JP2001501726A - 傾斜角度測定用光学センサ - Google Patents
傾斜角度測定用光学センサInfo
- Publication number
- JP2001501726A JP2001501726A JP09541577A JP54157797A JP2001501726A JP 2001501726 A JP2001501726 A JP 2001501726A JP 09541577 A JP09541577 A JP 09541577A JP 54157797 A JP54157797 A JP 54157797A JP 2001501726 A JP2001501726 A JP 2001501726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tilt sensor
- detector
- optical
- light
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/18—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids
- G01C9/20—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids the indication being based on the inclination of the surface of a liquid relative to its container
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/02—Details
- G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
- G01C2009/066—Electric or photoelectric indication or reading means optical
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.a)光学的放射源(6)と、第1,第2光束方向変更・結像光学素子(2a ,3a;2b,3b)と、位置解像光電検知器(7)と、 b)第1,第2光学素子(2a,3a;2b,3b)の間の光路に設置され、 放射源(6)の光束の入射を受け、以降の光路においてセンサ(50)の傾斜に 依存する方向へ光束を方向変更し、かくして、傾斜に依存して検知器(7)上の 放射源(6)の像の位置を決定する傾斜面(10)と、 を有する傾斜角度測定用光学センサ(50)において、 光学素子(2a,3a;2b,3b)が、光伝送材料からなる基部(1;1a ,1b;1c)上におよび/または内にモノリシックに構成されており、かくし て、光束は、基部(1;1a,1b;1c)内部において案内されること、 基部(1;1a,1b;1c)が、第1光学素子(2a,3a)の後で傾斜面 (10)の方向へ光束を出射し、傾斜面(10)における反射後に再び基部(1 ;1a,1b;1c)への光束の入射を行うための表面範囲を有すること を特徴とする傾斜センサ。 2.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、リトグラフィー、エッチング、フ ライス加工、グラビュール加工、スタンピング加工、打抜き加工または射出成形 法によって基部(1;1a,1b;1c)にモノリシックに構成されていること を特徴とする請求項1に記載の傾斜センサ。 3.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、基部(1;1a,1b;1c)上 に蒸着または転写されていることを特徴とする請求項1に記載の傾斜センサ。 4.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、反射素子であることを特徴とする 先行請求項1〜3の1つに記載の傾斜センサ。 5.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、屈折素子であることを特徴とする 請求項1〜3の1つに記載の傾斜センサ。 6.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、回折構造からなることを特徴とす る請求項1〜3の1つに記載の傾斜センサ。 7.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、最終的に唯1つの回折次数の光束 のみが検知器(7)に達するよう、構成され且つ相互に配置されていることを特 徴とする請求項6に記載の傾斜センサ。 8.反射性、屈折性および回折性の光学素子(2a,2b,3a,3b)の組合 せが、基部(1;1a,1b;1c)上にモノリシックに構成されていることを 特徴とする請求項1〜3の1つに記載の傾斜センサ。 9.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、基部(1;1a,1b;1c)の 唯一つの面(4)上に配置されていることを特徴とする先行請求項1〜8の1つ に記載の傾斜センサ。 10.光学素子(2a,2b,3a,3b)が、基部(1;1a,1b;1c) の異なる面(4,5,9)上に配置されていることを特徴とする請求項1〜8の 1つに記載の傾斜センサ。 11.光学素子(2a,3a)が、傾斜面(10)に入射する発散光束または収 斂光束を形成することを特徴とする先行請求項1〜10の1つに記載の傾斜セン サ。 12.光学素子(2a、3a)が、傾斜面(10)に入射する平行光束を形成す ることを特徴とする請求項1〜10の1つに記載の傾斜センサ。 13.傾斜測定の精度向上のため、光源(6)が、複数の強度ピークを有する強 度分布(21)を検知器(7)上に形成する構造を有することを特徴とする先行 請求項1〜12の1つに記載の傾斜センサ。 14.光源(6)が、各別の複数光源、特に、LEDーアレイから構成されてい ることを特徴とする請求項13の傾斜センサ。 15.光源(6)と検知器(7)との間の傾斜測定の精度向上のため、位置に依 存して光束を部分反射する物体(25)が配置されかつモノリシックに構成され 、該物体(25)は、複数のピークを有する反射機能を有し、光源(6)の代わ りに検知器(7)上に結像されることを特徴とする請求項1〜12の1つに記載 の傾斜センサ。 16.光源(6)と検知器(7)との間の傾斜測定の精度向上のため、位置に依 存して光束を部分透過する物体(26)が配置されかつモノリシックに構成され 、該物体(25)は、複数のピークを有する透過機能を有し、光源(6)の代わ りに検知器(7)上に結像されることを特徴とする請求項1〜12の1つに記載 の 傾斜センサ。 17.光源(6)と検知器(7)との間の傾斜測定の精度向上のため、複数のピ ークを有する強度分布(21)が検知器(7)上に形成されるよう光束の光波フ ロントを構造化(パタン化)する光学素子(28)が配置され、かつモノリシッ クに組込まれていることを特徴とする請求項1〜12の1つに記載の傾斜センサ 。 18.光束の光波フロントを構造化する光学素子(28)が、同時に、結像特性 を有することを特徴とする請求項17に記載の傾斜センサ。 19.検知器(7)上に形成された強度分布(21)の位置基本周波数またはそ の位置高調波周波数が、検知器(7)の感光性構造の位置基本周波数とともに、 低周波数の重畳パタンを形成することを特徴とする請求項13〜18の1つに記 載の傾斜センサ。 20.傾斜面(10)が、重力によって決定される平面内に調整されることを特 徴とする先行請求項1〜19の1つに記載の傾斜センサ。 21.重力に従って方向づけられる傾斜面(10)が、液体表面であることを特 徴とする請求項20に記載の傾斜センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19621189.1 | 1996-05-25 | ||
DE19621189A DE19621189C2 (de) | 1996-05-25 | 1996-05-25 | Optischer Sensor zur Neigungswinkelbestimmung |
PCT/EP1997/002661 WO1997045701A1 (de) | 1996-05-25 | 1997-05-23 | Optischer sensor zur neigungswinkelbestimmung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001501726A true JP2001501726A (ja) | 2001-02-06 |
JP2001501726A5 JP2001501726A5 (ja) | 2004-12-09 |
JP3939759B2 JP3939759B2 (ja) | 2007-07-04 |
Family
ID=7795364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP54157797A Expired - Fee Related JP3939759B2 (ja) | 1996-05-25 | 1997-05-23 | 傾斜角度測定用光学センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0901608B1 (ja) |
