JP2002006251A - 動圧空気軸受型光偏向器 - Google Patents
動圧空気軸受型光偏向器Info
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Abstract
おいても、最大限の性能を発揮でき、回転多面鏡による
風切り音を抑え、騒音の発生を極力抑えることのできる
動圧空気軸受型光偏向器を提供する。 【解決手段】 ケースに立設した固定軸と、前記固定軸
の外周をヘリングボーン溝その他の動圧発生部からなる
ラジアル動圧空気軸受により回転自在に支持された回転
軸とを備え、前記回転軸と一体的に回転する回転多面鏡
その他のロータ部をケースとカバ部材により密閉したケ
ース内に収容するとともに、前記ロータ部を回転させる
ことにより前記ケース内の空気をケース外部へと排出
し、該ケース内を減圧あるいは真空化するポンプ機構を
備える動圧空気軸受型光偏向器において、ケース内の圧
力が所定の圧力に到達するまでは、使用回転速度よりも
遅い所定の回転速度以下でロータ部を回転駆動すること
により、回転多面鏡等により発生する風切り音を低減さ
せることにより動圧空気軸受型光偏向器を構成してい
る。
Description
器、計測機器等に搭載される動圧空気軸受型光偏向器に
関し、さらなる騒音の低下を計り得る高性能な動圧空気
軸受型光偏向器に関するものである。
により、ケースとカバ部材により密閉されたケース内の
空気をケース外部へと排出し、このケース内を減圧ある
いは真空化することのできるポンプ機構を備えた動圧空
気軸受型光偏向器について、特開平09−061742
号、特開平10−206780号、特許第264576
8号、特許第2645773号、特願平11−1595
39号等により提案している。このポンプ機構を備える
動圧空気軸受型光偏向器を図6乃至図14を参照して説
明する。
光偏向器の一例を示す縦断面図であり、図7は図6の動
圧空気軸受型光偏向器のポンプ機構周辺部を示す半断面
図である。
れた基台で、ステータコイル63が固着されたハウジン
グ13aで、その周囲を取り囲むことによりケース15
aが構成されている。固定軸21aの外周には、ラジア
ル動圧空気軸受31aにより回転自在に支持された回転
軸23aが係合されており、この回転軸23aに回転多
面鏡61、ロータヨーク63等が取り付けられることに
よりロータ部が構成されている。このロータ部を、基台
11a、ハウジング13aからなるケース15aと、レ
ーザ光透過窓(図示せず)の形成されたカバ部材17a
とにより密閉したケース内に収容することにより、実質
的に密閉されたミラー室19aにおいて、回転多面鏡を
含むロータ部が高速で回転することとなる。
型光偏向器においては、図7に示すように、ロータ部が
回転することにより、ラジアル動圧空気軸受31aに動
圧が発生するとともに、このラジアル動圧空気軸受31
aの両端部に刻設されたヘリングボーン溝からなる第
一、第二のポンプ機構41a,43aによって、図中矢
印で示したように、ケース内(ミラー室19a)の空気
が第一、第二の吸入孔45a,47aから吸引され、固
定軸21aの略中心部に形成された大気連通孔49a、
フィルタ51aを介してケース外部へと排出され、時間
の経過とともにケース内を略真空状態まで減圧すること
ができる。
圧力を減圧あるいは真空化することにより、ロータ部が
回転する際の空気抵抗を大幅に低減することができるた
め、モータの損失を抑えることができるとともに、回転
多面鏡61が高速回転することにより発生する風切り音
を大幅に抑えることができる。
圧空気軸受型光偏向器の他の構成例を示すものであり、
図8乃至図9の動圧空気軸受型光偏向器は、ラジアル動
圧空気軸受31bの両端部に別途吸引用のヘリングボー
ン溝を刻設することにより、ラジアル動圧空気軸受31
bの軸受剛性を高めることができるものであり、図10
乃至図11の動圧空気軸受型光偏向器は、スラスト軸受
33c,33dにポンプ機能を持たせることにより、軸
方向の寸法を抑えることができるものである。また、図
12はラジアル動圧空気軸受31eの一方の端部のみに
ポンプ機構41eを設けることにより、同様に軸方向の
寸法を抑えることができるものであり、図14は中空の
スリーブを固定軸21gとしたものであるが、基本的に
は、図6乃至図7に示した動圧空気軸受型光偏向器と同
様の効果を得ることができる。なお、図13の(A)乃
至(C)は、ラジアル動圧空気軸受の他の構成例を示し
たものであるが、ヘリングボーン溝に限らず、種々の形
式の動圧空気軸受が適用可能である。
軸受型光偏向器は、その使用回転速度において、ケース
とカバ部材により密閉されたケース内の圧力を大気圧に
比べてかなり低い圧力に減圧あるいは真空化することが
できるため、回転多面鏡等による風損や風切り音を大幅
に低減することができ、消費電力も低く抑えることがで
きる。
に対する関心が高まるにつれ、待機時等の不要な電源は
極力供給しないように設計されるようになり、画像機器
