JP2001357697A - フェイル解析装置 - Google Patents
フェイル解析装置Info
- Publication number
- JP2001357697A JP2001357697A JP2000176469A JP2000176469A JP2001357697A JP 2001357697 A JP2001357697 A JP 2001357697A JP 2000176469 A JP2000176469 A JP 2000176469A JP 2000176469 A JP2000176469 A JP 2000176469A JP 2001357697 A JP2001357697 A JP 2001357697A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fail
- data
- printing
- print data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/12—Digital output to print unit, e.g. line printer, chain printer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/56—External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
- G11C29/56016—Apparatus features
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/56—External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/56—External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
- G11C2029/5604—Display of error information
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フェイル解析結果の印刷や編集に要する手間
や時間を低減することができるフェイル解析装置を提供
すること。 【解決手段】 印刷項目設定部２２は、印刷装置６０の
解像度を含む印刷に必要な各種の詳細項目の設定を行
う。印刷用データ作成部２０は、この解像度を考慮して
汎用性のあるデータ形式を有する印刷用データを作成す
る。この印刷用データは印刷装置６０に送られて、所定
の用紙に印刷される。あるいは、この印刷用データは、
ファイル出力されて解析結果データ格納部４０に格納さ
れる。
や時間を低減することができるフェイル解析装置を提供
すること。 【解決手段】 印刷項目設定部２２は、印刷装置６０の
解像度を含む印刷に必要な各種の詳細項目の設定を行
う。印刷用データ作成部２０は、この解像度を考慮して
汎用性のあるデータ形式を有する印刷用データを作成す
る。この印刷用データは印刷装置６０に送られて、所定
の用紙に印刷される。あるいは、この印刷用データは、
ファイル出力されて解析結果データ格納部４０に格納さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ内の
記憶セルのフェイル分布状態の測定結果を印刷するフェ
イル解析装置に関する。
記憶セルのフェイル分布状態の測定結果を印刷するフェ
イル解析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体メモリ試験装置は、半導体メモリ
（以下、単に「メモリ」と称する）内の各記憶セルに対
してデータの読み書きを行うことにより、各記憶セルの
不良を解析するためのものである。一般に、半導体メモ
リ試験装置は、図７に示すように、タイミング発生器１
１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論理
比較器１１６、フェイルメモリ１１８を含んで構成され
る。パターン発生器１１２によって発生したアドレスと
データが波形整形器１１４により波形整形されて被試験
メモリ（ＭＵＴ）に入力される。論理比較器１１６は、
ＭＵＴから読み出されたデータと、パターン発生器１１
２から出力される期待値とを比較して、パス・フェイル
の判定を行う。フェイルメモリ１１８は、論理比較器１
１６より出力されるフェイル信号と、パターン発生器１
１２より出力されるアドレス信号により、各アドレス毎
のフェイル情報を格納する。これらの一連の動作は全て
タイミング発生器１１０から各部に入力されるシステム
クロックに同期して行われる。
（以下、単に「メモリ」と称する）内の各記憶セルに対
してデータの読み書きを行うことにより、各記憶セルの
不良を解析するためのものである。一般に、半導体メモ
リ試験装置は、図７に示すように、タイミング発生器１
１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論理
比較器１１６、フェイルメモリ１１８を含んで構成され
る。パターン発生器１１２によって発生したアドレスと
データが波形整形器１１４により波形整形されて被試験
メモリ（ＭＵＴ）に入力される。論理比較器１１６は、
ＭＵＴから読み出されたデータと、パターン発生器１１
２から出力される期待値とを比較して、パス・フェイル
の判定を行う。フェイルメモリ１１８は、論理比較器１
１６より出力されるフェイル信号と、パターン発生器１
１２より出力されるアドレス信号により、各アドレス毎
のフェイル情報を格納する。これらの一連の動作は全て
タイミング発生器１１０から各部に入力されるシステム
クロックに同期して行われる。
【０００３】このようにして、半導体メモリ試験装置に
含まれるフェイルメモリ１１８にはＭＵＴの各記憶セル
の良否に関するデータが格納され、これを外部のワーク
ステーション等のホスト装置によって収集してその内容
を調べることにより、このメモリに対する各種の不良解
析が行われる。
含まれるフェイルメモリ１１８にはＭＵＴの各記憶セル
の良否に関するデータが格納され、これを外部のワーク
ステーション等のホスト装置によって収集してその内容
を調べることにより、このメモリに対する各種の不良解
析が行われる。
【０００４】例えば、ホスト装置は、所定のメモリデバ
イス評価ツールを用いることにより、大容量のＤＲＡＭ
のフェイル分布状態を表示することができる。また、表
示されたフェイル分布状態は、このメモリデバイス評価
ツールに備わったプリントコマンドを指定することによ
り、画面イメージを維持した状態で所定の用紙に印刷す
ることができる。
イス評価ツールを用いることにより、大容量のＤＲＡＭ
のフェイル分布状態を表示することができる。また、表
示されたフェイル分布状態は、このメモリデバイス評価
ツールに備わったプリントコマンドを指定することによ
り、画面イメージを維持した状態で所定の用紙に印刷す
ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ホスト装置
によって行われる従来の不良解析は、フェイル分布状態
を印刷する場合に、一旦画面に表示させた内容をそのま
ま出力していた。通常用いられるＣＲＴ（陰極線管）や
ＬＣＤ（液晶表示装置）等の表示装置は解像度が低いた
め、１画面に表示することができる範囲が狭く、メモリ
全体のフェイル分布状態を印刷しようとしたときに、表
示と印刷の回数が多くなって、解析結果の出力に多大な
手間および時間がかかっていた。例えば、１画面に表示
できるフェイル情報の最大サイズが２５６Ｋｂｉｔ（５
１２×５１２）である場合に、６４ＭｂｉｔのＤＲＡＭ
のフェイル情報を全部表示しようとすると、２５６回表
示内容の切り替えを行う必要があり、その手間だけでも
膨大なものとなる。また、６４ＭｂｉｔのＤＲＡＭのフ
ェイル情報を１枚の用紙にまとめようとすると、上述し
た２５６回の表示切り替えの都度その表示内容を印刷
し、この２５６枚の印刷結果を貼り合わせて編集する必
要があり、隣り合った用紙の位置合わせ等も必要になる
ため、上述した表示以上の多大な手間および時間がかか
ることになる。このように、不良解析結果の印刷や編集
に多大な手間と時間がかかるため、これらを低減するこ
とができる手法が望まれている。
によって行われる従来の不良解析は、フェイル分布状態
を印刷する場合に、一旦画面に表示させた内容をそのま
ま出力していた。通常用いられるＣＲＴ（陰極線管）や
ＬＣＤ（液晶表示装置）等の表示装置は解像度が低いた
め、１画面に表示することができる範囲が狭く、メモリ
全体のフェイル分布状態を印刷しようとしたときに、表
示と印刷の回数が多くなって、解析結果の出力に多大な
手間および時間がかかっていた。例えば、１画面に表示
できるフェイル情報の最大サイズが２５６Ｋｂｉｔ（５
１２×５１２）である場合に、６４ＭｂｉｔのＤＲＡＭ
のフェイル情報を全部表示しようとすると、２５６回表
示内容の切り替えを行う必要があり、その手間だけでも
膨大なものとなる。また、６４ＭｂｉｔのＤＲＡＭのフ
ェイル情報を１枚の用紙にまとめようとすると、上述し
た２５６回の表示切り替えの都度その表示内容を印刷
し、この２５６枚の印刷結果を貼り合わせて編集する必
要があり、隣り合った用紙の位置合わせ等も必要になる
ため、上述した表示以上の多大な手間および時間がかか
ることになる。このように、不良解析結果の印刷や編集
に多大な手間と時間がかかるため、これらを低減するこ
とができる手法が望まれている。
【０００６】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、フェイル解析結果の印刷や
編集に要する手間や時間を低減することができるフェイ
ル解析装置を提供することにある。また、本発明の他の
目的は、得られた不良解析結果に基づいて他の処理を行
うことができるフェイル解析装置を提供することにあ
る。
たものであり、その目的は、フェイル解析結果の印刷や
編集に要する手間や時間を低減することができるフェイ
ル解析装置を提供することにある。また、本発明の他の
目的は、得られた不良解析結果に基づいて他の処理を行
うことができるフェイル解析装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のフェイル解析装置は、半導体メモリ試
験装置による試験によって得られた半導体メモリのフェ
イルビットマップデータの内容を印刷装置を用いて印刷
するために、フェイルビットマップデータを格納する第
１の格納手段と、このフェイルビットマップデータを読
み出して、印刷装置の印刷の解像度を考慮した印刷用デ
ータを作成する印刷用データ作成手段とを備えている。
画面表示に比べて一般に解像度が高い印刷装置の解像度
に合わせてフェイル解析結果の印刷が行われるため、従
来のように表示の解像度に合わせてフェイル解析結果を
印刷する場合に比べて、１枚の印刷用紙に含ませるフェ
イル解析結果の範囲を広くすることができる。このた
め、半導体メモリの全体あるいは部分領域に対応するフ
ェイル解析結果を印刷するために必要な印刷の繰り返し
回数を減らして、印刷の手間を低減することができる。
また、印刷枚数を減らすことにより、各印刷用紙を貼り
合わせてフェイル解析結果の編集を行う場合の手間を低
減することができる。
ために、本発明のフェイル解析装置は、半導体メモリ試
験装置による試験によって得られた半導体メモリのフェ
イルビットマップデータの内容を印刷装置を用いて印刷
するために、フェイルビットマップデータを格納する第
１の格納手段と、このフェイルビットマップデータを読
み出して、印刷装置の印刷の解像度を考慮した印刷用デ
ータを作成する印刷用データ作成手段とを備えている。
画面表示に比べて一般に解像度が高い印刷装置の解像度
に合わせてフェイル解析結果の印刷が行われるため、従
来のように表示の解像度に合わせてフェイル解析結果を
印刷する場合に比べて、１枚の印刷用紙に含ませるフェ
イル解析結果の範囲を広くすることができる。このた
め、半導体メモリの全体あるいは部分領域に対応するフ
ェイル解析結果を印刷するために必要な印刷の繰り返し
回数を減らして、印刷の手間を低減することができる。
また、印刷枚数を減らすことにより、各印刷用紙を貼り
合わせてフェイル解析結果の編集を行う場合の手間を低
減することができる。
【０００８】また、上述した印刷用データ作成手段は、
複数枚の印刷用紙に対応する印刷用データを作成する際
に、半導体メモリのアドレスが連続するように隣接する
２枚の印刷用紙の対応位置を示す所定のマーカを含めて
印刷用データを作成することが望ましい。半導体メモリ
のフェイル解析結果が２枚以上の印刷用紙に分割されて
印刷された場合に、各印刷用紙に含まれるマーカの位置
が、隣接する印刷用紙同士で重なるように調整すること
で位置合わせを行うことができるため、複数の用紙に分
割して印刷されたフェイル解析結果を貼り合わせる編集
作業を行う場合の作業の手間をさらに低減することがで
きる。
複数枚の印刷用紙に対応する印刷用データを作成する際
に、半導体メモリのアドレスが連続するように隣接する
２枚の印刷用紙の対応位置を示す所定のマーカを含めて
印刷用データを作成することが望ましい。半導体メモリ
のフェイル解析結果が２枚以上の印刷用紙に分割されて
印刷された場合に、各印刷用紙に含まれるマーカの位置
が、隣接する印刷用紙同士で重なるように調整すること
で位置合わせを行うことができるため、複数の用紙に分
割して印刷されたフェイル解析結果を貼り合わせる編集
作業を行う場合の作業の手間をさらに低減することがで
きる。
【０００９】また、上述したフェイルビットマップデー
タには、半導体メモリの論理アドレスとこれに対応する
フェイル情報との関係を示すロジカル・フェイルビット
マップデータと、半導体メモリの物理アドレスとこれに
対応するフェイル情報との関係を示すフィジカル・フェ
イルビットマップデータとが含まれており、フィジカル
変換手段によって、第１の格納手段からロジカル・フェ
イルビットマップデータを読み出してフィジカル・フェ
イルビットマップへの変換を行うことが望ましい。フィ
ジカル変換手段を備えることにより、ロジカル・フェイ
ルビットマップデータとフィジカル・フェイルビットマ
ップデータの両方あるいは任意に選択されたいずれか一
方を、印刷装置の解像度を考慮して、必要に応じて印刷
することができる。
タには、半導体メモリの論理アドレスとこれに対応する
フェイル情報との関係を示すロジカル・フェイルビット
マップデータと、半導体メモリの物理アドレスとこれに
対応するフェイル情報との関係を示すフィジカル・フェ
イルビットマップデータとが含まれており、フィジカル
変換手段によって、第１の格納手段からロジカル・フェ
イルビットマップデータを読み出してフィジカル・フェ
イルビットマップへの変換を行うことが望ましい。フィ
ジカル変換手段を備えることにより、ロジカル・フェイ
ルビットマップデータとフィジカル・フェイルビットマ
ップデータの両方あるいは任意に選択されたいずれか一
方を、印刷装置の解像度を考慮して、必要に応じて印刷
することができる。
【００１０】また、印刷項目設定手段を備えることによ
り、ユーザグラフィカルインタフェース画面を用いて、
印刷用データ作成手段による印刷用データの作成に関す
る詳細項目の設定を行うことが望ましい。利用者は、ユ
ーザグラフィカルインタフェース（ＧＵＩ）画面を見な
がら、印刷装置の解像度等の詳細項目の設定を指示する
ことができるため、操作性の向上とともに操作時間の短
縮が可能になる。
り、ユーザグラフィカルインタフェース画面を用いて、
印刷用データ作成手段による印刷用データの作成に関す
る詳細項目の設定を行うことが望ましい。利用者は、ユ
ーザグラフィカルインタフェース（ＧＵＩ）画面を見な
がら、印刷装置の解像度等の詳細項目の設定を指示する
ことができるため、操作性の向上とともに操作時間の短
縮が可能になる。
【００１１】また、上述した印刷用データ作成手段によ
って印刷用データを汎用性のあるデータ形式でファイル
出力し、このファイル出力された印刷用データを第２の
格納手段に格納しておくことが望ましい。汎用性を有す
るデータ形式でフェイル解析結果がファイル出力される
ため、このファイルを読み出してフェイル解析結果に対
して二次的な加工を行うことが可能になる。
って印刷用データを汎用性のあるデータ形式でファイル
出力し、このファイル出力された印刷用データを第２の
格納手段に格納しておくことが望ましい。汎用性を有す
るデータ形式でフェイル解析結果がファイル出力される
ため、このファイルを読み出してフェイル解析結果に対
して二次的な加工を行うことが可能になる。
【００１２】また、上述した汎用性のあるデータ形式
は、ポストスクリプト形式であることが望ましい。ポス
トスクリプトは、印刷装置や表示装置に出力するテキス
ト、イメージのページ表記を記述するためのページ記述
言語ＰＤＬ（Page DescriptionLanguage ）であって、
出力デバイスに依存しないという汎用性を有することか
ら、この形式を有するフェイル解析結果に対する加工等
が特に容易となる。
は、ポストスクリプト形式であることが望ましい。ポス
トスクリプトは、印刷装置や表示装置に出力するテキス
ト、イメージのページ表記を記述するためのページ記述
言語ＰＤＬ（Page DescriptionLanguage ）であって、
出力デバイスに依存しないという汎用性を有することか
ら、この形式を有するフェイル解析結果に対する加工等
が特に容易となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本実施形態のフェイル解析装置の構成
を示す図である。図１に示すフェイル解析装置１０は、
ロジカル・フェイルビットマップ格納部１２、フィジカ
ル・フェイルビットマップ格納部１４、フィジカル変換
部１６、印刷用データ作成部２０、印刷項目設定部２