JP (1) | JP3939759B2 (ja) |
DE (2) | DE19621189C2 (ja) |
WO (1) | WO1997045701A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006030185A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Leica Geosystems Ag | 傾きセンサ |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10308085B4 (de) * | 2002-03-08 | 2006-09-07 | Leuze Electronic Gmbh & Co Kg | Optoelektronische Vorrichtung |
EP1491855A1 (de) * | 2003-06-23 | 2004-12-29 | Leica Geosystems AG | Optischer Neigungsmesser |
DE10357062B4 (de) * | 2003-12-04 | 2005-12-15 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, vertreten durch den Rektor | System zur Messung der Verkippung von strukturierten Oberflächen |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2403909A1 (de) * | 1974-01-28 | 1975-08-14 | Cornelius Leonard Gooley | Orientierungs-anzeigevorrichtung |
CH599536A5 (ja) * | 1975-09-02 | 1978-05-31 | Kern & Co Ag | |
CH597591A5 (ja) * | 1975-10-07 | 1978-04-14 | Kern & Co Ag | |
JPS6032143A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-19 | Nec Home Electronics Ltd | 姿勢制御装置 |
DE3634244A1 (de) * | 1986-10-08 | 1988-04-21 | Telefunken Electronic Gmbh | Optoelektronischer neigungssensor |
CH673707A5 (ja) * | 1987-07-24 | 1990-03-30 | Kern & Co Ag |
-
1996
- 1996-05-25 DE DE19621189A patent/DE19621189C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-05-23 JP JP54157797A patent/JP3939759B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-23 EP EP97923996A patent/EP0901608B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-23 WO PCT/EP1997/002661 patent/WO1997045701A1/de active IP Right Grant
- 1997-05-23 DE DE59708671T patent/DE59708671D1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006030185A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Leica Geosystems Ag | 傾きセンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0901608A1 (de) | 1999-03-17 |
DE59708671D1 (de) | 2002-12-12 |
JP3939759B2 (ja) | 2007-07-04 |
WO1997045701A1 (de) | 1997-12-04 |
DE19621189C2 (de) | 2000-06-29 |
DE19621189A1 (de) | 1997-11-27 |
EP0901608B1 (de) | 2002-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2913984B2 (ja) | 傾斜角測定装置 | |
US7593114B2 (en) | Device and method for focusing a laser light beam | |
US7433052B2 (en) | Systems and methods for tilt and range measurement | |
EP1342984B1 (en) | Optical distance sensor | |
JP2006030031A (ja) | 分光器 | |
CN102725673A (zh) | 具有至少两镜面的反射镜的制造方法、用于微光刻的投射曝光装置的反射镜及投射曝光装置 | |
US7649621B2 (en) | Optical inclinometer | |
US5196711A (en) | Deviation measuring device including a mask having a grating pattern and a zone plate pattern | |
US5235408A (en) | Position detecting method and apparatus | |
US6661446B2 (en) | Parallel-processing, optical distance-measuring device | |
EP1030160A1 (en) | Optical position sensor | |
US5113071A (en) | Encoder in which single light source projects dual beams onto grating | |
JP3939759B2 (ja) | 傾斜角度測定用光学センサ | |
EP0489399B1 (en) | Displacement detector | |
JP4357002B2 (ja) | 物体の方向を測定する方法および装置 | |
JP2002286448A (ja) | 傾斜検出装置 | |
EP0358511B1 (en) | Device for detecting positional relationship between two objects | |
JP4051830B2 (ja) | 放射検出装置 | |
KR20180104022A (ko) | 빔 측정 시스템, 리소그래피 시스템, 및 방법 | |
CN102246007B (zh) | 光电位置测量装置和光电位置测量方法 | |
JP2000097657A (ja) | 干渉計 | |
JPH0690052B2 (ja) | 光学干渉装置 | |
RU2085873C1 (ru) | Многолучевое интерференционное устройство | |
JP3010088B2 (ja) | ホログラム干渉計 | |
CN117203487A (zh) | 光学倾斜传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040406 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060404 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20060630 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20060814 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061114 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070313 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120406 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120406 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140406 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |