案内手段(22)により、前記第2の部分(20)を有する構造体(16)に長手方向に可動に装着され、また、スタンド(12)は、前記第1の部分(18)が取着された中央プレート(24)を具備し、この中央プレートは、第1の接続部分(28)により第1の上側のウィング(26)に接続され、第2の接続部分(32)により第2の下側のウィング(30)に接続され、また、これらウィング(26,30)の各々は、前記構造体(16)に対してスタンドを案内するための手段(22)の一部分を有し、この案内するための手段は、この案内手段(22)の他の整合部分を有し、また、スタンド(12)は、動作時の前記第1の部分(18)の熱により生じるスタンド(12)の材料の熱膨張を吸収するように、スタンド(12)の熱膨張を補償するための手段(52)を具備するスタンドにおいて、前記補償するための手段は、(52)は、接続ブリッジ(60)を夫々規定している細長い複数のスロット(58)で構成され、これらスロット(58)は、冷却用の通気孔を形成し、これら通気孔を通して、強制された空気の循環が、スタンド(12)の移動中に生じて、前記第1の部分(18)を対流により冷却可能であることを特徴とするスタンド。
  2. 前記スロット(58)で構成された前記補償するための手段(52)は、前記案内手段(22)への力の伝達を制限するように、スタンド(12)の移動の方向に直交する所定の方向へのスタンド(12)の材料の熱膨張を吸収可能であることを特徴とする請求項1のスタンド。
  3. 前記スタンド(12)の熱膨張を補償するための手段(52)を形成している前記スロット(58)は、ウィング、即ち前記上側のウィング(26)と前記下側のウィング(30)との各々を有する前記中央プレート(24)の前記第1の接続部分(28)と第2の接続部分(32)とに夫々配置されていることを特徴とする請求項1又は2のスタンド。
  4. 前記スロット(58)は、互いに平行に延び、スタンド(12)の前記両接続部分(28,32)の長さの一部又は全体に渡って延びていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1のスタンド。
  5. このスタンド(12)は、前記第1の部分(18)が中に入れられた内側のハウジング(54)を有し、このハウジング(54)は、長手方向で両端部と、対向して配置された前記第2の部分(20)の方向で横方向とに開いていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1のスタンド。
  6. このスタンド(12)は、横方向の断面を通る垂直セクションで、前記ハウジング(54)を規定しているほぼ「U字」形状の中央部分(56)を有し、この中央部分の垂直の中央プレート(24)は、互いにほぼ水平に延びている前記上側の接続部分(28)と下側の接続部分(32)とにより形成され互いに平行したブランチに接続された中央ブランチを形成していることを特徴とする請求項5のスタンド。
  7. 前記スロット(58)は、スタンド(12)の前記上側の接続部分(28)並びに下側の接続部分(32)中にまっすぐに横方向に延びていることを特徴とする請求項6のスタンド。
  8. 前記構造体(16)は、パッケージマシンのようなマシンに属し、このマシンの搬送手段(62)が、この搬送手段(62)を長手方向に駆動させ得るスタンド(12)の垂直外面(64)に取着されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1のスタンド。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2900286A1 (fr) * 2006-04-20 2007-10-26 Sidel Participations Agencement pour le montage d'un support d'un moteur electrique lineaire
WO2014141887A1 (ja) * 2013-03-13 2014-09-18 シンフォニアテクノロジー株式会社 リニアモータ
DE102014202785A1 (de) * 2014-02-17 2015-08-20 Robert Bosch Gmbh Linearbewegungsvorrichtung mit elastischem Gehäuse
DE102017131320A1 (de) 2017-12-27 2019-06-27 Beckhoff Automation Gmbh Planarantriebssystem, Statormodul und Sensormodul
US11772910B2 (en) * 2019-03-20 2023-10-03 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Linear conveyor
CN111463946A (zh) * 2020-04-13 2020-07-28 苏州思铭普精密科技有限公司 一种无铁芯动圈式直线电机

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4839545A (en) * 1987-10-16 1989-06-13 Anwar Chitayat Cooling system for linear motor
JP2002010619A (ja) * 2000-06-19 2002-01-11 Juki Corp リニアモータ
JP2002238238A (ja) * 2001-02-06 2002-08-23 Yaskawa Electric Corp リニアモータの冷却装置
DE10320553A1 (de) * 2003-05-07 2004-12-16 Sew-Eurodrive Gmbh & Co. Kg Linearmotor
JP2005079496A (ja) * 2003-09-03 2005-03-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品実装機
US20050258688A1 (en) * 2002-07-01 2005-11-24 Thk Co., Ltd. Drive guide device
JP2006074975A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Toshiba Mach Co Ltd リニアモータおよびリニア移動ステージ装置

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4916340A (en) * 1988-01-22 1990-04-10 Canon Kabushiki Kaisha Movement guiding mechanism
FR2653949B1 (fr) * 1989-10-30 1992-02-07 Celduc Const Elect Centre Dispositif de refroidissement pour inducteur de moteur lineaire.
JP3227320B2 (ja) * 1994-11-07 2001-11-12 日本トムソン株式会社 リニア直流モータ
US5723917A (en) * 1994-11-30 1998-03-03 Anorad Corporation Flat linear motor
US5850112A (en) * 1996-02-08 1998-12-15 Krauss-Maffei Ag Linear motor
US5783877A (en) * 1996-04-12 1998-07-21 Anorad Corporation Linear motor with improved cooling
US5959415A (en) * 1996-08-13 1999-09-28 Richard D. Sedgewick Linear motor with improved coil design and heat removal
JP3478084B2 (ja) * 1997-10-14 2003-12-10 日立金属株式会社 リニアモータ
US6114781A (en) * 1999-02-26 2000-09-05 Nikon Corporation Cooling system for a linear or planar motor
JP3448005B2 (ja) * 1999-05-27 2003-09-16 ミラエ・コーポレーション リニアモーターの冷却装置
JP3643273B2 (ja) * 1999-10-28 2005-04-27 株式会社ソディック リニアモータのコイル装置およびその製造方法
TW533656B (en) * 2000-04-07 2003-05-21 Mirae Corp Cooling control system of linear motor
TW475314B (en) * 2000-07-11 2002-02-01 Hiwin Mikrosystem Corp Coreless type linear motor
US6515381B1 (en) * 2000-09-13 2003-02-04 Nikon Corporation Cantilever stage
JP4689058B2 (ja) * 2001-02-16 2011-05-25 キヤノン株式会社 リニアモータ、ステージ装置および露光装置ならびにデバイス製造方法
DE10131118A1 (de) * 2001-06-28 2003-01-09 Siemens Linear Motor Systems G Sekundärteil für Linearmotor mit Kühlung
EP1895645B1 (en) * 2001-08-29 2012-06-27 Yamazaki Mazak Kabushiki Kaisha Air cooled linear motor
EP1449289B1 (de) * 2001-11-29 2008-08-20 Siemens Aktiengesellschaft Luftgekühlte spuleneinheit eines linearmotors
ITUD20010208A1 (it) * 2001-12-14 2003-06-16 Gisulfo Baccini Motore lineare e procedimento di fabbricazione di tale motore lineare
US7282821B2 (en) * 2002-01-28 2007-10-16 Canon Kabushiki Kaisha Linear motor, stage apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing apparatus
US6956308B2 (en) * 2003-07-15 2005-10-18 Nikon Corporation Dual flow circulation system for a mover
US7548303B2 (en) * 2004-09-04 2009-06-16 Nikon Corporation Cooling assembly for a stage
JP4860222B2 (ja) * 2005-09-28 2012-01-25 Thk株式会社 リニアモータ及びその製造方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4839545A (en) * 1987-10-16 1989-06-13 Anwar Chitayat Cooling system for linear motor
JP2002010619A (ja) * 2000-06-19 2002-01-11 Juki Corp リニアモータ
JP2002238238A (ja) * 2001-02-06 2002-08-23 Yaskawa Electric Corp リニアモータの冷却装置
US20050258688A1 (en) * 2002-07-01 2005-11-24 Thk Co., Ltd. Drive guide device
DE10320553A1 (de) * 2003-05-07 2004-12-16 Sew-Eurodrive Gmbh & Co. Kg Linearmotor
JP2005079496A (ja) * 2003-09-03 2005-03-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品実装機
JP2006074975A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Toshiba Mach Co Ltd リニアモータおよびリニア移動ステージ装置

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