RU2085873C1 - Многолучевое интерференционное устройство - Google Patents

Многолучевое интерференционное устройство Download PDF

Info

Publication number
RU2085873C1
RU2085873C1 RU94035715A RU94035715A RU2085873C1 RU 2085873 C1 RU2085873 C1 RU 2085873C1 RU 94035715 A RU94035715 A RU 94035715A RU 94035715 A RU94035715 A RU 94035715A RU 2085873 C1 RU2085873 C1 RU 2085873C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
radiation
optical
curvature
optical axis
photosensitive
Prior art date
Application number
RU94035715A
Other languages
English (en)
Other versions
RU94035715A (ru
Inventor
Е.В. Арменский
А.Ф. Каперко
Original Assignee
Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) filed Critical Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Priority to RU94035715A priority Critical patent/RU2085873C1/ru
Publication of RU94035715A publication Critical patent/RU94035715A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2085873C1 publication Critical patent/RU2085873C1/ru

Links

Images

Abstract

Изобретение относится к оптическим измерениям и к построению контрольно-измерительных устройств с использованием голографии. Сущность изобретения: в однородной среде с показателем преломления no на одной оптической оси устанавливают точечный источник когерентного линейно поляризованного излучения с длиной волны λ, оптический элемент с показателем преломления n и параллельными сферическими поверхностями, имеющими один центр кривизны, но различные радиусы кривизны r1 - r2=d, выпуклость обеих поверхностей ориентирована в сторону источника излучения. Расстояние между сферическими поверхностями выбирается из соотношения:
d = nr 2 1 /(f(n-no)+nr1), ,
где r1- радиус кривизны большей сферической поверхности, f - фокусное расстояние. Интерференционная картина проецируется на матрицу фоточувствительных элементов на приборах с зарядовой связью с периодом размещения фоточувствительных элементов Т. Причем, приемник излучения не перпендикулярен к оптической оси, на которой находятся источник излучения и оптический элемент, а смещен относительно перпендикуляра к оптической оси на угол α = arcsin λ/T. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к оптическим измерениям и может быть использовано при построении контрольно-измерительных устройств с использованием голографии.
Известно устройство, в котором многолучевые интерференционные полосы создаются плоскопараллельной пластинкой при почти нормальном освещении [1] Данный принцип используются в интерферометре Фабри-Перо. Для такого интерферометра характерным признаком является пересечение плоской волной двух параллельных плоских поверхностей. Основными частями этого интерферометра служат две стеклянные или кварцевые пластины с плоскими параллельными поверхностями и две линзы, первая из которых формирует параллельный световой поток падающий на параллельные пластины, а вторая фокусирует прошедший световой поток на экран. Для получения интерференционной картины высокого качества поверхности должны быть плоскими и параллельными с точностью до λ/100.
Источник излучения, расположенный на конечном расстоянии обладает распространяющейся сферической волной, которая несет информацию о его пространственном положении.
При пересечении сферической волны от источника излучения и плоскопараллельной пластинки потребуется дополнительная линза для фокусировки интерференционной картины на экране.
Недостатком данного интерферометра является наличие большого количества оптических элементов (две стеклянные пластинки и две линзы), а также использование плоской волны, что не позволяет определить пространственное положение источника излучения.
Наиболее близким из известных устройств того же назначения является многолучевое интерференционное устройство [2] предназначенное для исследования формы волнового фронта и состоит из источника излучения S, передающей оптической системы, которая формирует плоскую волну, падающую на две параллельные поверхности, где возникает многолучевая интерференция. Далее приемная оптическая система направляет излучение на фотоприемник лучистой энергии.
На фиг. 1 представлены элементы многолучевого интерференционного устройства, где источник излучения и передающая оптическая система не указаны. Плоскопараллельная пластина 1 из оптически однородного материала с показателем преломления n служит для создания многолучевых интерференционных полос равного наклона. Фотоприемник излучения 2 и приемная оптическая система 3 предназначены для считывания спроецированного излучения. На фиг. 1 приведена схема возникновения многолучевых интерференционных полос равного наклона в случае использования плоскопараллельной пластинки.
Однако данное устройство также не обеспечивает достаточно точного измерения формы волнового фронта излучения, а схема построения интерферометра довольно сложная.
Для упрощения конструкции многолучевого интерференционного устройства предлагается совместить выполнение нескольких функций преобразования оптического сигнала в одном приборе. В частности, выполнение функциональных особенностей, характерных для многолучевой интерференции в плоскопараллельной пластине, светоделение и фокусировка оптических лучей с помощью линзы.
