JP2001509640A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
外圧がより高い場合及び内圧がより高い場合のいづれの場合であってもチャンバのポートを封止する小型の自動摺動扉手段を有する処理チャンバであって、
内部パネル部と、前記内部パネル部に柔軟に付着する外部パネル部と、前記パネル部の双方の間に配置されて前記パネル部を分離せしめるが如く作動可能な膨張手段とからなる扉手段と、
前記扉手段を摺動自在に支持し、前記扉手段を開放位置から前記内部パネル部が前記ポートから離間する閉成位置にまで摺動させ、前記外部ドアパネル部が前記閉成位置にあるとき、前記外部ドアパネル部の表面とのあいだに隙間をおくように係止手段を支持する支持手段と、
前記扉手段が前記閉成位置に移動したときに外部パネル部を前記係止手段に圧接し、前記内部パネル部を正圧の供給によって処理チャンバのポートに圧接して前記処理チャンバを封止すべく、前記膨張手段を駆動する手段と、を有し、
前記支持手段はフレームを含み、前記フレームは、細長い垂直な側部と、下部支柱と、前記フレームを下部及び上部に分ける上部支柱と、空気圧式シリンダとを有し、前記空気圧式シリンダは前記下部支柱と上部支柱との間に設けられ、前記下部支柱と前記空気圧式シリンダとは枢動手段によって互いに接続され、それによって前記膨張手段が膨張して前記処理チャンバのポートを封止するために前記処理チャンバのポートに対して前記内部パネル部を圧接した際に、前記空気圧式シリンダ及び前記扉手段が前記下部支柱に対して僅かな角度だけ枢動することを特徴とする処理チャンバ。
【請求項２】
請求項１に記載した処理チャンバであって、
前記支持手段は、前記扉手段を支持して下方の開放位置と上方の閉成位置との間を垂直方向に摺動運動させ、
前記膨張手段は前記ドアパネルを水平方向に分離して処理チャンバのポートを封止することを特徴とする処理チャンバ。
【請求項３】
請求項１に記載した処理チャンバであって、
前記膨張手段は、内部パネル部と外部パネル部との間に支持された連続した膨張可能なブラダ型ガスケットと、
前記ブラダ型ガスケットを膨張せしめ、ドアパネル部を分離してポートを封止し、更に前記ブラダ型ガスケットを弛緩させて前記ポートの封止を解除する手段と、を有することを特徴とする処理チャンバ。
【請求項４】
請求項２に記載した処理チャンバであって、
前記扉手段の支持手段は、
上部支持レールと、
前記下部支柱と前記上部支柱との間に設けられて、前記扉手段を支持して前記上部と前記下部との間を自動的に摺動する手段と、
前記フレーム上部の前記垂直な側部に設けられて、前記チャンバを封止するために前記パネル部が分離したときに前記扉手段の係止手段を形成するフランジ手段と、
をさらに有することを特徴とする処理チャンバ。
【請求項５】
請求項４に記載した処理チャンバであって、
前記空気圧式シリンダは、
磁気ピストンと、
前記シリンダに支持されて磁気的に前記ピストンに連接して前記ピストンとともに垂直運動をする磁気ブロック手段と、
前記フレームの前記下部と上部との間を前記扉手段が前記ブロック手段と共に垂直運動するように前記扉手段を前記ブロック手段に連結する手段と、
を有することを特徴とする処理チャンバ。
【請求項６】
請求項５に記載した処理チャンバであって、
前記扉支持手段は、下部支柱と上部支柱との間に前記空気圧式シリンダと平行に設けられる一対の垂直ガイドロッドをさらに有することを特徴とする処理チャンバ。
【請求項７】
請求項５に記載した処理チャンバであって、
前記扉手段は、上部プレート部分と下部プレート部分とを有するヒンジ手段によって前記磁気ブロックに取り付けられ、前記ヒンジ手段の上部プレート部分は清掃のため前記扉を前記支持フレームから外方に枢動すべく前記ブロックに開放可能に連結されたことを特徴とする処理チャンバ。
【請求項８】
請求項１に記載した処理チャンバであって、
前記扉の外部パネルが内部パネルにそれらの間にある複数の板ばねによって柔軟に付着せしめられ、前記板バネの端部はそれぞれ前記パネルに接合され、前記パネルを強制的に分離することを許容し、前記膨張手段の作動が解除された場合に両パネルをもとの接触状態に戻すように付勢することを特徴とする処理チャンバ。
【請求項９】
請求項１に記載した処理チャンバであって、
前記扉の内部及び外部パネルは複数のばね付勢ボルトによって互いに柔軟に取り付けられ、前記ばね付勢ボルトは、前記パネルの整列を維持しつつ、前記膨張手段によって前記パネルを強制的に分離することを許容しかつ前記膨張手段の作動が解除された場合に両パネルをもとの接触状態に戻すように付勢することを特徴とする処理チャンバ。

図２ないし図４は、本発明にかかる新規な扉アセンブリ２６、２８を示している。各アセンブリ２６、２８は床に対して垂直方向に支持できるよう設計され、且つロードロック１５、１６のチャンバ２０にボルトで固定された支持フレーム（すなわち支持手段）３６を有する。支持フレーム３６の上半分３９は図４に開示するガスケット３８によって囲まれた、ロードロック１５，１６へのアクセス通路、すなわち開口部３７を包含する。支持フレーム３６の上半分３９は該フレームの上部そして側部から内方に延出するフランジ４０を有し、支持フレーム３６の上半分３９の開口幅を、支持フレーム３６の下半分４１の開口幅よりも小さく、且つ扉４２の幅よりも小さくなっている。

支持フレーム３６の下半分４１内には垂直方向に摺動自在なドア４２のための支持部が搭載され、上部支柱４４、下部支柱４５、垂直方向に動作する空気圧式アクチュエータシリンダ４６、一対の垂直ガイドロッド４７、取り外し自在な蝶番アセンブリ４９を介して摺動扉４２を固定するための磁気ブロック４８を有する。空気圧式シリンダ４６の作動によりシリンダ４６内の内部ピストンは上下動をし、該シリンダ４６に磁気的に固着された磁気ブロックを上方または下方にシリンダ４６とロッド４７に沿って搬送し、図２に示すように扉４２を上方に且つ閉成状態にしたり、図３に示すように下方に且つ開放状態にするように移動せしめる。