JP2001517546A - コロナ放電反応装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 気相中の物質または気相により運ばれる物質の処理に使用される反応装置（１０１）。複数の個々の円筒状反応チャンバ（１０３、１０６、７０１）が１つの配列に設けられている。反応チャンバ（１０３、１０６、７０１）は互いに電気的にマッチングされており、電気エネルギのパルスが、シーケンス制御により、個々の反応チャンバ（１０３、１０６、７０１）に供給される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 （技術分野） 本発明は、コロナ放電により、気相中の物質または気相により運ばれる物質を
処理する反応装置に関する。

【０００２】 （背景技術） コロナ放電により活性化された種を用いて、気相中で処理を行う技術の開発に
かなりの努力がなされている。コロナ放電は、材料本体（body）の近傍における
局部的電界がガス状媒体の電気的破壊電圧（electrical breakdown voltage）を
超えるときにガス状媒体中に生じる。既存のコロナ放電反応装置は、ガス状媒体
の入口および出口を備えたチャンバと、軸線方向の内側電極と、該内側電極を包
囲する円筒状の外側電極とを有している。このような反応装置内の放電は、内側
電極から外側電極に向かって延びるストリーマからなる。反応装置を通るガス状
媒体の有効処理を行うには、できる限り多くのコロナ放電ストリーマを発生させ
る必要がある。なぜならば、このようなコロナ放電ストリーマが存在しないあら
ゆる空間は、ガス状媒体の処理に関する限りデッドスペースであるからである。

【０００３】 既知の一形式のコロナ放電反応装置では、中心電極がワイヤの形態をなしてい
る。しかしながら、中心ワイヤ電極形式のコロナ放電反応装置における電界の急
激な減衰は、コロナ放電ストリーマが中心ワイヤからの短い距離にのみ伝播する
ことを意味する。この現象は、反応装置を通るガス状媒体の処理効率を制限する
。

【０００４】 既存の中心ワイヤ電極形コロナ放電反応装置は、数cmの直径および数十cmの長
さを有している。この結果、リーズナブルなガス体積を処理するには高流量が必
要とされ、これにより、エアロダイナミック効果による中心電極の機械的不安定
性の増大並びに処理すべき媒体の反応チャンバ内での滞留時間の短縮化を引き起
こす。従って、既存のコロナ放電反応装置は、これらの有効性の点で特に制限さ
れる。

【０００５】 例えば本件出願人に係る英国特許GB 2 282 738号、米国特許5 041 145号、5 2
68 151号および4 966 666号に開示された他のコロナ放電反応装置は、大きい直 径を有する中心電極を使用している。数ある中で、これは、中心電極の領域での
電界勾配を小さくするが、有効コロナ放電を維持する場合に内側電極と外側電極
との間の分離に制限がある。コロナ放電反応装置の長さを単に増大させるだけで
は、この問題に対する答えは得られない。なぜならば、ガス流抵抗が過大になる
からである。また、コロナ放電反応装置はパルス態様で作動し、中心電極の長さ
を横切るための付勢パルスに要する時間が、コロナ放電反応装置の長さを制限す
る他のファクタとなる。

【０００６】 英国特許特許明細書2,008,369A号には、各々が中心ワイヤ電極を備えた複数の
平行な放電チャンバを備えたオゾン発生器が開示されている。ワイヤの両端部は
２つの格子構造により支持されており、一方の格子構造には、使用時に直流電圧
が印加される共通の給電ワイヤが接続されている。

【０００７】 装置は直流モードで作動するので、交流電流による分散効果を考慮する必要は
ない。

【０００８】 英国特許GB 1,589,394号には、多数の平行コロナ放電チャンバを備えたオゾン
発生器が開示されている。パルス形直流または交流電位或いは直流と交流とを混
合した電位を発生する単一電源を使用できるが、放電チャンバに供給される電力
を、その大きさまたは供給時間に関して等しくするための試みは全くなされてい
ない。

【０００９】 米国特許4,495,043号には、単一のパルス形交流電源に接続される複数のオゾ ン発生チャンバが設けられたオゾン発生器が開示されている。しかしながら、オ
ゾン発生チャンバは同時的すなわち連続的に作動されないが、パルス形交流モー
ドでは連続的に作動される。各パルスの持続時間は、対応するオゾン発生チャン
バを通るオゾン発生ガスのパルスの通過時間に関連しており、所与のオゾン発生
チャンバに供給されるパルス関の時間間隔は、１つのパルスにより発生されるオ
ゾンが、次の電力パルスがオゾン発生チャンバに供給される前にチャンバから除
去されるように定められる。