Данный технический результат достигается тем, что предложено многолучевое интерференционное устройство, содержащее на одной оптической оси точечный источник когерентного линейно поляризованного излучения, установленные по ходу излучения две параллельные поверхности, выполненные сферическими из оптически прозрачного материала, с одним центром кривизны, но различными радиусами кривизны, причем выпуклости обеих поверхностей направлены в стороны источника излучения, а также фоточувствительный приемник излучения.
Для получения интерференционной картины на фоточувствительном приемнике излучения, необходимо выбирать расстояние между сферическими поверхностями из соотношения:
d = nr 2 1 /(f(n-no)+nr1),
где
r1 радиус кривизны большей сферической поверхности;
n показатель преломления оптически однородного материала;
n0 показатель преломления среды;
f фокусное расстояние.
Причем, фоточувствительный приемник излучения выполнен в виде матрицы фоточувствительных элементов с постоянным периодом размещения и смещен относительно перпендикуляра к оптической оси на угол α = arcsin λ/T где λ длина волны источника излучения, а Т период размещения.
На фиг. 2 представлена конструкция многолучевого интерференционного устройства, где приведены составные элементы предлагаемого многолучевого интерференционного устройства: S источник излучения, объединенный оптический элемент 1, включающий передающую оптическую систему, две параллельные поверхности, где возникает многолучевая интерференция, и приемную оптическую систему; фотоприемник излучения 2, нормаль которого смещена относительно оптической оси на угол a Две параллельные сферические поверхности, имеющие один центр кривизны поверхностей, но различные радиусы кривизны (r1, r2) будут выполнять роль многолучевого интерферометра, светоделителя и линзы.
Устройство работает следующим образом.
Возникновение многолучевой интерференции объясняется с помощью принципа Гюйгенса-Френеля. Каждая точка волнового фронта, пересекающая первую сферическую поверхность (r1), будет считаться центром вторичных сферических волн. Волновой фронт в любой поздний момент времени будет огибающей этих вторичных волн. Многолучевая интерференция возникает в результате интерференции вторичных волн, центры которых находятся на первой сферической поверхности. Светоделение возникает за счет частичного отражения падающего светового потока от первой и второй сферических поверхностей многолучевого интерференционного устройства. Фокусировка оптических лучей происходит с помощью линзы с концентрическими сферическими поверхностями (2). Толщина такой линзы d выбирается на основании расчета по формуле:
d = nr 2 1 /(f(n-no)+nr1), (1)
где
r1 радиус кривизны большей сферической поверхности;
f фокусное расстояние;
n показатель преломления оптического материала;
n0 показатель преломления среды.
В качестве приемника излучения, на которое проецируется интерференционная картина выбрана матрица фоточувствительных элементов на приборах с зарядовой связью (ПЗС). Важной особенностью такой матрицы является размер фоточувствительного элемента и период размещения Т этих элементов на полупроводниковой пластине. В случае, если источник излучения находится в фокальной плоскости многолучевого интерференционного устройства, то необходимо сместить нормаль приемной матрицы фотоэлементов относительно оптической оси на угол α = arcsin λ/T Такое расположение приемника излучения обеспечивает проецирование интерференционной картины на матрицу фотоэлементов и при этом период размещения Т фотоэлементов совпадает с периодом интерференционной картины. Если источник излучения переместить из фокальной плоскости ближе к сферической поверхности многолучевого интерференционного устройства, то это приведет к увеличению периода интерференционной картины. При жестком периоде размещения Т фотоэлементов на приемной матрице это повлечет к изменению считывающей информации в виде интерференционной картины. При перемещении источника излучения из фокальной плоскости вдаль от сферической поверхности многолучевого интерференционного устройства происходит уменьшение периода интерференционной картины. Таким образом, с помощью многолучевого интерференционного устройства можно определить пространственное положение источника излучения за счет изменения формы волнового фронта, распространяющегося от источника излучения.
Предлагаемое многолучевое интерференционное устройство обладает следующими достоинствами: минимальное количество оптических деталей при сохранении функциональных особенностей характерных для подобных устройств, возможность определения пространственного положения источника излучения, использование в качестве приемника излучения матрицы фоточувствительных элементов на ПЗС позволяет существенно повысить, по сравнению с известными методами, точность получения информации об интерференционной картине.
Предлагаемый объединенный оптический элемент изготавливается из оптически прозрачного материала стекла марки ТК20, радиус кривизны, фокусное расстояние и расстояние между сферическими поверхностями берутся в миллиметрах или на основании формулы расчета (1).
В качестве фотоприемника выбирается матричный фоточувствительный кристалл (МФПЗС) с числом элементов (горизонталь х вертикаль) 200 х 180, размеры фотоэлемента (горизонталь х вертикаль), мкм 10,5 х 11, 4, со строчно-кадровым переносом.