等に搭載される動圧空気軸受型光偏向器も、頻繁に起動
停止を繰り返すようになってきている。前記ポンプ機構
を備える動圧空気軸受型光偏向器においては、ロータ部
の回転が停止すると、ポンプ機構による減圧・真空化の
機能が停止され、ケース内の圧力が大気圧に戻ってしま
うことから、再起動時には減圧の効果がなくなり、所定
の圧力に到達するまでは、風切り音が発生するという問
題が生じるようになってきた。
な使用形態においても、最大限の性能を発揮でき、回転
多面鏡による風切り音を抑え、騒音の発生を極力抑えた
動圧空気軸受型光偏向器を得ることを目的としている。
添付図面と照らし合わせて読むことにより、より完全に
明らかになるであろう。ただし、図面はもっぱら解説の
ためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するも
のではない。
に、本発明はケースに立設した固定軸と、前記固定軸の
外周をヘリングボーン溝その他の動圧発生部からなるラ
ジアル動圧空気軸受により回転自在に支持された回転軸
とを備え、前記回転軸と一体的に回転する回転多面鏡そ
の他のロータ部をケースとカバ部材により密閉したケー
ス内に収容するとともに、前記ロータ部を回転させるこ
とにより前記ケース内の空気をケース外部へと排出し、
該ケース内を減圧あるいは真空化するポンプ機構を備え
る動圧空気軸受型光偏向器において、ケース内の圧力が
所定の圧力に到達するまでは、使用回転速度よりも遅い
所定の回転速度以下でロータ部を回転駆動することによ
り、回転多面鏡等により発生する風切り音を低減させる
ことにより動圧空気軸受型光偏向器を構成している。
旦加速させ、ケース内の圧力が所定の圧力に到達した後
に使用回転速度まで再び加速させるステップ制御を採用
したことにより動圧空気軸受型光偏向器を構成してい
る。
圧力に到達するまでは、所定の回転速度以上とならない
ようにゆっくり加速させるスローアップ制御を採用した
ことにより動圧空気軸受型光偏向器を構成している。
圧力を維持できる程度の回転速度でロータ部の回転を維
持させる待機モードを備えたことにより動圧空気軸受型
光偏向器を構成している。
の形態を詳細に説明する。
型光偏向器のモータを起動した直後からのケース内圧力
の推移を模式的に示したものであり、ロータ部の回転速
度が使用回転速度R3(例えば、30,000rpm)
で回転させた場合と、それよりも遅い所定の回転速度R
2(例えば、10,000rpm)で回転させた場合の
2つについて示している。両者を比較すると、回転速度
が遅い場合と早い場合とでは、最終到達圧力(真空度)
には大きな差が認められるが、最終到達圧力に到達する
までの時間にはそれほど大きな差は認められない。
びモータ固有の振動音による騒音と、ケース内圧力との
関係を模式的に示したものであり、ロータ部の回転速度
が使用回転速度R3で回転させた場合と、それよりも遅
い所定の回転速度R2で回転させた場合の2つについて
示している。両者を比較すると、モータ固有の振動音に
よる騒音レベルは、全域においてそれほどの差は認めら
れないが、回転多面鏡により発生する風切り音を含めた
騒音レベルでは、最大で20dB程度もの差が認めら
れ、特に回転速度が異なっていても、概ねケース内の圧
力がPsに下がった時点からPeに至るまでの間は、ケ
ース内圧力の低下に伴って、騒音レベルが急激に低下し
ている。ただし、これらのデータは、搭載される回転多
面鏡の大きさや形状、モータの仕様等により変化するた
め、あくまでも、ある条件下での計測データではある
が、多少の差が存在するにせよ、基本的に同じ傾向を示
すものであることに変わりはない。
にあっては、使用回転速度R3で起動した場合の騒音レ
ベルに比べて、例えば、5dB程度低い騒音レベルとな
る、使用回転速度R3よりも遅い所定の回転速度R2で
起動させ、その後使用回転速度R3まで加速させても、
この騒音レベルよりも低い騒音レベルとなるように、ケ
ース内圧力が所定の圧力P2に到達するまでは、所定の
回転速度R2以下でロータ部を回転駆動することによ
り、回転多面鏡で発生する風切り音を低減させている。
fxは、モータ固有の振動音の周波数f1のN倍(Nは
回転多面鏡の面数)であり、さらに、この周波数の高長
波成分も発生することから、必然的に騒音の周波数が高
くなり、余計に耳障りとなり易いという傾向があるた
め、風切り音による騒音を低減する効果は非常に大きな
ものとなる。
制御方法として、ステップ制御を採用した場合のチャー
ト例を示したもので、起動開始直後からケース内圧力が
所定の圧力P2に到達するまでは、ロータ部の回転速度
を使用回転速度R3よりも遅い、所定の回転速度R2に
設定し、ケース内圧力が所定の圧力P2に到達した後
に、使用回転速度R3に段階的に設定している。
た場合のチャート例を示したもので、起動開始直後から
ケース内圧力が所定の圧力P2に到達するまでは、ロー
タ部の回転速度が所定の回転速度R2を越えないよう
に、ロータ部の回転速度をゆっくりと加速するように設
定している。この例では、ケース内圧力が所定の圧力P
2に到達した後も、ゆっくりと使用回転速度R3まで加
速するように設定しているが、一気に加速するように設
定しても何ら問題はない。
向器にあっては、ステップ制御、スローアップ制御の何
れを採用した場合においても、ケース内圧力が起動時に
は略大気圧であったものが、所定の圧力P2に到達する
までは、使用回転速度R3よりも遅い所定の回転速度R
2以下でロータ部が駆動されるため、起動時の不十分な
減圧下においても、回転多面鏡により発生する風切り音
を大幅に抑制することができ、使用回転速度R3におい
ても、風切り音による耳障りな騒音を大幅に抑制するこ
とができる。
する必要はなく、起動開始からの時間を管理したり、モ
ータの駆動電流を管理するなど、実質的に種々の方法に
より実現することが可能である。また、所定の圧力P
2、所定の回転速度R2などは、モータの仕様等に応じ
て、適宜適当な値を設定することができる。
最終到達圧力との関係を模式的に示したものであるが、
図1の起動開始直後からのケース内圧力の推移に示すよ
うに、同一の回転速度では、起動直後からある程度の時
間が経過しなければ、最終到達圧力までには到達しない
が、一旦最終到達圧力に到達してしまえば、後はその時
の回転速度に応じた最終到達圧力を維持することができ
る。例えば、図5に示すように、使用回転速度R3でロ
ータ部を回転駆動させ、ケース内圧力が所定の圧力P2
以下となった後に、最終到達圧力が所定の圧力P2であ
る回転速度RLでロータ部を回転駆動し続ければ、ケー
ス内圧力を所定の圧力P2で維持することができる。
2を維持できる程度の回転速度RLでロータ部の回転を
維持させる待機モードを備えることにより、再び使用回
転速度R3にまで加速させた際に、使用回転速度R3に
到達するまでの時間を短縮し、再起動時のレスポンスを
高めることができる。また、待機モード時のロータ部の
回転速度は、使用回転速度R3に比べてかなり遅いた
め、回転多面鏡の風切り音による騒音も小さく、モータ
の消費電力も少ないことから、起動停止を繰り返すこと
なく省エネルギー化を計ることができる。
ース内圧力は大気圧と同じであり、この大気圧を基準と
して説明している関係から、気圧を示す[atm]を用
いている。SI単位系の[Pa]に変換するには、1
[atm]=0.101325[MPa]で換算すれば
よい。
っては次に列挙する効果を得ることができる。
定軸の外周をヘリングボーン溝その他の動圧発生部から
なるラジアル動圧空気軸受により回転自在に支持された
回転軸とを備え、前記回転軸と一体的に回転する回転多
面鏡その他のロータ部をケースとカバ部材により密閉し
たケース内に収容するとともに、前記ロータ部を回転さ
せることにより前記ケース内の空気をケース外部へと排
出し、該ケース内を減圧あるいは真空化するポンプ機構
を備える動圧空気軸受型光偏向器において、ケース内の
圧力が所定の圧力に到達するまでは、使用回転速度より
も遅い所定の回転速度以下でロータ部を回転駆動するこ
とにより、回転多面鏡等により発生する風切り音を低減
させることにより動圧空気軸受型光偏向器を構成してい
るため、起動時の不十分な減圧下においても、回転多面
鏡により発生する風切り音を大幅に抑制することがで
き、使用回転速度においても、風切り音による耳障りな
騒音を大幅に抑制することができる。
旦加速させ、ケース内の圧力が所定の圧力に到達した後
に使用回転速度まで再び加速させるステップ制御を採用
することにより動圧空気軸受型光偏向器を構成している
ため、(1)と同様の効果が得られるとともに、必ずし
も所定の圧力を直接検知する必要はなく、種々の方法に
より簡単に実現することができる。
力に到達するまでは、所定の回転速度以上とならないよ
うにゆっくり加速させるスローアップ制御を採用するこ
とにより動圧空気軸受型光偏向器を構成しているため、
(2)と同様の効果を得ることができる。
力を維持できる程度の回転速度でロータ部の回転を維持
させる待機モードを備えることにより動圧空気軸受型光
偏向器を構成しているため、(1)と同様の効果を得ら
れるとともに、再び使用回転速度まで加速させる際に、
使用回転速度に到達するまでの時間を短縮し、再起動時
のレスポンスを高めることができる。また、待機モード
時のロータ部の回転速度は、使用回転速度に比べてかな
り遅いため、回転多面鏡の風切り音による騒音も小さ
く、モータの消費電力も少ないことから、起動停止を繰
り返すことなく省エネルギー化を計ることができる。
おける起動開始直後からの経過時間とケース内圧力との
関係を示す図。
おけるケース内圧力と騒音との関係を示す図。
作の一例を示す図。
プ動作の一例を示す図。
よるケース内圧力の最終到達圧力を示す図。
向器の縦断面図。
向器の縦断面図。
偏向器の縦断面図。
偏向器の半断面図。
に適用可能なラジアル動圧空気軸受の他の例を示す図。
偏向器の縦断面図。
13c:ハウジング、15a,15b,15,15e,