【００１０】 この英国特許は、主として電源の設計に関するものであり、オゾン発生チャン
バ間の電気的関係に関する問題は全く取り扱われていない。

【００１１】 米国特許5,009,858号には、共通の電源から並列に作動される多数のチャンバ 内でのサイレント放電によりオゾンが発生されるオゾン発生器が開示されている
。１つのオゾン発生チャンバと他のオゾン発生チャンバとの間の電気的関係は全
く論じられていないが、オゾン発生チャンバは連続的な交流モードで作動される
と考えられる。

【００１２】 本発明の目的は、電気的に付勢される種によるガス状媒体の処理に使用される
コロナ放電反応装置の優れた形態を提供することにある。

【００１３】 用語「ガス状媒体」は、媒体の一つ以上の構成要素がエアゾールの形態、また
は気相によって運ばれる微細に分割された固形物質の形態をなしている場合も含
むものである。

【００１４】 （発明の開示） 本発明によれば、複数の個々の円筒状反応チャンバを有し、各反応チャンバが
、半径方向突出部をもつ中心電極および同心状の外側電極を備え、処理すべきガ
ス状媒体を反応チャンバに導入する手段と、処理されたガス状媒体を反応チャン
バから受け入れる手段と、電気エネルギのパルスを反応チャンバに供給する手段
とを更に有するガス状媒体の処理に使用するコロナ放電反応装置において、反応
チャンバと、これに関連する電力供給線との電気インピーダンスが互いにマッチ
ングされており、電気エネルギのパルスが所定の時間間隔で個々の反応チャンバ
に供給されることを特徴とするコロナ放電反応装置が提供される。

【００１５】 電気エネルギのパルスは、個々の反応チャンバに同時に供給されることが好ま
しい。

【００１６】 中心電極は、中実にするか、或いは冷却媒体を循環させることができるように
中空に構成できる。本件出願人に係る以前の英国特許GB 2 282 273 B号に開示さ
れたコロナ放電反応装置におけるように、中心電極をロッドまたはチューブで形
成し、これらの表面上に、ねじまたは、平行フィンのような半径方向突出部を機
械加工により設け、フィン間の空間には絶縁材を充填することもできる。或いは
、中心電極は、中心導体上に組み付けられる金属ディスクの積層体で構成し、こ
れらのディスク間に絶縁材料のディスクを介在させるか、単に隣接ディスク間の
ガスギャップを介して隔てておくこともできる。

【００１７】 外側電極は金属の中実ビレットを機械加工して作ることができるが、金属板の
積層体として構成し、これらの金属板を他の絶縁材料の板で分離することが好ま
しいが、例えば、金属からなるスペーサで簡単に分離保持することもできる。絶
縁板により互いに分離された金属板間の電気的接続は、外側電極組立体の構成部
品を位置決めしかつ一体的にクランプすべく機能する多数のロッドにより行われ
る。この構成は、金属板の孔の縁部にテーパを付して、各反応チャンバ内でのコ
ロナ放電の発生を容易にする鋭い縁部を形成できる長所を有する。或いは、絶縁
板または金属スペーサの孔の直径を、金属板の孔の直径より大きくして、一枚の
板の鋭い縁部が１つではなく２つになるように構成できる。

【００１８】 両電極の構成に使用される絶縁材料は、セラミック材料のような耐熱材料で構
成するのが好ましい。

【００１９】 いわゆるサイレント形のコロナ放電を使用するのが好ましく、外側電極の通路
は絶縁材、好ましくは耐熱材料が挿入された絶縁材からなる円筒体で構成できる
。

【００２０】 好ましい構成では、正六角形の頂点の位置に配置された外側電極を貫通する６
つの通路が設けられる。この構成の長所は、単一の電力入力を六角形の中心に供
給し、次に６つの同じ導体を介して個々の反応チャンバに供給できるため、エネ
ルギのパルスを各反応チャンバに同時に供給するという好ましい基準を容易に満
たすことができることである。他の数の通路、従って反応チャンバを使用するこ
とができ、好ましい基準は、反応チャンバの中心電極を１つの円の円周上に配置
することである。このような構成では、単一電源により給電されるときに、個々
の反応チャンバがマッチングした電気特性を有することが重要である。