Claims (3)

1. Многолучевое интерференционное устройство, содержащее на одной оптической оси точечный источник когерентного линейно поляризованного излучения, установленные по ходу излучения две параллельные поверхности, ограничивающие оптически однородный материал, и фоточувствительный приемник излучения, отличающееся тем, что параллельные поверхности выполнены сферическими с одним центром кривизны, но различными радиусами кривизны и выпуклостью обеих поверхностей в сторону источника излучения.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что расстояние d между сферическими поверхностями выбирается из соотношения
d = n•r 2 1 /(f(n-n0)+nr1),
где r1 радиус кривизны большей сферической поверхности:
n показатель преломления оптически однородного материала;
n0 показатель преломления среды;
f фокусное расстояние.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что фоточувствительный приемник излучения выполнен в виде матрицы фоточувствительных элементов и смещен относительно перпендикуляра к оптической оси на угол α = arcsinλ/T, где λ - длина волны источника излучения; Т период размещения фоточувствительных элементов.
RU94035715A 1994-09-23 1994-09-23 Многолучевое интерференционное устройство RU2085873C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94035715A RU2085873C1 (ru) 1994-09-23 1994-09-23 Многолучевое интерференционное устройство

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94035715A RU2085873C1 (ru) 1994-09-23 1994-09-23 Многолучевое интерференционное устройство

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU94035715A RU94035715A (ru) 1996-07-10
RU2085873C1 true RU2085873C1 (ru) 1997-07-27

Family

ID=20160812

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU94035715A RU2085873C1 (ru) 1994-09-23 1994-09-23 Многолучевое интерференционное устройство

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2085873C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2549557C1 (ru) * 2014-01-29 2015-04-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Способ многоканального измерения смещения длины волны света с использованием интерферометра фабри-перо

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. - М.: Наука, 1970, с. 356. 2. Бегунов Б.Н., Заказнов Н.П. Теория оптических систем. - М.: Машиностроение, 1973, с. 488. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2549557C1 (ru) * 2014-01-29 2015-04-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Способ многоканального измерения смещения длины волны света с использованием интерферометра фабри-перо

Also Published As

Publication number Publication date
RU94035715A (ru) 1996-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5933236A (en) Phase shifting interferometer
JP2913984B2 (ja) 傾斜角測定装置
EP0059084B1 (en) Optical reader apparatus
EP1113251A3 (en) Wavefront sensor with a Hartmann plate with multifocal lenses, and a lens meter and an active optical reflecting telescope using the sensor
JPH073344B2 (ja) エンコ−ダ−
US4998011A (en) Flat plate focus sensing apparatus
KR940008404B1 (ko) 자동초점장치 및 방법
RU2085873C1 (ru) Многолучевое интерференционное устройство
Ura et al. Integrated optic grating scale‐displacement sensor using linearly focusing grating couplers
WO2004068090A1 (en) Imaging system
US6297497B1 (en) Method and device for determining the direction in which an object is located
JP3939759B2 (ja) 傾斜角度測定用光学センサ
US20030098411A1 (en) Diffraction laser optical scale having high tolerance to the phase difference and alignment error of the grating opitcal scale
RU2132077C1 (ru) Объектив для голографических систем
JP2553662B2 (ja) ホログラム測距装置
JPH07169071A (ja) 焦点エラー検出用光ピックアップシステム
JP2667962B2 (ja) 光ヘッド装置
JP2666495B2 (ja) 屈折率分布測定方法及び屈折率分布測定装置
JPH0690052B2 (ja) 光学干渉装置
JP3155569B2 (ja) 分散分布測定方法
SU1670410A1 (ru) Устройство дл измерени рассто ни до отражающей поверхности
RU2039347C1 (ru) Устройство для определения взаимного расположения элементов пространственной структуры из эластичного материала
Howell Patent Reviews: 3,940,608; 3,941,474; 3,941,927; 3,942,866; 4,067,651; 4,109,995; 4,113,374; 4,116,531; 4,119,362; 4,120,581; 4,126,783; 4,126,876; 4,127,771; 4,135,096; 4,152,824; 4,153,038; 4,153,039; 4,153,041; 4,153,474; 4,154,219; 4,155,371; 4,157,470; 4,162,119; 4,162,397; 4,162,399; 4,165,154; 4,165,914; 4,165,915; 4,165,916; 4,165,936; 4,165,937; 4,165,938; 4,166,254; 4,166,342; 4,166,668; 4,166,670; 4,166,671; 4,166,672; 4,166,674; 4,166,697; 0 4,166,932; 4,166,954; 4,167,337; 4,168,106; 4,168,110; 4,168,126; 4,168,429; 4,168,430; 4,168,435; 4,168,887; 4,168,890; 4,169,976; 4,171,154; 4,171,155; 4,171,890; 4,171,910; 4,172,222
JPH0642910A (ja) 光干渉装置
KR100289737B1 (ko) 렌즈수차측정장치및이를이용한수차측정방법