２、表示用データ作成部３０、表示項目設定部３２、解
析結果データ格納部４０、操作部５０、印刷装置６０、
表示装置７０を含んで構成されている。このフェイル解
析装置１０は、例えばワークステーション等の汎用コン
ピュータによって構成することができる。
態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本実施形態のフェイル解析装置の構成
を示す図である。図１に示すフェイル解析装置１０は、
ロジカル・フェイルビットマップ格納部１２、フィジカ
ル・フェイルビットマップ格納部１４、フィジカル変換
部１６、印刷用データ作成部２０、印刷項目設定部２
２、表示用データ作成部３０、表示項目設定部３２、解
析結果データ格納部４０、操作部５０、印刷装置６０、
表示装置７０を含んで構成されている。このフェイル解
析装置１０は、例えばワークステーション等の汎用コン
ピュータによって構成することができる。
【００１４】図１に示すフェイル解析装置１０は、半導
体メモリ試験装置１００に接続されており、フェイルメ
モリ（ＦＭ）１１８に格納されたフェイル情報を読み出
して、フェイル分布状態等の各種のフェイル解析を行
う。また、半導体メモリ試験装置１００は、メモリ（図
示せず）の良否を試験するものであり、図７に示した構
成を有している。
体メモリ試験装置１００に接続されており、フェイルメ
モリ（ＦＭ）１１８に格納されたフェイル情報を読み出
して、フェイル分布状態等の各種のフェイル解析を行
う。また、半導体メモリ試験装置１００は、メモリ（図
示せず）の良否を試験するものであり、図７に示した構
成を有している。
【００１５】ロジカル・フェイルビットマップ格納部１
２は、試験対象となるメモリに対応するロジカル・フェ
イルビットマップデータを格納する。またフィジカル・
フェイルビットマップ格納部１４は、試験対象となるメ
モリに対応するフィジカル・フェイルビットマップデー
タを格納する。フィジカル変換部１６は、ロジカル・フ
ェイルビットマップ格納部１２に格納されたロジカル・
フェイルビットマップデータを読み出してフィジカル・
フェイルビットマップデータに変換する。この変換によ
って得られたフィジカル・フェイルビットマップデータ
がフィジカル・フェイルビットマップ格納部１４に格納
される。
２は、試験対象となるメモリに対応するロジカル・フェ
イルビットマップデータを格納する。またフィジカル・
フェイルビットマップ格納部１４は、試験対象となるメ
モリに対応するフィジカル・フェイルビットマップデー
タを格納する。フィジカル変換部１６は、ロジカル・フ
ェイルビットマップ格納部１２に格納されたロジカル・
フェイルビットマップデータを読み出してフィジカル・
フェイルビットマップデータに変換する。この変換によ
って得られたフィジカル・フェイルビットマップデータ
がフィジカル・フェイルビットマップ格納部１４に格納
される。
【００１６】ところで、実際のメモリの記憶セルの物理
的な配置は、メモリに入力されるアドレス情報（ロジカ
ルアドレス（論理アドレス））と異なっている。このた
め、半導体メモリ試験装置１００内のフェイルメモリ１
１８に格納されたフェイル情報を読み出しても、どの記
憶セルが不良であるかがわからないことがある。不良が
検出されたメモリのアドレスを示すマップを「フェイル
ビットマップ」という。このフェイルビットマップに
は、ロジカル・フェイルビットマップとフィジカル・フ
ェイルビットマップとがある。ロジカル・フェイルビッ
トマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号とを用い
る三次元のフェイルビットマップであり、論理アドレス
Ｚを加えて四次元になることもある。半導体メモリ試験
装置１００内のフェイルメモリ１１８から読み出される
フェイル情報に基づいて、このロジカル・フェイルビッ
トマップが得られる。フィジカル・フェイルビットマッ
プは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる二次元の
フェイルビットマップであり、例えば、半導体メモリの
不良記憶セルの物理的配置を確認する場合に用いられ
る。
的な配置は、メモリに入力されるアドレス情報（ロジカ
ルアドレス（論理アドレス））と異なっている。このた
め、半導体メモリ試験装置１００内のフェイルメモリ１
１８に格納されたフェイル情報を読み出しても、どの記
憶セルが不良であるかがわからないことがある。不良が
検出されたメモリのアドレスを示すマップを「フェイル
ビットマップ」という。このフェイルビットマップに
は、ロジカル・フェイルビットマップとフィジカル・フ
ェイルビットマップとがある。ロジカル・フェイルビッ
トマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号とを用い
る三次元のフェイルビットマップであり、論理アドレス
Ｚを加えて四次元になることもある。半導体メモリ試験
装置１００内のフェイルメモリ１１８から読み出される
フェイル情報に基づいて、このロジカル・フェイルビッ
トマップが得られる。フィジカル・フェイルビットマッ
プは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる二次元の
フェイルビットマップであり、例えば、半導体メモリの
不良記憶セルの物理的配置を確認する場合に用いられ
る。
【００１７】一般に、ロジカル・フェイルビットマップ
をフィジカル・フェイルビットマップに変換することを
「フィジカル変換」という。上述したフィジカル変換部
１６は、このフィジカル変換を行う。印刷用データ作成
部２０は、ロジカル・フェイルビットマップデータある
いはフィジカル・フェイルビットマップデータで示され
るフェイル分布を印刷装置６０を用いて印刷するために
必要な印刷用データを、ポストスクリプト形式で作成す
る。印刷項目設定部２２は、ＧＵＩ（グラフィカルユー
ザインタフェース）処理を行うことにより、利用者によ
る操作指示に応じて、印刷用データ作成部２０によって
印刷用データを作成する際に必要な詳細項目の設定を行
う。設定項目の具体例については後述する。
をフィジカル・フェイルビットマップに変換することを
「フィジカル変換」という。上述したフィジカル変換部
１６は、このフィジカル変換を行う。印刷用データ作成
部２０は、ロジカル・フェイルビットマップデータある
いはフィジカル・フェイルビットマップデータで示され
るフェイル分布を印刷装置６０を用いて印刷するために
必要な印刷用データを、ポストスクリプト形式で作成す
る。印刷項目設定部２２は、ＧＵＩ（グラフィカルユー
ザインタフェース）処理を行うことにより、利用者によ
る操作指示に応じて、印刷用データ作成部２０によって
印刷用データを作成する際に必要な詳細項目の設定を行
う。設定項目の具体例については後述する。
【００１８】表示用データ作成部３０は、ロジカル・フ
ェイルビットマップあるいはフィジカル・フェイルビッ
トマップで示されるフェイル分布を表示装置７０を用い
て表示するために必要な表示用データを作成する。表示
項目設定部３２は、表示用データ作成部３０によって表
示用データを作成する際に必要な詳細項目の設定を行
う。
ェイルビットマップあるいはフィジカル・フェイルビッ
トマップで示されるフェイル分布を表示装置７０を用い
て表示するために必要な表示用データを作成する。表示
項目設定部３２は、表示用データ作成部３０によって表
示用データを作成する際に必要な詳細項目の設定を行
う。
【００１９】解析結果データ格納部４０は、印刷用デー
タ作成部２０から出力されるポストスクリプト形式の印
刷用データを保存データあるいは加工用データとして格
納する。ポストスクリプトは、米アドビ・システムズ社
が開発したページ記述言語ＰＤＬであって、印刷装置や
表示装置に出力するテキスト、イメージのページ表記を
記述するために用いられる。このポストスクリプトは、
現在では１〜３の各レベルがあり、いずれのレベルのも
のを使用してもよいが、実際には汎用性が最も高いレベ
ル１のものを使用することが望ましい。
タ作成部２０から出力されるポストスクリプト形式の印
刷用データを保存データあるいは加工用データとして格
納する。ポストスクリプトは、米アドビ・システムズ社
が開発したページ記述言語ＰＤＬであって、印刷装置や
表示装置に出力するテキスト、イメージのページ表記を
記述するために用いられる。このポストスクリプトは、
現在では１〜３の各レベルがあり、いずれのレベルのも
のを使用してもよいが、実際には汎用性が最も高いレベ
ル１のものを使用することが望ましい。
【００２０】操作部５０は、利用者が各種の指示入力を
行うためのものであり、表示装置７０の表示画面の任意
位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウス
や、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号