【００２１】 反応チャンバは、例えば正方形のような他の形態に構成することもできるが、
この場合には、電源に対して各反応チャンバをマッチングさせ、各反応チャンバ
に等しいエネルギパルスを同時に供給することがより困難になる。

【００２２】 （発明を実施するための最良の形態） 以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。

【００２３】 図１および図２に示すように、コロナ放電反応装置１０は外側電極組立体１０
２を有し、該電極組立体内には６つの平行な長手方向ガス通路１０３が設けられ
ている。ガス通路１０３は、同じ直径の円筒状断面を有している。各ガス通路１
０３内には、中心電極１０５が、上下のスパイダ１０４により軸線方向に配置さ
れている。外側電極組立体１０２内の通路１０３と中心電極１０５との組合せが
、６つの別々の反応チャンバ１０６を構成している。

【００２４】 外側電極組立体１０２の頂部および底部には、それぞれ入口プレナムチャンバ
１０７および出口プレナムチャンバ１０８が設けられており、これにより、装置
１０１内でコロナ放電により処理すべきガス媒体が、各反応チャンバ１０６を通
って平行に流れる。正六角形の頂点には、別々の反応チャンバ１０６の中心が配
置されており、中心電極１０５の電力入力端は、同一コネクタ１１０を介して中
心入力ターミナル１０９に接続されている。同様に、中心電極１０５の出力端は
、コネクタ１１２を介して中心の接地ターミナル１１１に接続されている。外側
電極組立体も接地されている。パルス形電源１１３が、コロナ放電反応装置１０
１の中心入力ターミナル１０９に接続されている。

【００２５】 本件出願人に係る英国特許GB 2 282 738号の要旨を形成するコロナ放電反応装
置におけるように、別々のコロナ放電反応装置１０６の中心電極１０５は、一連
の半径方向突出部１１５を備えた中心ロッド１１４を有している。本発明には、
上記英国特許GB 2 282 738に開示された任意の形式の中心電極を使用できるが、
それらの中でも、半径方向突出部が平行フィンであるものが好ましい。

【００２６】 外側電極組立体１０２は、セラミックの絶縁板１１７により分離された高温お
よび腐食に耐える金属で作られている。それぞれの金属板１１６およびセラミッ
ク板１１７には適当な孔１１８が設けられており、組み立てられたときに平行な
ガス通路１０６が形成されるようになっている。金属板１１６間の電気的接続は
、板１１６，１１７を一体にクランプして外側電極組立体１０２を形成するタイ
ロッド１１９により行われている。セラミック板１１７の厚さは、金属板１１６
が、中心電極１０５の半径方向突出部１１５に対向して配置されるような厚さで
ある。所望ならば、コロナ放電流の発生効率を高めるため、金属板１１５の孔１
１８の縁部は、参照２０で示すような鋭い縁部を形成するように、図１に示すよ
うにテーパ状にすることができる。或いはセラミック板１１６の孔１１８の直径
を金属板１１５の直径より大きくして、金属板１１５の孔１１８の両縁部を露出
させることができる。

【００２７】 形状の選択は、反応装置をどのように作動させるかの設計に基づいて定められ
る。従って、コロナ放電を、正極から開始される「正」放電にすべき場合には、
鋭い露出縁部の方がより満足できることが判明している。これに対し、コロナ放
電を、負極から開始される「負」放電にすべき場合には、金属ディスクの縁部を
、これらの間の介在絶縁ディスクの端面と同一面にする方がより効率的であるこ
とが判明している。

【００２８】 反応チャンバ１０６内にアーク放電ではなくコロナ放電が形成されることを確
保するには、電源１１３により供給される電力パルスが、ナノ秒のオーダの速い
立上り時間を有することが好ましい。また、偽放電効果を回避するには、連続制
御により、別々の各反応チャンバ１０６内にコロナ放電を励起させることが重要
である。放電は同時に励起させるのが好ましい。これを達成するには、各反応チ
ャンバ１０６のインピーダンスをマッチングさせて、各反応チャンバ１０６の中
心電極１０５に入力電力パルスが同時に印加されることを確保する必要がある。
反応チャンバ１０６の六角形配列はこれを容易にする。なぜならば、各コネクタ
１１０が同じインピーダンスを有しているからである。一般に、１つの円周上に
中心が分散された任意数の反応チャンバ１０６に、単一の電力入力点を使用でき
る。例えば、図３は本発明の他の実施形態の電極構造を概略的に示し、この実施
形態では、８つの反応チャンバ１０６が中心の電力入力点３０１の周りの１つの
円内に規則的に配置されている。装置の残部の構成は、図１および図２に関して
説明したものと同じである。

【００２９】 実際には、適当なパルス立上り時間は約１０ナノ秒であり、かつ電極間の電気
的破壊の発生を防止するため、パルス長さは充分に短い長さ（通常は数十ナノ秒
）が選択される。ピーク電圧として１００kVを超える電圧が使用されているが、
適当なピーク電圧は数十キロボルトのオーダである。パルス反復速度は、１００
〜３，０００回／秒が適している。

【００３０】 他の形状を採用することもでき、図４にはそれらのうちの１つの電極が概略的
に示されている。この例では、９個の反応チャンバ１０６が正方形配列に配置さ
れているが、接続の簡単さおよびインピーダンスマッチングは損なわれる。

【００３１】 いわゆるサイレント形のコロナ放電で装置を作動させたい場合には、外側電極
１０２の各通路内に、絶縁材、好ましくは耐熱性絶縁材で作られたライナを挿入
することができる。

【００３２】 図５および図６は、上記のものより簡単な内側電極および外側電極の製造方法
を示す。

【００３３】 図５に示すように、直立ウェブ５０２を備えた平シート５０１は、ウェブが互
いに平行に延びかつ適当な間隔を隔てるようにして、たＬ形またはＴ形断面のス
テンレス鋼ストリップの縁と縁とを突き合わせるか、または別の平シート上に、
より真直に溶接することにより形成される。次に、ウェブ５０２が半径方向に延
びかつ円筒体の長手方向軸線に対して横方向に配置されるようにしてシート５０
１を円筒体に巻き上げ、衝合縁部を一体にシーム溶接する。

【００３４】 内側電極６０２（図６参照）については、ウェブがチューブの外面上に配置さ
れており、外側電極６０４（図６に破断状態で示されている）については、ウェ
ブがチューブの内面に配置されている。内側電極６０２および外側電極６０４が
それぞれ組み立てられるときに両者の突出部の必要な対向を達成するため、内側
電極６０２となるように定められたシート上のウェブの間隔は、外側電極５０４
上のウェブ間の間隔と同じである。

【００３５】 反応装置を全体として構成するため、処理すべきガス状媒体の共通入口および
処理されたガス状媒体の共通出口を備えたケーシング内に、適当数の個々の電極
組立体６０２、６０４が取り付けられる。前述のように、共通の電源を使用でき
かつ個々の各電極組立体６０２、６０４の電気パラメータは、個々の電極組立体
が同時にかつ同じ電力レベルで作動できるようにマッチングされる。

【００３６】 これまでに説明した実施形態では、共通の電源が使用されている。多くの場合
、これは満足できるものである。しかしながら、例えば直径５００mmを超える大
形反応装置の場合には、共通電源から個々の反応チャンバまでの接続線の長さに
よって、許容できない電圧降下が引き起こされる。このような事態が生じる状況
では、個々の各反応チャンバに、個々の反応装置の内側電極に直接接続される、
個々の反応チャンバの高電圧電源を設けることができる。

【００３７】 この構成を実施できるものとするためには、電源ユニットは、処理すべきガス
状媒体の温度の如何に係わらず作動できなくてはならないか、電源ユニットを冷
却する何らかの手段を設けなければならない。また、電源の調和作動を確保する
何らかの手段を設けることが望まれる。

【００３８】 図７は、このような１つの構成を概略的に示す。図７に示すように、個々の反
応チャンバ７０１は内側電極７０２および外側電極７０３を有し、これらの電極
は、図１〜図４に関連して説明した形態、すなわち材料本体（body of material
）内の円筒状通路により形成される形態、または図５および図６に関連して説明
した本発明の実施形態の場合のチューブとして形成できる。外側電極７０３の入
口端７０４には、１００kVより高い電圧を発生できる高電圧電源７０５が配置さ
れており、該電源は、内側電極に直接取り付けられている。電源７０５は、他の
個々の反応チャンバ７０１に関連する同様な電源と一緒に、共通のパルス形低電
圧電源（図示せず）から供給される。かくして、高電圧電源７０５は、個々の反
応チャンバに調和して作動する。