15g:ケース、17a,17b,17c,17e,1
7g:カバ部材、19a,19b,19c,19e,1
9g:ミラー室、21a,21b,21c,21e,2
1g:固定軸、23a,23b,23c,23e,23
g:回転軸、31a,31b,31c,31e,31
g:ラジアル動圧空気軸受、33a,33b,33c,
33d,33e,33g:スラスト軸受、41a,41
b,41c,41e,41g,43a,43b,43
g:ポンプ機構、45a,45b,45e,45g,4
7a,47b,47g:吸入孔、49a,49b,49
c,49d,49e,49f,49g,49h,49
i:大気連通孔、51a,51b,51e,51g:フ
ィルタ、53g,55g:封止部材、61:回転多面
鏡、 63:ステータコイル、 65:ロータヨー
ク。
Claims (4)
- 【請求項1】ケースに立設した固定軸と、前記固定軸の
外周をヘリングボーン溝その他の動圧発生部からなるラ
ジアル動圧空気軸受により回転自在に支持された回転軸
とを備え、前記回転軸と一体的に回転する回転多面鏡そ
の他のロータ部をケースとカバ部材により密閉したケー
ス内に収容するとともに、前記ロータ部を回転させるこ
とにより前記ケース内の空気をケース外部へと排出し、
該ケース内を減圧あるいは真空化するポンプ機構を備え
る動圧空気軸受型光偏向器において、 ケース内の圧力が所定の圧力に到達するまでは、使用回
転速度よりも遅い所定の回転速度以下でロータ部を回転
駆動することにより、回転多面鏡等により発生する風切
り音を低減させたことを特徴とする動圧空気軸受型光偏
向器。 - 【請求項2】起動時に前記所定の回転速度まで一旦加速
させ、ケース内の圧力が所定の圧力に到達した後に使用
回転速度まで再び加速させるステップ制御を採用したこ
とを特徴とする請求項1記載の動圧空気軸受型光偏向
器。 - 【請求項3】起動時にケース内の圧力が所定の圧力に到
達するまでは、所定の回転速度以上とならないようにゆ
っくり加速させるスローアップ制御を採用したことを特
徴とする請求項1記載の動圧空気軸受型光偏向器。 - 【請求項4】待機時にケース内の圧力が所定の圧力を維
持できる程度の回転速度でロータ部の回転を維持させる
待機モードを備えたことを特徴とする請求項1、2また
は3記載の動圧空気軸受型光偏向器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000187302A JP4478299B2 (ja) | 2000-06-22 | 2000-06-22 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000187302A JP4478299B2 (ja) | 2000-06-22 | 2000-06-22 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002006251A true JP2002006251A (ja) | 2002-01-09 |
JP4478299B2 JP4478299B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=18687303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000187302A Expired - Fee Related JP4478299B2 (ja) | 2000-06-22 | 2000-06-22 | 動圧空気軸受型光偏向器 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP4478299B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0961742A (ja) * | 1995-08-24 | 1997-03-07 | Copal Electron Co Ltd | 動圧空気軸受型光偏向器 |
JP2000137185A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Hitachi Koki Co Ltd | 光走査装置 |
-
2000
- 2000-06-22 JP JP2000187302A patent/JP4478299B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0961742A (ja) * | 1995-08-24 | 1997-03-07 | Copal Electron Co Ltd | 動圧空気軸受型光偏向器 |
JP2000137185A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Hitachi Koki Co Ltd | 光走査装置 |
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