等を入力するキーボードが含まれている。
行うためのものであり、表示装置７０の表示画面の任意
位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウス
や、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号
等を入力するキーボードが含まれている。
【００２１】上述したロジカル・フェイルビットマップ
格納部１２、フィジカル・フェイルビットマップ格納部
１４が第１の格納手段に、解析結果データ格納部４０が
第２の格納手段に、印刷用データ作成部２０が印刷用デ
ータ作成手段に、フィジカル変換部１６がフィジカル変
換手段に、印刷項目設定部２２が印刷項目設定手段にそ
れぞれ対応する。
格納部１２、フィジカル・フェイルビットマップ格納部
１４が第１の格納手段に、解析結果データ格納部４０が
第２の格納手段に、印刷用データ作成部２０が印刷用デ
ータ作成手段に、フィジカル変換部１６がフィジカル変
換手段に、印刷項目設定部２２が印刷項目設定手段にそ
れぞれ対応する。
【００２２】本実施形態のフェイル解析装置１０はこの
ような構成を有しており、次にその動作を説明する。例
えば、半導体メモリ試験装置１００内のフェイルメモリ
１１８に格納されているフェイル情報がフェイル解析装
置１０によって読み出されて、ロジカル・フェイルビッ
トマップ格納部１２に格納されているものとする。ま
た、フィジカル変換部１６は、このロジカル・フェイル
ビットマップ格納部１２に格納されたデータを用いてフ
ィジカル変換を行い、その結果得られるフィジカル・フ
ェイルビットマップデータがフィジカル・フェイルビッ
トマップ格納部１４に格納されているものとする。
ような構成を有しており、次にその動作を説明する。例
えば、半導体メモリ試験装置１００内のフェイルメモリ
１１８に格納されているフェイル情報がフェイル解析装
置１０によって読み出されて、ロジカル・フェイルビッ
トマップ格納部１２に格納されているものとする。ま
た、フィジカル変換部１６は、このロジカル・フェイル
ビットマップ格納部１２に格納されたデータを用いてフ
ィジカル変換を行い、その結果得られるフィジカル・フ
ェイルビットマップデータがフィジカル・フェイルビッ
トマップ格納部１４に格納されているものとする。
【００２３】図２は、印刷項目設定部２２によって表示
装置７０に表示されるＧＵＩ画面のレイアウトを示す図
である。以下、図２に示したＧＵＩ画面を構成する各要
素について順番に説明する。 （１）メニューバー 選択可能なメニューとして、「Ｆｉｌｅ」メニューと
「Ｈｅｌｐ」メニューが含まれている。この「Ｆｉｌ
ｅ」メニューを操作部５０に備わったマウスを用いてク
リックすることにより、対応するプルダウンメニューを
表示させることができる。例えば、このプルダウンメニ
ューには、ファイルオープン・ウインドウを開く場合に
指定する「Ｏｐｅｎ」コマンドや、フェイルビットマッ
プに対応するフェイル分布の印刷指示を行う場合に指定
する「Ｐｒｉｎｔ」コマンド、このＧＵＩ画面を用いた
フェイル情報の印刷処理の終了を指示する場合に指定す
る「Ｅｘｉｔ」コマンド等が含まれる。
装置７０に表示されるＧＵＩ画面のレイアウトを示す図
である。以下、図２に示したＧＵＩ画面を構成する各要
素について順番に説明する。 （１）メニューバー 選択可能なメニューとして、「Ｆｉｌｅ」メニューと
「Ｈｅｌｐ」メニューが含まれている。この「Ｆｉｌ
ｅ」メニューを操作部５０に備わったマウスを用いてク
リックすることにより、対応するプルダウンメニューを
表示させることができる。例えば、このプルダウンメニ
ューには、ファイルオープン・ウインドウを開く場合に
指定する「Ｏｐｅｎ」コマンドや、フェイルビットマッ
プに対応するフェイル分布の印刷指示を行う場合に指定
する「Ｐｒｉｎｔ」コマンド、このＧＵＩ画面を用いた
フェイル情報の印刷処理の終了を指示する場合に指定す
る「Ｅｘｉｔ」コマンド等が含まれる。
【００２４】（２）ページ情報 解析対象となる半導体メモリに対応するフェイル情報を
印刷する場合の総ページ数と付加情報がこの「ページ
数」領域に表示される。例えば、フィジカル・フェイル
ビットマップの場合には、ロー（Ｒｏｗ）およびカラム
（Ｃｏｌｕｍｎ）の組み合わせと総ページ（Ｔｏｔａｌ
Ｐａｇｅ）とがこの領域に表示される。また、ロジカ
ル・フェイルビットマップの場合には、ロー、カラムお
よびＩ／Ｏ番号の組み合わせと総ページとがこの領域に
表示される。なお、ローとは、縦方向（Ｙ方向）に沿っ
て何ページあるかを示すものであり、カラムとは、横方
向（Ｘ方向）に沿って何ページあるかを示すものであ
る。
印刷する場合の総ページ数と付加情報がこの「ページ
数」領域に表示される。例えば、フィジカル・フェイル
ビットマップの場合には、ロー（Ｒｏｗ）およびカラム
（Ｃｏｌｕｍｎ）の組み合わせと総ページ（Ｔｏｔａｌ
Ｐａｇｅ）とがこの領域に表示される。また、ロジカ
ル・フェイルビットマップの場合には、ロー、カラムお
よびＩ／Ｏ番号の組み合わせと総ページとがこの領域に
表示される。なお、ローとは、縦方向（Ｙ方向）に沿っ
て何ページあるかを示すものであり、カラムとは、横方
向（Ｘ方向）に沿って何ページあるかを示すものであ
る。
【００２５】（３）「Ｐｒｉｎｔ」ボタン フェイルビットマップに対応するフェイル分布の印刷指
示を行うためのものであり、利用者は、上述し「Ｆｉｌ
ｅ」メニューに含まれる「Ｐｒｉｎｔ」コマンドを指定
する代わりに、このボタンをクリックすることにより印
刷の実行指示を行うことができる。
示を行うためのものであり、利用者は、上述し「Ｆｉｌ
ｅ」メニューに含まれる「Ｐｒｉｎｔ」コマンドを指定
する代わりに、このボタンをクリックすることにより印
刷の実行指示を行うことができる。
【００２６】（４）「Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」テキストボ
ックス 印刷したいフェイルデータのファイル名を指定するため
に用いられる。 （５）「Ｆｉｌｅ Ｏｐｅｎ」ボタン ファイルオープン・ウインドウを開く場合に用いられ
る。
ックス 印刷したいフェイルデータのファイル名を指定するため
に用いられる。 （５）「Ｆｉｌｅ Ｏｐｅｎ」ボタン ファイルオープン・ウインドウを開く場合に用いられ
る。
【００２７】（６）「Ｏｒｉｇｉｎ」ボタン フェイルデータの原点を指定する場合に用いられる。縦
横各２個、合計で４個のボタンが含まれており、利用者
は、いずれかのボタンを選択することにより、この選択
されたボタンに対応する原点位置を指定することができ
る。例えば、左上を原点位置に指定したい場合には、左
上に配置されたボタンを選択すればよい。あるいは、右
下を原点位置に指定したい場合には、右下に配置された
ボタンを選択すればよい。
横各２個、合計で４個のボタンが含まれており、利用者
は、いずれかのボタンを選択することにより、この選択
されたボタンに対応する原点位置を指定することができ
る。例えば、左上を原点位置に指定したい場合には、左
上に配置されたボタンを選択すればよい。あるいは、右
下を原点位置に指定したい場合には、右下に配置された
ボタンを選択すればよい。
【００２８】（７）「Ｉ／Ｏセレクト」ボタン ロジカル・フェイルビットマップのＩ／Ｏを指定するた
めに用いられる。全てのＩ／Ｏを印刷対象にする場合に
は、「Ａｌｌ」のボタンを選択すればよい。また、いず
れかのＩ／Ｏのみを印刷対象にする場合には、「Ｓｅｌ
ｅｃｔ」ボタンを指定するとともに、このボタンの右横
に設けられたテキストボックスにＩ／Ｏ番号を入力す
る。
めに用いられる。全てのＩ／Ｏを印刷対象にする場合に
は、「Ａｌｌ」のボタンを選択すればよい。また、いず
れかのＩ／Ｏのみを印刷対象にする場合には、「Ｓｅｌ
ｅｃｔ」ボタンを指定するとともに、このボタンの右横
に設けられたテキストボックスにＩ／Ｏ番号を入力す
る。
【００２９】（８）「Ｓｃａｌｅ Ｒａｄｉｘ」メニュ
ー スケールの基数を設定するために用いられる。スケール
の基数は、１０進数または１６進数を設定することがで
きる。利用者は、基数を１０進数に設定する場合には
「Ｄｅｃｉｍａｌ」を選択し、基数を１６進数に設定す
る場合には「Ｈｅｘａｄｅｃｉｍａｌ」を選択する。
ー スケールの基数を設定するために用いられる。スケール
の基数は、１０進数または１６進数を設定することがで
きる。利用者は、基数を１０進数に設定する場合には
「Ｄｅｃｉｍａｌ」を選択し、基数を１６進数に設定す
る場合には「Ｈｅｘａｄｅｃｉｍａｌ」を選択する。
【００３０】（９）「Ｔｉｔｌｅ」ボタン、「Ｔｉｔｌ
ｅ」テキストボックス タイトル名を設定するには、「Ｔｉｔｌｅ」ボタンをオ
ンにするとともに、隣接するテキストボックスにタイト
ル名を入力する必要がある。「Ｔｉｔｌｅ」ボタンをオ
フにした場合には、テキストボックスに入力されたタイ
トル名は印刷されない。
ｅ」テキストボックス タイトル名を設定するには、「Ｔｉｔｌｅ」ボタンをオ
ンにするとともに、隣接するテキストボックスにタイト
ル名を入力する必要がある。「Ｔｉｔｌｅ」ボタンをオ
フにした場合には、テキストボックスに入力されたタイ
トル名は印刷されない。
【００３１】（１０）「Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ」メニュ
ー 解像度を設定するには、「Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ」メニ
ューに含まれる複数の選択候補の中からいずれかを利用
者が選択する。例えば、１２００ｄｐｉ、６００ｄｐ
ｉ、３００ｄｐｉ、１５０ｄｐｉ、７５ｄｐｉの５種類
の中から、印刷装置６０の解像度に一致する値が選択さ
れる。
ー 解像度を設定するには、「Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ」メニ
ューに含まれる複数の選択候補の中からいずれかを利用
者が選択する。例えば、１２００ｄｐｉ、６００ｄｐ
ｉ、３００ｄｐｉ、１５０ｄｐｉ、７５ｄｐｉの５種類
の中から、印刷装置６０の解像度に一致する値が選択さ
れる。
【００３２】（１１）「Ｐａｓｓ Ｓｋｉｐ」ボタン パススキップモードを指定する場合に用いられる。この
ボタンをオンにすることにより、フェイルデータが全く
ない領域については、その印刷動作が省略される。
ボタンをオンにすることにより、フェイルデータが全く
ない領域については、その印刷動作が省略される。
【００３３】（１２）「Ｐａｐｅｒ Ｓｉｚｅ」メニュ
ー 印刷に用いられる用紙のサイズを設定するために用いら
れる。例えば、選択可能な用紙サイズは、Ａ４、Ａ３、
…等の一覧から選択することができる。 （１３）「Ｌａｙｏｕｔ」メニュー 印刷レイアウトを設定するために用いられる。印刷レイ
アウトは、ランドスケープ（Ｌａｎｄｓｃａｐｅ）ある
いはポートレート（Ｐｏｒｔｒａｉｔ）のいずれかを指
定することができる。
ー 印刷に用いられる用紙のサイズを設定するために用いら
れる。例えば、選択可能な用紙サイズは、Ａ４、Ａ３、
…等の一覧から選択することができる。 （１３）「Ｌａｙｏｕｔ」メニュー 印刷レイアウトを設定するために用いられる。印刷レイ
アウトは、ランドスケープ（Ｌａｎｄｓｃａｐｅ）ある
いはポートレート（Ｐｏｒｔｒａｉｔ）のいずれかを指
定することができる。
【００３４】図３および図４は印刷レイアウトの説明図
である。図３に示すように、フェイルデータを縦向きに
印刷する場合には、印刷レイアウトとしてポートレート
を指定する。また、図４に示すように、フェイルデータ
を横向きに印刷する場合には、印刷レイアウトとしてラ
ンドスケープを指定する。
である。図３に示すように、フェイルデータを縦向きに
印刷する場合には、印刷レイアウトとしてポートレート
を指定する。また、図４に示すように、フェイルデータ
を横向きに印刷する場合には、印刷レイアウトとしてラ
ンドスケープを指定する。
【００３５】（１４）「Ｐｒｉｎｔｅｒ Ｎａｍｅ」テ
キストボックス フェイル分布を印刷する印刷装置６０の名称を指定する
ために用いられる。このテキストボックスが空欄になっ
ている場合には、デフォルトの印刷装置６０が指定され
る。
キストボックス フェイル分布を印刷する印刷装置６０の名称を指定する
ために用いられる。このテキストボックスが空欄になっ
ている場合には、デフォルトの印刷装置６０が指定され
る。
【００３６】（１５）「Ｏｕｔｐｕｔ Ｆｉｌｅ Ｎａ
ｍｅ」ボタン、「Ｏｕｔｐｕｔ Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」
テキストボックス 出力先を印刷装置６０からファイルに切り替える場合に
用いられる。この場合のファイルのデータ形式としては
ポストスクリプト形式が設定される。また、このボタン
に隣接する「Ｏｕｔｐｕｔ Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」テキ
ストボックスを用いて、出力先のファイルのファイル名
が入力される。
ｍｅ」ボタン、「Ｏｕｔｐｕｔ Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」
テキストボックス 出力先を印刷装置６０からファイルに切り替える場合に
用いられる。この場合のファイルのデータ形式としては
ポストスクリプト形式が設定される。また、このボタン
に隣接する「Ｏｕｔｐｕｔ Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」テキ
ストボックスを用いて、出力先のファイルのファイル名
が入力される。
【００３７】（１６）「Ｍｅｓｓａｇｅ」エリア 印刷装置６０による印刷結果やファイル出力の結果を示
す所定のメッセージを表示する場合に用いられる。例え
ば、印刷装置６０による印刷動作が正常に終了した場合
には、このエリアに“Ｐｒｏｃｅｓｓ ｉｓ ｃｏｍｐ
ｌｅｔｅｄ”と表示される。
す所定のメッセージを表示する場合に用いられる。例え
ば、印刷装置６０による印刷動作が正常に終了した場合
には、このエリアに“Ｐｒｏｃｅｓｓ ｉｓ ｃｏｍｐ
ｌｅｔｅｄ”と表示される。
【００３８】図５は、本実施形態のフェイル解析装置を
用いてフェイル分布の印刷やファイル出力を行う場合の
動作手順を示す流れ図である。利用者によって操作部５
０が操作されて本実施形態のフェイルビットマップ印刷
ツールが実行されると、まず、印刷項目設定部２２は、
印刷に必要な各種の設定を行うために、図２に示した詳
細項目設定画面を表示し（ステップ１００）、フェイル
データファイルの設定（ステップ１０１）および印刷装
置６０の解像度を含む印刷条件の設定を行う（ステップ
１０２）。フェイルデータファイルの設定は、利用者が
操作部５０に備わったキーボード等を用いて、図２に示
した設定画面内の「Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」テキストボッ
クス（４）内に入力したファイル名を用いて行われる。
同様に、解像度を含む印刷条件の設定は、利用者が操作
部５０に備わったマウスやキーボードを用いて、図２に
示した設定画面内の「Ｒｅｓｏｌｕｓｉｏｎ」メニュー
等の各種のメニューやボタンを操作することにより行わ
れる。
用いてフェイル分布の印刷やファイル出力を行う場合の
動作手順を示す流れ図である。利用者によって操作部５
０が操作されて本実施形態のフェイルビットマップ印刷
ツールが実行されると、まず、印刷項目設定部２２は、
印刷に必要な各種の設定を行うために、図２に示した詳
細項目設定画面を表示し（ステップ１００）、フェイル
データファイルの設定（ステップ１０１）および印刷装
置６０の解像度を含む印刷条件の設定を行う（ステップ
１０２）。フェイルデータファイルの設定は、利用者が
操作部５０に備わったキーボード等を用いて、図２に示
した設定画面内の「Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」テキストボッ
クス（４）内に入力したファイル名を用いて行われる。
同様に、解像度を含む印刷条件の設定は、利用者が操作
部５０に備わったマウスやキーボードを用いて、図２に
示した設定画面内の「Ｒｅｓｏｌｕｓｉｏｎ」メニュー
等の各種のメニューやボタンを操作することにより行わ
れる。
【００３９】このような各種の設定が行われた後に、利
用者によって操作画面内の「Ｐｒｉｎｔ」ボタンがクリ
ックされて印刷指示が行われると（ステップ１０３）、
次に、印刷用データ作成部２０は、印刷用データの作成
を行う（ステップ１０４）。この印刷用データは、ステ
ップ１０１で設定されたファイル名に基づいて印刷対象
となるデータをロジカル・フェイルビットマップ格納部
１２あるいはフィジカル・フェイルビットマップ格納部
１４から読み出すとともに、ステップ１０２で設定され
た各種の設定内容に基づいて作成される。また、この印
刷用データは、レベル１のポストスクリプト形式で作成
される。
用者によって操作画面内の「Ｐｒｉｎｔ」ボタンがクリ
ックされて印刷指示が行われると（ステップ１０３）、
次に、印刷用データ作成部２０は、印刷用データの作成
を行う（ステップ１０４）。この印刷用データは、ステ
ップ１０１で設定されたファイル名に基づいて印刷対象
となるデータをロジカル・フェイルビットマップ格納部
１２あるいはフィジカル・フェイルビットマップ格納部
１４から読み出すとともに、ステップ１０２で設定され
た各種の設定内容に基づいて作成される。また、この印
刷用データは、レベル１のポストスクリプト形式で作成
される。
【００４０】次に、印刷用データ作成部２０は、作成し
た印刷用データを用いて印刷を行うか否かを判定する
（ステップ１０５）。この判定は、図２に示した設定画
面内の「Ｏｕｔｐｕｔ Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」ボタン
（１５）がオンになっているか否かを調べることにより