【００３９】 個々の反応チャンバに別々の電源を使用することの他の長所は、使用される個
々の反応チャンバの個数を変えたい場合には変えられることである。また、１つ
の高電圧電源が故障するようなことがあっても、他の個々の反応チャンバの作動
に影響を与えない。

【００４０】 かくして、特に、装置に余剰の手段が組み込まれる場合には、反応装置全体と
しての予想される休止時間は、単一の高電圧電源を備えたシステムの休止時間に
比べて短縮される。

【００４１】 本発明は上記例の細部に限定されるものではない。例えば、放電パルスを、個
々の反応装置に、同時ではなく定時シーケンスで供給するように構成することも
できる。図１〜図４の構成においては、適当なディストリビュータ（内燃機関の
点火システムのディストリビュータと原理的に同じもの）を備えた単一電源を用
いて行うことができる。図７の構成に対しては、別々の各電源７０５の制御によ
り、適当な連続点火を行うことができる。しかしながら、複数の反応装置の組立
体を通る同時放電が好ましいと考えられている。電極組立体は高温耐食性金属で
作るのが好ましいが、当該反応装置が予定されている特定のガス処理に対して最
適でかつ最も経済的な材料を選択できる。

【００４２】 図７には電源７０５がガス入口端に取り付けられた構成を示したが、電源は出
口端に設けることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態を示す概略縦断面図である。

【図２】 図１に示す本発明の実施形態の平面図である。

【図３】 図１に示す本発明の実施形態の第２態様の電極構造を示す概略斜視図である。

【図４】 図１に示す本発明の実施形態の他の態様の電極構造を示す概略斜視図である。

【図５】 本発明の第２実施形態の構成部品を製造する方法の一段階を示す概略斜視図で
ある。

【図６】 図５に示す構成部品から作られた電極の一部を破断した概略斜視図である。

【図７】 本発明の一実施形態に関連して使用される電源の特定構造を示す図面である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ) ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ， ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，Ｄ Ｋ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ， ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，Ｌ Ｖ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ， ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，Ｕ Ｓ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 キング ロバート フランシス イギリス オーエックス14 ５ディーエッ クス オックスフォードシャー アービン トン メドーサイド 51 (72)発明者 マカダムス ロイ イギリス オーエックス11 ７エスティー オックスフォードシャー ディドコット アッパー ウェイ ファーロング ７ (72)発明者 ジョージェンセン ノーマン イギリス アールジー６ ４ユーユー バ ークシャー リーディング ロウア アー リー カットブッシュ レーン プランタ ーズ ロッジ（番地なし) (72)発明者 ウィンターボトム フィオナ イギリス アールジー４ ７エスイー バ ークシャー リーディング カヴァーシャ ム プライオリー アベニュー 20 Ｆターム(参考） 4G075 AA03 AA13 AA23 AA62 CA18 EC21 EE02 EE12 FA01 FA08 FB02 FC11