行われる。
た印刷用データを用いて印刷を行うか否かを判定する
（ステップ１０５）。この判定は、図２に示した設定画
面内の「Ｏｕｔｐｕｔ Ｆｉｌｅ Ｎａｍｅ」ボタン
（１５）がオンになっているか否かを調べることにより
行われる。
【００４１】このボタンがオフ状態であれば、印刷用デ
ータ作成部２０は、印刷装置６０に向けて、作成した印
刷用データとともに印刷動作の開始指示を送って、印刷
装置６０による印刷処理を行う（ステップ１０６）。ま
た、上述したボタンがオン状態であれば、印刷用データ
作成部２０は、ファイル出力が指示されたものと判断し
（ステップ１０５の判定において否定判断が行われ
る）、解析結果データ格納部４０に向けて、作成した印
刷用データとともにファイルの格納指示を送って、解析
結果データ格納部４０にファイルを格納する（ステップ
１０７）。
ータ作成部２０は、印刷装置６０に向けて、作成した印
刷用データとともに印刷動作の開始指示を送って、印刷
装置６０による印刷処理を行う（ステップ１０６）。ま
た、上述したボタンがオン状態であれば、印刷用データ
作成部２０は、ファイル出力が指示されたものと判断し
（ステップ１０５の判定において否定判断が行われ
る）、解析結果データ格納部４０に向けて、作成した印
刷用データとともにファイルの格納指示を送って、解析
結果データ格納部４０にファイルを格納する（ステップ
１０７）。
【００４２】図６は、フェイル分布の印刷結果の一例を
示す図である。同図に示すフェイル分布は、一例として
フィジカル・フェイルビットマップのフェイル分布を示
したものであり、例えばＸアドレスが０〜１２７、Ｙア
ドレスが１０２４〜１１５１の範囲に対応している。な
お、印刷装置６０の解像度として６００ｄｐｉ等が指定
される場合には、Ａ４サイズの印刷用紙に含まれるＸア
ドレスおよびＹアドレスの範囲はもっと広くなるが、図
６では、説明のために解像度が非常に低い場合が示され
ている。図６に示すように、フェイル分布を示す領域の
上下には、Ｘアドレスの目盛りを兼ねたマーカ２００
ａ、２００ｂが含まれており、左右には、Ｙアドレスの
目盛りを兼ねたマーカ２１０ａ、２１０ｂが含まれてい
る。これらのマーカを用いることにより、Ｘアドレスあ
るいはＹアドレスが連続するフェイル分布同士の位置合
わせが容易となり、貼り合わせる場合の手間と時間を軽
減することができる。例えば、Ｙ方向に付されたマーカ
２１０ａ、２１０ｂの各上端部分をつなぐように補助線
を引いて、この補助線に沿って印刷用紙をハサミ等で切
ることにより、フェイル分布の上端を縁とした紙片を形
成することができるため、Ｙアドレスがつながった他の
フェイル分布に正確に隣接させて貼り合わせることがで
きる。
示す図である。同図に示すフェイル分布は、一例として
フィジカル・フェイルビットマップのフェイル分布を示
したものであり、例えばＸアドレスが０〜１２７、Ｙア
ドレスが１０２４〜１１５１の範囲に対応している。な
お、印刷装置６０の解像度として６００ｄｐｉ等が指定
される場合には、Ａ４サイズの印刷用紙に含まれるＸア
ドレスおよびＹアドレスの範囲はもっと広くなるが、図
６では、説明のために解像度が非常に低い場合が示され
ている。図６に示すように、フェイル分布を示す領域の
上下には、Ｘアドレスの目盛りを兼ねたマーカ２００
ａ、２００ｂが含まれており、左右には、Ｙアドレスの
目盛りを兼ねたマーカ２１０ａ、２１０ｂが含まれてい
る。これらのマーカを用いることにより、Ｘアドレスあ
るいはＹアドレスが連続するフェイル分布同士の位置合
わせが容易となり、貼り合わせる場合の手間と時間を軽
減することができる。例えば、Ｙ方向に付されたマーカ
２１０ａ、２１０ｂの各上端部分をつなぐように補助線
を引いて、この補助線に沿って印刷用紙をハサミ等で切
ることにより、フェイル分布の上端を縁とした紙片を形
成することができるため、Ｙアドレスがつながった他の
フェイル分布に正確に隣接させて貼り合わせることがで
きる。
【００４３】このように、本実施形態のフェイル解析装
置１０では、印刷装置６０の解像度に合わせてフェイル
解析結果（フェイル分布）の印刷を行っているため、従
来のように表示の解像度に合わせてフェイル解析結果を
印刷する場合に比べて、１枚の印刷用紙に含ませるフェ
イル解析結果の範囲を広くすることができる。このた
め、半導体メモリの全体あるいは部分領域に対応するフ
ェイル解析結果を印刷するために必要な印刷の繰り返し
回数を減らして、印刷の手間を低減することができる。
また、印刷枚数を減らすことにより、各印刷用紙を貼り
合わせてフェイル解析結果の編集を行う場合の手間を低
減することができる。特に、フェイル解析結果とともに
位置合わせ用のマーカ２００ａ、２００ｂ、２１０ａ、
２１０ｂが印刷されるため、フェイル解析結果が２枚以
上の印刷用紙に分割されて印刷された場合に、このマー
カを用いて隣接する印刷用紙のフェイル解析結果同士の
位置合わせを行うことができるため、複数の用紙に分割
して印刷されたフェイル解析結果を貼り合わせる編集作
業を行う場合の作業の手間をさらに低減することができ
る。
置１０では、印刷装置６０の解像度に合わせてフェイル
解析結果（フェイル分布）の印刷を行っているため、従
来のように表示の解像度に合わせてフェイル解析結果を
印刷する場合に比べて、１枚の印刷用紙に含ませるフェ
イル解析結果の範囲を広くすることができる。このた
め、半導体メモリの全体あるいは部分領域に対応するフ
ェイル解析結果を印刷するために必要な印刷の繰り返し
回数を減らして、印刷の手間を低減することができる。
また、印刷枚数を減らすことにより、各印刷用紙を貼り
合わせてフェイル解析結果の編集を行う場合の手間を低
減することができる。特に、フェイル解析結果とともに
位置合わせ用のマーカ２００ａ、２００ｂ、２１０ａ、
２１０ｂが印刷されるため、フェイル解析結果が２枚以
上の印刷用紙に分割されて印刷された場合に、このマー
カを用いて隣接する印刷用紙のフェイル解析結果同士の
位置合わせを行うことができるため、複数の用紙に分割
して印刷されたフェイル解析結果を貼り合わせる編集作
業を行う場合の作業の手間をさらに低減することができ
る。
【００４４】また、本実施形態のフェイル解析装置１０
にはフィジカル変換部１６が備わっており、ロジカル・
フェイルビットマップとフィジカル・フェイルビットマ
ップの両方あるいは任意に選択されたいずれか一方を、
印刷装置６０の解像度を考慮して、必要に応じて印刷す
ることができる。
にはフィジカル変換部１６が備わっており、ロジカル・
フェイルビットマップとフィジカル・フェイルビットマ
ップの両方あるいは任意に選択されたいずれか一方を、
印刷装置６０の解像度を考慮して、必要に応じて印刷す
ることができる。
【００４５】また、利用者は、ＧＵＩ画面を見ながら、
印刷装置６０の解像度等の詳細項目を設定を行うことが
できるため、操作性の向上とともに操作時間の短縮が可
能になる。また、汎用性を有するデータ形式であるポス
トスクリプト形式でフェイル解析結果をファイル出力す
ることができるため、このファイルを読み出してフェイ
ル解析結果に対して二次的な加工を行うことが可能にな
る。
印刷装置６０の解像度等の詳細項目を設定を行うことが
できるため、操作性の向上とともに操作時間の短縮が可
能になる。また、汎用性を有するデータ形式であるポス
トスクリプト形式でフェイル解析結果をファイル出力す
ることができるため、このファイルを読み出してフェイ
ル解析結果に対して二次的な加工を行うことが可能にな
る。
【００４６】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、半導
体メモリの全体あるいは部分領域に対応するフェイル解
析結果を印刷するために必要な印刷の繰り返し回数を減
らして、印刷の手間を低減することができる。また、印
刷枚数を減らすことにより、各印刷用紙を貼り合わせて
フェイル解析結果の編集を行う場合の手間を低減するこ
とができる。
体メモリの全体あるいは部分領域に対応するフェイル解
析結果を印刷するために必要な印刷の繰り返し回数を減
らして、印刷の手間を低減することができる。また、印
刷枚数を減らすことにより、各印刷用紙を貼り合わせて
フェイル解析結果の編集を行う場合の手間を低減するこ
とができる。
【図１】一実施形態のフェイル解析装置の構成を示す図
である。
である。
【図２】印刷項目設定部によって表示装置に表示される
ＧＵＩ画面のレイアウトを示す図である。
ＧＵＩ画面のレイアウトを示す図である。
【図３】印刷レイアウトの説明図である。
【図４】印刷レイアウトの説明図である。
【図５】本実施形態のフェイル解析装置を用いてフェイ
ル分布の印刷やファイル出力を行う場合の動作手順を示
す流れ図である。
ル分布の印刷やファイル出力を行う場合の動作手順を示
す流れ図である。
【図６】フェイル分布の印刷結果の一例を示す図であ
る。
る。
【図７】従来の半導体メモリ試験装置の概略的な構成図
である。
である。
１０ フェイル解析装置 １２ ロジカル・フェイルビットマップ格納部 １４ フィジカル・フェイルビットマップ格納部 １６ フィジカル変換部 ２０ 印刷用データ作成部 ２２ 印刷項目設定部 ３０ 表示用データ作成部 ３２ 表示項目設定部 ４０ 解析結果データ格納部 ５０ 操作部 ６０ 印刷装置 １００ 半導体メモリ試験装置 １１８ フェイルメモリ（ＦＭ）
Claims (6)
- 【請求項１】 半導体メモリ試験装置による試験によっ
て得られた半導体メモリのフェイルビットマップデータ
の内容を印刷装置を用いて印刷するフェイル解析装置に
おいて、 前記フェイルビットマップデータを格納する第１の格納
手段と、 前記第１の格納手段に格納されている前記フェイルビッ
トマップデータを読み出して、前記印刷装置の印刷の解
像度を考慮した印刷用データを作成して前記印刷装置に
向けて出力する印刷用データ作成手段と、 を備えることを特徴とするフェイル解析装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記印刷用データ作成手段は、前記半導体メモリの全体
にあるいは一部に対応する複数枚の前記印刷用紙に対応
する前記印刷用データを作成する際に、前記半導体メモ
リのアドレスが連続するように隣接する２枚の前記印刷
用紙の対応位置を示す所定のマーカを含めて前記印刷用
データを作成することを特徴とするフェイル解析装置。 - 【請求項３】 請求項１または２において、 前記フェイルビットマップデータには、前記半導体メモ
リの論理アドレスとこれに対応するフェイル情報との関
係を示すロジカル・フェイルビットマップデータと、前
記半導体メモリの物理アドレスとこれに対応するフェイ
ル情報との関係を示すフィジカル・フェイルビットマッ
プデータとが含まれており、 前記ロジカル・フェイルビットマップデータを読み出し
て前記フィジカル・フェイルビットマップへの変換を行
うフィジカル変換手段をさらに備えることを特徴とする
フェイル解析装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、 ユーザグラフィカルインタフェース画面を用いて、前記
印刷用データ作成手段による前記印刷用データの作成に
関する詳細項目の設定を行う印刷項目設定手段をさらに
備えることを特徴とするフェイル解析装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、 前記印刷用データ作成手段は、前記印刷用データを汎用
性のあるデータ形式でファイル出力する機能を有してお
り、 ファイル出力された前記印刷用データを格納する第２の
格納手段をさらに備えることを特徴とするフェイル解析
装置。 - 【請求項６】 請求項６において、 汎用性のある前記データ形式は、ポストスクリプト形式
であることを特徴とするフェイル解析装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000176469A JP2001357697A (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | フェイル解析装置 |
| TW090113993A TW512355B (en) | 2000-06-13 | 2001-06-08 | Fail analysis device |
| US10/297,699 US20030220759A1 (en) | 2000-06-13 | 2001-06-11 | Fail analyzer |
| KR1020027016264A KR100586129B1 (ko) | 2000-06-13 | 2001-06-11 | 페일 해석장치 |
| PCT/JP2001/004894 WO2001097231A1 (fr) | 2000-06-13 | 2001-06-11 | Analyseur de defaut |
| DE10196346T DE10196346T1 (de) | 2000-06-13 | 2001-06-11 | Fehleranalysator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000176469A JP2001357697A (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | フェイル解析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001357697A true JP2001357697A (ja) | 2001-12-26 |
Family
ID=18678193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000176469A Withdrawn JP2001357697A (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | フェイル解析装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030220759A1 (ja) |
| JP (1) | JP2001357697A (ja) |
| KR (1) | KR100586129B1 (ja) |
| DE (1) | DE10196346T1 (ja) |
| TW (1) | TW512355B (ja) |
| WO (1) | WO2001097231A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009110627A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 不良ビットマップデータの圧縮方法、不良ビットマップ表示方法、及び、不良ビットマップ表示装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10196980T5 (de) * | 2000-11-28 | 2004-04-22 | Advantest Corp. | Fehleranalysevorrichtung |
| US7020815B2 (en) * | 2002-08-29 | 2006-03-28 | Micron Technology, Inc. | Memory technology test apparatus |
| US11360840B2 (en) | 2020-01-20 | 2022-06-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus for performing redundancy analysis of a semiconductor device |
| CN112666451B (zh) * | 2021-03-15 | 2021-06-29 | 南京邮电大学 | 一种集成电路扫描测试向量生成方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618230B2 (ja) * | 1986-01-21 | 1994-03-09 | 三菱電機株式会社 | メモリｉｃテスト装置 |
| JPH02257212A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-18 | Matsushita Graphic Commun Syst Inc | 印刷処理装置 |
| US6680782B1 (en) * | 1993-06-30 | 2004-01-20 | Nexpress Solutions Llc | Method and apparatus of using a raster image processor and interpolator to increase the speed of operation and reduce memory requirements for electronic printing |
| US5828778A (en) * | 1995-07-13 | 1998-10-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for analyzing failure of semiconductor wafer |
| WO1997005736A1 (en) * | 1995-07-26 | 1997-02-13 | Elonex Plc | A personal desktop system for scanning and printing |
| US5937152A (en) * | 1996-04-16 | 1999-08-10 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Printer with buffer memory |