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の個々の円筒状反応チャンバ（１０６）を有し、各反応
   チャンバ（１０６）が、半径方向突出部（１１５）をもつ中心電極（１０５）お
   よび同心状の外側電極を備え、処理すべきガス状媒体を反応チャンバに導入する
   手段（１０７）と、処理されたガス状媒体を反応チャンバ（１０６）から受け入
   れる手段と、電気エネルギのパルスを反応チャンバ（１０６）に供給する手段（
   １１３）とを更に有する、ガス状媒体の処理に使用するコロナ放電反応装置にお
   いて、反応チャンバ（１０６）と、これに関連する電力供給線（１１０）との電
   気インピーダンスが互いにマッチングされており、電気エネルギのパルスが所定
   の時間間隔で個々の反応チャンバに供給されることを特徴とするコロナ放電反応
   装置。
2. 【請求項２】 前記電気エネルギのパルスが、反応チャンバ（１０６）に同
   時に供給されることを特徴とする請求項１記載のコロナ放電反応装置。
3. 【請求項３】 前記内側電極（１０５）の半径方向突出部（１１５）は反応
   チャンバ（１０６）の軸線に対して直角であることを特徴とする請求項１または
   ２記載のコロナ放電反応装置。
4. 【請求項４】 前記個々の反応チャンバ（１０６）の外側電極は、単一の材
   料本体（１０２）内の複数の平行ガス通路（１０３）を備えた外側電極組立体（
   １０２）により形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記
   載のコロナ放電反応装置。
5. 【請求項５】 前記外側電極組立体（１０２）は、耐熱絶縁材料の板（１１
   ７）により分離された金属板の積層体からなり、前記金属板および絶縁板（１１
   ６、１１７）の各々はそれぞれ対応する孔（１１８）を有し、該孔は、組み立て
   られたときに前記ガス通路（１０３）を形成することを特徴とする請求項４記載
   のコロナ放電反応装置。
6. 【請求項６】 前記外側電極組立体（１０２）の金属板の１つが、個々の反
   応チャンバ（１０６）の内側電極（１０５）の各半径方向突出部（１１５）に対
   向する構成を有することを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項記載のコロナ
   放電反応装置。
7. 【請求項７】 前記ガス通路（１０３）を形成する絶縁板（１１７）の孔（
   １１８）は、金属板（１１６）の対応孔（１１８）より大きい直径を有している
   ことを特徴とする請求項５および６記載のコロナ放電反応装置。
8. 【請求項８】 前記外側電極組立体（１０３）の金属板（１１６）の孔（１
   １８）の縁部には、鋭い縁部（１２０）を形成するためのテーパが形成されてい
   ることを特徴とする請求項７記載のコロナ放電反応装置。
9. 【請求項９】 前記電源（１１３）は、各反応チャンバ（１０６）の内側電
   極（１０５）から外側電極（１０２）まで延びるコロナ放電を発生させるように
   接続されていることを特徴とする請求項８記載のコロナ放電反応装置。
10. 【請求項１０】 前記個々の反応チャンバ（１０６）の中心は、１つの円の
    円周上に規則的に配置されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項
    記載のコロナ放電反応装置。
11. 【請求項１１】 前記円の中心には単一の電力入力ターミナル（１０９）が
    が設けられており、個々の反応チャンバ（１０６）の内側電極（１０５）は、互
    いにマッチングする電気インピーダンスをもつ導体（１１０）を介して中心の入
    力ターミナル（１０９）に接続されていることを特徴とする請求項１０記載のコ
    ロナ放電反応装置。
12. 【請求項１２】 前記電気エネルギのパルスを個々の反応チャンバ（１０６
    ）に供給するための手段（１１３）が、１０ナノ秒より短いパルス立上り時間、
    数十ナノ秒のオーダの持続時間、１００Hz〜３kHzの範囲内の反復速度、数百kV のオーダのピーク電圧を有する電気エネルギのパルスを発生できることを特徴と
    する請求項１〜１１のいずれか１項記載のコロナ放電反応装置。
13. 【請求項１３】 反応チャンバ（７０１）の各内側電極（７０２）に直接取
    り付けられた、別のマッチングされた高電圧電源（７０５）と、該高電圧電源（
    ７０５）に別々に共通トリガパルスを供給する手段とを有することを特徴とする
    請求項１〜１２のいずれか１項記載のコロナ放電反応装置。
14. 【請求項１４】 各反応チャンバ（１０６）の外側電極は、規則的に間隔を
    隔てて平行に配置された複数のウェブ（５０２）を備えた金属板（５０１）から
    なり、該金属板（５０１）は、リブ（５０２）が内方に突出するようにしてチュ
    ーブとして巻かれかつシーム溶接されて、気密管状電極を形成していることを特
    徴とする請求項１、２、９、１０、１１、１２または１３のいずれか１項記載の
    コロナ放電反応装置。
15. 【請求項１５】 各反応チャンバ（１０６）の中心電極（１０５）は、規則
    的に間隔を隔てて平行に配置された複数のウェブ（６０２）を備えた金属板から
    なり、該金属板は、ウェブ（６０２）が外方に突出するようにしてチューブとし
    て巻かれかつシーム溶接されて、気密管状電極を形成していることを特徴とする
    請求項１〜１４のいずれか１項記載のコロナ放電反応装置。
16. 【請求項１６】 各反応表面の外側電極の内面は誘電媒体で被覆されている
    ことを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項記載のコロナ放電反応装置。