| JP3053576B2 (ja) * | 1996-08-07 | 2000-06-19 | オリンパス光学工業株式会社 | コードイメージデータ出力装置及び出力方法 |
| EP0970440B1 (de) * | 1997-03-27 | 2002-04-17 | Océ Printing Systems GmbH | Bildbearbeitungsverfahren und schaltungsanordnung zum verändern der bildauflösung |
| JPH11144496A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-28 | Nec Corp | Ｌｓｉセル位置情報出力装置、出力方法およびｌｓｉセル位置情報出力プログラムの記録媒体 |
| JP4249285B2 (ja) * | 1998-03-25 | 2009-04-02 | 株式会社アドバンテスト | フィジカル変換定義編集装置 |
| JPH11296046A (ja) * | 1998-04-14 | 1999-10-29 | Canon Inc | 印刷制御装置および印刷制御装置の印刷処理方法およびコンピュータが読み出し可能なプログラムを格納した記憶媒体 |
| JP3877439B2 (ja) * | 1998-08-05 | 2007-02-07 | 株式会社東芝 | 画像形成装置 |
| US7003176B1 (en) * | 1999-05-06 | 2006-02-21 | Ricoh Company, Ltd. | Method, computer readable medium and apparatus for converting color image resolution |
| JP2001080140A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Fujitsu Ltd | ページプリンタ及びページプリンタの制御方法 |
| US6564346B1 (en) * | 1999-12-07 | 2003-05-13 | Infineon Technologies Richmond, Lp. | Advanced bit fail map compression with fail signature analysis |
| US6499120B1 (en) * | 1999-12-30 | 2002-12-24 | Infineon Technologies Richmond, Lp | Usage of redundancy data for displaying failure bit maps for semiconductor devices |
-
2000
- 2000-06-13 JP JP2000176469A patent/JP2001357697A/ja not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-06-08 TW TW090113993A patent/TW512355B/zh active
- 2001-06-11 DE DE10196346T patent/DE10196346T1/de not_active Withdrawn
- 2001-06-11 US US10/297,699 patent/US20030220759A1/en not_active Abandoned
- 2001-06-11 WO PCT/JP2001/004894 patent/WO2001097231A1/ja active IP Right Grant
- 2001-06-11 KR KR1020027016264A patent/KR100586129B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009110627A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 不良ビットマップデータの圧縮方法、不良ビットマップ表示方法、及び、不良ビットマップ表示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2001097231A1 (fr) | 2001-12-20 |
| KR20030007772A (ko) | 2003-01-23 |
| US20030220759A1 (en) | 2003-11-27 |
| TW512355B (en) | 2002-12-01 |
| DE10196346T1 (de) | 2003-05-08 |
| KR100586129B1 (ko) | 2006-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7064858B2 (en) | Apparatus and method for displaying preview images to print and a computer-readable medium having a program for displaying preview images to print recorded thereon | |
| US20040252340A1 (en) | Image processing system, image processing method, template producing system and template data structure | |
| US7079971B2 (en) | Fail analysis device | |
| US7760385B2 (en) | Printing system | |
| JP2009258966A (ja) | 表示制御装置および表示制御方法 | |
| JP2005227865A (ja) | 印刷制御装置、方法およびプログラム | |
| US20050200887A1 (en) | Direct printing machine, direct printing method and computer-readable recording medium storing direct printing program | |
| KR100586129B1 (ko) | 페일 해석장치 | |
| JP2005115683A (ja) | 印刷設定方法及び情報処理装置 | |
| KR20080023603A (ko) | Ｎ-ｕｐ 설정이 가능한 화상데이터 출력장치 및 그의제어방법 | |
| JPH09198221A (ja) | メニュー表示装置 | |
| JP2014087962A (ja) | 印刷装置 | |
| EP2996029A1 (en) | Method for generating a proof of a print job comprising a document to be printed with parameters and system therewith | |
| JP6862993B2 (ja) | 出力制御プログラム及び出力制御方法 | |
| JP4146074B2 (ja) | フェイル解析装置 | |
| KR101450674B1 (ko) | 인쇄옵션 추출장치 및 프린트 파일에서 인쇄옵션 추출방법 | |
| JPH07105040A (ja) | 出力装置のテスト方式 | |
| US20080007741A1 (en) | Image processing setting device, image processing device, image forming system, image processing setting method, image processing method, and image forming method | |
| JPH11219276A (ja) | 印刷画像処理システム及び印刷画像処理方法並びに印刷画像処理プログラムが記録された記録媒体 | |
| US8913294B2 (en) | Image processing apparatus and image processing system | |
| US6829744B1 (en) | Document processing apparatus, method, and memory medium | |
| JP4498268B2 (ja) | 情報処理装置及び印刷処理方法及び記憶媒体 | |
| KR0155216B1 (ko) | 화상형성장치의 서식저장 및 프린팅방법 | |
| KR100552465B1 (ko) | 테스트 페이지 인쇄 방법 | |
| JP2003076996A (ja) | データ処理装置およびデータ処理プログラム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070904 |